JP2002151565A5 - - Google Patents

Claims (33)

1. 標準３００ｍｍＦＯＵＰカセットのハンドリング用に構成されたシステムにおいて、
   投入／排出ステーションと、
   該投入／排出ステーションに隣接するカセット移送領域と、
   該カセット移送領域に隣接すると共に、３００ｍｍＦＯＵＰカセットと相互作用するように構成されたインターフェイスによって前記カセット移送領域から分離されているウェハハンドリングチャンバと、
   前記投入／排出ステーションから、前記カセット移送領域を介して前記インターフェイスまで、カセットを移送するように構成されたカセット移送機構であって、前記標準３００ｍｍＦＯＵＰカセットを受け入れるように構成された支持面を有した前記カセット移送機構と、
   前記ウェハハンドリングチャンバ内に配設され、前記インターフェイスを介して、カセット内のウェハにアクセスするように構成されたウェハハンドリングロボットと、
   前記システム内で、２００ｍｍオープンカセットを受け取り、かつ移送するようにされたツールセットと、
   前記支持面に適合し、かつその上に前記２００ｍｍオープンカセットを収容するように構成されたカセットハンドラアダプタと
   を備えるシステム。
2. 前記インターフェイスが、前記カセット移送領域と前記ウェハハンドリングチャンバとの間にパーティションを備え、該パーティションに３００ｍｍＦＯＵＰカセットと対合する開閉可能な開口が設けられている請求項１に記載のシステム。
3. 前記カセット移送機構が、前記投入／排出ステーションと前記カセット移送領域との間でカセットを移送するように構成されたカセットハンドラロボットを備えており、前記支持面は該カセットハンドラロボット上に形成されている請求項１に記載のシステム。
4. 前記ツールセットが、３００ｍｍＦＯＵＰカセット標準に適合する外部表面を有する積替式ＦＯＵＰカセットを備え、該積替式ＦＯＵＰカセットが、２００ｍｍオープンカセットを受け入れるように構成された内部プラットホームを備えている請求項３に記載のシステム。
5. 前記カセット移送領域内に、不使用時に前記積替式ＦＯＵＰカセットを収納する収納位置をさらに備える請求項４に記載のシステム。
6. 前記カセット移送機構がカセット移送プラットホームをさらに備え、該カセット移送プラットホームが、前記カセットハンドラロボットからカセットを受け取ると共に、前記ウェハハンドリングロボットが前記インターフェイスを介してアクセスできる作業位置にカセットを配置するように構成されている請求項３に記載のシステム。
7. 前記カセット移送プラットホームがターンテーブルを備えている請求項６に記載のシステム。
8. 不使用時に前記カセットハンドラアダプタを収納する収納位置をさらに備える請求項３に記載のシステム。
9. 前記収納位置が前記カセットハンドラロボット上にある請求項８に記載のシステム。
10. 前記カセットハンドラロボットからアクセス可能なカセットストアをさらに備えるシステムであって、前記カセットハンドラアダプタを収納するための収納位置が、前記カセットストア内部の指定された位置にある請求項８に記載のシステム。
11. 前記カセット移送領域内にカセットストアをさらに備え、該カセットストアが、前記カセットハンドラロボットからアクセス可能であると共に、複数の３００ｍｍＦＯＵＰ用の収納位置を有する収納プラットホームを備えている請求項３に記載のシステム。
12. 前記ツールセットが、３００ｍｍＦＯＵＰ用位置の１つに適合するように構成されたストアアコモデーションプレートを備え、該ストアアコモデーションプレートが少なくとも１つの２００ｍｍオープンカセットを収容するように構成されている請求項１１に記載のシステム。
13. 前記ストアアコモデーションプレートが２つの２００ｍｍオープンカセットを収容するように構成されている請求項１２に記載のシステム。
14. 前記ストアが複数の積重ね式回転収納プラットホームを備え、該プラットホームが複数の収納コンパートメントに分割されると共に、３００ｍｍＦＯＵＰ用の収納位置を構成している請求項１１に記載のシステム。
15. 前記ツールセットが、標準３００ｍｍＦＯＵＰを受け入れるように設計された投入／排出ステーションの位置に適合するように構成されたロードポートアダプタプレートを備え、該ロードポートアダプタプレートの上に２００ｍｍオープンカセットを収容するように構成されている請求項１に記載のシステム。
16. ２００ｍｍカセットの存在をシステム内の個々の位置において判定するためのセンサ装置をさらに備え、該センサ装置が前記個々の位置において、３００ｍｍＦＯＵＰカセットの存在と２００ｍｍオープンカセットの存在とを区別することができる請求項４に記載のシステム。
17. 前記センサ装置が、個々の位置において標準３００ｍｍＦＯＵＰカセットの存在と積替式ＦＯＵＰカセットの存在とを区別することのできる請求項１６に記載のシステム。
18. 前記センサ装置が、複数の光センサと光エミッタとリフレクタと１つの中央演算処理装置とを備えている請求項１６に記載のシステム。
19. 前記カセットハンドラロボットが、標準３００ｍｍＦＯＵＰカセットを受け入れるように構成された前記支持面を有するエンドエフェクタを備え、前記センサ装置が少なくとも１つの光センサと１つの光エミッタとを備え、前記カセットハンドラロボットの支持面に装着された時に前記カセットハンドラアダプタを検出するように配置されている請求項１８に記載のシステム。
