JP7262170B2 - 半導体処理ツールとの随意の統合を伴うスマートバイブレーションウエハ - Google Patents
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Description
本出願は、2017年2月6日に出願され発明の名称を「SMART VIBRATION WAFER WITH OPTIONAL INTEGRATION WITH SEMICONDUCTOR PROCESSING TOOL(半導体処理ツールとの随意の統合を伴うスマートバイブレーションウエハ)」としあらゆる目的のために参照によってその全体を本明細書に組み込まれる米国仮特許出願第15/425,921号に基づく優先権を主張する。
α=at/d1
第1の加速度計114又は第2の加速度計116のいずれかによって測定された加速度を使用して接線加速度成分が決定されてよいことが、容易に明らかである。一部の実現形態では、第1の加速度計114及び第2の加速度計116の両方によって測定された加速度が、接線加速度を決定するために使用されてよく、両接線加速度の結果として得られた角加速度は、テストウエハについての更に正確な角加速度値に到達するために平均化されてよい。角加速度が知られたら、その角加速度は、テストウエハ102上の任意の地点における加速度を決定するために、CG126における加速度成分と併せて使用されてよい。これは、テストウエハ全域にわたる、及び具体的にはテストウエハ102がウエハハンドリングロボットのエンドエフェクタの接触パッドに接触する場所における、実際の加速度場の更に正確な決定を可能にする。
Claims (30)
- 半導体処理ツールの特性を評価するための装置であって、
半導体処理ツールの中でウエハハンドリングロボットのエンドエフェクタによって運ばれる大きさのプラットフォームと、
第1の加速度計と、
第2の加速度計と、
1つ以上のプロセッサと、前記1つ以上のプロセッサに操作可能に接続されているメモリとを含むコントローラとを備え、
前記第1の加速度計及び前記第2の加速度計は、2軸加速度計又は3軸加速度計であり、前記プラットフォームに垂直な方向に沿って見たときに、前記プラットフォーム上の、前記装置の重心と交差する共通軸に沿って隔たれた場所に位置決めされ、
前記メモリは、前記1つ以上のプロセッサが、
前記第1の加速度計及び前記第2の加速度計によって生成された加速度データを取得し、
前記加速度データを使用して前記プラットフォームの面内における前記装置の前記重心を中心とする回転加速度を決定する、
ように制御するためのコンピュータ実行可能命令を格納する、
装置。 - 請求項1に記載の装置であって、
前記加速度データは、前記共通軸に平行な前記第1の加速度計の第1の軸に沿う加速度の大きさ及び前記第1の軸に垂直な前記第1の加速度計の第2の軸に沿う加速度の大きさを示す前記第1の加速度計からのデータを含み、
前記加速度データは、更に、前記共通軸に平行な前記第2の加速度計の第1の軸に沿う加速度の大きさ及び前記第1の軸に垂直な前記第2の加速度計の第2の軸に沿う加速度の大きさを示す前記第2の加速度計からのデータを含む、装置。 - 請求項2に記載の装置であって、
前記加速度データを使用して前記プラットフォームの面内における前記装置の前記重心を中心とする回転加速度を決定するように前記1つ以上のプロセッサを制御するための前記コンピュータ実行可能命令は、
前記装置の前記重心における、前記第2の軸に平行な軸に沿う重心(CG)加速度の大きさを決定するように、
少なくとも一部には、前記第1の加速度計からの前記第2の軸に沿う前記加速度の大きさから前記CG加速度の大きさを減算することによって、第1の接線加速度の大きさを決定するように、
少なくとも前記第1の接線加速度の大きさ、及び前記プラットフォームの前記面内における前記第1の加速度計と前記装置の前記重心との間の距離を使用して、前記回転加速度を決定するように、
