JP2006054455A - 基板移送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板移送装置はハンド130a、130bがピックアップ位置から溝の位置に戻った時、ハンド130a、130bのポケット部132に配置された基板Wを把持する把持部材140を含む。この把持部材140は基板Wのエッジと面接触する湾曲部144aを有し、そして少なくとも一つのハンド130a、130bの移動方向と同一の方向に移動可能に前記ベース上に設けられるプッシャー144及びプッシャー144が基板Wのエッジを側方に押すように弾性力を加える弾性体146を含み得る。
【選択図】図2
Description
110 ボディー
120 ベース
124 駆動部
124a モータ
124b ベルとプーリ
124c ガイドレール
130a 第1ハンド
130b 第2ハンド
132 ポケット部
133 切開部分
134 コーベル
136 連結アーム
140 把持部材
142 固定ブロック
144 プッシャー
144a 湾曲部
144b 連結軸
144´ 第1ハンド用プッシャー
144´´ 第2ハンド用プッシャー
146 圧縮スプリング
148 基板感知部材
148a 点検バー
148b 感知センサ
162 受光センサ
162a エッジ部
164 発光センサ
164a エッジ部
W 基板
Claims (7)
- 基板移送装置において、
ベースと、
基板が配置されるポケット部を有し、前記ベース上に形成した溝の位置から基板をピックアップするためのピックアップ位置に移動する少なくとも一つのハンドと、
少なくとも一つの前記ハンドが前記ピックアップ位置から前記溝の位置に戻ったとき、前記ハンドのポケット部に配置された基板を把持する少なくとも一つの把持部材と、を含むことを特徴とする基板移送装置。 - 前記把持部材は、
基板のエッジと面接触する湾曲部を有し、少なくとも一つの前記ハンドの移動方向と同一の方向に移動可能に前記ベース上に設けたプッシャーと、
前記プッシャーが前記基板エッジを側方に押すように弾性力を加える弾性体と、を含み、
前記プッシャーは前記溝の位置に戻る少なくとも一つの前記ハンドに配置された基板のエッジを自動的に把持することを特徴とする、請求項1に記載の基板移送装置。 - 前記把持部材は、
前記プッシャーに連結して設けられる点検バーと、
前記点検バーの移動の有無を感知する感知センサからなる基板感知部材と、を含むことを特徴とする、請求項2に記載の基板移送装置。 - 前記湾曲部は基板のフラットゾーンより広いことを特徴とする、請求項2に記載の基板移送装置。
- 前記ポケット部には、少なくとも一つの前記ハンドが前記溝の位置に戻ったとき、前記把持部材のプッシャーが位置する切開部が形成され、
前記切開部には前記基板の一部のエッジが位置することを特徴とする、請求項2に記載の基板移送装置。 - 前記基板が少なくとも一つの前記ハンドのポケット部に配置された基板の収納状態を感知する受光センサ及び発光センサを含み、
前記受光センサは前記基板のエッジ内側下のベース上に配置され、
前記発光センサは前記基板のエッジ外側上に配置され、前記受光センサに対して斜めに向きを変えて配置されることを特徴とする、請求項1に記載の基板移送装置。 - 前記ベースの内部には少なくとも一つの前記ハンドを移動させる駆動部が設けられ、
前記ベースは回転及び高さが調節されることを特徴とする、請求項1に記載の基板移送装置。
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