CN105083979A - 搬运装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种搬运装置，该搬运装置不变更装置构成即可进行各种各样的形状或大小的搬运容器的搬运，并且，可由简单的装置结构防止搬运容器内的工件跳出。顶棚搬运车(10)具备对收纳工件的盒(80)进行把持的夹持装置(20)，在夹持装置(20)对盒(80)进行把持的状态下对盒(80)进行搬运。顶棚搬运车(10)如以下那样构成，即，夹持装置(20)具备对盒(80)进行把持的把持部(21)和对由把持部(21)把持的盒(80)进行检测的传感器(23)；把持部(21)相对于盒(80)的把持动作被基于由传感器(23)进行的检测进行控制，并且，把持部(21)防止被收纳在盒(80)中的工件跳出。

Description

搬运装置
技术领域
本发明涉及对收纳有半导体基板等工件的搬运容器进行搬运的搬运装置。
背景技术
在现有技术的半导体器件等的制造设备中，有时，收纳有半导体基板等工件的搬运容器，在被沿着设于设备的顶棚附近的行走轨行走的顶棚搬运车(搬运装置)把持的状态下，在多个处理装置之间依次进行搬运。
例如，在专利文献1中公开了一种搬运装置，该搬运装置具备升降单元，该升降单元设置于水平移动单元，使对工件(密闭匣)进行保持的工件保持单元升降，在工件保持单元与各处理装置之间进行工件的交接，该搬运装置在洁净室内在多个处理装置间循环，向各处理装置搬运工件。
在专利文献1的搬运装置中，上述工件保持单元由向工件(密闭匣)的两侧面以コ字状延伸的工件保持部构成。通过在此工件保持部的两侧部的下端相向地设置对工件的底面进行保持的手，上述工件保持单元对工件(密闭匣)进行保持。
专利文献1：日本特开2004-25427号公报
发明内容
然而，专利文献1的搬运装置以对形状相同的密闭匣(搬运容器)进行搬运为目的，不能随时搬运形状或大小不同的搬运容器。因此，特别是在必须搬运各种各样的形状或大小的搬运容器的半导体器件制造工序的后工序，存在必须与搬运容器的形状或大小适应地变更装置构成(例如容器的把持单元的构成)的问题。
另外，在用于半导体器件制造工序的后工序的搬运容器中，具有用于防止被收纳的工件跳出的跳出防止构件(例如用于将搬运容器密闭的盖等)的搬运容器少。因此，需要另行在搬运装置设置跳出防止构件，还存在装置构成变复杂这一问题。
因此，本发明的目的在于提供一种搬运装置，该搬运装置不变更装置构成即可进行各种各样的形状或大小的搬运容器的搬运，并且，可由简单的装置结构防止搬运容器内的工件跳出。
本发明的要解决的课题如上，接下来对用于解决此课题的技术手段进行说明。
即，本发明中的技术方案1记载的搬运装置具备对收纳工件的搬运容器进行把持的容器把持单元，在上述容器把持单元对上述搬运容器进行把持的状态下搬运上述搬运容器；在该搬运装置中，上述容器把持单元具备对上述搬运容器进行把持的把持部和对由上述把持部把持的搬运容器进行检测的容器检测部；上述把持部基于由上述容器检测部进行的检测来控制对上述搬运容器的把持动作，并且，上述把持部防止被收纳在上述搬运容器中的工件跳出。
当采用上述构成时，通过容器检测部对搬运容器进行检测，来控制把持部对上述搬运容器的把持动作，并且，把持部防止被收纳在搬运容器中的工件跳出。
另外，技术方案2记载的发明在技术方案1记载的搬运装置中，上述把持部以覆盖上述搬运容器的上述工件的收纳口的方式对上述搬运容器进行把持，由此来防止被收纳在上述搬运容器中的工件跳出。
当采用上述构成时，通过把持部对搬运容器进行把持，并且在对搬运容器进行把持的状态下覆盖工件的收纳口，防止被收纳在搬运容器中的工件跳出。
并且，技术方案3记载的发明在技术方案1或技术方案2记载的搬运装置中，上述把持部通过使相对于上述搬运容器的移动方向分阶段地改变来对上述搬运容器进行把持。
当采用上述构成时，通过一边使把持部相对于该搬运容器的移动方向分阶段地改变一边与搬运容器接近或分开，对搬运容器进行把持。
并且，技术方案4记载的发明在技术方案1至技术方案3的任意一项记载的搬运装置中，上述容器检测部由对上述搬运容器的一个侧面进行检测的第1容器检测部和对上述搬运容器的另一个侧面进行检测的第2容器检测部构成。
当采用上述构成时，在两个检测部(第1及第2容器检测部)，从两方向对搬运容器进行检测。
根据本发明的搬运装置，因为对搬运容器进行把持的把持部基于对搬运容器进行检测的容器检测部的检测对搬运容器进行把持，所以，可与搬运容器的形状或大小适应地对搬运容器进行把持。因此，不用对搬运装置(把持部)的构成进行变更即可搬运各种各样的形状或大小的搬运容器。
另外，根据本发明的搬运装置，因为对搬运容器进行把持的把持部具有防止被收纳在搬运容器中的工件跳出的跳出防止构件的功能，所以，不需要在搬运装置另行设置跳出防止构件。因此，可由简单的装置结构防止搬运容器内的工件跳出。
附图说明
图1是作为本发明的搬运装置的一例的顶棚搬运车的正视图。
图2是由顶棚搬运车搬运的盒的立体图。
图3是顶棚搬运车的夹持装置的侧面剖视图。
图4(a)至(c)是使顶棚搬运车的第1夹头纵构件及第2夹头纵构件分两个阶段进行移动的场合的俯视简图，(d)及(e)是使顶棚搬运车的第1夹头纵构件及第2夹头纵构件以一个阶段进行移动的场合的俯视简图。
图5(a)是表示由顶棚搬运车搬运的盒的另外的实施例的立体图，(b)及(c)是相对于该盒使面导向构件移动的场合的俯视简图。
具体实施方式
首先，对作为本发明的搬运装置的一例的顶棚搬运车10进行说明。
如图1所示那样，顶棚搬运车10是用于向对于半导体基板等工件(未图示)进行规定的处理的多个处理装置(未图示)搬运工件的搬运车。顶棚搬运车10在对收纳工件的盒80(“搬运容器”的一例)进行了把持的状态下进行搬运。
如图2所示那样，顶棚搬运车10搬运的盒80是大致长方体的箱状的搬运容器。在搬运的盒80的内部设置可收纳多个工件的多层的载置部81。盒80可从在其长度方向的两端部开口的收纳口82收纳工件地构成。收纳口82的上下部分形成为被开槽口的状态。
[顶棚搬运车10]
如图1所示那样，顶棚搬运车10以相对于设置在设备的顶棚90附近的行走轨91悬挂的状态进行安装。顶棚搬运车10可沿行走轨91移动地构成。顶棚搬运车10主要由移动车11、升降驱动部12和夹持装置20(“容器把持单元”的一例)构成。
移动车11可沿固定地安装于顶棚90的行走轨91行走地构成。移动车11主要由线性马达式的行走车体13和支承部14构成。线性马达式的行走车体13产生用于沿行走轨91行走的行走推力。支承部14被相对于行走车体13连结，对升降驱动部12进行支承。另外，行走车体13不限定于线性马达式的行走车体，只要是可在洁净室等要求洁净度的空间中行走的方式的行走车体即可。
升降驱动部12是在悬挂了夹持装置20的状态下进行升降的部分。升降驱动部12安装于移动车11的下端部。升降驱动部12具有多条升降皮带15。升降驱动部12构成为可同时地卷取及开卷多条升降皮带15。通过进行多条升降皮带15的卷取及开卷，由升降皮带15悬挂支承的夹持装置20被一边维持大致水平姿势一边进行升降操作。
[夹持装置20]
夹持装置20是对盒80进行把持的装置。夹持装置20被安装于升降驱动部12。夹持装置20以从盒80的底部将盒80包入(掬取)的方式对盒80进行把持。夹持装置20主要由对盒80进行把持的把持部21、对把持部21进行驱动的驱动部22和对盒80进行检测的传感器23(“容器检测部”的一例)构成。
[把持部21]
如图1至图3所示那样，把持部21沿夹持装置20的上下方向延设。把持部21是以从盒80的底部将盒80包入(掬取)的方式可搬运地对盒80进行保持的部分。即，把持部21是对盒80进行把持的部分。把持部21由沿上下方向延设的多条(在图1中是3条)夹头纵构件(夹头纵构件24、25、26)构成。把持部21由多个夹头纵构件对盒80进行把持。另外，通过由3条夹头纵构件(夹头纵构件24、25、26)构成把持部21，盒80的重量确实地搭乘在各夹头纵构件(夹头纵构件24、25、26)的承接部分(承接部分28、30)上，可更稳定地对盒80进行把持。
第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25是在对盒80进行把持时被配置于盒80的角部的角导向构件。第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25是对盒80的角部进行把持并且对盒80的角部进行导向的构件。第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25由与盒80的角部抵接的臂部分27和形成于臂部分27的一端部、对盒80的底面进行承接的承接部分28构成。
臂部分27是与盒80的角部的形状适应地将2片板状构件27a接合成大致L字形状形成的部分。臂部分27在由把持部21对盒80进行把持时与盒80的角部抵接。通过臂部分27与盒80的角部抵接，成为第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25可与第3夹头纵构件26一起对盒80的侧面进行把持的状态。
并且，通过臂部分27与盒80的角部抵接，成为臂部分27在上下方向上对盒80的收纳口82的一端进行覆盖的状态(盒80的收纳口82的一部分关闭的状态)。即，成为臂部分27防止被收纳在盒80内的工件从收纳口82跳出的状态。具体地说，如图2所示那样，通过形成臂部分27的一个板状构件27a的平面部分对盒80的收纳口82的开口部分的单侧端部进行覆盖(通过使板状构件27a的平面部分与收纳口82的开口面的单侧端部抵接)，使盒80的收纳口82的开口部分变窄，形成为由板状构件27a的平面部分可对要从收纳口82跳出的工件进行卡定的状态。
这样，第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25的臂部分27具有对盒80的侧面(角部)进行把持的功能，并且，具有防止被收纳在盒80内的工件从收纳口82跳出的功能。
如图1及图3所示那样，承接部分28是将盒80的底面可载置的板状构件与臂部分27的板状构件27a的一端面在大致垂直方向上接合而形成的部分。承接部分28在由把持部21对盒80进行把持时与盒80的角部的底面抵接，对盒80进行承接。
第3夹头纵构件26是在对盒80进行把持时配置于盒80的沿长度方向的一个侧板的中央部的面导向构件。即，第3夹头纵构件是对盒80的侧板进行把持并且对盒80的侧板进行导向的构件。具体地说，第3夹头纵构件26被配置于盒80的一个侧板的中央部，配置第3夹头纵构件26的盒80的那一方的侧板与在两端部具有配置第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25的角部的盒80的侧板相向。第3夹头纵构件26由与盒80的侧板的侧面抵接的臂部分29和形成于臂部分29的一端部、对盒80的底面进行承接的承接部分30构成。
臂部分29由可与盒80的侧板的侧面抵接的板状构件形成。臂部分29在由把持部21对盒80进行把持时与盒80的沿长度方向的一个侧板的中央侧面抵接。由此，成为第3夹头纵构件26可与第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25一起对盒80的侧面进行把持的状态。
承接部分30是将可载置盒80的底面的板状构件与臂部分29的板状构件的一端面在大致垂直方向上接合而形成的部分。承接部分30在由把持部21对盒80进行把持时与盒80的沿长度方向的一个侧板中央部的底面抵接，对盒80进行承接。
[驱动部22]
如图1及图3所示那样，驱动部22是使把持部21的各夹头纵构件24、25、26移动的部分。驱动部22被设置于把持部21的上部。驱动部22主要由马达31、32和滑动构件40、41、42构成。
第1马达31是使各夹头纵构件24、25、26向与盒80的长度方向正交的方向(图3的箭头B方向)移动的马达。第1马达31与第1轴33连接。通过第1马达31工作，第1轴33转动。
第1轴33由滚珠丝杠形成。第1轴33在其途中的插通第1螺母构件34及第2螺母构件35的部分被向相反方向切削螺纹。即，第1轴33形成为在使第1轴33转动时第1螺母构件34及第2螺母构件35在第1轴33上相互接近或分开。
第2马达32是使第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25向盒80的长度方向(图1的箭头A方向)移动的马达。第2马达32与第2轴36连接。通过第2马达32工作，第2轴36转动。
第2轴36与第3轴37连接。通过第2轴36转动，第3轴37转动。
第3轴37由滚珠丝杠形成。第3轴37在其途中的插通第3螺母构件38及第4螺母构件39的部分被向相反方向切削螺纹。即，第3轴37形成为当使第3轴37转动时第3螺母构件38及第4螺母构件39在第3轴37上相互接近或分开。
第1滑动构件40是用于使第3夹头纵构件26向与盒80的长度方向正交的方向(图3的箭头B方向)移动的构件。第1滑动构件40由对第3夹头纵构件26进行支承的第1导向部43和用于使第1导向部43滑动的第1导轨44构成。
第2滑动构件41是用于使第1夹头纵构件24或第2夹头纵构件25向与盒80的长度方向正交的方向(图3的箭头B方向)移动的构件。第2滑动构件41由对第1夹头纵构件24或第2夹头纵构件25进行支承的第2导向部45和用于使第2导向部45滑动的第2导轨46构成。
第3滑动构件42是用于使第1夹头纵构件24或第2夹头纵构件25向盒80的长度方向(图1的箭头A方向)移动的构件。第3滑动构件42由对第1夹头纵构件24或第2夹头纵构件25进行支承的第3导向部47和用于使第3导向部47滑动的第3导轨48构成。
