TW201544425A - 搬運裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種搬運裝置，不變更裝置構成即可搬運各種形狀或大小的搬運容器，並且可藉由簡單的裝置構成而防止搬運容器內的工件飛出。一種頂棚搬運車10，包括對收納工件的儲物箱80進行固持的夾持裝置20，在夾持裝置20固持儲物箱80的狀態下搬運儲物箱80，且所述頂棚搬運車10構成為使夾持裝置20包括：固持部21，固持儲物箱80；及感測器23，檢測藉由固持部21固持的儲物箱80；且根據感測器23的檢測而控制固持部21對儲物箱80的固持動作，並且固持部21防止收納在儲物箱80中的工件飛出。

Description

搬運裝置
本發明是有關於一種搬運收納有半導體基板等工件的搬運容器的搬運裝置。
先前，在半導體器件等的製造設備中存在如下情況，即，將收納有半導體基板等工件的搬運容器在由沿設置在設備頂棚附近的移行導軌(rail)移行的頂棚搬運車(搬運裝置)固持的狀態下在多個處理裝置間依序搬運。
例如，在專利文獻1中揭示一種搬運裝置，包括升降單元，使設置在水平移動單元且保持工件(密閉容器(container))的工件保持單元升降，而在工件保持單元與各處理裝置之間進行工件的交付，且在無塵室(clean room)內，在多個處理裝置間移動而將工件搬運至各處理裝置。
在專利文獻1的搬運裝置中，由向工件(密閉容器)兩側面呈U字狀延伸的工件保持部構成所述工件保持單元。在所述工件保持部的兩側部下端對向設置有保持工件底面的手部(hand)，藉此所述工件保持單元保持工件(密閉容器)。
[現有技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2004-25427號公報
然而，專利文獻1的搬運裝置是以搬運形狀相同的密閉容器(搬運容器)為目的而構成，無法隨時搬運形狀或大小不同的搬運容器。因此，尤其是在必須搬運各種形狀或大小的搬運容器的半導體器件製造步驟的後步驟中，存在必須配合於搬運容器的形狀或大小而變更裝置構成(例如容器固持單元的構成)的問題。
又，對於在半導體器件製造步驟的後步驟中使用的搬運容器，具有用以防止所收納的工件飛出的飛出防止構件(例如用以密閉搬運容器的蓋子(lid)等)的搬運容器為少數。因此，必須在搬運裝置另行設置飛出防止構件，從而亦存在裝置構成變得複雜的問題。
由此，本發明的目的在於提供一種搬運裝置，不變更裝置構成即可搬運各種形狀或大小的搬運容器，並且可藉由簡單的裝置構成而防止搬運容器內的工件飛出。
本發明所欲解決的問題為以上所述，接下來對用以解決所述問題的手段進行說明。
即，本發明中申請專利範圍第1項記載的搬運裝置包括對收納工件的搬運容器進行固持的容器固持單元，且在所述容器 固持單元固持所述搬運容器的狀態下搬運所述搬運容器，且所述容器固持單元包括固持部，固持所述搬運容器；及容器檢測部，檢測藉由所述固持部固持的搬運容器；且根據所述容器檢測部的檢測而控制所述固持部對所述搬運容器的固持動作，並且所述固持部防止收納在所述搬運容器中的工件飛出。
在所述構成中，藉由容器檢測部檢測搬運容器，而控制固持部對所述搬運容器的固持動作，並且固持部防止收納在搬運容器中的工件飛出。
又，申請專利範圍第2項記載的發明如申請專利範圍第1項記載的搬運裝置，其中所述固持部藉由以蓋住所述搬運容器的所述工件的收納口的方式固持所述搬運容器，而防止收納在所述搬運容器中的工件飛出。
在所述構成中，固持部固持搬運容器，並且藉由在固持搬運容器的狀態下蓋住工件的收納口而防止收納在搬運容器中的工件飛出。
進而，申請專利範圍第3項記載的發明如申請專利範圍第1項或申請專利範圍第2項記載的搬運裝置，其中所述固持部藉由使相對於所述搬運容器的移動方向階段性地變化而固持所述搬運容器。
在所述構成中，固持部藉由一面使所述固持部相對於搬運容器的移動方向階段性地變化一面接近或遠離搬運容器而固持搬運容器。
進而，申請專利範圍第4項記載的發明如申請專利範圍第1項至申請專利範圍第3項中任一項記載的搬運裝置，其中所述容器檢測部包括：第1容器檢測部，檢測所述搬運容器的其中一側面；及第2容器檢測部，檢測所述搬運容器的另一側面。
在所述構成中，2個檢測部(第1容器檢測部及第2容器檢測部)自2個方向檢測搬運容器。
根據本發明的搬運裝置，固持搬運容器的固持部根據檢測搬運容器的容器檢測部的檢測而固持搬運容器，因此可配合於搬運容器的形狀或大小而固持搬運容器。因此，不變更搬運裝置(固持部)的構成即可搬運各種形狀或大小的搬運容器。
又，根據本發明的搬運裝置，固持搬運容器的固持部具有防止收納在搬運容器中的工件飛出的飛出防止構件的功能，因此無需在搬運裝置另行設置飛出防止構件。因此，可藉由簡單的裝置構成而防止搬運容器內的工件飛出。
