JP2017226045A - ロボット、制御装置およびロボットシステム - Google Patents

Abstract

【課題】位置精度を向上させることができるロボット、制御装置およびロボットシステムを提供すること。
【解決手段】移動可能な可動部と、前記可動部を駆動する駆動部と、前記可動部と前記駆動部との間に位置する伝達部と、前記伝達部の入力側の位置を検出する第１位置検出部と、前記伝達部の出力側の位置を検出する第２位置検出部と、前記可動部に設けられた慣性センサーと、を備えることを特徴とするロボット。また、前記駆動部は、前記第１位置検出部の検出結果と、前記第２位置検出部の検出結果と、前記慣性センサーの検出結果とに基づいて駆動される。
【選択図】図１

Description

本発明は、ロボット、制御装置およびロボットシステムに関するものである。

基台と、複数のアーム（リンク）を有するマニピュレーターとを備えるロボットが知られている。マニピュレーターの隣り合う２つのアームのうちの一方のアームは、関節部を介して、他方のアームに回動可能に連結され、最も基端側（最も上流側）のアームは、関節部を介して、基台に回動可能に連結されている。関節部はモーターにより駆動され、その関節部の駆動により、アームが回動する。また、最も先端側（最も下流側）のアームには、エンドエフェクターとして、例えば、着脱可能にハンドが装着される。そして、ロボットは、例えば、ハンドで対象物を把持し、その対象物を所定の場所へ移動させ、組立等の所定の作業を行う。

また、特許文献１には、モーターに設けられた角度センサーの検出結果と、マニピュレーターに設けられた角速度センサーの検出結果とに基づいて制御されるロボットが開示されている。このロボットでは、角速度センサーの検出結果を用いることで振動を抑制することができる。

また、マニピュレーターの先端部の位置制御において位置精度を向上させるために、減速機の撓み量分を補正することがある。このような場合は、角速度センサーにより検出された角速度を積分して位置の情報に変換する必要がある。

特開２０１３−８３３号公報

しかしながら、角速度センサーの検出結果にはオフセットによる誤差が含まれており、位置制御を行う場合、前記オフセットが含まれていると、そのオフセット分も積分してしまい、正確な位置情報を得ることができない。これにより、位置精度が低下するという問題がある。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

本発明のロボットは、移動可能な可動部と、
前記可動部を駆動する駆動部と、
前記可動部と前記駆動部との間に位置する伝達部と、
前記伝達部の入力側の位置を検出する第１位置検出部と、
前記伝達部の出力側の位置を検出する第２位置検出部と、
前記可動部に設けられた慣性センサーと、を備えることを特徴とする。

これにより、駆動部よりも先端側の部分の撓みや振動を考慮して位置精度を向上させることができる。

本発明のロボットでは、前記駆動部は、前記第１位置検出部の検出結果と、前記第２位置検出部の検出結果と、前記慣性センサーの検出結果とに基づいて駆動されることが好ましい。

これにより、駆動部よりも先端側の部分の撓みや振動を考慮して位置精度を向上させることができる。

本発明のロボットでは、前記慣性センサーは、前記第２位置検出部よりも前記可動部の先端側に位置することが好ましい。
これにより、適確に振動を検出することができる。

本発明のロボットでは、前記可動部の先端に外力が作用した場合における前記伝達部の変形による前記可動部の先端の第１変位量と、前記可動部の先端に前記外力が作用した場合における前記可動部の変形による前記可動部の先端の第２変位量とを比較したとき、前記第２変位量は、前記第１変位量の１／３０以上であることが好ましい。

これは、可動部の剛性が高過ぎる場合を除外する意図であり、可動部の剛性が比較的低い場合に、位置精度を格段に向上させることができる。

本発明のロボットでは、前記第１位置検出部の検出結果と、前記第２位置検出部の検出結果と、前記慣性センサーの検出結果とに基づいて、前記第１位置検出部、前記第２位置検出部、前記慣性センサー、前記駆動部、前記伝達部および前記可動部のうちの少なくとも１つの異常を検出可能であることが好ましい。

第１位置検出部の検出結果と、第２位置検出部の検出結果と、慣性センサーの検出結果とを利用することで、駆動部、伝達部および可動部のうちの少なくとも１つの異常を検出することができ、その異常が検出された場合、適確に対応することができる。

本発明のロボットでは、前記可動部は、複数のアームを有することが好ましい。
これにより、種々の動作を行うことができるので、種々の作業を効率良く行うことができ、また、その作業において位置精度を向上させることができる。

本発明のロボットでは、前記伝達部は、減速機を有することが好ましい。
これにより、駆動力が小さい駆動部を用いて大きい駆動力を得ることができる。また、駆動部の駆動速度を必要な駆動速度、例えば、駆動部の回転速度を必要な回転速度に変更することができる。

本発明の制御装置は、本発明のロボットを制御することを特徴とする。
これにより、駆動部よりも先端側の部分の撓みや振動を考慮して位置精度を向上させることができる。

本発明の制御装置では、前記第２位置検出部の出力側に設けられた低域通過フィルターと、
前記慣性センサーの出力側に設けられた高域通過フィルターと、を備えることが好ましい。

これにより、適確にノイズ成分を除去または減少させることができ、位置精度を向上させることができる。

本発明の制御装置では、前記第２位置検出部の検出結果と前記慣性センサーの検出結果とに基づいて演算を行う演算部と、
前記演算部の出力側に設けられた高域通過フィルターと、を備えることが好ましい。

これにより、適確にノイズ成分を除去または減少させることができ、位置精度を向上させることができる。

本発明のロボットシステムは、本発明のロボットと、
前記ロボットを制御する制御装置と、を備えることを特徴とする。

これにより、駆動部よりも先端側の部分の撓みや振動を考慮して位置精度を向上させることができる。

本発明のロボットシステムの第１実施形態を示す側面図（一部断面図）である。 図１に示すロボットシステムの主要部のブロック図である。 本発明のロボットシステムの第２実施形態における制御部の角速度センサーおよび第２角度センサーの出力を処理する回路の構成例を示すブロック図である。 本発明のロボットシステムの第２実施形態における制御部の角速度センサーおよび第２角度センサーの出力を処理する回路の構成例を示すブロック図である。 本発明のロボットシステムの第２実施形態における制御部の角速度センサーおよび第２角度センサーの出力を処理する回路の構成例を示すブロック図である。 本発明のロボットシステムの第２実施形態における制御部の角速度センサーおよび第２角度センサーの出力を処理する回路の構成例を示すブロック図である。 本発明のロボットシステムの第３実施形態を示す側面図（一部断面図）である。 本発明のロボットシステムの第４実施形態を示す斜視図である。 図８に示すロボットシステムのロボットの概略図である。 図８に示すロボットシステムの主要部のブロック図である。

