JP2022546679A - 交換部品収納コンテナのマッピング - Google Patents
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Abstract
Description
するように適合することができる。同じ又は異なる基板処理を、各々の処理チャンバ114、116、118で実行することができる。基板処理は、原子層堆積(ALD)、物理気相堆積(PVD)、化学気相堆積(CVD)、エッチング、アニーリング、硬化、プリクリーニング、金属又は金属酸化物の除去等を含むことができる。一例では、PVDプロセスを処理チャンバ114の一方又は両方で実行してもよく、エッチングプロセスを処理チャンバ116の一方又は両方で実行してもよく、アニールプロセスを処理チャンバ118の一方又は両方で実行することができる。また、内部の基板に他の処理を実行することもできる。処理チャンバ114、116、118は、各々、基板支持アセンブリを含むことができる。基板支持アセンブリは、基板処理が実行される間、基板を所定の位置に保持するように構成することができる。
Claims (20)
- 電子機器処理システムのファクトリインターフェースのロードポートで、電子機器処理システムの処理チャンバの交換部品を収納するように構成されたコンテナを受領する工程と、
第1のマッピングパターンによりロボットアームを移動し、ロボットアームのエンドエフェクタの遠位端にある検出システムを用いて、コンテナ内の1つ以上の交換部品の位置を識別する工程であって、検出システムは、出射コンポーネントとセンシングコンポーネントを備え、検出システムは、出射コンポーネントからセンシングコンポーネントに配向されたビームが物体によって遮断されたことに応答して、物体を検出する工程と、
交換部品を含まないコンテナの領域を決定する工程と、
第2のマッピングパターンによりロボットアームを移動し、コンテナの交換部品を含まない領域内で、エンドエフェクタの遠位端にある検出システムを用いて、コンテナ内でのウエハ又は交換部品用の空のキャリアの少なくとも一方の位置を認識する工程と、
コンテナ内の1つ以上の交換部品の位置と、空のキャリア又はウエハの少なくとも一方の位置のマッピングを記憶媒体に記録する工程を含む方法。 - 1つ以上の交換部品がプロセスキットリングを含む、請求項1に記載の方法。
- 第1のマッピングパターンによりロボットアームを移動することは、
検出システムをコンテナの一部から第1の水平距離に配置する工程と、
検出システムがコンテナの一部から第1の水平距離に配置されている間に、検出システムを第1の高さから第2の高さに移動し、コンテナ内の1つ以上の交換部品を識別する工程と、
1つ以上の交換部品が、コンテナの一部から第1の水平距離まで延在しているかを決定する工程と、
1つ以上の交換部品がコンテナから第1の水平距離まで延在していないと決定したことに応答して、検出システムをコンテナの一部から第2の水平距離に配置する工程であって、第2の水平距離は第1の水平距離よりも小さい工程と、
検出システムがコンテナの一部から第2の水平距離に配置されている間に、検出システムを第1の高さから第2の高さに移動し、コンテナ内の1つ以上の交換部品を識別する工程を含む、請求項1に記載の方法。 - 第2のマッピングパターンによりロボットアームを移動することは、
検出システムを、交換部品を含まないコンテナの第1の領域内で、コンテナの一部から第3の水平距離で配置する工程であって、第3の水平距離が第2の水平距離よりも小さい工程と、
検出システムがコンテナの一部から第3の水平距離に配置されている間に、検出システムを第1の領域内で第3の高さから第1の領域内で第4の高さに移動する工程を含み、
方法は、空のキャリア又はウエハの少なくとも一方が、第3の高さと第4の高さの間の任意の高さで、コンテナの一部から第3の水平距離まで延在しているかを決定することを含む、請求項3に記載の方法。 - 検出システムを用いて、上部及びコンテナの第1のセクションに配置された下部を含む第1の物体を識別する工程であって、第1の物体はコンテナの第1の部分に延在している工程と、
検出システムを用いて、第1の物体の上部の第1の位置と、第1の物体の底部の第2の位置とを測定する工程と、
第1の位置と第2の位置に基づいて、第1の物体のおおよその厚さを決定する工程と、
第1の物体のおおよその厚さに少なくとも部分的に基づいて、第1の物体が処理チャンバの交換部品を含むと決定する工程と
交換部品のコンテナ内での位置を記録媒体に記録する工程を含む、請求項1に記載の方法。 - 第1の物体のおおよその厚さに基づいて、交換部品がコンテナの前記第1のセクションに不適切に配置されたと決定する工程と、
交換部品を含むコンテナの第1の部分に欠陥があることを示すエラーメッセージを電子機器処理システムのコントローラに送信する工程を含む、請求項5に記載の方法。 - 交換部品が不適切に配置されたと決定することは、a)第1の位置が交換部品の予想される第1の位置に対応していないこと、b)第2の位置が交換部品の予想される第2の位置に対応していないこと、又はc)交換部品のおおよその厚さが交換部品の予想される厚さに対応していないことの少なくとも1つを決定することを含む、請求項6に記載の方法。
