JP7341237B2 - ピンリフター試験基板 - Google Patents
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Description
・ESCに載置されたまたはESCから取り外されたときのピンリフター試験基板の横移動および/または回転移動に基づき、ピンリフター試験基板がDAに関して何らかの問題を示している。
・1つまたは複数の基板ピンリフターが破損している。
・ピンリフターに連結されたエアホースが破損している可能性がある。
・ピンリフター試験基板から基板保持装置(例えば、ESC)に対する接触力がない。
・基板ピンリフターに供給される空気圧が高すぎる(この場合、加速度が所期の上限範囲についての仕様を超えて増加し、さらに振動も増加する可能性がある)。
・加速度が所期の下限範囲についての仕様外の場合、空気圧が低すぎる。
・傾斜角が仕様に合っていない場合、または異なる位置における角度の差が仕様を超えている場合、基板ピンリフターが水平調整できていない。
・異なる位置における加速度の差が大きすぎるという判定に基づき、基板ピンリフターのすべてが(例えば、所定の許容値または仕様量に従って)同じように加速していない。
・位置センサからのデータが、ピンリフター試験基板のモーションデータから取得(および/または送信)されたデータに基づき再構築された移動シーケンスに比べて、ピンのサイクル動作の所定パターン(例えば、工程303にて適用されるパターン)と一致していないという判定に基づき、1つまたは複数の基板ピンリフターに設けられた位置センサが正常に機能していない。
[適用例1]
ピンリフター試験基板システムであって、
傾斜計および加速度計を含むセンサ種類から選択される少なくとも1種類のセンサを含む複数のモーションセンサと、
ピンリフター試験基板が基板保持装置に載置されたときに複数の基板ピンリフターの対応する位置に近接して位置する1つまたは複数の力センサと、
前記複数のモーションセンサおよび前記1つまたは複数の力センサから受信したデータを送信するように構成された通信装置と、
前記通信装置に通信可能に連結され、前記複数のモーションセンサおよび前記1つまたは複数の力センサから受信したデータを記録するように構成された記憶装置と、
を含む、ピンリフター試験基板システム。
[適用例2]
適用例1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記ピンリフター試験基板は、シリコンウエハと同一または同様の寸法を有する、
ピンリフター試験基板システム。
[適用例3]
適用例1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記ピンリフター試験基板は、ステンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム合金、および各種のセラミックスを含む材料から選択される少なくとも1つの材料から形成される、
ピンリフター試験基板システム。
[適用例4]
適用例1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記傾斜計は、前記ピンリフター試験基板の勾配または傾斜を判定するように構成されている、
ピンリフター試験基板システム。
[適用例5]
適用例1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記傾斜計は、前記ピンリフター試験基板の局所的な凹みを判定するように構成されている、
ピンリフター試験基板システム。
[適用例6]
適用例1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記傾斜計は、基板保持装置上の複数の基板ピンリフターの1つまたは複数が破損しているか否かを判定するように構成されている、
ピンリフター試験基板システム。
[適用例7]
適用例1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記1つまたは複数の力センサは、前記ピンリフター試験基板から前記基板保持装置に対する接触力があるか否かを判定するように構成されている、
ピンリフター試験基板システム。
[適用例8]
適用例1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記加速度計は、前記複数の基板ピンリフターに供給される空気圧が高すぎるか否かを判定するように構成されている、
ピンリフター試験基板システム。
[適用例9]
適用例1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記加速度計は、前記複数の基板ピンリフターに供給される空気圧が低すぎるか否かを判定するように構成されている、
ピンリフター試験基板システム。
[適用例10]
適用例1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記加速度計は、前記ピンリフター試験基板上の振動を測定するように構成されている、
ピンリフター試験基板システム。
