JP2002110769A - ウェハ移載装置 - Google Patents
ウェハ移載装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ウェハキャリアに多段に収容された所定枚数の
ウェハに対して、それらの有無と位置とを検出して、前
記ウェハを取り出す操作を簡単に行う。 【解決手段】平面視において二股状に形成されたハンド
本体部５の各先端部に、それぞれウェハ検出センサＳ1,
Ｓ2 を相対向させて取付けると共に、前記ウェハ検出セ
ンサＳ1,Ｓ2 の光ファイバケーブル１４を、前記ハンド
本体部５に形成されたケーブル挿通孔１５に挿通させた
状態で収容させる。
ウェハに対して、それらの有無と位置とを検出して、前
記ウェハを取り出す操作を簡単に行う。 【解決手段】平面視において二股状に形成されたハンド
本体部５の各先端部に、それぞれウェハ検出センサＳ1,
Ｓ2 を相対向させて取付けると共に、前記ウェハ検出セ
ンサＳ1,Ｓ2 の光ファイバケーブル１４を、前記ハンド
本体部５に形成されたケーブル挿通孔１５に挿通させた
状態で収容させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウェハキャリアに
収容された所定枚数のウェハの有無と位置とを検出し、
それらを１枚ずつ取り出して移載するためのウェハ移載
装置に関するものである。
収容された所定枚数のウェハの有無と位置とを検出し、
それらを１枚ずつ取り出して移載するためのウェハ移載
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、特開平９−８２７７６号公報に
開示されているように、ウェハキャリア内に多段に設け
られた各ウェハ収容部に収容されているウェハを１枚ず
つ取り出して、移載するためのウェハ移載装置は公知で
ある。この公報に開示されたウェハ移載装置を構成する
フィンガ（ウェハ移載ハンド）は、ウェハを載置するた
めのウェハ載置面を有していると共に、その先端部に、
ウェハキャリア内のウェハを検出するための位置検出セ
ンサを備えている。
開示されているように、ウェハキャリア内に多段に設け
られた各ウェハ収容部に収容されているウェハを１枚ず
つ取り出して、移載するためのウェハ移載装置は公知で
ある。この公報に開示されたウェハ移載装置を構成する
フィンガ（ウェハ移載ハンド）は、ウェハを載置するた
めのウェハ載置面を有していると共に、その先端部に、
ウェハキャリア内のウェハを検出するための位置検出セ
ンサを備えている。
【０００３】前記ウェハ移載装置は、そのフィンガに取
付けられた位置検出センサが、ウェハキャリア内のウェ
ハの下方に配置され、ウェハの有無と上下方向の位置と
を検出する。そして、その検出結果に基づいて、フィン
ガがウェハキャリア内の所定位置に入り込み、各ウェハ
を持ち上げて取り出す。
付けられた位置検出センサが、ウェハキャリア内のウェ
ハの下方に配置され、ウェハの有無と上下方向の位置と
を検出する。そして、その検出結果に基づいて、フィン
ガがウェハキャリア内の所定位置に入り込み、各ウェハ
を持ち上げて取り出す。
【０００４】しかし、この技術の場合、ウェハの検出の
際に、フィンガをいちいちウェハキャリア内に収容され
た各ウェハの下方に入り込ませる必要がある。このた
め、検出に長時間を要し、作業効率が悪い。また、何ら
かの原因により、ウェハの下方に入り込んだ位置検出セ
ンサが、そのまま昇降されると、ウェハを損傷させるお
それがある。
際に、フィンガをいちいちウェハキャリア内に収容され
た各ウェハの下方に入り込ませる必要がある。このた
め、検出に長時間を要し、作業効率が悪い。また、何ら
かの原因により、ウェハの下方に入り込んだ位置検出セ
ンサが、そのまま昇降されると、ウェハを損傷させるお
それがある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した不
具合に鑑み、ウェハの有無と位置との検出が簡単に行わ
れるようにすると共に、ウェハとウェハ移載ハンドとが
