JP2007227936A - 基板を受け取るおよび／または輸送する方法および装置 - Google Patents

Abstract

【課題】基板を受け取るおよび／または輸送する方法を提供すること。
【解決手段】少なくとも１つのセンサによって、基板の位置、具体的には容器のスロットに配置された基板の位置の逸脱が、１自由度に少なくとも関して検出され、少なくとも１つの受取りデバイスおよび／または輸送デバイスの移動工程が、前記逸脱を含むことで決定される。
【選択図】図２

Description

本発明は、半導体産業において基板、具体的にはウエハを受け取り、輸送する方法および装置に関する。

半導体産業の製作プロセスは、通常、様々な原版および基板が使用される再生産方法を使用する。この場合に使用される原版は、リソグラフィ・プロセスにおいて使用されるマスク、および、スタンピング方法のためのスタンプの両方を備える。さらに、基板に直接書き込むことを含む書込みプロセスが存在する（ＥＢｅａｍ）。半導体生産における基板は、一般に、広範な半導体材料から作製される薄いウエハ（現在では直径が最高で３００ｍｍ、厚さが１ｍｍ未満）である。現在最も頻繁に使用されるマスクは、最高で厚さ１／４インチの厚さを有する正方形石英ガラスの立方体（辺長６インチ）から作製される。原版は、説明のために以下で記述される方法では基板とも呼ばれる。

一連の製作中、半導体基板は、輸送し、かつ様々な生産、処理、および測定設備に導入するために、閉鎖容器において安全かつ可能な限り清浄に貯蔵されなければならない。前記容器は、カセットまたはラックと呼ばれる。ＳＭＩＦ、ＦＯＵＰ、ＦＯＳＢ、開放カセットなどの名称で使用される基板収容器が、この文脈では一般的であり、ピッチと呼ばれる規定距離で最高で２５の基板を重ねて配置することができる。長年にわたり、広範なモデル、タイプ、および規格のラックのおよびカセットが開発され、これらはすべて、幾何学的形状についてばらつきを示す。また、各個別のラックまたはカセットが、製作のために基準設計に関する公差をすでに有する可能性があることも極めて重要である。これらの理由のために、基板の位置は、すべてのタイプのラックと比較して一部劇的に異なる（高さに関して２つ以上のピッチ）可能性がある。さらに、基板は、容器を開くプロセスによって、または開いた後であっても容器に対する行為によって、容器において変位する可能性がある。

半導体製作の自動技術について行われる１つの要求は、容器から基板を取り出し、基板を導入することである。基板が容器から設備に移送される際の信頼性、および基板について応力がないことに関する要求は、この場合に一貫して増す。このため、移送点が、可能な限り正確に作動されることが必要である。移送点自体は、一般にいわゆる自動技術の教示プロセスによって１回付与される。２つ以上の基板を受け取る容器の場合、同様に１回のみ位置が習得され、それより上に位置する基板の位置は、変位ベクトルによって自明とされる（通常、個々の基板の位置は、ピッチによって導出される）。アクセスする前、基板の存在は、一般に無接点センサによって判定される。

一方では、同じタイプのラックが与えられた場合の位置に対する上記の公差の影響は、自動プロセスの対応する十分な捕捉範囲によって補われる。他方では、他の設計データを有するラックのタイプを使用することを意図する場合、関連する移送点が新しく習得されなければならない。

この手続きは、２つの根本的な欠点を有する。第１に、捕捉範囲の拡大により、時間が浪費され、おそらくは予測移送点における相対移動が増し、それにより、基板における応力、損傷、または汚染の程度が増すことがある。第２に、他のタイプのラックを使用するときの移送点の習得により、同様に、自動プロセスにおける取扱いが複雑で時間がかかるようになる。

この背景に対して、本発明は、従来の技術における上記の欠点を軽減し、基板、具体的にはウエハの受取りおよび輸送を改善する目的に基づく。

本発明の他の目的によれば、様々な容器に対する自動プロセスの適応性を増大させることが意図されている。

本発明の他の目的は、様々なタイプの容器における差異（設計に特有）、個々の容器における逸脱（個々の容器に特有）、容器内の個々のスロットに関する所望の位置の逸脱（個々のスロットに特有）、外部作用による基板位置の変化（容器を開くプロセス、容器における衝撃など）（個々のスロットに特有）、およびプロセスに対して不利な影響を有することがある隣接基板の位置の変化（個々のスロット環境に特有）によって生じる可能性がある移送位置における公差の問題およびその結果を軽減することである。