前記1つ以上のプロセッサを制御するための命令を含む、装置。 - 請求項3に記載の装置であって、更に、
前記プラットフォーム上に位置決めされ且つ前記装置の前記重心に位置付けられた第3の加速度計を備え、
前記加速度データは、更に、前記第1の加速度計の前記第2の軸に平行な軸に沿う加速度の大きさを示す前記第3の加速度計からのデータを含み、
前記CG加速度の大きさを決定するように前記1つ以上のプロセッサを制御するための前記命令は、前記第1の加速度計の前記第2の軸に平行な前記軸に沿う前記第3の加速度計からの前記加速度の大きさを、前記CG加速度の大きさとして前記1つ以上のプロセッサに使用させる、装置。 - 請求項3に記載の装置であって、
前記第1の加速度計及び前記第2の加速度計は、前記装置の前記重心から等距離にあり、
前記CG加速度の大きさを決定するように前記1つ以上のプロセッサを制御するための命令は、前記CG加速度の大きさを得るために、前記第1の加速度計からの前記第2の軸に沿う前記加速度の大きさと、前記第2の加速度計からの前記第2の軸に沿う前記加速度の大きさとを前記1つ以上のプロセッサに平均化させる、装置。 - 請求項3に記載の装置であって、
前記加速度データを使用して前記プラットフォームの面内における前記装置の前記重心を中心とする回転加速度を決定するように前記1つ以上のプロセッサを制御するための前記コンピュータ実行可能命令は、さらに、前記1つ以上のプロセッサに、
少なくとも一部には、前記第2の加速度計からの前記第2の軸に沿う前記加速度の大きさから前記CG加速度の大きさを減算することによって、第2の接線加速度の大きさを決定させ、
少なくとも前記第1の接線加速度の大きさ、前記プラットフォームの前記面内における前記第1の加速度計と前記装置の前記重心との間の距離、前記第2の接線加速度の大きさ、及び前記プラットフォームの前記面内における前記第2の加速度計と前記装置の前記重心との間の距離を使用して、前記回転加速度を決定させる、
命令を含む、装置。 - 請求項1に記載の装置であって、
前記第1の加速度計及び前記第2の加速度計は、2軸加速度計又は3軸加速度計であり、
前記加速度データは、前記共通軸に平行な前記第1の加速度計の第1の軸に沿う加速度の大きさ及び前記第1の軸に垂直な前記第1の加速度計の第2の軸に沿う加速度の大きさを示す前記第1の加速度計からのデータを含み、
前記加速度データは、また、前記共通軸に平行な前記第2の加速度計の第1の軸に沿う加速度の大きさ及び前記第1の軸に垂直な前記第2の加速度計の第2の軸に沿う加速度の大きさを示す前記第2の加速度計からのデータを含み、
前記第1の加速度計及び前記第2の加速度計は、前記装置の前記重心から等距離間隔にあり、
前記コンピュータ実行可能命令は、
前記第1の加速度計の前記第1の軸に沿う加速度の大きさと、前記第2の加速度計の前記第1の軸に沿う加速度の大きさとを平均化することによって、前記第1の軸に平行な第1の重心(CG)軸に沿う前記装置の前記重心における第1のCG加速度の大きさを決定し、
前記第1の加速度計の前記第2の軸に沿う加速度の大きさと、前記第2の加速度計の前記第2の軸に沿う加速度の大きさとを平均化することによって、前記第2の軸に平行な第2のCG軸に沿う前記装置の前記重心における第2のCG加速度の大きさを決定するように、
前記1つ以上のプロセッサを制御するための命令を含む、装置。 - 請求項1に記載の装置であって、
前記第1の加速度計及び前記第2の加速度計は、2軸加速度計又は3軸加速度計であり、
前記加速度データは、前記共通軸に平行な前記第1の加速度計の第1の軸に沿う加速度の大きさ及び前記第1の軸に垂直な前記第1の加速度計の第2の軸に沿う加速度の大きさを示す前記第1の加速度計からのデータを含み、
