CN105083978A - 搬运装置 - Google Patents

搬运装置 Download PDF

Info

Publication number
CN105083978A
CN105083978A CN201510261022.8A CN201510261022A CN105083978A CN 105083978 A CN105083978 A CN 105083978A CN 201510261022 A CN201510261022 A CN 201510261022A CN 105083978 A CN105083978 A CN 105083978A
Authority
CN
China
Prior art keywords
mentioned
upside down
pallet
handled upside
longitudinal member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201510261022.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105083978B (zh
Inventor
宇佐见诚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daifuku Co Ltd
Original Assignee
Daifuku Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daifuku Co Ltd filed Critical Daifuku Co Ltd
Publication of CN105083978A publication Critical patent/CN105083978A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105083978B publication Critical patent/CN105083978B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/08—Gripping heads and other end effectors having finger members
    • B25J15/10—Gripping heads and other end effectors having finger members with three or more finger members
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/0028—Gripping heads and other end effectors with movable, e.g. pivoting gripping jaw surfaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/02—Sensing devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/67346—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders characterized by being specially adapted for supporting a single substrate or by comprising a stack of such individual supports
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance

Abstract

本发明提供一种搬运装置，该搬运装置不对装置构成进行变更即可对堆垛的被搬运体进行搬运，并且，可由简单的装置结构进行在被搬运体的堆叠的偏移修正及偏移防止。顶棚搬运车(10)具备在堆垛的状态下对托盘(80)进行把持的夹持装置(20)，在夹持装置(20)对托盘(80)进行把持的状态下对托盘(80)进行搬运。顶棚搬运车(10)如以下那样构成，即，夹持装置(20)具备对托盘(80)进行把持的把持部(21)和对由把持部(21)把持的托盘(80)进行检测的传感器(23)；把持部(21)相对于托盘(80)的把持动作被基于由传感器(23)进行的检测进行控制，并且，把持部(21)进行在托盘(80)的堆叠的偏移修正及偏移防止。