以下、本発明のロボット、制御装置およびロボットシステムを添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。

＜第１実施形態＞
図１は、本発明のロボットシステムの第１実施形態を示す側面図（一部断面図）である。図２は、図１に示すロボットシステムの主要部のブロック図である。

なお、以下では、説明の都合上、図１中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言う（図７、図８も同様）。また、図１中の基台側を「基端」または「上流」、その反対側を「先端」または「下流」と言う（図７、図８も同様）。また、図１中の上下方向が鉛直方向である（図７、図８も同様）。

図１および図２に示すロボットシステム１００は、ロボット１と、ロボット１を制御する制御装置２０とを備えている。また、ロボット１は、基台１１と、マニピュレーター１０（ロボットアーム）とを備えている。このマニピュレーター１０は、本実施形態では、基台１１に、回動軸Ｏ周りに回動可能に設けられた１つのアーム１９を備えている。

制御装置２０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）が内蔵されたパーソナルコンピューター（ＰＣ）等で構成することができる。この制御装置２０は、ロボット１の後述するモーター４０１Ｍ等の各部の作動（駆動）を制御する制御部２００と、異常検出を行う異常検出部２１と、各情報を記憶する記憶部２２等を備えている。異常検出部２１は、ロボット１の異常部位を特定する異常部位特定部２１１を備えている。なお、制御装置２０は、ロボット１にその一部または全部が内蔵されていてもよく、また、ロボット１とは、別体であってもよい。以下、ロボット１について詳細に説明する。

ロボット１は、基台１１と、移動可能な可動部の１例であるアーム１９と、可動部を駆動する駆動部の１例であるモーター４０１Ｍと、モーター４０１Ｍを駆動するモータードライバー３０１と、可動部と駆動部との間に位置する伝達部（動力伝達部）の１例である減速機５０１と、伝達部の入力側の位置を検出する第１位置検出部の１例である第１角度センサー４１１と、伝達部の出力側の位置を検出する第２位置検出部の１例である第２角度センサー５１１と、可動部に設けられた慣性センサーの１例である角速度センサー３１とを備えている。

そして、モーター４０１Ｍは、制御装置２０の制御により、第１角度センサー４１１の検出結果と、第２角度センサー５１１の検出結果と、角速度センサー３１の検出結果とに基づいて駆動される。

なお、前記可動部の移動とは、直線上や曲線上を移動する場合に限らず、例えば、回動等のあらゆる動き（変位）を含む概念である。また、前記位置には、角度（回転角度）も含まれる。

また、前記伝達部の入力側とは、伝達部の駆動部側のことであり、本実施形態では、減速機５０１の入力軸である。この減速機５０１の入力軸の回転角度は、モーター４０１Ｍの回転軸の回転角度と同一である。このため、本実施形態では、伝達部の入力側の位置として、モーター４０１Ｍの回転軸の回転角度を検出する。

また、前記伝達部の出力側とは、伝達部の駆動部とは反対側のこと、すなわち、伝達部の可動部側のことであり、本実施形態では、減速機５０１の出力軸である。この減速機５０１の出力軸の回転角度は、アーム１９の基端部の回転角度と同一である。本実施形態では、伝達部の出力側の位置として、減速機５０１の出力軸の回転角度を検出する。

基台１１は、例えば、設置スペースの床等に固定（設置）される部分である。この固定方法としては、特に限定されず、例えば、複数本のボルトによる固定方法等が挙げられる。

そして、基台１１にはアーム１９の基端部が連結されている。アーム１９は、基台１１に対し、鉛直方向に沿う回動軸Ｏ、すなわち、鉛直方向と平行な回動軸Ｏを回動中心とし、その回動軸Ｏ周りに回動可能となっている。なお、平行とは、２つの軸を例に挙げて説明すると、その２つの軸が完全に平行な場合のみを示すものではなく、一方の軸が他方の軸に対して±５°以下の範囲内で傾斜している場合も含まれる。

また、基台１１内には、アーム１９を回動させる駆動部であるモーター４０１Ｍと、減速機５０１とが設置されている。モーター４０１Ｍおよび減速機５０１は、それぞれ、基台１１に固定されている。減速機５０１の入力軸は、モーター４０１Ｍの回転軸に連結され、減速機５０１の出力軸は、アーム１９に連結されている。そのため、モーター４０１Ｍが駆動し、その駆動力が減速機５０１を介してアーム１９に伝達されると、アーム１９が基台１１に対して回動軸Ｏ周りに水平面内で回動する。

また、モーター４０１Ｍとしては、それぞれ、特に限定されないが、例えば、ＡＣサーボモーター、ＤＣサーボモーター等のサーボモーターを用いるのが好ましい。

また、減速機５０１としては、特に限定されず、例えば、波動歯車装置、すなわち、ハーモニックドライブ（「ハーモニックドライブ」は登録商標）、歯車減速機等が挙げられる。

なお、本実施形態では、伝達部は、動力を伝達する動力伝達部であり、減速機５０１で構成されているが、伝達部は、減速機５０１の他に、他の部材を有していてもよい。すなわち、伝達部は、減速機５０１を有する機構で構成されていればよい。これにより、駆動力が小さいモーター４０１Ｍを用いて大きい駆動力を得ることができる。また、モーター４０１Ｍの回転速度を必要な回転速度に変更することができる。なお、伝達部は、減速機能を有していない機構で構成されていてもよい。

ここで、アーム１９および減速機５０１等の剛性は、特に限定されないが、アーム１９の先端に外力が作用した場合における減速機５０１の変形によるアーム１９の先端の第１変位量と、アーム１９の先端に前記と同じ外力が作用した場合におけるアーム１９の変形によるアーム１９の先端の第２変位量とを比較したとき、第２変位量は、第１変位量の１／３０以上であることが好ましい。これは、アーム１９の剛性が高過ぎる場合を除外する意図であり、アーム１９の剛性が比較的低い場合に、位置精度を格段に向上させることができる。

