TW202137373A - 為電子裝置製造工具提供維護通路的系統和方法 - Google Patents

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Abstract

本揭示案描述用於致使一電子裝置製造系統之一工廠介面可在第一位置及第二位置之間移動的裝置、系統、及方法。一種電子裝置製造系統能包括傳送腔室、連接至該傳送腔室的處理腔室、連接至該傳送腔室的負載鎖定室、及連接至該負載鎖定室的工廠介面。該工廠介面能在第一位置及第二位置之間移動。當該工廠介面經定向在第一位置中的同時，該工廠介面經定位用於一或更多個基板在該工廠介面與該負載鎖定室之間的傳送，其中當該工廠介面經定向於該第一位置的同時該傳送腔室或該負載鎖定室中的至少一個是無法接取以供維護的。當該工廠介面經定向在該第二位置中的同時，該工廠介面經定位以提供對該傳送腔室或該負載鎖定室中的至少一個的維護通路。該工廠介面能包括一或更多個可移動的組件，其致使該工廠介面可在該第一位置及該第二位置之間移動。

Description

為電子裝置製造工具提供維護通路的系統和方法
本揭示案之實施例概略地關於用於提供至電子裝置製造工具、以及至可移動的工廠介面的維護通路的系統及方法。
電子裝置製造系統能包括用於製造基板的一或更多個工具或組件。此種工具或組件能包括工廠介面，其經連接至負載鎖定室（load lock）及/或傳送腔室。在一些實例中，電子裝置製造系統的操作者能對製造系統工具或組件提供維護。例如，操作者能接觸（access）負載鎖定室及/或傳送腔室以進行負載鎖定室及/或傳送腔室上的維護。電子裝置製造系統中保留了維護通路空間以允許操作者在維護期間接觸工具及/或組件。該維護通路空間在電子裝置製造系統操作期間是未經使用的，而因此在電子裝置製造系統的壽命的絕大部分是未經使用的。製造設施（fab）中的地板空間一般非常昂貴。因此，被用於提供接取（access）電子裝置製造系統中工具或組件的通路空間增加了電子裝置製造系統之所有權的成本。
本文所述之實施例的一些涵蓋一種電子裝置製造系統。電子裝置製造系統能包括傳送腔室、經連接至該傳送腔室的處理腔室、經連接至該傳送腔室的負載鎖定室、及經連接至該負載鎖定室的工廠介面。該工廠介面可在第一位置與第二位置之間移動。當該工廠介面經定向在該第一位置中時，該工廠介面經定位用於一或更多個基板在該工廠介面與該負載鎖定室之間的傳送。當該工廠介面經定向在第一位置中的同時，該傳送腔室或該負載鎖定室中的至少一個是無法接取以供維護的。當該工廠介面經定向在該第二位置中的同時，該工廠介面經定位以提供對該傳送腔室或該負載鎖定室中的至少一個的維護通路。該工廠介面包括一或更多個可移動的組件，其致使該工廠介面可在該第一位置及該第二位置之間移動。
在一些實施例中，電子裝置製造系統的工廠介面包括該工廠介面之第一側上的至少一通口，其經配置以介接於基板載體。該工廠介面進一步包括該工廠介面之第二側上的至少一通口，其經配置以介接於負載鎖定室。該工廠介面進一步包括機器臂，該機器臂經配置以在該基板載體及該負載鎖定室之間傳送基板。該工廠介面進一步包括一或更多個可移動的組件，其致使該工廠介面可在一第一位置及一第二位置之間移動。當該工廠介面經定向在該第一位置中的同時，該工廠介面經定位以用於一或更多個基板在該基板載體與該負載鎖定室之間的傳送。當該工廠介面經定向於該第一位置的同時該負載鎖定室或連接至該負載鎖定室的傳送腔室中之至少一者是無法接取以供維護的。
在一些實施例中，一種方法包括偵測電子裝置製造系統的工廠介面已從第一位置移動至第二位置。當該工廠介面經定向在該第二位置中的同時，該工廠介面經定位以提供往該電子裝置製造系統之傳送腔室或該電子裝置製造系統之負載鎖定室中的至少一者的維護通路。該方法進一步包括，回應於偵測到該工廠介面已從該第一位置移動到該第二位置，決定該工廠介面無法用於一或更多個基板在該工廠介面與該負載鎖定室之間的傳送。該方法進一步包括發送有關該工廠介面無法用於一或更多個基板在該工廠介面與該負載鎖定室之間的傳送的第一通知至下列至少一者：該工廠介面、該負載鎖定室、該傳送腔室、或經連接至該傳送腔室的一或更多個處理腔室。
本文中所述實施例有關用於提供對電子裝置製造系統之一或更多個工具的維護通路的系統及方法。實施例中，一或更多個可移動的組件被用於將一電子裝置製造系統的一工廠介面從一第一位置移動至一第二位置。在該工廠介面經定向在該第一位置中的同時，該工廠介面經定位以用於一或更多個基板在該工廠介面與該電子裝置製造系統之一負載鎖定室之間的傳送。實施例中，當該工廠介面經定向在該第一位置中時，至少該負載鎖定室及該電子裝置製造系統的一傳送腔室是無法接取以供維護的。當該工廠介面經定向在該第二位置中的同時，該工廠介面經定位以提供到至少該負載鎖定室及該傳送腔室的維護通路。
在一些實施例中，該一或更多個可移動的組件包括經設置在該工廠介面之底部處的一直線滑軌。在一實施例中，該直線滑軌的一恆定組件經安裝至該電子裝置製造系統的地板而一滑動組件經安裝至該工廠介面的底部。在一些實施例中，該滑動組件能經配置以沿著該恆定組件滑動，致使該工廠介面沿著大約平行於該負載鎖定室的一軸移動（如針對第2A～3B圖所例示）。在其他或類似的實施例中，該滑動組件及該恆定組件能經定位，使得該工廠介面沿著大約垂直於該負載鎖定室之一面的一軸移動（即該工廠介面滑動遠離該負載鎖定室）。當從該第一位置被移動到該第二位置時，該工廠介面能被移動大約24英吋到大約60英吋。該工廠介面到第二位置的移動提供了大約24英吋到大約60英吋的一開口，以在實施例中接取至少該負載鎖定室與該傳送腔室的以其他方式無法接取的部分。
在其他或類似的實施例中，該一或更多個可移動的組件包括一鉸鏈及/或一組輪子。該組輪子能經設置於該工廠介面的底部處。該鉸鏈能經安裝至該工廠介面及該負載鎖定室以將該工廠介面的第一側固定至該負載鎖定室。該工廠介面的第二側能自該負載鎖定室旋轉大約10o 至大約50o 之間，產生在大約24英吋至大約60英吋之間的一開口。
該一或更多個可移動的組件也能包括經設置在該工廠介面之一或更多側上的垂直滑軌。在一些實施例中，該直線滑軌的一滑動組件經安裝至該工廠介面介接於該負載鎖定室的一側。該負載鎖定室介接於該工廠介面之該側的部分能包括一恆定組件，其經配置以與該滑動組件接合。該工廠介面能從該電子裝置製造系統的地板被升起以產生能從該工廠介面之底下接取的一開口。隨著該工廠介面從該電子裝置製造系統的地板被升起，該垂直滑軌的滑動組件能沿著該垂直滑軌的恆定組件滑動，以促進該工廠介面的垂直運動。在一些實施例中，該工廠介面能從地面被升起大約24英吋至大約60英吋。
藉由提供一種機構來將工廠介面從第一位置移動至第二位置，在需要維護通路的實例中能提供對電子裝置製造系統之一或更多個工具的維護通路。能設計一電子裝置製造系統來包括最佳化數量的操作工具或組件，而不包括在電子裝置製造系統之操作期間（此是電子裝置製造系統的壽命中的絕大部分）未經使用的維護通路空間。利用如實施例中提供的可移動工廠介面免除了專屬的維護通路空間。因此，平常將保留用於維護通路的製造設施中的樓板空間能替代地被用以連接額外工具或組件（例如額外製程腔室）至電子裝置製造系統的傳送腔室。因此，實施例能增加在電子裝置製造系統中被附加至傳送腔室的腔室個數，增加電子裝置製造系統的腔室密度，及/或減少電子裝置製造系統之所有權的成本。藉由在電子裝置製造系統中包括最佳數量的操作工具或組件，能改善整體的系統產出量及/或成本。