Description

搬运装置
技术领域
本发明涉及将半导体基板等工件或收纳了工件的搬运容器等被搬运体在堆垛的状态下进行搬运的搬运装置。
背景技术
在现有技术的半导体器件等的制造设备中，有时，收纳了半导体基板等工件的搬运容器等被搬运体，在被沿着设于设备的顶棚附近的行走轨行走的顶棚搬运车(搬运装置)把持的状态下，在多个处理装置之间依次进行搬运。
例如，在专利文献1中公开了一种搬运装置，该搬运装置具备升降单元，该升降单元设置于水平移动单元，使对工件(密闭匣)进行保持的工件保持单元升降，在工件保持单元与各处理装置之间进行工件的交接，该搬运装置在洁净室内在多个处理装置间循环，向各处理装置搬运工件。
在专利文献1的搬运装置中，上述工件保持单元由向工件(密闭匣)的两侧面以コ的字状延伸的工件保持部构成，通过在此工件保持部的两侧部的下端相向地设置对工件的底面进行保持的手，对工件(密闭匣)进行保持。
另外，在半导体器件等的制造设备中，有时，收纳有半导体基板等工件的搬运容器等被搬运体在堆叠(堆垛)了多个的状态下进行搬运。具体地说，将在内部收纳了工件的多个板状的货板(搬运容器)堆垛，在由搬运装置保持(把持)着所述堆垛的多个货板的状态下进行搬运。
专利文献1：日本特开2004-25427号公报
发明内容
然而在对堆垛的被搬运体进行搬运的场合，应搬运的被搬运体并不是经常以没有偏移的状态(对齐的状态)堆垛，有时还必须对以偏移的状态(没有对齐的状态)堆垛的被搬运体进行搬运。因此，在被搬运体被以偏移的状态堆垛的场合，存在把持单元(保持单元)不能对堆垛的被搬运体充分地进行把持(保持)的问题。另外，还存在堆垛的被搬运体在搬运中成为偏移的状态、被搬运体在搬运中从搬运装置落下等问题。
这样的问题虽然可通过在被搬运体设置用于防止偏移的偏移防止机构(例如在被搬运体设置使堆垛的被搬运体彼此相互啮合的凹凸面)来解决，但因为在被搬运体自身设置偏移防止机构，所以，存在被搬运体的结构变复杂的问题。另外，有的被搬运体有时不能设置偏移防止机构自身。
另外，虽然通过用固定构件将堆垛的被搬运体彼此固定可解决上述问题，但因为需要在对被搬运体进行搬运之前用固定构件将被搬运体固定的作业，所以，存在作业效率差的问题。
因此，本发明的目的在于提供一种搬运装置，该搬运装置不对装置构成进行变更即可对堆垛的被搬运体进行搬运，并且，可由简单的装置结构进行在被搬运体的堆叠的偏移修正及偏移防止。
本发明要解决的课题在前面进行了说明，接下来对用于解决此课题的手段进行说明。
即，本发明中的技术方案1记载的搬运装置具备在被搬运体堆垛的状态下对该被搬运体进行把持的把持单元，上述把持单元在对上述被搬运体进行把持的状态下搬运上述被搬运体；在该搬运装置中，上述把持单元具备对上述被搬运体进行把持的把持部和对由上述把持部把持的被搬运体进行检测的检测部；上述把持部基于由上述检测部进行的检测来控制对上述被搬运体的把持动作，并且，上述把持部进行上述被搬运体中的堆叠的偏移修正及偏移防止。
当采用上述构成时，通过检测部对被搬运体进行检测，来控制把持部对上述被搬运体的把持动作，并且，把持部进行在被搬运体的堆叠的偏移修正及偏移防止。
另外，技术方案2记载的发明在技术方案1记载的搬运装置中，上述把持部通过与上述被搬运体的侧面抵接地对上述被搬运体进行把持，来进行上述被搬运体中的堆叠的偏移修正及偏移防止。
当采用上述构成时，把持部对被搬运体进行把持，并且，把持部在与被搬运体的侧面抵接地对被搬运体进行把持的状态下进行在被搬运体的堆叠的偏移修正及偏移防止。
并且，技术方案3记载的发明在技术方案1或技术方案2记载的搬运装置中，上述把持部通过使相对于上述被搬运体的移动方向分阶段地改变来对上述被搬运体进行把持。
当采用上述构成时，通过一边使把持部相对于该被搬运体的移动方向分阶段地改变，一边与被搬运体接近或分开，对被搬运体进行把持。
并且，技术方案4记载的发明在技术方案1至技术方案3的任意一项记载的搬运装置中，上述检测部由对上述被搬运体的一个侧面进行检测的第1检测部和对上述被搬运体的另一个侧面进行检测的第2检测部构成。
当采用上述构成时，在两个检测部(第1及第2检测部)从两方向对被搬运体进行检测。
并且，技术方案5记载的发明在技术方案1至技术方案4的任意一项记载的搬运装置中，上述被搬运体是收纳工件的搬运容器，上述把持部通过以对上述搬运容器的上述工件的收纳口进行覆盖的方式对上述搬运容器进行把持，来防止被收纳在上述搬运容器中的工件跳出。
当采用上述构成时，通过把持部对被搬运体进行把持，并且通过由对被搬运体进行把持的把持部覆盖工件的收纳口，防止被收纳在被搬运体中的工件跳出。
根据本发明的搬运装置，因为由对被搬运体进行把持的把持部进行在被搬运体的堆叠的偏移修正及偏移防止，所以，不需要在搬运装置侧或被搬运体侧另行设置偏移修正机构及偏移防止机构。因此，可由简单的装置结构进行偏移修正及偏移防止，另外，可充分地对堆垛的被搬运体进行把持(保持)。另外，即使是在被搬运体侧不能另行设置偏移修正机构及偏移防止机构的被搬运体，也可在堆垛的状态下进行搬运。并且，因为不需要由固定构件对堆垛的被搬运体进行固定来防止堆叠的偏移，所以，作业效率良好。
附图说明
图1是作为本发明的搬运装置的一例的顶棚搬运车的正视图。
图2是由顶棚搬运车搬运的托盘的立体图。
图3是顶棚搬运车的夹持装置的侧面剖视图。
图4(a)至(c)是使顶棚搬运车的第1夹头纵构件及第2夹头纵构件分两个阶段进行移动的场合的俯视简图，(d)及(e)是使顶棚搬运车的第1夹头纵构件及第2夹头纵构件以一个阶段进行移动的场合的俯视简图。
图5(a)是对堆垛的托盘进行搬运时的顶棚搬运车的侧面剖视图，(b)及(c)是对堆垛的托盘进行搬运时的顶棚搬运车的把持部近旁的侧视图，(d)是对堆垛的托盘进行搬运时的顶棚搬运车的正面剖视图，(e)及(f)是对堆垛的托盘进行搬运时的顶棚搬运车的把持部近旁的正视图。
图6(a)是表示顶棚搬运车中的把持部的另外的实施例的立体图，(b)及(c)是在另外的实施例的把持部相对于托盘使面导向构件移动的场合的俯视简图。
具体实施方式
首先对作为本发明的搬运装置的一例的顶棚搬运车10进行说明。
如图1所示那样，顶棚搬运车10是用于向对于半导体基板等工件81进行规定的处理的多个处理装置(未图示)搬运工件81的搬运车。顶棚搬运车10在对收纳工件81的多个托盘80(“被搬运体”的一例)进行堆垛的状态下进行把持，在把持的状态下进行搬运。
如图2所示那样，顶棚搬运车10搬运的托盘80是空心的平板状的托盘。托盘80可在其内部收纳多个(在图2中是两个)工件81。托盘80被构成为，可从在其长度方向的两端部开口的收纳口82收纳工件81。
[顶棚搬运车10]
如图1所示那样，顶棚搬运车10以相对于设置在设备的顶棚90附近的行走轨91悬挂的状态进行安装。顶棚搬运车10可沿行走轨91移动地构成。顶棚搬运车10主要由移动车11、升降驱动部12和夹持装置20(“把持单元”的一例)构成。
移动车11可沿固定地安装于顶棚90的行走轨91行走地构成。移动车11主要由线性马达式的行走车体13和支承部14构成。线性马达式的行走车体13产生用于沿行走轨91行走的行走推力。支承部14被相对于行走车体13连结，对升降驱动部12进行支承。另外，行走车体13不限定于线性马达式的行走车体，只要是可在洁净室等要求洁净度的空间中行走的方式的行走车体即可。
升降驱动部12是在悬挂了夹持装置20的状态下进行升降的部分。升降驱动部12安装于移动车11的下端部。升降驱动部12具有多条升降皮带15。升降驱动部12构成为可同时地卷取及开卷多条升降皮带15。通过进行多条升降皮带15的卷取及开卷，由升降皮带15悬挂支承的夹持装置20被一边维持大致水平姿势一边进行升降操作。