20. 前記センサが前記中央演算処理装置と通信し、該中央演算処理装置は、前記カセットハンドラロボットに命令して、２００ｍｍオープンカセットを移送するのに必要な時に、前記カセットハンドラアダプタを自動的に取り上げさせるプログラムを備えており、該プログラムは、前記カセットハンドラロボットにさらに命令して、２００ｍｍオープンカセットの移送に必要でないときには、前記カセットハンドラアダプタを収納させるようにした請求項１９に記載のシステム。
21. 前記センサが前記中央演算処理装置と通信し、該中央処理ユニットが、前記カセットハンドラロボットに命令してウェハを２００ｍｍオープンカセットから前記ウェハハンドリングロボットへ、あるいはその逆に移送する必要がある時に、前記積替式ＦＯＵＰの内部の２００ｍｍオープンカセットを自動的に設置させるプログラムを備えており、前記プログラムは前記カセットハンドラロボットにさらに命令して、２００ｍｍオープンカセットと前記ウェハハンドラロボットとの間のウェハ移送が完了した時に、２００ｍｍオープンカセットを取り外させるようにした請求項１９に記載のシステム。
22. 前記カセットハンドラロボットの支持面上に少なくとも１つのセンサ穴が設けられ、
    かつ前記カセットハンドラアダプタがベーンを備え、このベーンが、前記カセットハンドラアダプタが前記カセットハンドラロボットの支持面に装着されている時に、前記センサ穴と整列されており、
    さらに前記センサ装置がセンサを備え、このセンサが、前記カセットハンドラアダプタが前記カセットハンドラロボットの支持面に装着されているときに、前記センサ穴を介して下方に延びる前記ベーンを検出するようにした請求項１９に記載のシステム。
23. ３００ｍｍ半導体ウェハをハンドリングするよう構成された処理システム内で２００ｍｍ半導体ウェハをハンドリングする方法であって、
    投入／排出ステーションの受入れ位置上に２００ｍｍオープンカセットを配置するステップと、
    前記２００ｍｍオープンカセットを内部に受け入れるように寸法と形を決めた積替式ＦＯＵＰカセットを前記処理システム内に供給するステップと、
    前記投入／排出ステーションの受入れ位置から前記２００ｍｍカセットを移送して、前記２００ｍｍカセットを前記積替式ＦＯＵＰカセット内部に配置するステップと、
    前記２００ｍｍカセットを内部に装填した前記積替式ＦＯＵＰカセットを移送して、ウェハハンドリングロボットと接続させるステップと
    を備えており、前記２００ｍｍカセットを移送するステップは前記処理システム内で行われる方法。
24. 前記積替式ＦＯＵＰカセットを供給するステップが、前記積替式ＦＯＵＰカセットを、前記システム内の収納位置からカセット移送プラットホームへと移動させるステップを備えている請求項２３に記載の方法。
25. 前記２００ｍｍカセットを移送するステップが、前記２００ｍｍカセットを前記投入／排出ステーションからカセットストアに移送するステップと、これに次いで前記２００ｍｍカセットを前記カセットストアから前記カセット移送プラットホームに移送するステップとを備えている請求項２４に記載の方法。
26. 前記２００ｍｍカセットを移送するステップが、カセットハンドラエンドエフェクタとともにカセットハンドラアダプタを取り上げるステップと、前記エンドエフェクタとともに前記２００ｍｍカセットを取り上げるステップとを備え、前記カセットハンドラアダプタが前記カセットハンドラエンドエフェクタと前記２００ｍｍカセットとの間に介在する請求項２４に記載の方法。
27. 前記積替式ＦＯＵＰカセットを移送するステップが、前記積替式ＦＯＵＰが載置されている前記カセット移送プラットホームを回転させるステップを備えている請求項２３に記載の方法。
28. 標準型３００ｍｍＦＯＵＰカセット、或いは２００ｍオープンカセットのいずれかを選択してハンドリングする方法において、
    前記２００ｍｍカセット及び３００ｍｍＦＯＵＰカセットを共に受け入れるように構成された投入／排出ステーションからカセットを移送するよう構成されたカセットハンドラロボットであって、前記標準型３００ｍｍＦＯＵＰカセットを受け入れるように構成された支持面を有する前記カセットハンドラロボットを供給するステップと、
    前記支持面に適合し、かつその上に前記２００ｍｍカセットを収容するように構成されたカセットハンドラアダプタを、前記カセットハンドラロボットを用いて収納位置から取り上げるステップと、
    前記カセットハンドラロボットと前記２００ｍｍカセットとの間に介在された前記カセットハンドラアダプタを用いて、前記２００ｍｍカセットをハンドリングするステップとを備えている方法。
29. ３００ｍｍＦＯＵＰカセット標準に適合する外部表面を有し、２００ｍｍ半導体ウェハを収納および移送するための２００ｍｍオープンカセットを受け入れるように構成された内部プラットホームを備える積替式カセット。
30. 前記内部プラットホームから上方に延びる複数の位置決め固定具をさらに備え、前記位置決め固定具が、前記積替式カセット内で前記２００ｍｍオープンカセットを水平方向に固定するように配置されている請求項２９に記載の積替式カセット。
31. 前記積替式カセットの外部表面が、その下部表面に半径方向に細長い複数の凹部を備え、該凹部が前記３００ｍｍＦＯＵＰカセット用の標準位置決めピンを受け入れるように位置決めおよび寸法取りされている請求項２９に記載の積替式カセット。
32. 前記積替式カセットの外部表面が、半導体処理システム内のパーティションと密閉接続するように構成されたフロントフランジを備え、該フロントフランジがフロント開口部を構成している請求項２９に記載の積替式カセット。
33. 背面および側面に複数の窓部をさらに設けた請求項３２に記載の積替式カセット。