KR200252735Y1 - 반도체의 캐리어 스테이션 - Google Patents

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Abstract

본 고안은, 반도체의 캐리어 스테이션에 관한 것으로, 캐리어에 있는 웨이퍼를 반송시켜주는 캐리어 스테이션 암과, 상기 캐리어 스테이션 암 위에 설치되어 웨이퍼를 상기 캐리어에서 빼내거나 넣어주는 캐리어 스테이션 암 핀셋을 포함하여 구성되는 반도체의 캐리어 스테이션에 있어서, 발광부 및 수광부가 단일체로 형성되고 평면투영시 상기 암 핀셋위에 적재된 웨이퍼의 외주면의 외측 및 내측중 어느 일측에 배치되어 상기 웨이퍼의 유무를 감지하는 상부센서와; 발광부 및 수광부가 단일체로 형성되고 평면투영시 상기 암 핀셋위에 적재된 웨이퍼의 외주면의 외측 및 내측중 상기 상부센서의 타측에 배치되어 상기 웨이퍼의 유무를 감지하는 하부센서를 포항하는 것들 특징으로 한다. 이에 의해, 캐리어 스테이션 암 핀셋의의 웨이퍼의 유무를 정확하게 감지할 수 있다.

Description

반도체의 캐리어 스테이션
본 고안은 반도체 장치에 관한 것으로, 특히 캐리어에 있는 웨이퍼를 반송 시켜주는 캐리어 스테이션 암과, 상기 캐리어 스테이션 암 위에 설치되어 웨이퍼를 상기 캐리어에서 빼내거나 넣어주는 캐리어 스테이션 암 핀셋을 포함하며 구성되는 반도체의 캐리어 스데이션에에 관한 것이다.
종래의 반도체의 캐리어 스테이션은 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 캐리어(carrier)(미도시)에 있는 웨이퍼(wafer)(3)를 반송시켜주는 캐리어 스테이션 암(carrier station arm; 이하 암이라 통칭한다)(1)과, 삼기 암(1) 위에서 전후방향(X축)으로 동작하며 웨이퍼(3)를 캐리어에서 빼내오거나 넣어주는 캐리어 스테이션 암 핀셋(carrier station arm pincette; 이하 핀셋이라 통칭한다)(2)과, 상기 핀셋(2) 위에 웨이퍼(3)의 유무를 감지하는 센서(4a)(4b)를 포함하여 구성된다.
상기 센서(4a)(4b)는 발광부(4a)와 수광부(4b)로 구성되며, 이 발광부(4a)에서 나온 광이 상기 핀셋(2)의 일측을 가로질러 상기 수광부(4b)에 감지되도록 설치된다.
즉, 웨이퍼(3)가 상기 핀셋(2) 위에 놓이면 이 웨이퍼(3)의 일측을 감지함으로써 웨이퍼(3)의 유무를 판단할 수 있도록 설치되는 것이다.
상기와 같은 구성의 반도체의 캐리어 스테이션의 동작을 설명하면 다음과 같다.
상기 암(1)은 좌우방향(Y측)과 상하방향(Z축)으로 동작하며 캐리어 내의 웨이퍼(3)를 받을 수 있는 위치로 이동한다.
암(1)이 위치를 잡으면 핀셋(2)이 전후방향(X축)으로 움직이며 캐리어 내의 웨이퍼(3)를 빼내온다.
핀셋(2)이 웨이퍼(3)를 캐리어에서 갖고 나와 본래의 위치로 되돌아오면 상기 센서(4a)(4b)의 발광부(4a)가 광을 발산하여 웨이페(3)의 유무를 감지한다.
즉, 상기 발광부(4a)에서 발산된 광이 수광부(4b)에 감지되면 웨이퍼(3)가핀셋(2) 위에 없는 것으로 인식하며, 상기 발광부(4a)에서 발상된 광이 수광부(4b)에서 감지가 안되면 웨이퍼(3)가 핀된(2) 위에 있는 것으로 인식한다.