[夹持装置20]
夹持装置20是对堆垛的托盘80进行把持的装置。夹持装置20被安装于升降驱动部12。夹持装置20以从堆垛的最下层的托盘80的底部包入(掬取)托盘80的方式对托盘80进行把持。夹持装置20主要由对托盘80进行把持的把持部21、对把持部21进行驱动的驱动部22和对托盘80进行检测的传感器23(“检测部”的一例)构成。
[把持部21]
如图1至图3所示那样，把持部21沿夹持装置20的上下方向延设。把持部21是以从堆垛的最下层的托盘80的底部包入(掬取)托盘80的方式可搬运地保持托盘80的部分。即，把持部21是对托盘80进行把持的部分。把持部21由沿上下方向延设的多个(在图1中是3条)夹头纵构件(夹头纵构件24、25、26)构成。把持部21由多个夹头纵构件对托盘80进行把持。另外，通过由3条夹头纵构件(夹头纵构件24、25、26)构成把持部21，托盘80的重量确实地搭乘在各夹头纵构件(夹头纵构件24、25、26)的承接部分(承接部分28、30)上，可更稳定地把持托盘80。
第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25是在对托盘80进行把持时被配置于托盘80的角部的角导向构件。第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25是通过与堆垛的托盘80的侧面抵接来对托盘80的角部进行把持并且对托盘80的角部进行导向的构件。第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25由与托盘80的角部抵接的臂部分27和形成于臂部分27的一端部、对堆垛的最下层的托盘80的底面进行承接的承接部分28构成。
臂部分27是与托盘80的角部的形状适应地将2片板状构件27a接合成大致L字形状形成的部分。臂部分27在由把持部21对托盘80进行把持时与托盘80的角部抵接。通过臂部分27与托盘80的角部抵接，成为第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25可与第3夹头纵构件26一起对托盘80的侧面进行把持的状态。另外，通过臂部分27与托盘80的角部抵接，在托盘80的堆叠的偏移修正及偏移防止成为可能。
并且，通过臂部分27与托盘80的角部抵接，成为臂部分27在上下方向上覆盖托盘80的收纳口82的一端的状态(托盘80的收纳口82的一部分关闭的状态)。即，成为臂部分27防止被收纳在托盘80内的工件81从收纳口82跳出的状态。具体地说，如图2所示那样，通过形成臂部分27的一个板状构件27a的平面部分对托盘80的收纳口82的开口部分的单侧端部进行覆盖(通过使板状构件27a的平面部分与收纳口82的开口面的单侧端部抵接)，可使托盘80的收纳口82的开口部分变窄，形成为可由板状构件27a的平面部分对要从收纳口82跳出的工件81进行卡定的状态。
另外，通过臂部分27与托盘80的角部抵接，可将要从收纳口82跳出的工件81塞进到托盘80的内部，所以，在托盘80内的工件81的偏移修正及偏移防止成为可能。
这样，第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25的臂部分27具有对托盘80的侧面(角部)进行把持的功能，并且具有进行在托盘80的堆叠的偏移修正及偏移防止的功能及防止被收纳在托盘80内的工件81从收纳口82跳出的功能。
如图1及图3所示那样，承接部分28是将可对堆垛的最下层的托盘80的底面进行载置的板状构件与臂部分27的板状构件27a的一端面在大致垂直方向上接合而形成的部分。承接部分28在由把持部21对托盘80进行把持时与堆垛的最下层的托盘80的角部的底面抵接，对托盘80进行承接。
第3夹头纵构件26是在对托盘80进行把持时被配置于托盘80的沿长度方向的一个侧板的中央部的面导向构件。即，第3夹头纵构件是通过与堆垛的托盘80的侧面抵接来对托盘80的侧板进行把持并且对托盘80的侧板进行导向的构件。具体地说，第3夹头纵构件26被配置于托盘80的一个侧板的中央部，托盘80的该配置第3夹头纵构件26的一个侧板与在两端部具有配置第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25的角部的托盘80的侧板相向。第3夹头纵构件26由与托盘80的侧板的侧面抵接的臂部分29和形成于臂部分29的一端部、对堆垛的最下层的托盘80的底面进行承接的承接部分30构成。
臂部分29由可与托盘80的侧板的侧面抵接的板状构件形成。臂部分29在由把持部21对托盘80进行把持时与托盘80的沿长度方向的一个侧板的中央侧面抵接。由此，成为第3夹头纵构件26可与第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25一起对托盘80的侧面进行把持的状态。另外，在托盘80中的宽度方向的堆叠的偏移修正及偏移防止成为可能。
承接部分30是将可对堆垛的最下层的托盘80的底面进行载置的板状构件与臂部分29的板状构件的一端面在大致垂直方向上接合而形成的部分。承接部分30在由把持部21对托盘80进行把持时与堆垛的最下层的托盘80的沿长度方向的一个侧板中央部的底面抵接，对托盘80进行承接。
[驱动部22]
如图1及图3所示那样，驱动部22是使把持部21的各夹头纵构件24、25、26移动的部分，被设置于把持部21的上部。驱动部22主要由马达31、32和滑动构件40、41、42构成。
第1马达31是使各夹头纵构件24、25、26向与托盘80的长度方向正交的方向(图3的箭头B方向)移动的马达。第1马达31与第1轴33连接。通过第1马达31工作，第1轴33转动。
第1轴33由滚珠丝杠形成。第1轴33在其途中的插通第1螺母构件34及第2螺母构件35的部分被向相反方向切削螺纹。即，第1轴33形成为在使第1轴33转动时第1螺母构件34及第2螺母构件35在第1轴33上相互接近或分开。
第2马达32是使第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25向托盘80的长度方向(图1的箭头A方向)移动的马达。第2马达32与第2轴36连接。通过第2马达32工作，第2轴36转动。
第2轴36与第3轴37连接。通过第2轴36转动，第3轴37转动。
第3轴37由滚珠丝杠形成。第3轴37在其途中的插通第3螺母构件38及第4螺母构件39的部分被向相反方向切削螺纹。即，第3轴37形成为当使第3轴37转动时第3螺母构件38及第4螺母构件39在第3轴37上相互接近或分开。
第1滑动构件40是用于使第3夹头纵构件26向与托盘80的长度方向正交的方向(图3的箭头B方向)移动的构件。第1滑动构件40由对第3夹头纵构件26进行支承的第1导向部43和用于使第1导向部43滑动的第1导轨44构成。
第2滑动构件41是用于使第1夹头纵构件24或第2夹头纵构件25向与托盘80的长度方向正交的方向(图3的箭头B方向)移动的构件。第2滑动构件41由对第1夹头纵构件24或第2夹头纵构件25进行支承的第2导向部45和用于使第2导向部45滑动的第2导轨46构成。
第3滑动构件42是用于使第1夹头纵构件24或第2夹头纵构件25向托盘80的长度方向(图1的箭头A方向)移动的构件。第3滑动构件42由对第1夹头纵构件24或第2夹头纵构件25进行支承的第3导向部47和用于使第3导向部47滑动的第3导轨48构成。
在顶棚搬运车10，通过在第2滑动构件41的上部配置第3滑动构件42，即，通过在驱动部22在上下方向上配置两个滑动构件，使得第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25可向两方向(图1的箭头A方向及图3的箭头B方向)移动。