第 1 圖 是按照本揭示案的態樣之範例電子裝置製造系統的俯視示意圖。電子裝置製造系統100（也稱為電子件處理系統）經配置以在基板102上進行一或更多個程序。基板102能為任何合適地剛性、固定尺寸、平面的物品，像是（例如）含矽的圓盤或晶圓、圖案化的晶圓、玻璃板、或類似者，其適合用於在其上製造電子裝置或電路組件。
電子裝置製造系統100包括一製程工具（例如一主機）104及經耦合至製程工具104的一工廠介面106。製程工具104包括一外殼108，該外殼中有一傳送腔室110。傳送腔室110包括經設置在該傳送腔室附近並耦合至該傳送腔室的一或更多個處理腔室（也稱為製程腔室）114、116、118。處理腔室114、116、118能通過個別通口（像是狹縫閥或類似者）經耦合至傳送腔室110。
能調適處理腔室114、116、118以在基板102上實現任意個製程。各處理腔室114、116、118中能發生相同的或不同的基板製程。基板製程的範例包括原子層沉積（ALD）、物理氣相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）、蝕刻、退火、固化、預清潔、金屬或金屬氧化物之移除、或類似者。在一範例中，PVD製程在處理腔室114之一者或兩者中進行，蝕刻製程在處理腔室116之一者或兩者中進行，而退火製程在處理腔室118之一者或兩者中進行。能在其中的基板上實施其他製程。處理腔室114、116、118能各包括一基板支撐組合件。該基板支撐組合件能經配置以在進行基板製程的同時將一基板維持定位。
傳送腔室110也包括一傳送腔室機器人112。傳送腔室機器人112能包括一個或多個手臂，其中各臂於各臂的末端處包括一或更多個端效器。該端效器能經配置以操縱特定物體，像是晶圓。替代地（或額外地），該端效器經配置以操縱像是製程套組環之物體。在一些實施例中，傳送腔室機器人112是一選擇順應性組裝機器臂（SCARA）機器人，像是2連桿（link）SCARA機器人、3連桿SCARA機器人、4連桿SCARA機器人、等等。
也能將一負載鎖定室120耦合至外殼108及傳送腔室110。負載鎖定室120能經配置以在一側上介接於（且耦合至）傳送腔室110，而在另一側上介接於（且耦合至）工廠介面106。負載鎖定室120能具有一環境控制大氣層，其在一些實施例中從真空環境（其中基板在與傳送腔室110之間來回傳送）改變成大氣壓力（或接近大氣壓力）惰性氣體環境（其中基板在與工廠介面106之間來回傳送）。在一些實施例中，負載鎖定室120是一堆疊式負載鎖定室，其具有位於不同垂直水平（例如一個在另一個之上）的一對較高內腔室及一對較低內腔室。在一些實施例中，該對較高內腔室經配置以接收來自傳送腔室110的經處理基板，以供從製程工具104移除，同時該對較低內腔室經配置以接收來自工廠介面106的基板以供在製程工具104中處理。在一些實施例中，負載鎖定室120經配置以在其中所接收之一或更多個基板102上進行基板製程（例如蝕刻或預清潔）。
工廠介面106能為任何適當的封閉殼體，例如設備前端模組（EFEM）。工廠介面106能經配置以從對接於工廠介面106之各不同載入通口124處的基板載體122（例如前開式晶圓傳送盒(FOUP)）接收基板102。工廠介面機器人126（圖示為虛線）能經配置以在基板載體（也稱為容器）122及負載鎖定室120之間傳送基板102。在其他及/或類似實施例中，工廠介面106經配置以從替換部件收納容器123接收替換部件。工廠介面機器人126能包括一或更多個機器臂且能為（或包括）SCARA機器人。在一些實施例中，工廠介面機器人126具有比傳送腔室機器人112更多的連桿及/或更多的自由度。工廠介面機器人126能在各機器臂之一端上包括一端效器。該端效器能經配置以拾起及操縱特定物體，像是晶圓。替代地（或額外地），該端效器能經配置以操縱像是製程套組環之物體。
能將任何習用的機器人類型使用於工廠介面機器人126。能以任何順序或方向進行傳送。在一些實施例中能將工廠介面106維持在（例如）稍微正壓的非反應性氣體環境中（利用像是氮作為非反應性氣體）。
在一些實施例中，傳送腔室110、處理腔室114、116、及118，及/或負載鎖定室120經保持於真空層級。電子裝置製造系統100能包括一或更多個真空通口，其經耦合至電子裝置製造系統100的一或更多個站。例如，第一真空通口130a能將工廠介面106耦合至負載鎖定室120。第二真空通口130b能經耦合至負載鎖定室120且經設置在負載鎖定室120與傳送腔室110之間。
在一些實施例中，一或更多個公用設施線路（未圖示）經配置以提供公用設施至工廠介面106。公用設施線路能包括經配置以提供電力至工廠介面106的電力公用設施線路、經配置以提供空氣至工廠介面106的空氣公用設施線路（例如清潔乾燥空氣(CDA)公用設施線路）、經配置以提供真空至第一真空通口130a及/或至工廠介面106之內腔室的真空公用設施線路，及/或經配置以提供氮至工廠介面106的氮公用設施線路。
能配置一或更多個公用設施纜線（cable）來保護該一或更多個公用設施線路。例如，各公用設施線路能經包覆在一公用設施纜線內。多個公用設施線路能經包覆在相同公用設施纜線內，及/或公用設施線路能經包括在分離的公用設施纜線內。各公用設施纜線的第一端能經安裝至公用設施供應（例如電力供應源、空氣供應源、真空泵、氮供應源、等等）的出口。在一些實施例中，公用設施供應的出口經連接至電子裝置製造系統100的地板（或壁）。如此，各公用設施纜線的第一端能經安裝至製造設施的地面（例如其上安裝有工廠介面106的地面）。各公用設施纜線的第二端能經安裝至工廠介面106的入口。在一些實施例中，該入口位於工廠介面106的底部處。如此，各公用設施纜線的第二端經安裝至工廠介面106的底部。
在一些實施方式中，工廠介面106包括一或更多個可移動的組件，其致使工廠介面106可在第一位置與第二位置之間移動。該一或更多個可移動的組件能包括鉸鏈、滑軌、或一組輪子之中至少一者。有關該一或更多個可移動的組件的進一步細節乃針對第 2A ～ 4B 圖 做說明。當工廠介面106經定向在第一位置中的同時，工廠介面106經定位以用於一或更多個基板102在工廠介面106與負載鎖定室120之間的傳送。
在一些實例中，電子裝置製造系統100的操作者為工廠介面106、負載鎖定室120、傳送腔室110、及/或處理腔室114、116、118中至少一處理腔室進行維護。在一些實施例中，操作者藉由從負載鎖定室120及/或傳送腔室110底下接取工廠介面106、負載鎖定室120、傳送腔室110、及/或處理腔室114、116、118中至少一處理腔室來進行維護。為了從負載鎖定室120及/或傳送腔室110底下接取工廠介面106、負載鎖定室120、傳送腔室110、或處理腔室114、116、118，操作者能將工廠介面106從第一位置移動至第二位置，如針對第 2A ～ 4B 圖 所述。