- コンテナがプロセスキットリングコンテナであることを示す表示を受信する工程と、
ロボットアームをコンテナの第1の部分に移動して、そのコンテナがプロセス
キットリングコンテナであることを示す識別子コンポーネントを検出する工程と、
コンテナが識別子コンポーネンを含むかを決定する工程と、
コンテナが識別子を含むと決定したことに応答して、第1のマッピングパターンによりロボットアームの移動を進行させる工程を含む、請求項1に記載の方法。 - ロボットアームが第1のマッピングパターンにより移動している間に、コンテナがプロセスキットリングコンテナであることを示す識別子コンポーネントを検出する工程と、
識別子コンポーネントの検出に応答して、電子機器処理システムのコントローラに、コンテナの欠陥を示すエラーメッセージを送信する工程と、
第1のマッピングパターンにより、ロボットアームの移動を続行するコマンドを受信する工程を含む、請求項1の方法。 - 電子機器処理システムのファクトリインターフェースのロードポートで、電子機器処理システムの処理チャンバの交換部品を収納するように構成されたコンテナを受領する工程と、
ロボットアームのエンドエフェクタの遠位端にある検出システムを用いて、コンテナが処理チャンバ用の交換用プロセスキットリングを収納するように構成されているかを決定する工程であって、検出システムは出射コンポーネントとセンシングコンポーネントとを備え、検出システムは、出射コンポーネントからセンシングコンポーネントに配向されたビームが物体によって遮断されたことに応答して、物体を検出する工程と、
コンテナが交換用プロセスキットリングを収納するように構成されていると決定したことに応答して、第1のコンテナマッピングレシピを実行する工程であって、
第1のマッピングパターンによりロボットアームを移動し、エンドエフェクタの遠位端にある検出システムを用いて、コンテナ内の1つ以上の交換用プロセスキットリングの位置を識別すること工程と、
交換用プロセスキットのリングを含まないコンテナの領域を決定する工程と、
第2のマッピングパターンによりロボットアームを移動し、エンドエフェクタの遠位端にある検出システムを用いて、ウエハ又はプロセスキットリング用の空のキャリアの少なくとも1つのコンテナ内の位置を識別する工程と、
コンテナ内の交換用プロセスキットのリングの位置と、空のキャリア又はウエハの少なくとも一方の位置とのマッピングを記憶媒体に記録する工程を含む第1のコンテナマッピングレシピを実行する工程を含む方法。 - 第1のマッピングパターンによりロボットアームを移動することは、
検出システムをコンテナの一部から第1の水平距離に配置する工程と、
検出システムがコンテナの一部から第1の水平距離に配置されている間に、検出システムを第1の高さから第2の高さに移動し、コンテナ内の1つ以上の交換部品を識別する工程と、
1つ以上の交換部品が、コンテナの一部から第1の水平距離まで延在しているかを決定する工程と、
1つ以上の交換部品がコンテナから第1の水平距離まで延在していないと決定したことに応答して、検出システムをコンテナの一部から第2の水平距離に配置する工程であって、第2の水平距離は第1の水平距離よりも小さい工程と、
検出システムがコンテナの一部から第2の水平距離に配置されている間に、検出システムを第1の高さから第2の高さに移動し、コンテナ内の1つ以上の交換部品を識別する工程を含む、請求項10に記載の方法。 - 第2のマッピングパターンによりロボットアームを移動することは、
検出システムを、交換部品を含まないコンテナの第1の領域内で、コンテナの一部から第3の水平距離で配置する工程であって、第3の水平距離が第2の水平距離よりも小さい工程と、
検出システムがコンテナの一部から第3の水平距離に配置されている間に、検出システムを第1の領域内で第3の高さから第1の領域内で第4の高さに移動する工程を含み、
方法は、空のキャリア又はウエハの少なくとも一方が、第3の高さと第4の高さの間の任意の高さで、コンテナの一部から第3の水平距離まで延在しているかを決定することを含む、請求項11に記載の方法。 - 検出システムを用いて、上部及びコンテナの第1のセクションに配置された下部を含む第1の物体を識別する工程であって、第1の物体はコンテナの第1の部分に延在している工程と、
検出システムを用いて、第1の物体の上部の第1の位置と、第1の物体の底部の第2の位置とを測定する工程と、
第1の位置と第2の位置に基づいて、第1の物体のおおよその厚さを決定する工程と、
第1の物体のおおよその厚さに少なくとも部分的に基づいて、第1の物体が処理チャンバの交換部品を含むと決定する工程と
交換部品のコンテナ内での位置を記録媒体に記録する工程を含む、請求項10に記載の方法。 - コンテナが交換用プロセスキットリングを収納するように構成されていると決定することは、
ロボットアームをコンテナの第1の部分に移動して、コンテナがプロセスキットリングコンテナであることを示す識別子コンポーネントを検出する工程と、
