KR102220542B1 - 이송대차 - Google Patents

이송대차 Download PDF

Info

Publication number
KR102220542B1
KR102220542B1 KR1020190098856A KR20190098856A KR102220542B1 KR 102220542 B1 KR102220542 B1 KR 102220542B1 KR 1020190098856 A KR1020190098856 A KR 1020190098856A KR 20190098856 A KR20190098856 A KR 20190098856A KR 102220542 B1 KR102220542 B1 KR 102220542B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
unit
alignment
gripping
moving
fall prevention
Prior art date
Application number
KR1020190098856A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20210019789A (ko
Inventor
구성헌
승재익
김승현
Original Assignee
주식회사 에스에프에이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 에스에프에이 filed Critical 주식회사 에스에프에이
Priority to KR1020190098856A priority Critical patent/KR102220542B1/ko
Publication of KR20210019789A publication Critical patent/KR20210019789A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102220542B1 publication Critical patent/KR102220542B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6732—Vertical carrier comprising wall type elements whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising sidewalls
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

이송대차가 개시된다. 본 발명에 따른 이송대차는, 주행레일을 따라 이동하는 이송대차 본체와, 이송대차 본체에 지지되며 다수개의 트레이들이 적층되어 형성되는 이송 대상물을 파지하고 파지된 이송 대상물을 업/다운(up/down) 이동시키는 헤드유닛과, 헤드유닛에 장착되며 이송 대상물의 일부 트레이가 돌출되지 않도록 트레이들의 측벽을 가압하는 트레이 정렬유닛을 포함한다.