本発明の他の目的は、設備をセット・アップおよび維持するときの時間の損失を低減することである。
本発明の他の目的によれば、自動ステップのプロセス時間を短縮することが意図されている。

本発明の目的は、独立請求項の１つによれば、基板を受け取り、輸送する方法、およびまた基板を受け取り、輸送する装置によってすでに達成される。
本発明の好ましい実施形態および発展は、それぞれの従属請求項から得ることができる。

したがって、基板を受け取るおよび／または輸送する方法が提供され、少なくとも１つのセンサによって、基板の位置、具体的には容器のスロットに配置された基板の位置が、１自由度に少なくとも関して検出される。

基板の位置の検出は、本発明の意味では、たとえば本発明による方法が使用される設備の他の構成要素に関する、絶対位置の検出および相対位置の検出の両方を意味することを理解されたい。
受取りおよび輸送デバイスの移動順序は、基板の位置を含むことで決定される。

位置の検出により、受取りおよび輸送デバイスの著しくより正確な取扱いを実施することが可能になる。したがって、受取りデバイスは、著しくより正確に誘導され、設備は、様々な構成および境界条件、具体的には様々なタイプの容器および様々な基板に対して適合させることができる。

本発明の１つの好ましい実施形態によれば、受取りデバイスに関する基板の相対位置は、少なくとも１つのセンサによって判定される。正確な位置決めが、具体的には、受取りデバイスと基板との間の距離を求めることによって可能になる。

本発明の他の好ましい実施形態によれば、基板収容器の占有は、少なくとも１つのセンサによって判定される。基板収容器（ラック）の占有は、可変設備特有パラメータであり、移動工程の精密セッティングにおいてこれを考慮することにより、受取りデバイスを著しくより正確に誘導することが可能になる。したがって、空のスロットなど、占有の変化は、基板リポジトリ全体に対する影響を有し、それゆえ基板レポジトリに依然として存在する基板に対しても影響を有する。

本発明の１つの発展によれば、基板の位置および／または基板収容器の占有は、受取りデバイスの上に配置された少なくとも１つのセンサによって判定される。

本発明者は、本質的に既知の自動デバイスにおいて、受取りデバイスの上に配置されたセンサで、基板の位置、具体的には受取りデバイスに関する相対位置を求め、基板収容器（ラック）のスロットが各場合に占有されているかを判定することが可能になることを発見した。
このために、受取りデバイスは、本質的に所定の移動工程を進行し、これは、従来の技術から既知であり、かつ対応するセンサを有さない設備でも同様である。

受取りデバイスに関する基板の正確な相対位置は、１つまたは複数のセンサによって判定される。次いで、前記位置は、移動工程をより正確に設定するために、さらなる移動工程において考慮することができる。

本発明の他の好ましい実施形態によれば、位置の変化に関する特性データが記憶され、受取りデバイスの移動工程は、前記特性データを含むことで決定される。

具体的には、特定の設備構成に関する特性データ・セットを記録および記憶することが提供される。この場合、受取りデバイスの移動工程を微調整することができる習得サイクルは、基板収容器の異なる占有、または異なる基板収容器および異なる基板など、様々な構成の設備で実施することができる。

次いで、前記特性データは、自動デバイスにおいてデータ・セットの形態で基盤として取り入れられる。設備の現在の構成に応じて、受取りおよび輸送デバイスの移動工程は、移動順序を連続的に適合することを必要とせずに、特性データ・セットを含むことで微調整される。

本発明の１つの発展では、移動工程は、連続的にまたは間隔をおいて設備構成の変化に対して適合させることも可能である。自動デバイスは、受取りおよび輸送デバイスが、たとえば所定の移動方向に沿って、基板収容器のスロットに従う習得サイクルを実施することが有利である。この時点で存在している設備構成の特性データが記憶される。動作中、自動デバイスは、基板を除去することなどにより、スロットより上または下に位置する他の基板の正確な位置がたとえば変化する場合、適合させることができる。
したがって、設備は、設備構成の変化と相関する移動工程の変化を習得する。

有利な方式で、基板収容器に関する容器の占有、具体的には個々のスロットの占有、および移動される基板のタイプの両方とも、受取りデバイスの移動工程を決定するのに考慮される。

