TWI627119B - 搬運裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種搬運裝置，不變更裝置構成即可搬運經疊置的被搬運體，並且可藉由簡單的裝置構成而進行被搬運體中的重疊的修正偏移及防止偏移。一種頂棚搬運車10，包括在疊置托盤80的狀態下對托盤80進行固持的夾持裝置20，在夾持裝置20固持托盤80的狀態下搬運托盤80，且所述頂棚搬運車10構成為使夾持裝置20包括：固持部21，固持托盤80；及感測器23，檢測藉由固持部21固持的托盤80；且根據感測器23的檢測而控制固持部21對托盤80的固持動作，並且固持部21進行托盤80中的重疊的修正偏移及防止偏移。

Description

搬運裝置
本發明是有關於一種在疊置半導體基板等工件、或收納有工件的搬運容器等被搬運體的狀態下搬運被搬運體的搬運裝置。
先前，在半導體器件等的製造設備中存在如下情況，即，將收納有半導體基板等工件的搬運容器等被搬運體在由沿設置在設備頂棚附近的移行導軌(rail)移行的頂棚搬運車(搬運裝置)固持的狀態下在多個處理裝置間依序搬運。
例如，在專利文獻1中揭示一種搬運裝置，包括升降單元，使設置在水平移動單元且保持工件(密閉容器(container))的工件保持單元升降，而在工件保持單元與各處理裝置之間進行工件的交付，且在無塵室(clean room)內，在多個處理裝置間移動而將工件搬運至各處理裝置。
在專利文獻1的搬運裝置中，由向工件(密閉容器)兩側面呈U字狀延伸的工件保持部構成所述工件保持單元，在所述工件保持部的兩側部下端對向設置有保持工件底面的手部(hand)，藉此保持工件(密閉容器)。
又，在半導體器件等的製造設備中存在如下情況，即， 在重疊(疊置)多個收納有半導體基板等工件的搬運容器等被搬運體的狀態下搬運被搬運體。具體而言，將內部收納有工件的多個板狀的托板(pallet)(搬運容器)疊置，並在利用搬運裝置保持(固持)所述疊置的多個托板的狀態下進行搬運。
[現有技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2004-25427號公報
然而，在搬運經疊置的被搬運體的情形時，並非始終以無偏移的狀態(經對齊的狀態)疊置應搬運的被搬運體，亦存在必須搬運以偏移的狀態(未經對齊的狀態)經疊置的被搬運體的情況。因此，在以偏移的狀態疊置被搬運體的情形時，存在固持單元(保持單元)無法充分地固持(保持)經疊置的被搬運體的問題。又，亦存在於搬運中疊置的被搬運體變成偏移的狀態，被搬運體在搬運中從搬運裝置落下等問題。
此種問題可藉由在被搬運體設置用於防止偏移的偏移防止機構(例如，在被搬運體設置要疊置的被搬運體彼此相互嚙合的凹凸面)得以解決，但存在因被搬運體自身設置偏移防止機構而被搬運體的構成變複雜的問題。又，根據被搬運體，亦存在無法設置偏移防止機構自身的情況。
進而，藉由利用固定構件對要疊置的被搬運體彼此加以 固定可解決所述問題，但因在搬運被搬運體之前需要利用固定構件固定被搬運體的作業，故存在作業效率差的問題。
因此，本發明的目的在於提供一種搬運裝置，不變更裝置構成即可搬運經疊置的被搬運體，並且可藉由簡單的裝置構成而進行被搬運體中的重疊的修正偏移及防止偏移。
本發明所欲解決的問題為以上所述，接下來對用以解決所述問題的手段進行說明。
即，本發明中發明1記載的搬運裝置包括在疊置被搬運體的狀態下對被搬運體進行固持的固持單元，且在所述固持單元固持所述被搬運體的狀態下搬運所述被搬運體，且所述固持單元包括固持部，固持所述被搬運體；及檢測部，檢測藉由所述固持部固持的被搬運體；且根據所述檢測部的檢測而控制所述固持部對所述被搬運體的固持動作，並且所述固持部進行被搬運體中的重疊的修正偏移及防止偏移。
在所述構成中，藉由檢測部檢測被搬運體，而控制固持部對所述被搬運體的固持動作，並且固持部進行被搬運體中的重疊的修正偏移及防止偏移。
又，發明2記載的發明如發明1記載的搬運裝置，其中所述固持部藉由抵接於所述被搬運體的側面並固持所述被搬運體，而進行所述被搬運體中的重疊的修正偏移及防止偏移。
在所述構成中，固持部固持被搬運體，並且固持部在抵 接於被搬運體的側面並固持被搬運體的狀態下進行被搬運體中的重疊的修正偏移及防止偏移。
進而，發明3記載的發明如發明1或發明2記載的搬運裝置，其中所述固持部藉由使相對於所述被搬運體的移動方向階段性地變化而固持所述被搬運體。
在所述構成中，固持部藉由一面使所述固持部相對於被搬運體的移動方向階段性地變化一面接近或遠離被搬運體而固持被搬運體。
