JP2006155362A - 回転軸制御装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 回転運動の加速度の他に並進運動の加速度が相定される構成においても、角加速度センサを用いることなく角加速度のみを検出する。
【解決手段】 回転体22上に、同一半径上に回転の接線方向の加速度を検出する方向に2つの加速度センサ18,20を配置し、それらが検出した加速度X1,X2から、計算により回転の角加速度を算出する。
【選択図】 図2
【解決手段】 回転体22上に、同一半径上に回転の接線方向の加速度を検出する方向に2つの加速度センサ18,20を配置し、それらが検出した加速度X1,X2から、計算により回転の角加速度を算出する。
【選択図】 図2
Description
本発明は回転体の角加速度を検出する角加速度検出器を使用する回転軸制御装置に関する。
工作機械における回転軸の制御では、回転体の回転角度/回転速度を検出してその指令値との差からサーボモータの制御量を算出するフィードバック制御を行なうのが一般的であるが、例えば割出しテーブルの制御では、回転体と検出器との間に両者を結合する継ぎ手などの剛性の低い部分が存在するため回転体が振動することがあるので、それを防止するため、回転体の角加速度を検出してそれに応じて指令値を補正することが考えられる。
そのためには角加速度センサを用いて角加速度を検出する必要があるが、このセンサは一般的でなく、また高価である。
また、回転体上に回転体の接線方向の加速度を検出する加速度センサを設け、このセンサで検出される加速度をセンサ取付位置の半径で除して角加速度を得ることも考えられる。
しかしながら、回転体および回転軸全体が並進運動をする直動軸の上に搭載された機械構造の場合、加速度センサで検出される加速度には直動軸の加速度も含まれているので、角加速度のみを検出することができない。
したがって本発明の目的は、回転軸制御装置において、一般的でなく高価な角加速度センサを使用することなく、また、回転運動の加速度の他に並進運動の加速度が想定される場面においても角加速度のみを検出することのできる検出手法を提供することにある。
本発明によれば、サーボモータと、該サーボモータにより駆動される回転体と、該回転体の回転角度及び回転角速度の少なくとも一方を検出する検出器と、該回転体の回転角度及び回転角速度の少なくとも一方の指令値と該検出器の検出値とから該サーボモータの制御量を算出する制御処理部と、回転体上でその回転軸からの距離がそれぞれ異なる位置に設けられた複数の加速度センサと、該複数の加速度センサが検出した加速度の値から回転体の回転角加速度を算出する角加速度算出部と、該角加速度算出部が算出した回転角加速度に応じて前記回転角度指令値、回転角速度指令値およびサーボモータの電流指令値の少なくとも1つを補正する補正演算部とを具備する回転軸制御装置が提供される。
図1は本発明の角加速度検出器におけるセンサの取付位置の一例を示す図である。
図1において、10は直動軸の中心を示し、矢印12はその移動方向を示す。14は直動軸10の上に搭載された回転軸を示し、矢印16はその回転方向を示している。18,20は回転軸14に取り付けられた回転体22上に設けられた2つの加速度センサを示し、矢印24,26はそれぞれの加速度センサの加速度検出方向を示す。加速度センサ18,20は好ましくは、並進運動の加速度が等しく加算されるように、同一の半径上に並べて回転の接線方向の加速度を検出する向きに配置される。
図2に示すように、センサ18,20の取付位置の半径をr1,r2とし、直動軸の加速度aのセンサ検出方向成分をa’、回転軸の角加速度をbとすると、センサ18,20において検出される加速度X1,X2は、加速度センサの検出方向成分a’と回転軸の角加速度から生じる接線加速度r1*bまたはr2*bの和になるから、次式で表わされる。
X1=a’+r1*b
X2=a’+r2*b
これらの式から、以下のように回転軸の角加速度bを算出することができ、2つの加速度センサを用いて直動軸上の回転軸の角加速度のみを検出することができる。
b=(X1−X2)/(r1−r2)
なお、X1、X2a’、bは、いずれも回転体の回転軸を中心とし、加速度センサと回転軸を結ぶ直線により構成される座標系上のベクトル量である。従って、図4に示すように、センサ18とセンサ20が回転体の回転中心をはさんで反対側に配置されている場合は下式のように
b=(X1−X2)/(r1+r2)
とする必要がある。
X2=a’+r2*b
これらの式から、以下のように回転軸の角加速度bを算出することができ、2つの加速度センサを用いて直動軸上の回転軸の角加速度のみを検出することができる。
b=(X1−X2)/(r1−r2)
なお、X1、X2a’、bは、いずれも回転体の回転軸を中心とし、加速度センサと回転軸を結ぶ直線により構成される座標系上のベクトル量である。従って、図4に示すように、センサ18とセンサ20が回転体の回転中心をはさんで反対側に配置されている場合は下式のように
b=(X1−X2)/(r1+r2)
とする必要がある。
加速度センサ18,20としては、例えば、半導体プロセスにより鍾とそれを支える梁に作用する力を検出するピエゾ抵抗素子を形成した公知の加速度センサを使用することができる。
図3はこの角加速度検出器が用いられた回転軸制御装置の構成を示すブロック図である。図3中、直動軸は図示が省略されている。
図3において、サーボモータ30に連結されたエンコーダにより検出された角度検出値32が位置フィードバックとして用いられ、位置指令との差分(34)から、位置制御処理部36において例えば周知のPID演算により速度指令が算出される。次に、例えば角度検出値を時間微分することにより得られた角速度値38が速度フィードバックとして用いられて速度指令との差分(40)から、速度制御処理部42において例えば周知のPID演算により電流指令が算出される。さらに、サーボモータ30の電流が検出され、電流検出値43と電流指令の差分(44)から、電流制御処理部46において、例えば周知のPID演算により電流制御値が算出されてサーボモータ30に与えられる。
回転体22上に設けられた加速度センサ18,20により検出された加速度から演算部48において計算された回転体22の回転角加速度の値は位置指令の補正(50)、速度指令の補正(52)、および電流指令の補正(54)に用いられる。その補正のための演算は例えば
(補正後指令値)=(補正前指令値)+(係数)×(角加速度検出値)
の式により行う。上式の係数は、回転体の振動が抑制またはなくなるように、トライアンドエラーの手法により決定される。
(補正後指令値)=(補正前指令値)+(係数)×(角加速度検出値)
の式により行う。上式の係数は、回転体の振動が抑制またはなくなるように、トライアンドエラーの手法により決定される。
Claims (2)
- サーボモータと、
該サーボモータにより駆動される回転体と、
該回転体の回転角度及び回転角速度の少なくとも一方を検出する検出器と、
該回転体の回転角度及び回転角速度の少なくとも一方の指令値と該検出器の検出値とから該サーボモータの制御量を算出する制御処理部と、
複数の加速度センサと、
該複数の加速度センサが検出した加速度の値から回転体の回転角加速度を算出する角加速度算出部と、