本発明の１つの有利な実施形態では、基板の位置、具体的には受取りデバイスに関する相対位置は、３つの併進方向および少なくとも２つの回転方向において検出される。したがって、正確な位置の決定が、丸いウエハの場合に可能である。ウエハがまだ処理されていない限り、２つの回転方向における位置の決定は、回転対称性を考慮すると十分である。

本発明の１つの好ましい実施形態では、位置は、受取りデバイスの上に配置された少なくとも２つのセンサによって検出される。たとえば、容量性距離センサとして構成されたこのタイプのセンサにより、センサが互いに規定距離に配置される場合、受取りデバイスに関するウエハの相対位置を正確に判定することが可能になる。

具体的には、受取りデバイスの上において複数のセンサを位置決めすることが提供される。縁側において基板の上にわたって延びるそのようなセンサ・アレイによって、受取りデバイスに関するウエハ・レベルに関してウエハの正確な位置を検出することが可能であるが、その理由は、センサのすべてがウエハによって覆われている訳ではないからである。

本発明は、１自由度に少なくとも関して、基板の位置、具体的には容器（ラック）のスロットに配置された基板の位置を検出するための少なくとも１つのセンサを有する、基板を受け取り、輸送する装置にさらに関する。

装置は、受取りおよび輸送デバイスの移動工程を制御する手段をさらに有する。前記制御手段は、具体的には、自動デバイスの一部である。本発明によれば、移動工程を制御する前記手段は、基板の検出位置を含むための手段を備える。

構成に特有の移動順序が、それぞれの構成に特有の移動順序を表す特性データ・セットの形態で記録および記憶されることが好ましい。受取りデバイスの著しくより正確な位置決めが、そのような特性データ・セットの補助により可能である。

そのような特性データ・セットは、具体的には、設備構成の変化に依存する移動順序の変化を表す。

本発明の意味では、そのような特性データ・セットは、移動順序全体、すなわち自動デバイスを制御するためのデータ・セットの一部を備えることも、自動デバイスの精密制御のみを表すこともできる。第２の代替実施形態によれば、関連する量のデータを有する完全な移動順序を記録および記憶する必要はなく、むしろ、設備の本質的な動作を表すこれらの移動工程を残すことが可能である。したがって、本発明の意味における特性データ・セットは、移動工程の精密制御についてのみに作用する。

受取りデバイスは、基板の相対位置を検出するために、本発明の１つの特定の実施形態では、相対位置を正確に判定することを可能にする少なくとも３つ、好ましくは４つ、特に好ましくは５つのセンサを有する。

さらに、１つまたは複数の光障壁が、たとえば受取りデバイスの高さ（Ｚ軸）を決定するために提供されることが可能である。
方法は、以下のように詳細に表すことが可能である。

プロセスの順序について、まず、所与の場所（ｓｔａｔｉｏｎ）のパラメータ・セットが、基準（教示位置）に関して確定された基板位置の教示によって決定される。

次いで、教示位置に関した相違を記述する他の容器の設計データが決定され、他の使用のためにデータベースに記憶される。

次のステップにおいて、移動工程を制御するハンドラ制御が、どのようなタイプのラックがプロセスにおいて確立されたかに関する情報を獲得する。このタイプと共に記憶された設計データは、対応して教示位置を変位させ、訂正された場所のパラメータ・セットを決定するために使用される。この変更データ・セットで、実施される測定進行が導出されて開始される。使用されるセンサ・システムの範囲によって確定された全自由度における基板の位置は、測定進行の結果として生じる。

次いで、様々なプロセスの場合の異なる訂正をこれらのデータから導出することができる。

個々の自由度の平均値は、洗練された方式で設計データを訂正するために使用することができる。設計データがこの時間点において利用可能ではない場合、平均値は、教示位置を訂正するためにのみ使用することができる。たとえば非常に薄い基板の場合に生じるような反り、湾曲などの基板特有の特性は、訂正について付随して考慮することができる。基本的な経路計画（移動工程の計画）のためのスロットの占有および容器特有のデータなどの基本的なデータは、この段階で確定して、基板または容器全体の訂正不可能または望ましくない不適切な位置が存在するかを検査するために同様に使用することができる。

個々の自由度の局所的な周囲値または平均値を計算することでは、個々のスロットの経路計画は、前記スロットの直近のスロットにも依存する。したがって、個々の基板の導入または回収に対する隣接スロットの位置の逸脱の影響を求めて、訂正について、または実現性の全般的な検査について使用することができる。

個々の自由度のスロット特有の訂正
個々の基板の位置の判定は、上述された訂正の可能性を考慮しながら、経路（移動工程）の残りの訂正または最終的な確定に最終的に使用することができる。