[適用例11]
適用例1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記通信装置は、前記複数のモーションセンサおよび前記1つまたは複数の力センサから受信したデータをリモート受信機に送信するように構成された無線通信装置である、
ピンリフター試験基板システム。
[適用例12]
適用例11に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記無線通信装置は、無線周波数送信機、Bluetooth送信機、赤外線(IR)送信機、および光通信送信機を含む少なくとも1種類の無線通信装置から選択される、
ピンリフター試験基板システム。
[適用例13]
適用例1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
温度センサ、圧力センサ、および流量センサから選択されるセンサ種類を少なくとも含む少なくとも1つの追加センサをさらに含む、
ピンリフター試験基板システム。
[適用例14]
適用例13に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記温度センサは、前記ピンリフター試験基板の種々の位置から温度を判定するように構成された複数の温度センサを含む、
ピンリフター試験基板システム。
[適用例15]
適用例13に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記圧力センサは、前記ピンリフター試験基板の裏面に印加されるガス圧を判定するように構成された、
ピンリフター試験基板システム。
[適用例16]
適用例1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記複数のモーションセンサ、前記1つまたは複数の力センサ、前記記憶装置、および前記通信装置は、前記ピンリフター試験基板上に直接組み立てられる、
ピンリフター試験基板システム。
[適用例17]
適用例1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記複数のモーションセンサ、前記1つまたは複数の力センサ、前記記憶装置、および前記通信装置は、プリント回路基板上に組み立てられ、前記プリント回路基板はその後前記ピンリフター試験基板上に取り付けられる、
ピンリフター試験基板システム。
[適用例18]
基板処理システムであって、
複数の基板ピンリフターを有する基板保持装置と、
前記基板保持装置に通信可能に連結されたコントローラであって、
ロボットのエンドエフェクタを用いて、前記基板処理システムの少なくとも1つのプロセスチャンバ内の前記基板保持装置上にピンリフター試験基板を搬入することと、
前記ピンリフター試験基板上に取り付けられた、傾斜計および加速度計を含むセンサ種類から選択される少なくとも1種類のセンサを含む複数のモーションセンサと、複数の力センサとからデータを受信することと、
受信した前記データを前記ピンリフター試験基板から遠隔に位置する受信機に送信する工程と、受信した前記データを前記ピンリフター試験基板上に取り付けられた記憶装置に保存する工程とを含む工程から選択される少なくとも1種の工程を含む工程を実行することと、
を実行するように構成された実行可能な命令を有するコントローラと、
を含む、基板処理システム。
[適用例19]
適用例18に記載の基板処理システムであって、
受信した前記データを送信する工程は、無線で実行されるように構成された、
基板処理システム。
[適用例20]
適用例18に記載の基板処理システムであって、
前記コントローラは、
前記ピンリフター試験基板が前記データを受信している間、前記ロボットの前記エンドエフェクタを前記プロセスチャンバ内に維持することと、
前記複数の基板ピンリフターに対して、所定のパターンごとに所定のサイクル数、上昇したピンアップ位置への移動と、下降したピンダウン位置への移動とを行うよう命令することと、
前記複数の基板ピンリフターから受信した前記データを前記モーションセンサによって前記ピンリフター試験基板から遠隔に位置する前記受信機に無線で送信する工程と、受信した前記データを前記ピンリフター試験基板上に取り付けられた前記記憶装置に保存する工程とから選択される少なくとも1つの工程を含む工程を実行することと、
を実行するように構成された実行可能な命令をさらに含む、
基板処理システム。
[適用例21]
適用例18に記載の基板処理システムであって、
前記コントローラは、前記上昇した、ピンアップ位置、および前記下降した、ピンダウン位置から受信したデータに基づき、前記基板ピンリフターの1つまたは複数が故障しているか否かを判定するように構成された実行可能な命令をさらに含む、
基板処理システム。
[適用例22]
適用例18に記載の基板処理システムであって、
前記コントローラは、前記上昇したピンアップ位置および前記下降したピンダウン位置から受信したデータに基づき、前記基板ピンリフターに連結されたエアホースが故障しているか否かを判定するように構成された実行可能な命令をさらに含む、
基板処理システム。
[適用例23]