前記加速度データは、また、前記共通軸に平行な前記第2の加速度計の第1の軸に沿う加速度の大きさ及び前記第1の軸に垂直な前記第2の加速度計の第2の軸に沿う加速度の大きさを示す前記第2の加速度計からのデータを含み、
前記装置の前記重心が前記第1の加速度計と前記第2の加速度計との間にあるように、前記第1の加速度計は、前記装置の前記重心から第1の距離に位置決めされ、前記第2の加速度計は、前記装置の前記重心から第2の距離に位置決めされ、
前記コンピュータ実行可能命令は、
前記第2の加速度計からの前記第1の軸に沿う前記加速度の大きさを前記第1の距離と乗算したものと、前記第1の加速度計からの前記第1の軸に沿う前記加速度の大きさを前記第2の距離と乗算したものとの和を、前記第1の距離と前記第2の距離との和で除算することによって、前記第1の軸に平行な第1の重心(CG)軸に沿う前記装置の前記重心におけるCG加速度の大きさを決定し、
前記第2の加速度計からの前記第2の軸に沿う前記加速度の大きさを前記第1の距離と乗算したものと、前記第1の加速度計からの前記第2の軸に沿う前記加速度の大きさを前記第2の距離と乗算したものとの和を、前記第1の距離と前記第2の距離との和で除算することによって、前記第2の軸に平行な第2のCG軸に沿う前記装置の前記重心におけるCG加速度の大きさを決定するように、
前記1つ以上のプロセッサを制御するための命令を含む、装置。 - 請求項7に記載の装置であって、更に、
前記プラットフォーム上に位置決めされ且つ前記装置の前記重心に位置付けられた第3の加速度計を備え、
前記コンピュータ実行可能命令は、更に、
第1の加速度差分を決定するために、前記第1の及び前記第2の加速度計の前記第1の軸に平行な軸に沿う前記第3の加速度計からの加速度の大きさを前記第1のCG加速度の大きさと比較し、
第2の加速度差分を決定するために、前記第1の及び前記第2の加速度計の前記第2の軸に平行な軸に沿う前記第3の加速度計からの加速度の大きさを前記第2のCG加速度の大きさと比較し、
前記第1の加速度差分と、前記第2の加速度差分と、前記第1の加速度差分及び前記第2の加速度差分とからなる群から選択された少なくとも1つの項目を第1の閾値と比較することによって、エラー条件が存在するかどうかを決定し、
前記エラー条件が存在するとの決定を受けて、第1のエラーコード信号を送信するように、
前記1つ以上のプロセッサを制御するための命令を含む、装置。 - 請求項9に記載の装置であって、
前記コンピュータ実行可能命令は、更に、
前記第1の及び前記第2の加速度計の前記第2の軸に平行な軸に沿う、前記装置の前記重心におけるCG加速度の大きさを決定し、
少なくとも一部には、前記第1の加速度計からの前記第2の軸に沿う加速度の大きさから前記CG加速度の大きさを減算することによって、第1の接線加速度の大きさを決定し、
少なくとも一部には、前記第2の加速度計からの前記第2の軸に沿う前記加速度の大きさから前記CG加速度の大きさを減算することによって、第2の接線加速度の大きさを決定し、
a)前記第1の接線加速度の大きさが前記第2の接線加速度の大きさと方向が反対であるか否か、及びb)前記第1の接線加速度の大きさの絶対的大きさと前記第2の接線加速度の大きさの絶対的大きさとが互いから第2の閾値以内であるか否かを決定するために、前記第1の接線加速度の大きさを前記第2の接線加速度の大きさと比較し、
a)又はb)のいずれか又は両方が満たされないことを受けて、第2のエラーコード信号を送信するように、
前記1つ以上のプロセッサを制御するための命令を含む、装置。 - 半導体処理ツールであって、
公称基板サイズを有する1枚以上の基板を内包する正面開口式一体型ポッド(FOUP)を受けるようにそれぞれ構成された1つ以上のロードポートを有する機器フロントエンドモジュール(EFEM)と、
1つ以上の半導体処理チャンバと、
前記EFEMと前記1つ以上の半導体処理チャンバとの間に挿入されているロードロックと、
