JP2000252347A - 基板搬送方法及び基板搬送装置並びに基板搬送アーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 受取位置の基板を受け取って搬送する基板搬
送を好適に行う。 【解決手段】 規格最大サイズの基板Ｗをガイドして保
持し得るように形成したガイド部５Ａ、５Ｂとガイド部
５Ｂから外側に向かって高くするように形成された傾斜
部６とを有する基板搬送アーム２を受取位置に置かれた
基板Ｗの下方の所定位置に位置させ、基板搬送アーム２
と基板Ｗとを相対的に上下動させて基板Ｗがガイド部５
Ａ、５Ｂに保持された状態か基板Ｗの一部が傾斜部６に
載置された状態で基板Ｗを基板搬送アーム２に受け取
る。ガイド部５Ａ、５Ｂを傾斜部６が形成された側に移
動させる方向ＹＢに基板搬送アーム２を所定の加速度で
移動させる。この基板搬送アーム２の加速時に基板Ｗに
働く慣性力Ｆで一部が傾斜部６に載置された基板Ｗも傾
斜部６を滑り落ちてガイド部５Ａ、５Ｂで保持される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カセットなどの基
板収容器内における基板の収容位置や、基板受け渡し台
に立設された基板支持ピンなどの基板の載置位置などの
受取位置に置かれた、半導体ウエハや液晶表示器用のガ
ラス基板、フォトマスク用のガラス基板、光ディスク用
の基板などの基板を受け取って搬送する基板搬送方法及
び基板搬送装置並びに基板搬送に用いられる基板搬送ア
ームに関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の基板搬送では、受取位置に置か
れる基板の位置は常に一致しているとは限らない。例え
ば、図１５の上段に示す基板Ｗの位置を、受取位置にお
ける正常位置とする。この正常位置に対して、同図の中
段及び下段に示すように、受取位置において図の左右方
向、例えば、アーム基台に対して基板搬送アームが前進
後退して受取位置に置かれた基板Ｗを受け取る場合に
は、アーム基台から離れる方向及びアーム基台に近づく
方向にそれぞれ最大でα１、α２（α１≧０、α２≧
０）ズレた位置に基板Ｗが置かれる可能性があるとする
と、受取位置における基板Ｗの最大位置ズレ量は（α１
＋α２）であり、図１５に示すαＥが受取位置における
基板Ｗの最大位置ズレ範囲である。

【０００３】そのため、受取位置における最大位置ズレ
範囲αＥ内のどこに基板Ｗが置かれていても、その基板
Ｗを受け取って保持し得るように、従来の基板搬送装置
は、以下のように構成されている。

【０００４】〔第１従来例〕この第１従来例は、図１６
に示すような基板搬送アーム１１０が、図示しないアー
ム基台に対して前進後退可能に設けられている。この基
板搬送アーム１１０には、一対のガイド部材１１１Ａ、
１１１Ｂが接離可能に設けられている。各ガイド部材１
１１Ａ、１１１Ｂの内壁面１１２Ａ、１１２Ｂが基板Ｗ
を挟持するためのガイド部となっている。

【０００５】この第１従来例は、以下のような動作で、
受取位置に置かれた基板Ｗを受け取って搬送する。

【０００６】まず、図１６の実線で示すように、ガイド
部１１２Ａ、１１２Ｂの離間幅が最大離間幅Ｂ_Max にな
るようにガイド部材１１１Ａ、１１１Ｂを離間させ、そ
の状態で、基板搬送アーム１１０をアーム基台から前進
させて、受取位置に置かれた基板Ｗの下方に進入させ
る。次に、基板搬送アーム１１０と基板Ｗとを相対的に
上下動させて基板搬送アーム１１０で基板Ｗをすくい上
げるようにして、最大離間幅Ｂ_Max に離間されたガイド
部１１２Ａ、１１２Ｂの間に基板Ｗを収容して基板搬送
アーム１１０で基板Ｗを受け取る。そして、図１６の二
点鎖線で示すように、ガイド部１１２Ａ、１１２Ｂの離
間幅が基板Ｗの規格最大サイズＷＬ_MAX になるまでガイ
ド部材１１１Ａ、１１１Ｂを近接させて受け取った基板
Ｗをガイド部１１２Ａ、１１２Ｂで挟持する。

【０００７】ガイド部１１２Ａ、１１２Ｂで基板Ｗを挟
持すると、基板搬送アーム１１０をアーム基台に向けて
後退させ、以後、必要に応じて、ガイド部１１２Ａ、１
１２Ｂで基板Ｗを挟持した状態で、アーム基台を移動さ
せたり、基板搬送アーム１１０をアーム基台から前進さ
せたりして基板Ｗが搬送される。

【０００８】〔第２従来例〕図１７に示すように、この
第２従来例も、アーム基台１００に対して前進後退可能
に基板搬送アーム１２０が設けられている。第２従来例
では、基板Ｗを挟持するためのガイド部１２１Ａ、１２
１Ｂが形成された一対のガイド部材１２２Ａ、１２２Ｂ
が、基板搬送アーム１２０とアーム基台１００とに分離
されて設けられている。そして、ガイド部材１２２Ａ、
１２２Ｂ（ガイド部１２１Ａ、１２１Ｂ）の接離を、ア
ーム基台１００に対する基板搬送アーム１２０の後退と
前進で行うようにしている。

【０００９】この第２従来例は、以下のような動作で、
受取位置に置かれた基板Ｗを受け取って搬送する。

【００１０】まず、図１７の実線で示すように、ガイド
部材１２２Ａ（ガイド部１２１Ａ）を有する基板搬送ア
ーム１２０をアーム基台１００から前進させて、受取位
置に置かれた基板Ｗの下方に進入させる。次に、基板搬
送アーム１２０と基板Ｗとを相対的に上下動させて基板
搬送アーム１２０で基板Ｗをすくい上げるようにして、
ガイド部１２１Ａの内側に基板Ｗを位置させて基板搬送
アーム１２０で基板Ｗを受け取る。そして、図１７の二
点鎖線で示すように、ガイド部１２１Ａ、１２１Ｂの幅
が基板Ｗの規格最大サイズＷＬ_MAX になるまで、基板搬
送アーム１２０をアーム基台１００に向けて後退させて
基板搬送アーム１２０で受け取った基板Ｗをガイド部１
２１Ａ、１２１Ｂで挟持する。

【００１１】以後、必要に応じて、ガイド部１２１Ａ、
１２１Ｂで基板Ｗを挟持した状態で、アーム基台１００
を移動させたりして基板Ｗが搬送される。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。

【００１３】第１従来例では、基板Ｗを受け取ってすぐ
に基板Ｗをガイド部１１２Ａ、１１２Ｂで挟持するの
で、受取位置から基板搬送アーム１１０をアーム基台に
向けて後退する基板Ｗの搬送を含めて、受け取った基板
Ｗを脱落などすることなく、基板Ｗの搬送を安全に行う
ことができる。

【００１４】しかしながら、この第１従来例の構成で
は、ガイド部材１１１Ａ、１１１Ｂを接離させる機構が
必要になるので、構成の複雑化やコスト高を招くという
問題がある。また、ガイド部材１１１Ａ、１１１Ｂを接
離させる機構を組み込む関係で基板搬送装置が大型化
し、コンパクトに構成しようとする基板処理装置などに
この第１従来例に係る基板搬送装置を搭載することがで
きないという問題もある。さらに、この第１従来例で
は、受取位置から基板搬送アーム１１０をアーム基台に
向けて後退させる前に、ガイド部材１１１Ａ、１１１Ｂ
を接離させて基板Ｗをガイド部１１２Ａ、１１２Ｂで挟
持する工程が必要になるので、スループットの向上を図
る上での妨げになる。

【００１５】一方、第２従来例では、基板搬送アーム１
２０の後退動作を利用して基板Ｗをガイド部１２１Ａ、
１２１Ｂで挟持するので、第１従来例のようなガイド部
材を接離するための特別な機構が不要となり、構成の簡
略化やコスト低減、基板搬送装置の小型化を図ることが
できる。

【００１６】しかしながら、第２従来例の構成では、基
板搬送アーム１２０が後退し終えた段階で基板Ｗがガイ
ド部１２１Ａ、１２１Ｂで挟持されるので、基板Ｗを受
け取った基板搬送アーム１２０の受取位置からの後退は
基板Ｗを非保持状態で行っている。そのため、基板搬送
アーム１２０を受取位置から後退させる途中で、基板Ｗ
を脱落などする危険が大きいという問題がある。また、
基板搬送アーム１２０の受取位置からの後退を低速で行
えば、基板Ｗの脱落をある程度抑制することが可能であ
るが、一方で、スループットが低下するという別意の問
題を引き起こすことになる。さらに、基板Ｗをガイド部
１２１Ａ、１２１Ｂで挟持した後の基板Ｗの搬送におい
て、基板搬送アーム１２０をアーム基台１００から前進
させる必要がある場合、第２従来例の構成では、必然的
に、ガイド部１２１Ａ、１２１Ｂによる基板Ｗの挟持が
解除されて、基板Ｗを非保持状態で、基板搬送アーム１
２０をアーム基台１００から前進させて基板Ｗを搬送す
ることになり、上述した基板搬送アーム１２０の受取位
置からの後退時と同様の問題が発生することになる。

