JP2011119456A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ロードポート1上に搭載される半導体ウェーハ収納用の容器本体10と、この容器本体10の底部に形成されてロードポート1の複数の位置決めピン4上にそれぞれ嵌合する複数の位置決め芯出し具14とを備え、容器本体10の底部に、ロードポート1の位置決めピン4に位置決め芯出し具14が適正に嵌合する場合にロードポート1のセンサ3に対向して検出される被検出領域50と、この被検出領域50の周囲に位置する非検出領域51とを配設し、被検出領域50の高さを非検出領域51よりも相対的に高くしてロードポート1のセンサ3が被検出領域50を誤検出するのを防止する。
【選択図】図3
Description
容器本体の底部に、加工装置の位置決めピンに位置決め芯出し具が適正に嵌め合わされる場合に加工装置のセンサに対向して検出される被検出領域と、この被検出領域の周囲に位置する非検出領域とをそれぞれ設け、被検出領域の高さを非検出領域よりも相対的に高くしたことを特徴としている。
また、ボトムプレートの基準面に凹凸を形成し、凸部を被検出領域とするとともに、凹部を非検出領域とすることができる。
さらに、ボトムプレートの下面周縁を基準面とするとともに、この下面周縁以外を低い段差面に形成し、この段差面に被検出領域を下方に向けて突出形成し、この検出領域の周囲の段差面を非検出領域とすることが可能である。
これに対し、位置決めピンに位置決め芯出し具が嵌合せず、容器本体が正しく位置決めされない場合には、加工装置のセンサに被検出領域が的確に対向せず、非検出領域等が対向するので、センサが光線を適切に受光しなかったり、受光量が不安定化したり、検出時間が長くなる。したがって、正規の搭載箇所に基板収納容器が適切に搭載されたと加工装置が誤って判断することが少ない。
さらに、凹んだ非検出領域の内面に乱反射用の突起を形成すれば、加工装置のセンサの光線が様々な角度で反射するので、センサが照射した光線を適切に受光しないこととなり、センサの誤検出防止を図ることができる。
3 センサ
4 位置決めピン
10 容器本体
14 位置決め芯出し具
15 V溝
16 谷
17 ボトムプレート(容器本体の底部)
18 基準面
21 ガイド部
26 段差面
30 蓋体
50 被検出領域
51 非検出領域
52 センシングパッド
53 突起
Claims (5)
- 加工装置に搭載される基板収納用の容器本体と、この容器本体の底部に形成されて加工装置の位置決めピンに嵌め合わされる位置決め芯出し具とを備え、容器本体を正面が開口したフロントオープンボックスとした基板収納容器であって、
容器本体の底部に、加工装置の位置決めピンに位置決め芯出し具が適正に嵌め合わされる場合に加工装置のセンサに対向して検出される被検出領域と、この被検出領域の周囲に位置する非検出領域とをそれぞれ設け、被検出領域の高さを非検出領域よりも相対的に高くしたことを特徴とする基板収納容器。 - 容器本体の底面に位置決め芯出し具を形成し、容器本体の底面に、加工装置の位置決めピンに位置決め芯出し具を誘導するガイド部を備えたボトムプレートを取り付けてその下面を基準面とし、ボトムプレートに被検出領域と非検出領域とをそれぞれ設けた請求項1記載の基板収納容器。
- ボトムプレートの基準面に凹凸を形成し、凸部を被検出領域とするとともに、凹部を非検出領域とした請求項2記載の基板収納容器。
- 凹んだ非検出領域の内面に乱反射用の突起を形成した請求項3記載の基板収納容器。
- ボトムプレートの下面周縁を基準面とするとともに、この下面周縁以外を低い段差面に形成し、この段差面に被検出領域を下方に向けて突出形成し、この検出領域の周囲の段差面を非検出領域とした請求項2記載の基板収納容器。
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Cited By (1)
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CN108712987A (zh) * | 2016-03-22 | 2018-10-26 | 特瓦利卜姆巴拉克哈塔扬有限公司 | 运输集装箱和用于监测运输集装箱中的内容物的系统 |
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-
2009
- 2009-12-03 JP JP2009275532A patent/JP5460274B2/ja active Active
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