テストウエハを受ける大きさである、前記EFEMの内または前記EFEMの隣に位置付けられているテストウエハ容器と、
前記EFEMの中に位置付けられ、前記1つ以上のロードポートと前記ロードロックとの間でウエハを搬送するように構成されているエンドエフェクタを有するウエハハンドリングロボットと、
1つ以上のプロセッサ及び1つ以上のメモリとを備え、
前記1つ以上のメモリは、
前記1つ以上の半導体処理チャンバに、前記1つ以上の半導体処理チャンバの中に置かれた基板に対して1つ以上の半導体処理動作を実施し、
前記ウエハハンドリングロボットに、前記基板に対して実施される前記半導体処理動作によって進められるスケジュールに従って前記1つ以上のロードポートと前記ロードロックとの間で基板を搬送させ、
前記ウエハハンドリングロボットに、前記テストウエハ容器から前記テストウエハを取り出すこと、前記テストウエハによって診断テストを実施すること、前記テストウエハを前記テストウエハ容器に戻すことを含むテストサイクルを、前記テストサイクルによって前記1つ以上のロードポートと前記ロードロックとの間における基板の搬送が中断されないように選択されたテスト期間中に実施させるように、
前記1つ以上のプロセッサを制御するためのコンピュータ実行可能命令を格納する、
半導体処理ツール。 - 請求項11に記載の半導体処理ツールであって、更に、
テストウエハを備え、
前記テストウエハは、
前記ウエハハンドリングロボットの前記エンドエフェクタによって運ばれる大きさのプラットフォームと、
第1の加速度計と、
第2の加速度計とを備え、
前記第1の加速度計及び前記第2の加速度計は、前記プラットフォームに垂直な方向に沿って見たときに、前記プラットフォーム上の前記テストウエハの重心と交わる共通軸に沿って隔たれた場所に位置決めされ、
前記1つ以上のメモリはさらに、
前記第1の加速度計及び前記第2の加速度計から加速度データを取得するように、
前記1つ以上のプロセッサを制御するためのコンピュータ実行可能命令を格納する、
半導体処理ツール。 - 請求項11に記載の半導体処理ツールであって、
前記テストウエハ容器は、前記EFEMに対して固定された場所と、前記テストウエハが前記EFEMから前記テストウエハ容器に挿入されることを可能にする大きさの開口によって前記テストウエハ容器が前記EFEMに接続されるように前記EFEMに隣接する場所と、前記EFEMの隅のうちの1つに位置決めされた場所とからなる群から選択された1つ以上の場所に位置決めされている、半導体処理ツール。 - 請求項11に記載の半導体処理ツールであって、
前記テストサイクルは、更に、前記テストウエハ上の少なくとも1つの加速度計から導出されたデータを、前記テストウエハ上の少なくとも1つの他の加速度計から導出されたデータと比較することによって、前記テストウエハに対して加速度較正チェックを実施することを含む、半導体処理ツール。 - 請求項11に記載の半導体処理ツールであって、
前記メモリは、
前記ウエハハンドリングロボットに、前記テストサイクル中に前記テストサイクルに関係付けられた1つ以上の動きを実施させ、
前記テストサイクル中に前記テストウエハ上の1つ以上の加速度計によって収集されたデータを受信し、
前記テストウエハ上の前記1つ以上の加速度計によって収集された前記データが、前記1つ以上の動きに関係付けられた1つ以上の基準に関わるテスト条件に合格するかどうかを決定し、
前記1つ以上の加速度計によって収集された前記データが前記テスト条件に合格しないとの決定を受けて、エラー条件信号を生成するように、
前記1つ以上のプロセッサを制御するためのコンピュータ実行可能命令を格納する、半導体処理ツール。 - 請求項15に記載の半導体処理ツールであって、