10‧‧‧頂棚搬運車(搬運裝置)
11‧‧‧移動車
12‧‧‧升降驅動部
13‧‧‧移行車體
14‧‧‧支持部
15‧‧‧升降帶
20‧‧‧夾持裝置(容器固持單元)
21‧‧‧固持部
22‧‧‧驅動部
23‧‧‧感測器(容器檢測部)
23a‧‧‧第1感測器(第1容器檢測部)
23b‧‧‧第2感測器(第2容器檢測部)
24‧‧‧第1夾頭縱向材
25‧‧‧第2夾頭縱向材
26‧‧‧第3夾頭縱向材
26A‧‧‧面導引縱向材
27、29、29A‧‧‧臂部分
27a‧‧‧板狀構件
28、30、30A‧‧‧支承部分
31‧‧‧第1馬達
32‧‧‧第2馬達
33‧‧‧第1軸
34‧‧‧第1螺母構件
35‧‧‧第2螺母構件
36‧‧‧第2軸
37‧‧‧第3軸
38‧‧‧第3螺母構件
39‧‧‧第4螺母構件
40‧‧‧第1滑動構件
41‧‧‧第2滑動構件
42‧‧‧第3滑動構件
43‧‧‧第1導引部
44‧‧‧第1導引導軌
45‧‧‧第2導引部
46‧‧‧第2導引導軌
47‧‧‧第3導引部
48‧‧‧第3導引導軌
80、80A‧‧‧儲物箱(搬運容器)
81‧‧‧載置部
82、82A‧‧‧收納口
90‧‧‧頂棚
91‧‧‧移行導軌
A、B、C、D‧‧‧箭頭
圖1是本發明的搬運裝置的一例即頂棚搬運車的正視圖。
圖2是藉由頂棚搬運車搬運的儲物箱的立體圖。
圖3是頂棚搬運車的夾持(chucking)裝置的側視剖面圖。
圖4(a)至圖4(c)是使頂棚搬運車的第1夾頭(chuck)縱向材及第2夾頭縱向材分兩階段移動的情形的俯視概略圖，圖4 (d)及圖4(e)是使頂棚搬運車的第1夾頭縱向材及第2夾頭縱向材以一階段移動的情形的俯視概略圖。
圖5(a)是表示藉由頂棚搬運車搬運的儲物箱的另一實施例的立體圖，圖5(b)及圖5(c)是使面導引(guide)構件相對於所述儲物箱移動的情形的俯視概略圖。
首先，對本發明的搬運裝置的一例即頂棚搬運車10進行說明。
如圖1所示，頂棚搬運車10用以將工件搬運至對半導體基板等工件(未圖示)進行規定處理的多個處理裝置(未圖示)。頂棚搬運車10將收納有工件的儲物箱80(「搬運容器」的一例)在固持的狀態下搬運。
如圖2所示，頂棚搬運車10搬運的儲物箱80為大致長方體的箱狀搬運容器。在搬運的儲物箱80內部設置有可收納多個工件的多段載置部81。儲物箱80構成為可自於儲物箱80的長邊方向的兩端部開口的收納口82收納工件。收納口82的上下部分形成為缺口狀態。
[頂棚搬運車10]
如圖1所示，頂棚搬運車10以相對於設置在設備的頂棚90附近的移行導軌91懸吊的狀態安裝。頂棚搬運車10可沿移行導軌91移動地構成。頂棚搬運車10主要包括移動車11、升降驅動部12、夾持裝置20(「容器固持單元」的一例)。
移動車11可沿固定於頂棚90而安裝的移行導軌91移行地構成。移動車11主要包括：線性馬達(linear motor)式的移行車體13，產生用以沿移行導軌91移行的移行推力；及支持部14，連結於移行車體13，且支持升降驅動部12。再者，移行車體13並不限定於線性馬達式的移行車體，只要為可在無塵室等要求潔淨度的空間移行的方式的移行車體即可。
升降驅動部12為使夾持裝置20在懸吊狀態下升降的部分。升降驅動部12安裝在移動車11的下端部。升降驅動部12具有多條升降帶(belt)15。升降驅動部12以可將多條升降帶15同時捲取及捲出的方式構成。藉由進行多條升降帶15的捲取及捲出，而對由升降帶15懸吊支持的夾持裝置20一面維持大致水平姿勢一面進行升降操作。
[夾持裝置20]
夾持裝置20為固持儲物箱80的裝置。夾持裝置20安裝在升降驅動部12。夾持裝置20以自儲物箱80的底部包入(捧著)儲物箱80的方式固持儲物箱80。夾持裝置20主要包括：固持部21，固持儲物箱80；驅動部22，驅動固持部21；及感測器23(「容器檢測部」的一例)，檢測儲物箱80。
[固持部21]
如圖1至圖3所示，固持部21沿夾持裝置20的上下方向延伸設置。固持部21為以自儲物箱80的底部包入(捧著)儲物箱80的方式可搬運地保持儲物箱80的部分。即，固持部21為固持 儲物箱80的部分。固持部21包含沿上下方向延伸設置的多個(圖1中為3個)夾頭縱向材(夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26)。固持部21藉由多個夾頭縱向材而固持儲物箱80。再者，藉由固持部21包含3個夾頭縱向材(夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26)，儲物箱80的重量確實地施加於各夾頭縱向材(夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26)的支承部分(支承部分28、支承部分30)，從而可穩定地固持儲物箱80。