進而，發明4記載的發明如發明1至發明3中任一項記載的搬運裝置，其中所述檢測部包括：第1檢測部，檢測所述被搬運體的其中一側面；及第2檢測部，檢測所述被搬運體的另一側面。
在所述構成中，2個檢測部(第1檢測部及第2檢測部)自2個方向檢測被搬運體。
進而，發明5記載的發明如發明1至發明4中任一項記載的搬運裝置，其中所述被搬運體是收納工件的搬運容器，所述固持部藉由以蓋住所述搬運容器的所述工件的收納口的方式固持所述搬運容器，而防止收納在所述搬運容器的工件飛出。
在所述構成中，固持部固持被搬運體，並且藉由固持被搬運體的固持部蓋住工件的收納口而防止收納在被搬運體的工件飛出。
根據本發明的搬運裝置，固持被搬運體的固持部進行被搬運體中的重疊的修正偏移及防止偏移，因此無需在搬運裝置側、或被搬運體側另行設置偏移修正機構及偏移防止機構。因此，可藉由簡單的裝置構成進行修正偏移及防止偏移，且可充分地固持(保持)經疊置的被搬運體。又，即便是在被搬運體側無法另行設置偏移修正機構及偏移防止機構的被搬運體，亦可在經疊置的狀態下進行搬運。進而，無需藉由固定構件固定經疊置的被搬運體來防止重疊偏移，因此作業效率良好。
10‧‧‧頂棚搬運車(搬運裝置)
11‧‧‧移動車
12‧‧‧升降驅動部
13‧‧‧移行車體
14‧‧‧支持部
15‧‧‧升降帶
20‧‧‧夾持裝置(固持單元)
21‧‧‧固持部
22‧‧‧驅動部
23‧‧‧感測器(檢測部)
23a‧‧‧第1感測器(第1檢測部)
23b‧‧‧第2感測器(第2檢測部)
24‧‧‧第1夾頭縱向材
25‧‧‧第2夾頭縱向材
26‧‧‧第3夾頭縱向材
26A‧‧‧面導引縱向材
27、29、29A‧‧‧臂部分
27a‧‧‧板狀構件
28、30、30A‧‧‧支承部分
31‧‧‧第1馬達
32‧‧‧第2馬達
33‧‧‧第1軸
34‧‧‧第1螺母構件
35‧‧‧第2螺母構件
36‧‧‧第2軸
37‧‧‧第3軸
38‧‧‧第3螺母構件
39‧‧‧第4螺母構件
40‧‧‧第1滑動構件
41‧‧‧第2滑動構件
42‧‧‧第3滑動構件
43‧‧‧第1導引部
44‧‧‧第1導引導軌
45‧‧‧第2導引部
46‧‧‧第2導引導軌
47‧‧‧第3導引部
48‧‧‧第3導引導軌
80‧‧‧托盤(被搬運體、搬運容器)
81‧‧‧工件
82‧‧‧收納口
90‧‧‧頂棚
91‧‧‧移行導軌
A、B、C、D、E‧‧‧箭頭
圖1是本發明的搬運裝置的一例即頂棚搬運車的正視圖。
圖2是藉由頂棚搬運車搬運的托盤的立體圖。
圖3是頂棚搬運車的夾持(chucking)裝置的側視剖面圖。
圖4(a)至圖4(c)是使頂棚搬運車的第1夾頭(chuck)縱向材及第2夾頭縱向材分兩階段移動的情形的俯視概略圖，圖4(d)及圖4(e)是使頂棚搬運車的第1夾頭縱向材及第2夾頭縱向材以一階段移動的情形的俯視概略圖。
圖5(a)是搬運經疊置的托盤時的頂棚搬運車的側視剖面圖，圖5(b)及圖5(c)是搬運經疊置的托盤時的頂棚搬運車的固持部附近的側視圖，圖5(d)是搬運經疊置的托盤時的頂棚搬運車的正視剖面圖，圖5(e)及圖5(f)是搬運經疊置的托盤時的頂棚搬運車的固持部附近的正視圖。
圖6(a)是表示頂棚搬運車的固持部的另一實施例的立體圖，圖6(b)及圖6(c)是在另一實施例的固持部中使面導引(guide)構件相對於所述托盤移動的情形的俯視概略圖。
首先，對本發明的搬運裝置的一例即頂棚搬運車10(搬運裝置10)進行說明。
如圖1所示，頂棚搬運車10用以將工件81搬運至對半導體基板等工件81進行規定處理的多個處理裝置(未圖示)。頂棚搬運車10在疊置收納有工件81的多個托盤80(「被搬運體」的一例)的狀態下固持多個托盤80，並在固持的狀態下搬運。
如圖2所示，頂棚搬運車10搬運的托盤80為中空的平板狀托盤。在托盤80內部可收納多個(圖2中為2個)工件81。托盤80構成為可自於托盤80的長邊方向的兩端部開口的收納口82收納工件81。
[頂棚搬運車10]
如圖1所示，頂棚搬運車10以相對於設置在設備的頂棚90附近的移行導軌91懸吊的狀態安裝。頂棚搬運車10可沿移行導軌91移動地構成。頂棚搬運車10主要包括移動車11、升降驅動部12、夾持裝置20(「固持單元」的一例)。
移動車11可沿固定於頂棚90而安裝的移行導軌91移行地構成。移動車11主要包括：線性馬達(linear motor)式的移行車體13，產生用以沿移行導軌91移行的移行推力；及支持部 14，連結於移行車體13，且支持升降驅動部12。再者，移行車體13並不限定於線性馬達式的移行車體，只要為可在無塵室等要求潔淨度的空間移行的方式的移行車體即可。
升降驅動部12為使夾持裝置20在懸吊狀態下升降的部分。升降驅動部12安裝在移動車11的下端部。升降驅動部12具有多條升降帶(belt)15。升降驅動部12以可將多條升降帶15同時捲取及捲出的方式構成。藉由進行多條升降帶15的捲取及捲出，而對由升降帶15懸吊支持的夾持裝置20一面維持大致水平姿勢一面進行升降操作。
[夾持裝置20]
夾持裝置20為固持經疊置的托盤80的裝置。夾持裝置20安裝在升降驅動部12。夾持裝置20以自經疊置的最下段的托盤80的底部包入(捧著)托盤80的方式固持托盤80。夾持裝置20主要包括：固持部21，固持托盤80；驅動部22，驅動固持部21；及感測器23(「檢測部」的一例)，檢測托盤80。
[固持部21]
如圖1至圖3所示，固持部21沿夾持裝置20的上下方向延伸設置。固持部21為以自經疊置的最下段的托盤80的底部包入(捧著)托盤80的方式可搬運地保持托盤80的部分。即，固持部21為固持托盤80的部分。固持部21包含沿上下方向延伸設置的多個(圖1中為3個)夾頭縱向材(夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26)。固持部21藉由多個夾頭縱向材而固持托 盤80。再者，藉由固持部21包含3個夾頭縱向材(夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26)，托盤80的重量確實地施加於各夾頭縱向材(夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26)的支承部分(支承部分28、支承部分30)，從而可更穩定地固持托盤80。
第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25為在固持托盤80時配置在托盤80角部的角導引構件。第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25為藉由抵接於經疊置的托盤80的側面而固持托盤80角部並且導引托盤80角部的構件。第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25包括：臂(arm)部分27，抵接於托盤80的角部；及支承部分28，形成在臂部分27的一端部且支承經疊置的最下段的托盤80的底面。
臂部分27為配合於托盤80的角部形狀而將2片板狀構件27a接合形成為大致L字形狀的部分。臂部分27在藉由固持部21固持托盤80時抵接於托盤80的角部。藉由臂部分27抵接於托盤80的角部，第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25成為可與第3夾頭縱向材26一同固持托盤80側面的狀態。又，藉由臂部分27抵接於托盤80的角部，可修正托盤80中的重疊的偏移及防止偏移。
進而，藉由臂部分27抵接於托盤80的角部，臂部分27成為在上下方向蓋住托盤80的收納口82一端的狀態(托盤80的收納口82的一部分蓋上的狀態)。即，臂部分27成為防止收納在 托盤80內的工件81自收納口82飛出的狀態。具體而言，如圖2所示，藉由形成臂部分27的其中一板狀構件27a的平面部分蓋住托盤80的收納口82的開口部分的單側端部(藉由使板狀構件27a的平面部分抵接於收納口82的開口面的單側端部)，使托盤80的收納口82的開口部分變窄，從而成為可藉由板狀構件27a的平面部分卡止欲自收納口82飛出的工件81的狀態。
又，藉由臂部分27抵接於托盤80的角部，可將欲自收納口82飛出的工件81壓入托盤80的內部，因此可修正托盤80內的工件81的偏移及防止偏移。
如此，第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25的臂部分27具有固持托盤80側面(角部)的功能，並且具有進行托盤80中的重疊的修正偏移及防止偏移的功能、及防止收納在托盤80內的工件81自收納口82飛出的功能。
如圖1及圖3所示，支承部分28為將可載置經疊置的最下段的托盤80的底面的板狀構件沿大致垂直方向接合於臂部分27的板狀構件27a的一端面而形成的部分。支承部分28在藉由固持部21固持托盤80時，抵接於經疊置的最下段的托盤80的角部底面而支承托盤80。
第3夾頭縱向材26為在固持托盤80時配置在托盤80的長邊方向上的其中一側板中央部的面導引構件。即，第3夾頭縱向材為藉由抵接於經疊置的托盤80的側面而固持托盤80側板並且導引托盤80側板的構件。具體而言，第3夾頭縱向材26配 置在與在兩端部具有配置第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25的角部的托盤80側板對向的側板的中央部。第3夾頭縱向材26包括：臂部分29，抵接於托盤80側板側面；及支承部分30，形成在臂部分29的一端部且支承經疊置的最下段的托盤80的底面。
臂部分29藉由可抵接於托盤80的側板側面的板狀構件形成。臂部分29在藉由固持部21固持托盤80時，抵接於托盤80的長邊方向上的其中一側板的中央側面。藉此，第3夾頭縱向材26成為可與第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25一同固持托盤80側面的狀態。又，可修正托盤80中的寬度方向的重疊的偏移及防止偏移。
支承部分30為將可載置經疊置的最下段的托盤80的底面的板狀構件沿大致垂直方向接合於臂部分29的板狀構件的一端面而形成的部分。支承部分30在藉由固持部21固持托盤80時，抵接於經疊置的最下段的托盤80的長邊方向上的其中一側板中央部底面而支承托盤80。
[驅動部22]
如圖1及圖3所示，驅動部22使固持部21的各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26移動且設置在固持部21的上部。驅動部22主要包括馬達31、馬達32、及滑動(slide)構件40、滑動構件41、滑動構件42。
第1馬達31為使各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26向與托盤80的長邊方向正交的方向(圖3的箭頭B 方向)移動的馬達。在第1馬達31上連接有第1軸33。藉由第1馬達31作動而第1軸33轉動。
第1軸33藉由滾珠螺桿(ball screw)形成。第1軸33在所述第1軸33中途的供插通第1螺母(nut)構件34及第2螺母構件35的部分向反方向形成有螺紋。即，第1軸33以在使第1軸33轉動時第1螺母構件34及第2螺母構件35在第1軸33上相互接近或遠離的方式形成。
第2馬達32為使第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25向托盤80的長邊方向(圖1的箭頭A方向)移動的馬達。在第2馬達32上連接有第2軸36。藉由第2馬達32作動而第2軸36轉動。
在第2軸36上連接有第3軸37。藉由第2軸36轉動而第3軸37轉動。
第3軸37藉由滾珠螺桿形成。第3軸37在所述第3軸37中途的供插通第3螺母構件38及第4螺母構件39的部分向反方向形成有螺紋。即，第3軸37以在使第3軸37轉動時第3螺母構件38及第4螺母構件39在第3軸37上相互接近或遠離的方式形成。
第1滑動構件40為用以使第3夾頭縱向材26向與托盤80的長邊方向正交的方向(圖3的箭頭B方向)移動的構件。第1滑動構件40包括：第1導引部43，支持第3夾頭縱向材26；及第1導引導軌44，用以使第1導引部43滑動。
第2滑動構件41為用以使第1夾頭縱向材24或第2夾頭縱向材25向與托盤80的長邊方向正交的方向(圖3的箭頭B方向)移動的構件。第2滑動構件41包括：第2導引部45，支持第1夾頭縱向材24或第2夾頭縱向材25；及第2導引導軌46，用以使第2導引部45滑動。
第3滑動構件42為用以使第1夾頭縱向材24或第2夾頭縱向材25向托盤80的長邊方向(圖1的箭頭A方向)移動的構件。第3滑動構件42包括：第3導引部47，支持第1夾頭縱向材24或第2夾頭縱向材25；及第3導引導軌48，用以使第3導引部47滑動。
在頂棚搬運車10中，藉由在第2滑動構件41上部配置第3滑動構件42，即藉由在驅動部22沿上下方向配置2個滑動構件，可使第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25向2個方向(圖1的箭頭A方向及圖3的箭頭B方向)移動。
[感測器(sensor)23]
如圖1及圖3所示，感測器23設置在各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26的下端部(支承部分28側)。感測器23檢測藉由固持部21固持的托盤80。感測器23的檢測結果作為檢測信號發送至未圖示的控制部。然後，控制部根據來自感測器23的檢測信號而控制各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26對托盤80的固持動作。
感測器23由靜電電容型近接感測器構成。再者，感測器23 的方式並不限定於靜電電容型感測器，可根據托盤80的材質、顏色等而選擇感測器23方式。因此，感測器23例如亦可為光學式或直接接觸式感測器。又，感測器23設置在各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26的下端部，但並不限定於此，只要為可檢測經疊置的托盤80的位置，例如亦可設置在各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26的中央部或上端部。
進而，設置在第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25的下端部的感測器23包括：第1感測器23a(「第1檢測部」的一例)，檢測托盤80的其中一壁板(形成在托盤80的長邊方向的壁板)；及第2感測器23b(「第2檢測部」的一例)，檢測相對於第1感測器23a檢測的壁板而垂直地形成的壁板(形成在與托盤80的長邊方向正交的方向的壁板)。即，在第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25設置有托盤80的檢測位置(檢測方向)不同的2台感測器，自不同的2個方向檢測托盤80。
在使第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25向與托盤80的長邊方向正交的方向(圖3的箭頭B方向)移動時，第1感測器23a檢測形成在托盤80的長邊方向的壁板。
在使第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25向托盤80的長邊方向(圖1的箭頭A方向)移動時，第2感測器23b檢測形成在與托盤80的長邊方向正交的方向的壁板。
再者，設置在第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25的下端部的感測器23由2台感測器(第1感測器23a及第2感測 器23b)構成，但並不限定於此，只要可對應於第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25的移動而檢測經疊置的托盤80，則亦可由1台感測器構成。
[各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26的固持動作]
其次，對各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26的固持動作進行說明。
如圖4(a)所示，在頂棚搬運車10中，首先各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26向與經疊置的托盤80的長邊方向正交的方向(箭頭C方向，托盤80的寬度方向)移動。然後，各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26固持托盤80的長邊方向的側板。繼而，如圖4(b)所示，第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25向托盤80的長邊方向(箭頭D方向)移動。然後，第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25固持托盤80的寬度方向的側板。即，在頂棚搬運車10中，第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25一面使相對於托盤80的移動方向朝兩個方向階段性地變化，一面固持托盤80的角部。如此操作的原因在於，如圖4(d)所示，當使第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25配合於第3夾頭縱向材26的移動而以一階段移動時，有時會因托盤80的形狀或大小而導致第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25卡於托盤80，從而無法固持托盤80(參照圖4(e))。如此，藉由使第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25分兩階段移動， 即便在形狀或大小不同的托盤80混存的情形時，各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26亦不會卡於托盤80而可藉由固持部21固持托盤80。具體而言，以如下方式動作。
如圖3所示，當第1馬達31作動時，第1軸33轉動，第1螺母構件34向第1軸33的中央部移動。藉由第1螺母構件34移動，固定於第1螺母構件34上的第1滑動構件40的第1導引部43沿第1導引導軌44滑動。藉此，藉由第1導引部43支持的第3夾頭縱向材26向與托盤80的長邊方向正交的方向(圖3的箭頭B方向，托盤80的寬度方向)以與托盤80接近的方式(以固持托盤80側板的方式)移動。
又另一方面，當第1馬達31作動而第1軸33轉動時，第2螺母構件35向第1軸33的中央部移動。藉由第2螺母構件35移動而固定在第2螺母構件35上的第2滑動構件41的第2導引部45沿第2導引導軌46滑動。藉此，藉由第2導引部45支持的第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25向托盤80的寬度方向(圖3的箭頭B方向)以與托盤80接近的方式移動。再者，對於第2馬達32，亦為藉由第2導引部45滑動而使第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25向托盤80的寬度方向(圖3的箭頭B方向)移動。
當藉由第1馬達31的作動而各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26向托盤80移動時，設置在各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26的感測器23(第1感測器23a) 檢測有無托盤80。具體而言，根據感測器23的檢測結果而檢測各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26與托盤80的距離。感測器23將檢測結果作為檢測信號發送至未圖示的控制部。控制部根據來自感測器23的檢測信號而判斷各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26與托盤80的距離(位置關係)。然後，控制部藉由控制第1馬達31的作動，而控制各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26的移動。當感測器23在規定位置即在各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26與托盤80的壁板接觸的位置檢測到托盤80時，控制部停止第1馬達31的驅動，從而停止各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26的移動。
其次，如圖1及圖3所示，當第2馬達32作動時，第2軸36轉動，繼而第3軸37轉動。藉由第3軸37轉動而第3螺母構件38及第4螺母構件39以相互接近的方式向第3軸37的中央部移動。然後，固定各第3螺母構件38及第4螺母構件39的第3滑動構件42的第3導引部47沿第3導引導軌48滑動。藉此，第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25以相互接近的方式向托盤80的長邊方向(圖1的箭頭A方向)移動以固持托盤80的角部。
當藉由第2馬達32的作動而第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25向托盤80移動時，設置在第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25上的感測器23(第2感測器23b)檢測托盤80，並將檢測結果作為檢測信號發送至未圖示的控制部。控制部根據 來自感測器23(第2感測器23b)的檢測信號而判斷第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25與托盤80的距離(位置關係)。然後，控制部藉由控制第2馬達32的作動而控制第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25的移動。當感測器23(第2感測器23b)在規定位置即在第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25與托盤80的壁板接觸的位置檢測到托盤80時，控制部停止第2馬達32的驅動，從而停止第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25的移動。
如以上般，在頂棚搬運車10中，一面藉由設置在各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26的感測器23而檢測各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26與托盤80的距離，一面控制各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26的移動，藉此可配合於托盤80的形狀或大小而自如地變更各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26固持托盤80的位置，因此即便在隨時搬運形狀或大小不同的托盤80的情形時，亦可配合於各個托盤80的形狀或大小而移動各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26。因此，無須配合於托盤80的形狀或大小而改變頂棚搬運車10的構造(例如各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26的構造)，僅在同一裝置構造中變更各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26相對於托盤80的固持位置即可搬運各種形狀或大小的托盤80。
又，在頂棚搬運車10中，各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26在抵接於經疊置的托盤80的側面(角部) 的狀態下固持托盤80，因此可防止托盤80中的重疊偏移。又，即便是在被搬運體側無法另行設置偏移防止機構的被搬運體，亦可在經疊置的狀態下進行搬運。
又，在頂棚搬運車10中，可藉由用以固持托盤80的第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25防止工件81飛出，因此可藉由簡單的裝置構成而防止儲物箱80內的工件飛出。
進而，在頂棚搬運車10中，一面藉由托盤80的檢測位置(檢測方向)不同的2台感測器(第1感測器23a及第2感測器23b)檢測托盤80，一面使第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25相對於托盤80的移動方向階段性地變化，因此第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25可不卡於托盤80而固持托盤80。
[托盤80的重疊偏移修正]
其次，對頂棚搬運車10中的托盤80的重疊偏移修正進行說明。
如圖5(a)及圖5(d)所示，存在藉由頂棚搬運車10搬運的托盤80以分別在托盤80的長邊方向或寬度方向(與長邊方向正交的方向)上偏移的狀態經疊置的情況。所述情形時，在頂棚搬運車10中，如圖5(a)所示，首先，使各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26向托盤80的寬度方向(箭頭D方向)移動，藉此修正托盤80寬度方向上的托盤80的偏移。具體而言，如圖5(b)所示，一面使各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26抵接於托盤80的長邊方向的側面，一面使各夾頭縱向 材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26向箭頭D方向移動。藉此，偏移的狀態下的托盤80被推向箭頭D方向，經疊置的托盤80的寬度方向上的偏移得以修正。
其次，如圖5(d)所示，使第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25向托盤80的長邊方向(箭頭E方向)移動，藉此修正托盤80長邊方向上的偏移。具體而言，如圖5(e)所示，一面使第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25抵接於托盤80的長邊方向的側面，一面使第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25向箭頭E方向移動。藉此，偏移的狀態下的托盤80被推向箭頭E方向，經疊置的托盤80的長邊方向上的偏移得以修正。
又，如圖5(d)所示，關於經疊置的托盤80的一部分，有收納在托盤80內的工件81在自托盤80飛出的狀態下經收納的情況。因此，在頂棚搬運車10中，使第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25向托盤80的長邊方向(箭頭E方向)移動，藉此修正自托盤80飛出的狀態下的工件81的偏移。具體而言，如圖5(e)所示，一面使第1夾頭縱向材24或第2夾頭縱向材25抵接於飛出狀態下的工件81的側面，一面使第1夾頭縱向材24及第2夾頭縱向材25向箭頭E方向移動。藉此，飛出狀態下的工件81被推向箭頭E方向，飛出狀態下的工件81被收納在托盤80內。
