CN111310870A - 晶圆盒检测系统及晶圆出货管理方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种晶圆盒检测系统及晶圆出货管理方法。晶圆盒检测系统用于对晶圆盒，尤其是装载有待出货晶圆的晶圆盒进行检测，包括检测平台和至少一个检测装置；晶圆盒放置于检测平台上，检测装置位于检测平台上，用于检测晶圆盒上是否有标签，以及对标签进行检测。本发明的晶圆盒检测系统，可以将装载有待出货晶圆的晶圆盒自动传送到检测平台上，检测装置可对位于检测平台上的晶圆盒进行自动检测，以确定晶圆盒的外表面是否按要求贴置有标签以及多个标签信息是否与出货信息一致，整个过程完全实现自动化，可以有效提高检测效率和准确率，降低人力成本。采用本发明的晶圆出货管理方法，可以提高出货的准确性，提高客户满意度。

Description

晶圆盒检测系统及晶圆出货管理方法

技术领域

本发明涉及晶圆制造领域，特别是涉及一种晶圆盒检测系统及晶圆出货管理方法。

背景技术

晶圆厂在完成晶圆制造后，通常将晶圆装载到出货专用的晶圆盒(front openshipping box，简称FOSB)内并连同晶圆盒一同发送到客户工厂。装载有晶圆的晶圆盒在从晶圆厂出货前还需进行最后一道出货确认流程，通常包括如下几个步骤：扫描晶圆盒的电子标签(通常为RFID标签)，以确认晶圆盒信息是否与系统中的出货信息相匹配；若匹配则打印出系统上对应的待出货晶圆的标签(通常为带二维码的标签)，并将标签贴置在晶圆盒的指定的多个位置；所有标签都贴好后再次扫描确认所有标签中的晶圆的批号信息(lotID)是否与出货信息相匹配，在完全匹配的情况下才将晶圆交付出货。在晶圆厂内，这个出货确认流程都是由工作人员手动操作完成，即工作人员对标签依次进行扫描并与系统中的信息一一比对，不仅工作效率低下，而且对多个位置的标签检测通常出现重复及/或遗漏操作，导致标签缺失及/或不匹配的情况时有发生，严重影响工作效率，导致客户投诉率和生产成本增加。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种晶圆盒检测系统，用于对晶圆盒进行检测，所述晶圆盒检测系统包括检测平台和至少一个检测装置；晶圆盒放置于所述检测平台上，所述检测装置位于所述检测平台上，用于检测所述晶圆盒上是否有标签，并对所述标签进行检测。

可选地，所述检测装置的数量与所述晶圆盒上的标签的数量相同。

可选地，所述晶圆盒检测系统还包括感应装置，位于所述检测平台上，用于感应所述检测平台上是否放置有晶圆盒，所述感应装置与所述检测装置相连接，以在所述感应装置感应到晶圆盒时，所述检测装置对所述晶圆盒进行检测。

可选地，所述晶圆盒检测系统还包括PLC控制器，所述PLC控制器与所述检测装置相连接。

可选地，所述检测装置的数量和所述晶圆盒的标签的数量均包括多个，晶圆盒放置于所述检测平台上时，晶圆盒上的多个所述标签的位置与多个所述检测装置的位置一一对应。

可选地，多个所述标签分别位于所述晶圆盒的第一侧面、第二侧面、第三侧面和上表面，其中，所述第一侧面为所述晶圆盒的开口所在的表面，所述第二侧面为与所述第一侧面相对的表面，所述第三侧面为所述晶圆盒的把手所在的表面，所述检测装置包括第一检测装置、第二检测装置、第三检测装置和第四检测装置，分别对应所述晶圆盒的第一侧面、第二侧面、第三侧面和上表面的标签。

可选地，所述晶圆盒检测系统还包括载台、第一固定柱和第二固定柱，所述载台位于所述检测平台的上表面，用于承载待检测的晶圆盒，所述第一固定柱和所述第二固定柱位于所述载台的相邻两侧，其中，所述第二检测装置和所述第四检测装置位于所述第一固定柱上，所述第四检测装置的垂直高度高于所述第二检测装置的垂直高度且所述第四检测装置在检测过程中朝向所述晶圆盒的上表面。

可选地，所述第一检测装置倾斜设置于所述检测平台内以使所述第一检测装置适于检测所述第一侧面的标签，所述第二检测装置、第三检测装置和第四检测装置均高于所述检测平台的上表面。