Description

이송대차{CARRIAGE}
본 발명은, 이송대차에 관한 것에 관한 것으로서, 다수개의 트레이들이 적층되어 형성되는 이송 대상물의 일부 트레이가 돌출되는 것을 방지할 수 있는 이송대차에 관한 것이다.
일반적으로, 천장 대차 시스템(Overhead Hoist Transport, OHT)는 이송할 이송 대상물이 많은 반도체 생산공장 등에 설치된다. 이러한 천장 대차 시스템은 천장에 설치된 주행레일(rail)을 따라 주행하며 이송 대상물을 운반하는 이송대차(vehicle)를 포함한다. 천장 대차 시스템은 이송명령을 지령하는 OCS(OHT Control System)에 의해서 통합 제어관리 된다.
반도체 생산 라인에 설치된 천장 대차 시스템에서 주행레일은 크린 룸(clean room) 내의 천장 공간에 설치되며, 주행레일을 따라 이동되는 이송대차는 반도체 칩(chip)이 수용된 다수개의 트레이(tray)들이 적층된 이송 대상물을 여러 포트(port)로 운반한다.
이러한 천장 대차 시스템은 복수의 이송대차가 주행레일 위를 주행하여 이송 대상물을 이송하는데, 주행과정에서 이송대차에 가해지는 충격, 관성력, 흔들림 등에 의해 이송 대상물의 일부(특히, 상부 측에 배치된 트레이들)가 도 10에 도시된 점선과 같이 측방향으로 쏠려 돌출될 수 있다.
이렇게 측방향으로 돌출된 트레이는 이송 대상물의 언로딩과정에서 포트(미도시)의 구조물에 부딪혀 언로딩 과정에 오류를 유발할 수 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2006-0064298호, (2006.06.13.)
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 다수개의 트레이들이 적층되어 형성되는 이송 대상물의 이송과정에서 충격, 관성력 및 흔들림 등에 의해 일부 트레이가 돌출되는 것을 방지할 수 있는 이송대차를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 주행레일을 따라 이동하는 이송대차 본체; 상기 이송대차 본체에 지지되며, 다수개의 트레이들이 적층되어 형성되는 이송 대상물을 파지하고 파지된 상기 이송 대상물을 업/다운(up/down) 이동시키는 헤드유닛; 및 상기 헤드유닛에 장착되며, 상기 이송 대상물의 일부 트레이가 돌출되지 않도록 상기 트레이들의 측벽을 가압하는 트레이 정렬유닛을 포함하는 이송대차가 제공될 수 있다.
상기 트레이 정렬유닛은, 상기 헤드유닛에 회전 가능하게 결합되며, 상기 이송 대상물에 접촉되어 상기 이송 대상물을 가압하는 정렬용 가압 바아부; 및 상기 헤드유닛에 지지되고 상기 정렬용 가압 바아부에 연결되며, 상기 정렬용 가압 바아부를 회전시키는 정렬용 회전 구동부를 포함할 수 있다.
상기 정렬용 가압 바아부는, 상기 이송 대상물에 접촉되는 제1 세로 몸체; 상기 제1 세로 몸체에 결합되는 가로 몸체; 및 상기 가로 몸체에 결합되고 상기 헤드유닛에 회전 가능하게 결합되며, 상기 정렬용 회전 구동부에 연결되는 제2 세로 몸체를 포함할 수 있다.
상기 정렬용 가압 바아부는, 복수개로 마련되며, 상기 이송 대상물을 기준으로 상호 대칭되게 이격되어 배치될 수 있다.
상기 헤드유닛은, 상기 트레이 정렬유닛을 지지하며, 상기 이송 대상물을 파지하는 트레이 파지부; 및 상기 이송대차 본체에 연결되고 상기 트레이 파지부를 지지하며, 상기 트레이 파지부를 업/다운(up/down) 이동시키는 호이스트부를 포함할 수 있다.
상기 트레이 파지부는, 상기 정렬용 가압 바아부가 회전 가능하게 결합되며, 상기 호이스트부에 연결되는 파지용 프레임부; 상기 파지용 프레임부에 상대이동 가능하게 연결되어 상기 이송 대상물에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동되며, 상기 이송 대상물을 파지하는 그리퍼부; 및 상기 파지용 프레임부에 지지되고 상기 그리퍼부에 연결되며, 상기 그리퍼부를 이동시키는 그리퍼용 이동 구동부를 포함할 수 있다.
상기 그리퍼부는, 상기 이송 대상물의 하단부에 연결되며, 상기 이송 대상물을 지지하는 파지용 지지대; 상기 파지용 지지대에 연결되며, 상기 이송 대상물을 가압하는 파지용 가압 플레이트부; 및 상기 파지용 가압 플레이트부에 연결되며, 상기 파지용 프레임부에 슬라이딩 이동 가능하게 결합되는 파지용 이동 블록부를 포함할 수 있다.
상기 그리퍼부는, 한 쌍으로 마련되며, 상기 이송 대상물을 사이에 두고 상호 이격되어 배치될 수 있다.
상기 트레이 파지부는, 상기 파지용 프레임부에 지지되며, 상기 이송 대상물의 상단부에 연결되어 상기 이송 대상물을 상기 파지용 지지대 방향으로 가압하는 푸셔부를 더 포함할 수 있다.
상기 푸셔부는, 상기 파지용 프레임부에 결합되며, 상기 이송 대상물에 대해 이격되게 배치되는 푸셔용 가이드 바아부; 상기 푸셔용 가이드 바아부의 외벽에 슬라이딩 가능하게 연결되며, 상기 이송 대상물의 상단부에 접촉되는 푸셔용 가압 플레이트부; 및 상기 파지용 프레임부에 결합되고 상기 푸셔용 가압 플레이트부에 연결되며, 상기 푸셔용 가압 플레이트부를 업/다운(up/down) 이동시키는 푸셔용 이동 구동부를 포함할 수 있다.
상기 이송대차 본체에 지지되며, 상기 이송 대상물의 추락이 방지되도록 그리퍼부를 상기 이송 대상물 방향으로 가압하는 트레이 추락방지유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 트레이 추락방지유닛은, 상기 파지용 가압 플레이트부에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동되는 추락방지용 가압부; 상기 추락방지용 가압부가 슬라이딩 이동가능하게 연결되는 추락방지용 가이드부; 및 상기 추락방지용 가압부에 연결되며, 상기 추락 방지용 가압부를 이동시키는 추락방지용 가압 구동부를 포함할 수 있다.
상기 추락방지용 가압부는, 상기 추락방지용 가압 구동부에 연결되는 추락 방지용 이동블록부; 상기 추락 방지용 이동블록부에 결합되며, 상기 파지용 가압 플레이트부에 연결되어 상기 파지용 가압 플레이트부를 가압하는 추락 방지용 가압블록부; 및 상기 추락 방지용 가압블록부에 결합되며, 상기 파지용 가압 플레이트부의 하단부의 하측에 이격되어 배치되는 추락방지용 스토퍼부를 포함할 수 있다.
상기 추락방지용 가압부는, 상기 추락 방지용 가압블록부에 결합되며, 상기 파지용 가압 플레이트부에 접촉되는 쿠션 패드부를 더 포함할 수 있다.
상기 추락방지용 가압부는, 한 쌍으로 마련되어 상호 이격되어 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들은, 다수개의 트레이들이 적층되어 형성되는 이송 대상물을 파지하는 헤드유닛에 장착되어 트레이들의 측벽을 가압하는 트레이 정렬유닛을 구비함으로써, 이송 대상물의 이송과정에서 이송대차에 인가되는 충격, 관성력 및 흔들림 등에 의해 일부 트레이가 돌출되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송대차가 도시된 도면이다.
도 2는 도 1의 위치조절유닛이 도시된 사시도이다.
도 3은 도 2를 아래쪽에서 바라본 사시도이다.
도 4는 도 1의 트레이 파지부가 도시된 사시도이다.
도 5는 도 1의 트레이 추락방지유닛이 도시된 도면이다.
도 6는 도 5의 트레이 추락방지유닛의 내부가 도시된 도면이다.
도 7은 도 6의 'A' 부분의 확대도이다.
도 8은 도 4의 그리퍼부와 트레이 정렬유닛의 동작상태가 도시된 동작상태도이다.
도 9는 도 4를 아래쪽에서 바라본 상태에서 트레이 정렬유닛의 동작이 도시된 도면이다.
도 10은 종래기술에 따른 이송대차에서 이송되던 적층된 트레이들이 이송과정에 한쪽으로 쏠리는 상태가 도시된 도면이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다. 또한, 이하에서 제1축 방향은 'X'로 제2축 방향은 'Y'로 표시한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송대차가 도시된 도면이고, 도 2는 도 1의 위치조절유닛이 도시된 사시도이며, 도 3은 도 2를 아래쪽에서 바라본 사시도이고, 도 4는 도 1의 트레이 파지부가 도시된 사시도이며, 도 5는 도 1의 트레이 추락방지유닛이 도시된 도면이고, 도 6는 도 5의 트레이 추락방지유닛의 내부가 도시된 도면이며, 도 7은 도 6의 'A' 부분의 확대도이고, 도 8은 도 4의 그리퍼부와 트레이 정렬유닛의 동작상태가 도시된 동작상태도이며, 도 9는 도 4를 아래쪽에서 바라본 상태에서 트레이 정렬유닛의 동작이 도시된 도면이다.
본 실시예에 따른 이송대차는, 도 1 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 주행레일(미도시)을 따라 이동하는 이송대차 본체(100)와, 제1 헤드유닛(200)과, 제2 헤드유닛(300)과, 위치조절유닛(400)과, 트레이 정렬유닛(500)과, 트레이 추락방지유닛(600)을 포함한다.
이러한 이송대차는, 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300)을 이송대차 본체(100)에 대해 상대이동시켜 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300)의 위치를 조절할 수 있는 위치조절유닛(400)을 구비함으로써, 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300) 각각에 대응되는 포트들의 간격 및 위치에 상응하게 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300) 사이의 간격 및 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300)의 개별적인 위치를 조절할 수 있고, 그에 따라 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)을 동시에 로딩 및 언로딩할 수 있다.
이송대차 본체(100)는 주행레일(미도시)을 따라 이동한다. 이러한 이송대차 본체(100)는, 대차 몸체(110)와, 대차 몸체(110)에 회전 가능하게 결합되며 주행레일(미도시)에 지지되어 주행레일(미도시)을 따라 회전되는 주행 휠(120)를 포함한다.
제1 헤드유닛(200)은 이송대차 본체(100)에 지지된다. 이러한 제1 헤드유닛(200)은 제1 이송 대상물(TM1)을 파지하고 파지된 제1 이송 대상물(TM1)을 업/다운(up/down) 이동시킨다.
본 실시예에 따른 제1 헤드유닛(200)은, 도 1 내지 도 7에 자세히 도시된 바와 같이, 트레이 정렬유닛(500)을 지지하며 제1 이송 대상물(TM1)을 파지하는 트레이 파지부(210)와, 이송대차 본체(100)에 연결되고 트레이 파지부(210)를 지지하며 트레이 파지부(210)를 업/다운(up/down) 이동시키는 호이스트부(270)를 포함한다.
트레이 파지부(210)에는 트레이 정렬유닛(500)이 지지된다. 이러한 트레이 파지부(210)는 제1 이송 대상물(TM1)을 파지한다. 트레이 파지부(210)에 대한 자세한 구조는 설명의 편의를 위해 후술한다.
호이스트부(270)는 이송대차 본체(100)에 연결되고 트레이 파지부(210)를 지지한다. 이러한 호이스트부(270)는 트레이 파지부(210)를 업/다운(up/down) 이동시킨다. 본 실시예에 따른 호이스트부(270)는, 트레이 파지부(210)에 결합되는 다수개의 벨트(V)와, 벨트(V)들 각각이 감기는 다수개의 드럼(미도시)과, 드럼(미도시)에 연결되어 드럼(미도시)을 회전시키는 드럼 회전 구동부(미도시)를 포함한다.