上記で列挙された値が存在するかに応じて、値は、基板の導入プロセス中に非占有スロットに適用することもできる。

容器全体が空である場合、設計データを使用することができる。
容器が一部占有されている場合、平均値を精密訂正に使用することができる。

数字、バー・コード、または他のタグによって個々に識別される容器を再使用する場合、容器特有の測定値は、データ・セットとして将来の訂正のために記憶することができ、対応して装備された設備によって使用することができる。

その結果、この方法によって、個々の経路計画で空にし、および満たすことが可能であり、移動工程自体は、基板特性に適合させることができる。

適切なセンサが選択される場合、これらは、移動工程のオンライン訂正についてさらに使用することもできる。適切なセンサは、基板に接近する際にのみ好都合な値を供給するように一般に設計されるので、これらは、個々の確定データに対して作用し、ラック特有の値には作用しないはずである。

この方法は、プロセスの信頼性を向上させ、かつ容器におけるまたは容器からの取扱い中に基板に対する取扱いの影響を最小限に抑えるために、半導体産業の容器における設計に特有、個々の容器に特有、および個々のスロットに特有の基板の位置データを検出、処理、適用、および測定することを備える。

受取りデバイスを備え、かつ自動デバイスの一部である取扱いシステムの上のセンサ・システムとして、以下のセンサが具体的には使用されることが可能である。

距離センサ、具体的には、高さおよび角度を位置決定するためにｚ方向（垂直方向）において配向された移送ダミーにおける容量センサ。

この場合、マスクなどの非回転対称性基板の場合に６自由度を得ることができ、回転対称性基板（ウエハ）の場合に５自由度を得ることができる。この場合、可能な限り迅速なプロセスのために、たとえば基板ハンドラの上または容器受取り構成要素の上に取り付けられた光センサによって実施することが可能であるｚ事前決定（垂直軸）を使用することが可能である。
容量センサは、オンライン訂正に使用することもできる。

距離および高さの情報を求めるために、遮断される光ビームを使用することができる。
５自由度または４自由度についてｒ方向に配向された超音波センサなどの高分解能距離センサ。この構成は、最も簡単な測定進行を生成する。

この方法によって、最適な移送位置に関する最適経路計画を可能にするために、唯一の測定進行で、すべての本質的な値を求めることが可能である。この方法により、近傍間における移動プロファイルの測定が可能になり、また最適移送位置への近似が可能になる。

これにより、容器または基板収容器を満たすとき、または空にするときのどちらにも、より正確な移送位置、より高い処理信頼性、より短い経路時間、損傷の低減（スクラッチ、汚染、振動など）が得られる。

この方法において決定された最適な経路は、設計データ、個々の容器に特有のデータ、個々のスロット環境データ、および個々のスロットに特有のデータに基づいて段階的に生成される。

１つの測定進行に低減することにより、関連する時間損失が限定される。経路の最適化により、全プロセスの時間を節約することもできる。

この方法によって、設計データ、バッチ・データ、または個々のデータを決定、運用、および永続的に管理することができる。

この方法により、容器データの管理が可能になり、したがって、時間および使用による変化について容器を連続的に監視することが可能になる。

用途もしくは設計データおよび／または基準からの逸脱により、教示動作は単一プロセスに低減され、追加の教示支出なしで広範なタイプおよびモデルを使用することが可能になる。

この方法により、データの手動および自動の両方による移送、ならびに個々の容器へのデータの割当てが可能になる。データは、他のシステムにおいて使用することもできる。データの監視により、容器の不正確な位置決めを早期に検出することができ、それにより、動作およびプロセスの信頼性が再び向上する。

図１は、本発明による受取りデバイス１を概略的に示す。受取りデバイス１は、円形ウエハの形態でこの図では概略的に示される基板２を受け取るために実現される。基板５は、例として、静電的に受け取ることが可能である。受取りデバイス１は、自動設備（図示せず）に接続され、基板２を受け取り、輸送するように機能する。

受取りデバイス１に関する基板２の相対位置を測定するために、全部で５つのセンサ３ａ〜３ｅが受取りデバイスの上に提供される。センサ３ａ〜３ｅは、容量測定を実施する距離センサとして実現される。

センサ３ａから３ｃの測定データを比較することによって、図２を参照して以下においてより詳細に説明されるように、すべての３つの併進方向における相対位置、およびまた少なくとも２つの回転方向における基板の可能な傾斜を決定することが可能である。
データを記録するための測定進行が、概略的に図２を参照してより詳細に説明される。