【００１７】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、上述した各従来例の不都合を解消して
受取位置に置かれた基板を受け取って搬送する基板搬送
を好適に行うことができる基板搬送方法及び基板搬送装
置並びに基板搬送アームを提供することを目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の発明は、受取位置に置かれた基板
を受け取って搬送する基板搬送方法であって、規格最大
サイズの基板をガイドして保持し得るように形成したガ
イド部と、前記ガイド部の一部から外側に向かって高く
するように形成された傾斜部とを有する基板搬送アーム
を、前記受取位置に置かれた基板の下方の所定位置に位
置させる第１工程と、前記基板搬送アームと基板とを相
対的に上下動させて基板を前記基板搬送アームに受け取
る第２工程と、前記ガイド部を前記傾斜部が形成された
側に移動させる方向に、基板を受け取った前記基板搬送
アームを所定の加速度で移動させる第３工程と、を含む
ことを特徴とするものである。

【００１９】請求項２に記載の発明は、上記請求項１に
記載の基板搬送方法において、前記基板搬送アームは、
アーム基台に対して前進後退可能であり、前記傾斜部
は、前記アーム基台に対して前記基板搬送アームが前進
されるときに後尾となる側に形成されており、前記第１
工程では、前記基板搬送アームを前記アーム基台から前
進させて、前記基板搬送アームを前記受取位置に置かれ
た基板の下方の所定位置に位置させ、前記第３工程で
は、基板を受け取った前記基板搬送アームを所定の加速
度で前記アーム基台に向けて後退させることを特徴とす
るものである。

【００２０】請求項３に記載の発明は、上記請求項１ま
たは２に記載の基板搬送方法において、前記第１工程な
いし前記第３工程によって基板収容器に収容された基板
を前記基板搬送アームで受け取って取り出すことを特徴
とするものである。

【００２１】請求項４に記載の発明は、受取位置に置か
れた基板を受け取って搬送する基板搬送装置であって、
規格最大サイズの基板をガイドして保持し得るように形
成したガイド部と、前記ガイド部の一部から外側に向か
って高くするように形成された傾斜部とを有する基板搬
送アームと、前記基板搬送アームを移動させるアーム移
動手段と、前記受取位置に置かれた基板と前記基板搬送
アームとを相対的に上下動させる上下動手段と、前記基
板搬送アームを前記受取位置に置かれた基板の下方の所
定位置に位置させる第１工程と、前記基板搬送アームと
基板とを相対的に上下動させて基板を前記基板搬送アー
ムに受け取る第２工程と、前記ガイド部を前記傾斜部が
形成された側に移動させる方向に、基板を受け取った前
記基板搬送アームを所定の加速度で移動させる第３工程
とを含む制御を行う制御手段と、を備えたことを特徴と
するものである。

【００２２】請求項５に記載の発明は、上記請求項４に
記載の基板搬送装置において、前記アーム移動手段は、
前記基板搬送アームをアーム基台に対して前進後退させ
るように前記基板搬送アームを移動させるものであり、
前記傾斜部は、前記アーム基台に対して前記基板搬送ア
ームが前進されるときに後尾となる側に形成されてお
り、前記制御手段は、前記第１工程で、前記基板搬送ア
ームを前記アーム基台から前進させて、前記基板搬送ア
ームを前記受取位置に置かれた基板の下方の所定位置に
位置させるとともに、前記第３工程で、基板を受け取っ
た前記基板搬送アームを所定の加速度で前記アーム基台
に向けて後退させることを特徴とするものである。

【００２３】請求項６に記載の発明は、上記請求項４ま
たは５に記載の基板搬送装置において、前記制御手段
は、前記第１工程ないし前記第３工程によって基板収容
器に収容された基板を前記基板搬送アームで受け取って
取り出すことを特徴とするものである。

【００２４】請求項７に記載の発明は、受取位置に置か
れた基板を受け取って搬送する基板搬送に用いられる基
板搬送アームであって、規格最大サイズの基板をガイド
して保持し得るように形成したガイド部と、前記ガイド
部の一部から外側に向かって高くするように形成された
傾斜部と、を有することを特徴とするものである。

【００２５】なお、基板の規格最大サイズとは、基板の
規格サイズに対して許容されている規格誤差範囲のうち
の最大側のサイズである。例えば、２００mmの半導体ウ
エハの場合、（２００mm−（２００mm×ｅｄ％））〜
（２００mm＋（２００mm×ｅｕ％））の規格誤差範囲が
許容されている。ｅｄ、ｅｕは、コンマ以下数％であ
る。例えば、ｅｄ＝ｅｕ＝０．００１５％であれば、規
格誤差範囲は１９９．７mm〜２００．３mmであり、基板
の規格最大サイズは２００．３mmとなり、本発明におけ
るガイド部は、２００．３mmの基板をガイドして保持し
得るように形成している。

【００２６】

【作用】請求項１に記載の発明に係る基板搬送方法の作
用は次のとおりである。まず、第１工程で、規格最大サ
イズの基板をガイドして保持し得るように形成したガイ
ド部と、ガイド部の一部から外側に向かって高くするよ
うに形成された傾斜部とを有する基板搬送アームを、受
取位置に置かれた基板の下方の所定位置に位置させる。

【００２７】この所定位置は、次の第２工程で、受取位
置における基板の最大位置ズレ範囲内のどこに基板が置
かれていても、傾斜部が形成されていないガイド部の内
側に基板を位置させて受け取ることが可能な位置であ
る。

【００２８】次に、第２工程で、基板搬送アームと基板
とを相対的に上下動させて基板を基板搬送アームに受け
取る。基板搬送アームを上述した所定位置に位置させ
て、基板搬送アームと基板とを相対的に上下動させるの
で、傾斜部が形成されていないガイド部の内側に基板を
位置させて受け取ることができる。このとき、基板とガ
イド部の位置が合っていれば、基板はガイド部全体で保
持されるが、基板とガイド部の位置が合っていなけれ
ば、基板の一部が傾斜部に載置された状態で受け取られ
ることになる。

【００２９】そして、第３工程で、ガイド部を傾斜部が
形成された側に移動させる方向に、基板を受け取った基
板搬送アームを所定の加速度で移動させる。これによ
り、基板の一部が傾斜部に載置された状態で受け取られ
ていても、上記基板搬送アームの加速時に基板に働く慣
性力より、基板が傾斜部を滑り落ちてガイド部全体で保
持されることになる。

【００３０】以後、基板がガイド部全体で保持された状
態で、脱落などを起こさずに、基板の搬送を安全に行う
ことができる。

【００３１】なお、第２工程で、基板がガイド部全体で
保持された場合には、第３工程を含む基板の搬送を、基
板の脱落などを起こさずに安全に行うことができる。

【００３２】請求項２に記載の発明に係る基板搬送方法
によれば、まず、第１工程では、基板搬送アームをアー
ム基台から前進させて、基板搬送アームを前記受取位置
に置かれた基板の下方の所定位置に位置させ、次に、第
２工程で、基板搬送アームと基板とを相対的に上下動さ
せて基板を基板搬送アームに受け取る。これにより、基
板がガイド部全体で保持された状態か、基板の一部が傾
斜部に載置された状態で、基板が基板搬送アームに受け
取られることになる。

【００３３】そして、第３工程で、基板を受け取った基
板搬送アームを所定の加速度でアーム基台に向けて後退
させる。傾斜部は、アーム基台に対して基板搬送アーム
が前進されるときに後尾となる側に形成されているの
で、基板搬送アームをアーム基台に向けて後退させるこ
とにより、ガイド部を傾斜部が形成された側に移動させ
る方向に、基板搬送アームが移動されることになる。従
って、この第３工程によって、基板の一部が傾斜部に載
置された状態で受け取られていても、基板をガイド部全
体で保持させることができる。

【００３４】請求項３に記載の発明に係る基板搬送方法
によれば、受取位置である基板収容器内に収容された基
板の収容位置に置かれた基板を、第１工程ないし第３工
程によって基板搬送アームで受け取って取り出す。