드럼(미도시)의 회전에 의해 트레이 파지부(210)에 결합된 벨트(V)가 감기고 풀려서 트레이 파지부(210)가 상하방향으로 업/다운(up/down) 이동된다.
제2 헤드유닛(300)은 이송대차 본체(100)에 지지된다. 이러한 제2 헤드유닛(300)은 제2 이송 대상물(TM2)을 파지하고 파지된 제2 이송 대상물(TM2)을 업/다운(up/down) 이동시킨다. 본 실시예에 따른 제2 헤드유닛(300)은 제1 헤드유닛(200)에 대해 이격되어 배치된다.
이러한 제2 헤드유닛(300)은 제1 헤드유닛(200)과 동일한 구조를 가지므로, 설명의 편의를 위해 제2 헤드유닛(300)의 구조는 제1 헤드유닛(200)에 대한 설명으로 대체한다.
본 실시예에서 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)은 다수개의 트레이(T)들이 적층되어 형성되는 트레이 적층체이며, 개개의 트레이(T)의 내부에는 반도체 칩(chip)이 수용될 수 있다.
한편, 제1 헤드유닛(200)의 트레이 파지부(210)는 제1 이송 대상물(TM1)을 파지한다. 이러한 트레이 파지부(210)는, 도 4 내지 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 호이스트부(270)에 연결되는 파지용 프레임부(220)와, 파지용 프레임부(220)에 상대이동 가능하게 연결되어 제1 이송 대상물(TM1)에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동되며 제1 이송 대상물(TM1)을 파지하는 그리퍼부(230)와, 파지용 프레임부(220)에 지지되고 그리퍼부(230)에 연결되며 그리퍼부(230)를 이동시키는 그리퍼용 이동 구동부(미도시)와, 파지용 프레임부(220)에 지지되며 제1 이송 대상물(TM1)의 상단부에 연결되어 제1 이송 대상물(TM1)을 하측으로 가압하는 푸셔부(250)를 포함한다.
파지용 프레임부(220)에는 호이스트부(270)에 연결된다. 이러한 파지용 프레임부(220)에는 트레이 정렬유닛(500)의 후술할 정렬용 가압 바아부(510)가 회전 가능하게 결합된다. 본 실시예의 파지용 프레임부(220)에는 그리퍼부(230)의 후술할 파지용 이동 블록부(233)가 슬라이딩 이동 가능하게 결합되어 파지용 이동 블록부(233)의 이동을 안내하는 가이드레일(미도시)이 마련된다.
그리퍼부(230)는 파지용 프레임부(220)에 상대이동 가능하게 연결된다. 이러한 그리퍼부(230)는 제1 이송 대상물(TM1)에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동되어 제1 이송 대상물(TM1)을 파지 및 파지해제 한다.
본 실시예에서 그리퍼부(230)는 한 쌍으로 마련되며, 한 쌍의 그리퍼부(230)는 제1 이송 대상물(TM1)을 사이에 두고 상호 이격되어 배치된다.
이러한 그리퍼부(230)는, 도 4 및 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 제1 이송 대상물(TM1)의 하단부에 연결되며 제1 이송 대상물(TM1)을 지지하는 파지용 지지대(231)와, 파지용 지지대(231)에 연결되며 제1 이송 대상물(TM1)을 가압하는 파지용 가압 플레이트부(232)와, 파지용 가압 플레이트부(232)에 연결되며 파지용 프레임부(220)에 슬라이딩 이동 가능하게 결합되는 파지용 이동 블록부(233)를 포함한다.
파지용 지지대(231)는 제1 이송 대상물(TM1)의 하단부 가장자리 영역에 각각 연결되어 제1 이송 대상물(TM1)을 지지한다. 상술한 바와 같이 한 쌍으로 마련된 파지용 지지대(231) 각각이 제1 이송 대상물(TM1)의 하단부 일측 가장자리 영역과 타측 가장자리 영역에 연결되어 제1 이송 대상물(TM1)을 지지한다.
파지용 가압 플레이트부(232)는 파지용 지지대(231)에 연결된다. 이러한 파지용 가압 플레이트부(232)는 제1 이송 대상물(TM1)의 양측 사이드를 가압한다.
파지용 이동 블록부(233)는 파지용 가압 플레이트부(232)에 연결된다. 이러한 파지용 이동 블록부(233)는 파지용 프레임부(220)에 마련된 가이드레일(미도시)에 슬라이딩 이동 가능하게 결합된다.
푸셔부(250)는 파지용 프레임부(220)에 지지된다. 이러한 푸셔부(250)는 제1 이송 대상물(TM1)의 상단부에 연결되어 제1 이송 대상물(TM1)을 파지용 지지대(231) 방향으로 가압한다. 이러한 푸셔부(250)는 제1 이송 대상물(TM1)의 상단부에 배치된 트레이(T)를 하측으로 가압함으로써, 제1 이송 대상물(TM1)의 이송과정에서 이송대차 본체(100) 인가된 충격에 의해 제1 이송 대상물(TM1)의 상단에 배치된 트레이(T)가 상측으로 튀어 올라 이송대차 본체(100)에서 추락하는 것을 방지한다.
본 실시예에 따른 푸셔부(250)는, 도 4 내지 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 파지용 프레임부(220)에 결합되며 제1 이송 대상물(TM1)에 대해 이격되게 배치되는 푸셔용 가이드 바아부(251)와, 푸셔용 가이드 바아부(251)의 외벽에 슬라이딩 가능하게 연결되며 제1 이송 대상물(TM1)의 상단부에 접촉되는 푸셔용 가압 플레이트부(252)와, 파지용 프레임부(220)에 결합되고 푸셔용 가압 플레이트부(252)에 연결되며 푸셔용 가압 플레이트부(252)를 업/다운(up/down) 이동시키는 푸셔용 이동 구동부(미도시)를 포함한다.
푸셔용 가이드 바아부(251)는 파지용 프레임부(220)에 결합된다. 이러한 푸셔용 가이드 바아부(251)는 긴 봉 형상으로 마련되어 제1 이송 대상물(TM1)에 대해 이격되게 배치된다.
푸셔용 가압 플레이트부(252)는 푸셔용 가이드 바아부(251)의 외벽에 슬라이딩 가능하게 연결된다. 이러한 푸셔용 가압 플레이트부(252)는, 플레이트 형상으로 마련되며, 제1 이송 대상물(TM1)의 상단부에 접촉되어 제1 이송 대상물(TM1)을 하측으로 가압한다.
푸셔용 이동 구동부(미도시)는 파지용 프레임부(220)에 결합되고 푸셔용 가압 플레이트부(252)에 연결된다. 이러한 푸셔용 가압 플레이트부(252)를 업/다운(up/down) 이동시킨다. 본 실시예에서 푸셔용 이동 구동부(미도시)에는 가압 실린더(미도시)가 사용될 수 있다.
한편, 트레이 정렬유닛(500)은 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300) 각각에 장착된다. 이러한 트레이 정렬유닛(500)은 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)의 일부 트레이(T)가 돌출되지 않도록 트레이(T)들의 측벽을 가압한다.
이와 같이 본 실시예에 따른 이송대차는 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)의 적층된 트레이(T) 중 일부 트레이(T)가 측방향으로 돌출되지 않도록 트레이(T)들의 측벽을 가압하는 트레이 정렬유닛(500)을 구비함으로써, 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)의 이송과정에서 이송대차에 가해지는 충돌, 관성력 및 흔들림 등에 의해 적층된 트레이(T)들이 한쪽으로 쏠려 일부 트레이(T)가 돌출되는 것을 방지할 수 있고, 그에 따라 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)의 언로딩과정에서 트레이(T)가 포트(미도시)의 구조물에 부딪히는 것을 방지할 수 있다.
상술한 바와 같이 트레이 정렬유닛(500)은 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300) 각각에 장착되는데, 이하에서는 제1 헤드유닛(200)에 장착된 트레이 정렬유닛(500)에 대해 주로 설명하며 제2 헤드유닛(300)에 장착된 트레이 정렬유닛(500)은 제1 헤드유닛(200)에 장착된 트레이 정렬유닛(500)과 동일한 구조를 가지므로 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.
이러한 트레이 정렬유닛(500)은, 도 4 내지 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 제1 헤드유닛(200)에 회전 가능하게 결합되며 제1 이송 대상물(TM1)에 접촉되어 제1 이송 대상물(TM1)을 가압하는 정렬용 가압 바아부(510)와, 제1 헤드유닛(200)에 지지되고 정렬용 가압 바아부(510)에 연결되며 정렬용 가압 바아부(510)를 회전시키는 정렬용 회전 구동부(미도시)를 포함한다.
정렬용 가압 바아부(510)는 제1 헤드유닛(200)에 회전 가능하게 결합된다. 이러한 정렬용 가압 바아부(510)는 제1 이송 대상물(TM1)에 접촉되어 제1 이송 대상물(TM1)을 가압한다.
본 실시예에 따른 정렬용 가압 바아부(510)는, 도 4 및 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 제1 이송 대상물(TM1)에 접촉되는 제1 세로 몸체(511)와, 제1 세로 몸체(511)에 결합되는 가로 몸체(513)와, 가로 몸체(513)에 결합되고 헤드유닛에 회전 가능하게 결합되며 정렬용 회전 구동부(미도시)에 연결되는 제2 세로 몸체(515)를 포함한다.
제1 세로 몸체(511)는 원형의 봉 형상으로 마련되며 제1 이송 대상물(TM1)에 접촉되어 제1 이송 대상물(TM1)을 측방향으로 가압한다.
가로 몸체(513)는 제1 세로 몸체(511)에 결합된다. 제2 세로 몸체(515)는 가로 몸체(513)에 결합되고 헤드유닛에 회전 가능하게 결합된다. 이러한 제2 세로 몸체(515)는 정렬용 회전 구동부(미도시)에 연결되어 제1 세로 몸체(511)의 회동 축심의 역할을 한다.
상술한 정렬용 가압 바아부(510)는 복수개로 마련되어 제1 이송 대상물(TM1)을 기준으로 상호 대칭되게 이격되어 배치된다. 본 실시예에서 정렬용 가압 바아부(510)는 4개로 마련되는데, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되는 것은 아니며 정렬용 가압 바아부(510)는 다양한 개수로 마련될 수 있다.
정렬용 회전 구동부(미도시)는 헤드유닛에 지지되고 정렬용 가압 바아부(510)의 제2 세로 몸체(515)에 연결된다. 정렬용 회전 구동부(미도시)는 정렬용 가압 바아부(510)를 회전시킨다. 본 실시예에서 정렬용 회전 구동부(미도시)에는 서보 모터(미도시)가 사용될 수 있다.
한편 트레이 추락방지유닛(600)은, 이송대차 본체(100)에 지지된다. 이러한 트레이 추락방지유닛(600)은 한 쌍으로 마련되며, 한 쌍의 트레이 추락방지유닛(600)은 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300) 각각에 연결되어 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300) 각각에 파지된 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)의 추락을 방지한다.
한 쌍의 트레이 추락방지유닛(600)은 동일한 구조를 가지므로, 이하에서는 제1 헤드유닛(200)에 연결되어 제1 헤드유닛(200)에 파지된 제1 이송 대상물(TM1)의 추락을 방지하는 트레이 추락방지유닛(600)에 대해 주로 설명한다.
트레이 추락방지유닛(600)은 제1 헤드유닛(200)의 그리퍼부(230)에 연결되어 그리퍼부(230)를 제1 이송 대상물(TM1) 방향으로 가압한다. 이와 같이 본 실시예에 따른 이송대차는, 그리퍼부(230)에 연결되어 그리퍼부(230)를 제1 이송 대상물(TM1) 방향으로 가압하는 트레이 추락방지유닛(600)을 구비함으로써, 이송과정에서 이송대차 본체(100)에 가해지는 충격 등에 의해 그리퍼부(230)에서 제1 이송 대상물(TM1)이 이탈되어 추락하는 것을 방지할 수 있다.