在顶棚搬运车10，通过在第2滑动构件41的上部配置第3滑动构件42，即，通过在驱动部22在上下方向上配置两个滑动构件，使得第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25可向两方向(图1的箭头A方向及图3的箭头B方向)移动。
[传感器23]
如图1及图3所示那样，传感器23被设置于各夹头纵构件24、25、26的下端部(承接部分28那一侧)。传感器23对由把持部21把持的盒80进行检测。传感器23的检测结果被作为检测信号向未图示的控制部发送。于是，控制部基于来自传感器23的检测信号，控制各夹头纵构件24、25、26对于盒80的把持动作。
传感器23由电容式接近传感器构成。另外，传感器23的方式不限于电容式的传感器，其方式根据盒80的材质、颜色等选择。因此，传感器23例如也可以是光学式或直接接触式的传感器。另外，传感器23虽然被设置于各夹头纵构件24、25、26的下端部，但不限于此，如果是可对盒80进行检测的位置，则也可设置于例如各夹头纵构件24、25、26的中央部或上端部。
并且，设置于第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25的下端部的传感器23由第1传感器23a(“第1容器检测部”的一例)和第2传感器23b(“第2容器检测部”的一例)构成。第1传感器23a对盒80的一个壁板(形成于盒80的长度方向的壁板)进行检测。第2传感器23b对相对于第1传感器23a检测的壁板垂直地形成的壁板(形成于与盒80的长度方向正交的方向的壁板)进行检测。即，在第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25设置盒80的检测位置(检测方向)不同的2台传感器，从不同的两方向对盒80进行检测。
第1传感器23a在使第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25向与盒80的长度方向正交的方向(图3的箭头B方向)移动时对形成于盒80的长度方向的壁板进行检测。
第2传感器23b在使第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25向盒80的长度方向(图1的箭头A方向)移动时对形成于与盒80的长度方向正交的方向的壁板进行检测。
另外，设置于第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25的下端部的传感器23虽然由2台传感器(第1传感器23a及第2传感器23b)构成，但不限于此，只要可与第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25的移动对应地对盒80进行检测，则也可由1台传感器构成。
[各夹头纵构件24、25、26的把持动作]
接下来，对各夹头纵构件24、25、26的把持动作进行说明。
如图4(a)所示那样，在顶棚搬运车10，首先各夹头纵构件24、25、26向与盒80的长度方向正交的方向(箭头C方向，盒80的宽度方向)移动。于是，各夹头纵构件24、25、26对盒80的长度方向的侧板进行把持。接下来，如图4(b)所示那样，第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25向盒80的长度方向(箭头D方向)移动。于是，第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25对盒80的宽度方向的侧板进行把持。即，在顶棚搬运车10，第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25一边使相对于盒80的移动方向分阶段地向两方向改变，一边对盒80的角部进行把持。这是因为，当如图4(d)所示的那样使第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25与第3夹头纵构件26的移动相适应地以一个阶段移动时，由于不同的盒80的形状或大小，有时第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25会卡在盒80上，不能对盒80进行把持(参照图4(e))。这样，通过使第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25分两个阶段进行移动，即使在形状或大小不同的盒80混杂的场合，各夹头纵构件24、25、26也不会卡在盒80上，可由把持部21对盒80进行把持。具体地说，如以下那样动作。
如图3所示那样，当第1马达31工作时，第1轴33转动，第1螺母构件34朝第1轴33的中央部移动。通过第1螺母构件34移动，被固定在第1螺母构件34上的第1滑动构件40的第1导向部43沿第1导轨44滑动。由此，由第1导向部43支承的第3夹头纵构件26向与盒80的长度方向正交的方向(图3的箭头B方向，盒80的宽度方向)移动，从而与盒80接近(对盒80的侧板进行把持)。
另一方面，当第1马达31工作，第1轴33转动时，第2螺母构件35朝第1轴33的中央部移动。通过第2螺母构件35移动，被固定在第2螺母构件35上的第2滑动构件41的第2导向部45沿第2导轨46滑动。由此，由第2导向部45支承的第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25向盒80的宽度方向(图3的箭头B方向)移动，从而与盒80接近。另外，关于第2马达32，也是通过第2导向部45滑动而向盒80的宽度方向(图3的箭头B方向)移动。
当通过第1马达31的工作，各夹头纵构件24、25、26朝盒80移动时，被设置于各夹头纵构件24、25、26的传感器23(第1传感器23a)对盒80有无进行检测。具体地说，从传感器23的检测结果对各夹头纵构件24、25、26与盒80的距离进行检测。传感器23将检测结果作为检测信号向未图示的控制部发送。控制部基于来自传感器23的检测信号对各夹头纵构件24、25、26与盒80的距离(位置关系)进行判断。然后，控制部通过控制第1马达31的工作，对各夹头纵构件24、25、26的移动进行控制。当传感器23在规定位置，即各夹头纵构件24、25、26与盒80的壁板接触的位置对盒80进行检测时，控制部停止第1马达31的驱动，从而停止各夹头纵构件24、25、26的移动。
接下来，如图1及图3所示那样，当第2马达32工作时，第2轴36转动，紧接着，第3轴37转动。通过第3轴37转动，第3螺母构件38及第4螺母构件39朝第3轴37的中央部移动，从而相互接近。于是，第3螺母构件38及第4螺母构件39各自被固定的第3滑动构件42的第3导向部47沿第3导轨48滑动。由此，第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25向盒80的长度方向(图1的箭头B方向)移动，从而相互接近，对盒80的角部进行把持。
当通过第2马达32的工作，使第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25朝盒80移动时，设置于第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25的传感器23(第2传感器23b)对盒80进行检测，将检测结果作为检测信号向未图示的控制部发送。控制部基于来自传感器23(第2传感器23b)的检测信号，对第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25与盒80的距离(位置关系)进行判断。然后，控制部通过控制第2马达32的工作，对第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25的移动进行控制。当传感器23(第2传感器23b)在规定位置，即第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25与盒80的壁板接触的位置对盒80进行检测时，控制部停止第2马达32的驱动，从而停止第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25的移动。
如以上那样，在顶棚搬运车10，因为通过一边由设置于各夹头纵构件24、25、26的传感器23对各夹头纵构件24、25、26与盒80的距离进行检测，一边对各夹头纵构件24、25、26的移动进行控制，可与盒80的形状或大小适应地自如地变更各夹头纵构件24、25、26对盒80进行把持的位置，所以，即使在随时搬运形状或大小不同的盒80的场合，也可与各自的盒80的形状或大小适应地移动各夹头纵构件24、25、26。因此，不需要与盒80的形状或大小适应地改变顶棚搬运车10的构造(例如各夹头纵构件24、25、26的构造)，在同一装置构造中仅变更各夹头纵构件24、25、26相对于盒80进行把持的位置，即可对各种各样的形状或大小的盒80进行搬运。
另外，在顶棚搬运车10，因为可由用于对盒80进行把持的第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25防止工件跳出，所以，可由简单的装置结构防止盒80内的工件跳出。
并且，在顶棚搬运车10，因为一边由盒80的检测位置(检测方向)不同的2台传感器(第1传感器23a及第2传感器23b)对盒80进行检测，一边使第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25相对于盒80的移动方向分阶段地改变，所以，第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25不会卡在盒80上，可对盒80进行把持。
另外，在本实施方式中，盒80不限于图2所示的盒，只要是可对半导体基板等工件进行收纳的一般的形状、大小的盒即可。例如，也可以是图5(a)所示那样的形状的盒80A。
在由顶棚搬运车10搬运图5(a)所示的盒80A的场合，即，当搬运在收纳口82A未形成槽口部分的盒80A时，也可做成由4条面导向纵构件26A对盒80A的各侧板的中央部进行把持的结构。在这里，面导向纵构件26A与第3夹头纵构件26同样地由臂部分29A和承接部分30A构成。臂部分29A由可与盒80A的侧板的侧面抵接的板状构件形成。承接部分30A通过可载置盒80A的底面的板状构件与臂部分29A的板状构件的一端面在大致垂直方向上接合来形成。
在此场合，如图5(b)及(c)所示那样，通过使4条面导向纵构件26A同时地(以一个阶段)向与盒80A接近的方向移动，使各面导向纵构件26A成为可在盒80A的各侧板的中央部进行把持的状态。
另外，在此场合，如图5(a)所示那样，成为臂部分29A在上下方向上覆盖盒80A的收纳口82A的中央部的状态(盒80A的收纳口82A的中央部关闭的状态)。即，成为臂部分29A防止被收纳在盒80A内的工件从收纳口82A跳出的状态。具体地说，如图5(a)所示那样，通过臂部分29A的平面部分对盒80A的收纳口82A的开口部分的中央部进行覆盖(通过使臂部分29A的平面部分与收纳口82A的开口面的中央部抵接)，使盒80A的收纳口82A的开口部分变窄，形成为可由臂部分29A的平面部分将欲从收纳口82A跳出的工件卡定的状态。
另外，在盒80A，虽然做成由4条面导向纵构件26A对盒80A的各侧板的中央部进行把持的构成，但不限于此，也可做成由上述第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25把持盒80A的角部、由上述第3夹头纵构件26把持盒80A的侧板的中央部的结构。
另外，在本实施方式中，虽然将搬运装置做成顶棚行走形式的顶棚搬运车10，但不限于此，例如也可做成在地面行走形式的行走车主体设置夹持装置20的搬运装置。在此场合，做成如下构成，即，在回旋自如地设置于行走车主体的回旋台板上在上下方向上转动自如地安装臂构件，相对于臂构件安装夹持装置20。
并且，在本实施方式中，虽然由驱动部22那样的结构(马达31、32、滑动构件40、41、42等)使把持部21的各夹头纵构件24、25、26移动，但不限于驱动部22那样的结构的驱动部。
附图标记说明：
10顶棚搬运车(搬运装置)
20夹持装置(容器把持单元)
21把持部
23传感器(容器检测部)
23a第1传感器(第1容器检测部)
23b第2传感器(第2容器检测部)
80盒(搬运容器)
82收纳口

Claims (5)

1.一种搬运装置，具备对收纳工件的搬运容器进行把持的容器把持单元，在上述容器把持单元对上述搬运容器进行把持的状态下搬运上述搬运容器；该搬运装置的特征在于：
上述容器把持单元具备对上述搬运容器进行把持的把持部，和对由上述把持部把持的搬运容器进行检测的容器检测部；
上述把持部基于由上述容器检测部进行的检测来控制对上述搬运容器的把持动作，并且，上述把持部防止被收纳在上述搬运容器中的工件跳出。
2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，
上述把持部以覆盖上述搬运容器的上述工件的收纳口的方式对上述搬运容器进行把持，由此来防止被收纳在上述搬运容器中的工件跳出。
3.根据权利要求1或2所述的搬运装置，其特征在于，
上述把持部通过使相对于上述搬运容器的移动方向分阶段地改变来对上述搬运容器进行把持。
4.根据权利要求1或2所述的搬运装置，其特征在于，
上述容器检测部由对上述搬运容器的一个侧面进行检测的第1容器检测部和对上述搬运容器的另一个侧面进行检测的第2容器检测部构成。
5.根据权利要求3所述的搬运装置，其特征在于，
上述容器检测部由对上述搬运容器的一个侧面进行检测的第1容器检测部和对上述搬运容器的另一个侧面进行检测的第2容器检测部构成。
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