図２は、ラックとも呼ばれる基板収容器４を示す。基板収容器は、基板２を置くことができる複数のスロット５を備える。

測定進行中、受取りデバイス（図示せず）は、Ｚ軸の事前決定を実施することができるように、矢印６によって表されるｚ方向においてまず上昇する。

これに、破線によって表される測定点Ａ、Ｂ、およびＣにおいて、図１に示された容量センサの補助で関連データを決定するために、センサのデータが記録される測定進行が続く。この場合、基板リセプタクルは、個々のスロット５に続く。

位置Ａにおいて、図１からのセンサ３ａから３ｃの少なくとも１つが、基板によって完全に覆われる。センサ３ａから３ｃの測定距離を比較することにより、基板の高さ、および受取りデバイスの縦軸の回りの可能な傾斜を決定することが可能になる。

位置Ｂにおいて、センサ３ａから３ｃは、基板によって完全に覆われる。測定点ＡとＢとの距離値を比較することによって、受取りデバイスの横軸に沿った可能な傾斜を決定することが可能になる。

位置Ｃに関する移動によって、残りの併進方向における基板の位置を決定することが可能である縁決定を実施することが可能になる。

センサによって得られた測定データによって、まず、特性データ・セットを記憶することが可能であり、これにより、たとえば、異なる設備構成の場合、具体的には基板収容器４の占有が異なる場合、移動工程を精密に訂正することが可能になる。移動工程は、習得進行中の受取りデバイスの移動工程の精密設定と並行して、他の測定進行中に得られた他の特性データを調べることにより、かつ／またはセンサ測定値を連続的に考慮しながら、設備の動作中に連続的にさらに訂正することもできる。

図３は、本発明による方法の実施形態の本質的な方法ステップのフロー・チャートを概略的に示す。
まず、１つまたは複数の特性データ・セットが、習得進行において記録される７。

次いで、自動デバイス（図示せず）に統合されている受取り装置は、生産ステップを実施するために移動させることができる８。たとえば基板が受け取られて渡された後の移動工程後、設備構成が変化したかを確認するために検査が行われる９。例として、基板収容器の上のバー・コードに基づいて、新しい基板収容器が設備に挿入されたかを判定することが可能である。設備構成が変化していない場合、方法は、受取り装置を移動させるステップ８に再びジャンプする。受取りデバイスは、現時点での特性データ・セットに対応する方式で移動する。

設備構成が変化している場合、受取りデバイスの移動は、読み取られている新しく記憶された特性データ・セットによって、変化した設備構成に適合される。この場合、記憶された特性データ・セットは、精密セッティングのための移動順序の変化を表す。同時に、受取りデバイスのセンサによって連続的な適合を連続的に実施することができる。この場合、具体的には、変化した設備構成に対応する新しい特性データ・セットを記録および記憶することが可能である。

言うまでもなく、本発明は、上述された特徴の組合せに限定されるものではなく、むしろ、当業者なら、好都合である限り、記述された特徴を所望に応じて組み合わせるであろう。
本発明は、図１から図３の図面を参照して以下においてより詳細に説明される。

本発明による受取りデバイスの概略図である。 基板収容器（ラック）の概略図である。 本発明による方法実施態様の例示的な実施形態のフロー・チャートを概略的に示す図である。

Claims (26)

1. 基板を受け取るおよび／または輸送するための方法であって、少なくとも１つのセンサによって、基板の位置、具体的には容器のスロットに配置された基板の位置が、少なくとも１自由度に関して検出され、少なくとも１つの受取りデバイスおよび／または輸送デバイスの移動工程が、前記位置を含むことで決定される、方法。
2. 受取りデバイスに関する基板の相対位置が、前記少なくとも１つのセンサによって判定される、請求項１に記載の基板を受け取るおよび／または輸送するための方法。
3. 基板収容器の占有が、前記少なくとも１つのセンサによって判定される、請求項１乃至２のいずれか１項に記載の基板を受け取るおよび／または輸送するための方法。
4. 基板の位置、および／または基板収容器の占有、具体的には前記基板収容器のスロット占有が、受取りデバイスの上に配置された少なくとも１つのセンサによって判定される、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の基板を受け取るおよび／または輸送するための方法。
5. 位置の変化に関する特性データが記憶され、前記受取りデバイスおよび／または輸送デバイスの前記移動工程が、前記特性データを含むことで決定される、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の基板を受け取るおよび／または輸送するための方法。
6. 設備構成の変化、具体的には基板収容器の占有の変化、および／または使用される基板のタイプに依存する前記移動順序における変化を表す少なくとも１つの特性データ・セットが記録および／または記憶される、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の基板を受け取るおよび／または輸送するための方法。
7. 前記移動工程の精密なセッティングが、位置の変化の判定によって決定される、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の基板を受け取るおよび／または輸送するための方法。
8. 前記受取りデバイスおよび／または輸送デバイスの移動工程が、習得サイクルにおいて決定される、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の基板を受け取るおよび／または輸送するための方法。
9. 前記移動工程が、連続的にまたは間隔をおいて設備構成の変化に適合される、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の基板を受け取るおよび／または輸送するための方法。
10. 前記基板収容器に関する容器の占有および／または移動される基板のタイプが、前記受取りデバイスおよび／または輸送デバイスの前記移動工程の決定において考慮される、請求項１乃至９のいずれか１項に記載の基板を受け取るおよび／または輸送するための方法。
11. 基板受取りデバイスに関する基板の相対位置が、前記位置として判定される、請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の基板を受け取るおよび／または輸送するための方法。
12. 設備、具体的には容器に特有の特性データ・セットが、データベースに記憶され、前記少なくとも１つの受取りおよび／または輸送デバイスの前記移動工程を決定するために使用される、請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の基板を受け取るおよび／または輸送するための方法。
13. 前記基板の位置が、３つの併進方向において検出される、請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の基板を受け取るおよび／または輸送するための方法。
14. 前記位置が、少なくとも２つの回転方向において検出される、請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の基板を受け取るおよび／または輸送するための方法。
15. 前記位置が、受取りデバイスの上に配置された少なくとも２つのセンサによって検出される、請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の基板を受け取るおよび／または輸送するための方法。
16. 容量センサが前記センサとして提供される、請求項１乃至１５のいずれか１項に記載の基板を受け取るおよび／または輸送するための方法。
17. 少なくとも１つの移動動作を表すデータが、メモリに記憶される、請求項１乃至１６のいずれか１項に記載の基板を受け取るおよび／または輸送するための方法。
18. 基板を受け取るおよび／または輸送するための装置であって、
    少なくとも１自由度に関して、基板の位置、具体的には容器のスロットに配置された基板の位置を検出するための少なくとも１つのセンサと、
    基板の受取りおよび／または輸送デバイスの移動工程を制御する手段とを備え、
    前記移動工程を制御する前記手段が、前記基板の検出位置を含むための手段を備える、装置。
19. 構成に特有の移動順序を表す少なくとも１つの特性データ・セットを記録および／または記憶するための手段を備える、請求項１乃至１８のいずれか１項に記載の基板を受け取るおよび／または輸送するための装置。
20. 設備構成の変化、具体的には基板収容器の占有の変化および／または使用される基板のタイプに応じて前記移動順序を適合させる手段を有する、請求項１乃至１９のいずれか１項に記載の基板を受け取るおよび／または輸送するための装置。
21. 前記特性データ・セットが、前記設備構成の変化に依存する前記移動順序の変化を表し、前記特性データ・セットが、具体的には前記移動順序の精密適合に使用することができる、請求項１乃至２０のいずれか１項に記載の基板を受け取るおよび／または輸送するための装置。
22. 移動工程の精密制御を表す少なくとも１つの特性データ・セットを記録および／または記憶する手段を備える、請求項１乃至２１のいずれか１項に記載の基板を受け取るおよび／または輸送するための装置。
23. 位置を含むことで前記移動工程を精密制御する手段を備える、請求項１乃至２２のいずれか１項に記載の基板を受け取るおよび／または輸送するための装置。
24. 距離の測定のために、少なくとも１つの容量センサ、超音波センサ、および／または光障壁を有する、請求項１乃至２３のいずれか１項に記載の基板を受け取るおよび／または輸送するための装置。
25. 好ましくは少なくとも１つの基板を受け取るために実現される、少なくとも３つ、好ましくは４つ、特に好ましくは５つのセンサを有する受取りデバイスを有する、請求項１乃至２４のいずれか１項に記載の基板を受け取るおよび／または輸送するための装置。
26. 請求項１乃至２５のいずれか１項に記載の基板を受け取るおよび／または輸送するための装置を備える、具体的にはウエハを処理するための自動デバイス。

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