이러한 트레이 추락방지유닛(600)은, 도 1 및 도 5 내지 도 7에 자세히 도시된 바와 같이, 파지용 가압 플레이트부(232)에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동되는 추락방지용 가압부(610)와, 추락방지용 가압부(610)가 슬라이딩 이동가능하게 연결되는 추락방지용 가이드부(미도시)와, 추락방지용 가압부(610)에 연결되며 추락방지용 가압부(610)를 이동시키는 추락방지용 가압 구동부(630)를 포함한다.
추락방지용 가압부(610)는 한 쌍으로 마련된다. 이러한 한 쌍의 추락방지용 가압부(610)는 파지용 가압 플레이트부(232)에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동된다. 이러한 한 쌍의 추락방지용 가압부(610)는 제1 이송 대상물(TM1)을 기준으로 상호 대칭되게 이동된다. 즉, 한 쌍의 추락방지용 가압부(610)는 제1 이송 대상물(TM1)을 사이에 두고 서로 접근하는 방향으로 이동되어 그리퍼부(230)를 가압하고 서로 접근하는 방향으로 이동되어 그리퍼부(230)를 가압을 해제한다.
본 실시예에 따른 추락방지용 가압부(610)는, 도 6 내지 도 7에 자세히 도시된 바와 같이, 추락방지용 가압 구동부(630)에 연결되는 추락 방지용 이동블록부(611)와, 추락 방지용 이동블록부(611)에 결합되며 파지용 가압 플레이트부(232)에 연결되어 파지용 가압 플레이트부(232)를 가압하는 추락 방지용 가압블록부(613)와, 추락 방지용 가압블록부(613)에 결합되며 파지용 가압 플레이트부(232)의 하단부의 하측에 이격되어 배치되는 추락방지용 스토퍼부(615)와, 추락 방지용 가압블록부(613)에 결합되며 파지용 가압 플레이트부(232)에 접촉되는 쿠션 패드부(617)를 포함한다.
추락 방지용 이동블록부(611)는 추락방지용 가압 구동부(630)와 추락방지용 가이드부(미도시)에 연결된다.
추락 방지용 가압블록부(613)는 추락 방지용 이동블록부(611)에 결합된다. 이러한 추락 방지용 가압블록부(613)는 파지용 가압 플레이트부(232)에 연결되어 파지용 가압 플레이트부(232)를 가압한다. 이러한 추락 방지용 가압블록부(613)가 파지용 가압 플레이트부(232)를 가압함으로써, 그리퍼부(230)가 옆으로 벌어지는 것이 방지되어 파지용 지지대(231)에서 제1 이송 대상물(TM1)이 이탈되지 않는다.
쿠션 패드부(617)는 추락 방지용 가압블록부(613)의 외벽에 결합된다. 이러한 쿠션 패드부(617)는, 파지용 가압 플레이트부(232)에 접촉되어 파지용 가압 플레이트부(232)를 탄성적으로 가압하며, 파지용 가압 플레이트부(232)에 인가되는 진동을 흡수한다.
추락방지용 스토퍼부(615)는 추락 방지용 가압블록부(613)의 하부 외벽에 결합된다. 이러한 추락방지용 스토퍼부(615)는 파지용 가압 플레이트부(232)의 하단부의 하측에 이격되어 배치된다.
추락방지용 스토퍼부(615)와 파지용 가압 플레이트부(232)의 하단부 사이의 소정의 이격간격을 마련함으로써, 파지용 가압 플레이트부(232)의 제작 상 공차에 의해 추락 방지용 이동블록부(611)의 이동과정에서 추락방지용 스토퍼부(615)가 파지용 가압 플레이트부(232)에 부딪히는 것을 방지할 수 있다.
또한, 추락방지용 스토퍼부(615)와 파지용 가압 플레이트부(232)의 하단부에 배치됨으로써, 호이스트부(270)의 벨트(V)의 전부 또는 일부가 끊어져 트레이 파지부(210)가 추락하거나 기울어질 수 있는 경우 추락방지용 스토퍼부(615)가 파지용 가압 플레이트부(232)를 지지하여 트레이 파지부(210)가 추락을 저지하고 트레이 파지부(210)가 소정 각도 이상으로 기울어지 않도록 한다.
추락방지용 가이드부(미도시)는 이송대차 본체(100)에 결합된다. 이러한 추락방지용 가이드부(미도시)에는 추락방지용 가압부(610)의 추락 방지용 이동블록부(611)가 슬라이딩 이동가능하게 연결된다.
추락방지용 가압 구동부(630)는 이송대차 본체(100)에 지지된다. 이러한 추락방지용 가압 구동부(630) 추락방지용 가압부(610)에 연결되어 추락방지용 가압부(610)를 이동시킨다.
추락방지용 가압 구동부(630)는, 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 추락 방지용 이동블록부(611)에 결합되는 이동 너트(미도시)와, 이동 너트(미도시)에 치합되는 대칭 나선 볼 스크류부(631)와, 대칭 나선 볼 스크류부(631)에 연결되어 대칭 나선 볼 스크류부(631)를 회전시키는 추락 방지 가압용 서보 모터(632)를 포함한다.
대칭 나선 볼 스크류부(631)의 외주면에는, 제1 나선방향으로 형성된 제1 나선부(미도시)와, 제1 나선부(미도시)에 이격되어 배치되며 제1 나선방향에 대해 반대방향을 가지는 제2 나선방향으로 형성된 제2 나선부(미도시)가 마련된다.
제1 나선부(미도시)와 제2 나선부(미도시) 각각에는 추락 방지용 이동블록부(611) 각각이 연결됨으로써, 대칭 나선 볼 스크류부(631)의 회전에 의해 추락방지용 가압부(610)가 대칭적으로 이동될 수 있다.
한편, 위치조절유닛(400)은 이송대차 본체(100)에 지지되고 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300)에 연결된다. 이러한 위치조절유닛(400)은 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300)을 이송대차 본체(100)에 대해 상대이동시켜 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300)의 위치를 조절한다.
본 실시예에서 위치조절유닛(400)은, 제1 헤드유닛(200)에 연결되어 제1 헤드유닛(200)을 이동시키는 제1 헤드용 위치조절모듈(410)과, 제2 헤드유닛(300)에 연결되어 제2 헤드유닛(300)을 이동시키는 제2 헤드용 위치조절모듈(460)을 포함한다.
제1 헤드용 위치조절모듈(410)은 제1 헤드유닛(200)에 연결되어 제1 헤드유닛(200)을 이동시킨다. 이러한 제1 헤드용 위치조절모듈(410)은, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 이송대차 본체(100)에 결합되며 제1 헤드유닛(200)을 제2 헤드유닛(300)에 대해 접근 및 이격되는 방향인 제1축 방향(X)으로 이동시키는 제1 간격조절용 이동부(420)와, 제1 간격조절용 이동부(420)에 결합되며 제1 헤드유닛(200)을 제1축 방향(X)에 교차하는 제2축 방향(Y)으로 이동시키는 제1 얼라인용 이동부(430)를 포함한다.
제1 간격조절용 이동부(420)는 이송대차 본체(100)에 결합된다. 이러한 제1 간격조절용 이동부(420)는 제1 헤드유닛(200)을 제2 헤드유닛(300)에 대해 접근 및 이격되는 방향인 제1축 방향(X)으로 이동시킨다.
본 실시예에 따른 제1 간격조절용 이동부(420)는, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이. 이송대차 본체(100)에 결합되는 제1 간격조절용 고정 플레이트부(421)와, 제1 간격조절용 고정 플레이트부(421)의 하부영역에 배치되고 제1 헤드유닛(200)이 연결되며 제1축 방향(X)으로 이동되는 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)와, 제1 간격조절용 고정 플레이트부(421)에 지지되고 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)에 연결되며 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)의 이동을 안내하는 제1 간격조절용 이동 가이드부(미도시)와, 제1 간격조절용 고정 플레이트부(421)에 지지되고 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)에 연결되며, 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)를 이동시키는 제1 간격조절용 이동 구동부(424)를 포함한다.
제1 간격조절용 고정 플레이트부(421)는 이송대차 본체(100)에 결합된다. 이러한 제1 간격조절용 고정 플레이트부(421)는 한 쌍으로 마련되어 상호 이격되어 배치된다.
제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)는, 플레이트 형상으로 마련되며, 제1 간격조절용 고정 플레이트부(421)의 하부영역에 배치된다. 이러한 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)는 제1 얼라인용 이동부(430)를 통해 제1 헤드유닛(200)에 연결된다. 본 실시예에 따른 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)는 제1 간격조절용 이동 구동부(424)에 의해 제1축 방향(X)으로 이동된다.
제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)에는 제1 간격조절용 이동 구동부(424)의 후술할 제1 조절볼트부(425)가 관통하며 제1 간격조절용 나사공(미도시)이 형성된 제1 연결 블록(422a)이 마련된다. 여기서 제1 간격조절용 나사공(미도시)의 내주면에는 나사산이 형성된다.
제1 간격조절용 이동 가이드부(미도시)는, 제1 간격조절용 고정 플레이트부(421)에 지지되고 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)에 연결된다. 이러한 제1 간격조절용 이동 가이드부(미도시)는 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)의 이동을 안내한다.
제1 간격조절용 이동 가이드부(미도시)는, 제1 간격조절용 고정 플레이트부(421)에 결합되는 제1 간격조절용 가이드 레일부(미도시)와, 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)에 결합되며 제1 간격조절용 가이드 레일부(미도시)에 슬라이딩 이동 가능하게 결합되는 제1 간격조절용 가이드 블록부(미도시)를 포함한다.
제1 간격조절용 이동 구동부(424)는 제1 간격조절용 고정 플레이트부(421)에 지지되고 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)에 연결된다. 이러한 제1 간격조절용 이동 구동부(424)제1 간격조절용 이동 구동부(424)는 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)를 이동시킨다.
본 실시예에 따른 제1 간격조절용 이동 구동부(424)는, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 제1 간격조절용 고정 플레이트부(421)에 회전 가능하게 결합되며 제1 연결 블록(422a)에 마련된 제1 간격조절용 나사공(미도시)에 치합되는 제1 조절볼트부(425)를 포함한다.
제1 조절볼트부(425)는, 외주면에 나사산이 마련된 제1 볼트 몸체(425a)와, 제1 볼트 몸체(425a)에 연결되며 제1 볼트 몸체(425a)를 회전시키는 제1 볼트 헤드(425b)를 포함한다,