【００３５】請求項４に記載の発明は、上記請求項１に
記載の基板搬送方法を好適に実施する基板搬送装置であ
って、その作用は次のとおりである。

【００３６】すなわち、制御手段は、まず、基板搬送ア
ームを受取位置に置かれた基板の下方の所定位置に位置
させる第１工程を行い、次に、上下動手段を駆動制御し
て基板搬送アームと基板とを相対的に上下動させて基板
を基板搬送アームに受け取る第２工程を行い、そして、
アーム移動手段を駆動制御してガイド部を傾斜部が形成
された側に移動させる方向に、基板を受け取った基板搬
送アームを所定の加速度で移動させる第３工程を行っ
て、受取位置に置かれた基板を受け取るとともに基板を
保持する。

【００３７】請求項５に記載の発明は、上記請求項２に
記載の基板搬送方法を好適に実施する基板搬送装置であ
って、その作用は次のとおりである。

【００３８】すなわち、制御手段は、まず、アーム移動
手段を駆動制御して基板搬送アームをアーム基台から前
進させて、基板搬送アームを受取位置に置かれた基板の
下方の所定位置に位置させて第１工程を行い、次に、上
下動手段を駆動制御して基板搬送アームと基板とを相対
的に上下動させて基板を基板搬送アームに受け取る第２
工程を行い、そして、アーム移動手段を駆動制御して基
板を受け取った基板搬送アームを所定の加速度でアーム
基台に向けて後退させる第３工程を行って、受取位置に
置かれた基板を受け取るとともに基板を保持する。

【００３９】請求項６に記載の発明は、上記請求項３に
記載の基板搬送方法を好適に実施する基板搬送装置であ
って、その作用は次のとおりである。

【００４０】すなわち、制御手段は、受取位置である基
板収容器内に収容された基板の収容位置に置かれた基板
を、第１工程ないし第３工程によって基板搬送アームで
受け取って取り出す。

【００４１】請求項７に記載の発明に係る基板搬送アー
ムを用いることで、上記請求項１に記載の基板搬送方法
を実施したり、上記請求項４に記載の基板搬送装置を実
現したりすることができる。

【００４２】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図１は本発明の第１実施例に係る
基板搬送装置の構成を示す平面図と縦断面図であり、図
２は第１実施例に係る基板搬送アームの拡大平面図と拡
大縦断面図である。

【００４３】この基板搬送装置は、アーム基台１に対し
て前進後退可能な基板搬送アーム２を備えている。

【００４４】図に示す基板搬送アーム２は、平面視で略
「Ｉ」の字型の形状を有し、バランスをとって半導体ウ
エハなどの円形基板Ｗを載置支持する複数（図では４
個）の突起３が形成されている。また、前進後退する方
向に分離して対向配備されたガイド部材４Ａ、４Ｂの内
壁面が、規格最大サイズＷＬ_MAX の基板Ｗをガイドして
保持し得るガイド部５Ａ、５Ｂとして形成され、このガ
イド部５Ａ、５Ｂの一部から外側に向かって高くするよ
うに傾斜部６が形成されている。この第１実施例では、
傾斜部５は、基板搬送アーム２が前進されるときに後尾
となる側であるガイド部５Ｂから外側に向かって高くす
るように形成されている。

【００４５】先にも説明したように、基板Ｗの規格最大
サイズＷＬ_MAX は、規格誤差範囲のうちの最大側のサイ
ズであるので、規格最大サイズＷＬ_MAX 以下の規格誤差
範囲内の各サイズの基板Ｗをガイド部５Ａ、５Ｂで保持
することができる。このガイド部５Ａ、５Ｂによる基板
Ｗの保持は、ガイド部材４Ａ、４Ｂに形成される凹部内
に基板Ｗを収容して基板Ｗの外周端縁をガイド部５Ａ、
５Ｂでガイドすることで行う。なお、規格最大サイズＷ
Ｌ_MAX よりも小さい規格誤差範囲内のサイズの基板Ｗを
ガイド部５Ａ、５Ｂで保持したとき、基板Ｗの外周端縁
とガイド部５Ａ、５Ｂとの間に若干の「遊び」が形成さ
れるが、規格誤差範囲は僅かであるので、このような基
板Ｗであっても十分に保持することができる。

【００４６】傾斜部６の水平方向の長さＴＬは、図１５
で説明した受取位置における基板Ｗの最大位置ズレ量
（α１＋α２）以上（ＴＬ≧（α１＋α２））としてい
る。

【００４７】ガイド部材４Ａは、傾斜部６を滑り落ちた
基板Ｗの外周端縁がガイド部５Ａに衝突した際に基板Ｗ
を破損させないような緩衝性を有する材料、例えば、フ
ッ素樹脂などで形成されている。一方、傾斜部６が形成
されたガイド部材４Ｂは、傾斜部６を基板Ｗが滑り落ち
る際に、基板Ｗを磨耗させたり、傾斜部６側が磨耗しな
いような材料、例えば、ベスペルなどで形成されてい
る。なお、ガイド部材４Ｂに関しては、保持した基板Ｗ
の外周端縁をガイドするガイド部５Ｂ部分を緩衝性を有
するフッ素樹脂などで形成し、傾斜部６部分を磨耗し難
いベスペルなどで形成するようにしてもよい。

【００４８】なお、傾斜部６と基板Ｗとの接触面積を少
なくするために、例えば、図３に示すように、傾斜部６
を複数本の突起列で形成してもよい。なお、図３は傾斜
部６をガイド部５Ａから見た図である。

【００４９】オリエンテーションフラット（以下「オリ
フラ」と略す）ＯＦが形成された基板Ｗを搬送する際に
は、ガイド部５Ａ、５Ｂの周方向の長さを、オリフラＯ
Ｆによって欠けた基板Ｗの外周部の周方向の長さよりも
大きく形成する。これにより、保持した基板Ｗのオリフ
ラＯＦがどの位置にあってもガイド部５Ａ、５Ｂ内で基
板Ｗが変動して保持が不完全になるような不都合を防止
することができる。

【００５０】図１に示すアーム移動機構７は、多関節型
の機構であり、基板搬送アーム２を含めて合計で３本以
上の奇数本（図では３本であるが、５本、７本、…であ
ってもよい）のアームセグメント２、１１、１２の連結
体で構成している。

【００５１】このアーム移動機構７は、アーム基台１に
設けられた電動モーターなどの回転駆動装置１３によっ
て、基端側の第３アームセグメント１２を水平面内で回
動自在にアーム基台１に支持し、中間の第２アームセグ
メント１１を水平面内で回動自在に第３アームセグメン
ト１２に支持し、先端側の第１アームセグメントである
基板搬送アーム２を水平面内で回動自在に第２アームセ
グメント１１に支持している。

【００５２】そして、基板搬送アーム２の基端部に下方
に向けて垂設固定され、第２アームセグメント１１の先
端部で軸受けされた第１回動軸１４の回動中心と、第２
アームセグメント１１の基端部に下方に向けて垂設固定
され、第３アームセグメント１２の先端部で軸受けされ
た第２回動軸１５の回動中心との間の長さ（第２アーム
セグメント１１の有効長）と、第２回動軸１５の回動中
心と、第３アームセグメント１２の基端部に下方に向け
て垂設固定され、回転駆動装置１３の回転力が伝達され
る第３回動軸１６の回動中心との間の長さ（第３アーム
セグメント１２の有効長）とを同じ長さＲに設定してい
る。

【００５３】また、第３回動軸１６と第２回動軸１５と
の間に設けられたベルト伝達機構と、第２回動軸１５と
第１回動軸１４との間に設けられたベルト伝達機構（い
ずれも図示せず）とによって、図４の動作概念図に示す
ように、回転駆動装置１３が第３回動軸１６を介して、
例えば、第３アームセグメント１２を角度θ１だけ所定
方向に回動させたとき、第２回動軸１５が第３回動軸１
６の２倍の角度θ２（＝２×θ１）だけ第３回動軸１６
と逆方向に回動され、第１回動軸１４は、第２回動軸１
５の１／２倍の角度θ３（＝θ１）だけ第２回動軸１５
と逆方向（第３回動軸１６と同じ方向）に回動させるよ
うに動力を伝達させている。

【００５４】これにより、回転駆動機構１３によって第
３回動軸１６を正逆方向に回転させることで、アーム基
台１に対する基板搬送アーム２の姿勢を維持しながらア
ーム基台１に対して基板搬送アーム２を前進後退させる
ことができる。

【００５５】なお、アーム移動機構７は、上述した多関
節型の機構に限らず、例えば、図５、図６に示すように
スライド型の機構で構成してもよい。なお、図５は、基
板搬送アーム２の前進後退のストロークを延ばすため
に、アーム基台１に対してスライド可能なスライド部材
１ａに対して基板搬送アーム２をスライドさせるように
構成した例であり、図６は、アーム基台１に対して基板
搬送アーム２を直接スライド可能に構成した例である。