[传感器23]
如图1及图3所示那样，传感器23被设置于各夹头纵构件24、25、26的下端部(承接部分28那一侧)。传感器23对由把持部21把持的托盘80进行检测。传感器23的检测结果被作为检测信号向未图示的控制部发送。于是，控制部基于来自传感器23的检测信号，控制各夹头纵构件24、25、26对于托盘80的把持动作。
传感器23由电容式接近传感器构成。另外，传感器23的方式不限于电容式的传感器，其方式根据托盘80的材质、颜色等选择。因此，传感器23例如也可以是光学式或直接接触式的传感器。另外，传感器23虽然被设置于各夹头纵构件24、25、26的下端部，但不限于此，如果是可对堆垛的托盘80进行检测的位置，则也可设置于例如各夹头纵构件24、25、26的中央部或上端部。
并且，设置于第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25的下端部的传感器23由第1传感器23a(“第1检测部”的一例)和第2传感器23b(“第2检测部”的一例)构成。第1传感器23a对托盘80的一个壁板(形成于托盘80的长度方向的壁板)进行检测。第2传感器23b对相对于第1传感器23a检测的壁板垂直地形成的壁板(形成于与托盘80的长度方向正交的方向的壁板)进行检测。即，在第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25设置托盘80的检测位置(检测方向)不同的2台传感器，从不同的两方向对托盘80进行检测。
第1传感器23a在使第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25向与托盘80的长度方向正交的方向(图3的箭头B方向)移动时对形成于托盘80的长度方向的壁板进行检测。
第2传感器23b在使第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25向托盘80的长度方向(图1的箭头A方向)移动时对形成于与托盘80的长度方向正交的方向的壁板进行检测。
另外，设置于第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25的下端部的传感器23虽然由2台传感器(第1传感器23a及第2传感器23b)构成，但不限于此，只要可与第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25的移动对应地对堆垛的托盘80进行检测，则也可由1台传感器构成。
[各夹头纵构件24、25、26的把持动作]
接下来，对各夹头纵构件24、25、26的把持动作进行说明。
如图4(a)所示那样，在顶棚搬运车10，首先各夹头纵构件24、25、26向与堆垛的托盘80的长度方向正交的方向(箭头C方向，托盘80的宽度方向)移动。于是，各夹头纵构件24、25、26对托盘80的长度方向的侧板进行把持。接下来，如图4(b)所示那样，第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25向托盘80的长度方向(箭头D方向)移动。于是，第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25对托盘80的宽度方向的侧板进行把持。即，在顶棚搬运车10，第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25一边使相对于托盘80的移动方向分阶段地向两方向改变，一边对托盘80的角部进行把持。这是因为，当如图4(d)所示的那样使第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25与第3夹头纵构件26的移动相适应地以一个阶段移动时，由于不同的托盘80的形状或大小，有时第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25会卡在托盘80上，不能对托盘80进行把持(参照图4(e))。这样，通过使第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25分两个阶段进行移动，即使在形状或大小不同的托盘80混杂的场合，各夹头纵构件24、25、26也不会卡在托盘80上，可由把持部21对托盘80进行把持。具体地说，如以下那样动作。
如图3所示那样，当第1马达31工作时，第1轴33转动，第1螺母构件34朝第1轴33的中央部移动。通过第1螺母构件34移动，被固定在第1螺母构件34上的第1滑动构件40的第1导向部43沿第1导轨44滑动。由此，由第1导向部43支承的第3夹头纵构件26向与托盘80的长度方向正交的方向(图3的箭头B方向，托盘80的宽度方向)移动，从而与托盘80接近(对托盘80的侧板进行把持)。
另一方面，当第1马达31工作，第1轴33转动时，第2螺母构件35朝第1轴33的中央部移动。通过第2螺母构件35移动，被固定在第2螺母构件35上的第2滑动构件41的第2导向部45沿第2导轨46滑动。由此，由第2导向部45支承的第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25向托盘80的宽度方向(图3的箭头B方向)移动，从而与托盘80接近。另外，关于第2马达32，也是通过第2导向部45滑动而向托盘80的宽度方向(图3的箭头B方向)移动。
当通过第1马达31的工作，各夹头纵构件24、25、26朝托盘80移动时，被设置于各夹头纵构件24、25、26的传感器23(第1传感器23a)对托盘80有无进行检测。具体地说，从传感器23的检测结果对各夹头纵构件24、25、26与托盘80的距离进行检测。传感器23将检测结果作为检测信号向未图示的控制部发送。控制部基于来自传感器23的检测信号对各夹头纵构件24、25、26与托盘80的距离(位置关系)进行判断。然后，控制部通过控制第1马达31的工作，对各夹头纵构件24、25、26的移动进行控制。当传感器23在规定位置，即各夹头纵构件24、25、26与托盘80的壁板接触的位置对托盘80进行检测时，控制部停止第1马达31的驱动，从而停止各夹头纵构件24、25、26的移动。
接下来，如图1及图3所示那样，当第2马达32工作时，第2轴36转动，紧接着，第3轴37转动。通过第3轴37转动，第3螺母构件38及第4螺母构件39朝第3轴37的中央部移动，从而相互接近。于是，第3螺母构件38及第4螺母构件39各自被固定的第3滑动构件42的第3导向部47沿第3导轨48滑动。由此，第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25向托盘80的长度方向(图1的箭头B方向)移动，从而相互接近，对托盘80的角部进行把持。
当通过第2马达32的工作，第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25朝托盘80移动时，设置于第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25的传感器23(第2传感器23b)对托盘80进行检测，将检测结果作为检测信号向未图示的控制部发送。控制部基于来自传感器23(第2传感器23b)的检测信号，对第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25与托盘80的距离(位置关系)进行判断。然后，控制部通过控制第2马达32的工作，对第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25的移动进行控制。当传感器23(第2传感器23b)在规定位置，即第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25与托盘80的壁板接触的位置对托盘80进行检测时，控制部停止第2马达32的驱动，从而停止第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25的移动。