在一些實施例中，電子裝置製造系統100包括一或更多個鎖定機構以將工廠介面106固定在第一位置抑或第二位置中。鎖定機構的第一部分能經緊固至工廠介面106，而鎖定機構的第二部分能經緊固至負載鎖定室120。該鎖定機構的第一部分能接合該鎖定機構的第二部分以在電子裝置製造系統100的操作期間將工廠介面106固定在第一位置中。該鎖定機構也能包括位置對齊組件以在工廠介面106已被移動至第二位置後促進將工廠介面106固定在第一位置中。該等位置對齊組件能包括經配置以在工廠介面106已被移動至第二位置後將工廠介面106固定在第一位置中的任何組件（例如一或更多個平板及一固定組件、一插槽中的滾珠、等等）。在所例示例子中，該鎖定機構的第一部分包括一第一板而該鎖定機構的第二部分包括一第二板，其中為了將工廠介面固定在第一位置中而通過該第一板及該第二版的一洞饋入一緊固組件（像是螺桿）。
在一些實施例中，該鎖定機構是第一鎖定機構而電子裝置製造系統100包括第二鎖定機構。該第二鎖定機構能包括第一部分及第二部分。在一些實施例中，第一鎖定機構的第一部分與第二鎖定機構的第二部分接合以將工廠介面106固定在第二位置中。在一些實施例中，第一鎖定機構及/或第二鎖定機構包括一感測器，其偵測何時該鎖定機構的第一部分與該鎖定機構的第二部分接合及/或解除接合。在一些實施例中，第一鎖定機構包括感測器而第二鎖定機構不包括感測器。第一鎖定機構的感測器偵測工廠介面106是否經固定在第一位置中（即，第一鎖定機構的第一部分與第二鎖定機構的第二部分接合）。
在一些實施例中，當工廠介面106從第二位置被移動到第一位置時，第一鎖定機構的第一部分與第一鎖定機構的第二部分接合，使得工廠介面106經緊固在如工廠介面106從第一位置被移動到第二位置之前大概相同的方位。在此實施例中，在開始於工廠介面106與負載鎖定室120之間傳送一或更多個基板102之前工廠介面106的組件（像是工廠介面機器人126）經再校準。例如，工廠介面在第一位置中的同時該工廠介面經校準。工廠介面能接著被放在第二位置中，且接著再次在第一位置中，而曾進行的初始校準能仍是準確的。
電子裝置製造系統100也能包括一系統控制器128。系統控制器128可為及/或包括一計算裝置，像是個人電腦、伺服器電腦、可程式化邏輯控制器（PLC）、微控制器、等等。系統控制器128能包括一或更多個處理裝置，該處理裝置可為一般用途處理裝置，像是微處理器、中央處理單元、或類似者。更特定地，該處理裝置可為複雜指令集運算（CISC）微處理器、精簡指令集運算（RISC）微處理器、非常長指令字組（VLIW）微處理器、或實施其他指令集的處理器或是實施指令集之組合的處理器。該處理裝置也可為一或更多個特殊用途處理裝置，像是應用特定積體電路（ASIC）、現場可程式化閘陣列（FPGA）、數位信號處理器（DSP）、網路處理器、或類似者。系統控制器128 能包括一資料儲存裝置（例如一或更多個磁碟機及/或固態硬碟機）、主記憶體、靜態記憶體、網路介面、及/或其他組件。系統控制器128能執行指令以進行本文中所述方法及/或實施例之任一或更多者。該些指令能經儲存在電腦可讀取儲存媒體上，該電腦可讀取儲存媒體能包括主記憶體、靜態記憶體、輔助儲存及/或處理裝置（在指令的執行期間）。實施例中，由系統控制器128對指令的執行致使了系統控制器進行第 5 圖 之一或更多者中的方法。系統控制器128也能經配置以許可由人類操作者對資料、操作命令、及類似者的輸入及顯示。
如上討論，電子裝置製造系統100的操作者能藉由致使工廠介面106從第一位置被移動至第二位置，來從負載鎖定室120及/或傳送腔室110底下接取工廠介面106、負載鎖定室120、傳送腔室110或處理腔室114、116、118中至少一處理腔室。操作者能致使將工廠介面106固定在第一位置的該鎖定機構的第一部分（例如第一鎖定機構或第二鎖定機構）從該鎖定機構的第二部分解除接合。回應於該鎖定機構的第一部分從該鎖定機構的第二部分解除接合，系統控制器128能偵測工廠介面106已從第一位置移動到第二位置。例如，系統控制器128能接收一信號，其指示出工廠介面106已從該第一位置移動到該第二位置及/或該鎖定機構已解除接合（例如該工廠介面不再鎖定至第一位置）。在一些實施例中，系統控制器128基於有關該鎖定機構的第一部分已從該鎖定機構的第二部分解除接合的一指示（接收自該鎖定機構的感測器），偵測到工廠介面106已從第一位置移動到第二位置。在一些實施例中，系統控制器128能基於有關第一鎖定機構的第一部分已從第一鎖定機構的第二部分解除接合的、接收自第一鎖定機構之感測器的一指示，偵測到工廠介面106已從第一位置移動到第二位置。在其他或類似的實施例中，系統控制器128能基於有關第一鎖定機構的第一部分已與第二鎖定機構的第二部分接合的接收自第二鎖定機構之感測器的指示，偵測到工廠介面106已從第一位置移動到第二位置。
回應於偵測到工廠介面106已從第一位置移動到第二位置，系統控制器128能決定工廠介面106無法用於一或更多個基板102在工廠介面106與負載鎖定室120之間的傳送。系統控制器128能向工廠介面106、負載鎖定室120、傳送腔室110、或處理腔室114、116、118中之至少一者發送有關工廠介面106無法用於一或更多個基板102在工廠介面106與負載鎖定室120之間的傳送的通知。
在完成對工廠介面106、負載鎖定室120、傳送腔室110或處理腔室114、116、118中至少一處理腔室的維護之後，操作者能馬上將工廠介面106從該第二位置移動到該第一位置。操作者能致使鎖定機構的第一部分與鎖定機構的第二部分重新接合，以為了將工廠介面106固定在第一位置中。系統控制器128能偵測工廠介面106已從第二位置移動到第一位置及/或該鎖定機構已重新接合（例如工廠介面經鎖定至第一位置）。在一些實施例中，系統控制器128能基於有關該鎖定機構的第一部分已與該鎖定機構的第二部分接合的一指示（接收自該鎖定機構的感測器）， 偵測到工廠介面106已從第一位置移動到第二位置。回應於偵測到工廠介面106已從第一位置移動到第二位置，系統控制器128能決定工廠介面106可用於一或更多個基板102在工廠介面106與負載鎖定室120之間的傳送。系統控制器能向工廠介面106、負載鎖定室120、傳送腔室110、或一或更多個處理腔室114、116、118中之至少一者發送有關工廠介面106可用於一或更多個基板102在工廠介面106與負載鎖定室120之間的傳送的通知。
第 2A 圖 是按照本揭示案的態樣之電子裝置製造系統200的俯視示意圖，該電子裝置製造系統200包括經定向於第一位置處的工廠介面210。工廠介面210能為電子裝置製造系統200的一工廠介面，像是電子裝置製造系統100的工廠介面106。電子裝置製造系統200能包括至少一負載鎖定室212、一傳送腔室214、及一或更多個處理腔室216。傳送腔室214能包括一傳送腔室機器人218，其能經配置以傳送基板至負載鎖定室212及/或從負載鎖定室212傳送基板至處理腔室216，按照先前所述的實施例。工廠介面210能經配置以從基板載體220接收基板，按照先前所述的實施例。