干渉しないようにすることを課題としている。
具合に鑑み、ウェハの有無と位置との検出が簡単に行わ
れるようにすると共に、ウェハとウェハ移載ハンドとが
干渉しないようにすることを課題としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明は、所定枚数のウェハが、ウェハキャリア内に
多段に設けられた各ウェハ収容部に収容されていて、前
記ウェハキャリアに、ほぼ水平に進入したウェハ移載ハ
ンドが、前記各ウェハ収容部におけるウェハの有無と位
置とを検出し、そのハンド本体部にウェハを１枚ずつ載
置して取り出して移載するためのウェハ移載装置におい
て、前記ハンド本体部は、平面視において二股状になっ
ていて、それらの先端部に、一対のウェハ検出センサが
それぞれ取付けられていることを特徴としている。
の本発明は、所定枚数のウェハが、ウェハキャリア内に
多段に設けられた各ウェハ収容部に収容されていて、前
記ウェハキャリアに、ほぼ水平に進入したウェハ移載ハ
ンドが、前記各ウェハ収容部におけるウェハの有無と位
置とを検出し、そのハンド本体部にウェハを１枚ずつ載
置して取り出して移載するためのウェハ移載装置におい
て、前記ハンド本体部は、平面視において二股状になっ
ていて、それらの先端部に、一対のウェハ検出センサが
それぞれ取付けられていることを特徴としている。
【０００７】本発明に係るウェハ移載装置を構成するウ
ェハ移載ハンドは、そのハンド本体部が平面視において
二股状になっていて、それらの先端部に一対のウェハ検
出センサがそれぞれ取付けられている。前記ハンド本体
部がウェハキャリア内に入り込み、最上段のウェハの端
部（被検出部）の直上に配置されて、そのまま下降され
る。一対のウェハ検出センサが、ウェハキャリアに多段
に収容されたウェハの被検出部を走査することによっ
て、ウェハキャリア内におけるウェハの有無と上下方向
の位置が検出される。そして、この検出結果に基づい
て、ウェハ移載ハンドがウェハキャリア内に進入し、各
ウェハを１枚ずつ持ち上げて取り出す。一対のウェハ検
出センサが、二股状のハンド本体部の各先端部に取付け
られているため、ウェハ移載ハンドが一度下降するだけ
でウェハの検出が行われ、作業効率が良好である。ま
た、ウェハの被検出部は、二股状となったウェハ載置部
どうしの間に形成された逃し部に配置されるため、ウェ
ハとウェハ移載ハンドとが干渉することがなく、ウェハ
が損傷することが防止される。
ェハ移載ハンドは、そのハンド本体部が平面視において
二股状になっていて、それらの先端部に一対のウェハ検
出センサがそれぞれ取付けられている。前記ハンド本体
部がウェハキャリア内に入り込み、最上段のウェハの端
部（被検出部）の直上に配置されて、そのまま下降され
る。一対のウェハ検出センサが、ウェハキャリアに多段
に収容されたウェハの被検出部を走査することによっ
て、ウェハキャリア内におけるウェハの有無と上下方向
の位置が検出される。そして、この検出結果に基づい
て、ウェハ移載ハンドがウェハキャリア内に進入し、各
ウェハを１枚ずつ持ち上げて取り出す。一対のウェハ検
出センサが、二股状のハンド本体部の各先端部に取付け
られているため、ウェハ移載ハンドが一度下降するだけ
でウェハの検出が行われ、作業効率が良好である。ま
た、ウェハの被検出部は、二股状となったウェハ載置部
どうしの間に形成された逃し部に配置されるため、ウェ
ハとウェハ移載ハンドとが干渉することがなく、ウェハ
が損傷することが防止される。
【０００８】前記ウェハ検出センサのケーブルが、ウェ
ハ移載ハンドのハンド本体部に埋設されている場合、ウ
ェハとケーブルとの干渉が防止され、ウェハの損傷が、
更に確実に防止できる。
ハ移載ハンドのハンド本体部に埋設されている場合、ウ
ェハとケーブルとの干渉が防止され、ウェハの損傷が、
更に確実に防止できる。
【０００９】前記ウェハ検出センサのケーブルは、前記
ハンド本体部内に形成されたケーブル収容部に、抜き取
り可能に収容されている場合、ウェハ移載ハンドの保