如以上那样，在顶棚搬运车10，因为通过一边由设置于各夹头纵构件24、25、26的传感器23对各夹头纵构件24、25、26与托盘80的距离进行检测，一边对各夹头纵构件24、25、26的移动进行控制，可与托盘80的形状或大小适应地自如地变更各夹头纵构件24、25、26对托盘80进行把持的位置，所以，即使在随时搬运形状或大小不同的托盘80的场合，也可与各自的托盘80的形状或大小适应地移动各夹头纵构件24、25、26。因此，不需要与托盘80的形状或大小适应地改变顶棚搬运车10的构造(例如各夹头纵构件24、25、26的构造)，在同一装置构造中仅变更各夹头纵构件24、25、26相对于托盘80进行把持的位置，即可对各种各样的形状或大小的托盘80进行搬运。
另外，在顶棚搬运车10，因为各夹头纵构件24、25、26在与堆垛的托盘80的侧面(角部)抵接的状态下对托盘80进行把持，所以，可防止在托盘80的堆叠的偏移。另外，即使是在被搬运体侧不能另行设置偏移防止机构的被搬运体，也可在堆垛的状态下进行搬运。
并且，在顶棚搬运车10，因为可由用于对托盘80进行把持的第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25防止工件81的跳出，所以，可由简单的装置结构防止托盘80内的工件81的跳出。
并且，在顶棚搬运车10，因为一边由托盘80的检测位置(检测方向)不同的2台传感器(第1传感器23a及第2传感器23b)对托盘80进行检测，一边使第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25相对于托盘80的移动方向分阶段地改变，所以，第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25不会卡在托盘80上，可对托盘80进行把持。
[托盘80的堆叠的偏移修正]
接下来，对在顶棚搬运车10中的托盘80的堆叠的偏移修正进行说明。
如图5(a)及(d)所示那样，由顶棚搬运车10搬运的托盘80有时分别以向托盘80的长度方向或宽度方向(与长度方向正交的方向)偏移的状态堆垛。在这样的场合，在顶棚搬运车10，首先，如图5(a)所示那样，通过使各夹头纵构件24、25、26向托盘80的宽度方向(箭头D方向)移动，对在托盘80的宽度方向上的托盘80的偏移进行修正。具体地说，如图5(b)所示那样，一边使各夹头纵构件24、25、26与托盘80的长度方向的侧面抵接，一面使各夹头纵构件24、25、26向箭头D方向移动。由此，偏移的状态的托盘80被向箭头D方向推，堆垛的托盘80在宽度方向上的偏移被修正。
接下来，如图5(d)所示那样，通过使第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25向托盘80的长度方向(箭头E方向)移动，对托盘80在长度方向上的偏移进行修正。具体地说，如图5(e)所示那样，一边使第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25与托盘80的宽度方向的侧面抵接，一边使第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25向箭头E方向移动。由此，偏移的状态的托盘80被向箭头E方向推，堆垛的托盘80在长度方向上的偏移被修正。
另外，如图5(d)所示那样，堆垛的托盘80的一部分，有时被收纳成，托盘80内的工件81从托盘80跳出的状态。因此，在顶棚搬运车10，通过使第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25向托盘80的长度方向(箭头E方向)移动，对从托盘80跳出的状态的工件81的偏移进行修正。具体地说，如图5(e)所示那样，一边使第1夹头纵构件24或第2夹头纵构件25与跳出的状态的工件81的侧面抵接，一边使第1夹头纵构件24及第2夹头纵构件25向箭头E方向移动。由此，跳出的状态的工件81被向箭头E方向推，跳出的状态的工件81被收纳在托盘80内。
这样，在顶棚搬运车10，通过各夹头纵构件24、25、26在与托盘80及工件81的侧面抵接的状态下对托盘80进行把持，可进行托盘80及工件81的偏移的修正。即，各夹头纵构件24、25、26具有对托盘80进行把持的把持功能，并且具有托盘80及工件81的偏移修正功能。因此，不需要在顶棚搬运车10侧设置偏移修正机构，可由简单的装置结构进行托盘80及工件81的偏移修正。
如以上那样，借助顶棚搬运车10，由于对托盘80进行把持的各夹头纵构件24、25、26对托盘80上的堆叠的偏移进行修正及偏移防止，因此不需要在顶棚搬运车10侧或托盘80侧另行设置偏移修正机构及偏移防止机构。因此，可由简单的装置结构进行偏移修正及偏移防止，另外，可充分地对堆垛的托盘80进行把持(保持)。另外，即使是在托盘80那一侧不能另行设置偏移修正机构及偏移防止机构的托盘80，也可在堆垛的状态下进行搬运。并且，因为不需要由固定构件对堆垛的托盘80进行固定来防止堆叠的偏移，所以，作业效率良好。
另外，在顶棚搬运车10，虽然由3条夹头纵构件(夹头纵构件24、25、26)构成把持部21，但不限于此，也可如图6所示那样，做成由4条面导向纵构件26A对托盘80的各侧板的中央部进行把持的结构。在这里，面导向纵构件26A与第3夹头纵构件26同样，由臂部分29A和承接部分30A构成。臂部分29A由可与托盘80的侧板的侧面抵接的板状构件形成。承接部分30A通过将可对堆垛的最下层的托盘80的底面进行载置的板状构件与臂部分29A的板状构件的一端面在大致垂直方向上接合来形成。
在此场合，如图6(b)及(c)所示那样，通过使4条面导向纵构件26A同时地(以一个阶段)向与托盘80接近的方向移动，使各面导向纵构件26A成为可在托盘80的各侧板的中央部进行把持的状态。
另外，在此场合，如图6(a)所示那样，通过面导向纵构件26A的臂部分29A与托盘80的侧面抵接，进行在托盘80的堆叠的偏移修正及偏移防止。并且，通过臂部分29A在上下方向上覆盖托盘80的收纳口82的中央部(关闭托盘80的收纳口82的中央部)，防止被收纳在托盘80内的工件81从收纳口82跳出。
另外，在本实施方式中，虽然将搬运装置做成顶棚行走形式的顶棚搬运车10，但不限于此，例如也可做成在地面行走形式的行走车主体设置夹持装置20的搬运装置。在此场合，做成如下构成，即，在回旋自如地设置于行走车主体的回旋台板上在上下方向上转动自如地安装臂构件，相对于臂构件安装夹持装置20。
另外，在本实施方式中，虽然由驱动部22那样的结构(马达31、32、滑动构件40、41、42等)使把持部21的各夹头纵构件24、25、26移动，但不限于驱动部22那样的结构的驱动部。
附图标记说明
10顶棚搬运车(搬运装置)
20夹持装置(把持单元)
21把持部
23传感器(检测部)
23a第1传感器(第1检测部)
23b第2传感器(第2检测部)
80托盘(被搬运体、搬运容器)
81工件
82收纳口