또한, 핀셋(2)이 웨이퍼(3)를 캐리어에서 갖고 나오는 동작에서는 상기 센서(4a)(4b)에서 웨이퍼(3)가 핀셋(2) 위에 있는 것으로 인식하며, 핀셋(2)이 웨이퍼(3)를 캐리어에 주는 동작에서는 상기 센서(4a)(4b)에서 웨이퍼(3)가 핀셋(2) 위에 없는 것으로 인식한다.
이와 같은 센서(4a)(4b)의 동작은 상기 암(1)이 메인암(main arm)(미도시)과 웨이퍼(3)를 주고받는 동작에서도 똑같이 적용된다.
이때, 암(1)이 웨이퍼(3)를 반송하는 중 웨이퍼(3)의 위치가 틀어져 센서(4a)(4b)가 감지할 수 있는 위치에서 벗어나게 되면 알람(alarm)을 발생시킨다.
한편, 반도체 제조공정에 있는 웨이퍼(3)는 두께가 2880μm이하로 매우 얇기때문에 웨이퍼(3)의 뒷면을 연마하는 백 그라인드(back grind) 공정을 진행할 때 웨이퍼(3)의 가장자리부가 구부러지는 벤딩(bending)현상이 발생된다.
그런데, 이러한 종래의 반도체의 캐리어 스테이션에 있어서는, 백 그라인드 공정 등에서와 같이, 가장자리부에 벤딩이 발생된 웨이퍼(3)가 트랙장비에서 프로세스를 진행하게 되면, 도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 센서(4a)(4b)의 광경로 상에 웨이퍼(3)의 벤딩영역이 배치될 경우, 센서(4a)(4b)는 웨이퍼(3)가 없는 것으로 인식하게 된다. 이에 기인하여, 프로세스 진행중 캐리어 스테이션 암 로스트웨이퍼 에러(carrier station arm lost waler error)가 다발하게 되고, 프로세스 진행이 불가능해 지는 문제점이 있다.
따라서, 본 고안의 목적은, 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 것으로서, 캐리어 스테이션 암 핀셋위의 웨이퍼의 유무를 정확하게 감지할 수 있는 반도체의 케리어 스테이션을 제공하는 것이다.
도 1은 종래의 캐리어 스테이션을 도시한 평면도.
도 2는 종래의 캐리어 스테이션을 도시한 측면도.
도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 캐리어 스테이션을 도시한 측면도.
도 4는 본 고안의 다른 실시예에 따른 캐리어 스테이이션을 도시한 평면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
3; 웨이퍼 10; 캐리어 스테이션 암
20; 캐리어 스테이션 암 핀셋 40a; 센서 발광부
40b; 센서 수광부 50; 센서부착용 부재
상기한 목적은, 본 고안에 따라, 캐리어에 있는 웨이퍼를 반송시켜주는 캐리어 스테이션 암과, 상기 캐리어 스테이션 암 위에 설치되어 웨이퍼를 상기 캐리어에서 빼내거나 넣어주는 캐리어 스테이션 암 핀셋을 포함하여 구성되는 반도체의 캐리어 스테이션에 있어서, 발광부 및 수광부가 단일체로 형성되고 평면투영시 상기 암 핀셋위에 적재된 웨이퍼의 외주면의 외측 및 내측중 어느 일측에 배치되어 상기 웨이퍼의 유무를 감지하는 상부센서와; 발광부 및 수광부가 단일체로 형성되고 평면투영시 상기 암 핀셋위에 적재된 웨이퍼의 외주면의 외측 및 내측중 상기 상부센서의 타측에 배치되어 상기 웨이퍼의 유무를 감지하는 하부센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체의 캐리어 스테이션에 의해 달성된다.
여기서, 상기 상부센서는 평면투영시 상기 암 핀셋위에 적재된 웨이퍼의 외주면의 내측에 배치되고, 상기 하부센서는 평면투영시 상기 암 핀셋위에 적재된 웨이퍼의 외주면의 외측에 배치되는 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안에 대해 상세히 설명한다.
