JPH09232404A - ウェハ搬送装置 - Google Patents
ウェハ搬送装置Info
- Publication number
- JPH09232404A JPH09232404A JP5680896A JP5680896A JPH09232404A JP H09232404 A JPH09232404 A JP H09232404A JP 5680896 A JP5680896 A JP 5680896A JP 5680896 A JP5680896 A JP 5680896A JP H09232404 A JPH09232404 A JP H09232404A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- arm
- wafer transfer
- transfer robot
- robot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウェハ搬送ロボットの取付け面に対するウェ
ハ搬送ロボットのアーム先端の傾きを検出し、ウェハ搬
送ロボットに取付けた搬送フォークが隣接する他のウェ
ハに接触しないようにする。 【解決手段】 ウェハカセット８に収納されたウェハ１
２を、ウェハ搬送室１に設置されたウェハ搬送ロボット
３のアームに取付けた搬送フォーク７に載置して搬送す
るウェハ搬送装置において、ウェハ搬送室１に、ウェハ
搬送ロボットのアームを伸長し、伸長したアーム先端の
裏面に近接させたセンサー１４を設け、ウェハ搬送ロボ
ットの取付け面２ａに対するウェハ搬送ロボットのアー
ム先端の前方への傾きを検出するようにしている。
ハ搬送ロボットのアーム先端の傾きを検出し、ウェハ搬
送ロボットに取付けた搬送フォークが隣接する他のウェ
ハに接触しないようにする。 【解決手段】 ウェハカセット８に収納されたウェハ１
２を、ウェハ搬送室１に設置されたウェハ搬送ロボット
３のアームに取付けた搬送フォーク７に載置して搬送す
るウェハ搬送装置において、ウェハ搬送室１に、ウェハ
搬送ロボットのアームを伸長し、伸長したアーム先端の
裏面に近接させたセンサー１４を設け、ウェハ搬送ロボ
ットの取付け面２ａに対するウェハ搬送ロボットのアー
ム先端の前方への傾きを検出するようにしている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハをウ
ェハ搬送ロボットの搬送フォークに載置して搬送するウ
ェハ搬送装置に関するものである。
ェハ搬送ロボットの搬送フォークに載置して搬送するウ
ェハ搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のウェハ搬送装置は、図３、４に示
すようにウェハ搬送室１にゲートバルブ１７を介して第
１プロセス室１８、第２プロセス室１９あるいはウェハ
カセット室９が設けられ、前記ウェハ搬送室１には、底
板２のウェハ搬送ロボットの取付け面２ａにウェハ搬送
ロボット３が取付けられている。前記ウェハ搬送ロボッ
ト３はモータの軸（図示せず）に一端を固定した第１の
アーム４が設けられ、この第１のアーム４の端部に第２
のアーム５が旋回可能に取付けてある。前記第２のアー
ム５の端部には第３のアーム６が旋回可能に取付けら
れ、この第３のアーム６の端部には搬送フォーク７が固
定してある。このように構成したウェハ搬送装置におい
て、ウェハ搬送ロボット３を始動すると第１のアーム
４、第２のアーム５、第３のアーム６が屈伸して前記第
３のアーム６に取付けた搬送フォーク７を前進、後退さ
せてウェハカセット室９のウェハカセット８からウェハ
１２をウェハ搬送ロボット３に取付けた搬送フォーク７
に載置してウェハ１２を取り出し、第１プロセス室１８
あるいは第２プロセス室１９へ搬送し、ウエハの処理が
終了した後、ウェハをウェハカセット８へ搬送するよう
にしてある。
すようにウェハ搬送室１にゲートバルブ１７を介して第
１プロセス室１８、第２プロセス室１９あるいはウェハ
カセット室９が設けられ、前記ウェハ搬送室１には、底
板２のウェハ搬送ロボットの取付け面２ａにウェハ搬送
ロボット３が取付けられている。前記ウェハ搬送ロボッ
ト３はモータの軸（図示せず）に一端を固定した第１の
アーム４が設けられ、この第１のアーム４の端部に第２
のアーム５が旋回可能に取付けてある。前記第２のアー
ム５の端部には第３のアーム６が旋回可能に取付けら
れ、この第３のアーム６の端部には搬送フォーク７が固
定してある。このように構成したウェハ搬送装置におい
て、ウェハ搬送ロボット３を始動すると第１のアーム
４、第２のアーム５、第３のアーム６が屈伸して前記第
３のアーム６に取付けた搬送フォーク７を前進、後退さ
せてウェハカセット室９のウェハカセット８からウェハ
１２をウェハ搬送ロボット３に取付けた搬送フォーク７
に載置してウェハ１２を取り出し、第１プロセス室１８
あるいは第２プロセス室１９へ搬送し、ウエハの処理が
終了した後、ウェハをウェハカセット８へ搬送するよう
にしてある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このように構成したウ
ェハ搬送装置は、長年ウェハ搬送ロボットを稼働してい
ると、経年変化や誤操作による衝突などによりアーム先
端がウェハ搬送ロボットの取付け面に対して傾いてく
る。アーム先端が傾いてくると、このアーム先端に取付
けた搬送フォークも傾いてくる。そして搬送フォークが
傾いてくると、ウェハカセット内のウェハの間隔が狭い
ため、隣接する他のウェハに搬送フォークが接触して損