工廠介面210能包括一或更多個可移動的組件，其致使工廠介面210可在第一位置與第二位置之間移動。在一些實施例中，該一或更多個可移動的組件包括一直線滑軌222，其經設置於工廠介面210的底部處。直線滑軌222能包括至少一恆定組件224及一滑動組件226。恆定組件224能經安裝至電子裝置製造系統200的地板而因此能隨工廠介面210在第一與第二位置之間移動而維持恆定。滑動組件226能經安裝至工廠介面210的底部而能隨工廠介面210在第一與第二位置之間移動時沿著恆定組件224（例如滑軌）移動。在一些實施例中，直線滑軌222允許工廠介面210沿著大約平行於負載鎖定室212之第一側的一軸的運動（例如滑動運動）。在其他或類似的實施例中，直線滑軌222允許工廠介面210沿著大約垂直於負載鎖定室212之第一側的一軸的運動（即，工廠介面210經配置以自負載鎖定室212之第一側滑開）。在其他或類似的實施例中，直線滑軌經定位在工廠介面的一側上（例如面向負載鎖定室212的一側），並允許工廠介面210的垂直滑動。在一些實施例中，直線滑軌222經設置於工廠介面210的底部處使得工廠介面僅能在單一方向中移動，如第 2A 圖 中所例示。
如前述，能配置一或更多個公用設施線路以提供公用設施至工廠介面210。該些公用設施線路能包括電力公用設施線路、空氣公用設施線路、真空公用設施線路、或氮公用設施線路。在一些實施例中，能配置公用設施纜線228（或多個公用設施纜線）以保護一或更多個公用設施線路。公用設施纜線228的一第一端230能經安裝至公用設施供應的一出口。在一些實施例中，該公用設施供應的出口經連接至電子裝置製造系統200的地板。如此，公用設施纜線228的第一端230於地板中的一固定位置處經連接至工廠介面210底下的地板。公用設施纜線的一第二端232能經連接至工廠介面210的一入口。在一些實施例中，該入口位於工廠介面210的底部處。如此，公用設施纜線228的第一端232經安裝至工廠介面210的底部。
在一些實施例中，公用設施纜線228夠長，以允許隨著工廠介面210在第一與第二位置之間移動時公用設施纜線228的第一端230連接至公用設施供應的出口（其可能在地板中）而公用設施纜線228的第二端232經連接至工廠介面210的入口。例如，當工廠介面210從第一位置移動到第二位置時工廠介面210能移動大約24英吋到大約60英吋之間。在此種範例中，公用設施纜線228能足夠長以允許工廠介面210被移動大約24英吋到大約60英吋，同時允許公用設施纜線228的第一端230安裝至公用設施供應的出口且公用設施纜線228的第二端232經安裝至工廠介面210的入口。
公用設施供應能位於工廠介面的第一側，而工廠介面210的入口能位於工廠介面的第二側。當工廠介面移動時，該入口移動而該公用設施供應留在原地。因此，公用設施供應與入口之間的距離隨著工廠介面之位置的變化而改變。公用設施纜線228的長度能至少為在該入口及該公用設施供應之間的最大距離（例如當該工廠介面位在第二位置時達到的距離）。在一些實施例中，公用設施纜線228經安裝至工廠介面210的底部及公用設施供應，使得當該工廠介面在第一位置中時公用設施纜線228形成一u形，如第 2A 圖 中所示。在工廠介面在第一位置中的同時，公用設施纜線228能於公用設施纜線228的大約中間處有一彎折。隨工廠介面210在第一位置與第二位置之間移動，公用設施纜線228能改變形狀使得公用設施纜線具有彎折的部分改變。如第 2A 圖 中所例示，公用設施纜線能沿著工廠介面210之底部的一固定點234定位，以創造圍繞固定點234的一半圓形。隨著工廠介面210從該第一位置被移動到該第二位置，公用設施纜線228的一或更多個部分能維持圍繞固定點234的該半圓形，如第 2B 圖 中所圖示。例如，當該工廠介面腔室是在第二位置中時，該彎折不再位於公用設施纜線228的中央，而替代地能接近公用設施纜線228的一端（例如致使公用設施纜線228具有一j形）。
在操作期間，工廠介面210能經定向在第一位置中，如第 2A 圖 中所圖示。電子裝置製造系統200能包括一或更多個鎖定機構，像是鎖定機構236a及/或鎖定機構236b。一或更多個鎖定機構236a、236b能經配置以在電子裝置製造系統200之操作期間將工廠介面210固定在第一位置中，或在工廠介面210、負載鎖定室212、傳送腔室214或一或更多個處理腔室216之維護期間將工廠介面210固定在第二位置中。
工廠介面210能包括第一鎖定機構236a的一或更多個部分，在電子裝置製造系統200之操作期間該第一鎖定機構將工廠介面210固定在第一位置中。在一些實施例中，鎖定機構236a包括一第一部分238a及一第二部分236。鎖定機構236a的第一部分238a能經安裝至工廠介面210。鎖定機構236a的第二部分236能經安裝至負載鎖定室212。鎖定機構236a的第一部分238a能經配置以與鎖定機構236a的第二部分236接合。當第一部分238a與鎖定機構236a的第二部分236接合時，能將工廠介面210固定在第一位置中。在一例示性範例中，鎖定機構236a的第一部分能包括一第一板而鎖定機構236a的第二部分能包括一第二板。在電子裝置製造系統200的操作期間，能通過鎖定機構236a之第一板及第二板的一孔洞饋入一緊固組件（像是螺桿）以為了將工廠介面210固定在第一位置中。
工廠介面210能包括至少一第二鎖定機構（像是鎖定機構236b）的一或更多個部分。在一些實施例中，鎖定機構236b能為與鎖定機構236a相同類型的鎖定機構。在其他或類似的實施例中，鎖定機構236a的一或更多個部分能經配置以與鎖定機構236b的一或更多個部分接合。在電子裝置製造系統200之操作期間鎖定機構232b能與鎖定機構236a一起被使用以固定工廠介面210在第一位置中。在一些實施例中，鎖定機構236b也能經使用來在電子裝置製造系統200之操作期間固定工廠介面210在第二位置中，如針對第 2B 圖 進一步說明。
第 2B 圖 是按照本揭示案的態樣之電子裝置製造系統200的俯視示意圖，該電子裝置製造系統包括經定向於第二位置處的工廠介面210。在一些實例中，工廠操作者針對工廠介面210、負載鎖定室212、傳送腔室214、及/或一或更多個處理腔室216提供維護。在此類實例中，工廠介面210從第一位置被移動至第二位置以提供對工廠介面210、負載鎖定室212、傳送腔室214及/或處理腔室216的維護通路。為從該第一位置移動工廠介面210到該第二位置，操作者能致使至少鎖定機構236a的第一部分238a從鎖定機構236b的第二部分240a解除接合。在一些實施例中，操作者也致使至少鎖定機構236b的第一部分238a從鎖定機構236b的第二部分240b解除接合。
在一些實施例中，鎖定機構236b也能被用以在工廠介面210、負載鎖定室212、傳送腔室214、及/或一或更多個處理腔室216的維護期間將工廠介面210固定在第二位置中。在此類實施例中，當工廠介面210被移動至第二位置時鎖定機構236a的第一部分238a與鎖定機構236b的第二部分240b接合。按照先前的例示性範例，鎖定機構236b的第一部分238b能包括一第一板而鎖定機構236b的第二部分240b能包括一第二板。當工廠介面210從第一位置被移動到第二位置，鎖定機構236a的第一板對齊鎖定機構236b的第二板。為了將工廠介面210固定在第二位置中能將緊固組件通過鎖定機構236b之第一板的洞與鎖定機構236b之第二板的洞饋入。