【００５６】図７は、実施例装置の制御系の構成を示す
ブロック図である。図に示すように、アーム移動機構７
（回転駆動装置１３）や、上下動機構８、基台移動機構
９は、制御部１０によって制御され、以下のような動作
が実現される。この制御部１０は、例えば、コンピュー
ターなどによって構成されている。

【００５７】なお、上下動機構８は、基板搬送アーム２
と受取位置に置かれた基板Ｗとを相対的に上下動させる
ための機構であり、受取位置に置かれた基板Ｗに対して
基板搬送アーム２側を上下動させるものでもよいし、基
板搬送アーム２に対して受取位置に置かれた基板Ｗ側を
上下動させるものでもよいし、基板搬送アーム２と受取
位置に置かれた基板Ｗとを共に上下動させるものでもよ
い。また、基板搬送アーム２を上下動させる場合には、
アーム基台１を上下動させてアーム基台１とともに基板
搬送アーム２を上下動させてもよいし、アーム基台１に
対して基板搬送アーム２を上下動させてもよい。上下動
機構８の具体的な機構図は省略しているが、このような
上下動機構８は、例えば、ボールネジやコンベア、シリ
ンダなどの周知の１軸方向駆動機構で構成される。

【００５８】また、基台移動機構９は、必要に応じて設
けられるもので、アーム基台１を上下動させたり、鉛直
方向の軸芯周りで旋回動させたり、水平移動させたりし
て、アーム基台１を適宜に移動させるものである。この
ような基台移動機構９は、受取位置に置かれた基板Ｗを
取り出す前の、基板Ｗに対する基板搬送アーム２の位置
合わせや、受取位置に置かれた基板Ｗを受け取ってガイ
ド部５Ａ、５Ｂに保持した後、その基板Ｗを所望の場所
に搬送するような場合に用いられる。

【００５９】従って、受取位置に置かれた基板Ｗに対す
る基板搬送アーム２の位置合わせが固定され、受取位置
に置かれた基板Ｗを受け取って取り出す基板Ｗの搬送以
外の搬送を行わない基板搬送装置は、この基台移動機構
９は省略される。

【００６０】次に、上記構成を有する第１実施例装置を
用いた基板搬送方法を図８を参照して説明する。なお、
受取位置における基板Ｗの位置ズレに関しては、図１５
で説明したので、重複する説明は省略する。また、基板
Ｗに対する基板搬送アーム２の位置合わせが必要な場合
には、以下の第１工程の前に行っておく。

【００６１】まず、第１工程として、制御部１０は、ア
ーム移動機構７を駆動制御して、基板搬送アーム２をア
ーム基台１から前進させて、基板搬送アーム２を受取位
置に置かれた基板Ｗの下方の所定位置に位置させる（図
８（ａ））。

【００６２】この所定位置は、次の第２工程で、受取位
置における基板Ｗの最大位置ズレ範囲αＥ内のどこに基
板Ｗが置かれていても、傾斜部６が形成されていないガ
イド部５Ａの内側に基板Ｗを位置させて受け取ることが
可能な位置である。具体的には、例えば、受取位置にお
ける基板Ｗの最大位置ズレ範囲αＥのうち、アーム基台
１から離れた側の基板Ｗの最大ズレ位置ＥＰ１と、ガイ
ド部５Ａとが略一致する位置である。

【００６３】次に、第２工程として、制御部１０は、上
下動機構８を駆動制御して、基板搬送アーム２と基板Ｗ
とを相対的に上下動させて基板Ｗを基板搬送アーム２に
受け取る（図８（ｂ）、（ｃ））。基板搬送アーム２を
図８（ａ）に示す所定位置に位置させて、基板搬送アー
ム２と基板Ｗとを相対的に上下動させるので、傾斜部６
が形成されていないガイド部５Ａの内側に基板Ｗを位置
させて基板搬送アーム２に基板Ｗを受け取ることができ
る。ここで、図８（ａ）の二点鎖線で示すように、基板
Ｗがアーム基台１から最も離れた側のズレ位置に置かれ
ていた場合、この基板Ｗとガイド部５Ａ、５Ｂの位置と
が合っているので、基板Ｗはガイド部５Ａ、５Ｂ内に収
容されて保持される（図８（ｂ））。また、それ以外の
位置に基板Ｗが置かれていれば、基板Ｗの一部が傾斜部
６に載置された状態で基板Ｗが基板搬送アーム２に受け
取られることになる（図８（ｃ））。

【００６４】そして、第３工程として、制御部１０は、
アーム移動機構７を駆動制御して、基板Ｗを受け取った
基板搬送アーム２を所定の加速度でアーム基台１に向け
て後退、すなわち、ガイド部５Ａ、５Ｂを傾斜部６が形
成された側に移動させる方向ＹＢに、基板搬送アーム２
を所定の加速度で移動させる（図８（ｄ））。これによ
り、基板Ｗの一部が傾斜部６に載置された状態で受け取
られていても、上記基板搬送アーム２の加速時に基板Ｗ
に働く慣性力Ｆより、基板Ｗが傾斜部６を滑り落ちてガ
イド部５Ａ、５Ｂ内に収容されて保持されることにな
る。

【００６５】なお、上記所定の加速度は、基板Ｗと傾斜
部６との接触部分に働いている摩擦力によって基板Ｗの
一部の傾斜部６への載置を維持する状態を失わせるだけ
の慣性力Ｆを基板Ｗに働かせ得る加速度である。この加
速度は、基板Ｗの重量や基板Ｗと傾斜部６との摩擦係
数、傾斜部６の傾斜角度などによって決まる値であり、
実験や計算などによって決めることができる。

【００６６】以後、基板Ｗがガイド部５Ａ、５Ｂ内に収
容されて保持された状態で、脱落などを起こさずに、基
板Ｗの搬送を安全に行うことができる。

【００６７】なお、第２工程で、基板Ｗがガイド部５
Ａ、５Ｂに収容されて保持された場合には、第３工程を
含む基板Ｗの搬送を、基板Ｗの脱落などを起こさずに安
全に行うことができる。

【００６８】ところで、従来例でも説明したが、アーム
基台１（１００）に対して前進後退可能な基板搬送アー
ム２（１１０、１２０）を備えた基板搬送装置を用いた
基板搬送方法は、一般的に、基板搬送アーム２（１１
０、１２０）をアーム基台１（１００）から前進させ
て、基板搬送アーム２（１１０、１２０）を受取位置に
置かれた基板Ｗの下方の所定位置に位置させ、基板搬送
アーム２（１１０、１２０）と基板Ｗとを相対的に上下
動させて基板Ｗを基板搬送アーム２（１１０、１２０）
に受け取り、基板Ｗを受け取った基板搬送アーム２（１
１０、１２０）をアーム基台１（１００）に向けて後退
させる工程からなる。従って、この実施例装置及び図８
に示す基板搬送方法によれば、アーム基台１（１００）
に対して前進後退可能な基板搬送アーム２（１１０、１
２０）を備えた基板搬送装置を用いた基板搬送方法にお
いて、最も少ない動作工程で、受取位置に置かれた基板
Ｗを受け取るとともに、基板Ｗを保持して搬送すること
ができる。よって、第１従来例のように、ガイド部材１
１１Ａ、１１１Ｂを接離させて基板Ｗをガイド部１１２
Ａ、１１２Ｂで挟持する工程や、後述する第２実施例の
ように、基板Ｗを受け取った基板搬送アーム２をさらに
所定の加速度で所定の移動量だけ前進させて基板Ｗをガ
イド部５Ａ、５Ｂ内に収容して保持する工程などの無駄
な工程をなくすことができ、スループットの向上を図る
ことができる。

【００６９】また、この実施例は、規格最大サイズＷＬ
_MAX の基板Ｗをガイドして保持し得るように形成したガ
イド部５Ａ、５Ｂと、ガイド部５Ａ、５Ｂの一部から外
側に向かって高くするように形成された傾斜部６を基板
搬送アーム２に設け、その基板搬送アーム２の移動制御
と、基板搬送アーム２と受取位置に置かれた基板Ｗの相
対的な上下動の制御とによって、受取位置に置かれた基
板Ｗを受け取るとともに、基板Ｗを保持することがで
き、第１従来例のようなガイド部材１１１Ａ、１１１Ｂ
を接離させるための特別な機構を必要とせず、構成の簡
略化やコスト低減、基板搬送装置の小型化を図ることが
できる。