可选地，所述晶圆盒检测系统还包括传送带，所述传送带设置于所述检测平台对应所述第一检测装置所在的方向上，待检测的晶圆盒经由所述传送带被传送到所述检测平台上。

可选地，所述标签包括条形码标签，所述检测装置包括条形码扫描仪。

本发明还提供一种晶圆出货管理方法，包括步骤：提供前述任一方案中所述的晶圆盒检测系统；将晶圆盒传送到所述检测平台上，使用所述检测装置对所述晶圆盒的外表面进行检测，以确定所述晶圆盒的外表面是否有标签，以及所述标签信息是否与出货信息一致。

如上所述，本发明的晶圆盒检测系统及晶圆出货管理方法，具有以下有益效果：本发明的晶圆盒检测系统，可以将晶圆盒，尤其是装载有待出货晶圆的晶圆盒自动传送到检测平台上，检测装置可对位于检测平台上的晶圆盒进行自动检测，以确定晶圆盒的外表面是否按要求贴置有标签以及多个标签信息是否与出货信息一致，整个过程完全实现自动化，可以有效提高检测效率和准确率，降低人力成本。采用本发明的晶圆出货管理方法，可以提高出货的准确性，提高客户满意度。

附图说明

图1显示为本发明实施例一的晶圆盒检测系统的结构示意图。

图2显示为实施例一的对晶圆盒进行检测的示意图。

元件标号说明

11 晶圆盒

12 标签

21 检测平台

221 第一检测装置

222 第二检测装置

223 第三检测装置

224 第四检测装置

23 PLC控制器

24 中央控制器

251 第一固定柱

252 第二固定柱

26 感应装置

27 传送带

28 载台

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效。

请参阅图1至图2。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容所能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质技术内容的变更下，当亦视为本发明可实施的范畴。且出于使图面简洁的目的，本说明书的图示中对同样的结构一般不做重复标记。

实施例一

图1显示为本发明实施例一的晶圆盒检测系统的结构示意图。

如图1所示，本发明提供一种晶圆盒检测系统，用于对晶圆盒11，尤其是装载有待出货晶圆的晶圆盒11进行检测，所述晶圆盒11的外表面上通常按客户要求在指定位置贴有标签12，但由于工作人员的失误，可能出现标签11遗漏或标签信息有误甚至旧的标签未去除的情况。现有技术中，仅靠工作人员的手动操作很难发现错误，而本发明对此提出了一种有效的改善方案。具体地，所述晶圆盒检测系统包括检测平台21和至少一个检测装置；晶圆盒11，尤其是装载有待出货晶圆的晶圆盒11放置于所述检测平台21上，所述检测装置位于所述检测平台21上，用于检测所述晶圆盒11上是否有标签12，并对所述标签12进行检测。本发明的晶圆盒检测系统可对位于检测平台上的晶圆盒进行自动检测，以确定晶圆盒的外表面是否按要求贴置有标签以及多个标签信息是否与出货信息一致，整个过程完全实现自动化，可以有效提高检测效率和准确率，降低人力成本。需要说明的是，大部分晶圆厂家都是先将晶圆装载到晶圆盒内再在晶圆盒的外表面贴置标签，也有部分厂家是先在晶圆盒外表面贴好标签然后再装载晶圆，本发明适用这两种情况下的晶圆盒检测但本申请重点示意前一种情况的操作。

所述检测平台21的具体形状设置与待检测的晶圆盒11的形状相匹配，通常需有一放置晶圆盒11的水平面，以确保装载有晶圆的晶圆盒11以水平状态放置到所述检测平台21上。晶圆盒11的外表面上通常设置有多个贴置标签12的位置，这些位置通常是由客户指定且数量一般是固定的，而晶圆厂则根据客户需要在出货时将记载有出货晶圆的信息的标签12(比如包括晶圆批号，型号和数量等信息)贴置到这些指定位置，本发明尤其适用于晶圆出货前的最后一道检测，即待出货晶圆已经装载到晶圆盒11内且晶圆盒11的外表面的指定位置已经由工作人员按客户要求贴好标签12后，对这些标签12进行最后一道检测以确认所有指定的位置是否都贴置有标签12以及多个标签12信息是否一致且是否与厂内的MES系统(Manufacturing Execution System，制造企业生产过程执行系统)内的出货信息一致。

所述检测装置的种类可以根据需要设置，比如根据所述晶圆盒11上的标签12是二维码标签12或条形码标签12，所述检测装置可以对应选择二维码扫描仪或条形码扫描仪；所述检测装置的数量同样可以根据需要设置，以不多于待检测的标签12的数量，或者更准确的说是以不多于客户要求的标签数量为宜。本实施例中，作为示例，所述检测装置的数量与所述晶圆盒11上的标签12的数量相同(考虑到实际的标签12存在遗漏的情况，因而本说明书中提及的标签数量是指应该有的标签数量，即标签贴置位置的数量，通常单个标签贴置位置只贴置一个标签)，因而在晶圆盒11被放置到所述检测平台21上时，多个所述检测装置可以同时对多个标签贴置位置以及标签12进行检测，提高检测效率。当然，在其他示例中，所述检测装置的数量也可以仅为一个，通过所述检测装置的移动或所述晶圆盒11的移动(比如通过后续提及的载台28的旋转带动晶圆盒11的旋转)以利用单个所述检测装置实现对所有标签12的检测，这样的设置有利于所述晶圆盒检测系统的结构简化。当然，所述检测装置的具体设置还可以有其他选择，本实施例中不做严格限制。

作为示例，所述晶圆盒检测系统还包括PLC控制器23，所述PLC控制器23与所述检测装置相连接，用于对所述检测装置的检测结果进行存储及/或分析以确认标签12信息是否与待出货晶圆的信息相匹配。更进一步地，所述PLC控制器23还与中央控制器24，比如一电脑相连接，中央控制器24装载有MES系统，晶圆的出货信息记录在该MES系统上，所述检测装置检测到的信息汇总到所述PLC控制器23后，再与MES系统中的信息比对，比如比对检测到的多个标签12上的信息是否一致且标签12上的信息是否与MES系统中的信息相匹配。当然，该过程仅是示例性的，实际上根据选用的检测装置的型号不同，所述检测比对操作还可以有其他方式。比如所述检测装置可以自带存储器，预先存储有所有待出货晶圆的信息，因而检测和比对过程可以同时完成。所述晶圆盒检测系统还可以设置报警装置，所述报警装置可以与所述检测装置或所述PLC控制器23，亦或是所述中央控制器24相连接，以在检测到指定的标签位置未贴置有标签和/或多个标签12信息不一致和/或标签12信息与系统的出货信息存在差异时发出报警信息。所述报警装置可以是声光报警器或者是带通信功能的报警器，可以将报警信息以邮件或短信的方式推送给工作人员的值班手机和/或电脑上。

作为示例，所述检测装置的数量和所述晶圆盒11的标签12的数量均包括多个，晶圆盒11放置于所述检测平台21上时，晶圆盒11上的多个标签12的位置与多个所述检测装置的位置一一对应，即所述检测装置以一对一的方式对标签贴置位置以及标签12进行检测，可以提高检测效率。

作为示例，多个标签12分别位于所述晶圆盒11的第一侧面、第二侧面、第三侧面和上表面，其中，所述第一侧面为所述晶圆盒11的开口所在的表面，所述第二侧面为与所述第一侧面相对的表面，所述第三侧面为所述晶圆盒11的把手所在的表面，所述检测装置包括第一检测装置221、第二检测装置222、第三检测装置223和第四检测装置224，分别对应所述晶圆盒11的第一侧面、第二侧面、第三侧面和上表面的标签12，且所述标签12数量通常为4个，晶圆盒11的单个表面通常只设置一个需检测的标签12。当然，标签12的具体设置位置还可以有其他选择，重点是所述检测装置的位置需根据标签12的贴置位置而对应设置。

作为示例，所述晶圆盒检测系统还包括载台28、第一固定柱251和第二固定柱252，所述载台28位于所述检测平台21的上表面且具有一定高度，用于承载待检测的晶圆盒11，所述第一固定柱251和所述第二固定柱252位于所述检测平台21上且位于所述载台28的相邻两侧，其中，所述第二检测装置222和所述第四检测装置224位于所述第一固定柱251上，所述第四检测装置224的垂直高度高于所述第二检测装置222的垂直高度且所述第四检测装置224在检测过程中朝向所述晶圆盒11的上表面，这样的设置可以使所述晶圆检测系统结构更简化。当然，在其他示例中，所述第二检测装置222和所述第四检测装置224也可以位于不同的固定装置上，具体不限。且所述晶圆盒检测系统还可以包括旋转装置(未图示)，所述旋转装置与所述载台28相连接，以在需要时带动所述载台28旋转，以对位于所述载台28上的晶圆盒11进行旋转扫描，因而所述检测装置的数量可以少于标签12的数量。图2示意了晶圆盒11被放置到所述载台28上的状态。

作为示例，所述第一检测装置221倾斜设置于所述检测平台21内以使所述第一检测装置221适于检测所述第一侧面的标签12，所述第二检测装置222、第三检测装置223和第四检测装置224均高于所述检测平台21的上表面。在设置有所述载台28的情况下，所述第一检测装置221低于所述载台28的水平面，其具体倾斜角度根据位于所述晶圆盒11上表面的标签12的实际位置而确定，以能检测到该标签12为准，比如所述第一检测装置221在远离所述载台28的一端向上呈45度角倾斜，倾斜设置也可以避免所述第一检测装置221和所述晶圆盒11发生碰撞。

作为示例，所述晶圆盒检测系统还包括感应装置26，位于所述检测平台21上，用于感应所述检测平台21上是否放置有晶圆盒11，所述感应装置26与所述检测装置相连接，以在所述感应装置26感应到晶圆盒11时，所述检测装置对所述晶圆盒11进行检测。所述感应装置26的具体设置位置可以根据所述感应装置26的具体类型而定。比如，所述感应装置26可以是一重量感应器，可以设置于所述载台28内，因而当晶圆盒11被放置到所述载台28上时，所述感应装置26通过重量感应装置26可以立即感应到，在感应到所述晶圆盒11后所述检测装置随即开始对晶圆盒11进行检测。所述感应装置26也可以是接触式感应器，可以将其设置在所述检测平台21的周向的任何一个位置上，并且还可以通过固定装置将其固定，这样当晶圆盒11被放置到所述检测平台21上时，所述感应装置26通过接触感应感应到晶圆盒11后，所述检测装置随即开始对晶圆盒11进行检测。所述感应装置26的具体类型和安装位置还可以有其他选择，本实施例中不做严格限制。

作为示例，所述晶圆盒检测系统还包括传送带27，所述传送带27设置于所述检测平台21对应所述第一检测装置221所在的方向上，待检测的晶圆盒11经由所述传送带27被传送到所述检测平台21上。所述传送带27的另一端可以连接到晶圆厂内的其他位置，比如连接到仓库端的出货平台上，晶圆盒11在装载好晶圆并贴好标签12后通过所述传送带27被传送到所述检测平台21上，通过检测后即可准备出库。当然，在其他示例中，所述传送带27还可以位于其他方向上，只要确保晶圆盒11的转移过程中不会与其他部件之间发生碰撞，比如晶圆盒11还可以通过AMHS(自动搬送系统)从所述检测平台21的上方放到所述检测平台21上。

本发明的晶圆盒检测系统，可以将晶圆盒11，尤其是装载有待出货晶圆的晶圆盒11自动传送到检测平台21上，检测装置可对位于检测平台21上的晶圆盒11进行自动检测，以确定晶圆盒11的外表面是否按按要求贴置有标签12以及多个标签12信息是否与出货信息一致，整个过程完全实现自动化，可以有效提高检测效率和准确率，降低人力成本。

实施例二

本发明还提供一种晶圆出货管理方法，所述晶圆出货管理方法采用实施例一中所述的晶圆盒检测系统进行，故所述晶圆盒检测系统的具体结构请参考实施例一，出于简洁的目的本实施例中不再赘述。具体地，该晶圆出货管理方法的步骤为：将晶圆盒11，尤其是装载有待出货晶圆的晶圆盒11传送到所述检测平台21上，使用所述检测装置对所述晶圆盒11的外表面进行检测，以确定所述晶圆盒11的外表面是否有标签12，以及所述标签信息是否与出货信息一致。根据所述检测装置的数量不同，检测过程可以是一次或分多次进行。比如，如果所述检测装置的数量与晶圆盒11上的标签12贴置位置的数量完全一致，则多个所述检测装置可同时进行检测；如果仅有一个所述检测装置，则可以通过旋转所述检测装置或所述晶圆盒11以完成对所有标签贴置位置及标签12的检测，根据所述检测装置的具体型号不同，检测结果的分析可以由所述检测装置完成或者是由所述PLC控制器23，亦或是由所述中央控制器24进行。在检测到标签遗漏，即本应贴置标签12的位置没有贴置标签，以及/或多个标签之间的信息不一致或者标签信息与MES系统中的出货信息不一致时，所述晶圆盒检测系统发出报警信息；在检测到所有标签贴置位置都贴置有标签且标签信息无误的情况下，所述晶圆盒被传送到出货栈等待最终出货。当然，根据不同的出货流程，也可以在先确认所述晶圆盒11的外表面的所有标签贴置位置都按要求贴置好标签后再进行晶圆的装载，本实施例中不做严格限制。本发明的晶圆出货管理方法，在晶圆出货前进行最后一次全面检测，整个过程高度自动化，可以提高检测效率和准确性，避免因标签遗漏和/或不一致导致的客户退货和投诉，有利于降低成本，提高客户满意度。

综上所述，本发明提供一种晶圆盒检测系统和晶圆出货管理方法。晶圆盒检测系统用于对晶圆盒，尤其是装载有待出货晶圆的晶圆盒进行检测，包括检测平台和至少一个检测装置；晶圆盒放置于所述检测平台上，所述检测装置位于所述检测平台上，用于检测所述晶圆盒上是否有标签，并对所述标签进行检测。本发明的晶圆盒检测系统，可以将装载有待出货晶圆的晶圆盒自动传送到检测平台上，检测装置可自动对位于检测平台上的晶圆盒进行扫描检测，以确定晶圆盒的外表面是否按要求贴置有标签以及多个标签信息是否与出货信息一致，整个过程完全实现自动化，可以有效提高检测效率和准确率，降低人力成本。采用本发明的晶圆出货管理方法，可以提高出货的准确性，提高客户满意度。所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。

Claims (11)

1.一种晶圆盒检测系统，用于对晶圆盒进行检测，其特征在于，所述晶圆盒检测系统包括：检测平台，晶圆盒放置于所述检测平台上；

至少一个检测装置，位于所述检测平台上，用于检测所述晶圆盒上是否有标签，并对所述标签进行检测。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒检测系统，其特征在于：所述检测装置的数量与所述晶圆盒上的标签的数量相同。

3.根据权利要求1所述的晶圆盒检测系统，其特征在于：所述晶圆盒检测系统还包括感应装置，位于所述检测平台上，用于感应所述检测平台上是否放置有晶圆盒，所述感应装置与所述检测装置相连接，以在所述感应装置感应到晶圆盒时，所述检测装置对所述晶圆盒进行检测。

4.根据权利要求1所述的晶圆盒检测系统，其特征在于：所述晶圆盒检测系统还包括PLC控制器，所述PLC控制器与所述检测装置相连接。

5.根据权利要求2所述的晶圆盒检测系统，其特征在于：所述检测装置的数量和所述晶圆盒的标签的数量均包括多个，晶圆盒放置于所述检测平台上时，晶圆盒上的多个所述标签的位置与多个所述检测装置的位置一一对应。

6.根据权利要求5所述的晶圆盒检测系统，其特征在于：多个所述标签分别位于所述晶圆盒的第一侧面、第二侧面、第三侧面和上表面，其中，所述第一侧面为所述晶圆盒的开口所在的表面，所述第二侧面为与所述第一侧面相对的表面，所述第三侧面为所述晶圆盒的把手所在的表面，所述检测装置包括第一检测装置、第二检测装置、第三检测装置和第四检测装置，分别对应所述晶圆盒的第一侧面、第二侧面、第三侧面和上表面的标签。

7.根据权利要求6所述的晶圆盒检测系统，其特征在于：所述晶圆盒检测系统还包括载台、第一固定柱和第二固定柱，所述载台位于所述检测平台的上表面，用于承载待检测的晶圆盒，所述第一固定柱和所述第二固定柱位于所述载台的相邻两侧，其中，所述第二检测装置和所述第四检测装置位于所述第一固定柱上，所述第四检测装置的垂直高度高于所述第二检测装置的垂直高度且所述第四检测装置在检测过程中朝向所述晶圆盒的上表面。

8.根据权利要求6所述的晶圆盒检测系统，其特征在于：所述第一检测装置倾斜设置于所述检测平台内以使所述第一检测装置适于检测所述第一侧面的标签，所述第二检测装置、第三检测装置和第四检测装置均高于所述检测平台的上表面。

9.根据权利要求8所述的晶圆盒检测系统，其特征在于：所述晶圆盒检测系统还包括传送带，所述传送带设置于所述检测平台对应所述第一检测装置所在的方向上，待检测的晶圆盒经由所述传送带被传送到所述检测平台上。

10.根据权利要求1至9任一项所述的晶圆盒检测系统，其特征在于：所述标签包括条形码标签，所述检测装置包括条形码扫描仪。

11.一种晶圆出货管理方法，其特征在于：包括如下步骤：

提供如权利要求1至10中任一项所述的晶圆盒检测系统；

将晶圆盒传送到所述检测平台上，使用所述检测装置对所述晶圆盒的外表面进行检测，以确定所述晶圆盒的外表面是否有标签，以及所述标签信息是否与出货信息一致。

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