JP2012004490A - 基板搬送装置及び基板搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板を保持して搬送する水平、鉛直方向の移動及び鉛直軸回りに回転自在な搬送アームA3と、搬送アームとの間で基板を受け渡しすると共に、基板を載置して処理を施す熱処理装置70と、歪み量を測定する歪みセンサを同心円上の等間隔の位置に複数個備える、基板と同形状の歪みセンサ付きウエハWAと、搬送アーム及び熱処理装置の駆動部を制御すると共に、歪みセンサからの検出データを入力し、入力された検出データと予め記憶された正常動作時の歪みデータ標準データとを比較解析する判別部80Aを備える制御部80と、を具備し、歪みセンサ付きウエハを搬送アームから熱処理装置へ受け渡すとき、又は熱処理装置が歪み測定用基板を載置するときに、判別部によって歪みセンサからの検出データの値が正常であるか否かを判定し、その判定結果を制御部に伝達する。
【選択図】図5
Description
A1〜A4 処理ブロック部搬送アーム
B1〜B4 第1〜第4の処理ブロック層
B 塗布処理装置部
U3 熱処理装置部
S1 キャリアブロック部
S2 処理ブロック部
S3 インターフェースブロック部
S4 露光装置
W 半導体ウエハ(基板)
WA,WB 歪みセンサ付きウエハ(歪み測定用基板)
Wg,Wg1,Wg2 凹溝
SE1〜SE4,SE11〜SE18,SE21〜SE28 歪みセンサ
30 塗布処理装置
70 熱処理装置
80 制御部
80A 判別部
84 ディスプレイ部(表示部)
86 歪みウエハデータ入力部
87 歪みウエハデータ分析プログラム格納部
88 歪みウエハ標準データ記憶部
Claims (12)
- 基板を保持して搬送する水平、鉛直方向の移動及び鉛直軸回りに回転自在な搬送アームと、前記搬送アームとの間で基板を受け渡しすると共に、基板を載置して処理を施す処理装置と、歪み量を測定する歪みセンサを同心円上の等間隔の位置に複数個備える前記基板と同形状の歪み測定用基板と、前記搬送アーム及び処理装置の駆動部を制御すると共に、前記歪みセンサからの検出データを入力し、入力された検出データと予め記憶された正常動作時の歪みデータ標準データとを比較解析する判別部を備える制御部と、を具備し、
前記歪み測定用基板を前記搬送アームから前記処理装置へ受け渡すとき、又は前記処理装置が歪み測定用基板を載置するときに、前記判別部によって歪みセンサからの検出データの値が正常であるか否かを判定し、その判定結果を前記制御部に伝達する、
ことを特徴とする基板搬送装置。 - 前記歪みセンサは、前記歪み測定用基板の同心円上の対向する位置に偶数個備えられている、ことを特徴とする請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記判別部によって歪みセンサからの検出データの値が異常と判定したときに、前記異常状態を表示する表示部を更に具備することを特徴とする請求項1又は2記載の基板搬送装置。
- 前記判別部は、予め記憶された正常の搬送及び処理のときの歪みセンサの歪み量に基づいて設定された電圧の許容値及び一定時間内の許容値と、各歪みセンサの歪み量に応じた電圧値とを比較して、少なくとも1個の歪みセンサの歪み量に応じた電圧値が許容値を越えたか否かを判定するように形成されている、ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の基板搬送装置。
- 前記歪み測定用基板を前記搬送アームより前記処理装置へ受け渡すときの位置をティーチングするときに、受け渡すときの歪みセンサの検出データの値と搬送アームの座標位置を記憶する位置データ記憶部を更に備えたことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の基板搬送装置。
- 前記歪み測定用基板を処理装置へ受け渡すときの前記搬送アームの座標位置と歪みセンサの検出データの値、及び前記処理装置で基板を載置するときの各手順の最初と最後のときの歪みセンサの検出データの値を記憶する位置データ記憶部を更に備えたことを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の基板搬送装置。
- 前記歪み測定用基板の同心円上に弾性変形用の凹溝を形成し、前記歪みセンサを前記凹溝を跨いで弾性変形領域に具備したことを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の基板搬送装置。
- 基板を保持して搬送する水平、鉛直方向の移動及び鉛直軸回りに回転自在な搬送アームから処理装置に基板を受け渡し、前記処理装置において基板を載置して処理を施す基板搬送方法であって、
前記基板と同形状の円板を歪み測定用基板として用意し、
前記歪み測定用基板に、この歪み測定用基板の歪み量を測定する歪みセンサを同心円上の等間隔の位置に複数個備えると共に、前記歪みセンサからの検出データを入力し、入力された検出データと予め記憶された正常動作時の歪みデータ標準データとを比較解析する判別部を備え、
前記歪み測定用基板を前記搬送アームから前記処理装置へ受け渡すとき、又は前記処理装置が歪み測定用基板を載置するときに、前記判別部によって歪みセンサからの検出データの値が正常であるか否かを判定し、その判定結果に基づいて前記搬送アーム、処理装置の駆動部を制御する、
ことを特徴とする基板搬送方法。 - 前記判別部によって歪みセンサからの検出データの値が異常と判定したときに、前記搬送アーム及び処理装置の動作を停止すると共に、前記異常状態を表示部により表示することを特徴とする請求項8記載の基板搬送方法。
- 予め記憶された正常の搬送及び処理のときの歪みセンサの歪み量に基づいて設定された電圧の許容値及び一定時間内の許容値と、各歪みセンサの歪み量に応じた電圧値とを比較して、少なくとも1個の歪みセンサの歪み量に応じた電圧値が許容値を越えたか否かを判定する、ことを特徴とする請求項8又は9記載の基板搬送方法。
- 前記歪み測定用基板を搬送アームより前記処理装置へ受け渡すときの位置をティーチングするときに、受け渡すときの歪みセンサの検出データの値と搬送アームの座標位置を記憶する、ことを特徴とする請求項8ないし10のいずれかに記載の基板搬送方法。
- 前記歪み測定用基板を処理装置へ受け渡すときの前記搬送アームの座標位置と歪みセンサの検出データの値、及び前記処理装置で基板を載置するときの各手順の最初と最後のときの歪みセンサの検出データの値を記憶する、ことを特徴とする請求項8ないし11のいずれかに記載の基板搬送方法。
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