본 고안의 반도체의 캐리어 스테이션은 도 3에 도시된 바와 같이, 캐리어(미도시)에 있는 웨이퍼(3)를 반송시켜주는 캐리어 스테이션 암(이하, 암이라 통칭한다)(10)과, 상기 암(10) 위에서 전후방향(X축)으로 동작을 하며 웨이퍼(3)를 캐리어에서 빼내오거나 넣어주는 캐리어 스테이션 암 핀셋(이하, 핀셋이라 통칭한다)(20)과, 상기 핀셋(20) 위에 웨이퍼(3)의 유무를 감지하도록 설치되는 센서(40a)(40b)를 포함하여 구성되는 것으로, 전체적인 구성은 종래의 기술과 동일하다.
상기 센서(40a)(40b)는 발광부(40a)와 수광부(40b)로 구성되며, 상기 핀셋(20) 위에 놓인 웨이퍼(3)를 수직방향으로 감지하도록 상기 웨이퍼(3)가 놓이는 위치의 상부와 하부에 상기 발광부(40a)와 수광부(40b)가 각각 설치된다.
상기 수광부(40b)는 상기 암(10)의 일측으로 웨이퍼(3)의 하부에 위치하도록 설치되어 있고, 상기 발광부(40a)는 상기 핀셋(20) 위에 놓인 웨이퍼(3)의 상부에서 광을 발산할 수 있도록 상기 암(10)에 별도로 설치되는 센서부착용 부재(50)에 설치되어 있다.
상기와 같은 구성의 반도체의 캐리어 스테이션의 동작을 설명하면 다음과 같다.
상기 암(10)은 좌우방향(Y축)과 상하방향(Z축)으로 동작하며 캐리어 내의 웨이퍼(3)를 받을 수 있는 위치로 이동한다.
암(10)이 위치를 잡으면 핀셋(20)이 전후방향(X축)으로 움직이며 캐리어 내의 웨이퍼(3)를 빼내온다.
핀셋(20)이 웨이퍼(3)를 캐리어에서 갖고 나와 본래의 위치로 되돌아오면 상기 센서(40a)(40b)가 웨이퍼(3)의 유무를 감지한다.
즉, 상기 발광부(40a)에서 발산된 광이 수광부(40b)에 감지되면 웨이퍼(3)가 핀셋(20) 위에 없는 것으로 인식하며, 상기 발광부(40a)에서 발산된 광이 수광부(40b)에서 감지가 안되면 웨이피(3)가 핀셋(20) 위에 있는 것으로 인식한다.
또한, 핀셋(20)이 웨이퍼(3)를 캐리어에서 갖고 나오는 동작에서는 상기 센서(40a)(40b)에서 웨이퍼(3)가 핀셋(20) 위에 있는 것으로 인식하며, 핀셋(20)이 웨이피(3)를 캐리어에 주는 동작에서는 상기 센서(40a)(40b)에서 웨이페(3)가 핀셋(20) 위에 없는 것으로 인식한다.
이와 같은 센서(40a)(40b)의 동작은 상기 암(10)이 메인암(main arm)(미도시)과 웨이퍼(3)를 주고받는 동작에서도 똑같이 적용된다. 이때, 암(10)이 웨이퍼(3)를 반송하는 중 웨이퍼(3)의 위치가 틀어져 센서(40a)(40b)가 감지할 수 있는 위치에서 벗어나게 되면 알람(alarm)을 발생시킨다.
본 고안의 반도체의 캐리어 스테이션은 센서(40a)(40b)가 수직으로 장착되어 있으므로 웨이퍼(3)의 끝부분이 벤딩되어 있어도 웨이퍼(3)가 핀셋(20) 위에 있는지 없는지를 정확히 감지할 수 있다.
본 고안의 다른 실시예로서, 첨부한 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 핀셋(20) 위에 놓인 웨이퍼(3)의 유무를 감지하는 센서로 발광부와 수광부가 일체형으로 구성되는 반사식 센서로서 상하방향을 따라 웨이퍼(3)의 하측에 배치되는 하부센서(60a)와, 웨이피(3)의 상측에 설치되는 상부센서(60b)로 구성되어 있다. 이들의 감지작용을 살펴보면, 발광부로부터 발산된 광이 웨이퍼(3)에 의해 반사되어 반사된 광이 수광부에 의해 감지되면 웨이퍼(3)가 있는 것으로 감지하게 된다.