第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25為在固持儲物箱80時配置在儲物箱80角部的角導引構件。第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25為固持儲物箱80角部並且導引儲物箱80角部的構件。第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25包括：臂(arm)部分27，抵接於儲物箱80的角部；及支承部分28，形成在臂部分27的一端部且支承儲物箱80的底面。
臂部分27為配合於儲物箱80的角部形狀而將2片板狀構件27a接合形成為大致L字形狀的部分。臂部分27在藉由固持部21固持儲物箱80時抵接於儲物箱80的角部。藉由臂部分27抵接於儲物箱80的角部，第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25成為可與第3夾頭縱向材26一同固持儲物箱80側面的狀態。
進而，藉由臂部分27抵接於儲物箱80的角部，臂部分27成為在上下方向蓋住儲物箱80的收納口82一端的狀態(儲物箱80的收納口82的一部分蓋上的狀態)。即，臂部分27成為防止收納在儲物箱80內的工件自收納口82飛出的狀態。具體而言， 如圖2所示，藉由形成臂部分27的其中一板狀構件27a的平面部分蓋住儲物箱80的收納口82的開口部分的單側端部(藉由使板狀構件27a的平面部分抵接於收納口82的開口面的單側端部)，使儲物箱80的收納口82的開口部分變窄，從而成為可藉由板狀構件27a的平面部分卡止欲自收納口82飛出的工件的狀態。
如此，第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25的臂部分27具有固持儲物箱80側面(角部)的功能，並且具有防止收納在儲物箱80內的工件自收納口82飛出的功能。
如圖1及圖3所示，支承部分28為將可載置儲物箱80底面的板狀構件沿大致垂直方向接合於臂部分27的板狀構件27a的一端面而形成的部分。支承部分28在藉由固持部21固持儲物箱80時，抵接於儲物箱80的角部底面而支承儲物箱80。
第3夾頭縱向材26為在固持儲物箱80時配置在儲物箱80的長邊方向上的其中一側板中央部的面導引構件。即，第3夾頭縱向材為固持儲物箱80側板並且導引儲物箱80側板的構件。具體而言，第3夾頭縱向材26配置在與在兩端部具有配置第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25的角部的儲物箱80側板對向的側板的中央部。第3夾頭縱向材26包括：臂部分29，抵接於儲物箱80側板的側面；及支承部分30，形成在臂部分29的一端部且支承儲物箱80的底面。
臂部分29藉由可抵接於儲物箱80的側板側面的板狀構件形成。臂部分29在藉由固持部21固持儲物箱80時，抵接於儲 物箱80的長邊方向上的其中一側板的中央側面。藉此，第3夾頭縱向材26成為可與第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25一同固持儲物箱80側面的狀態。
支承部分30為將可載置儲物箱80底面的板狀構件沿大致垂直方向接合於臂部分29的板狀構件的一端面而形成的部分。支承部分30在藉由固持部21固持儲物箱80時，抵接於儲物箱80的長邊方向上的其中一側板中央部底面而支承儲物箱80。
[驅動部22]
如圖1及圖3所示，驅動部22使固持部21的各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26移動。驅動部22設置在固持部21的上部。驅動部22主要包括馬達31、馬達32、及滑動(slide)構件40、滑動構件41、滑動構件42。
第1馬達31為使各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26向與儲物箱80的長邊方向正交的方向(圖3的箭頭B方向)移動的馬達。在第1馬達31上連接有第1軸33。藉由第1馬達31作動而第1軸33轉動。
第1軸33藉由滾珠螺桿(ball screw)形成。第1軸33在所述第1軸33中途的供插通第1螺母(nut)構件34及第2螺母構件35的部分向反方向形成有螺紋。即，第1軸33以在使第1軸33轉動時第1螺母構件34及第2螺母構件35在第1軸33上相互接近或遠離的方式形成。
第2馬達32為使第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材 25向儲物箱80的長邊方向(圖1的箭頭A方向)移動的馬達。在第2馬達32上連接有第2軸36。藉由第2馬達32作動而第2軸36轉動。
在第2軸36上連接有第3軸37。藉由第2軸36轉動而第3軸37轉動。
第3軸37藉由滾珠螺桿形成。第3軸37在所述第3軸37中途的供插通第3螺母構件38及第4螺母構件39的部分向反方向形成有螺紋。即，第3軸37以在使第3軸37轉動時第3螺母構件38及第4螺母構件39在第3軸37上相互接近或遠離的方式形成。
第1滑動構件40為用以使第3夾頭縱向材26向與儲物箱80的長邊方向正交的方向(圖3的箭頭B方向)移動的構件。第1滑動構件40包括：第1導引部43，支持第3夾頭縱向材26；及第1導引導軌44，用以使第1導引部43滑動。
第2滑動構件41為用以使第1夾頭縱向材24或第2夾頭縱向材25向與儲物箱80的長邊方向正交的方向(圖3的箭頭B方向)移動的構件。第2滑動構件41包括：第2導引部45，支持第1夾頭縱向材24或第2夾頭縱向材25；及第2導引導軌46，用以使第2導引部45滑動。
第3滑動構件42為用以使第1夾頭縱向材24或第2夾頭縱向材25向儲物箱80的長邊方向(圖1的箭頭A方向)移動的構件。第3滑動構件42包括：第3導引部47，支持第1夾頭縱 向材24或第2夾頭縱向材25；及第3導引導軌48，用以使第3導引部47滑動。
在頂棚搬運車10中，藉由在第2滑動構件41上部配置第3滑動構件42，即藉由在驅動部22沿上下方向配置2個滑動構件，可使第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25向2個方向(圖1的箭頭A方向及圖3的箭頭B方向)移動。
[感測器(sensor)23]
如圖1及圖3所示，感測器23設置在各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26的下端部(支承部分28側)。感測器23檢測藉由固持部21固持的儲物箱80。感測器23的檢測結果作為檢測信號發送至未圖示的控制部。然後，控制部根據來自感測器23的檢測信號而控制各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26對儲物箱80的固持動作。
感測器23由靜電電容型近接感測器構成。再者，感測器23的方式並不限定於靜電電容型感測器，可根據儲物箱80的材質、顏色等而選擇感測器23方式。因此，感測器23例如亦可為光學式或直接接觸式感測器。又，感測器23設置在各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26的下端部，但並不限定於此，只要為可檢測儲物箱80的位置，例如亦可設置在各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26的中央部或上端部。
進而，設置在第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25的下端部的感測器23包括：第1感測器23a(「第1容器檢測部」 的一例)，檢測儲物箱80的其中一壁板(形成在儲物箱80的長邊方向的壁板)；及第2感測器23b(「第2容器檢測部」的一例)，檢測相對於第1感測器23a檢測的壁板而垂直地形成的壁板(形成在與儲物箱80的長邊方向正交的方向的壁板)。即，在第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25設置有儲物箱80的檢測位置(檢測方向)不同的2台感測器，自不同的2個方向檢測儲物箱80。
在使第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25向與儲物箱80的長邊方向正交的方向(圖3的箭頭B方向)移動時，第1感測器23a檢測形成在儲物箱80的長邊方向的壁板。
在使第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25向儲物箱80的長邊方向(圖1的箭頭A方向)移動時，第2感測器23b檢測形成在與儲物箱80的長邊方向正交的方向的壁板。
再者，設置在第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25的下端部的感測器23由2台感測器(第1感測器23a及第2感測器23b)構成，但並不限定於此，只要可對應於第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25的移動而檢測儲物箱80，則亦可由1台感測器構成。
[各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26的固持動作]
其次，對各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26的固持動作進行說明。
如圖4(a)所示，在頂棚搬運車10中，首先各夾頭縱向材 24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26向與儲物箱80的長邊方向正交的方向(箭頭C方向，儲物箱80的寬度方向)移動。然後，各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26固持儲物箱80的長邊方向的側板。繼而，如圖4(b)所示，第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25向儲物箱80的長邊方向(箭頭D方向)移動。然後，第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25固持儲物箱80的寬度方向的側板。即，在頂棚搬運車10中，第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25一面使相對於儲物箱80的移動方向朝兩個方向階段性地變化，一面固持儲物箱80的角部。如此操作的原因在於，如圖4(d)所示，當使第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25配合於第3夾頭縱向材26的移動而以一階段移動時，有時會因儲物箱80的形狀或大小而導致第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25卡於儲物箱80，從而無法固持儲物箱80(參照圖4(e))。如此，藉由使第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25分兩階段移動，即便在形狀或大小不同的儲物箱80混存的情形時，各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26亦不會卡於儲物箱80而可藉由固持部21固持儲物箱80。具體而言，以如下方式動作。
如圖3所示，當第1馬達31作動時，第1軸33轉動，第1螺母構件34向第1軸33的中央部移動。藉由第1螺母構件34移動，固定於第1螺母構件34上的第1滑動構件40的第1導引部43沿第1導引導軌44滑動。藉此，藉由第1導引部43支持 的第3夾頭縱向材26向與儲物箱80的長邊方向正交的方向(圖3的箭頭B方向，儲物箱80的寬度方向)以與儲物箱80接近的方式(以固持儲物箱80側板的方式)移動。
又另一方面，當第1馬達31作動而第1軸33轉動時，第2螺母構件35向第1軸33的中央部移動。藉由第2螺母構件35移動而固定在第2螺母構件35上的第2滑動構件41的第2導引部45沿第2導引導軌46滑動。藉此，藉由第2導引部45支持的第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25向儲物箱80的寬度方向(圖3的箭頭B方向)以與儲物箱80接近的方式移動。再者，對於第2馬達32，亦為藉由第2導引部45滑動而使第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25向儲物箱80的寬度方向(圖3的箭頭B方向)移動。
當藉由第1馬達31的作動而各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26向儲物箱80移動時，設置在各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26上的感測器23(第1感測器23a)檢測有無儲物箱80。具體而言，根據感測器23的檢測結果而檢測各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26與儲物箱80的距離。感測器23將檢測結果作為檢測信號發送至未圖示的控制部。控制部根據來自感測器23的檢測信號而判斷各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26與儲物箱80的距離(位置關係)。然後，控制部藉由控制第1馬達31的作動，而控制各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26的移動。當感測 器23在規定位置即在各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26與儲物箱80的壁板接觸的位置檢測到儲物箱80時，控制部停止第1馬達31的驅動，從而停止各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26的移動。
其次，如圖1及圖3所示，當第2馬達32作動時，第2軸36轉動，繼而第3軸37轉動。藉由第3軸37轉動而第3螺母構件38及第4螺母構件39以相互接近的方式向第3軸37的中央部移動。然後，固定各第3螺母構件38及第4螺母構件39的第3滑動構件42的第3導引部47沿第3導引導軌48滑動。藉此，第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25以相互接近的方式向儲物箱80的長邊方向(圖1的箭頭B方向)移動以固持儲物箱80的角部。
當藉由第2馬達32的作動而第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25向儲物箱80移動時，設置在第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25上的感測器23(第2感測器23b)檢測儲物箱80，並將檢測結果作為檢測信號發送至未圖示的控制部。控制部根據來自感測器23(第2感測器23b)的檢測信號而判斷第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25與儲物箱80的距離(位置關係)。然後，控制部藉由控制第2馬達32的作動而控制第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25的移動。當感測器23(第2感測器23b)在規定位置即在第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25與儲物箱80的壁板接觸的位置檢測到儲物箱80時，控制部停止 第2馬達32的驅動，從而停止第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25的移動。
如以上般，在頂棚搬運車10中，一面藉由設置在各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26上的感測器23而檢測各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26與儲物箱80的距離，一面控制各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26的移動，藉此可配合於儲物箱80的形狀或大小而自如地變更各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26固持儲物箱80的位置，因此即便在隨時搬運形狀或大小不同的儲物箱80的情形時，亦可配合於各個儲物箱80的形狀或大小而移動各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26。因此，無須配合於儲物箱80的形狀或大小而改變頂棚搬運車10的構造(例如各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26的構造)，僅在同一裝置構造中變更各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26相對於儲物箱80的固持位置即可搬運各種形狀或大小的儲物箱80。
又，在頂棚搬運車10中，可藉由用以固持儲物箱80的第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25防止工件飛出，因此可藉由簡單的裝置構成而防止儲物箱80內的工件飛出。
進而，在頂棚搬運車10中，一面藉由儲物箱80的檢測位置(檢測方向)不同的2台感測器(第1感測器23a及第2感測器23b)檢測儲物箱80，一面使第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25相對於儲物箱80的移動方向階段性地變化，因此第1 夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25可不卡於儲物箱80而固持儲物箱80。
再者，在本實施方式中，儲物箱80並不限定於圖2所示者，只要為可收納半導體基板等工件的一般形狀、大小的儲物箱即可。例如，亦可為圖5(a)所示的形狀的儲物箱80A。
在藉由頂棚搬運車10搬運圖5(a)所示的儲物箱80A的情形時，即在搬運未在收納口82A形成缺口部分的儲物箱80A的情形時，亦可設為藉由4個面導引縱向材26A固持儲物箱80A的各側板中央部的構成。此處，面導引縱向材26A與第3夾頭縱向材26相同，包括：臂部分29A，藉由可抵接於儲物箱80A的側板側面的板狀構件形成；及支承部分30A，將可載置儲物箱80A底面的板狀構件沿大致垂直方向接合於臂部分29A的板狀構件的一端面而形成。
在所述情形時，如圖5(b)及圖5(c)所示，藉由使4個面導引縱向材26A同時(以一階段)向接近儲物箱80A的方向移動，而使各面導引縱向材26A成為可在儲物箱80A的各側板中央部固持儲物箱80A的狀態。
又，在所述情形時，如圖5(a)所示，臂部分29A成為在上下方向蓋住儲物箱80A的收納口82A中央部的狀態(儲物箱80A的收納口82A中央部蓋上的狀態)。即，臂部分29A成為防止收納在儲物箱80A內的工件自收納口82A飛出的狀態。具體而言，如圖5(a)所示，藉由臂部分29A的平面部分蓋住儲物箱 80A的收納口82A的開口部分中央部(藉由使臂部分29A的平面部分抵接於收納口82A的開口面中央部)，而使儲物箱80A的收納口82A的開口部分變窄，從而成為可藉由臂部分29A的平面部分卡止欲自收納口82A飛出的工件的狀態。
再者，在儲物箱80A中，設為藉由4個面導引縱向材26A固持儲物箱80A的各側板中央部的構成，但並不限定於此，亦可設為藉由所述第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25固持儲物箱80A的角部，且藉由所述第3夾頭縱向材26固持儲物箱80A側板的中央部的構成。
又，在本實施方式中，將搬運裝置設為頂棚移行形式的頂棚搬運車10，但並不限定於此，例如亦可設為在地板移行形式的移行車本體設置有夾持裝置20的搬運裝置。所述情形時設為如下構成：在臂構件上安裝夾持裝置20，所述臂構件在上下方向轉動自如地安裝在旋轉台上，且所述旋轉台旋轉自如地設置在移行車本體上。
進而，在本實施方式中，藉由如驅動部22般的構成(馬達31、馬達32、滑動構件40、滑動構件41、滑動構件42等)而使固持部21的各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26移動，但並不限定於如驅動部22般的構成的驅動部。
10‧‧‧頂棚搬運車(搬運裝置)
11‧‧‧移動車
12‧‧‧升降驅動部
13‧‧‧移行車體
14‧‧‧支持部
15‧‧‧升降帶
20‧‧‧夾持裝置(容器固持單元)
21‧‧‧固持部
22‧‧‧驅動部
23‧‧‧感測器(容器檢測部)
23b‧‧‧第2感測器(第2容器檢測部)
24‧‧‧第1夾頭縱向材
25‧‧‧第2夾頭縱向材
26‧‧‧第3夾頭縱向材
27、29‧‧‧臂部分
27a‧‧‧板狀構件
28、30‧‧‧支承部分
31‧‧‧第1馬達
37‧‧‧第3軸
38‧‧‧第3螺母構件
39‧‧‧第4螺母構件
41‧‧‧第2滑動構件
42‧‧‧第3滑動構件
45‧‧‧第2導引部
46‧‧‧第2導引導軌
47‧‧‧第3導引部
48‧‧‧第3導引導軌
80‧‧‧儲物箱(搬運容器)
90‧‧‧頂棚
91‧‧‧移行導軌
A‧‧‧箭頭

Claims (4)

  1. 一種搬運裝置，包括對收納工件的搬運容器進行固持的容器固持單元，且在所述容器固持單元固持所述搬運容器的狀態下搬運所述搬運容器，所述搬運裝置的特徵在於：所述容器固持單元包括固持部，固持所述搬運容器；及容器檢測部，檢測藉由所述固持部固持的搬運容器；且根據所述容器檢測部的檢測而控制所述固持部對所述搬運容器的固持動作，並且所述固持部防止收納在所述搬運容器中的工件飛出。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的搬運裝置，其中所述固持部藉由以蓋住所述搬運容器的所述工件的收納口的方式固持所述搬運容器，而防止收納在所述搬運容器中的工件飛出。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的搬運裝置，其中所述固持部藉由使相對於所述搬運容器的移動方向階段性地變化而固持所述搬運容器。
  4. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的搬運裝置，其中所述容器檢測部包括：第1容器檢測部，檢測所述搬運容器的其中一側面；及第2容器檢測部，檢測所述搬運容器的另一側面。
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