JP7447087B2 - エッジリング部品番号をスロット番号にマッピングするための識別子の使用 - Google Patents
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Description
Claims (20)
- エッジリングを追跡する方法であって、
前記エッジリングに関連するソースからエッジリング識別子をキャプチャし、
前記エッジリングをエッジリングキャリアのスロットに挿入し、前記スロットはスロット識別子と関連付けられ、前記エッジリングキャリアはキャリア識別子と関連付けられており、
前記エッジリング識別子を、前記スロット識別子および前記エッジリングキャリアの前記キャリア識別子に割り当て、
前記エッジリングキャリアに出し入れされる移送、および処理ステーションに出し入れされ移送のために前記エッジリング識別子を追跡すること
を備え、
前記エッジリング識別子の追跡は、前記エッジリングに関する寿命情報を提供するメタデータファイルを構築する、
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記ソースは、前記エッジリングの表面、または前記エッジリング内に埋め込まれた部品、または前記エッジリングを保持するパッケージの表面である、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記キャプチャする操作および挿入する操作は、前記エッジリングが前記エッジリングキャリアにロードされている最中に実施される、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記エッジリング識別子の追跡は、前記エッジリングが前記エッジリングキャリアの特定のスロットに出し入れされるのに応じて、前記エッジリングキャリアの1つまたは複数のセンサによってキャプチャされた情報を受け取ることを含み、前記1つまたは複数のセンサから受け取った前記情報は、前記エッジリングの前記メタデータファイル内の前記寿命情報を更新するために使用される、方法。 - 請求項4に記載の方法であって、
前記エッジリングキャリアの前記1つまたは複数のセンサから受け取った前記情報は、前記エッジリングキャリアのために維持されている内容テーブルおよび状況テーブルを更新するために使用される、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記エッジリング識別子の追跡は、前記エッジリングが製作システムの前記処理ステーション内を移動するのに応じて、前記処理ステーション内に分散された1つまたは複数のセンサによってキャプチャされた情報を受け取ることを含み、前記1つまたは複数のセンサから受け取った前記情報は、前記エッジリングの前記メタデータファイル内の前記寿命情報を更新するために使用される、方法。 - 請求項6に記載の方法であって、
前記処理ステーションは、ロードポート、大気移送モジュール、ロードロックチャンバ、真空移送モジュール、前記エッジリングが使用されるプロセスモジュール、または前記処理ステーション内で前記エッジリングを移動させる1つまたは複数のロボットの1つまたは複数を含み、
前記1つまたは複数のセンサから受け取った前記情報は、前記エッジリングの位置、前記エッジリングが前記位置に導入された時間、前記エッジリングが前記位置から取り出された時間、前記位置に移動する前の前記エッジリングの状態、前記位置から移動した後の前記エッジリングの前記状態、前記エッジリングの使用対象ツール、前記エッジリングの使用対象プロセスモジュール、または前記プロセスモジュール内の前記エッジリングの使用記録の1つまたは複数を含む、
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記エッジリング識別子を追跡することは、前記処理ステーションが位置する製作システムで維持されている部品追跡データベースを照会し、前記エッジリングの現在の位置を取得し、前記メタデータファイルを前記現在の位置で更新することをさらに含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記エッジリング識別子を追跡することは、
前記エッジリングキャリアから移送するための前記エッジリングの選択を検出し、
製作システムにおいて維持されている部品追跡データベースを照会し、前記製作システム内で、前記エッジリングを保持する前記エッジリングキャリアの現在の位置を決定し、
前記エッジリングキャリアの前記現在の位置が前記処理ステーションのロードポートにあるとき、前記エッジリング識別子に関連付けられている前記エッジリングが前記処理ステーション内のプロセスモジュールで使用されるエッジリングであることを確認し、前記確認は、前記エッジリングキャリアからの前記エッジリングの前記移送を許可するために使用されること
をさらに含む、方法。 - 請求項9に記載の方法であって、
前記確認が前記エッジリングは前記プロセスモジュールで使用されているものではないと決定したとき、前記エッジリングキャリアから移送するために選択された前記エッジリングの不一致を示すためにアラームを生成し、前記エッジリングキャリアからの前記エッジリングの移送を防止する、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記エッジリング識別子を追跡することは、
前記エッジリングキャリアから移送するための前記エッジリングの選択を検出し、
製作システム内で、前記エッジリングを保持する前記エッジリングキャリアの現在の位置を決定するために、前記製作システムにおいて維持されている部品追跡データベースを照会し、
前記エッジリングキャリアの前記現在の位置が前記処理ステーションのロードポートにあるとき、前記エッジリング識別子に関連付けられている前記エッジリングが前記処理ステーション内のプロセスモジュールで使用されるエッジリングであることを確認し、
前記エッジリングの残り使用寿命を決定するために、前記メタデータファイルで提供される前記エッジリングの寿命情報を分析し、前記分析は、前記残り使用寿命が前記処理ステーション内の前記プロセスモジュール内で製作操作を受けるのに十分であるとき、前記エッジリングキャリアからの前記エッジリングの移送を許可するために使用されること
をさらに含む、方法。 - 請求項11に記載の方法であって、
前記エッジリングの前記残り使用寿命が前記プロセスモジュールで前記製作操作を少なくとも1ラウンド実施するのに十分でないとき、前記プロセスモジュールに移送するために選択された前記エッジリングの残り使用寿命が不十分であることを示すためにアラームを生成し、前記エッジリングキャリアから前記処理ステーション内の前記プロセスモジュールへの前記エッジリングの移送を防止する、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記エッジリングに関連付けられている前記エッジリング識別子を追跡することは、前記エッジリングの残り使用寿命を決定するために前記メタデータファイルで提供される前記エッジリングの寿命情報を分析し、前記使用寿命は、前記エッジリングを前記処理ステーションから取り出す必要がある時期を決定するために使用されることを含む、方法。 - エッジリングを追跡するシステムであって、
前記システム内の前記エッジリングを追跡するように構成されたエッジリング実行システムであって、前記エッジリング実行システムは、
前記エッジリングが前記システムに受け取られ、エッジリングキャリアにロードされたときに、前記エッジリングのエッジリング識別子を受け取るためのエッジリング追跡モジュールと、
前記エッジリングキャリアの前記システム内における移動に応じて前記エッジリングキャリアの位置を追跡するエッジリングキャリア追跡モジュールと情報をやり取りし、前記エッジリングは前記エッジリングキャリアに割り当てられ、前記エッジリングキャリア追跡モジュールによって提供される情報は、前記システム内の前記エッジリングの現在の位置を決定するために使用され、
前記エッジリングが前記エッジリングキャリアに出し入れされるのに応じて、および前記システム内の処理ステーションに出し入れされるのに応じて前記エッジリングの情報を提供するように構成された製造実行システムと、前記製造実行システムによって提供される前記情報は、前記エッジリング実行システムが前記エッジリングのメタデータファイルを構築するために使用され、前記メタデータファイルは、前記システム内の前記エッジリングの寿命情報を提供すること
を備える、システム。 - 請求項14に記載のシステムであって、
前記エッジリング実行システムは、前記製造実行システムとは別体であり、前記エッジリング実行システムは、第1のサーバ上で実行され、前記製造実行システムは、前記システム内の第2のサーバ上で実行され、前記第1のサーバは、前記第2のサーバに通信可能に接続され、前記エッジリングの前記メタデータファイルを構築するために前記エッジリングに関連する情報をやりとりする、システム。 - 請求項15に記載のシステムであって、
前記第1のサーバおよび前記第2のサーバは、それぞれクラウドベースのサーバである、システム。 - 請求項14に記載のシステムであって、
前記エッジリング実行システムは、前記製造実行システムと統合され、前記製造実行システムは、前記システム内のサーバ上で実行されるように構成される、システム。 - 請求項14に記載のシステムであって、
前記エッジリング実行システムは、前記エッジリング識別子を、前記エッジリングキャリアのキャリア識別子および前記エッジリングがロードされる前記エッジリングキャリア内のスロットのスロット識別子とリンクさせることによって、前記エッジリングを前記エッジリングキャリアに割り当てるように構成されている、システム。 - 請求項14に記載のシステムであって、
前記エッジリングキャリアは、前記エッジリングが前記エッジリングキャリアに出し入れされるのに応じて前記エッジリング識別子を使用して前記エッジリングを追跡する1つまたは複数のセンサを含み、前記エッジリングキャリア内の前記1つまたは複数のセンサによって提供される情報は、前記製造実行システムによって処理され、前記エッジリング実行システムによって維持される前記エッジリングの前記メタデータファイルに更新を提供する、システム。 - 請求項14に記載のシステムであって、
前記処理ステーションは、複数のモジュールと、前記複数のモジュール内に分散された1つまたは複数のセンサとを含み、前記処理ステーション内の前記1つまたは複数のセンサによって提供される情報は、前記製造実行システムによって処理され、前記エッジリング実行システムによって維持される前記エッジリングの前記メタデータファイルに更新を提供する、システム。
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