また、第２変位量は、第１変位量の１／３０以上、３０以下であることがより好ましく、１／１０以上、１０以下であることがさらに好ましい。

また、モーター４０１Ｍには、基台１１に対するモーター４０１Ｍの回転軸の回転角度（回転量）を検出する第１角度センサー４１１が設置されている。この第１角度センサー４１１の検出結果（出力）に基づいて、基台１１に対するモーター４０１Ｍの回転軸の回転角度、すなわち、減速機５０１の入力軸の回転角度を検出することができる。以下では、モーター４０１Ｍの回転軸の回転角度を、モーター４０１Ｍの回転角度とも言う。

なお、本実施形態では、モーター４０１Ｍ、減速機５０１および第１角度センサー４１１は、アーム１９の下方に配置されている。

また、基台１１内には、基台１１に対する減速機５０１の出力軸の回転角度を検出する第２角度センサー５１１が設置されている。この第２角度センサー５１１の検出結果に基づいて、基台１１に対する減速機５０１の出力軸の回転角度、すなわち、アーム１９の回転角度を検出することができる。本実施形態では、第２角度センサー５１１は、アーム１９の上方に配置されている。

また、第１角度センサー４１１および第２角度センサー５１１としては、それぞれ、特に限定されず、例えば、エンコーダー、レゾルバー、ポテンショメーター等が挙げられる。

また、アーム１９には、角速度センサー３１が設置されている。アーム１９における角速度センサー３１の位置は、特に限定されないが、本実施形態では、角速度センサー３１は、第２角度センサー５１１よりもアーム１９の先端側に位置している。すなわち、角速度センサー３１は、アーム１９の先端部に配置されている。これにより、角速度センサー３１によりアーム１９の振動に起因する角速度を適確に検出することができる。

また、慣性センサーとしては、角速度センサーに限らず、この他、例えば、加速度センサー等が挙げられる。また、角速度センサー３１の数は、本実施形態では、１つであるが、これに限らず、複数であってもよい。

また、アーム１９の先端部には、図示しないエンドエフェクターが着脱可能に取り付けることができるようになっている。エンドエフェクターとしては、特に限定されず、例えば、対象物を把持するもの、対象物を加工するもの等が挙げられる。

ロボット１を動作させる際は、制御装置２０は、第１角度センサー４１１、第２角度センサー５１１および角速度センサー３１により検出を行い、その検出結果に基づいて、モーター４０１Ｍの駆動を制御する。なお、第１角度センサー４１１の検出結果と、第２角度センサー５１１の検出結果とに基づいて、振動に起因する回転角度を求めることができる。また、第１角度センサー４１１の検出結果、と、角速度センサー３１の検出結果とに基づいて、振動に起因する角速度を求めることができる。また、ロボット１の制御としては、例えば、位置制御、速度制御、力制御、制振制御等が挙げられる。なお、制御プログラムは、制御装置２０の記憶部２２に予め記憶されている。

また、ロボットシステム１００では、第１角度センサー４１１の検出結果と、第２角度センサー５１１の検出結果と、角速度センサー３１の検出結果とに基づいて、ロボット１の所定部分、すなわち、第１角度センサー４１１、第２角度センサー５１１、角速度センサー３１、モーター４０１Ｍ、減速機５０１およびアーム１９のうちの少なくとも１つの異常を検出可能である。この異常検出は、制御装置２０の異常検出部２１により行われ、異常検出では、異常検出部２１の異常部位特定部２１１により、ロボット１の異常部位を特定する。以下、この異常検出について説明する。

異常検出では、下記（１）〜（３）の処理が挙げられ、その３つの処理のうちの２つ以上の処理を行い、その結果を用いて、異常部位を特定する。

（１）
第１角度センサー４１１の出力値を減速機５０１の減速比で除した値と、第２角度センサー５１１の出力値とを比較する。

（２）
第１角度センサー４１１の出力値を減速機５０１の減速比で除した値の微分値と、角速度センサー３１の出力値とを比較する。

（３）
第２角度センサー５１１の出力値の微分値と、角速度センサー３１の出力値とを比較する。

前記（１）〜（３）の処理では、それぞれ、比較を行った結果、互いの値が同一か否かを判断する。ここで、同一とは、互いの値が完全に等しい場合に限らず、誤差程度の差、例えば、±５％以下の差がある場合も含まれる。誤差としては、互いの値の割合だけでなく固定値であってもよい。例えば、最大速度の±５％を許容誤差として設定してもよい。なお、前記「±５％」の数値は、諸条件に応じて適宜設定可能である。以下では、前記比較を行った結果、互いの値が同一の場合を単に「同一」、互いの値が異なる場合を単に「異なる」と言う。

この異常検出では、（１）〜（３）の処理において、いずれが「異なる」であるか、いずれが「同一」であるかで、異常であるか否か、異常がある場合は、いずれの部位が異常部位であるかを判定することができる。以下、下記表１に基づいて具体的に説明する。

まず、前記表１に示すように、異常部位が第１角度センサー４１１の場合は、第１角度センサー４１１のみに影響が及ぶ。

また、異常部位が減速機５０１の場合は、第２角度センサー５１１および角速度センサー３１に影響が及び、第１角度センサー４１１には影響が及ばない。

また、異常部位が第２角度センサー５１１の場合は、第２角度センサー５１１のみに影響が及ぶ。

また、異常部位がアーム１９の場合は、角速度センサー３１のみに影響が及ぶ。
また、異常部位が角速度センサー３１の場合は、角速度センサー３１のみに影響が及ぶ。

前記の関係を考慮すると、（１）〜（３）の処理のうちの２つ以上の処理を行い、その結果を用いることで、異常を検出し、その異常部位を特定することができる。

まず、（１）および（２）の処理を行って異常検出を行う場合について説明する。
（１）および（２）の処理でそれぞれ「異なる」と判断した場合は、第１角度センサー４１１と減速機５０１とのうちの少なくとも一方が異常であると判定する。

また、（１）の処理のみで「異なる」と判断した場合は、第２角度センサー５１１が異常であると判定する。

また、（２）の処理のみで「異なる」と判断した場合は、角速度センサー３１とアーム１９とのうちの少なくとも一方が異常であると判定する。

次に、（１）および（３）の処理を行って異常検出を行う場合について説明する。
（１）の処理のみで「異なる」と判断した場合は、第１角度センサー４１１と減速機５０１とのうちの少なくとも一方が異常であると判定する。

また、（１）および（３）の処理でそれぞれ「異なる」と判断した場合は、第２角度センサー５１１が異常であると判定する。

また、（３）の処理のみで「異なる」と判断した場合は、角速度センサー３１とアーム１９とのうちの少なくとも一方が異常であると判定する。

次に、（２）および（３）の処理を行って異常検出を行う場合について説明する。
（２）の処理のみで「異なる」と判断した場合は、第１角度センサー４１１と減速機５０１とのうちの少なくとも一方が異常であると判定する。