在一些實施例中，當工廠介面210從第一位置被移動到第二位置時，工廠介面210被移動大約24英吋到大約60英吋之間。在其他或類似的實施例中，當工廠介面210從第一位置被移動到第二位置時，工廠介面210被移動大約24英吋到大約36英吋之間。在一些實施例中，一旦鎖定機構236b被解除接合或解除鎖定，工廠介面210能從第一位置被手動移動到第二位置。在一些實施例中，能利用替代馬達之功能性的一組件（例如手搖把、及其他）來手動地移動工廠介面210。替代地，工廠介面210能包括一馬達或其他移動組合件（例如旋轉馬達及滾珠螺桿、氣壓缸、皮帶輪系統、及其他），其自動地將工廠介面210從第一位置移動到第二位置。
如前述，公用設施纜線228的第一端230能經安裝至公用設施供應的出口（例如經連接至電子裝置製造系統200的地板）。公用設施纜線的第二端232能經安裝至工廠介面210的入口。如前述，公用設施纜線228能足夠長以在工廠介面210在第一與第二位置之間移動（例如大約24英吋至60英吋）時允許公用設施纜線228的第一端230經緊固至公用設施供應的出口且公用設施纜線228的第二端232經安裝至工廠介面210的入口。部分的公用設施纜線228能沿著位於工廠介面210之底部的固定點234旋轉以隨著工廠介面210從第一位置被移動到第二位置而保持沿固定點234的半圓形。
在完成對工廠介面210、負載鎖定室212、傳送腔室214或一或更多個處理腔室216的維護之後，操作者或工廠介面210的自動機構能馬上將工廠介面210從第二位置移動到第一位置。操作者能致使鎖定機構236a的第一部分238a與鎖定機構236b的第二部分240b重新接合，以為了將工廠介面210固定在第一位置中。替代地，鎖定機構236a的第一部分238a能自動地與鎖定機構236b的第二部分重新接合。在一些實施例中，當工廠介面210從第二位置被移動到第一位置時，鎖定機構236a的第一部分238a能與鎖定機構236a的第二部分236接合，使得工廠介面210經緊固在如工廠介面210從第一位置被移動到第二位置之前大概相同的方位。在此實施例中，在開始於工廠介面210與負載鎖定室212之間傳送一或更多個基板之前工廠介面210的組件（像是工廠介面機器人）不需要經再校準。
第 2B 圖 顯示工廠介面210以在第一方向中移動以將工廠介面從第一位置傳送到第二位置。替代地，工廠介面210能經配置以致能工廠介面210在與第一方向相反的第二方向移動，以將工廠介面210從第一位置傳送到第二位置。
在一些實施例（未圖示）中該一或更多個可移動的組件能包括經設置於工廠介面210之第一側的一垂直滑軌。在一些實施例中，工廠介面210的第一側能包括工廠介面210介接於負載鎖定室212的該側。該垂直滑軌能包括至少一恆定組件及一滑動組件。該滑動組件能經安裝至工廠介面210的第一側。該恆定組件能經安裝至負載鎖定室212的第一側，像是負載鎖定室212介接於工廠介面210之第一側的該側。能從電子裝置製造系統200的地面將工廠介面210升起。隨工廠介面210從電子裝置製造系統200的地面被升起，工廠介面210的滑動組件能沿負載鎖定室212的恆定組件移動，以促進工廠介面210沿著負載鎖定室212的移動。在一些實施例中，能從電子裝置製造系統的地面將工廠介面210升起大約24英吋到大約60英吋。
第 3A 圖 是按照本揭示案的態樣之電子裝置製造系統300的另一俯視示意圖，電子裝置製造系統300包括經定向於第一位置的工廠介面310。工廠介面310能為電子裝置製造系統300的一工廠介面，像是電子裝置製造系統100的工廠介面106。電子裝置製造系統300能包括至少一負載鎖定室312、一傳送腔室314、及一或更多個處理腔室316。傳送腔室314能包括一傳送腔室機器人318，其能經配置以傳送基板至負載鎖定室312及/或從負載鎖定室312傳送基板至處理腔室316，按照先前所述的實施例。工廠介面310能經配置以從基板載體220接收基板，按照先前所述的實施例。
工廠介面310能包括一或更多個可移動的組件，其致使工廠介面310可在第一位置與第二位置之間及/或在第一位置與第三位置之間移動。在一些實施例中，該一或更多個可移動的組件能包括一直線滑軌322，其經設置於工廠介面310的底部處。在一些實施例中，直線滑軌322能與針對第 2A ～ 2B 圖 所說明之直線滑軌222相同或類似。在一些實施例中，直線滑軌322能經設置於工廠介面310的底部，使得工廠介面310能在多個方向中移動（例如在第一位置與第二位置之間及在第一位置與第三位置之間），如第 3A 圖 中所示。
能配置一或更多個公用設施線路以提供公用設施至工廠介面310。按照先前所述的實施例，一公用設施纜線328能經配置以保護該一或更多個公用設施線路。電子裝置製造系統300能包括一或更多個鎖定機構，像是鎖定機構336a及/或鎖定機構336b。按照先前所述的實施例，一或更多個鎖定機構336a、336b能經配置以在電子裝置製造系統300之操作期間將工廠介面310固定在第一位置中，或在工廠介面310、負載鎖定室312、傳送腔室314或一或更多個處理腔室316之維護期間將工廠介面310固定在第二位置中。
第 3B 圖 是按照本揭示案的態樣之電子裝置製造系統300的另一俯視示意圖，該電子裝置製造系統300包括經定向於第二位置處的工廠介面310。在一些實例中，工廠操作者針對工廠介面310、負載鎖定室312、傳送腔室314、及/或一或更多個處理腔室316提供維護。在此類實例中，工廠介面310能從第一位置被移動至第二位置以提供對工廠介面310、負載鎖定室312、傳送腔室314及/或處理腔室316的維護通路。為從第一位置移動工廠介面310到第二位置，鎖定機構336a之第一部分338a能從鎖定機構336a的第二部分340a解除接合。在一些實施例中，鎖定機構336b之第一部分338b從鎖定機構336b的第二部分340b解除接合。在一些實施例中，鎖定機構336b也能被用以在工廠介面310、負載鎖定室312、傳送腔室314、及/或一或更多個處理腔室316的維護期間將工廠介面310固定在第二位置中。在此類實施例中，當工廠介面310在第二位置中時鎖定機構336a的第一部分338a能與鎖定機構336b的第二部分340b接合。
在一些實施例中，當工廠介面310從第一位置被移動到第二位置時，工廠介面310被移動大約24英吋到大約60英吋之間。在其他或類似的實施例中，當工廠介面310從第一位置被移動到第二位置時，工廠介面310被移動大約24英吋到大約36英吋之間。
如前述，公用設施纜線328的第一端330能經安裝至公用設施供應的出口（例如經連接至電子裝置製造系統300的地板）。公用設施纜線的第二端332能經安裝至工廠介面310的入口。如前述，公用設施纜線328能足夠長以在工廠介面310在第一與第二位置之間移動（例如大約24英吋至60英吋）時允許公用設施纜線328的第一端330經緊固至公用設施供應的出口且公用設施纜線328的第二端332經安裝至工廠介面310的入口。部分的公用設施纜線328能沿著位於工廠介面310之底部的固定點旋轉以隨著工廠介面310從第一位置被移動到第二位置而保持沿該固定點的半圓形。