適用例18に記載の基板処理システムであって、
前記コントローラは、前記ピンリフター試験基板を前記基板保持装置上に載置した後、前記ピンリフター試験基板を用いた試験中、前記ロボットの前記エンドエフェクタを前記プロセスチャンバから退避させるように構成された実行可能な命令をさらに含む、
基板処理システム。
[適用例24]
適用例23に記載の基板処理システムであって、
前記コントローラは、前記プロセスチャンバへのアクセスドアを開位置に維持することと、受信した前記データを前記ピンリフター試験基板から前記ロボットに取り付けられた受信機に無線で送信することと、を実行するように構成された実行可能な命令をさらに含む、
基板処理システム。
[適用例25]
適用例18に記載の基板処理システムであって、
前記コントローラは、前記複数のモーションセンサから受信したデータに基づき、前記ピンリフター試験基板を前記プロセスチャンバから取り外した後の前記ピンリフター試験基板のダイナミックアライメントを監視するように構成された実行可能な命令をさらに含む、
基板処理システム。
[適用例26]
適用例18に記載の基板処理システムであって、
前記コントローラは、前記複数のモーションセンサから受信したデータに基づき、前記基板保持装置の傾斜角が、前記傾斜角に関する所定の値に基づく仕様範囲内であるか否かを判定するように構成された実行可能な命令をさらに含む、
基板処理システム。
[適用例27]
適用例18に記載の基板処理システムであって、
前記コントローラは、前記複数のモーションセンサから受信したデータに基づき、前記基板ピンリフターのすべてが、加速度に関する所定の許容値に基づき同様に加速しているか否かを判定するように構成された実行可能な命令をさらに含む、
基板処理システム。
[適用例28]
基板処理システムであって、
プロセスチャンバと、
複数の基板ピンリフターを有し、前記プロセスチャンバ内に位置した基板保持装置と、
基板を前記基板保持装置上に載置するように構成されたエンドエフェクタを有するロボットと、
前記ロボットの前記エンドエフェクタによって前記基板保持装置上に載置されるように構成されたピンリフター試験基板であって、
傾斜計および加速度計を含むセンサ種類から選択される少なくとも1種類のセンサを含む複数のモーションセンサと、
前記ピンリフター試験基板が基板保持装置上に載置されたときに前記複数の基板ピンリフターの対応する位置に近接して位置する1つまたは複数の力センサと、
前記複数のモーションセンサおよび前記1つまたは複数の力センサから受信したデータを送信するように構成された通信装置と、を含むピンリフター試験基板と、
前記複数のモーションセンサおよび前記1つまたは複数の力センサから受信したデータを記録するように構成された記憶装置と、
前記基板保持装置および前記エンドエフェクタを有する前記ロボットに通信可能に連結され、少なくとも前記ピンリフター試験基板に関する前記基板処理システムの動作を制御するように構成された実行可能な命令を含むコントローラと、
を含む、基板処理システム。
Claims (26)
- ピンリフター試験基板システムであって、
傾斜計および加速度計を含むセンサ種類から選択される少なくとも1種類のセンサを含み、ピンリフター試験基板上に取り付けられる複数のモーションセンサと、
前記ピンリフター試験基板システムが基板保持装置に載置されたときに複数の基板ピンリフターの対応する位置に近接して位置する1つまたは複数の力センサと、
前記複数のモーションセンサおよび前記1つまたは複数の力センサから受信したデータを送信するように構成された通信装置と、
前記通信装置に通信可能に連結され、前記複数のモーションセンサおよび前記1つまたは複数の力センサから受信したデータを記録するように構成された記憶装置と、
を含み、
前記ピンリフター試験基板は、標準的な基板の質量に近くなるように選択された質量を有し、
前記1つまたは複数の力センサは、前記ピンリフター試験基板から前記基板保持装置に対する接触力があるか否かを判定するように構成されている、
ピンリフター試験基板システム。 - 請求項1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記ピンリフター試験基板は、シリコンウエハと同一または同様の寸法を有する、
ピンリフター試験基板システム。 - 請求項1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記ピンリフター試験基板は、ステンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム合金、および各種のセラミックスを含む材料から選択される少なくとも1つの材料から形成される、
ピンリフター試験基板システム。 - 請求項1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記傾斜計は、前記ピンリフター試験基板の勾配または傾斜を判定するように構成されている、
ピンリフター試験基板システム。 - 請求項1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記傾斜計は、前記ピンリフター試験基板の局所的な凹みを判定するように構成されている、