Claims (8)

1.一种搬运装置，具备在被搬运体堆垛的状态下对该被搬运体进行把持的把持单元，上述把持单元在对上述被搬运体进行把持的状态下搬运上述被搬运体；该搬运装置的特征在于：
上述把持单元具备对上述被搬运体进行把持的把持部，和对由上述把持部把持的被搬运体进行检测的检测部；
上述把持部基于由上述检测部进行的检测来控制对上述被搬运体的把持动作，并且，上述把持部进行上述被搬运体中的堆叠的偏移修正及偏移防止。
2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，
上述把持部通过与上述被搬运体的侧面抵接地对上述被搬运体进行把持，来进行上述被搬运体中的堆叠的偏移修正及偏移防止。
3.根据权利要求1或2所述的搬运装置，其特征在于，
上述把持部通过使相对于上述被搬运体的移动方向分阶段地改变来对上述被搬运体进行把持。
4.根据权利要求1或2所述的搬运装置，其特征在于，
上述检测部由对上述被搬运体的一个侧面进行检测的第1检测部和对上述被搬运体的另一个侧面进行检测的第2检测部构成。
5.根据权利要求1或2所述的搬运装置，其特征在于，
上述被搬运体是收纳工件的搬运容器，上述把持部以覆盖上述搬运容器的上述工件的收纳口的方式对上述搬运容器进行把持，由此来防止被收纳在上述搬运容器中的工件跳出。
6.根据权利要求3所述的搬运装置，其特征在于，
上述检测部由对上述被搬运体的一个侧面进行检测的第1检测部和对上述被搬运体的另一个侧面进行检测的第2检测部构成。
7.根据权利要求3所述的搬运装置，其特征在于，
上述被搬运体是收纳工件的搬运容器，上述把持部以覆盖上述搬运容器的上述工件的收纳口的方式对上述搬运容器进行把持，由此来防止被收纳在上述搬运容器中的工件跳出。
8.根据权利要求4所述的搬运装置，其特征在于，
上述被搬运体是收纳工件的搬运容器，上述把持部以覆盖上述搬运容器的上述工件的收纳口的方式对上述搬运容器进行把持，由此来防止被收纳在上述搬运容器中的工件跳出。
CN201510261022.8A 2014-05-22 2015-05-21 搬运装置 Active CN105083978B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014105739A JP6191544B2 (ja) 2014-05-22 2014-05-22 搬送装置
JP2014-105739 2014-05-22