前記メモリは、更に、基本のスケジュールに従って反復方式で前記テストサイクルを定期的に実施するように前記1つ以上のプロセッサを制御するためのコンピュータ実行可能命令を格納する、半導体処理ツール。 - 請求項15に記載の半導体処理ツールであって、前記エラー条件信号は、前記ウエハハンドリングロボットが修理を必要とすることを示す情報を含む、半導体処理ツール。
- 請求項12に記載の半導体処理ツールであって、
前記テストウエハはさらに、通信インターフェースを含み、
2以上のプロセッサおよび2以上のメモリが存在し、
前記2以上のプロセッサの少なくとも1つ、および前記2以上のメモリの少なくとも1つは、前記プラットフォームによって支持されているテストウエハコントローラの一部であり、前記2以上のプロセッサの少なくとも他の1つ、および前記2以上のメモリの少なくとも他の1つは、前記テストウエハとは別の装置内にあり、
前記テストウエハコントローラの前記少なくとも1つは、前記通信インターフェースを介して前記加速度データを前記別の装置内に送信するように、前記テストウエハコントローラの前記少なくとも1つを制御するためのコンピュータ実行可能命令を格納する、半導体処理ツール。 - 半導体処理ツールの特徴を評価するためのシステムであって、
プラットフォーム、第1の加速度計および第2の加速度計を含むテストウエハと、前記プラットフォームは半導体処理ツールの中でウエハハンドリングロボットのエンドエフェクタによって運ばれる大きさであり、
1つ以上のプロセッサと、前記1つ以上のプロセッサに操作可能に接続されているメモリとを含むコントローラとを備え、
前記第1の加速度計及び前記第2の加速度計は、2軸加速度計又は3軸加速度計であり、前記プラットフォームに垂直な方向に沿って見たときに、前記プラットフォーム上の、前記テストウエハの重心と交差する共通軸に沿って隔たれた場所に位置決めされ、
前記メモリは、前記1つ以上のプロセッサが、
前記第1の加速度計及び前記第2の加速度計によって生成された加速度データを取得し、
前記加速度データを使用して前記プラットフォームの面内における前記テストウエハの前記重心を中心とする回転加速度を決定する、
ように制御するためのコンピュータ実行可能命令を格納する、
システム。 - 請求項19に記載のシステムであって、
前記加速度データは、前記共通軸に平行な前記第1の加速度計の第1の軸に沿う加速度の大きさ及び前記第1の軸に垂直な前記第1の加速度計の第2の軸に沿う加速度の大きさを示す前記第1の加速度計からのデータを含み、
前記加速度データは、更に、前記共通軸に平行な前記第2の加速度計の第1の軸に沿う加速度の大きさ及び前記第1の軸に垂直な前記第2の加速度計の第2の軸に沿う加速度の大きさを示す前記第2の加速度計からのデータを含む、システム。 - 請求項20に記載のシステムであって、
前記加速度データを使用して前記プラットフォームの面内における前記テストウエハの前記重心を中心とする回転加速度を決定するように前記1つ以上のプロセッサを制御するための前記コンピュータ実行可能命令は、
前記テストウエハの前記重心における、前記第2の軸に平行な軸に沿う重心(CG)加速度の大きさを決定するように、
少なくとも一部には、前記第1の加速度計からの前記第2の軸に沿う前記加速度の大きさから前記CG加速度の大きさを減算することによって、第1の接線加速度の大きさを決定するように、
少なくとも前記第1の接線加速度の大きさ、及び前記プラットフォームの前記面内における前記第1の加速度計と前記テストウエハの前記重心との間の距離を使用して、前記回転加速度を決定するように、
前記1つ以上のプロセッサを制御するための命令を含む、システム。 - 請求項21に記載のシステムであって、更に、
前記プラットフォーム上に位置決めされ且つ前記テストウエハの前記重心に位置付けられた第3の加速度計を備え、
前記加速度データは、更に、前記第1の加速度計の前記第2の軸に平行な軸に沿う加速度の大きさを示す前記第3の加速度計からのデータを含み、