第 3C 圖 是按照本揭示案的態樣之電子裝置製造系統300的俯視示意圖，該電子裝置製造系統包括經定向於第三位置的工廠介面310。在一些實例中，工廠操作者能致使工廠介面310從第一位置被移動到第三位置以為了提供針對工廠介面310、負載鎖定室312、傳送腔室314、及/或一或更多個處理腔室316的維護。為從第一位置移動工廠介面310到第二位置，操作者能致使鎖定機構336a的第一部分338a從鎖定機構336a的第二部分340a解除接合。 在一些實施例中，操作者也致使鎖定機構336b的第一部分338b從鎖定機構336b的第二部分340b解除接合。在一些實施例中，鎖定機構336a也能被用以在工廠介面310、負載鎖定室312、傳送腔室314、及/或一或更多個處理腔室316的維護期間將工廠介面310固定在第二位置中。在此類實施例中，當工廠介面310在第二位置中時鎖定機構336b的第一部分338b與鎖定機構336a的第二部分340a接合。按照先前的例示性範例，當工廠介面310從第一位置被移動到第三位置，鎖定機構336b的第一板能對齊鎖定機構336a的第二板。為了將工廠介面310固定在第三位置中，能將緊固組件（例如螺桿）通過鎖定機構336b之第一板的洞與鎖定機構336a之第二板的洞饋入。
在一些實施例中，當工廠介面310從第一位置被移動到第三位置時，工廠介面310被移動大約24英吋到大約60英吋之間。在其他或類似的實施例中，當工廠介面310從第一位置被移動到第三位置時，工廠介面310被移動大約24英吋到大約36英吋之間。
如前述，一公用設施纜線328的第一端330能經安裝至公用設施供應的出口（例如經連接至電子裝置製造系統300的地板）。公用設施纜線的第二端332能經安裝至工廠介面310的入口。部分的公用設施纜線326能沿著位於工廠介面310之底部的固定點334旋轉以隨著工廠介面310從第一位置被移動到第三位置而保持沿固定點334的半圓形。
第 4A 圖 是按照本揭示案的態樣之電子裝置製造系統400的另一俯視示意圖，該電子裝置製造系統400包括經定向於第一位置的工廠介面410。工廠介面410能為電子裝置製造系統400的一工廠介面，像是電子裝置製造系統100的工廠介面106。電子裝置製造系統400能包括至少一負載鎖定室412、一傳送腔室414、及一或更多個處理腔室416。傳送腔室414能包括一傳送腔室機器人418，其能經配置以傳送基板至負載鎖定室412及/或從負載鎖定室412傳送基板至處理腔室416，按照先前所述的實施例。
工廠介面410能包括一或更多個可移動的組件，其致使工廠介面410可在第一位置與第二位置之間移動。在一些實施例中，該一或更多個可移動的組件能包括經安裝至工廠介面410的底部的一或更多個輪子422及一鉸鏈424。在一些實施例中，該一或更多個可移動的組件包括經安裝至工廠介面410及負載鎖定室412的一鉸鏈424。鉸鏈424能將工廠介面410之第一側固定就位，同時輪子422允許工廠介面410的第二側從負載鎖定室412移開，如針對第 4B 圖 所例示。替代地，該工廠介面能包括輪子但省略鉸鏈，或者能包括鉸鏈但省略輪子。
按照先前所述的實施例，能配置一或更多個公用設施線路以提供公用設施至工廠介面410。能配置公用設施纜線426以保護一或更多個公用設施線路。按照先前所述的實施例，公用設施纜線426的第一端428能經安裝至公用設施供應的出口。在一些實施例中，公用設施纜線426的第一端428能進一步包括一旋轉組件，其促進隨著工廠介面410從第一位置移動到第二位置時公用設施纜線426的旋轉。按照先前所述的實施例，公用設施纜線426的第二端430能經安裝至工廠介面410的入口。
電子裝置製造系統400能包括鎖定機構432以在電子裝置製造系統400的操作期間將工廠介面410固定在第一位置中。鎖定機構432能按照先前所述的實施例操作。按照先前所述的實施例，為從第一位置將工廠介面410移動到第二位置，操作者能致使鎖定機構432的第一部分434從鎖定機構432的第二部分436解除接合。
第 4B 圖 是按照本揭示案的態樣的電子裝置製造系統400的另一俯視示意圖，該電子裝置製造系統400包括經定向於第二位置的工廠介面410。如先前所述，操作者能藉由致使鎖定機構432的第一部分434從鎖定機構432的第二部分436解除接合，來將工廠介面410從第一位置移動到第二位置。鉸鏈424能將工廠介面410之第一側固定就位，同時輪子422能允許工廠介面410的第二側從負載鎖定室412移開。隨著工廠介面410從第一位置移動到第二位置，公用設施纜線426的第一端428能維持被安裝至公用設施供應的出口，同時公用設施纜線426的第二端430維持經安裝至工廠介面410的入口。
在一些實施例中，鉸鏈424及輪子422能允許工廠介面410之第二側離開負載鎖定室412旋轉大約10o 到大約50o 之間。在其他或類似的實施例中，鉸鏈424及輪子422能允許工廠介面410之第二側離開負載鎖定室412旋轉大約20o 到大約30o 之間。工廠介面410之第二側遠離負載鎖定室412的旋轉能創造工廠介面410與負載鎖定室412之間的一開口，該開口在大約24英吋至大約60英吋之間。在一些實施例中，工廠介面410之第二側遠離負載鎖定室412的旋轉能創造工廠介面410與負載鎖定室412之間的大約24英吋至大約36英吋之間的開口。
第 5 圖 是按照本揭示案的實施例的用於發送通知至電子裝置製造系統之一或更多個組件的方法，指示出是否一工廠介面可用於一或更多個基板在該工廠介面與該電子裝置製造系統之負載鎖定室之間的傳送。於方塊510，系統控制器偵測工廠介面已從第一位置移動至第二位置。回應於該工廠介面之一鎖定機構的第一部分從該電子裝置製造系統之負載鎖定室的第二部分解除接合，能接收到第一指示。於方塊520，決定該工廠介面無法用於一或更多個基板在該工廠介面與負載鎖定室之間的傳送。於方塊530，發送有關該工廠介面無法用於一或更多個基板的傳送的第一通知至下列至少一者：該工廠介面、該負載鎖定室、傳送腔室、或一或更多個處理腔室。於方塊540，系統控制器偵測該工廠介面已從第二位置移動到第一位置。於方塊550，決定該工廠介面可用於一或更多個基板在該工廠介面與該負載鎖定室之間的傳送。於方塊560，發送有關該工廠介面可用於一或更多個基板的傳送的第二通知至下列至少一者：該工廠介面、該負載鎖定室、該傳送腔室、或一或更多個處理腔室。
第 6 圖 是按照本揭示案的實施例用於將一工廠介面從生產模式改變至維護模式的方法600。在一些實施例中，方法600乃藉由電子裝置製造系統的控制器（像是第1圖的系統控制器128）進行。於方塊610，系統控制器接收要將一工廠介面從生產模式改變至維護模式的第一請求。該工廠介面能在生產模式的同時經定位在第一位置中，按照先前所述的實施例。於方塊620，該系統控制器可選地致使第一鎖定機構的第一部分從該第一鎖定機構的第二部分解除接合。在一些實施例中，該系統控制器可選地致使第二鎖定機構的第一部分從該第二鎖定機構的第二部分解除接合。在一些實施例中，該第一鎖定機構及/或該第二鎖定機構是自動化鎖定機構，其能由該系統控制器接合及解除接合。
於方塊630，該系統控制器致使該工廠介面從第一位置移動至第二位置。該工廠介面能在維護模式的同時經定位在第一位置中，按照先前所述的實施例。在一些實施例中，按照先前所述的實施例，該系統控制器利用一或更多個自動的可移動組件來致使該工廠介面從第一位置移動到第二位置。於方塊640，系統控制器可選地致使第一鎖定機構的第一部分與第二鎖定機構的第二部分接合。第一鎖定機構的第一部分能經配置以與該鎖定機構的第二部分接合以將該工廠介面固定在第二位置中。