コンテナが識別子コンポーネンを含むかを決定する工程と、
コンテナが識別子コンポーネンを含むと決定したことに応答して、第1のマッピングパターンによりロボットアームの移動を進行する工程を含む、請求項10に記載の方法。 - コンテナが交換用プロセスキットリングを収納するように構成されていないと決定したことに応答して、第2のコンテナレシピを実行することを含み、第2のコンテナレシピは、
検出システムをコンテナの一部から第1の水平距離に配置する工程と、
検出システムがコンテナの一部から第1の水平距離に配置されている間に、検出システムを第1の高さから第2の高さに移動し、コンテナ内の1つ以上の交換部品を識別する工程と、
1つ以上の交換部品が、コンテナの一部から第1の水平距離まで延在しているかを決定する工程と、
1つ以上の交換部品がコンテナから第1の水平距離まで延在していないと決定したことに応答して、検出システムをコンテナの一部から第2の水平距離に配置する工程であって、第2の水平距離は第1の水平距離よりも小さい工程と、
検出システムがコンテナの一部から第2の水平距離に配置されている間に、検出システムを第1の高さから第2の高さに移動し、コンテナ内の1つ以上の交換部品を識別する工程を含む、請求項10に記載の方法。 - 電子機器処理システムであって、
ロボットアームを含むファクトリインターフェースであって、ロボットアームはロボットアームのエンドエフェクタの遠位端にある検出システムを備え、検出システムは出射コンポーネントとセンシングコンポーネントとを備え、検出システムは、出射コンポーネントからセンシングコンポーネントに配向されたビームが物体によって遮断されたことに応答して物体を検出するファクトリインターフェースと、
ファクトリインターフェースに接続されたロードポートと、
ロードポートに接続されたコンテナと、
ロボットアームに動作可能に接続されたコントローラであって、コントローラは、
コンテナが、電子機器処理システムの処理チャンバの交換部品を収納するように構成されているかを決定し、
続いて、第1のマッピングパターンによりロボットアームを移動し、ロボットアームのエンドエフェクタの遠位端にある検出システムを用いて、コンテナ内の位置を識別し、
交換部品を含まないコンテナの領域を決定し、
第2のマッピングパターンによりロボットアームを移動し、エンドエフェクタの遠位端にある検出システムを用いて、ウエハ又は交換部品用の空のキャリアの少なくとも一方のコンテナ内の位置を識別し、
コンテナ内の交換部品の位置と、空のキャリア又はウエハの少なくとも一方の位置のマッピングを記憶媒体に記録する電子機器処理システム。 - 1つ以上の交換部品はプロセスキットリングを含む、請求項16に記載の電子機器処理システム。
- 第1のマッピングパターンによりロボットアームを移動し、コントローラは、
検出システムをコンテナの一部から第1の水平距離に配置し、
検出システムがコンテナの一部から第1の水平距離に配置されている間に、検出システムを第1の高さから第2の高さに移動し、コンテナ内の1つ以上の交換部品を識別し、
1つ以上の交換部品がコンテナの一部から第1の水平距離まで延在しているかを決定し、
1つ以上の交換部品がコンテナから第1の水平距離まで延在していないと決定したことに応答して、検出システムをコンテナの一部から第2の水平距離に位置し、ここで第2の水平距離は第1の水平距離よりも小さく、
検出システムがコンテナの一部から第2の水平距離に配置されている間に、検出システムを第1の高さから第2の高さに移動し、検出システムはコンテナ内の1つ以上の交換部品を識別する、請求項16に記載の電子機器処理システム。 - 第2のマッピングパターンによりロボットアームを移動し、
コントローラは、
検出システムを、コンテナの一部から第3の水平距離で、交換部品を含まないコンテナの第1の領域内に配置し、ここで第3の水平距離は第2の水平距離よりも小さく、
検出システムがコンテナの一部から第3の水平距離に配置されている間に、検出システムを第1の領域内の第3の高さから第1の領域内の第4の高さに移動し、
コントローラは、空のキャリア又はウエハの少なくとも一方が、第3の高さと第4の高さとの間の任意の高さでコンテナの一部から第3の水平距離まで延在しているかを決定する、請求項18に記載の電子機器処理システム。 - コントローラは、
検出システムを用いて、上部及びコンテナの第1の部分に配置された底部を含む第1の物体を識別し、ここで第1の物体はコンテナの第1の部分に延在しており、
検出システムを用いて、第1の物体の上部の第1の位置と、第1の物体の下部の第2の位置を測定し、
第1の位置と第2の位置に基づいて、第1の物体のおおよその厚さを決定し、
第1の物体のおおよその厚さに少なくとも部分的に基づいて、第1の物体が処理チャンバの交換部品を含むと決定し、
記憶媒体に交換部品のコンテナ内での位置を記録する、請求項16に記載の電子機器処理システム。
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