傷する問題が生じる。本発明は、ウェハ搬送ロボットの
取付け面に対するウェハ搬送ロボットのアーム先端の傾
きを検出し、ウェハ搬送ロボットに取付けた搬送フォー
クが隣接する他のウェハに接触しないようにすることを
目的とする。
ェハ搬送装置は、長年ウェハ搬送ロボットを稼働してい
ると、経年変化や誤操作による衝突などによりアーム先
端がウェハ搬送ロボットの取付け面に対して傾いてく
る。アーム先端が傾いてくると、このアーム先端に取付
けた搬送フォークも傾いてくる。そして搬送フォークが
傾いてくると、ウェハカセット内のウェハの間隔が狭い
ため、隣接する他のウェハに搬送フォークが接触して損
傷する問題が生じる。本発明は、ウェハ搬送ロボットの
取付け面に対するウェハ搬送ロボットのアーム先端の傾
きを検出し、ウェハ搬送ロボットに取付けた搬送フォー
クが隣接する他のウェハに接触しないようにすることを
目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、ウェハカセットに収納されたウェハを、ウ
ェハ搬送室に設置されたウェハ搬送ロボットのアームに
取付けた搬送フォークに載置して搬送するウェハ搬送装
置において、前記ウェハ搬送室に、ウェハ搬送ロボット
のアームを伸長し、伸長したアーム先端の裏面に近接さ
せたセンサーを設け、ウェハ搬送ロボットの取付け面に
対するウェハ搬送ロボットのアーム先端の傾きを検出す
るようにしている。
するために、ウェハカセットに収納されたウェハを、ウ
ェハ搬送室に設置されたウェハ搬送ロボットのアームに
取付けた搬送フォークに載置して搬送するウェハ搬送装
置において、前記ウェハ搬送室に、ウェハ搬送ロボット
のアームを伸長し、伸長したアーム先端の裏面に近接さ
せたセンサーを設け、ウェハ搬送ロボットの取付け面に
対するウェハ搬送ロボットのアーム先端の傾きを検出す
るようにしている。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図に示す実施例に
基づいて説明する。図１は、本発明の実施例を示すウェ
ハ搬送装置の要部側断面図である。図２は半導体処理装
置の構成を概念的に示す平面図である。図３、４と同一
のものには同一符号を付して詳細な説明を省略する。図
において、１はウェハ搬送室で、このウェハ搬送室１の
底板２のウェハ搬送ロボットの取付け面２ａにウェハ搬
送ロボット３が取付けてある。このウェハ搬送ロボット
３は、ロボット内のモータの軸（図示せず）に一端を取
付けた第１アーム４を有し、この第１のアーム４の先端
に第２のアーム５を旋回可能に取付け、この第２のアー
ム５の先端に第３のアーム６を旋回可能に設けて、この
第３のアーム６の先端に設けた搬送フォーク７が直線方
向に前進、後退できるように構成してある。８はウェハ
カセット室９に設けたウェハカセットエレベータ１０の
テーブル１１に載置したウェハカセットで、このウェハ
カセット８にウェハ１２が収納されている。１３はウェ
ハ搬送室１の底板２に固定したセンサー台で、このセン
サー台にセンサー１４のヘッドが取付けられ、前記セン
サーヘッドをウェハ搬送ロボットの第１のアーム４、第
２のアーム５および第３のアーム６が伸長し、この伸長
した第３のアーム先端の下側の面に対向させてある。１
５はハーメチックフランジで、センサーヘッドからの信
号線１６を室外に導出するようにしてある。このように
構成したウェハ搬送装置は、ウェハ搬送前あるいはウェ
ハ搬送ロボット３でウェハ１２をウェハカセット８から
多数回搬出した後、前記アームを伸長させてセンサー１
４のヘッドの上方にウェハ搬送ロボット３の第３のアー
ム６の先端を位置させ、ウェハ搬送ロボット３の取付け
面に対するウェハ搬送ロボット３の第３のアームの先端
の傾きを検出し、規定値以内であればそのまま作業を続
行し、規定値以外であれば警報を出力し、あるいはウェ
ハ搬送ロボットの操作を停止するようにしてある。前記
センサーは、ガスを発生しない材料で構成された渦電流
式の距離センサーを用いると、非接触で検出するので発
塵しない。また、非接触で検出するものであれば渦電流
式距離センサーに限ることなく、他のセンサーを用いて
もよい。
基づいて説明する。図１は、本発明の実施例を示すウェ
ハ搬送装置の要部側断面図である。図２は半導体処理装
置の構成を概念的に示す平面図である。図３、４と同一
のものには同一符号を付して詳細な説明を省略する。図
において、１はウェハ搬送室で、このウェハ搬送室１の
底板２のウェハ搬送ロボットの取付け面２ａにウェハ搬
送ロボット３が取付けてある。このウェハ搬送ロボット
３は、ロボット内のモータの軸（図示せず）に一端を取
付けた第１アーム４を有し、この第１のアーム４の先端
に第２のアーム５を旋回可能に取付け、この第２のアー
ム５の先端に第３のアーム６を旋回可能に設けて、この
第３のアーム６の先端に設けた搬送フォーク７が直線方
向に前進、後退できるように構成してある。８はウェハ
カセット室９に設けたウェハカセットエレベータ１０の
テーブル１１に載置したウェハカセットで、このウェハ
カセット８にウェハ１２が収納されている。１３はウェ
ハ搬送室１の底板２に固定したセンサー台で、このセン
サー台にセンサー１４のヘッドが取付けられ、前記セン
サーヘッドをウェハ搬送ロボットの第１のアーム４、第
２のアーム５および第３のアーム６が伸長し、この伸長
した第３のアーム先端の下側の面に対向させてある。１
５はハーメチックフランジで、センサーヘッドからの信
号線１６を室外に導出するようにしてある。このように
構成したウェハ搬送装置は、ウェハ搬送前あるいはウェ