於方塊650，該系統控制器接收要將該工廠介面從維護模式移動至生產模式的第二請求。於方塊660，該系統控制器決定將該工廠介面從第二位置移動到第一位置是安全的。在一些實施例中，該電子裝置製造系統的感測器能發送信號至該系統控制器，指示出將該工廠介面從第二位置移動到第一位置是安全的（例如沒有障礙物阻擋該工廠介面從第二位置移動到第一位置的路徑）。
於方塊670，系統控制器可選地致使第一鎖定機構從第二鎖定機構的第二部分解除接合。於方塊680，系統控制器致使該工廠介面從第二位置移動到第一位置。於方塊690，系統控制器可選地致使第一鎖定機構的第一部分與第一鎖定機構的第二部分重新接合。
第 7 圖 是按照本揭示案的實施例用於將電子裝置製造系統的工廠介面在第一與第二位置之間移動的方法700。在一些實施例中，方法700係由該電子裝置製造系統的該工廠介面進行。在其他或類似的實施例中，方法700係由該電子裝置製造系統的操作者進行。
於可選的方塊710，將第一鎖定機構的第一部分從該第一鎖定機構的第二部分解除接合。於方塊720，將該工廠介面從第一位置移動到第二位置。於可選的方塊730，將第一鎖定機構的第一部分與第二鎖定機構的第二部分接合。於可選的方塊740，於該電子裝置製造系統的一或更多個處理腔室、傳送腔室、及/或負載鎖定室進行維護。於可選的方塊750，第一鎖定機構的第一部分從第二鎖定機構的第二部分解除接合。於方塊760，該工廠介面從第一位置被移動到第二位置。於可選的方塊770，第一鎖定機構的第一部分與第一鎖定機構的第二部分重新接合。
以上說明闡述了數個特定細節，像是特定系統、組件、方法、及其他的範例，以為了提供對本揭示案之數個實施例的良好理解。然而，本領域之通常知識者將顯見可在沒有這些特定細節之下實施本揭示案的至少一些實施例。在其他情況中，為了避免不必要地模糊了本揭示案，熟知的組件或方法未經詳細說明或以簡單的方塊圖格式來呈現。因此，所闡述的特定細節僅為例示。特定實施方式可能異於這些例示性細節，而仍能設想為在本揭示案之範疇內。
本說明書之整體中對於「一個實施例」或「一實施例」的指稱代表相關於該實施例所說明的一特定特徵、結構、或特性被包括在至少一個實施例中。因此，在整份說明書中不同地方出現的語句「在一個實施例中」或「在一實施例中」不一定全部指稱同一實施例。此外，用語「或」本意為代表包含性的（inclusive）「或」而非排他性的（exclusive）「或」。當本文中使用用語「大約」或「趨近」時，其本意為代表所呈現的標稱值精確到±10%的範圍內。
儘管本文中的方法的操作經以特定順序顯示及說明，各方法的操作順序可被變更以使特定操作可以相反順序進行，特定操作可（至少部分地）與其他操作同步地進行。在另一實施例中，相異操作的指令或子操作可為間歇的及/或交替的方式。
將理解，以上說明本意為例示性的而非設限。本領域之通常知識者在閱讀及理解以上說明之後將顯見許多其他實施例。本揭示案的範疇因此應當參照隨附請求項、連同這些請求項所請之完整等效範疇而決定。
100:電子裝置製造系統 102:基板 104:製程工具 106:工廠介面 108:外殼 110:傳送腔室 112:傳送腔室機器人 114,116,118:處理腔室/製程腔室 120:負載鎖定室 122:基板載體 124:載入通口 126:工廠介面機器人 128:系統控制器 130a:第一真空通口 130b:第二真空通口 200:電子裝置製造系統 210:工廠介面 212:負載鎖定室 214:傳送腔室 216:處理腔室 218:傳送腔室機器人 220:基板載體 222:直線滑軌 224:恆定組件 226:滑動組件 228:公用設施纜線 230:第一端 232:第二端 234:固定點 236a:鎖定機構 236b:鎖定機構的部分 238a:鎖定機構的部分 238b:鎖定機構的部分 240a:鎖定機構的部分 240b:鎖定機構的部分 300:電子裝置製造系統 310:工廠介面 312:負載鎖定室 314:傳送腔室 316:處理腔室 318:傳送腔室機器人 320:基板載體 322:直線滑軌 328:公用設施纜線 330:第一端 332:第二端 334:固定點 336a:鎖定機構 336b:鎖定機構 338a:鎖定機構的部分 338b:鎖定機構的部分 340a:鎖定機構的部分 340b:鎖定機構的部分 400:電子裝置製造系統 410:工廠介面 412:負載鎖定室 414:傳送腔室 416:處理腔室 418:傳送腔室機器人 422:輪子 424:鉸鏈 426:公用設施纜線 428:第一端 430:第二端 432:鎖定機構 434:鎖定機構的部分 436:鎖定機構的部分 500:方法 510,520,530,540,550,560:方塊 600:方法 610,620,630,640,650,660,670,680,690:方塊 700:方法 710,720,730,740,750,760,770:方塊
在隨附圖式的圖中作為範例（而非限制）例示了本揭示案，在圖中相似的參考元件符號表示類似的元件。應注意，本揭示案中對「一」或「一個」實施例的不同參照不必然指同一實施例，且此類參照代表至少一個。
第 1 圖 是按照本揭示案的態樣的範例電子裝置製造系統的俯視示意圖。
第 2A 圖 是按照本揭示案的態樣的電子裝置製造系統的俯視示意圖，該電子裝置製造系統包括經定向於第一位置處的工廠介面。
第 2B 圖 是按照本揭示案的態樣的電子裝置製造系統的俯視示意圖，該電子裝置製造系統包括經定向於第二位置處的工廠介面。
第 3A 圖 是按照本揭示案的態樣的電子裝置製造系統的另一俯視示意圖，該電子裝置製造系統包括經定向於第一位置處的工廠介面。
第 3B 圖 是按照本揭示案的態樣的電子裝置製造系統的另一俯視示意圖，該電子裝置製造系統包括經定向於第二位置處的工廠介面。
第 3C 圖 是按照本揭示案的態樣的電子裝置製造系統的俯視示意圖，該電子裝置製造系統包括經定向於第三位置處的工廠介面。
第 4A 圖 是按照本揭示案的態樣的電子裝置製造系統的另一俯視示意圖，該電子裝置製造系統包括經定向於第一位置處的工廠介面。
第 4B 圖 是按照本揭示案的態樣的電子裝置製造系統的另一俯視示意圖，該電子裝置製造系統包括經定向於第二位置處的工廠介面。
第 5 圖 是按照本揭示案的實施例的用於發送通知至電子裝置製造系統之一或更多個組件的方法。
第 6 圖 是按照本揭示案的實施例的用於將工廠介面從生產模式改變至維護模式的方法。
第 7 圖 是按照本揭示案的實施例的用於在第一及第二位置之間移動工廠介面的方法。
200:電子裝置製造系統
210:工廠介面
212:負載鎖定室
214:傳送腔室
216:處理腔室
218:傳送腔室機器人
220:基板載體
222:直線滑軌
224:恆定組件
226:滑動組件
228:公用設施纜線
230:第一端
232:第二端
234:固定點
238a:鎖定機構的部分
238b:鎖定機構的部分
240a:鎖定機構的部分
240b:鎖定機構的部分

Claims (20)