ピンリフター試験基板システム。 - 請求項1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記傾斜計は、基板保持装置上の複数の基板ピンリフターの1つまたは複数が破損しているか否かを判定するように構成されている、
ピンリフター試験基板システム。 - 請求項1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記加速度計は、前記複数の基板ピンリフターに供給される空気圧が高すぎるか否かを判定するように構成されている、
ピンリフター試験基板システム。 - 請求項1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記加速度計は、前記複数の基板ピンリフターに供給される空気圧が低すぎるか否かを判定するように構成されている、
ピンリフター試験基板システム。 - 請求項1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記加速度計は、前記ピンリフター試験基板上の振動を測定するように構成されている、
ピンリフター試験基板システム。 - 請求項1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記通信装置は、前記複数のモーションセンサおよび前記1つまたは複数の力センサから受信したデータをリモート受信機に送信するように構成された無線通信装置である、
ピンリフター試験基板システム。 - 請求項10に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記無線通信装置は、無線周波数送信機、Bluetooth送信機、赤外線(IR)送信機、および光通信送信機を含む少なくとも1種類の無線通信装置から選択される、
ピンリフター試験基板システム。 - 請求項1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
温度センサ、圧力センサ、および流量センサから選択されるセンサ種類を少なくとも含む少なくとも1つの追加センサをさらに含む、
ピンリフター試験基板システム。 - 請求項12に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記温度センサは、前記ピンリフター試験基板の種々の位置から温度を判定するように構成された複数の温度センサを含む、
ピンリフター試験基板システム。 - 請求項12に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記圧力センサは、前記ピンリフター試験基板の裏面に印加されるガス圧を判定するように構成された、
ピンリフター試験基板システム。 - 請求項1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記複数のモーションセンサ、前記1つまたは複数の力センサ、前記記憶装置、および前記通信装置は、前記ピンリフター試験基板上に直接組み立てられる、
ピンリフター試験基板システム。 - 請求項1に記載のピンリフター試験基板システムであって、
前記複数のモーションセンサ、前記1つまたは複数の力センサ、前記記憶装置、および前記通信装置は、プリント回路基板上に組み立てられ、前記プリント回路基板はその後前記ピンリフター試験基板上に取り付けられる、
ピンリフター試験基板システム。 - 基板処理システムであって、
複数の基板ピンリフターを有する基板保持装置と、
前記基板保持装置に通信可能に連結されたコントローラであって、
ロボットのエンドエフェクタを用いて、前記基板処理システムの少なくとも1つのプロセスチャンバ内の前記基板保持装置上にピンリフター試験基板を搬入することと、
前記ピンリフター試験基板上に取り付けられた、傾斜計および加速度計を含むセンサ種類から選択される少なくとも1種類のセンサを含む複数のモーションセンサと、複数の力センサとからデータを受信することと、
受信した前記データを前記ピンリフター試験基板から遠隔に位置する受信機に送信する工程と、受信した前記データを前記ピンリフター試験基板上に取り付けられた記憶装置に保存する工程とを含む工程から選択される少なくとも1種の工程を含む工程を実行することと、
前記ピンリフター試験基板が前記データを受信している間、前記ロボットの前記エンドエフェクタを前記プロセスチャンバ内に維持することと、
前記複数の基板ピンリフターに対して、所定のパターンごとに所定のサイクル数、上昇したピンアップ位置への移動と、下降したピンダウン位置への移動とを行うよう命令することと、
前記複数の基板ピンリフターから受信した前記データを前記モーションセンサによって前記ピンリフター試験基板から遠隔に位置する前記受信機に無線で送信する工程と、受信した前記データを前記ピンリフター試験基板上に取り付けられた前記記憶装置に保存する工程とから選択される少なくとも1つの工程を含む工程を実行することと、
を実行するように構成された実行可能な命令を有するコントローラと、