ハ搬送ロボット３でウェハ１２をウェハカセット８から
多数回搬出した後、前記アームを伸長させてセンサー１
４のヘッドの上方にウェハ搬送ロボット３の第３のアー
ム６の先端を位置させ、ウェハ搬送ロボット３の取付け
面に対するウェハ搬送ロボット３の第３のアームの先端
の傾きを検出し、規定値以内であればそのまま作業を続
行し、規定値以外であれば警報を出力し、あるいはウェ
ハ搬送ロボットの操作を停止するようにしてある。前記
センサーは、ガスを発生しない材料で構成された渦電流
式の距離センサーを用いると、非接触で検出するので発
塵しない。また、非接触で検出するものであれば渦電流
式距離センサーに限ることなく、他のセンサーを用いて
もよい。
【０００６】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、ウェ
ハ搬送ロボットの取付け面に対するウェハ搬送ロボット
のアーム先端の傾きを検出でき、ウェハカセット内に搬
送フォークを挿入しても搬送フォークがウェハを損傷す
ることがない。
ハ搬送ロボットの取付け面に対するウェハ搬送ロボット
のアーム先端の傾きを検出でき、ウェハカセット内に搬
送フォークを挿入しても搬送フォークがウェハを損傷す
ることがない。
【図１】本発明の実施例を示すウェハ搬送装置の要部側
断面図である。
断面図である。
【図２】本発明の半導体処理装置の構成を概念的に示す
平面図である。
平面図である。
【図３】従来のウェハ搬送装置の要部側断面図である。
【図４】従来の半導体処理装置の構成を概念的に示す平
面図である。
面図である。
１ ウェハ搬送室、 ２ 底板、 ３ ウェハ搬送ロボ
ット、４ 第１のアーム、 ５ 第２のアーム、 ６
第３のアーム、７ 搬送フォーク、 ８ ウェハカセッ
ト、 ９ ウェハカセット室、１０ ウェハカセットエ
レベータ、 １１ テーブル、 １２ ウェハ、１３
センサー台、 １４ センサー、 １５ ハーメチック
フランジ、１６ 信号線
ット、４ 第１のアーム、 ５ 第２のアーム、 ６
第３のアーム、７ 搬送フォーク、 ８ ウェハカセッ
ト、 ９ ウェハカセット室、１０ ウェハカセットエ
レベータ、 １１ テーブル、 １２ ウェハ、１３
センサー台、 １４ センサー、 １５ ハーメチック
フランジ、１６ 信号線
Claims (2)
- 【請求項１】 ウェハカセットに収納されたウェハを、
ウェハ搬送室に設置されたウェハ搬送ロボットのアーム
に取付けた搬送フォークに載置して搬送するウェハ搬送
装置において、前記ウェハ搬送室に、ウェハ搬送ロボッ
トのアームを伸長し、伸長したアーム先端の裏面に近接
させたセンサーを設け、前記ウェハ搬送ロボットの取付
け面に対するウェハ搬送ロボットのアーム先端の傾きを
検出するようにしたことを特徴とするウェハ搬送装置。 - 【請求項２】 前記センサーが渦電流式距離センサーで
ある請求項１記載のウェハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5680896A JPH09232404A (ja) | 1996-02-19 | 1996-02-19 | ウェハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5680896A JPH09232404A (ja) | 1996-02-19 | 1996-02-19 | ウェハ搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09232404A true JPH09232404A (ja) | 1997-09-05 |
Family
ID=13037697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5680896A Pending JPH09232404A (ja) | 1996-02-19 | 1996-02-19 | ウェハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09232404A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005286211A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Tokyo Electron Ltd | 真空処理装置及び真空処理方法 |
| JP2006155584A (ja) * | 2004-11-05 | 2006-06-15 | Hitachi Ltd | 遠隔メンテナンスシステム，モニタリングセンター計算機，モニタリングシステム及びメンテナンス指示方法 |
| KR101009855B1 (ko) * | 2007-12-20 | 2011-01-20 | 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 | 기판처리장치 및 그 기판반송방법 |
| JP2014216648A (ja) * | 2013-04-29 | 2014-11-17 | グローバルファウンドリーズ・インコーポレイテッド | ウェハハンドリングをモニタリングするためのシステム及び方法並びにウェハハンドリングマシン |
| KR102150230B1 (ko) * | 2020-04-07 | 2020-08-31 | (주)볼타오토메이션 | 진공로봇을 이용한 이송장치 |
-
1996