前記CG加速度の大きさを決定するように前記1つ以上のプロセッサを制御するための前記命令は、前記第1の加速度計の前記第2の軸に平行な前記軸に沿う前記第3の加速度計からの前記加速度の大きさを、前記CG加速度の大きさとして前記1つ以上のプロセッサに使用させる、システム。 - 請求項21に記載のシステムであって、
前記第1の加速度計及び前記第2の加速度計は、前記テストウエハの前記重心から等距離にあり、
前記CG加速度の大きさを決定するように前記1つ以上のプロセッサを制御するための命令は、前記CG加速度の大きさを得るために、前記第1の加速度計からの前記第2の軸に沿う前記加速度の大きさと、前記第2の加速度計からの前記第2の軸に沿う前記加速度の大きさとを前記1つ以上のプロセッサに平均化させる、システム。 - 請求項21に記載のシステムであって、
前記加速度データを使用して前記プラットフォームの面内における前記テストウエハの前記重心を中心とする回転加速度を決定するように前記1つ以上のプロセッサを制御するための前記コンピュータ実行可能命令は、さらに、前記1つ以上のプロセッサに、
少なくとも一部には、前記第2の加速度計からの前記第2の軸に沿う前記加速度の大きさから前記CG加速度の大きさを減算することによって、第2の接線加速度の大きさを決定させ、
少なくとも前記第1の接線加速度の大きさ、前記プラットフォームの前記面内における前記第1の加速度計と前記テストウエハの前記重心との間の距離、前記第2の接線加速度の大きさ、及び前記プラットフォームの前記面内における前記第2の加速度計と前記テストウエハの前記重心との間の距離を使用して、前記回転加速度を決定させる、
命令を含む、システム。 - 請求項19に記載のシステムであって、
前記第1の加速度計及び前記第2の加速度計は、2軸加速度計又は3軸加速度計であり、
前記加速度データは、前記共通軸に平行な前記第1の加速度計の第1の軸に沿う加速度の大きさ及び前記第1の軸に垂直な前記第1の加速度計の第2の軸に沿う加速度の大きさを示す前記第1の加速度計からのデータを含み、
前記加速度データは、また、前記共通軸に平行な前記第2の加速度計の第1の軸に沿う加速度の大きさ及び前記第1の軸に垂直な前記第2の加速度計の第2の軸に沿う加速度の大きさを示す前記第2の加速度計からのデータを含み、
前記第1の加速度計及び前記第2の加速度計は、前記テストウエハの前記重心から等距離間隔にあり、
前記コンピュータ実行可能命令は、
前記第1の加速度計の前記第1の軸に沿う加速度の大きさと、前記第2の加速度計の前記第1の軸に沿う加速度の大きさとを平均化することによって、前記第1の軸に平行な第1の重心(CG)軸に沿う前記テストウエハの前記重心における第1のCG加速度の大きさを決定し、
前記第1の加速度計の前記第2の軸に沿う加速度の大きさと、前記第2の加速度計の前記第2の軸に沿う加速度の大きさとを平均化することによって、前記第2の軸に平行な第2のCG軸に沿う前記テストウエハの前記重心における第2のCG加速度の大きさを決定するように、
前記1つ以上のプロセッサを制御するための命令を含む、システム。 - 請求項19に記載のシステムであって、
前記第1の加速度計及び前記第2の加速度計は、2軸加速度計又は3軸加速度計であり、
前記加速度データは、前記共通軸に平行な前記第1の加速度計の第1の軸に沿う加速度の大きさ及び前記第1の軸に垂直な前記第1の加速度計の第2の軸に沿う加速度の大きさを示す前記第1の加速度計からのデータを含み、
前記加速度データは、また、前記共通軸に平行な前記第2の加速度計の第1の軸に沿う加速度の大きさ及び前記第1の軸に垂直な前記第2の加速度計の第2の軸に沿う加速度の大きさを示す前記第2の加速度計からのデータを含み、
前記テストウエハの前記重心が前記第1の加速度計と前記第2の加速度計との間にあるように、前記第1の加速度計は、前記テストウエハの前記重心から第1の距離に位置決めされ、前記第2の加速度計は、前記テストウエハの前記重心から第2の距離に位置決めされ、