を含む、基板処理システム。 - 請求項17に記載の基板処理システムであって、
受信した前記データを送信する工程は、無線で実行されるように構成された、
基板処理システム。 - 請求項17に記載の基板処理システムであって、
前記コントローラは、前記上昇した、ピンアップ位置、および前記下降した、ピンダウン位置から受信したデータに基づき、前記基板ピンリフターの1つまたは複数が故障しているか否かを判定するように構成された実行可能な命令をさらに含む、
基板処理システム。 - 請求項17に記載の基板処理システムであって、
前記コントローラは、前記上昇したピンアップ位置および前記下降したピンダウン位置から受信したデータに基づき、前記基板ピンリフターに連結されたエアホースが故障しているか否かを判定するように構成された実行可能な命令をさらに含む、
基板処理システム。 - 請求項17に記載の基板処理システムであって、
前記コントローラは、前記ピンリフター試験基板を前記基板保持装置上に載置した後、前記ピンリフター試験基板を用いた試験中、前記ロボットの前記エンドエフェクタを前記プロセスチャンバから退避させるように構成された実行可能な命令をさらに含む、
基板処理システム。 - 請求項21に記載の基板処理システムであって、
前記コントローラは、前記プロセスチャンバへのアクセスドアを開位置に維持することと、受信した前記データを前記ピンリフター試験基板から前記ロボットに取り付けられた受信機に無線で送信することと、を実行するように構成された実行可能な命令をさらに含む、
基板処理システム。 - 基板処理システムであって、
複数の基板ピンリフターを有する基板保持装置と、
前記基板保持装置に通信可能に連結されたコントローラであって、
ロボットのエンドエフェクタを用いて、前記基板処理システムの少なくとも1つのプロセスチャンバ内の前記基板保持装置上にピンリフター試験基板を搬入することと、
前記ピンリフター試験基板上に取り付けられた、傾斜計および加速度計を含むセンサ種類から選択される少なくとも1種類のセンサを含む複数のモーションセンサと、複数の力センサとからデータを受信することと、
受信した前記データを前記ピンリフター試験基板から遠隔に位置する受信機に送信する工程と、受信した前記データを前記ピンリフター試験基板上に取り付けられた記憶装置に保存する工程とを含む工程から選択される少なくとも1種の工程を含む工程を実行することと、
を実行するように構成された実行可能な命令を有するコントローラと、
を含み、
前記コントローラは、前記複数のモーションセンサから受信したデータに基づき、前記ピンリフター試験基板を前記プロセスチャンバから取り外した後の前記ピンリフター試験基板のダイナミックアライメントを監視するように構成された実行可能な命令をさらに含む、
基板処理システム。 - 請求項17に記載の基板処理システムであって、
前記コントローラは、前記複数のモーションセンサから受信したデータに基づき、前記基板保持装置の傾斜角が、前記傾斜角に関する所定の値に基づく仕様範囲内であるか否かを判定するように構成された実行可能な命令をさらに含む、
基板処理システム。 - 請求項17に記載の基板処理システムであって、
前記コントローラは、前記複数のモーションセンサから受信したデータに基づき、前記基板ピンリフターのすべてが、加速度に関する所定の許容値に基づき同様に加速しているか否かを判定するように構成された実行可能な命令をさらに含む、
基板処理システム。 - 基板処理システムであって、
プロセスチャンバと、
複数の基板ピンリフターを有し、前記プロセスチャンバ内に位置した基板保持装置と、
基板を前記基板保持装置上に載置するように構成されたエンドエフェクタを有するロボットと、
前記ロボットの前記エンドエフェクタによって前記基板保持装置上に載置されるように構成されたピンリフター試験基板であって、
傾斜計および加速度計を含むセンサ種類から選択される少なくとも1種類のセンサを含み、ピンリフター試験基板上に取り付けられる複数のモーションセンサと、
前記ピンリフター試験基板が基板保持装置上に載置されたときに前記複数の基板ピンリフターの対応する位置に近接して位置する1つまたは複数の力センサと、
前記複数のモーションセンサおよび前記1つまたは複数の力センサから受信したデータを送信するように構成された通信装置と、を含むピンリフター試験基板と、
前記複数のモーションセンサおよび前記1つまたは複数の力センサから受信したデータを記録するように構成された記憶装置と、
前記基板保持装置および前記エンドエフェクタを有する前記ロボットに通信可能に連結され、少なくとも前記ピンリフター試験基板に関する前記基板処理システムの動作を制御するように構成された実行可能な命令を含むコントローラと、
を含み、
前記ピンリフター試験基板は、標準的な基板の質量に近くなるように選択された質量を有し、
前記1つまたは複数の力センサは、前記ピンリフター試験基板から前記基板保持装置に対する接触力があるか否かを判定するように構成されている、
基板処理システム。
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