【００７０】図９は、上記実施例装置が受取位置からア
ーム基台１まで後退する際の基板搬送アーム２の後退速
度（ＳＰ１）と、第２従来例が受取位置からアーム基台
１００まで後退する際の基板搬送アーム１２０の後退速
度（ＳＰ２）とを比較したのである。第２従来例では、
受け取った基板Ｗを脱落させないために、後退開始時の
加速と後退終了時の減速を小さくするとともに、後退時
の後退速度を遅くしなければならない。これに対して、
上記実施例では、一部が傾斜部６に載置された基板Ｗを
ガイド部５Ａ、５Ｂ内に収容して保持するために、後退
開始時の加速をある程度大きくし、また、以後は基板Ｗ
を保持しているので、後退時の後退速度をある程度速く
することも可能である。その結果、図９からも明らかな
ように、上記実施例によれば、第２従来例よりも基板搬
送アーム２の受取位置からアーム基台１までの後退動作
に要する時間を大幅に短縮することができ、スループッ
トの向上を図ることができる。

【００７１】また、規格最大サイズＷＬ_MAX の基板Ｗを
ガイドして保持し得るように形成したガイド部５Ａ、５
Ｂに基板Ｗを保持して搬送するので、結果的に、基板Ｗ
を所定の位置に位置決めすることもできる。従って、特
別な基板Ｗの位置決め機構を別途設けることなく、基板
Ｗの位置決めも行うことができる。

【００７２】次に、上記構成を有する第１実施例装置を
用いた別の基板搬送方法を図１０を参照して説明する。

【００７３】この基板搬送方法では、第１工程で基板搬
送アーム２を位置させる所定位置を図１０（ａ）に示す
位置としたものである。

【００７４】すなわち、受取位置における基板Ｗの最大
位置ズレ範囲αＥのうち、アーム基台１から離れた側の
基板Ｗの最大ズレ位置ＥＰ１よりも、ガイド部５Ａがさ
らにアーム基台１から離れる側に配置された位置を所定
位置としている。なお、この基板搬送方法を行う場合
は、傾斜部６の水平方向の長さＴＬを、受取位置におけ
る基板Ｗの最大位置ズレ量（α１＋α２）に、最大ズレ
位置ＥＰ１とガイド部５Ａとのズレ量βを加算した結果
以上（ＴＬ≧（α１＋α２＋β））とする。

【００７５】図１０（ａ）の状態で、制御部１０が、上
下動機構８を駆動制御して、基板搬送アーム２と基板Ｗ
とを相対的に上下動させて基板Ｗを基板搬送アーム２に
受け取る（図１０（ｂ）、（ｃ））と、基板Ｗが最大位
置ズレ範囲αＥ内のどこに置かれていても、常に、傾斜
部６が形成されていないガイド部５Ａの内側に基板Ｗが
位置されるとともに、基板Ｗの一部が傾斜部６に載置さ
れた状態で基板Ｗが基板搬送アーム２に受け取られるこ
とになる。なお、図１０（ｂ）は、アーム基台１から最
も離れた側のズレ位置に置かれた基板Ｗを基板搬送アー
ム２で受け取った場合を、図１０（ｃ）は、アーム基台
１に最も近い側のズレ位置に置かれた基板Ｗを基板搬送
アーム２で受け取った場合をそれぞれ示している。

【００７６】以後は図８の基板搬送方法と同様に、制御
部１０は、アーム移動機構７を駆動制御して、基板Ｗを
受け取った基板搬送アーム２を所定の加速度でアーム基
台１に向けて後退させると、図８の基板搬送方法で説明
したように、傾斜部６に一部が載置された基板Ｗは傾斜
部６を滑り落ちてガイド部５Ａ、５Ｂ内に収容されて保
持されることになる。

【００７７】このような基板搬送方法であっても、図８
で説明した基板搬送方法と同様の効果を得ることができ
る。

【００７８】次に、本発明に係る第２実施例を図１１を
参照して説明する。図１１は本発明の第２実施例に係る
基板搬送アームの拡大平面図と拡大縦断面図である。

【００７９】この第２実施例装置は、基板搬送アーム２
が前進されるときに先頭となる側であるガイド部５Ａか
ら外側に向かって高くするように傾斜部６を形成したこ
とを特徴とするもので、それ以外の構成は第１実施例と
同じであるのでその詳述を省略する。

【００８０】次に、この第２実施例装置を用いた基板搬
送方法を図１２を参照して説明する。

【００８１】まず、第１工程として、制御部１０は、ア
ーム移動機構７を駆動制御して、基板搬送アーム２をア
ーム基台１から前進させて、基板搬送アーム２を受取位
置に置かれた基板Ｗの下方の所定位置に位置させる（図
１２（ａ））。

【００８２】この所定位置は、次の第２工程で、受取位
置における基板Ｗの最大位置ズレ範囲αＥ内のどこに基
板Ｗが置かれていても、傾斜部６が形成されていないガ
イド部５Ｂの内側に基板Ｗを位置させて基板搬送アーム
２で基板Ｗを受け取ることが可能な位置である。具体的
には、例えば、受取位置における基板Ｗの最大位置ズレ
範囲αＥのうち、アーム基台１に近い側の基板Ｗの最大
ズレ位置ＥＰ２と、ガイド部５Ｂとが略一致する位置で
ある。

【００８３】次に、第２工程として、制御部１０は、上
下動機構８を駆動制御して、基板搬送アーム２と基板Ｗ
とを相対的に上下動させて基板Ｗを基板搬送アーム２に
受け取る（図１２（ｂ）、（ｃ））。基板搬送アーム２
を図１２（ａ）に示す所定位置に位置させて、基板搬送
アーム２と基板Ｗとを相対的に上下動させるので、傾斜
部６が形成されていないガイド部５Ｂの内側に基板Ｗを
位置させて基板Ｗを基板搬送アーム２に受け取ることが
できる。ここで、図１２（ａ）の二点鎖線で示すよう
に、基板Ｗがアーム基台１に最も近い側のズレ位置に置
かれていた場合、この基板Ｗとガイド部５Ａ、５Ｂの位
置とが合っているので、基板Ｗはガイド部５Ａ、５Ｂ内
に収容されて保持される（図１２（ｂ））。また、それ
以外の位置に基板Ｗが置かれていれば、基板Ｗの一部が
傾斜部６に載置された状態で基板Ｗが基板搬送アーム２
に受け取られることになる（図１２（ｃ））。

【００８４】そして、第３工程として、制御部１０は、
アーム移動機構７を駆動制御して、基板Ｗを受け取った
基板搬送アーム２を所定の加速度で所定の移動量だけア
ーム基台１からさらに前進、すなわち、ガイド部５Ａ、
５Ｂを傾斜部６が形成された側に移動させる方向ＹＦ
に、基板搬送アーム２を所定の加速度で移動させる（図
１２（ｄ））。これにより、基板Ｗの一部が傾斜部６に
載置された状態で受け取られていても、上記基板搬送ア
ーム２の加速時に基板Ｗに働く慣性力Ｆにより、基板Ｗ
が傾斜部６を滑り落ちてガイド部５Ａ、５Ｂ内に収容さ
れて保持されることになる。

【００８５】なお、上記所定の移動量は、一部が傾斜部
６に載置された基板Ｗをガイド部５Ａ、５Ｂ内に収容し
て保持し得るだけのごく僅かな移動量であり、実験など
によって決めておく。

【００８６】最後に制御部１０は、アーム移動機構７を
駆動制御して、ガイド部５Ａ、５Ｂで基板Ｗを保持した
基板搬送アーム２をアーム基台１に向けて後退させる。

【００８７】この第２実施例装置を用いた基板搬送方法
では、上記第１実施例装置を用いた基板搬送方法に比べ
て、基板Ｗを受け取った基板搬送アーム２をさらに所定
の加速度で所定の移動量だけ前進させて基板Ｗをガイド
部５Ａ、５Ｂ内に収容して保持する工程が必要になる
が、それ以外は、上記第１実施例装置を用いた基板搬送
方法と同様の効果を得ることができる。

【００８８】なお、上記構成を有する第２実施例装置を
用いた基板搬送方法としては、以下のような方法で行う
こともできる。

【００８９】すなわち、第１工程での基板搬送アーム２
を位置させる所定位置を、受取位置における基板Ｗの最
大位置ズレ範囲αＥのうち、アーム基台１に近い側の基
板Ｗの最大ズレ位置ＥＰ２（図１２参照）よりも、ガイ
ド部５Ｂがさらにアーム基台１に近い側に配置された位
置とする。なお、この基板搬送方法を行う場合は、傾斜
部６の水平方向の長さＴＬを、受取位置における基板Ｗ
の最大位置ズレ量（α１＋α２）に、最大ズレ位置ＥＰ
２とガイド部５Ｂの内壁面５Ｂａとのズレ量（γとす
る）を加算した結果以上（ＴＬ≧（α１＋α２＋γ））
とする。