守、点検が容易である。
ハンド本体部内に形成されたケーブル収容部に、抜き取
り可能に収容されている場合、ウェハ移載ハンドの保
守、点検が容易である。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、実施形態を挙げて本発明を
更に詳細に説明する。図１は本発明に係るウェハ移載装
置Ａの斜視図、図２はウェハ移載ハンドＨの平面図、図
３は同じく下方からの斜視図、図４は同じく先端部の拡
大側面図である。図１に示されるように、本実施例のウ
ェハ移載装置Ａを構成する装置本体１は、昇降可能なベ
ース２に設置されている。そして、前記装置本体１の上
面には、２本のアーム３が２段になって取付けられてい
る。これらのアーム３は、それらの基端部に設けられた
旋回軸（図示せず）の軸心を中心に旋回可能である。そ
して、上段のアーム３の先端部にハンド支持台４が取付
けられていて、該ハンド支持台４にウェハ移載ハンドＨ
が取付けられている。
更に詳細に説明する。図１は本発明に係るウェハ移載装
置Ａの斜視図、図２はウェハ移載ハンドＨの平面図、図
３は同じく下方からの斜視図、図４は同じく先端部の拡
大側面図である。図１に示されるように、本実施例のウ
ェハ移載装置Ａを構成する装置本体１は、昇降可能なベ
ース２に設置されている。そして、前記装置本体１の上
面には、２本のアーム３が２段になって取付けられてい
る。これらのアーム３は、それらの基端部に設けられた
旋回軸（図示せず）の軸心を中心に旋回可能である。そ
して、上段のアーム３の先端部にハンド支持台４が取付
けられていて、該ハンド支持台４にウェハ移載ハンドＨ
が取付けられている。
【００１１】ウェハ移載ハンドＨについて説明する。図
２及び図３に示されるように、本実施例のウェハ移載ハ
ンドＨは、セラミック等の薄板より成り、平面視におい
て同一形状を成す上下の各ハンド本体部５を重ね合わせ
て、両者を接着等の手段により固着させたものである。
各ハンド本体部５の先端部は、平面視において二股状に
分岐されていて、それぞれの上面にウェハＵを載置させ
るためのウェハ載置部６が形成されていると共に、前記
ウェハ載置部６の間には、略円弧状の逃し部７が形成さ
れている。また、平面視における各ハンド本体部５は、
それらの基端部８の側に近づくに従って徐々に細くなっ
ていて、前記基端部８が前述したハンド支持台４に取付
けられている。なお、図２及び図３において、９は、ア
ンプである。
２及び図３に示されるように、本実施例のウェハ移載ハ
ンドＨは、セラミック等の薄板より成り、平面視におい
て同一形状を成す上下の各ハンド本体部５を重ね合わせ
て、両者を接着等の手段により固着させたものである。
各ハンド本体部５の先端部は、平面視において二股状に
分岐されていて、それぞれの上面にウェハＵを載置させ
るためのウェハ載置部６が形成されていると共に、前記
ウェハ載置部６の間には、略円弧状の逃し部７が形成さ
れている。また、平面視における各ハンド本体部５は、
それらの基端部８の側に近づくに従って徐々に細くなっ
ていて、前記基端部８が前述したハンド支持台４に取付
けられている。なお、図２及び図３において、９は、ア
ンプである。
【００１２】図２ないし図４に示されるように、各ウェ
ハ載置部６の先端部には、一対のウェハ検出センサＳ1,
Ｓ2 がそれぞれ取付けられている。本実施例の場合、一
対のウェハ検出センサＳ1,Ｓ2 は透過型のファイバセン
サであり、投光側のウェハ検出センサＳ1 と受光側のウ
ェハ検出センサＳ2 とから構成されている。両者の取付
け構造は全く同一なので、ここでは投光側のウェハ検出
センサＳ1 についてのみ説明する。このウェハ検出セン
サＳ1 は、検出光Ｌを発するセンサ本体部１１と、該セ
ンサ本体部１１の下端部から側方に張り出して設けられ
たセンサ取付部１２とから成る。このウェハ検出センサ
Ｓ1 は、センサ本体部１１の側面部が、一方側のウェハ
載置部６の先端面に当接されると共に、センサ取付部１
２の上面が、ウェハ載置部６の下面に当接され、２本の