이러한 제1 볼트 몸체(425a)는 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)의 제1 연결 블록(422a)에 형성된 제1 간격조절용 나사공(미도시)에 치합된다. 따라서, 제1 조절볼트부(425)의 회전에 따라 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)가 제1축 방향(X)으로 이동된다.
제1 얼라인용 이동부(430)는 제1 간격조절용 이동부(420)에 결합된다. 이러한 제1 얼라인용 이동부(430)는 제1 헤드유닛(200)을 제1축 방향(X)에 교차하는 제2축 방향(Y)으로 이동시킨다.
본 실시예에 따른 제1 얼라인용 이동부(430)는, 도2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)의 하부영역에 배치되고 제1 헤드유닛(200)이 결합되며 제2축 방향(Y)으로 이동되는 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)와, 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)에 지지되고 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)에 연결되며 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)의 이동을 안내하는 제1 얼라인용 이동 가이드부(432)와, 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)에 지지되고 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)에 연결되며 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)를 이동시키는 제1 얼라인용 이동 구동부(433)를 포함한다,
제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)는 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)의 하부영역에 배치된다. 이러한 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)에는 제1 헤드유닛(200)이 결합된다. 본 실시예에서 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)는 제1 얼라인용 이동 구동부(433)에 의해 제2축 방향(Y)으로 이동된다.
제1 얼라인용 이동 가이드부(432)는 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)에 지지되고 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)에 연결된다. 이러한 제1 얼라인용 이동 가이드부(432)는 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)의 이동을 안내한다.
본 실시예에 따른 제1 얼라인용 이동 가이드부(432)는, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)에 결합되는 제1 얼라인용 가이드 레일부(432a)와, 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)에 결합되며 제1 얼라인용 가이드 레일부(432a)에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제1 얼라인용 가이드 블록부(432b)를 포함한다.
제1 얼라인용 가이드 레일부(432a)는 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)의 하면에 결합되어 제2축 방향(Y)으로 길게 연장된다.
제1 얼라인용 가이드 블록부(432b)는 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)의 상면에 에 결합된다. 이러한 제1 얼라인용 가이드 블록부(432b)는 제1 얼라인용 가이드 레일부(432a)에 제2축 방향(Y)으로 슬라이딩 이동 가능하게 결합된다.
제1 얼라인용 이동 구동부(433)는 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)에 지지되고 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)에 연결된다. 이러한 제1 얼라인용 이동 구동부(433)는 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)를 이동시킨다.
본 실시예에 따른 제1 얼라인용 이동 구동부(433)는, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)에 결합되는 제1 얼라인용 이동블록부(433a)와, 제1 얼라인용 이동블록부(433a)에 결합되는 제1 얼라인용 이동 너트부(미도시)와, 제1 얼라인용 이동 너트부(미도시)에 치합되는 제1 얼라인용 볼 스크류부(433b)와, 제1 얼라인용 볼 스크류부(433b)에 결합되어 제1 얼라인용 볼 스크류부(433b)를 회전시키는 제1 얼라인용 구동모터부(433c)를 포함한다.
본 실시예에서 제1 얼라인용 구동모터부(433c)는 서모 모터로 마련된다. 제1 얼라인용 구동모터부(433c)의 동작에 의해 제1 얼라인용 볼 스크류부(433b)가 회전되며, 제1 얼라인용 볼 스크류부(433b)의 회전에 의해 제1 얼라인용 볼 스크류부(433b)에 치합된 제1 얼라인용 이동 너트부(미도시)가 제1 얼라인용 볼 스크류부(433b)를 따라 이동되고, 그에 따라 제1 얼라인용 이동블록부(433a)에 결합된 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)가 제1 얼라인용 이동 가이드부(432)에 안내되어 제2축 방향(Y)으로 이동된다.
한편, 제2 헤드용 위치조절모듈(460)은 제2 헤드유닛(300)에 연결되어 제2 헤드유닛(300)을 이동시킨다.
이러한 제2 헤드용 위치조절모듈(460)은, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 이송대차 본체(100)에 결합되며 제2 헤드유닛(300)을 제1축 방향(X)으로 이동시키는 제2 간격조절용 이동부(470)와, 제2 간격조절용 이동부(470)에 결합되며 제2 헤드유닛(300)을 제2축 방향(Y)으로 이동시키는 제2 얼라인용 이동부(480)를 포함한다.
제2 간격조절용 이동부(470)는 이송대차 본체(100)에 결합된다. 이러한 제2 간격조절용 이동부(470)는 제2 헤드유닛(300)을 제1축 방향(X)으로 이동시킨다.
본 실시예에 따른 제2 간격조절용 이동부(470)는, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이. 이송대차 본체(100)에 결합되는 제2 간격조절용 고정 플레이트부(471)와, 제2 간격조절용 고정 플레이트부(471)의 하부영역에 배치되고 제2 헤드유닛(300)이 연결되며 제1축 방향(X)으로 이동되는 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)와, 제2 간격조절용 고정 플레이트부(471)에 지지되고 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)에 연결되며 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)의 이동을 안내하는 제2 간격조절용 이동 가이드부(미도시)와, 제2 간격조절용 고정 플레이트부(471)에 지지되고 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)에 연결되며, 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)를 이동시키는 제2 간격조절용 이동 구동부(474)를 포함한다.
제2 간격조절용 고정 플레이트부(471)는 이송대차 본체(100)에 결합된다. 이러한 제2 간격조절용 고정 플레이트부(471)는 한 쌍으로 마련되어 상호 이격되어 배치된다.
제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)는, 플레이트 형상으로 마련되며, 제2 간격조절용 고정 플레이트부(471)의 하부영역에 배치된다. 이러한 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)는 제2 얼라인용 이동부(480)를 통해 제2 헤드유닛(300)에 연결된다. 본 실시예에 따른 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)는 제2 간격조절용 이동 구동부(474)에 의해 제1축 방향(X)으로 이동된다.
제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)에는 제2 간격조절용 이동 구동부(474)의 후술할 제2 조절볼트부(475)가 관통하며 제2 간격조절용 나사공(미도시)이 형성된 제2 연결 블록(472a)이 마련된다. 여기서 제2 간격조절용 나사공(미도시)의 내주면에는 나사산이 형성된다.
제2 간격조절용 이동 가이드부(미도시)는, 제2 간격조절용 고정 플레이트부(471)에 지지되고 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)에 연결된다. 이러한 제2 간격조절용 이동 가이드부(미도시)는 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)의 이동을 안내한다.
제2 간격조절용 이동 가이드부(미도시)는, 제2 간격조절용 고정 플레이트부(471)에 결합되는 제2 간격조절용 가이드 레일부(미도시)와, 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)에 결합되며 제2 간격조절용 가이드 레일부(미도시)에 슬라이딩 이동 가능하게 결합되는 제2 간격조절용 가이드 블록부(미도시)를 포함한다.
제2 간격조절용 이동 구동부(474)는 제2 간격조절용 고정 플레이트부(471)에 지지되고 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)에 연결된다. 이러한 제2 간격조절용 이동 구동부(474)는 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)를 이동시킨다.
본 실시예에 따른 제2 간격조절용 이동 구동부(474)는, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 제2 간격조절용 고정 플레이트부(471)에 회전 가능하게 결합되며 제2 연결 블록(472a)에 마련된 제2 간격조절용 나사공(미도시)에 치합되는 제2 조절볼트부(475)를 포함한다.
제2 조절볼트부(475)는, 외주면에 나사산이 마련된 제2 볼트 몸체(475a)와, 제2 볼트 몸체(475a)에 연결되며 제2 볼트 몸체(475a)를 회전시키는 제2 볼트 헤드(475b)를 포함한다,
이러한 제2 볼트 몸체(475a)는 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)의 제2 연결 블록(472a)에 형성된 제2 간격조절용 나사공(미도시)에 치합된다. 따라서, 제2 조절볼트부(475)의 회전에 따라 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)가 제1축 방향(X)으로 이동된다.
제2 얼라인용 이동부(480)는 제2 간격조절용 이동부(470)에 결합된다. 이러한 제2 얼라인용 이동부(480)는 제2 헤드유닛(300)을 제2축 방향(Y)으로 이동시킨다.