【００９０】これにより、制御部１０が、上下動機構８
を駆動制御して、基板搬送アーム２と基板Ｗとを相対的
に上下動させて基板Ｗを基板搬送アーム２に受け取る
と、基板Ｗが最大位置ズレ範囲αＥ内のどこに置かれて
いても、常に、傾斜部６が形成されていないガイド部５
Ｂの内側に基板Ｗが位置されるとともに、基板Ｗの一部
が傾斜部６に載置された状態で基板Ｗが基板搬送アーム
２に受け取られることになる。

【００９１】そして、制御部１０が、アーム移動機構７
を駆動制御して、基板Ｗを受け取った基板搬送アーム２
を所定の加速度で所定の移動量だけアーム基台１からさ
らに前進させると、図１２の基板搬送方法で説明したよ
うに、傾斜部６に一部が載置された基板Ｗは傾斜部６を
滑り落ちてガイド部５Ａ、５Ｂ内に収容されて保持され
ることになる。

【００９２】最後に制御部１０は、アーム移動機構７を
駆動制御して、ガイド部５Ａ、５Ｂで基板Ｗを保持した
基板搬送アーム２をアーム基台１に向けて後退させる。

【００９３】このような基板搬送方法であっても、図１
２で説明した基板搬送方法と同様の効果を得ることがで
きる。

【００９４】なお、上記各実施例では、ガイド部５Ａ、
５Ｂを曲面で形成して、ガイド部５Ａ、５Ｂによる基板
Ｗの保持を基板Ｗの外周端縁と線接触させて行うように
構成したが、ガイド部を複数本のピンで構成し、このガ
イド部としてのピンに基板Ｗの外周端縁の複数箇所を点
接触させて保持するように構成してもよい。

【００９５】また、上記各実施例では、平面視で略
「Ｉ」の字型の基板搬送アームを例に採り説明したが、
その他の形状の基板搬送アーム、例えば、図１３に示す
ような平面視で略「Ｕ」の字型の基板搬送アームであっ
ても本発明は同様に適用することができる。なお、図１
３（ａ）は、基板搬送アームの変形例の拡大平面図であ
り、図１３（ｂ）は図１３（ａ）のＡ−Ａ矢視断面図で
ある。また、図１３ではガイド部材４Ｂ（前進させたと
きの後尾側となる）に傾斜部６を形成した場合を示して
いるが、ガイド部材４Ａ側に傾斜部６を形成した構成で
あってもよい。

【００９６】次に、上記実施例装置の具体的な適用例を
図１４に示す基板処理装置を例に採り説明する。

【００９７】この基板処理装置は、レジスト塗布処理や
熱処理（加熱処理、冷却処理を含む）、現像処理などの
各種の基板処理を行うための装置であり、 基板搬入搬
出部ＩＤと、各種の基板処理を行う処理ユニットＳＣ、
ＴＰ、ＳＤが配設された処理ユニット部ＰＵと、処理ユ
ニット部ＰＵと露光装置ＥＰとの間で基板Ｗを受け渡す
インターフェース部ＩＦとを備えている。

【００９８】基板搬入搬出部ＩＤには、複数枚の基板Ｗ
を所定間隔で積層収容する基板収容器としてのカセット
Ｃを載置するカセット載置台２１と、カセットＣと処理
ユニット部ＰＵとの間で基板Ｗを搬送する第１の基板搬
送装置ＴＲ１と、第１の基板搬送装置ＴＲ１の搬送路２
２とを備えている。

【００９９】第１の基板搬送装置ＴＲ１は、カセットＣ
に収容された基板Ｗを受け取って取り出し、搬送して処
理ユニット部ＰＵ内に搭載された第２の基板搬送装置Ｔ
Ｒ２に引き渡すとともに、一連の基板処理を終えた基板
Ｗを第２の基板搬送装置ＴＲ２から受け取ってカセット
Ｃに収容する。

【０１００】この第１の基板搬送装置ＴＲ１は、上下動
可能で図のＹ方向への（搬送路２２に沿った）水平移動
が可能な図示しないアーム基台とこのアーム基台に対し
て前進後退可能な図示しない基板搬送アームとを備えて
いる。そして、アーム基台を水平移動させて所望のカセ
ットＣの前にアーム基台を位置させ、アーム基台を上下
動させて所望のカセットＣにおける目的とする基板Ｗの
収容位置に対する基板Ｗの取り出し・収容高さに基板搬
送アームを位置させ、カセットＣに対する基板Ｗの取り
出しや収容が行われる。また、第２の基板搬送装置ＴＲ
２との間の基板Ｗの受け渡しは、処理ユニット部ＰＵに
配設された第２の基板搬送装置ＴＲ２の搬送路３１の前
にアーム基台を位置させるとともに基板搬送アームを所
定の高さに位置させて行われる。

【０１０１】処理ユニット部ＰＵは、第２の基板搬送装
置ＴＲ２の配送路３１を挟んで一方側にレジスト塗布処
理用のスピンコーターＳＣ、他方側に現像処理用のスピ
ンデベロッパーＳＤが配設され、また、スピンコーター
ＳＣやスピンデベロッパーＳＤの上方に熱処理部ＴＰが
配設されている。

【０１０２】第２の基板搬送装置ＴＲ２は、基板搬入搬
出部ＩＤ内の第１の基板搬送装置ＴＲ１から未処理の基
板Ｗを受け取って、各処理ユニットＳＣ、ＴＰ、ＳＤの
間を循環搬送させ、所定の処理順序に従って、各処理ユ
ニットＳＣ、ＴＰ、ＳＤに対する基板Ｗの受け渡しを行
う。この循環搬送の途中で、インターフェイス部ＩＦ内
に搭載された第３の基板搬送装置ＴＲ３に露光処理前の
基板処理を終えた基板Ｗを引き渡すとともに、第３の基
板搬送装置ＴＲ３から露光処理済の基板Ｗを受け取る。

【０１０３】この第２の基板搬送装置ＴＲ２は、上下動
可能で、かつ、鉛直方向の軸芯周りの旋回動も可能な図
示しないアーム基台とこのアーム基台に対して前進後退
可能な図示しない基板搬送アームとを備えている。そし
て、アーム基台を適宜に上下動や旋回動させて、基板搬
送アームを所定の高さに位置させるとともに、基板搬入
搬出部ＩＤに向けて基板搬送アームを前進後退できるよ
うにして、基板搬入搬出部ＩＤ寄りの基板受け渡し位置
において、第１の基板搬送装置ＴＲ１との間で基板Ｗの
受け渡しが行われる。また、アーム基台を適宜に上下動
や動旋回させて、基板搬送アームを所定の高さに位置さ
せるとともに、受渡しを行う処理ユニットＳＣ、ＴＰ、
ＳＤに向けて基板搬送アームを前進後退できるようにし
て、その処理ユニットＳＣ、ＴＰ、ＳＤとの間で基板Ｗ
の受け渡しが行われる。さらに、アーム基台を適宜に上
下動や旋回動させて、基板搬送アームを所定の高さに位
置させるとともに、インターフェイス部ＩＦに向けて基
板搬送アームを前進後退できるようにして、インターフ
ェイス部ＩＦ寄りの基板受け渡し位置において、第３の
基板搬送装置ＴＲ３との間で基板Ｗの受け渡しが行われ
る。

【０１０４】インターフェイス部ＩＦは、第３の基板搬
送装置ＴＲ３の他に、露光装置ＥＰとの間で基板Ｗを受
け渡しするための複数本の基板支持ピン４１が立設され
た受け渡し台４２Ａ、４２Ｂや、処理ユニット部ＰＵで
の処理時間と、露光装置ＥＰでの処理時間のズレを吸収
するためにインターフェイス部ＩＦで基板Ｗを一時的に
待機収容する基板収容器４３、第３の基板搬送装置ＴＲ
３の搬送路４４などを備えている。

【０１０５】第３の基板搬送装置ＴＲ３は、処理ユニッ
ト部ＰＵ内の第２の基板搬送装置ＴＲ２から露光処理前
の基板処理を終えた基板Ｗを受け取って、一方側の受け
渡し台４２Ａに立設された基板支持ピン４１にその基板
Ｗを載置させるとともに、他方側の受け渡し台４２Ｂに
立設された基板支持ピン４１に載置された露光処理済の
基板Ｗを受け取って、処理ユニット部ＰＵ内の第２の基
板搬送装置ＴＲ２にその基板Ｗを引き渡す。なお、第２
の基板搬送装置ＴＲ２から受け渡し台４２Ａへの基板Ｗ
の搬送時に、前に搬送した基板Ｗが受け渡し台４２Ａに
残留している状態であれば、今回搬送してきた基板Ｗを
基板収容器４３に収容する。そして、受け渡し台４２Ａ
に残留している基板Ｗが露光装置ＥＰに取り込まれて受
け渡し台４２Ａが空くと基板収容器４３に収容した基板
Ｗを取り出して受け渡し台４２Ａに立設された基板支持
ピン４１に載置させる。同様に、受け渡し台４２Ｂから
第２の基板搬送装置ＴＲ２への基板Ｗの搬送時に、第２
の基板搬送装置ＴＲ２が基板Ｗの受け取り状態にないと
きには、今回搬送してきた基板Ｗを基板収容器４３に収
容し、第２の基板搬送装置ＴＲ２が基板Ｗの受け取り状
態になると、基板収容器４３に収容した基板Ｗを取り出
して第２の基板搬送装置ＴＲ２に引き渡す。

【０１０６】この第３の基板搬送装置ＴＲ３は、上下動
可能で図のＹ方向への（搬送路４４に沿った）水平移動
が可能、かつ、鉛直方向の軸芯周りの旋回動も可能な図
示しないアーム基台とこのアーム基台に対して前進後退
可能な図示しない基板搬送アームとを備えている。そし
て、アーム基台を適宜に移動させて、処理ユニット部Ｐ
Ｕ内の搬送路３１の前にアーム基台を位置させ、基板搬
送アームを所定の高さに位置させて、第２の基板搬送装
置ＴＲ２との間で基板Ｗの受け渡しが行われる。また、
アーム基台を適宜に移動させて、受け渡し台４２Ａ、４
２Ｂの前にアーム基台を位置させ、基板搬送アームを所
定の高さに位置させるとともに、受け渡し台４２Ａ、４
２Ｂに向けて基板搬送アームを前進後退できるようにし
て、受け渡し台４２Ａに立設された基板支持ピン４１へ
の基板Ｗの載置や、受け渡し台４２Ｂに立設された基板
支持ピン４１に載置された基板Ｗの受け取りが行われ
る。さらに、アーム基台を適宜に移動させて、基板収容
器４３の前にアーム基台を位置させ、基板搬送アームを
所定の高さに位置させるとともに、基板収容器４３に向
けて基板搬送アームを前進後退できるようにして、基板
収容器４３に対する基板Ｗの収容・取り出しが行われ
る。

【０１０７】なお、露光装置ＥＰにも露光装置ＥＰ内に
おける基板Ｗの搬送を行う図示しない基板搬送装置を備
えている。そして、この基板搬送装置によって、インタ
ーフェイス部ＩＦ内の受け渡し台４２Ａに立設された基
板支持ピン４１に載置された露光処理前の基板処理を終
えた基板Ｗを受け取って露光装置ＥＰ内に取り込んだ
り、露光処理済の基板Ｗをインターフェイス部ＩＦ内の
受け渡し台４２Ｂに立設された基板支持ピン４１に載置
したりする。

【０１０８】また、上記装置において、第１の基板搬送
装置ＴＲ１の基板搬送アームと第２の基板搬送装置ＴＲ
２の基板搬送アームとが干渉せずに、これら基板搬送ア
ーム間の基板Ｗの受け渡しが行えるとともに、第２の基
板搬送装置ＴＲ２の基板搬送アームと第３の基板搬送装
置ＴＲ３の基板搬送アームとが干渉せずに、これら基板
搬送アーム間の基板Ｗの受け渡しが行えるようにするた
めには、例えば、第１の基板搬送装置ＴＲ１の基板搬送
アームと基板搬送装置ＴＲ３の基板搬送アームとを上記
実施例のような平面視で「Ｉ」の字型の形状とし、一方
で、第２の基板搬送装置ＴＲ２の基板搬送アームを図１
３の変形例のような平面視で「Ｕ」の字型の形状とすれ
ばよい。

【０１０９】上記構成の基板処理装置において、例え
ば、第１の基板搬送装置ＴＲ１を、上述した実施例やそ
の変形例などに係る基板搬送装置で構成し、カセットＣ
から基板Ｗを受け取って取り出す基板Ｗの搬送を、上述
した実施例で説明した基板搬送方法で行うことができ
る。

【０１１０】なお、この場合、第１の工程では、目的と
する基板Ｗとその下に収納された基板Ｗとの間に基板搬
送アーム２を挿入させ、目的とする基板Ｗの下方の所定
位置に位置させ、第２工程では目的とする基板Ｗがその
上に収納された基板Ｗと干渉しない高さ位置まで基板搬
送アーム２と基板Ｗとの上下動を行い、目的とする基板
Ｗの上に収納された基板Ｗの下方において第３工程を行
う。

【０１１１】カセットＣ内に収容された各基板Ｗの収容
位置（受取位置）は、各基板Ｗごとでバラツキがある
が、上述した実施例で説明した基板搬送方法によれば、
全ての基板Ｗに対して同じ動作で基板Ｗを保持してカセ
ットＣから取り出すことができる。

【０１１２】なお、第１の基板搬送装置ＴＲ１のアーム
基台を鉛直方向の軸芯周りで旋回動可能に構成し、第１
の基板搬送装置ＴＲ１のアーム基台に対して第１の基板
搬送装置ＴＲ１の基板搬送アームを前進後退させて第２
の基板搬送装置ＴＲ２に対する基板Ｗの受け渡しを行う
場合には、第２の基板搬送装置ＴＲ２から基板Ｗを受け
取る基板Ｗの搬送を、上述した実施例で説明した基板搬
送方法で行うこともできる。

【０１１３】また、第２の基板搬送装置ＴＲ２を、上述
した実施例やその変形例などに係る基板搬送装置で構成
し、第１の基板搬送装置ＴＲ１から基板Ｗを受け取る際
の基板Ｗの搬送や、各処理ユニットＳＣ、ＴＰ、ＳＤか
ら基板Ｗを受け取る際の基板Ｗの搬送、第３の基板搬送
装置ＴＲ３から基板Ｗを受け取る際の基板Ｗの搬送を上
述した実施例で説明した基板搬送方法で行うこともでき
る。

【０１１４】さらに、第３の基板搬送装置ＴＲ３を、上
述した実施例やその変形例などに係る基板搬送装置で構
成し、基板収容器４３から基板Ｗを受け取って取り出す
基板Ｗの搬送や、基板受け渡し台４２Ｂから基板Ｗを受
け取る際の基板Ｗの搬送を上述した実施例で説明した基
板搬送方法で行うこともできる。なお、第３の基板搬送
装置ＴＲ３のアーム基台に対して第３の基板搬送装置Ｔ
Ｒ３の基板搬送アームを前進後退させて第２の基板搬送
装置ＴＲ２に対する基板Ｗの受け渡しを行う場合には、
第２の基板搬送装置ＴＲ２から基板Ｗを受け取る際の基
板Ｗの搬送も、上述した実施例で説明した基板搬送方法
で行うこともできる。

【０１１５】なお、基板収容器４３は、通常、カセット
Ｃと同様に複数枚の基板Ｗを積層収納可能に構成されて
いるので、基板収容器４３から基板Ｗを受け取って取り
出す基板Ｗの搬送を実施例で説明した基板搬送方法で行
うことにより、カセットＣから基板Ｗを受け取って取り
出す基板Ｗの搬送を上述した実施例で説明した基板搬送
方法で行う場合と同様に、基板収容器４３内に収容され
た各基板Ｗに対して全て同じ動作で基板Ｗを保持して基
板収容器４３から取り出すことができる。

【０１１６】また、露光装置ＥＰに設けられた図示しな
い基板搬送装置を、上述した実施例やその変形例などに
係る基板搬送装置で構成し、基板受け渡し台４２Ａから
基板Ｗを受け取る際の基板Ｗの搬送を上述した実施例で
説明した基板搬送方法で行うこともできる。

【０１１７】なお、本発明に係る基板搬送方法及び基板
搬送装置は、その他の構成の基板処理装置における基板
搬送や、その他の工程を行う基板処理装置における基板
搬送にも適用することができる。

【０１１８】また、基板処理装置内の基板搬送以外であ
っても、受取位置に置かれた基板を受け取って搬送する
基板搬送に本発明を適用することができる。

【０１１９】さらに、上記実施例などでは、半導体ウエ
ハのような円形基板の搬送を例に採り説明したが、液晶
表示器用のガラス基板のような角型の基板の搬送にも本
発明は同様に適用することができる。

【０１２０】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に記載の発明に係る基板搬送方法によれば、規格最大
サイズの基板をガイドして保持し得るように形成したガ
イド部と、ガイド部の一部から外側に向かって高くする
ように形成された傾斜部とを有する基板搬送アームを用
いて、基板の下方の所定位置から基板をすくい上げるよ
うに基板搬送アームに基板を受け取って、基板がガイド
部全体に保持された状態か、基板の一部が傾斜部に載置
された状態にし、基板の一部が傾斜部に載置された状態
でも、慣性力を利用して基板をガイド部全体に保持する
ようにしたので、基板搬送アームに基板を受け取ってす
ぐにガイド部で基板を保持した状態で、以後の基板の搬
送を行うことができ、基板の脱落などを防止して基板の
搬送を安全に行うことができる。

【０１２１】また、第１従来例のようなガイド部を接離
させるための特別な機構を必要としないので、構成の簡
略化やコスト低減、基板搬送装置の小型化を図ることが
できる。

【０１２２】従って、第１、第２従来例の不都合を解消
して受取位置に置かれた基板を受け取って搬送する基板
搬送を好適に行うことができる。

【０１２３】また、規格最大サイズの基板をガイドして
保持し得るように形成したガイド部に基板を保持して搬
送するので、特別な基板の位置決め機構を別途設けるこ
となく、基板の受け取り動作中の基板の保持によって、
結果的に、基板を所定の位置に位置決めすることもでき
る。

【０１２４】請求項２に記載の発明に係る基板搬送方法
によれば、アーム基台に対して前進後退可能な基板搬送
アームが、アーム基台に対して前進されるときに後尾と
なる側に傾斜部を形成し、第１工程では、基板搬送アー
ムをアーム基台から前進させて、基板搬送アームを受取
位置に置かれた基板の下方の所定位置に位置させ、第３
工程では、基板を受け取った基板搬送アームを所定の加
速度でアーム基台に向けて後退させ、基板の一部が傾斜
部に載置された状態でも、この後退時にガイド部で基板
を保持するようにしたので、アーム基台に対して前進後
退可能な基板搬送アームを備えた基板搬送装置を用いた
基板搬送において、最も少ない動作工程で、受取位置に
置かれた基板を受け取るとともに、基板を保持して搬送
することができる。また、基板搬送アームの後退自体を
高速で行うこともできる。従って、スループットの一層
の向上を図ることができる。

【０１２５】請求項３に記載に発明によれば、基板収容
器に収容された基板を受け取って取り出す基板の搬送を
好適に行うことができる。また、基板収容器に複数枚の
基板が収容されている場合でも、全ての基板に対して同
じ動作で基板を保持して取り出すことができる。

【０１２６】請求項４に記載の発明によれば、請求項１
に記載の基板搬送方法を好適に実施する基板搬送装置を
実現することができる。

【０１２７】請求項５に記載の発明によれば、請求項２
に記載の基板搬送方法を好適に実施する基板搬送装置を
実現することができる。

【０１２８】請求項６に記載の発明によれば、請求項３
に記載の基板搬送方法を好適に実施する基板搬送装置を
実現することができる。

【０１２９】請求項７に記載の発明によれば、請求項１
に記載の基板搬送方法や請求項４に記載の基板搬送装置
に用いる基板搬送アームを実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係る基板搬送装置の要部
構成を示す平面図と縦断面図である。

【図２】第１実施例に係る基板搬送アームの拡大平面図
と拡大縦断面図である。

【図３】傾斜部の変形例を示す図である。

【図４】多関節型のアーム移動機構の動作概念図であ
る。

【図５】スライド型のアーム移動機構の平面図と縦断面
図である。

【図６】別の種類のスライド型のアーム移動機構の平面
図と縦断面図である。

【図７】実施例装置の制御系の構成を示すブロック図で
ある。

【図８】第１実施例装置を用いた基板搬送方法を示す図
である。

【図９】実施例装置が受取位置からアーム基台まで後退
する際の基板搬送アームの後退速度と、第２従来例が受
取位置からアーム基台まで後退する際の基板搬送アーム
の後退速度とを比較した図である。

【図１０】第１実施例装置を用いた別の基板搬送方法を
示す図である。

【図１１】本発明の第２実施例に係る基板搬送アームの
拡大平面図と拡大縦断面図である。

【図１２】第２実施例装置を用いた基板搬送方法を示す
図である。

【図１３】基板搬送アームの変形例の構成を示す拡大平
面図とＡ−Ａ矢視断面図である。

【図１４】本発明に係る基板搬送装置及び基板搬送方法
の具体的な適用例である基板処理装置の平面図である。

【図１５】受取位置における基板の位置ズレ範囲を説明
するための図である。

【図１６】第１従来例に係る基板搬送装置に備えた基板
搬送アームの拡大平面図と拡大縦断面図である。

【図１７】第２従来例に係る基板搬送装置の平面図と縦
断面図である。

【符号の説明】

１：アーム基台 ２：基板搬送アーム ５Ａ、５Ｂ：ガイド部 ６：傾斜部 ７：アーム移動機構 ８：上下動機構 １０：制御部 ４３：基板収容器 Ｗ：基板 Ｃ：カセット ＷＬ_MAX ：基板の規格最大サイズ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 稲垣 幸彦 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 (72)発明者 田口 隆志 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 (72)発明者 西口 直克 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 Ｆターム(参考） 5F031 CA02 CA05 FA01 FA11 GA06 GA07 GA38 GA43 GA48 KA13 LA12 LA13 MA27 PA16

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 受取位置に置かれた基板を受け取って搬
   送する基板搬送方法であって、 規格最大サイズの基板をガイドして保持し得るように形
   成したガイド部と、前記ガイド部の一部から外側に向か
   って高くするように形成された傾斜部とを有する基板搬
   送アームを、前記受取位置に置かれた基板の下方の所定
   位置に位置させる第１工程と、 前記基板搬送アームと基板とを相対的に上下動させて基
   板を前記基板搬送アームに受け取る第２工程と、 前記ガイド部を前記傾斜部が形成された側に移動させる
   方向に、基板を受け取った前記基板搬送アームを所定の
   加速度で移動させる第３工程と、 を含むことを特徴とする基板搬送方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の基板搬送方法におい
   て、 前記基板搬送アームは、アーム基台に対して前進後退可
   能であり、 前記傾斜部は、前記アーム基台に対して前記基板搬送ア
   ームが前進されるときに後尾となる側に形成されてお
   り、 前記第１工程では、前記基板搬送アームを前記アーム基
   台から前進させて、前記基板搬送アームを前記受取位置
   に置かれた基板の下方の所定位置に位置させ、 前記第３工程では、基板を受け取った前記基板搬送アー
   ムを所定の加速度で前記アーム基台に向けて後退させる
   ことを特徴とする基板搬送方法。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載の基板搬送方法
   において、 前記第１工程ないし前記第３工程によって基板収容器に
   収容された基板を前記基板搬送アームで受け取って取り
   出すことを特徴とする基板搬送方法。
4. 【請求項４】 受取位置に置かれた基板を受け取って搬
   送する基板搬送装置であって、 規格最大サイズの基板をガイドして保持し得るように形
   成したガイド部と、前記ガイド部の一部から外側に向か
   って高くするように形成された傾斜部とを有する基板搬
   送アームと、 前記基板搬送アームを移動させるアーム移動手段と、 前記受取位置に置かれた基板と前記基板搬送アームとを
   相対的に上下動させる上下動手段と、 前記基板搬送アームを前記受取位置に置かれた基板の下
   方の所定位置に位置させる第１工程と、前記基板搬送ア
   ームと基板とを相対的に上下動させて基板を前記基板搬
   送アームに受け取る第２工程と、前記ガイド部を前記傾
   斜部が形成された側に移動させる方向に、基板を受け取
   った前記基板搬送アームを所定の加速度で移動させる第
   ３工程とを含む制御を行う制御手段と、 を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の基板搬送装置におい
   て、 前記アーム移動手段は、前記基板搬送アームをアーム基
   台に対して前進後退させるように前記基板搬送アームを
   移動させるものであり、 前記傾斜部は、前記アーム基台に対して前記基板搬送ア
   ームが前進されるときに後尾となる側に形成されてお
   り、 前記制御手段は、前記第１工程で、前記基板搬送アーム
   を前記アーム基台から前進させて、前記基板搬送アーム
   を前記受取位置に置かれた基板の下方の所定位置に位置
   させるとともに、前記第３工程で、基板を受け取った前
   記基板搬送アームを所定の加速度で前記アーム基台に向
   けて後退させることを特徴とする基板搬送装置。
6. 【請求項６】 請求項４または５に記載の基板搬送装置
   において、 前記制御手段は、前記第１工程ないし前記第３工程によ
   って基板収容器に収容された基板を前記基板搬送アーム
   で受け取って取り出すことを特徴とする基板搬送装置。
7. 【請求項７】 受取位置に置かれた基板を受け取って搬
   送する基板搬送に用いられる基板搬送アームであって、 規格最大サイズの基板をガイドして保持し得るように形
   成したガイド部と、 前記ガイド部の一部から外側に向かって高くするように
   形成された傾斜部と、 を有することを特徴とする基板搬送アーム。