- 1996-02-19 JP JP5680896A patent/JPH09232404A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005286211A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Tokyo Electron Ltd | 真空処理装置及び真空処理方法 |
| JP4524132B2 (ja) * | 2004-03-30 | 2010-08-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置 |
| JP2006155584A (ja) * | 2004-11-05 | 2006-06-15 | Hitachi Ltd | 遠隔メンテナンスシステム，モニタリングセンター計算機，モニタリングシステム及びメンテナンス指示方法 |
| JP4661512B2 (ja) * | 2004-11-05 | 2011-03-30 | 株式会社日立製作所 | 遠隔メンテナンスシステム，モニタリングセンター計算機及びメンテナンス指示方法 |
| US8234095B2 (en) | 2004-11-05 | 2012-07-31 | Hitachi, Ltd. | Remote maintenance system, monitoring center computer used for the same, monitoring system and method of communication for maintenance |
| KR101009855B1 (ko) * | 2007-12-20 | 2011-01-20 | 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 | 기판처리장치 및 그 기판반송방법 |
| US8215891B2 (en) | 2007-12-20 | 2012-07-10 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate treating apparatus, and a substrate transporting method therefor |
| JP2014216648A (ja) * | 2013-04-29 | 2014-11-17 | グローバルファウンドリーズ・インコーポレイテッド | ウェハハンドリングをモニタリングするためのシステム及び方法並びにウェハハンドリングマシン |
| US10593575B2 (en) | 2013-04-29 | 2020-03-17 | GlobalFoundries, Inc. | System and method for monitoring wafer handling and a wafer handling machine |
| KR102150230B1 (ko) * | 2020-04-07 | 2020-08-31 | (주)볼타오토메이션 | 진공로봇을 이용한 이송장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2004033158A3 (en) | Substrate handling system for aligning and orienting substrates during a transfer operation | |
| US20020102157A1 (en) | Work transfer apparatus | |
| JPH09232404A (ja) | ウェハ搬送装置 | |
| JPH05304198A (ja) | 搬送装置 | |
| JP2005539385A5 (ja) | ||
| JP4015762B2 (ja) | 半導体ウェーハの厚さ測定装置 | |
| JPH10335420A (ja) | ワークのアライメント装置 | |
| US20030205905A1 (en) | Wafer holder | |
| US6459382B1 (en) | Over clamp sensor | |
| JP2000012657A (ja) | 半導体ウェハの位置決め装置 | |
| KR200252735Y1 (ko) | 반도체의 캐리어 스테이션 | |
| KR19980067497U (ko) | 웨이퍼의 위치감지장치 | |
| JP2627266B2 (ja) | 搬送アーム | |
| JPH09314485A (ja) | 真空作業装置 | |
| JP2564708Y2 (ja) | ウェハーの移載装置 | |
| JPH05238513A (ja) | 半導体ウェハー収納カセットと半導体ウェハー搬送機構との位置決め方法 | |
| JPH07169823A (ja) | 基板検出装置 | |
| JP3125435B2 (ja) | ウエハ搬送装置およびウエハ搬送方法 | |
| JP2001277169A (ja) | ロボットハンド | |
| JP2005064055A (ja) | カセット内に収納された基板の検出機構および検出方法 | |
| JPS63278243A (ja) | ウエハの搬送装置 | |
| JPH0746000Y2 (ja) | チップ吸着異常検出装置 | |
| JPH0774230A (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPS62168287U (ja) | ||
| JPS6184017A (ja) | マスク搬送装置 |