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105083978A true CN105083978A (zh) 2015-11-25
CN105083978B CN105083978B (zh) 2019-05-17

Family

ID=54555416

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510261022.8A Active CN105083978B (zh) 2014-05-22 2015-05-21 搬运装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9457479B2 (zh)
JP (1) JP6191544B2 (zh)
KR (1) KR102314337B1 (zh)
CN (1) CN105083978B (zh)
TW (1) TWI627119B (zh)

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107176427A (zh) * 2017-06-20 2017-09-19 刘开帅 一种岩锦供料装置
CN109417044A (zh) * 2016-06-30 2019-03-01 日本电产三协株式会社 搬运系统
CN109890578A (zh) * 2016-10-27 2019-06-14 三菱电机株式会社 工件输送装置
CN110255168A (zh) * 2019-06-28 2019-09-20 广东利元亨智能装备股份有限公司 一种工件错位抓取方法
CN110255111A (zh) * 2019-07-24 2019-09-20 西安市红会医院 一种空中液体运输装置
CN111337511A (zh) * 2020-04-21 2020-06-26 佛山市海协科技有限公司 一种集成电路板自动化检测线
CN111604929A (zh) * 2020-04-29 2020-09-01 无锡小强半导体科技有限公司 一种搬运夹爪
CN111747103A (zh) * 2019-03-29 2020-10-09 鸿劲精密股份有限公司 转运装置及其应用的电子元件作业设备
CN111993519A (zh) * 2020-08-24 2020-11-27 豪德机械（上海）有限公司 一种自适应超长板垛搬运夹具
CN112061652A (zh) * 2019-06-11 2020-12-11 中国石油化工股份有限公司 垛装货物整形方法及系统
CN112693904A (zh) * 2020-12-07 2021-04-23 英特尔产品（成都）有限公司 芯片托盘堆叠检测装置的成像系统和芯片托盘堆叠检测装置
CN115533934A (zh) * 2022-09-30 2022-12-30 靖江国林木业有限公司 一种适用范围广的原木加工板材转运用机械手
CN116190294A (zh) * 2023-04-24 2023-05-30 上海果纳半导体技术有限公司 一种天车示教装置和示教方法

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6327124B2 (ja) * 2014-11-12 2018-05-23 株式会社ダイフク 物品搬送車
KR101713576B1 (ko) * 2016-03-25 2017-03-09 주식회사 에스에프에이 기립형 기판 이송장치
CN105856268A (zh) * 2016-06-17 2016-08-17 苏州华本机电有限公司 一种夹紧机械抓手
KR101898633B1 (ko) * 2016-11-25 2018-09-13 비전세미콘(주) 반도체 웨이퍼 이송장치의 그리퍼
JP6452891B1 (ja) * 2017-10-20 2019-01-16 スターテクノ株式会社 パレット把持装置及びパレット把持システム
JP6452893B1 (ja) * 2017-10-20 2019-01-16 スターテクノ株式会社 パレット移送装置
CN108189468B (zh) * 2017-12-29 2019-08-27 津市中南新鲁包装印刷有限公司 一种纸箱生产线用防卡机装置
US11348816B2 (en) * 2018-07-31 2022-05-31 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Systems and methods for die container warehousing
CN109231010A (zh) * 2018-11-26 2019-01-18 徐州徐工随车起重机有限公司 一种侧面起重机滑移装置自动定位控制系统
TWI685459B (zh) * 2019-03-29 2020-02-21 鴻勁精密股份有限公司 搬盤單元及其應用之電子元件作業設備
KR102252735B1 (ko) * 2019-07-29 2021-05-17 세메스 주식회사 핸드 유닛 및 이를 갖는 비히클
KR102220542B1 (ko) * 2019-08-13 2021-02-25 주식회사 에스에프에이 이송대차
TWI754914B (zh) * 2020-04-10 2022-02-11 張志陸 自動倉儲系統用的水平揀料裝置
KR102576383B1 (ko) * 2021-04-05 2023-09-08 크린팩토메이션 주식회사 반송대차

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62165884U (zh) * 1986-04-10 1987-10-21
JPH0577188A (ja) * 1991-09-19 1993-03-30 Hitachi Ltd 製品移載装置
JPH05104461A (ja) * 1991-10-11 1993-04-27 Daifuku Co Ltd 搬送用容器使用の搬送設備
JPH0663293U (ja) * 1993-02-24 1994-09-06 レンゴー株式会社 物品移送用のハンド装置
JPH10194659A (ja) * 1997-01-08 1998-07-28 Takasago Ind Co Ltd 匣鉢移送装置
CN1842479A (zh) * 2004-02-17 2006-10-04 Msk包装系统股份有限公司 用于使在输送托板上的、至少在下部外边缘部位处容易变形的物品对准的装置和方法
CN201023929Y (zh) * 2007-04-24 2008-02-20 威光自动化科技股份有限公司 防止托盘歪斜的活动式闸门推杆
CN203938195U (zh) * 2013-12-31 2014-11-12 浙江工业大学 一种新型码垛机手爪机构

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6018311Y2 (ja) * 1980-03-21 1985-06-03 日本輸送機株式会社 荷役用４面クランプ装置
US4852928A (en) * 1984-02-16 1989-08-01 Multivisions Corporation Robotic end effectors
DE3836245A1 (de) * 1988-10-25 1990-04-26 Zinser Textilmaschinen Gmbh Transportvorrichtung zum automatischen transportieren von wickeln zu mehreren kaemmaschinen
US5150937A (en) * 1989-09-07 1992-09-29 Canon Kabushiki Kaisha Work pickup apparatus
IT1256310B (it) * 1992-11-11 1995-11-30 Ocme Dispositivo per il prelievo,la movimentazione e la deposizione di una pila di fustellati
JPH10236652A (ja) * 1997-02-27 1998-09-08 Takasago Ind Co Ltd 焼成台車用積み降ろし装置
JP2000141267A (ja) * 1998-11-11 2000-05-23 Mitsubishi Electric Corp 産業ロボットの把手装置
NL1013281C2 (nl) * 1999-10-13 2001-04-17 Food Processing Systems Grijper.
US6592324B2 (en) * 2001-02-26 2003-07-15 Irm, Llc Gripper mechanism
JP2004025427A (ja) 2002-02-27 2004-01-29 Hirata Corp ワーク搬送装置
EP2100150B1 (en) * 2006-12-04 2011-01-05 Inpeco IP Ltd Container gripper provided with a position sensor
JP2009006460A (ja) * 2007-06-29 2009-01-15 Mitsubishi Electric Corp ロボットハンド
US7887108B1 (en) * 2007-08-16 2011-02-15 Sage Automation, Inc. Adjustable tine clamp systems and methods
DE102007046919B4 (de) * 2007-09-28 2010-07-08 Dematic Gmbh & Co. Kg Greifer zum automatischen Ergreifen von Packeinheiten