如此，在頂棚搬運車10中，在各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26抵接於托盤80及工件81的側面的狀態下固持托盤80，藉此可進行托盤80及工件81的偏移修正。即， 各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26具有固持托盤80的固持功能，並且具有托盤80及工件81的偏移修正功能。因此，無需在頂棚搬運車10側設置偏移修正機構便可藉由簡單的裝置構成來進行托盤80及工件81的偏移修正。
如以上般，根據頂棚搬運車10，固持托盤80的各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26進行托盤80中的重疊的修正偏移及防止偏移，故無需在頂棚搬運車10側、或托盤80側另行設置偏移修正機構及偏移防止機構。因此，可藉由簡單的裝置構成進行修正偏移及防止偏移，另外可充分地固持(保持)經疊置的托盤80。又，即便是在托盤80側無法另行設置偏移修正機構及偏移防止機構的托盤80，亦可在經疊置的狀態下進行搬運。進而，無需藉由固定構件固定經疊置的托盤80來防止重疊偏移，因此作業效率良好。
再者，在頂棚搬運車10中，固持部21包含3個夾頭縱向材(夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26)，但並不限定於此，如圖6(a)~圖6(c)所示，亦可設為藉由4個面導引縱向材26A固持托盤80的各側板中央部的構成。此處，面導引縱向材26A與第3夾頭縱向材26相同，包括：臂部分29A，藉由可抵接於托盤80的側板側面的板狀構件而形成；及支承部分30A，將可載置經疊置的最下段的托盤80底面的板狀構件沿大致垂直方向接合於臂部分29A的板狀構件的一端面而形成。
在所述情形時，如圖6(b)及圖6(c)所示，藉由使4 個面導引縱向材26A同時(以一階段)向接近托盤80的方向移動，而使各面導引縱向材26A成為可在托盤80的各側板中央部固持托盤80的狀態。
又，在所述情形時，如圖6(a)所示，藉由面導引縱向材26A的臂部分29A抵接於托盤80的側面，進行托盤80中的重疊的修正偏移及防止偏移。進而，藉由臂部分29A在上下方向蓋住托盤80的收納口82的中央部(托盤80的收納口82的中央部蓋上)，而防止收納在托盤80內的工件81自收納口82飛出。
進而，在本實施方式中，將搬運裝置設為頂棚移行形式的頂棚搬運車10，但並不限定於此，例如亦可設為在地板移行形式的移行車本體設置有夾持裝置20的搬運裝置。所述情形時設為如下構成：在臂構件上安裝夾持裝置20，所述臂構件在上下方向轉動自如地安裝在旋轉台上，且所述旋轉台旋轉自如地設置在移行車本體上。
進而，在本實施方式中，藉由如驅動部22般的構成(馬達31、馬達32、滑動構件40、滑動構件41、滑動構件42等)而使固持部21的各夾頭縱向材24、夾頭縱向材25、夾頭縱向材26移動，但並不限定於如驅動部22般的構成的驅動部。

Claims (4)

  1. 一種搬運裝置，包括在疊置被搬運體的狀態下對所述被搬運體進行固持的固持單元，且在所述固持單元固持所述被搬運體的狀態下搬運所述被搬運體，所述搬運裝置的特徵在於：所述固持單元包括固持部，固持所述被搬運體；及檢測部，檢測藉由所述固持部固持的所述被搬運體；且根據所述檢測部的檢測而控制所述固持部對所述被搬運體的固持動作，並且所述固持部藉由以固持所述被搬運體的角部的方式進行所述被搬運體中的重疊的修正偏移及防止偏移，所述固持動作為所述固持部抵接於所述被搬運體的角部以固持所述被搬運體，同時導引所述被搬運體的角部。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的搬運裝置，其中所述固持部藉由使相對於所述被搬運體的移動方向階段性地變化而固持所述搬運容器。
  3. 如申請專利範圍第1項所述的搬運裝置，其中所述檢測部包括：第1檢測部，檢測所述被搬運體的其中一側面；及第2檢測部，檢測所述被搬運體的另一側面。
  4. 如申請專利範圍第1項所述的搬運裝置，其中所述被搬運體是收納工件的搬運容器，所述固持部藉由以蓋住所述搬運容器的所述工件的收納口的方式固持所述搬運容器，而防止收納在所述搬運容器的工件飛出。
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