該角加速度算出部が算出した回転角加速度に応じて前記回転角度指令値、回転角速度指令値およびサーボモータの電流指令値の少なくとも1つを補正する補正演算部とを具備する回転軸制御装置。 - 前記の複数の加速度センサが、該回転体上の回転中心を通る直線上に配置されている、請求項1に記載の回転軸制御装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009236821A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-15 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | 回転速度の変化量検出装置及びこれを用いた回転制御装置 |
JP2014510959A (ja) * | 2011-01-13 | 2014-05-01 | オーチス エレベータ カンパニー | 加速度計を用いて位置を決定する装置および方法 |
JP2017116274A (ja) * | 2015-12-21 | 2017-06-29 | トヨタ自動車株式会社 | 車両の操舵角加速度検出装置 |
JP2018129509A (ja) * | 2017-02-06 | 2018-08-16 | ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation | 半導体処理ツールとの随意の統合を伴うスマートバイブレーションウエハ |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007027503A1 (de) * | 2007-06-14 | 2009-01-08 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Verfahren zur optimierten Bewegungskoordination von Mess- oder Werkzeugmaschinen mit redundanten translatorisch wirksamen Achsen |
JP5291820B2 (ja) * | 2011-05-26 | 2013-09-18 | ファナック株式会社 | 揺動体の揺動制御装置及び工作機械 |
CN102679921B (zh) * | 2012-05-04 | 2014-07-16 | 上海华力微电子有限公司 | 旋转中心测定装置及方法 |
CN102689228B (zh) * | 2012-05-23 | 2014-06-04 | 辽宁西格马数控机床有限公司 | 滚齿机传动链电子齿轮控制器 |
CN103591925B (zh) * | 2013-11-26 | 2016-01-20 | 浙江理工大学 | 基于三轴加速度传感器的移动平台旋转角度测量方法 |
JP5958920B2 (ja) * | 2014-09-22 | 2016-08-02 | 高知県公立大学法人 | 傾斜角度推定システム |
JP6020537B2 (ja) * | 2014-11-21 | 2016-11-02 | 株式会社安川電機 | モータ制御装置及びモータ制御方法 |
CN104731328B (zh) * | 2015-03-24 | 2017-12-26 | 联想(北京)有限公司 | 信息处理方法及电子设备 |
DE102017205312A1 (de) * | 2017-03-29 | 2018-10-04 | Siemens Aktiengesellschaft | Messanordnung und Verfahren zum Erzeugen eines Ausgangsmesssignals mit zumindest einem Beschleunigungssensor |
CN114120530A (zh) * | 2021-11-30 | 2022-03-01 | 合肥美的智能科技有限公司 | 售卖机、售卖机的控制方法和装置、可读存储介质 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2049375A (en) * | 1933-11-10 | 1936-07-28 | Henderson James Blacklock | Automatic steering control |
US3731545A (en) * | 1971-05-04 | 1973-05-08 | E Beezer | Device for transmitting accurate translational and rotary movements |
US4592233A (en) * | 1983-09-02 | 1986-06-03 | Sundstrand Data Control, Inc. | Angular base sensor utilizing parallel vibrating accelerometers |
US5045741A (en) * | 1990-02-23 | 1991-09-03 | Battelle Memorial Institute | Dual-motion apparatus |
US6629462B2 (en) * | 2000-07-24 | 2003-10-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Acceleration sensor, an acceleration detection apparatus, and a positioning device |
JP2005156496A (ja) * | 2003-11-28 | 2005-06-16 | Mitsuba Corp | 速度検出装置 |
-
2004
- 2004-11-30 JP JP2004347005A patent/JP2006155362A/ja not_active Abandoned
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2005
- 2005-11-25 EP EP05025807A patent/EP1666890A1/en not_active Withdrawn
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009236821A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-15 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | 回転速度の変化量検出装置及びこれを用いた回転制御装置 |
JP2014510959A (ja) * | 2011-01-13 | 2014-05-01 | オーチス エレベータ カンパニー | 加速度計を用いて位置を決定する装置および方法 |
JP2017116274A (ja) * | 2015-12-21 | 2017-06-29 | トヨタ自動車株式会社 | 車両の操舵角加速度検出装置 |
JP2018129509A (ja) * | 2017-02-06 | 2018-08-16 | ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation | 半導体処理ツールとの随意の統合を伴うスマートバイブレーションウエハ |
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