固定ねじ１３によって固着される。このとき、センサ本
体部１１の上面は、ウェハ載置部６の上面よりも下方に
配置されるため、ウェハ載置部６に載置されるウェハＵ
と干渉することはない。全く同様にして、他方側のウェ
ハ載置部６の先端面に、受光側のウェハ検出センサＳ2
が取付けられる。このようにして、一対のウェハ検出セ
ンサＳ1,Ｓ2 が、それぞれのセンサ本体部１１を相対向
させて、しかも、それらの光軸を一致させた状態で取付
けられる。
ハ載置部６の先端部には、一対のウェハ検出センサＳ1,
Ｓ2 がそれぞれ取付けられている。本実施例の場合、一
対のウェハ検出センサＳ1,Ｓ2 は透過型のファイバセン
サであり、投光側のウェハ検出センサＳ1 と受光側のウ
ェハ検出センサＳ2 とから構成されている。両者の取付
け構造は全く同一なので、ここでは投光側のウェハ検出
センサＳ1 についてのみ説明する。このウェハ検出セン
サＳ1 は、検出光Ｌを発するセンサ本体部１１と、該セ
ンサ本体部１１の下端部から側方に張り出して設けられ
たセンサ取付部１２とから成る。このウェハ検出センサ
Ｓ1 は、センサ本体部１１の側面部が、一方側のウェハ
載置部６の先端面に当接されると共に、センサ取付部１
２の上面が、ウェハ載置部６の下面に当接され、２本の
固定ねじ１３によって固着される。このとき、センサ本
体部１１の上面は、ウェハ載置部６の上面よりも下方に
配置されるため、ウェハ載置部６に載置されるウェハＵ
と干渉することはない。全く同様にして、他方側のウェ
ハ載置部６の先端面に、受光側のウェハ検出センサＳ2
が取付けられる。このようにして、一対のウェハ検出セ
ンサＳ1,Ｓ2 が、それぞれのセンサ本体部１１を相対向
させて、しかも、それらの光軸を一致させた状態で取付
けられる。
【００１３】図２ないし図４に示されるように、各セン
サ本体部１１の背面部からは、所定長さの光ファイバケ
ーブル１４が延設されている。この光ファイバケーブル
１４は、上記したハンド本体部５に埋設されている。即
ち、上下の各ハンド本体部５が接合される面には、予め
相対応する一対の溝部が、接合面内に形成されていて、
上下の各ハンド本体部５が接合される際に、一対の溝部
が重なり合ってケーブル挿通孔１５が２箇所に形成され
る。このケーブル挿通孔１５の横断面形状は、前記光フ
ァイバケーブル１４の外径よりも僅かに大きい。このケ
ーブル挿通孔１５は、図２に示されるように、上下の各
ハンド本体部５の接合面にほぼ直線状に設けられてい
る。そして、ウェハ載置部６の先端部の外側面及び基端
部８の後端面に、それぞれ光ファイバケーブル１４を通
すためのケーブル通し孔１５a,１５b が設けられてい
る。
サ本体部１１の背面部からは、所定長さの光ファイバケ
ーブル１４が延設されている。この光ファイバケーブル
１４は、上記したハンド本体部５に埋設されている。即
ち、上下の各ハンド本体部５が接合される面には、予め
相対応する一対の溝部が、接合面内に形成されていて、
上下の各ハンド本体部５が接合される際に、一対の溝部
が重なり合ってケーブル挿通孔１５が２箇所に形成され
る。このケーブル挿通孔１５の横断面形状は、前記光フ
ァイバケーブル１４の外径よりも僅かに大きい。このケ
ーブル挿通孔１５は、図２に示されるように、上下の各
ハンド本体部５の接合面にほぼ直線状に設けられてい
る。そして、ウェハ載置部６の先端部の外側面及び基端
部８の後端面に、それぞれ光ファイバケーブル１４を通
すためのケーブル通し孔１５a,１５b が設けられてい
る。
【００１４】一対のウェハ検出センサＳ1,Ｓ2 から延設
された光ファイバケーブル１４は、ウェハ載置部６の先
端部のケーブル通し孔１５ａに挿通され、ケーブル挿通
孔１５を通り、基端部８のケーブル通し孔１５ｂから外
側に出て、アンプ９に接続される。この光ファイバケー
ブル１４は、前記ケーブル挿通孔１５に抜取り可能に挿
通される。光ファイバケーブル１４のほとんどの部分
が、ハンド本体部５に埋設状態で収容されているため、
ウェハ移載作業中に各光ファイバケーブル１４とウェハ
Ｕとが干渉するおそれがなく、該ウェハＵを損傷させる
ことが防止される。本実施例のウェハ検出センサＳ1,Ｓ
2 は透過型ファイバセンサであり、そのケーブルとして
光ファイバケーブル１４が使用されるため、該ケーブル
を細くすることができる。この結果、ウェハ移載ハンド
Ｈの厚みを薄くすることができる。また、前記ケーブル
挿通孔１５は、ほぼ直線状に設けられているため、その
成形が容易であると共に、光ファイバケーブル１４を容
易に通すことができる。
された光ファイバケーブル１４は、ウェハ載置部６の先
端部のケーブル通し孔１５ａに挿通され、ケーブル挿通
孔１５を通り、基端部８のケーブル通し孔１５ｂから外
側に出て、アンプ９に接続される。この光ファイバケー
ブル１４は、前記ケーブル挿通孔１５に抜取り可能に挿
通される。光ファイバケーブル１４のほとんどの部分
が、ハンド本体部５に埋設状態で収容されているため、
ウェハ移載作業中に各光ファイバケーブル１４とウェハ
Ｕとが干渉するおそれがなく、該ウェハＵを損傷させる
ことが防止される。本実施例のウェハ検出センサＳ1,Ｓ
2 は透過型ファイバセンサであり、そのケーブルとして
光ファイバケーブル１４が使用されるため、該ケーブル
を細くすることができる。この結果、ウェハ移載ハンド
Ｈの厚みを薄くすることができる。また、前記ケーブル
挿通孔１５は、ほぼ直線状に設けられているため、その
成形が容易であると共に、光ファイバケーブル１４を容
易に通すことができる。
【００１５】次に、本実施例のウェハキャリアＣについ
て、簡単に説明する。図５及び図６に示されるように、
本実施例のウェハキャリアＣは、前面が開口された箱状
であり、通常の場合、前面の開口部分は蓋体（図示せ
ず）によって閉塞されている。このウェハキャリアＣの
内側の側方部には、所定枚数のウェハＵを多段にして収
容するための一対のウェハ収容棚１６が相対向して設け
られている。一対のウェハ収容棚１６には、各ウェハＵ
の側方部分を支持するためのウェハ支持部１７が、高さ
方向に一定の間隔（ウェハＵの収容ピッチ）をおいて設
けられている。更に、前記ウェハ支持部１７の奥側に
は、各ウェハＵの前後方向の位置決めをするために、各
ウェハＵの外周縁と略相似形に形成されたウェハ位置決
め部１７ａが設けられている。また、各ウェハ支持部１
７によって支持されたウェハＵどうしの間には、ウェハ
移載ハンドＨの先端部（ウェハ載置部６及びウェハ検出
センサＳ1,Ｓ2 ）を入り込ませることができるように、
前記ウェハ移載ハンドＨの先端部の厚みよりも大きな寸
法の空間部Ｖが形成される。このウェハキャリアＣに
は、所定枚数のウェハＵが、前記ウェハ位置決め部１７
ａによって前後方向にほぼ位置決めされた状態で収容さ
れる。
て、簡単に説明する。図５及び図６に示されるように、
本実施例のウェハキャリアＣは、前面が開口された箱状
であり、通常の場合、前面の開口部分は蓋体（図示せ
ず）によって閉塞されている。このウェハキャリアＣの
内側の側方部には、所定枚数のウェハＵを多段にして収
容するための一対のウェハ収容棚１６が相対向して設け
られている。一対のウェハ収容棚１６には、各ウェハＵ
の側方部分を支持するためのウェハ支持部１７が、高さ
方向に一定の間隔（ウェハＵの収容ピッチ）をおいて設
けられている。更に、前記ウェハ支持部１７の奥側に
は、各ウェハＵの前後方向の位置決めをするために、各
ウェハＵの外周縁と略相似形に形成されたウェハ位置決
め部１７ａが設けられている。また、各ウェハ支持部１
７によって支持されたウェハＵどうしの間には、ウェハ
移載ハンドＨの先端部（ウェハ載置部６及びウェハ検出
センサＳ1,Ｓ2 ）を入り込ませることができるように、
前記ウェハ移載ハンドＨの先端部の厚みよりも大きな寸
法の空間部Ｖが形成される。このウェハキャリアＣに
は、所定枚数のウェハＵが、前記ウェハ位置決め部１７
ａによって前後方向にほぼ位置決めされた状態で収容さ
れる。
【００１６】本発明に係るウェハ移載装置Ａの作用につ
いて説明する。所定枚数のウェハＵが多段に収容された
ウェハキャリアＣが所定位置に設置され、その蓋体（図
示せず）が取り外される。最初に、ウェハキャリアＣの
各ウェハ支持部１７におけるウェハＵの有無と上下方向
の位置とが検出される。図７及び図８に示されるよう
に、ウェハ移載ハンドＨがウェハキャリアＣ内に進入
し、平面視におけるウェハＵの開口側の端部（被検出部
Ｕａ）を、ウェハ載置部６の間の逃し部７に入り込ませ
た状態で、しかも、最上段のウェハＵの直上に配置され
る。このまま、ウェハ移載ハンドＨが下降される。前記
ウェハ移載ハンドＨが下降される間、投光側のウェハ検
出センサＳ1 から検出光Ｌが照射される。二股状のウェ
ハ載置部６の間に何も存しなければ、前記検出光Ｌは、
そのまま受光側のウェハ検出センサＳ 2 に受光される。
しかし、ウェハ載置部６の間にウェハＵが存すると、そ
の被検出部Ｕａにより前記検出光Ｌが遮断され、そのと
きの高さ（ウェハＵの上下方向の位置）が記憶される。
このようにして、各ウェハ支持部１７におけるウェハＵ
の有無と、その上下方向の位置が検出される。
いて説明する。所定枚数のウェハＵが多段に収容された
ウェハキャリアＣが所定位置に設置され、その蓋体（図
示せず）が取り外される。最初に、ウェハキャリアＣの
各ウェハ支持部１７におけるウェハＵの有無と上下方向
の位置とが検出される。図７及び図８に示されるよう
に、ウェハ移載ハンドＨがウェハキャリアＣ内に進入
し、平面視におけるウェハＵの開口側の端部（被検出部
Ｕａ）を、ウェハ載置部６の間の逃し部７に入り込ませ
た状態で、しかも、最上段のウェハＵの直上に配置され
る。このまま、ウェハ移載ハンドＨが下降される。前記
ウェハ移載ハンドＨが下降される間、投光側のウェハ検
出センサＳ1 から検出光Ｌが照射される。二股状のウェ
ハ載置部６の間に何も存しなければ、前記検出光Ｌは、
そのまま受光側のウェハ検出センサＳ 2 に受光される。
しかし、ウェハ載置部６の間にウェハＵが存すると、そ
の被検出部Ｕａにより前記検出光Ｌが遮断され、そのと
きの高さ（ウェハＵの上下方向の位置）が記憶される。
このようにして、各ウェハ支持部１７におけるウェハＵ
の有無と、その上下方向の位置が検出される。
【００１７】上記したようにしてウェハＵの有無と位置
との検出が行われた後、その検出結果に基づいて、再び
ウェハ移載ハンドＨが昇降される。図９に示されるよう
に、該ウェハ移載ハンドＨが、最上段のウェハＵと、そ
の直下のウェハＵとの間の空間部Ｖに入り込み、そのま
ま前進する。本実施例の場合、一対のウェハ検出センサ
Ｓ1,Ｓ2 から延設された各光ファイバケーブル１４が、
上下の各ハンド本体部５の間に設けられたケーブル挿通
孔１５に収容されていて、垂れ下がることがないため、
その直下に存するウェハＵを損傷させるおそれがない。
また、ウェハ移載ハンドＨは、ウェハキャリアＣ内のウ
ェハ支持部１７の間に配置され、その間の空間部Ｖを進
退するため、前記ウェハ支持部１７と干渉することはな
い。
との検出が行われた後、その検出結果に基づいて、再び
ウェハ移載ハンドＨが昇降される。図９に示されるよう
に、該ウェハ移載ハンドＨが、最上段のウェハＵと、そ
の直下のウェハＵとの間の空間部Ｖに入り込み、そのま
ま前進する。本実施例の場合、一対のウェハ検出センサ
Ｓ1,Ｓ2 から延設された各光ファイバケーブル１４が、
上下の各ハンド本体部５の間に設けられたケーブル挿通
孔１５に収容されていて、垂れ下がることがないため、
その直下に存するウェハＵを損傷させるおそれがない。
また、ウェハ移載ハンドＨは、ウェハキャリアＣ内のウ
ェハ支持部１７の間に配置され、その間の空間部Ｖを進
退するため、前記ウェハ支持部１７と干渉することはな
い。
【００１８】前記ウェハ移載ハンドＨが更に前進し、そ
のウェハ載置部６が最上段のウェハＵの直下の所定位置
に配置されると、図１０に示されるように、該ウェハ移
載ハンドＨが停止して、そのまま僅かに上昇される。最
上段のウェハＵが、ウェハ移載ハンドＨのウェハ載置部
６に載置され、ウェハ支持部１７から持ち上げられる。
そして、このままウェハ移載ハンドＨが後退することに
より、最上段のウェハＵがウェハキャリアＣから取り出
される。上記した操作が、ウェハキャリアＣに収容され
た各ウェハＵの枚数だけ繰り返される。ウェハＵを収容
する場合、全く逆の操作が行われる。
のウェハ載置部６が最上段のウェハＵの直下の所定位置
に配置されると、図１０に示されるように、該ウェハ移
載ハンドＨが停止して、そのまま僅かに上昇される。最
上段のウェハＵが、ウェハ移載ハンドＨのウェハ載置部
６に載置され、ウェハ支持部１７から持ち上げられる。
そして、このままウェハ移載ハンドＨが後退することに
より、最上段のウェハＵがウェハキャリアＣから取り出
される。上記した操作が、ウェハキャリアＣに収容され
た各ウェハＵの枚数だけ繰り返される。ウェハＵを収容
する場合、全く逆の操作が行われる。
【００１９】図７及び図８に示されるように、上記した
ウェハキャリアＣ内のウェハＵが、前後方向に僅かにず
れた状態で収容される場合がある。そのような状態で収
容されたウェハＵを、ウェハＵ',Ｕ”と記載する。この
ような場合であっても、それらの被検出部Ｕ'a，Ｕ"a
は、平面視において二股状のウェハ載置部６の間に配置
されている。このため、ウェハ移載ハンドＨをそのまま
下降させるだけで、正規位置に収容されたウェハＵと、
ずれた状態で収容された各ウェハＵ',Ｕ”との上下方向
の位置を検出することができる。
ウェハキャリアＣ内のウェハＵが、前後方向に僅かにず
れた状態で収容される場合がある。そのような状態で収
容されたウェハＵを、ウェハＵ',Ｕ”と記載する。この
ような場合であっても、それらの被検出部Ｕ'a，Ｕ"a
は、平面視において二股状のウェハ載置部６の間に配置
されている。このため、ウェハ移載ハンドＨをそのまま
下降させるだけで、正規位置に収容されたウェハＵと、
ずれた状態で収容された各ウェハＵ',Ｕ”との上下方向
の位置を検出することができる。
【００２０】本実施例のウェハ移載装置Ａは、ウェハ検
出センサＳ1,Ｓ2 が透過型ファイバセンサである場合に
ついて説明したが、非接触式であれば、これ以外のセン
サであっても構わない。
出センサＳ1,Ｓ2 が透過型ファイバセンサである場合に
ついて説明したが、非接触式であれば、これ以外のセン
サであっても構わない。
【００２１】
【発明の効果】本発明に係るウェハ移載装置は、ウェハ
移載ハンドが二股状になっていて、それらの先端部にそ
れぞれウェハ検出センサが取付けられている。これらの
ウェハ検出センサによって、ウェハキャリア内に収容さ
れた所定枚数のウェハの有無と位置とが検出されると共
に、その検出結果に基づいて前記ウェハ移載ハンドが、
各ウェハを取り出す。ウェハ検出の際、該ウェハの被検
出部は、二股状となったウェハ移載ハンドの逃し部に配
置されるため、当該ウェハとウェハ移載ハンドとが干渉
することはない。また、前記ウェハ検出センサのケーブ
ルが、ウェハ移載ハンドに埋設されている場合、ウェハ
とケーブルとが接触することも防止することができる。
移載ハンドが二股状になっていて、それらの先端部にそ
れぞれウェハ検出センサが取付けられている。これらの
ウェハ検出センサによって、ウェハキャリア内に収容さ
れた所定枚数のウェハの有無と位置とが検出されると共
に、その検出結果に基づいて前記ウェハ移載ハンドが、
各ウェハを取り出す。ウェハ検出の際、該ウェハの被検
出部は、二股状となったウェハ移載ハンドの逃し部に配
置されるため、当該ウェハとウェハ移載ハンドとが干渉
することはない。また、前記ウェハ検出センサのケーブ
ルが、ウェハ移載ハンドに埋設されている場合、ウェハ
とケーブルとが接触することも防止することができる。
【図１】本発明に係るウェハ移載装置Ａの斜視図であ
る。
る。
【図２】ウェハ移載ハンドＨの平面図である。
【図３】同じく下方からの斜視図である。
【図４】同じく先端部の拡大側面図である。
【図５】ウェハキャリアＣの平面断面図である。
【図６】同じく側面断面図である。
【図７】一対のウェハ検出センサＳ1,Ｓ2 が、各ウェハ
Ｕ，Ｕ',Ｕ”の有無と位置とを検出する状態の作用説明
図である。
Ｕ，Ｕ',Ｕ”の有無と位置とを検出する状態の作用説明
図である。
【図８】同様の状態の側面図である。
【図９】ウェハ移載ハンドＨが、ウェハキャリアＣの空
間部Ｖに進入する状態の作用説明図である。
間部Ｖに進入する状態の作用説明図である。
【図１０】ウェハ移載ハンドＨが、最上段のウェハＵを
持ち上げる状態の作用説明図である。
持ち上げる状態の作用説明図である。
Ａ：ウェハ移載装置 Ｃ：ウェハキャリア Ｈ：ウェハ移載ハンド Ｓ1,Ｓ2 ：ウェハ検出センサ Ｕ，Ｕ',Ｕ”：ウェハ ５：ハンド本体部 １４：光ファイバケーブル（ケーブル） １５：ケーブル挿通孔（ケーブル収容部） １７：ウェハ支持部（ウェハ収容部）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C007 DS01 ES02 EV05 KS03 KS30 NS09 NS11 NS17 3F061 AA01 BA02 BE05 DB00 DB04 DB06 DD01 DD03 5F031 CA02 DA08 FA01 FA07 FA11 GA02 GA36 GA43 GA47 GA49 JA02 JA05 JA13 JA23
Claims (3)
- 【請求項１】 所定枚数のウェハが、ウェハキャリア内
に多段に設けられた各ウェハ収容部に収容されていて、
前記ウェハキャリアに、ほぼ水平に進入したウェハ移載
ハンドが、前記各ウェハ収容部におけるウェハの有無と
位置とを検出し、そのハンド本体部にウェハを１枚ずつ
載置して取り出して移載するためのウェハ移載装置にお
いて、 前記ハンド本体部は、平面視において二股状になってい
て、それらの先端部に、一対のウェハ検出センサがそれ
ぞれ取付けられていることを特徴とするウェハ移載装
置。 - 【請求項２】 前記ウェハ検出センサのケーブルが、前
記ハンド本体部に埋設されていることを特徴とする請求
項１に記載のウェハ移載装置。 - 【請求項３】 前記ウェハ検出センサのケーブルは、前
記ハンド本体部内に形成されたケーブル収容部に、抜き
取り可能に収容されることを特徴とする請求項１又は２
に記載のウェハ移載装置。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000292225A JP4258964B2 (ja) | 2000-09-26 | 2000-09-26 | ウェハ移載装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000292225A JP4258964B2 (ja) | 2000-09-26 | 2000-09-26 | ウェハ移載装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002110769A true JP2002110769A (ja) | 2002-04-12 |
| JP4258964B2 JP4258964B2 (ja) | 2009-04-30 |
Family
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|---|---|---|---|
| JP2000292225A Expired - Fee Related JP4258964B2 (ja) | 2000-09-26 | 2000-09-26 | ウェハ移載装置 |
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| JP (1) | JP4258964B2 (ja) |
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-
2000
- 2000-09-26 JP JP2000292225A patent/JP4258964B2/ja not_active Expired - Fee Related
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