また、（３）の処理のみで「異なる」と判断した場合は、第２角度センサー５１１が異常であると判定する。

また、（２）および（３）の処理でそれぞれ「異なる」と判断し場合は、角速度センサー３１とアーム１９とのうちの少なくとも一方が異常であると判定する。

前記のように、（１）〜（３）の処理のうちの２つの処理を行ってその結果を用いることで異常を検出することができるが、（１）〜（３）のすべての処理を行ってその結果を用いて異常を検出してもよい。この場合は、１個所のみに異常がある場合は、必ず、（１）〜（３）の処理で、「異なる」の数が２つ（偶数）になる。このため、（１）〜（３）の処理で、「異なる」の数が１つまたは３つ（奇数）である場合は、複数個所に異常がある可能性があると判別する。

次に、第１角度センサー４１１、第２角度センサー５１１および角速度センサー３１のすべての検出結果、本実施形態では、第１角度センサー４１１の出力値を減速機５０１の減速比で除した値の微分値と、第２角度センサー５１１の出力値の微分値と、角速度センサー３１の出力値とを用いて異常検出を行う場合について説明する。以下では、第１角度センサー４１１の出力値を減速機５０１の減速比で除した値の微分値を単に「第１角度センサー４１１の換算値」、第２角度センサー５１１の出力値の微分値を単に「第２角度センサー５１１の換算値」と言う。

まず、ロボット１のいずれか１個所に異常がある場合は、第１角度センサー４１１の換算値と、第２角度センサー５１１の換算値と、角速度センサー３１の出力値とのうちの１つだけ値が他の２つの値と比べて大きく異なる。このため、第１角度センサー４１１の換算値、第２角度センサー５１１の換算値および角速度センサー３１の出力値の分散が大きくなる。そこで、前記分散を求め、その分散と予め設定された閾値とを比較し、分散が閾値よりも大きい場合は、ロボット１のいずれか１個所に異常があると判定し、また、分散が閾値以下の場合は、正常と判定する。なお、前記分散に換えて、標準偏差を用いてもよい。

また、異常がある場合、平均値との差が最も大きいセンサーまたはそのセンサーの近傍が異常部位である。以下、下記表２に基づいて具体的に説明する。

まず、前記表２に示す各場面について説明すると、場面１および場面３では、ロボット１は、正常である。また、場面２では、角速度センサー３１またはその角速度センサー３１の近傍に異常がある。また、場面４では、第２角度センサー５１１またはその第２角度センサー５１１の近傍に異常がある。異常検出を行う前は、この情報は、既知ではない。

このような場合を例に挙げ、以下のようにして異常検出を行う。なお、この異常検出では、閾値は、１例として「１００」に設定されている。

場面１では、分散は小さい。分散と閾値「１００」とを比較すると、分散は閾値以下であり、正常と判定する。

また、場面２では、分散は大きい。分散と閾値「１００」とを比較すると、分散は閾値よりも大きく、異常と判定する。また、角速度センサー３１の出力値は、平均値との差が最も大きい。このため、異常部位は、角速度センサー３１またはその角速度センサー３１の近傍であると判定する。

また、場面３では、分散は小さい。分散と閾値「１００」とを比較すると、分散は閾値以下であり、正常と判定する。

また、場面４では、分散は大きい。分散と閾値「１００」とを比較すると、分散は閾値よりも大きく、異常と判定する。また、第２角度センサー５１１の換算値は、平均値との差が最も大きい。このため、異常部位は、第２角度センサー５１１またはその第２角度センサー５１１の近傍であると判定する。

以上説明したように、このロボットシステム１００では、モーター４０１Ｍよりも先端側の部分の撓みや振動を考慮して位置精度を向上させることができ、また、振動も抑制することができる。

また、異常検出部２１により、減速機５０１、アーム１９、第１角度センサー４１１、第２角度センサー５１１および角速度センサー３１について、異常を検出し、また、異常部位を特定することができる。そして、異常が検出された場合、例えば、ロボット１を停止させたり、部品を交換したり、修理を行う等、適確に対応することができる。

＜第２実施形態＞
図３〜図６は、それぞれ、本発明のロボットシステムの第２実施形態における制御部の角速度センサーおよび第２角度センサーの出力を処理する回路の構成例を示すブロック図である。

以下、第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。

まず、第２実施形態の説明の前に、第１角度センサー４１１、第２角度センサー５１１および角速度センサー３１によりそれぞれ何が検出されるのかを確認する。

第１角度センサー４１１により、アーム１９の目標動作に対応する回転角度が検出される。

また、第２角度センサー５１１により、アーム１９の目標動作に対応する回転角度と、減速機５０１の振動に起因する回転角度とが検出される。

また、角速度センサー３１により、アーム１９の目標動作に対応する角速度と、アーム１９の振動に起因する角速度と、減速機５０１の振動に起因する角速度とが検出される。また、角速度センサー３１の出力値には、オフセットが含まれている。

次に、制御部２００のうちの、第２角度センサー５１１および角速度センサー３１の検出結果に基づいてアーム１９側の角速度を求める回路の構成例について説明する。このアーム１９側の角速度は、アーム１９の目標動作に対応する角速度、アーム１９の振動に起因する角速度および減速機５０１の振動に起因する角速度を合成した角速度である。

（構成例１）
図３に示すように、制御部２００は、第２角度センサー５１１の出力側に設けられたローパスフィルター６２（低域通過フィルター）と、角速度センサー３１の出力側に設けられたハイパスフィルター６３（高域通過フィルター）とを備えている。以下、具体的に説明する。

制御部２００は、微分回路６１と、ローパスフィルター６２と、ハイパスフィルター６３と、加算器６４とを備えている。

微分回路６１は、第２角度センサー５１１の出力側に接続され、ローパスフィルター６２は、微分回路６１の出力側に接続されている。また、ハイパスフィルター６３は、角速度センサー３１の出力側に接続されている。そして、加算器６４は、ローパスフィルター６２およびハイパスフィルター６３の出力側に接続されている。

この回路では、第２角度センサー５１１の出力、すなわち、第２角度センサー５１１により検出された回転角度を示す信号は、図示しないＡＤ変換器でアナログ信号からデジタル信号に変換された後、微分回路６１で角速度を示す信号に変換される。そして、前記信号は、ローパスフィルター６２により処理され、高周波数成分が除去または低減される。

また、角速度センサー３１の出力、すなわち、角速度センサー３１により検出された角速度を示す信号は、図示しないＡＤ変換器でアナログ信号からデジタル信号に変換された後、ハイパスフィルター６３により処理され、低周波数成分が除去または低減される。

そして、ローパスフィルター６２から出力された信号と、ハイパスフィルター６３から出力された信号は、加算器６４で加算され、出力される。この信号は、アーム１９側の角速度を示す信号である。

ここで、各信号に、主にどのような情報が含まれるかを説明する。
まず、第２角度センサー５１１から出力された信号は、アーム１９の目標動作に対応する回転角度の情報と、減速機５０１の振動に起因する回転角度の情報とを含む信号である。

また、ローパスフィルター６２から出力された信号は、アーム１９の目標動作に対応する角速度の低周波数成分の情報と、減速機５０１の振動のうちの１次モード振動に起因する角速度の情報とを含む信号である。なお、アーム１９の目標動作に対応する角速度の高周波数成分の情報と、減速機５０１の振動のうちの２次モード振動に起因する角速度の情報は、ローパスフィルター６２で除去される。

また、角速度センサー３１から出力された信号は、アーム１９の目標動作に対応する角速度の情報と、アーム１９の振動に起因する角速度の情報と、減速機５０１の振動に起因する角速度の情報と、オフセットの情報とを含む信号である。

また、ハイパスフィルター６３から出力された信号は、アーム１９の目標動作に対応する角速度の高周波数成分の情報と、アーム１９の振動のうちの２次モード振動に起因する角速度の情報と、減速機５０１の振動のうちの２次モード振動に起因する角速度の情報とを含む信号である。なお、アーム１９の目標動作に対応する角速度の低周波数成分の情報と、アーム１９の振動のうちの１次モード振動に起因する角速度の情報と、減速機５０１の振動のうちの１次モード振動に起因する角速度の情報と、オフセットの情報とは、ハイパスフィルター６３で除去される。

そして、加算器６４から出力されたアーム１９側の角速度を示す信号は、アーム１９の目標動作に対応する角速度の情報と、アーム１９および減速機５０１についての１次モード振動および２次モード振動に起因する角速度の情報とを含む信号である。なお、第２角度センサー５１１で検出される減速機５０１の１次モード振動の位相と、角速度センサー３１で検出されるアーム１９の１次モード振動の位相とは、同相であるので、アーム１９の１次モード振動に起因する角速度の情報は、ローパスフィルター６２から出力された減速機５０１の１次モード振動に起因する角速度の情報で補完される。

この構成例１では、第２角度センサー５１１および角速度センサー３１の出力について、それぞれ、精度の良い部分を用いることができ、また、適確にノイズ成分を除去または減少させることができる。そして、この回路の出力を用いてロボット１を制御することにより、精度良く、ロボット１を動作させることができる。

（構成例２）
図４に示すように、制御部２００は、第２角度センサー５１１の検出結果と角速度センサー３１の検出結果とに基づいて演算を行う演算部の１例である減算器６５と、減算器６５の出力側に設けられたハイパスフィルター６３（高域通過フィルター）とを備えている。以下、具体的に説明する。

制御部２００は、微分回路６１と、減算器６５と、ハイパスフィルター６３と、加算器６４とを備えている。

微分回路６１は、第２角度センサー５１１の出力側に接続されている。また、減算器６５は、微分回路６１および角速度センサー３１の出力側に接続されている。また、ハイパスフィルター６３は、減算器６５の出力側に接続されている。そして、加算器６４は、微分回路６１およびハイパスフィルター６３の出力側に接続されている。

この回路では、第２角度センサー５１１の出力、すなわち、第２角度センサー５１１により検出された回転角度を示す信号は、図示しないＡＤ変換器でアナログ信号からデジタル信号に変換された後、微分回路６１で角速度を示す信号に変換される。

また、角速度センサー３１の出力、すなわち、角速度センサー３１により検出された角速度を示す信号は、図示しないＡＤ変換器でアナログ信号からデジタル信号に変換され、減算器６５で、前記信号から、微分回路６１から出力された信号が減算される。また、減算器６５から出力された信号は、ハイパスフィルター６３により処理され、低周波数成分が除去または低減される。

そして、微分回路６１から出力された信号と、ハイパスフィルター６３から出力された信号は、加算器６４で加算され、出力される。この信号は、アーム１９側の角速度を示す信号である。

ここで、各信号に、主にどのような情報が含まれるかを説明する。
まず、第２角度センサー５１１から出力された信号は、アーム１９の目標動作に対応する回転角度の情報と、減速機５０１の振動に起因する回転角度の情報とを含む信号である。

また、角速度センサー３１から出力された信号は、アーム１９の目標動作に対応する角速度の情報と、アーム１９の振動に起因する角速度の情報と、減速機５０１の振動に起因する角速度の情報と、オフセットの情報とを含む信号である。

また、減算器６５から出力された信号は、アーム１９の振動に起因する角速度の情報と、オフセットの情報とを含む信号である。

また、ハイパスフィルター６３から出力された信号は、アーム１９の振動に起因する角速度の情報を含む信号である。なお、オフセットの情報は、ハイパスフィルター６３で除去される。

そして、加算器６４から出力されたアーム１９側の角速度を示す信号は、アーム１９の目標動作に対応する角速度の情報と、アーム１９の振動に起因する角速度の情報と、減速機５０１の振動に起因する角速度の情報とを含む信号である。

この構成例２は、構成例１に比べて、フィルターの数が少ないので、演算量が少ないという利点を有する。また、構成例２では、構成例１と同様の効果が得られる。

次に、制御部２００のうちの、第２角度センサー５１１および角速度センサー３１の検出結果に基づいて、アーム１９側の回転角度を求める回路の構成例について説明する。このアーム１９側の回転角度は、アーム１９の目標動作に対応する回転角度、アーム１９の振動に起因する回転角度および減速機５０１の振動に起因する回転角度を合成した回転角度である。

（構成例３）
図５に示すように、制御部２００は、積分回路６６と、ローパスフィルター６２と、ハイパスフィルター６３と、加算器６４とを備えている。この構成例３は、前記構成例１において、微分回路６１を省略し、積分回路６６を設けたものであるので、一部の説明は省略する。

ローパスフィルター６２は、第２角度センサー５１１の出力側に接続されている。また、積分回路６６は、角速度センサー３１の出力側に接続され、ハイパスフィルター６３は、積分回路６６の出力側に接続されている。そして、加算器６４は、ローパスフィルター６２およびハイパスフィルター６３の出力側に接続されている。

この回路では、第２角度センサー５１１の出力、すなわち、第２角度センサー５１１により検出された回転角度を示す信号は、図示しないＡＤ変換器でアナログ信号からデジタル信号に変換された後、ローパスフィルター６２により処理され、高周波数成分が除去または低減される。

また、角速度センサー３１の出力、すなわち、角速度センサー３１により検出された角速度を示す信号は、図示しないＡＤ変換器でアナログ信号からデジタル信号に変換された後、積分回路６６で回転角度を示す信号に変換される。そして、前記信号は、ハイパスフィルター６３により処理され、低周波数成分が除去または低減される。

そして、ローパスフィルター６２から出力された信号と、ハイパスフィルター６３から出力された信号は、加算器６４で加算され、出力される。この信号は、アーム１９側の回転角度を示す信号である。

この構成例３では、第２角度センサー５１１および角速度センサー３１の出力について、それぞれ、精度の良い部分を用いることができる。そして、この回路の出力を用いてロボット１を制御することにより、精度良く、ロボット１を動作させることができる。

（構成例４）
図６に示すように、制御部２００は、積分回路６６と、減算器６５と、ハイパスフィルター６３と、加算器６４とを備えている。この構成例４は、前記構成例２において、微分回路６１を省略し、積分回路６６を設けたものであるので、一部の説明は省略する。

積分回路６６は、角速度センサー３１の出力側に接続されている。また、減算器６５は、積分回路６６および第２角度センサー５１１の出力側に接続されている。また、ハイパスフィルター６３は、減算器６５の出力側に接続されている。そして、加算器６４は、第２角度センサー５１１およびハイパスフィルター６３の出力側に接続されている。

この回路では、第２角度センサー５１１の出力、すなわち、第２角度センサー５１１により検出された回転角度を示す信号は、図示しないＡＤ変換器でアナログ信号からデジタル信号に変換される。

また、角速度センサー３１の出力、すなわち、角速度センサー３１により検出された角速度を示す信号は、図示しないＡＤ変換器でアナログ信号からデジタル信号に変換された後、積分回路６６で回転角度を示す信号に変換される。そして、減算器６５で、前記信号から、第２角度センサー５１１から出力された信号が減算される。また、減算器６５から出力された信号は、ハイパスフィルター６３により処理され、低周波数成分が除去または低減される。

そして、第２角度センサー５１１から出力された信号と、ハイパスフィルター６３から出力された信号は、加算器６４で加算され、出力される。この信号は、アーム１９側の回転角度を示す信号である。

この構成例４は、構成例３に比べて、フィルターの数が少ないので、演算量が少ないという利点を有する。また、構成例４では、構成例３と同様の効果が得られる。

このロボット１では、前記構成例１〜４の回路で求めたアーム１９側の角速度、アーム１９側の回転角度等に基づいて、ロボット１を制御する。これにより、精度良く、ロボット１を動作させることができる。

以上のような第２実施形態によっても、前述した実施形態と同様の効果を発揮することができる。

＜第３実施形態＞
図７は、本発明のロボットシステムの第３実施形態を示す側面図（一部断面図）である。

以下、第３実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。

図７に示すように、第３実施形態では、第２角度センサー５１１は、アーム１９の下方に配置され、減速機５０１の上部に設置されている。これにより、モーター４０１Ｍ、減速機５０１、第１角度センサー４１１および第２角度センサー５１１がすべて、アーム１９に対して、同じ側、すなわち、アーム１９の下方に位置する。これによって、基台１１の寸法を小さくすることができ、ロボット１の小型化を図ることができる。

以上のような第３実施形態によっても、前述した実施形態と同様の効果を発揮することができる。

＜第４実施形態＞
図８は、本発明のロボットシステムの第４実施形態を示す斜視図である。図９は、図８に示すロボットシステムのロボットの概略図である。図１０は、図８に示すロボットシステムの主要部のブロック図である。

以下、第４実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。

第４実施形態では、可動部が複数のアームを有している。これにより、種々の動作を行うことができるので、種々の作業を効率良く行うことができる。なお、複数のアームのそれぞれを可動部と定義することも可能である。以下、具体的に説明する。

図８〜図１０に示す第４実施形態では、ロボット１は、基台１１と、マニピュレーター１０（ロボットアーム）とを備えている。

また、マニピュレーター１０は、回動軸周りに回動可能に設けられた複数、本実施形態では６つのアームを備えている。すなわち、マニピュレーター１０は、第１アーム１２、第２アーム１３、第３アーム１４、第４アーム１５、第５アーム１７および第６アーム１８と、第１駆動源４０１、第２駆動源４０２、第３駆動源４０３、第４駆動源４０４、第５駆動源４０５および第６駆動源４０６とを備えている。また、第５アーム１７および第６アーム１８によりリスト１６が構成され、第６アーム１８の先端部、すなわちリスト１６の先端面１６３には、例えば、ハンド等のエンドエフェクター（図示せず）を着脱可能に取り付けることができるようになっている。そして、このロボット１は、例えば、ハンドで精密機器、部品等を把持したまま、アーム１２〜１５、リスト１６等の動作を制御することにより、当該精密機器、部品を搬送する等の各作業を行うことができる。以下、ロボット１について詳細に説明する。

ロボット１は、基台１１と、第１アーム１２と、第２アーム１３と、第３アーム１４と、第４アーム１５と、第５アーム１７と、第６アーム１８とが基端側から先端側に向ってこの順に連結された垂直多関節（６軸）ロボットである。以下では、第１アーム１２、第２アーム１３、第３アーム１４、第４アーム１５、第５アーム１７、第６アーム１８、リスト１６をそれぞれ「アーム」とも言う。また、第１駆動源４０１、第２駆動源４０２、第３駆動源４０３、第４駆動源４０４、第５駆動源４０５および第６駆動源４０６をそれぞれ「駆動源」とも言う。

基台１１と第１アーム１２とは、関節（ジョイント）１７１を介して連結されている。そして、第１アーム１２は、基台１１に対し、鉛直方向と平行な第１回動軸Ｏ１を回動中心とし、その第１回動軸Ｏ１周りに回動可能となっている。第１回動軸Ｏ１は、基台１１の設置面である床１０１の上面の法線と一致している。また、第１回動軸Ｏ１は、ロボット１の最も上流側にある回動軸である。この第１アーム１２は、モーター（第１モーター）４０１Ｍおよび減速機（図示せず）を有する第１駆動源４０１の駆動により回動する。また、モーター４０１Ｍは、モータードライバー３０１を介して制御装置２０により制御される。

第１アーム１２と第２アーム１３とは、関節（ジョイント）１７２を介して連結されている。そして、第２アーム１３は、第１アーム１２に対し、水平方向と平行な第２回動軸Ｏ２を回動中心として回動可能となっている。第２回動軸Ｏ２は、第１回動軸Ｏ１と直交している。この第２アーム１３は、モーター（第２モーター）４０２Ｍおよび減速機（図示せず）を有する第２駆動源４０２の駆動により回動する。また、モーター４０２Ｍは、モータードライバー３０２を介して制御装置２０により制御される。なお、第２回動軸Ｏ２は、第１回動軸Ｏ１に直交する軸と平行であってもよい。

第２アーム１３と第３アーム１４とは、関節（ジョイント）１７３を介して連結されている。そして、第３アーム１４は、第２アーム１３に対して水平方向と平行な第３回動軸Ｏ３を回動中心とし、その第３回動軸Ｏ３周りに回動可能となっている。第３回動軸Ｏ３は、第２回動軸Ｏ２と平行である。この第３アーム１４は、モーター（第３モーター）４０３Ｍおよび減速機（図示せず）を有する第３駆動源４０３の駆動により回動する。また、モーター４０３Ｍは、モータードライバー３０３を介して制御装置２０により制御される。

第３アーム１４と第４アーム１５とは、関節（ジョイント）１７４を介して連結されている。そして、第４アーム１５は、第３アーム１４に対し、第３アーム１４の中心軸方向と平行な第４回動軸Ｏ４を回動中心とし、その第４回動軸Ｏ４周りに回動可能となっている。第４回動軸Ｏ４は、第３回動軸Ｏ３と直交している。この第４アーム１５は、モーター（第４モーター）４０４Ｍおよび減速機（図示せず）を有する第４駆動源４０４の駆動により回動する。また、モーター４０４Ｍは、モータードライバー３０４を介して制御装置２０により制御される。なお、第４回動軸Ｏ４は、第３回動軸Ｏ３に直交する軸と平行であってもよい。

第４アーム１５とリスト１６の第５アーム１７とは、関節（ジョイント）１７５を介して連結されている。そして、第５アーム１７は、第４アーム１５に対して第５回動軸Ｏ５を回動中心とし、その第５回動軸Ｏ５周りに回動可能となっている。第５回動軸Ｏ５は、第４回動軸Ｏ４と直交している。この第５アーム１７は、モーター（第５モーター）４０５Ｍおよび減速機（図示せず）を有する第５駆動源４０５の駆動により回動する。また、モーター４０５Ｍは、モータードライバー３０５を介して制御装置２０により制御される。なお、第５回動軸Ｏ５は、第４回動軸Ｏ４に直交する軸と平行であってもよい。

リスト１６の第５アーム１７と第６アーム１８とは、関節（ジョイント）１７６を介して連結されている。そして、第６アーム１８は、第５アーム１７に対して第６回動軸Ｏ６を回動中心とし、その第６回動軸Ｏ６周りに回動可能となっている。第６回動軸Ｏ６は、第５回動軸Ｏ５と直交している。この第６アーム１８は、モーター（第６モーター）４０６Ｍおよび減速機（図示せず）を有する第６駆動源４０６の駆動により回動する。また、モーター４０６Ｍは、モータードライバー３０６を介して制御装置２０により制御される。なお、第６回動軸Ｏ６は、第５回動軸Ｏ５に直交する軸と平行であってもよい。

なお、リスト１６は、第６アーム１８として、円筒状をなすリスト本体１６１を有し、また、第５アーム１７として、リスト本体１６１と別体で構成され、当該リスト本体１６１の基端部に設けられ、リング状をなす支持リング１６２を有している。

また、モーター４０１Ｍ〜４０６Ｍには、それぞれ、第１角度センサー４１１、４１２、４１３、４１４、４１５および４１６が設けられている。

また、基台１１には、例えば、モーター４０１Ｍやモータードライバー３０１〜３０６等が収納されている。

アーム１２〜１５は、それぞれ、中空のアーム本体２と、アーム本体２内に収納され、モーターを備える駆動機構３と、アーム本体２内を封止する封止手段４とを有している。なお、図面では、第１アーム１２が有するアーム本体２、駆動機構３、封止手段４をそれぞれ「２ａ」、「３ａ」、「４ａ」とも表記し、第２アーム１３が有するアーム本体２、駆動機構３、封止手段４をそれぞれ「２ｂ」、「３ｂ」、「４ｂ」とも表記し、第３アーム１４が有するアーム本体２、駆動機構３、封止手段４をそれぞれ「２ｃ」、「３ｃ」、「４ｃ」とも表記し、第４アーム１５が有するアーム本体２、駆動機構３、封止手段４をそれぞれ「２ｄ」、「３ｄ」、「４ｄ」とも表記する。

次に、第２角度センサー５１１および角速度センサー３１の配置について説明する。なお、第１および第３実施形態で説明したように、アーム１９についての第２角度センサー５１１は、アーム１９自体に設置されているわけではなく、基台１１や減速機５０１に設置されているので、以下の説明では、「アームについて、第２角度センサーが設けられている」という表現をする。

本実施形態では、第１アーム１２について、第２角度センサー５１１が設けられ、第６アーム１８の先端部に角速度センサー３１が設けられている。これにより、第２角度センサー５１１および角速度センサー３１の数を少なくしつつ、必要かつ十分な効果を得ることができる。

なお、第１アーム１２〜第６アーム１８のそれぞれについて、第２角度センサーを設けてもよく、また、第１アーム１２〜第６アーム１８のそれぞれについて、角速度センサーを設けてもよい。

また、第１アーム１２〜第６アーム１８のうちの一部のアームについてのみ、第２角度センサーを設けてもよく、また、第１アーム１２〜第６アーム１８のうちの一部のアームにのみ、角速度センサーを設けてもよい。なお、前記一部のアームの数は、１つでもよく、また、複数でもよい。

以上のような第４実施形態によっても、前述した実施形態と同様の効果を発揮することができる。

以上、本発明のロボット、制御装置およびロボットシステムを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、他の任意の構成物が付加されていてもよい。

また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。

また、前記実施形態では、可動部がロボットのアームや複数のアームを有するマニピュレーター（ロボットアーム）の場合を例に挙げて説明したが、本発明では、可動部は、これに限定されず、ロボットの移動可能な部分、すなわち、動くことが可能な部分であればよい。

また、前記実施形態では、ロボットの基台の固定箇所は、例えば、設置スペースにおける床であるが、本発明では、これに限定されず、この他、例えば、天井、壁、作業台、地上等が挙げられる。

また、本発明では、ロボットは、セル内に設置されていてもよい。この場合、ロボットの基台の固定箇所としては、例えば、セルの床部、天井部、壁部、作業台等が挙げられる。

また、前記実施形態では、ロボット（基台）が固定される平面（面）である第１面は、水平面と平行な平面（面）であるが、本発明では、これに限定されず、例えば、水平面や鉛直面に対して傾斜した平面（面）でもよく、また、鉛直面と平行な平面（面）であってもよい。すなわち、第１回動軸（回動軸）は、鉛直方向と平行である場合に限定されず、例えば、鉛直方向や水平方向に対して傾斜していてもよく、また、水平方向と平行であってもよい。

また、前記実施形態では、マニピュレーターの回動軸の数は、１つまたは６つであるが、本発明では、これに限定されず、マニピュレーターの回動軸の数は、例えば、２つ、３つ、４つ、５つまたは７つ以上でもよい。すなわち、前記実施形態では、アーム（リンク）の数は、１つまたは６つであるが、本発明では、これに限定されず、アームの数は、例えば、２つ、３つ、４つ、５つ、または、７つ以上でもよい。この場合、例えば、前記実施形態のロボットにおいて、第２アームと第３アームとの間にアームを追加することにより、アームの数が７つのロボットを実現することができる。

また、前記実施形態では、マニピュレーターの数は、１つであるが、本発明では、これに限定されず、マニピュレーターの数は、例えば、２つ以上でもよい。すなわち、ロボット（ロボット本体）は、例えば、双腕ロボット等の複数腕ロボットであってもよい。

また、本発明では、ロボットは、他の形式のロボットであってもよい。具体例としては、例えば、脚部を有する脚式歩行（走行）ロボット、スカラーロボット等の水平多関節ロボット等が挙げられる。

１…ロボット、２…アーム本体、２ａ…アーム本体、２ｂ…アーム本体、２ｃ…アーム本体、２ｄ…アーム本体、３…駆動機構、３ａ…駆動機構、３ｂ…駆動機構、３ｃ…駆動機構、３ｄ…駆動機構、４…封止手段、４ａ…封止手段、４ｂ…封止手段、４ｃ…封止手段、４ｄ…封止手段、１０…マニピュレーター、１１…基台、１２…第１アーム、１３…第２アーム、１４…第３アーム、１５…第４アーム、１６…リスト、１７…第５アーム、１８…第６アーム、１９…アーム、２０…制御装置、２００…制御部、２１…異常検出部、２１１…異常部位特定部、２２…記憶部、３１…角速度センサー、６１…微分回路、６２…ローパスフィルター、６３…ハイパスフィルター、６４…加算器、６５…減算器、６６…積分回路、１００…ロボットシステム、１０１…床、１６１…リスト本体、１６２…支持リング、１６３…先端面、１７１…関節、１７２…関節、１７３…関節、１７４…関節、１７５…関節、１７６…関節、３０１…モータードライバー、３０２…モータードライバー、３０３…モータードライバー、３０４…モータードライバー、３０５…モータードライバー、３０６…モータードライバー、４０１…第１駆動源、４０１Ｍ…モーター、４０２…第２駆動源、４０２Ｍ…モーター、４０３…第３駆動源、４０３Ｍ…モーター、４０４…第４駆動源、４０４Ｍ…モーター、４０５…第５駆動源、４０５Ｍ…モーター、４０６…第６駆動源、４０６Ｍ…モーター、４１１…第１角度センサー、４１２…第１角度センサー、４１３…第１角度センサー、４１４…第１角度センサー、４１５…第１角度センサー、４１６…第１角度センサー、５０１…減速機、５１１…第２角度センサー、Ｏ…回動軸、Ｏ１…第１回動軸、Ｏ２…第２回動軸、Ｏ３…第３回動軸、Ｏ４…第４回動軸、Ｏ５…第５回動軸、Ｏ６…第６回動軸

Claims (11)

1. 移動可能な可動部と、
   前記可動部を駆動する駆動部と、
   前記可動部と前記駆動部との間に位置する伝達部と、
   前記伝達部の入力側の位置を検出する第１位置検出部と、
   前記伝達部の出力側の位置を検出する第２位置検出部と、
   前記可動部に設けられた慣性センサーと、を備えることを特徴とするロボット。
2. 前記駆動部は、前記第１位置検出部の検出結果と、前記第２位置検出部の検出結果と、前記慣性センサーの検出結果とに基づいて駆動される請求項１に記載のロボット。
3. 前記慣性センサーは、前記第２位置検出部よりも前記可動部の先端側に位置する請求項１または２に記載のロボット。
4. 前記可動部の先端に外力が作用した場合における前記伝達部の変形による前記可動部の先端の第１変位量と、前記可動部の先端に前記外力が作用した場合における前記可動部の変形による前記可動部の先端の第２変位量とを比較したとき、前記第２変位量は、前記第１変位量の１／３０以上である請求項１ないし３のいずれか１項に記載のロボット。
5. 前記第１位置検出部の検出結果と、前記第２位置検出部の検出結果と、前記慣性センサーの検出結果とに基づいて、前記第１位置検出部、前記第２位置検出部、前記慣性センサー、前記駆動部、前記伝達部および前記可動部のうちの少なくとも１つの異常を検出可能である請求項１ないし４のいずれか１項に記載のロボット。
6. 前記可動部は、複数のアームを有する請求項１ないし５のいずれか１項に記載のロボット。
7. 前記伝達部は、減速機を有する請求項１ないし６のいずれか１項に記載のロボット。
8. 請求項１ないし７のいずれか１項に記載のロボットを制御することを特徴とする制御装置。
9. 前記第２位置検出部の出力側に設けられた低域通過フィルターと、
   前記慣性センサーの出力側に設けられた高域通過フィルターと、を備える請求項８に記載の制御装置。
10. 前記第２位置検出部の検出結果と前記慣性センサーの検出結果とに基づいて演算を行う演算部と、
    前記演算部の出力側に設けられた高域通過フィルターと、を備える請求項８に記載の制御装置。
11. 請求項１ないし７のいずれか１項に記載のロボットと、
    前記ロボットを制御する制御装置と、を備えることを特徴とするロボットシステム。

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