본 실시예에 따른 제2 얼라인용 이동부(480)는, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)의 하부영역에 배치되고 제2 헤드유닛(300)이 결합되며 제2축 방향(Y)으로 이동되는 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)와, 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)에 지지되고 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)에 연결되며 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)의 이동을 안내하는 제2 얼라인용 이동 가이드부(482)와, 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)에 지지되고 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)에 연결되며 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)를 이동시키는 제2 얼라인용 이동 구동부(483)를 포함한다,
제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)는 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)의 하부영역에 배치된다. 이러한 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)에는 제2 헤드유닛(300)이 결합된다. 본 실시예에서 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)는 제2 얼라인용 이동 구동부(483)에 의해 제2축 방향(Y)으로 이동된다.
제2 얼라인용 이동 가이드부(482)는 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)에 지지되고 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)에 연결된다. 이러한 제2 얼라인용 이동 가이드부(482)는 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)의 이동을 안내한다.
본 실시예에 따른 제2 얼라인용 이동 가이드부(482)는, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)에 결합되는 제2 얼라인용 가이드 레일부(482a)와, 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)에 결합되며 제2 얼라인용 가이드 레일부(482a)에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제2 얼라인용 가이드 블록부(482b)를 포함한다.
제2 얼라인용 가이드 레일부(482a)는 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)의 하면에 결합되어 제2축 방향(Y)으로 길게 연장된다.
제2 얼라인용 가이드 블록부(482b)는 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)의 상면에 에 결합된다. 이러한 제2 얼라인용 가이드 블록부(482b)는 제2 얼라인용 가이드 레일부(482a)에 제2축 방향(Y)으로 슬라이딩 이동 가능하게 결합된다.
제2 얼라인용 이동 구동부(483)는 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)에 지지되고 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)에 연결된다. 이러한 제2 얼라인용 이동 구동부(483)는 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)를 이동시킨다.
본 실시예에 따른 제2 얼라인용 이동 구동부(483)는, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)에 결합되는 제2 얼라인용 이동블록부(483a)와, 제2 얼라인용 이동블록부(483a)에 결합되는 제2 얼라인용 이동 너트부(미도시)와, 제2 얼라인용 이동 너트부(미도시)에 치합되는 제2 얼라인용 볼 스크류부(483b)와, 제2 얼라인용 볼 스크류부(483b)에 결합되어 제2 얼라인용 볼 스크류부(483b)를 회전시키는 제2 얼라인용 구동모터부(483c)를 포함한다.
본 실시예에서 제2 얼라인용 구동모터부(483c)는 서모 모터롤 마련된다. 제2 얼라인용 구동모터부(483c)의 동작에 의해 제2 얼라인용 볼 스크류부(483b)가 회전되며, 제2 얼라인용 볼 스크류부(483b)의 회전에 의해 제2 얼라인용 볼 스크류부(483b)에 치합된 제2 얼라인용 이동 너트부(미도시)가 제2 얼라인용 볼 스크류부(483b)를 따라 이동되고, 그에 따라 제2 얼라인용 이동블록부(483a)에 결합된 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)가 제2 얼라인용 이동 가이드부(482)에 안내되어 제2축 방향(Y)으로 이동된다.
이하에서 본 실시예에 따른 이송대차의 동작을 도 1 내지 도 9을 참고하여 설명한다.
제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300) 각각은 독립적으로 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2) 각각을 독립적으로 로딩 및 언로딩한다.
이송대차 본체(100)에 지지되고 제1 헤드유닛(200)에 연결된 제1 헤드용 위치조절모듈(410)은, 제1 헤드유닛(200)을 제1축 방향(X) 및 제2축 방향(Y)으로 이동시킨다. 즉, 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)의 제1축 방향(X)으로 이동에 의해 제1 헤드유닛(200)이 제1축 방향(X)으로 이동되며, 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)의 제2축 방향(Y)의 이동에 의해 제1 헤드유닛(200)이 제2축 방향(Y)으로 이동된다.
또한, 이송대차 본체(100)에 지지되고 제2 헤드유닛(300)에 연결되는 제2 헤드용 위치조절모듈(460)은 제1 헤드유닛(200)을 제1축 방향(X) 및 제2축 방향(Y)으로 이동시킨다. 즉, 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)의 제1축 방향(X)으로 이동에 의해 제2 헤드유닛(300)이 제1축 방향(X)으로 이동되며, 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)의 제2축 방향(Y)의 이동에 의해 제2 헤드유닛(300)이 제2축 방향(Y)으로 이동된다.
이와 같이 본 실시예에 따른 이송대차는, 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300)을 이송대차 본체(100)에 대해 상대이동시켜 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300)의 위치를 조절할 수 있는 위치조절유닛(400)을 구비함으로써, 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300) 각각에 대응되는 포트들의 간격 및 위치에 상응하게 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300) 사이의 간격 및 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300)의 개별적인 위치를 조절할 수 있고, 그에 따라 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)을 동시에 로딩 및 언로딩할 수 있다.
한편, 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300) 각각에 장착된 트레이 정렬유닛(500)은 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)의 일부 트레이(T)가 돌출되지 않도록 트레이(T)들의 측벽을 가압한다.
제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)을 파지하기 전에서는 도 8의 (a), (b) 및 도 9(a)에 도시된 바와 같이 제1 세로 몸체(511)는 회동되어 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)에 간섭되지 않는 위치로 회피되며, 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300)에 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)이 파지된 때에서 도 8의 (c), (d) 및 도 9(b)에 도시된 바와 같이 제1 세로 몸체(511)가 회동되어 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)의 각각의 트레이(T)들을 가압하여 트레이(T)들이 정렬된다.
상술한 바와 같이 제1 세로 몸체(511)는 세로 방향으로 연장된 긴 봉 형상으로 마련되므로, 제1 세로 몸체(511)의 가압에 의해 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)의 전체 트레이(T)가 가압된다.
이와 같이 본 실시예에 따른 이송대차는, 제1 이송 대상물(TM1)의 적층된 트레이(T) 중 일부 트레이(T)가 측방향으로 돌출되지 않도록 트레이(T)들의 측벽을 가압하는 트레이 정렬유닛(500)을 구비함으로써, 제1 이송 대상물(TM1)의 이송과정에서 이송대차에 가해지는 충돌, 관성력 및 흔들림 등에 의해 적층된 트레이(T)들이 한쪽으로 쏠려 트레이(T)들 중 일부가 측방향으로 돌출되는 것을 방지할 수 있고, 그에 따라 제1 이송 대상물(TM1)의 언로딩과정에서 돌출된 트레이(T)가 포트(미도시)에 간섭되는 것을 방지할 수 있다.
이상 도면을 참조하여 본 실시예에 대해 상세히 설명하였지만 본 실시예의 권리범위가 전술한 도면 및 설명에 국한되지는 않는다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100: 이송대차 본체 200: 제1 헤드유닛
210: 트레이 파지부 220: 파지용 프레임부
230: 그리퍼부 231: 파지용 지지대
232: 파지용 가압 플레이트부 233: 파지용 이동 블록부
270: 호이스트부 300: 제2 헤드유닛
400: 위치조절유닛 410: 제1 헤드용 위치조절모듈
420: 제1 간격조절용 이동부
421: 제1 간격조절용 고정 플레이트부
422: 제1 간격조절용 이동 플레이트부
424: 제1 간격조절용 이동 구동부 425: 제1 조절볼트부
430: 제1 얼라인용 이동부
431: 제1 얼라인용 이동 플레이트부
432: 제1 얼라인용 이동 가이드부
433: 제1 얼라인용 이동 구동부 460: 제2 헤드용 위치조절모듈
470: 제2 간격조절용 이동부
471: 제2 간격조절용 고정 플레이트부
472: 제2 간격조절용 이동 플레이트부
474: 제2 간격조절용 이동 구동부 475: 제2 조절볼트부
480: 제2 얼라인용 이동부
481: 제2 얼라인용 이동 플레이트부
482: 제2 얼라인용 이동 가이드부
483: 제2 얼라인용 이동 구동부 500: 트레이 정렬유닛
510: 정렬용 가압 바아부 511: 제1 세로 몸체
513: 가로 몸체 515: 제2 세로 몸체
600: 트레이 추락방지유닛 610: 추락방지용 가압부
611: 추락 방지용 이동블록부 613: 추락 방지용 가압블록부
615: 추락방지용 스토퍼부 617: 쿠션 패드부
630: 추락방지용 가압 구동부 TM1: 제1 이송 대상물
TM2: 제2 이송 대상물