  1. 一種電子裝置製造系統，包含： 一傳送腔室； 複數個處理腔室，該複數個處理腔室經連接至該傳送腔室； 一負載鎖定室，該負載鎖定室連接至該傳送腔室；及 一工廠介面，該工廠介面經連接至該負載鎖定室，其中該工廠介面可在一第一位置及一第二位置之間移動，其中： 當該工廠介面經定向在該第一位置中的同時，該工廠介面經定位以用於一或更多個基板在該工廠介面與該負載鎖定室之間的傳送，其中當該工廠介面經定向於該第一位置的同時該傳送腔室或該負載鎖定室中的至少一個是無法接取以供維護的； 當該工廠介面經定向在該第二位置中的同時，該工廠介面經定位以提供對該傳送腔室或該負載鎖定室中的至少一個的維護通路；及 該工廠介面包含致使該工廠介面可在該第一位置及該第二位置之間移動的一或更多個可移動的組件。
  2. 如請求項1之電子裝置製造系統，其中該第一位置是相對於該負載鎖定室的第一個位置，及其中該第二位置是相對於該負載鎖定室的第二個位置。
  3. 如請求項1之電子裝置製造系統，其中該一或更多個可移動的組件包含一鉸鏈、一滑軌、或一組輪子中的至少一者。
  4. 如請求項1之電子裝置製造系統，其中該工廠介面包含一直線滑軌，其經設置於該工廠介面的一底部。
  5. 如請求項4之電子裝置製造系統，其中該負載鎖定室包含一第一側，該第一側介接於該工廠介面，及其中該直線滑軌允許該工廠介面沿以下至少一者的運動：大致平行於該負載鎖定室之該第一側的一第一軸，或大致垂直於該負載鎖定室之該第一側的一第二軸。
  6. 如請求項1之電子裝置製造系統，其中該工廠介面進一步包含經配置以保護一或更多個公用設施線路的一或更多個公用設施纜線，該一或更多個公用設施線路在該電子裝置製造系統的操作期間提供公用設施至該工廠介面； 該一或更多個公用設施纜線的一第一端經安裝至一公用設施供應的一出口，該公用設施供應具有一固定位置，其不在該工廠介面的該第一位置與該工廠介面的該第二位置之間改變；及 該一或更多個公用設施纜線的一第二端經安裝至該工廠介面的一入口。
  7. 如請求項6之電子裝置製造系統，其中該一或更多個公用設施線路包含以下之至少一者：經配置以提供電力至該工廠介面的一電力公用設施線路、經配置以提供空氣至該工廠介面的一空氣公用設施線路、經配置以提供真空至該工廠介面的一真空公用設施線路、或經配置以提供氮至該工廠介面的一氮公用設施線路。
  8. 如請求項1之電子裝置製造系統，其中該工廠介面包含一鎖定機構的一第一部分而該負載鎖定室包含該鎖定機構的一第二部分，及其中該鎖定機構的該第一部分經配置以與該鎖定機構的該第二部分接合，以在該電子裝置製造系統的操作期間將該工廠介面固定在該第一位置中。
  9. 如請求項1之電子裝置製造系統，其中當該工廠介面從該第一位置及該第二位置移動時，該工廠介面經移動大約24到大約60英吋。
  10. 一種一電子裝置製造系統的工廠介面，包含： 該工廠介面之一第一側上的至少一通口，其經配置以介接於一基板載體； 該工廠介面之一第二側上的至少一通口，其經配置以介接於一負載鎖定室； 一機器臂，該機器臂經配置以在該基板載體及該負載鎖定室之間傳送基板；及 一或更多個可移動的組件，其致使該工廠介面可在一第一位置及一第二位置之間移動，其中： 當該工廠介面經定向在該第一位置中的同時，該工廠介面經定位以用於一或更多個基板在該基板載體與該負載鎖定室之間的傳送，當該工廠介面經定向於該第一位置的同時該負載鎖定室或經連接至該負載鎖定室的一傳送腔室中的至少一個是無法接取以供維護的；及 當該工廠介面經定向在該第二位置中的同時，該工廠介面經定位以提供對該傳送腔室或該負載鎖定室中的至少一個的維護通路。
  11. 如請求項10之工廠介面，其中該第一位置是相對於該負載鎖定室的第一個位置，及其中該第二位置是相對於該負載鎖定室的第二個位置。
  12. 如請求項10之工廠介面，其中該一或更多個可移動的組件包含一鉸鏈、一滑軌、或一組輪子中的至少一者。
  13. 如請求項10之工廠介面，其中該工廠介面包含一直線滑軌，其經設置於該工廠介面的一底部。
  14. 如請求項13之工廠介面，其中該負載鎖定室包含一第一側，該第一側介接於該工廠介面，及其中該直線滑軌允許該工廠介面沿以下至少一者的運動：大致平行於該負載鎖定室之該第一側的一第一軸，或大致垂直於該負載鎖定室之該第一側的一第二軸。
  15. 如請求項10之工廠介面，其中該工廠介面進一步包含經配置以保護一或更多個公用設施線路的一或更多個公用設施纜線，該一或更多個公用設施線路在該電子裝置製造系統的操作期間提供公用設施至該工廠介面； 該一或更多個公用設施纜線的一第一端經安裝至一公用設施供應的一出口，該公用設施供應具有一固定位置，其不在該工廠介面的該第一位置與該工廠介面的該第二位置之間改變；及 該一或更多個公用設施纜線的一第二端經安裝至該工廠介面的一入口。
  16. 如請求項15之工廠介面，其中該一或更多個公用設施線路包含一電力公用設施線路、一空氣公用設施線路、一真空公用設施線路、或一氮公用設施線路中之至少一者，該電力公用設施線路經配置以提供電力至該工廠介面，該空氣公用設施線路經配置以提供空氣至該工廠介面，該真空公用設施線路經配置以提供真空至該工廠介面，該氮公用設施線路經配置以提供氮至該工廠介面。
  17. 如請求項10之工廠介面，其中該工廠介面包含一鎖定機構的一第一部分而該負載鎖定室包含該鎖定機構的一第二部分，及其中該鎖定機構的該第一部分經配置以與該鎖定機構的該第二部分接合，以在該電子裝置製造系統的操作期間將該工廠介面固定在該第一位置中。
  18. 如請求項10之工廠介面，其中當該工廠介面從該第一位置及該第二位置移動時，該工廠介面經移動大約24到大約60英吋。
  19. 一種方法，包含下列步驟： 偵測一電子裝置製造系統的一工廠介面已從一第一位置移動至一第二位置，其中當該工廠介面經定向在該第二位置中的同時，該工廠介面經定位以提供往該電子裝置製造系統之一傳送腔室或該電子裝置製造系統之一負載鎖定室中的至少一者的維護通路； 回應於偵測到該工廠介面已從該第一位置移動到該第二位置，決定該工廠介面無法用於一或更多個基板在該工廠介面與該電子裝置製造系統之一負載鎖定室之間的傳送；及 發送有關該工廠介面無法用於一或更多個基板在該工廠介面與該負載鎖定室之間的傳送的一第一通知至下列至少一者：該工廠介面、該負載鎖定室、該傳送腔室、或經連接至該電子裝置製造系統之該傳送腔室的複數個處理腔室中之一或更多個處理腔室。
  20. 如請求項19之方法，進一步包含下列步驟： 偵測該工廠介面已從該第二位置移動到該第一位置，當該工廠介面經定向在該第一位置中的同時，該工廠介面經定位以用於一或更多個基板在該工廠介面與該負載鎖定室之間的傳送，其中當該工廠介面經定向於該第一位置的同時該傳送腔室或該負載鎖定室中的至少一個是無法接取以供維護的； 回應於偵測到該工廠介面已從該第二位置移動到該第一位置，決定該工廠介面可用於一或更多個基板在該工廠介面與該負載鎖定室之間的傳送；及 發送有關該工廠介面可用於一或更多個基板在該工廠介面與該負載鎖定室之間的傳送的一第二通知至下列至少一者：該工廠介面、該負載鎖定室、該傳送腔室、或該複數個處理腔室中之一或更多個處理腔室。
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