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62165884U (zh) * 1986-04-10 1987-10-21
JPH0577188A (ja) * 1991-09-19 1993-03-30 Hitachi Ltd 製品移載装置
JPH05104461A (ja) * 1991-10-11 1993-04-27 Daifuku Co Ltd 搬送用容器使用の搬送設備
JPH0663293U (ja) * 1993-02-24 1994-09-06 レンゴー株式会社 物品移送用のハンド装置
JPH10194659A (ja) * 1997-01-08 1998-07-28 Takasago Ind Co Ltd 匣鉢移送装置
CN1842479A (zh) * 2004-02-17 2006-10-04 Msk包装系统股份有限公司 用于使在输送托板上的、至少在下部外边缘部位处容易变形的物品对准的装置和方法
CN201023929Y (zh) * 2007-04-24 2008-02-20 威光自动化科技股份有限公司 防止托盘歪斜的活动式闸门推杆
CN203938195U (zh) * 2013-12-31 2014-11-12 浙江工业大学 一种新型码垛机手爪机构

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109417044A (zh) * 2016-06-30 2019-03-01 日本电产三协株式会社 搬运系统
CN109417044B (zh) * 2016-06-30 2023-04-28 日本电产三协株式会社 搬运系统
CN109890578A (zh) * 2016-10-27 2019-06-14 三菱电机株式会社 工件输送装置
CN109890578B (zh) * 2016-10-27 2020-05-12 三菱电机株式会社 工件输送装置
CN107176427A (zh) * 2017-06-20 2017-09-19 刘开帅 一种岩锦供料装置
CN111747103A (zh) * 2019-03-29 2020-10-09 鸿劲精密股份有限公司 转运装置及其应用的电子元件作业设备
CN112061652A (zh) * 2019-06-11 2020-12-11 中国石油化工股份有限公司 垛装货物整形方法及系统
CN110255168B (zh) * 2019-06-28 2021-01-15 广东利元亨智能装备股份有限公司 一种工件错位抓取方法
CN110255168A (zh) * 2019-06-28 2019-09-20 广东利元亨智能装备股份有限公司 一种工件错位抓取方法
CN110255111B (zh) * 2019-07-24 2020-10-09 西安市红会医院 一种空中液体运输装置
CN110255111A (zh) * 2019-07-24 2019-09-20 西安市红会医院 一种空中液体运输装置
CN111337511A (zh) * 2020-04-21 2020-06-26 佛山市海协科技有限公司 一种集成电路板自动化检测线
CN111337511B (zh) * 2020-04-21 2020-10-27 渭南高新区木王科技有限公司 一种集成电路板自动化检测线
CN111604929A (zh) * 2020-04-29 2020-09-01 无锡小强半导体科技有限公司 一种搬运夹爪
CN111993519A (zh) * 2020-08-24 2020-11-27 豪德机械（上海）有限公司 一种自适应超长板垛搬运夹具
CN112693904A (zh) * 2020-12-07 2021-04-23 英特尔产品（成都）有限公司 芯片托盘堆叠检测装置的成像系统和芯片托盘堆叠检测装置
CN115533934A (zh) * 2022-09-30 2022-12-30 靖江国林木业有限公司 一种适用范围广的原木加工板材转运用机械手
CN116190294A (zh) * 2023-04-24 2023-05-30 上海果纳半导体技术有限公司 一种天车示教装置和示教方法

Also Published As

Publication number Publication date
TWI627119B (zh) 2018-06-21
KR20150135067A (ko) 2015-12-02
JP2015222739A (ja) 2015-12-10
US9457479B2 (en) 2016-10-04
KR102314337B1 (ko) 2021-10-19
CN105083978B (zh) 2019-05-17
US20150336279A1 (en) 2015-11-26
TW201544426A (zh) 2015-12-01
JP6191544B2 (ja) 2017-09-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105083978A (zh) 搬运装置
CN105083979A (zh) 搬运装置
CN106477217B (zh) 物品搬运设备
JP6171984B2 (ja) 物品支持装置
JP6256702B2 (ja) 物品搬送用容器昇降搬送装置
KR102276842B1 (ko) 층간 반송 설비
KR101965733B1 (ko) 물품 반송 설비
JP5234328B2 (ja) 物品収納設備
JP7099245B2 (ja) 物品搬送車
EP3476772B1 (en) Conveyance system
CN108290687B (zh) 保管装置以及输送系统
KR20120108962A (ko) 물품 이송탑재 장치 및 이것을 구비한 스태커 크레인
EP3636562B1 (en) Floor-to-floor transport system and floor-to-floor transport method
KR101784868B1 (ko) 이송대차 시스템
KR101739850B1 (ko) 듀얼 스토커
CN105314345B (zh) 搬运装置
JP5966588B2 (ja) カゴ台車用移載装置
KR101504145B1 (ko) 반송시스템 및 그 대차장치
KR101576543B1 (ko) 이송대차 시스템 및 이송대차를 이용한 대상물 이적재방법
KR101844314B1 (ko) 다수 소재의 다수 가공 기기에 대한 자동 이송 장치
JP6135402B2 (ja) 搬送装置及び搬送設備
KR20190113237A (ko) 팔레트 공급 장치 및 시스템
CN113167633B (zh) 物品搬运设备
KR20220093819A (ko) 핸드 유닛 및 이를 갖는 비히클
JP2015202920A (ja) 物品搬送装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant