WO2022193339A1 - 晶圆载具的开合装置 - Google Patents

晶圆载具的开合装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2022193339A1
WO2022193339A1 PCT/CN2021/082334 CN2021082334W WO2022193339A1 WO 2022193339 A1 WO2022193339 A1 WO 2022193339A1 CN 2021082334 W CN2021082334 W CN 2021082334W WO 2022193339 A1 WO2022193339 A1 WO 2022193339A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
opening
closing device
clamping
wafer carrier
support platform
Prior art date
Application number
PCT/CN2021/082334
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
陈定操
程博文
蒋孝恩
Original Assignee
台湾积体电路制造股份有限公司
台积电(中国)有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 台湾积体电路制造股份有限公司, 台积电(中国)有限公司 filed Critical 台湾积体电路制造股份有限公司
Publication of WO2022193339A1 publication Critical patent/WO2022193339A1/zh

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches

Definitions

  • wafers are typically placed into cassettes, which are placed into carriers to facilitate handling in the fab.
  • wafers are frequently taken and placed from the carrier, and how to quickly open the carrier and improve the manufacturing efficiency has become an urgent technical problem to be solved.
  • the clamping arm includes: a base plate, connected to the second power mechanism; a stopper, fixed to the base plate; a spring shaft, extending along the length direction, and one end of the spring shaft is fixed to the stopper; a slider, slidably connected to the spring shaft; the spring is sleeved on the spring shaft, and the two ends of the spring are respectively connected to the block and the sliding block; the transmission plate is connected to the sliding block, and the transmission plate is located on the side of the base plate facing the clamping block and extends along the length The direction is slidably connected to the base plate, and the clamping block is connected to the transmission plate.
  • one of the first positioning blocks is configured to be movable in the longitudinal direction, and the other first positioning block is fixed to the support platform.
  • the opening and closing device of the embodiment of the present application can automatically realize the opening and closing of the wafer carrier, which facilitates the taking and placing of the wafer and improves the production efficiency.
  • the opening and closing device of the embodiment of the present application can also be used to open wafer carriers of various specifications, and has good applicability.
  • FIG. 1 is a schematic structural diagram of an opening and closing device and a wafer carrier according to an embodiment of the present application
  • FIG. 1 is a schematic structural diagram of an opening and closing device and a wafer carrier according to an embodiment of the present application
  • FIG. 2 is a structural schematic diagram of an opening and closing device according to an embodiment of the present application.
  • the opening and closing device of the embodiment of the present application includes a base 1 , a support platform 2 , a first power mechanism 3 , a second power mechanism 4 and two clamping mechanisms 5 .
  • the two clamping mechanisms 5 are arranged opposite to each other along the transverse direction X. As shown in FIG. Each clamping mechanism 5 includes a clamping arm 51 and a clamping block 52 located inside the clamping arm 51 .
  • the clamping block 52 is connected to the clamping arm 51 and can slide along the length direction L of the clamping arm 51 .
  • One end of the clamping arm 51 is connected to the second power mechanism 4 , and the clamping block 52 is disposed near the other end of the clamping arm 51 .
  • 3 to 7 are respectively simplified schematic diagrams of the opening and closing device in the process of opening the wafer carrier according to the embodiment of the present application.
  • one of the first positioning blocks 61 is configured to be able to move along the longitudinal direction Y, and the other first positioning block 61 is fixed to the support platform 2 .
  • the first positioning block 61 fixed on the support platform 2 can be used as a positioning reference, and the movable first positioning block 61 is used to push the wafer carrier 9 so that the wafer carrier 9 is clamped between the two first positioning blocks 61 . and realize the positioning of the wafer carrier 9 in the longitudinal direction Y.
  • the second power mechanism 4 drives the clamping arm 51 to rotate (eg, rotate counterclockwise), so that the two clamping blocks 52 move to the position of the upper box cover 92 along the lateral direction X. sides. Then, the second power mechanism 4 drives the two clamping arms 51 to move, and the two clamping arms 51 approach each other, so that the two clamping blocks 52 clamp the upper tank cover 92 from both sides of the transverse direction X. As shown in FIG. 6 , after the wafer carrier 9 is positioned, the second power mechanism 4 drives the clamping arm 51 to rotate (eg, rotate counterclockwise), so that the two clamping blocks 52 move to the position of the upper box cover 92 along the lateral direction X. sides. Then, the second power mechanism 4 drives the two clamping arms 51 to move, and the two clamping arms 51 approach each other, so that the two clamping blocks 52 clamp the upper tank cover 92 from both sides of the transverse direction X. As shown in FIG.
  • the sensing mechanism includes a first sensor 81 disposed on the support platform 2 , and the first sensor 81 is used to detect the position of the wafer carrier 9 .
  • the first sensor 81 is used to detect whether the wafer carrier 9 is placed on the support platform 2 .
  • the clamping arm 51 includes a base plate 511 , a stopper 512 , a spring shaft 513 , a slider 514 , a spring 515 and a transmission plate 516 .
  • the base plate 511 is connected to the second power mechanism 4, and the second power mechanism 4 is used to drive the base plate 511 to move along the lateral direction X and to drive the base plate 511 to rotate.
  • the stopper 512 is fixed to the base plate 511 .
  • the spring shaft 513 extends along the longitudinal direction L, and one end of the spring shaft 513 is fixed to the stopper 512 .
  • the transmission plate 516 is connected to the slider 514 .
  • the transmission plate 516 is located on the side of the base plate 511 facing the clamping block 52 and is slidably connected to the base plate 511 along the length direction L, and the clamping block 52 is connected to the transmission plate 516 .
  • a guide rail 510 extending along the length direction L is fixed on the base plate 511 , and the transmission plate 516 is slidably connected to the guide rail 510 .
  • the block 512 , the spring shaft 513 , the slider 514 and the spring 515 are arranged on one side of the base plate 511 , and the transmission plate 516 is arranged at the other side of the base plate 511 .
  • the clamping arm 51 further includes an adapter plate 519 , and the adapter plate 519 bypasses the base plate 511 from the outside and connects the slider 514 and the transmission plate 516 .
  • FIG. 10 is a schematic structural diagram of a support platform of an opening and closing device according to an embodiment of the present application.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

一种晶圆载具的开合装置。开合装置包括：基座（1）；支撑平台（2），设置于基座（1）上且用于承载晶圆载具（9）；第一动力机构（3），连接于支撑平台（2）且用于驱动支撑平台（2）沿上下方向移动；第二动力机构（4），设置于基座（1）上且位于支撑平台（2）沿纵向的一侧；两个夹持机构（5），沿横向相对设置，各夹持机构（5）包括夹持臂（51）和位于夹持臂（51）内侧的夹块（52），夹块（52）连接于夹持臂（51）且能够沿夹持臂（51）的长度方向滑动，夹持臂（51）的一端连接于第二动力机构（4）。第二动力机构（4）用于驱动夹持臂（51）转动和驱动夹持臂（51）沿横向移动，以将两个夹块（52）移动到晶圆载具（9）沿横向的两侧并夹紧晶圆载具（9）。

Description

晶圆载具的开合装置
相关申请的交叉引用
本申请要求享有于2021年03月19日提交的名称为“晶圆载具的开合装置”的中国专利申请202120570708.6的优先权，该申请的全部内容通过引用并入本文中。
技术领域
本申请涉及半导体领域，特别是涉及一种晶圆载具的开合装置。
背景技术
传统的半导体制造工厂通常包含必要的制造机台，用以处理半导体晶圆，诸如曝光、化学机械研磨或化学气相沉积。在制造过程中，半导体晶圆需要通过一系列的各式各样的机台，用以完成制造步骤。
多个晶圆通常放置到卡匣(cassette)内，而卡匣会被放入载具中，以利于在厂房中搬运。在制造过程中，晶圆要频繁地从载具中取放，而如何快速打开载具，提高制造效率，成为亟待解决的技术问题。
发明内容
本申请提供一种晶圆载具的开合装置，能够自动实现晶圆载具的开合。
本申请提出了一种晶圆载具的开合装置，其包括：基座；支撑平台，设置于基座上且用于承载晶圆载具；第一动力机构，连接于支撑平台且用于驱动支撑平台沿上下方向移动；第二动力机构，设置于基座上且位于支撑平台沿纵向的一侧；两个夹持机构，沿横向相对设置，各夹持机构包括夹持臂和位于夹持臂内侧的夹块，夹块连接于夹持臂且能够沿夹持臂的长度方向滑动，夹持臂的一端连接于第二动力机构。第二动力机构用于驱动夹持臂转动和驱动夹持臂沿横向移动，以将两个夹块移动到晶圆载具沿横向的两侧并夹紧晶圆载具。
在一些实施例中，夹持臂包括：基板，连接于第二动力机构；挡块， 固定于基板；弹簧轴，沿长度方向延伸，且弹簧轴一端固定于挡块；滑块，可滑动地连接于弹簧轴；弹簧，套设在弹簧轴上，且弹簧的两端分别连接于挡块和滑块；传动板，连接于滑块，传动板位于基板的面向夹块的一侧并沿长度方向可滑动地连接于基板，且夹块连接于传动板。
在一些实施例中，夹持臂还包括外壳和连接柱，外壳连接于基板，挡块、弹簧轴、滑块、弹簧以及传动板容纳于外壳内。外壳设置有沿长度方向延伸的导向孔，连接柱的一端连接于传动板，连接柱的另一端穿过导向孔并连接于夹块。
在一些实施例中，夹块可转动地连接于连接柱。
在一些实施例中，夹块为弹性块。
在一些实施例中，开合装置还包括设置于支撑平台的定位机构。定位机构包括沿纵向相对设置的两个第一定位块，两个第一定位块凸出于支撑平台。两个第一定位块配置为能够沿纵向相对移动。
在一些实施例中，一个第一定位块配置为能够沿纵向移动，另一个第一定位块固定于支撑平台。
在一些实施例中，定位机构还包括沿横向相对设置的两个第二定位块，两个第二定位块凸出于支撑平台。两个第二定位块配置为能够沿横向移动。
在一些实施例中，支撑平台包括上支撑板和连接于上支撑板的下支撑板，下支撑板连接于第一动力机构，上支撑板用于承载晶圆载具。开合装置还包括第三动力机构，第三动力机构设置于上支撑板和下支撑板之间且连接于一个第一定位块和两个第二定位块，以驱动一个第一定位块沿纵向移动、两个第二定位块沿横向移动。上支撑板设置有三个通孔，一个第一定位块和两个第二定位块分别经由三个通孔伸出到上支撑板的上侧。
在一些实施例中，开合装置还包括：传感器，设置于支撑平台上，且传感器用于检测晶圆载具是否放置到支撑平台上。
本申请实施例的开合装置能够自动实现晶圆载具的开合，便于晶圆的取放，提高生产效率。本申请实施例的开合装置还能够用于打开多种规格的晶圆载具，具有较好的适用性。
附图说明
下面将参考附图来描述本申请示例性实施例的特征、优点和技术效果。
图1为根据本申请一实施例的开合装置和晶圆载具的结构示意图；
图2为根据本申请一实施例的开合装置的结构示意图；
图3至图7分别为本申请实施例的开合装置在打开晶圆载具的过程中的简化示意图；
图8为根据本申请一实施例的开合装置的夹持机构的局部示意图；
图9为根据本申请具体实施例的开合装置的夹持机构的结构示意图；
图10为根据本申请一实施例的开合装置的支撑平台的结构示意图。
在附图中，附图未必按照实际的比例绘制。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本申请的实施方式作进一步详细描述。以下实施例的详细描述和附图用于示例性地说明本申请的原理，但不能用来限制本申请的范围，即本申请不限于所描述的实施例。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有说明，“多个”的含义是两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或组件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。“垂直”并不是严格意义上的垂直，而是在误差允许范围之内。“平行”并不是严格意义上的平行，而是在误差允许范围之内。
在本申请中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本申请所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
在本申请的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连 接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可视具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
在半导体的制造过程中，多个晶圆通常放置到卡匣(cassette)内，而卡匣会被放入晶圆载具中，以利于在厂房中搬运。本申请实施例提供的开合装置用于打开晶圆载具，以便于晶圆的取放。
图1为根据本申请一实施例的开合装置和晶圆载具的结构示意图；图2为根据本申请一实施例的开合装置的结构示意图。
如图1和图2所示，本申请实施例的开合装置包括基座1、支撑平台2、第一动力机构3、第二动力机构4和两个夹持机构5。
基座1可固定于厂房的机架上。示例性地，基座1可为方形。
支撑平台2设置于基座1上且用于承载晶圆载具9。在一些实施例中，支撑平台2沿上下方向Z可滑动地连接于基座1。晶圆载具9为箱体结构，示例性地，晶圆载具9包括下箱体91和上箱盖92，下箱体91和上箱盖92之间形成用于容纳卡匣的空间。下箱体91和上箱盖92可通过转轴相连接，通过翻转上箱盖92，可以实现晶圆载具9的打开和闭合。
第一动力机构3连接于支撑平台2且用于驱动支撑平台2沿上下方向Z移动。第一动力机构3安装在基座1的下方，支撑平台2位于基座1的上方，第一动力机构3经由穿过基座1的连杆连接于支撑平台2。第一动力机构3可为电机或气缸。
第二动力机构4设置于基座1上且位于支撑平台2沿纵向Y的一侧。第二动力机构4和支撑平台2沿纵向Y间隔设置。
两个夹持机构5沿横向X相对设置。各夹持机构5包括夹持臂51和位于夹持臂51内侧的夹块52，夹块52连接于夹持臂51且能够沿夹持臂51的长度方向L滑动。夹持臂51的一端连接于第二动力机构4，夹块52靠近夹持臂51的另一端设置。
第二动力机构4用于驱动夹持臂51转动和驱动夹持臂51沿横向X移动，以将两个夹块52移动到晶圆载具9沿横向X的两侧并夹紧晶圆载具9。在一些实施例中，第二动力机构4可包括气缸和电机，气缸固定于基座 1，电机连接于气缸，气缸用于驱动电机沿横向X移动；电机与夹持臂51相连，且用于驱动夹持臂51转动。
图3至图7分别为本申请实施例的开合装置在打开晶圆载具的过程中的简化示意图。
参照图3，当需要打开晶圆载具9时，第二动力机构4可以驱动夹持臂51转动，以使夹持臂51倾斜，降低夹持臂51的高度。同时，第一动力机构3也可驱动支撑平台2向上移动。然后，外部的机械手可以将晶圆载具9放置到支撑平台2上。在本申请实施例中，支撑平台2可以上下移动，所以在放置晶圆载具9的过程中，通过升高支撑平台2，可避免第二动力机构4和夹持机构5与机械手干涉。
在一些实施例中，用于传送晶圆载具9的装置可以设置于第二动力机构4的背离支撑平台2的一侧，机械手可以越过第二动力机构4并将晶圆载具9放置到支撑平台2上。
如图4所示，当晶圆载具9放置到支撑平台2上之后，第一动力机构3驱动支撑平台2向下移动，以将支撑平台2回到初始位置。在一些实施例中，第二动力机构4可以驱动夹持臂51顺时针转动，以使夹持臂51抬起。
如图5所示，在一些实施例中，开合装置还包括设置于支撑平台2的定位机构6，定位机构6用于实现晶圆载具9在支撑平台2上的定位。
在一些实施例中，定位机构6包括沿纵向Y相对设置的两个第一定位块61，两个第一定位块61凸出于支撑平台2。两个第一定位块61配置为能够沿纵向Y相对移动。
当晶圆载具9放置到支撑平台2上且支撑平台2回到初始位置时，两个第一定位块61相对移动，以使两个第一定位块61从纵向Y的两侧夹紧下箱体91，实现下箱体91的固定。
在一些实施例中，一个第一定位块61配置为能够沿纵向Y移动，另一个第一定位块61固定于支撑平台2。固定于支撑平台2的第一定位块61可作为定位基准，能够移动的第一定位块61用于推动晶圆载具9，使晶圆载具9夹紧在两个第一定位块61之间，并实现晶圆载具9在纵向Y上的定位。
在一些实施例中，定位机构6还包括沿横向X相对设置的两个第二定位块62，两个第二定位块62凸出于支撑平台2。两个第二定位块62配置为能够沿横向X移动。
当晶圆载具9放置到支撑平台2上且支撑平台2回到初始位置时，两个第二定位块62相对移动，以使两个第二定位块62从横向X的两侧夹紧下箱体91，实现下箱体91的固定。
如图6所示，当晶圆载具9定位后，第二动力机构4驱动夹持臂51转动(例如逆时针转动)，以使两个夹块52移动到上箱盖92沿横向X的两侧。然后，第二动力机构4驱动两个夹持臂51移动，两个夹持臂51彼此靠近，进而使两个夹块52从横向X的两侧夹紧上箱盖92。
如图7所示，当两个夹块52从两侧夹紧上箱盖92后，第二动力机构4驱动夹持臂51转动(例如顺时针转动)，进而经由两个夹块52带动上箱盖92转动，打开上箱盖92。
上箱盖92的转动轴和夹持臂51的转动轴不一致，如果夹块52固定于夹持臂51，那么在打开上箱盖92的过程中，夹块52会相对于上箱盖92滑动。而在本申请实施例中，夹块52可滑动地连接于夹持臂51；在打开上箱盖92的过程中，上箱盖92带动夹块52沿夹持臂51的长度方向L滑动，以自动调整夹块52与夹持臂51的转动轴的间距，保证上箱盖92与夹块52的接触点固定，避免上箱盖92与夹块52相对滑动。
另外，本申请实施例可以在打开上箱盖92的过程中，自动调整夹块52与夹持臂51的转动轴的间距，所以，本申请实施例的开合装置能够用于打开多种规格的晶圆载具9。
完成晶圆的取放后，第二动力机构4驱动夹持臂51转动(例如逆时针转动)，重新将上箱盖92盖合到下箱体91上。
综上所述，本申请实施例的开合装置能够自动实现晶圆载具9的开合，便于晶圆的取放，提高生产效率。本申请实施例的开合装置还能够用于打开多种规格的晶圆载具9，具有较好的适用性。
请重新参照图2，本申请的开合装置还包括感应机构，用于检测晶圆载具9的状态。
在一些实施例中，感应机构包括第一传感器81，设置于支撑平台2上，且第一传感器81用于检测晶圆载具9的位置。示例性地，第一传感器81用于检测晶圆载具9是否放置到支撑平台2上。
在一些实施例中，感应机构还包括第二传感器82，第二传感器82设置于第二动力机构4上，且第二传感器82用于检测上箱盖92是否翻转到设定状态。
在一些实施例中，感应机构还包括检测器83，检测器83固定于基座1上，且用于检测晶圆载具9内是否放置有卡匣。
图8为根据本申请一实施例的开合装置的夹持机构的局部示意图；图9为根据本申请具体实施例的开合装置的夹持机构的结构示意图。
如图8和图9所示，在一些实施例中，夹持臂51包括基板511、挡块512、弹簧轴513、滑块514、弹簧515和传动板516。基板511连接于第二动力机构4，第二动力机构4用于驱动基板511沿横向X移动和驱动基板511转动。挡块512固定于基板511。弹簧轴513沿长度方向L延伸，且弹簧轴513一端固定于挡块512。滑块514可滑动地连接于弹簧轴513；示例性地，弹簧轴513从滑块514穿过。弹簧515套设在弹簧轴513上，且弹簧515的两端分别连接于挡块512和滑块514。
传动板516连接于滑块514，传动板516位于基板511的面向夹块52的一侧并沿长度方向L可滑动地连接于基板511，且夹块52连接于传动板516。在一些示例中，基板511上固定有沿长度方向L延伸的导轨510，传动板516可滑动地连接于导轨510。
在一些实施例中，挡块512、弹簧轴513、滑块514和弹簧515设置于基板511的一侧，传动板516设置于基板511的另一侧。夹持臂51还包括转接板519，转接板519从外侧绕过基板511并连接滑块514和传动板516。
在图6中，当夹块52夹紧上箱盖92时，弹簧515处于正常状态。在图7中，在打开上箱盖92的过程中，夹块52可以沿着长度方向L移动，并通过传动板516和滑块514拉伸或压缩弹簧515。
在一些实施例中，夹持臂51还包括外壳517和连接柱518，外壳517连接于基板511，挡块512、弹簧轴513、滑块514、弹簧515以及传动板 516容纳于外壳517内。示例性地，外壳517由两个壳体扣合而成。
外壳517设置有沿长度方向L延伸的导向孔517a，连接柱518的一端连接于传动板516，连接柱518的另一端穿过导向孔517a并连接于夹块52。在打开上箱盖92的过程中，连接柱518可以沿着导向孔517a滑动。
在一些实施例中，夹块52可转动地连接于连接柱518。在打开上箱盖92的过程中，夹块52可以适应性地转动，避免夹块52相对于上箱盖92移动。
在一些实施例中，夹块52为弹性块。在夹紧上箱盖92的过程中，弹性块可以起到缓冲作用，避免夹块52压伤上箱盖92。夹块52的材质为非金属材料。示例性地，夹块52为橡胶块。
图10为根据本申请一实施例的开合装置的支撑平台的结构示意图。
如图10所示，在一些实施例中，支撑平台2包括上支撑板21和连接于上支撑板21的下支撑板22。示例性地，上支撑板21和下支撑板22沿上下方向Z间隔设置，上支撑板21和下支撑板22通过两者之间的连接板相连。
下支撑板22连接于第一动力机构3。第一动力机构3用于驱动下支撑板22沿上下方向Z移动。上支撑板21用于承载晶圆载具9。上支撑板21大体为平板，其上设置有第一传感器81。
在一些实施例中，开合装置还包括第三动力机构7，第三动力机构7设置于上支撑板21和下支撑板22之间且连接于一个第一定位块61和两个第二定位块62，以驱动一个第一定位块61沿纵向Y移动、两个第二定位块62沿横向X移动。
在一些实施例中，第三动力机构7包括三个驱动件71，一个驱动件71连接于一个第一定位块61并驱动第一定位块61沿纵向Y移动，两个驱动件71分别连接于两个第二定位块62并用于驱动第二定位块62沿横向X移动。
在一些实施例中，上支撑板21设置有三个通孔211，一个第一定位块61和两个第二定位块62分别经由三个通孔211伸出到上支撑板21的上侧。第一定位块61能够在对应的通孔211内沿纵向Y移动，第二定位块62能 够在对应的通孔211内沿横向X移动。
虽然已经参考优选实施例对本申请进行了描述，但在不脱离本申请的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件，尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本申请并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

Claims (10)

  1. 一种晶圆载具的开合装置，包括：
    基座；
    支撑平台，设置于所述基座上且用于承载晶圆载具；
    第一动力机构，连接于所述支撑平台且用于驱动所述支撑平台沿上下方向移动；
    第二动力机构，设置于所述基座上且位于所述支撑平台沿纵向的一侧；
    两个夹持机构，沿横向相对设置，各所述夹持机构包括夹持臂和位于所述夹持臂内侧的夹块，所述夹块连接于所述夹持臂且能够沿所述夹持臂的长度方向滑动，所述夹持臂的一端连接于所述第二动力机构；所述第二动力机构用于驱动所述夹持臂转动和驱动所述夹持臂沿所述横向移动，以将两个所述夹块移动到所述晶圆载具沿所述横向的两侧并夹紧所述晶圆载具。
  2. 根据权利要求1所述的开合装置，其中，所述夹持臂包括：
    基板，连接于所述第二动力机构；
    挡块，固定于所述基板；
    弹簧轴，沿所述长度方向延伸，且所述弹簧轴一端固定于所述挡块；
    滑块，可滑动地连接于所述弹簧轴；
    弹簧，套设在所述弹簧轴上，且所述弹簧的两端分别连接于所述挡块和所述滑块；
    传动板，连接于所述滑块，所述传动板位于所述基板的面向所述夹块的一侧并沿所述长度方向可滑动地连接于所述基板，且所述夹块连接于所述传动板。
  3. 根据权利要求2所述的开合装置，其中，
    所述夹持臂还包括外壳和连接柱，所述外壳连接于所述基板，所述挡块、所述弹簧轴、所述滑块、所述弹簧以及所述传动板容纳于所述外壳内；
    所述外壳设置有沿所述长度方向延伸的导向孔，所述连接柱的一端连 接于所述传动板，所述连接柱的另一端穿过所述导向孔并连接于所述夹块。
  4. 根据权利要求3所述的开合装置，其中，所述夹块可转动地连接于所述连接柱。
  5. 根据权利要求4所述的开合装置，其中，所述夹块为弹性块。
  6. 根据权利要求1所述的开合装置，其中，所述开合装置还包括设置于所述支撑平台的定位机构；
    所述定位机构包括沿所述纵向相对设置的两个第一定位块，两个所述第一定位块凸出于所述支撑平台；
    两个所述第一定位块配置为能够沿所述纵向相对移动。
  7. 根据权利要求6所述的开合装置，其中，一个所述第一定位块配置为能够沿所述纵向移动，另一个所述第一定位块固定于所述支撑平台。
  8. 根据权利要求7所述的开合装置，其中，
    所述定位机构还包括沿所述横向相对设置的两个第二定位块，两个所述第二定位块凸出于所述支撑平台；
    两个所述第二定位块配置为能够沿所述横向移动。
  9. 根据权利要求8所述的开合装置，其中，
    所述支撑平台包括上支撑板和连接于所述上支撑板的下支撑板，所述下支撑板连接于所述第一动力机构，所述上支撑板用于承载所述晶圆载具；
    所述开合装置还包括第三动力机构，所述第三动力机构设置于所述上支撑板和所述下支撑板之间且连接于一个所述第一定位块和两个所述第二定位块，以驱动一个所述第一定位块沿所述纵向移动、两个所述第二定位块沿所述横向移动；
    所述上支撑板设置有三个通孔，一个所述第一定位块和两个所述第二定位块分别经由三个所述通孔伸出到所述上支撑板的上侧。
  10. 根据权利要求1所述的开合装置，其中，所述开合装置还包括：
    传感器，设置于所述支撑平台上，且所述传感器用于检测所述晶圆载 具是否放置到所述支撑平台上。
PCT/CN2021/082334 2021-03-19 2021-03-23 晶圆载具的开合装置 WO2022193339A1 (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202120570708.6 2021-03-19
CN202120570708.6U CN213184234U (zh) 2021-03-19 2021-03-19 晶圆载具的开合装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2022193339A1 true WO2022193339A1 (zh) 2022-09-22

Family

ID=75782310

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/CN2021/082334 WO2022193339A1 (zh) 2021-03-19 2021-03-23 晶圆载具的开合装置

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN213184234U (zh)
WO (1) WO2022193339A1 (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116619443B (zh) * 2023-05-29 2024-04-26 江苏道达智能科技有限公司 一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置
CN117276162B (zh) * 2023-11-22 2024-03-22 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司 一种等离子体处理设备

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040150150A1 (en) * 2003-01-15 2004-08-05 Smc Corporation Clamping device
CN101459101A (zh) * 2009-01-09 2009-06-17 富创得科技（沈阳）有限公司 翻转式晶圆自动传输装置
US20180065222A1 (en) * 2015-04-13 2018-03-08 Dmg Mori Co., Ltd. Workpiece attachment/removal device
CN210339565U (zh) * 2019-07-02 2020-04-17 库卡机器人制造（上海）有限公司 自动导引运输车、机器人及其夹持装置
CN211332321U (zh) * 2019-12-27 2020-08-25 立讯智造(浙江)有限公司 一种载具开启机构
CN112234008A (zh) * 2020-09-03 2021-01-15 北京烁科精微电子装备有限公司 用于晶圆的夹取及传输机构、cmp抛光设备

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040150150A1 (en) * 2003-01-15 2004-08-05 Smc Corporation Clamping device
CN101459101A (zh) * 2009-01-09 2009-06-17 富创得科技（沈阳）有限公司 翻转式晶圆自动传输装置
US20180065222A1 (en) * 2015-04-13 2018-03-08 Dmg Mori Co., Ltd. Workpiece attachment/removal device
CN210339565U (zh) * 2019-07-02 2020-04-17 库卡机器人制造（上海）有限公司 自动导引运输车、机器人及其夹持装置
CN211332321U (zh) * 2019-12-27 2020-08-25 立讯智造(浙江)有限公司 一种载具开启机构
CN112234008A (zh) * 2020-09-03 2021-01-15 北京烁科精微电子装备有限公司 用于晶圆的夹取及传输机构、cmp抛光设备

Also Published As

Publication number Publication date
CN213184234U (zh) 2021-05-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2022193339A1 (zh) 晶圆载具的开合装置
US8395136B2 (en) Positional deviation detection apparatus and process system employing the same
US6581264B2 (en) Transportation container and method for opening and closing lid thereof
US20130180448A1 (en) Substrate transfer device and substrate processing system
US8277165B2 (en) Transfer mechanism with multiple wafer handling capability
US8011874B2 (en) Transfer apparatus
KR101599086B1 (ko) 기판 위치 결정 장치, 기판 처리 장치, 기판 위치 결정 방법, 및 프로그램을 기록한 기억 매체
CN112234008A (zh) 用于晶圆的夹取及传输机构、cmp抛光设备
JP4727393B2 (ja) 基板把持ハンド装置と基板把持方法及びそれを用いた基板搬送装置並びに基板処理装置
US10658216B2 (en) Transfer system and transfer method
JP2002151568A (ja) 被処理体の処理システム及び搬送方法
JP2010165706A (ja) ウェハのアライメント装置
JP2008235845A (ja) 処理装置
KR20070014277A (ko) 반도체 제조설비
JP2004527911A (ja) プリアライナー及び格納ポッド・アクセス機構を備える集積回路基板ハンドラー
WO2022193344A1 (zh) 晶圆载具的存储装置
JPH11284059A (ja) 半導体ウェハ把持装置
JP4858070B2 (ja) ウェハのアライナー装置およびそれを備えたウェハ搬送システム、半導体製造装置
JP6080119B2 (ja) アライナ装置
WO2019073823A1 (ja) ポッドオープナー
KR20070059528A (ko) 기판감지센서를 가지는 기판이송수단
CN219649929U (zh) 用于搬运晶圆料盒的夹爪及机械手
JP6640923B2 (ja) 基板搬送ロボット
US20080019804A1 (en) Container Opening-Closing Apparatus and Container-Placement-Position Adjustment Method for the Same
JP2010082742A (ja) ウェーハ搬送ロボット及びウェーハ搬送装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 21930928

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 21930928

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1