상기 하부센서(60a) 및 상부센서(60b)는 웨이퍼(3)의 하측 및 상측에 각각 설치되며, 하부센서(60a)는 상기 핀셋(20) 위에 웨이퍼(3)가 놓였을 때 평면투영시 상기 웨이퍼(3)의 외주면의 바깥쪽에 위치하도록 설치되어 있다. 상부센서(60b)는, 평면투영시 상기 핀셋(20) 위에 웨이퍼(3)가 놓였을 때 상기 웨이퍼(3)의 외주면의 안쪽에 위치하도록 설치되어 있다.
상기와 같은 구성의 반도체의 캐리어 스테이션의 동작을 설명하면 다음과 같다.
상기 암(10)은 좌우방향(Y축)과 상하방향(Z축)으로 동작하며 캐리어 내의 웨이퍼(3)를 받을 수 있는 위치로 이동한다. 암(10)이 위치를 잡으면 핀셋(20)이 전후방향(X축)으로 움적이며 캐리어 내의 웨이퍼(3)를 빼내온다. 핀셋(20)이 웨이퍼(3)를 캐리어에서 갖고 나와 본래의 위치로 되돌아오면 상기 하부센서(60a) 및 상부센서(60b)가 웨이퍼(3)의 유무를 감지한다.
이때, 상기 웨이퍼(3)의 하부에 설치되어 있는 하부센서(60a)에는 웨이퍼(3)가 감지되지 않고, 웨이퍼(3)의 상부에 설치되어 있는 상부센서(60b)에 웨이퍼(3)가 감지되면, 핀셋(20) 위에 정상적으로 웨이퍼(3)가 존재하는 것으로 판단하게 된다.
그러나, 웨이퍼(3)의 위치가 전후방향(X축)이나 좌우방향(Y축)으로 틀어져서 정상적인 위치를 벗어나면 하부센서(60a) 및 상부센서(60b) 모두 웨이퍼(3)를 감지하게 되거나 감지하지 못하게 될 경우에는, 웨이퍼(3)가 이탈된 것으로 판단하여외부에 알람을 발생시킨다.
이상 설명한 바와 같이, 본 고안에 따르면, 웨이퍼를 감지하는 센서를 상하방향을 따라 상호 이격배치되도록 함으로써, 웨이퍼의 가장자리가 벤딩 될 경우 웨이퍼의 감지오류가 다발하던 종래와는 달리, 웨이퍼의 유무를 정확하게 감지할 수 있는 반도체의 캐리러 스테이션이 제공된다.

Claims (2)

  1. 캐리어에 있는 웨이퍼를 반송시켜주는 캐리어 스테이션 암과, 상기 캐리어스테이션 암 위에 설치되어 웨이퍼를 상기 캐리어에서 빼내거나 넣어주는 캐리어스테이션 암 핀셋을 포함하여 구성되는 반도체의 캐리어 스테이션에 있어서, 발광부 및 수광부가 단일체로 형성되고 평면투영시 상기 암 핀셋위에 적재된 웨이퍼의 외주면의 외측 및 내측중 어느 일측에 배치되어 상기 웨이퍼의 유무를 감지하는 상부센서와; 발광부 및 수광부가 단일체로 형성되고 평면투영시 상기 암 핀셋위에 적재된 웨이퍼의 외주면의 외측 및 내측중 상기 상부센서의 타측에 배치되어 상기 웨이퍼의 유무를 감지하는 하부센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체의 캐리어 스테이션.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 상부센서는 평면투영시 상기 암 핀셋위에 적재된 웨이퍼의 외주면의 내측에 배치되고, 상기 하부센서는 평면투영시 상기 암 핀셋위에 적재된 웨이퍼의 외주면의 외측에 배치되는 것을 특징으로 하는 반도체의 캐리어 스테이션.
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