前記コンピュータ実行可能命令は、
前記第2の加速度計からの前記第1の軸に沿う前記加速度の大きさを前記第1の距離と乗算したものと、前記第1の加速度計からの前記第1の軸に沿う前記加速度の大きさを前記第2の距離と乗算したものとの和を、前記第1の距離と前記第2の距離との和で除算することによって、前記第1の軸に平行な第1の重心(CG)軸に沿う前記テストウエハの前記重心におけるCG加速度の大きさを決定し、
前記第2の加速度計からの前記第2の軸に沿う前記加速度の大きさを前記第1の距離と乗算したものと、前記第1の加速度計からの前記第2の軸に沿う前記加速度の大きさを前記第2の距離と乗算したものとの和を、前記第1の距離と前記第2の距離との和で除算することによって、前記第2の軸に平行な第2のCG軸に沿う前記テストウエハの前記重心におけるCG加速度の大きさを決定するように、
前記1つ以上のプロセッサを制御するための命令を含む、システム。 - 請求項25に記載のシステムであって、更に、
前記プラットフォーム上に位置決めされ且つ前記テストウエハの前記重心に位置付けられた第3の加速度計を備え、
前記コンピュータ実行可能命令は、更に、
第1の加速度差分を決定するために、前記第1の及び前記第2の加速度計の前記第1の軸に平行な軸に沿う前記第3の加速度計からの加速度の大きさを前記第1のCG加速度の大きさと比較し、
第2の加速度差分を決定するために、前記第1の及び前記第2の加速度計の前記第2の軸に平行な軸に沿う前記第3の加速度計からの加速度の大きさを前記第2のCG加速度の大きさと比較し、
前記第1の加速度差分と、前記第2の加速度差分と、前記第1の加速度差分及び前記第2の加速度差分とからなる群から選択された少なくとも1つの項目を第1の閾値と比較することによって、エラー条件が存在するかどうかを決定し、
前記エラー条件が存在するとの決定を受けて、第1のエラーコード信号が生成されるように、
前記1つ以上のプロセッサを制御するための命令を含む、システム。 - 請求項27に記載のシステムであって、
前記コンピュータ実行可能命令は、更に、
前記第1の及び前記第2の加速度計の前記第2の軸に平行な軸に沿う、前記テストウエハの前記重心におけるCG加速度の大きさを決定し、
少なくとも一部には、前記第1の加速度計からの前記第2の軸に沿う加速度の大きさから前記CG加速度の大きさを減算することによって、第1の接線加速度の大きさを決定し、
少なくとも一部には、前記第2の加速度計からの前記第2の軸に沿う前記加速度の大きさから前記CG加速度の大きさを減算することによって、第2の接線加速度の大きさを決定し、
a)前記第1の接線加速度の大きさが前記第2の接線加速度の大きさと方向が反対であるか否か、及びb)前記第1の接線加速度の大きさの絶対的大きさと前記第2の接線加速度の大きさの絶対的大きさとが互いから第2の閾値以内であるか否かを決定するために、前記第1の接線加速度の大きさを前記第2の接線加速度の大きさと比較し、
a)又はb)のいずれか又は両方が満たされないことを受けて、第2のエラーコード信号が生成されるように、
前記1つ以上のプロセッサを制御するための命令を含む、システム。 - 請求項19から28のいずれか一項に記載のシステムであって、
前記コントローラは前記テストウエハ以外のデバイスの一部である、システム。 - 請求項29に記載のシステムであって、
前記テストウエハは通信インターフェースを備え、前記メモリは、前記1つ以上のプロセッサが、前記第1の加速度計及び前記第2の加速度計によって生成された加速度データを取得するように制御するための追加のコンピュータ実行可能命令を格納する、システム。
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