Claims (15)

  1. 주행레일을 따라 이동하는 이송대차 본체;
    상기 이송대차 본체에 지지되며, 다수개의 트레이들이 적층되어 형성되는 이송 대상물을 파지하고 파지된 상기 이송 대상물을 업/다운(up/down) 이동시키는 헤드유닛; 및
    상기 헤드유닛에 장착되며, 상기 이송 대상물의 일부 트레이가 돌출되지 않도록 상기 트레이들의 측벽을 가압하는 트레이 정렬유닛을 포함하고,
    상기 트레이 정렬유닛은,
    상기 헤드유닛에 회전 가능하게 결합되며, 상기 이송 대상물에 접촉되어 상기 이송 대상물을 가압하는 정렬용 가압 바아부; 및
    상기 헤드유닛에 지지되고 상기 정렬용 가압 바아부에 연결되며, 상기 정렬용 가압 바아부를 회전시키는 정렬용 회전 구동부를 포함하며,
    상기 헤드유닛은,
    상기 트레이 정렬유닛을 지지하며, 상기 이송 대상물을 파지하는 트레이 파지부; 및
    상기 이송대차 본체에 연결되고 상기 트레이 파지부를 지지하며, 상기 트레이 파지부를 업/다운(up/down) 이동시키는 호이스트부를 포함하고,
    상기 트레이 파지부는,
    상기 정렬용 가압 바아부가 회전 가능하게 결합되며, 상기 호이스트부에 연결되는 파지용 프레임부;
    상기 파지용 프레임부에 상대이동 가능하게 연결되어 상기 이송 대상물에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동되며, 상기 이송 대상물을 파지하는 그리퍼부; 및
    상기 파지용 프레임부에 지지되고 상기 그리퍼부에 연결되며, 상기 그리퍼부를 이동시키는 그리퍼용 이동 구동부를 포함하며,
    상기 그리퍼부는,
    상기 이송 대상물의 하단부에 연결되며, 상기 이송 대상물을 지지하는 파지용 지지대;
    상기 파지용 지지대에 연결되며, 상기 이송 대상물을 가압하는 파지용 가압 플레이트부; 및
    상기 파지용 가압 플레이트부에 연결되며, 상기 파지용 프레임부에 슬라이딩 이동 가능하게 결합되는 파지용 이동 블록부를 포함하고,
    상기 트레이 파지부는,
    상기 파지용 프레임부에 지지되며, 상기 이송 대상물의 상단부에 연결되어 상기 이송 대상물을 상기 파지용 지지대 방향으로 가압하는 푸셔부를 더 포함하며,
    상기 푸셔부는,
    상기 파지용 프레임부에 결합되며, 상기 이송 대상물에 대해 이격되게 배치되는 푸셔용 가이드 바아부;
    상기 푸셔용 가이드 바아부의 외벽에 슬라이딩 가능하게 연결되며, 상기 이송 대상물의 상단부에 접촉되는 푸셔용 가압 플레이트부; 및
    상기 파지용 프레임부에 결합되고 상기 푸셔용 가압 플레이트부에 연결되며, 상기 푸셔용 가압 플레이트부를 업/다운(up/down) 이동시키는 푸셔용 이동 구동부를 포함하는 이송대차.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 정렬용 가압 바아부는,
    상기 이송 대상물에 접촉되는 제1 세로 몸체;
    상기 제1 세로 몸체에 결합되는 가로 몸체; 및
    상기 가로 몸체에 결합되고 상기 헤드유닛에 회전 가능하게 결합되며, 상기 정렬용 회전 구동부에 연결되는 제2 세로 몸체를 포함하는 이송대차.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 정렬용 가압 바아부는, 복수개로 마련되며, 상기 이송 대상물을 기준으로 상호 대칭되게 이격되어 배치되는 이송대차.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 그리퍼부는, 한 쌍으로 마련되며, 상기 이송 대상물을 사이에 두고 상호 이격되어 배치되는 이송대차.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 제1항에 있어서,
    상기 이송대차 본체에 지지되며, 상기 이송 대상물의 추락이 방지되도록 그리퍼부를 상기 이송 대상물 방향으로 가압하는 트레이 추락방지유닛을 더 포함하는 이송대차.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 트레이 추락방지유닛은,
    상기 파지용 가압 플레이트부에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동되는 추락방지용 가압부;
    상기 추락방지용 가압부가 슬라이딩 이동가능하게 연결되는 추락방지용 가이드부; 및
    상기 추락방지용 가압부에 연결되며, 상기 추락방지용 가압부를 이동시키는 추락방지용 가압 구동부를 포함하는 이송대차.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 추락방지용 가압부는,
    상기 추락방지용 가압 구동부에 연결되는 추락 방지용 이동블록부;
    상기 추락 방지용 이동블록부에 결합되며, 상기 파지용 가압 플레이트부에 연결되어 상기 파지용 가압 플레이트부를 가압하는 추락 방지용 가압블록부; 및
    상기 추락 방지용 가압블록부에 결합되며, 상기 파지용 가압 플레이트부의 하단부의 하측에 이격되어 배치되는 추락방지용 스토퍼부를 포함하는 이송대차.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 추락방지용 가압부는,
    상기 추락 방지용 가압블록부에 결합되며, 상기 파지용 가압 플레이트부에 접촉되는 쿠션 패드부를 더 포함하는 이송대차.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 추락방지용 가압부는, 한 쌍으로 마련되어 상호 이격되어 배치되는 이송대차.
KR1020190098856A 2019-08-13 2019-08-13 이송대차 KR102220542B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190098856A KR102220542B1 (ko) 2019-08-13 2019-08-13 이송대차

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190098856A KR102220542B1 (ko) 2019-08-13 2019-08-13 이송대차

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210019789A KR20210019789A (ko) 2021-02-23
KR102220542B1 true KR102220542B1 (ko) 2021-02-25

Family

ID=74688162

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190098856A KR102220542B1 (ko) 2019-08-13 2019-08-13 이송대차

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102220542B1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102508500B1 (ko) * 2021-04-22 2023-03-08 시너스텍 주식회사 웨이퍼 가드를 구비한 oht 그립 유닛
KR102488561B1 (ko) * 2021-05-04 2023-01-12 시너스텍 주식회사 클램프를 구비한 oht

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100643381B1 (ko) 2004-12-08 2006-11-10 삼성전자주식회사 오버헤드호이스트 이송장치
KR101561219B1 (ko) * 2013-12-18 2015-10-19 주식회사 에스에프에이 이송대차
JP6191544B2 (ja) * 2014-05-22 2017-09-06 株式会社ダイフク 搬送装置
KR102594507B1 (ko) * 2016-12-29 2023-10-26 세메스 주식회사 트레이 이송 장치
KR102202077B1 (ko) * 2017-11-30 2021-01-12 세메스 주식회사 Oht 장치의 비히클

Also Published As

Publication number Publication date
KR20210019789A (ko) 2021-02-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9685360B2 (en) Transport device
KR102220542B1 (ko) 이송대차
KR101236877B1 (ko) 물품 수납 설비
KR102217740B1 (ko) 이송대차
KR101227918B1 (ko) 천정반송차
US4988252A (en) Apparatus for supplying packages to a warper creel
KR102279602B1 (ko) 물품 반송 설비
WO2019017294A1 (ja) 搬送車及び搬送設備（ｔｒａｎｓｐｏｒｔ ｖｅｈｉｃｌｅ ａｎｄ ｔｒａｎｓｐｏｒｔ ｆａｃｉｌｉｔｙ）
KR20200050973A (ko) 반송차, 및 반송 설비
US20090263218A1 (en) Plate material conveying device
WO2012111221A1 (ja) 天井搬送車
US9446905B2 (en) Feed device and method
WO2014171064A1 (ja) ワーク搬送装置及びそれを用いたワーク搬送方法
CN112739032B (zh) 叠板生产线
KR102390054B1 (ko) 용기 수납 설비
JP2019081196A (ja) トランスファープレスマシンのワーク搬送装置のワーク保持ツール変更システム
JP4999374B2 (ja) ワークピッチ変換装置およびワーク搬送システム
JP5024025B2 (ja) 板材搬出設備
US20200270058A1 (en) Transfer device and stacker crane
JP6549310B2 (ja) 基板供給ユニット及びボンディング装置
US12037218B2 (en) Sheet dispensing device
EP1522511B1 (en) An apparatus for in-feeding and removing trucks for tiles to and from loading and unloading machines
KR100666239B1 (ko) 웨이퍼 얼라인 장치
US20230339709A1 (en) Sheet dispensing device
JP7063236B2 (ja) 物品移載設備

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant