JP5266680B2 - 搬送装置、搬送システム及び伸長機構 - Google Patents

Description

本発明は、例えば半導体装置製造用の各種基板等を軌道部上で搬送する搬送装置、該搬送装置及び軌道部を含む搬送システム、並びに該搬送装置に用いられる伸長機構の技術分野に関する。

この種の搬送装置として、天井に敷設された軌道部上を走行する懸垂式（ＯＨＴ：Overhead Hoist Transfer）のものがあり、更に、軌道部の真下以外に置かれた、即ち軌道部の側方に置かれた被搬送物の移載（以下、適宜「横移載」と称する）を可能とするものがある。

例えば特許文献１では、搬送車の下部に水平面で運動可能な移載手段を設けることにより、横移載を可能とする技術が開示されている。また特許文献２では、搬送車の側方に天井バッファを設け、昇降台を天井バッファ上まで移動することで横移載を可能とする技術が開示されている。更に特許文献３では、軌道の側方に物品載置台を設けることで横移載を可能とする技術が開示されている。

これらの特許文献に記載された搬送装置には、横移載を行う際に、ギヤ、ラック、ピニオン、モータ等を用いて機械的に積載部を側方に伸ばす伸長機構が備えられる。

特開平１１−１８０５０５号公報 特開２００５−２０６３７１号公報 特開２００６−２８２３０３号公報

しかしながら、上述の如き横移載を行うための伸長機構を、非伸長時に当該搬送装置の走行の邪魔とならない程度に小型化しつつ、伸長時に十分な長さまで且つ十分な強度を持って伸長可能とすることは技術的に困難であるという技術的問題点がある。

本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、小型化可能であると共に横移載可能な搬送装置、該搬送装置を備えた搬送システム、及び該搬送装置に用いられる伸長機構を提供することを課題とする。

本発明の搬送装置は上記課題を解決するために、軌道部を走行する走行部と、該走行部に取り付けられた本体部、該本体部から前記軌道部の側方に向かう伸長方向に伸長可能であると共に被搬送物を積載可能である積載部、及び該積載部を前記伸長方向に伸長させる伸長機構を有する搬送部とを備え、前記伸長機構は、前記伸長方向に夫々延びると共に空間を隔てて相対向する、前記本体部に対し固定されている第１ラック及び前記積載部に対し固定されている第２ラックと、前記空間内に配置される、前記第１ラックに噛み合わせられる第１ピニオン及び前記第２ラックに噛み合わされる第２ピニオン、並びに前記第１及び第２ピニオン間に噛み合わせられる奇数個の第３ピニオンとを備え、前記第１ピニオン及び前記第２ピニオンは、互いに所定高さ異なる位置で軸止されて、前記第１ピニオン及び前記第２ラックが互いに接触しないように、且つ前記第２ピニオン及び前記第１ラックが互いに接触しないようにされており、前記積載部は、前記第１、第２及び第３ピニオンが転動されつつ前記第２ラックが前記第１ラックに対して前記伸長方向にずらされることで、前記伸長方向に伸長される。
また本発明の搬送装置の一態様では、前記第３ピニオンの幅は、前記第１ピニオン及び前記第２ピニオンよりも所定幅狭く設定され、前記第１ラック及び前記第２ラックは、前記所定幅の間隙の部分において前記第１ピニオン及び前記第２ピニオンの各々と噛み合わせられる。

本発明に係る搬送システムによれば、その動作時に、先ず例えば天井に敷設された軌道部を走行部が走行することで、搬送部による被搬送物の搬送が行われる。搬送部は、走行部に例えば釣り下がる形で取り付けられた本体部と、本体部から軌道部の側方に伸長可能であると共に被搬送物を積載或いは載置可能である積載部と、該積載部を伸長方向に伸長させる伸長機構とを有しており、軌道部の側方に設置された被搬送物を積載して搬送することが可能である。尚、ここでの「側方に向かう伸長方向に伸長」とは、典型的には水平方向であるが、厳密な水平方向を意味するものではなく、軌道部から側方に外れる限り、斜め下方や斜め上方への伸長であってもよい。即ち、積載部は、典型的である水平に伸長しての横移載を行ってもよいし、変則的である斜めに伸長しての横移載を行ってもよい。また、積載部は伸長せずに積載或いは載置することも可能である。

ここで特に、上述した横移載を行う場合には、第１及び第２ラック間の空間内に配置された第１及び第２ピニオン、並びに第３ピニオンが転動される。この際、第１及び第２ピニオン間に介在する第３ピニオンは、典型的には１個又は３個といった、奇数個だけ介在するので、これら第１から第３ピニオンの転動は、第２ピニオンに噛み合わされる第２ラックが、第１ピニオンに噛み合わされる第１ラックに対して、伸長方向にずらされることを意味する。言い換えれば、典型的には第１及び第２ラックは、相互に平行関係を維持したまま、伸長方向についての相対位置を変える。すると、第２ラックが固定された積載部は、第１ラックが固定された本体部に対して、伸長方向に伸長される。

仮に、本発明の構成において、第１及び第２ラックの間に一つのピニオンのみ介在させたとすれば、ピニオンの転運によって、第１ラックを伸長方向に伸長させることは可能である。しかしながら、この場合、最も伸長させた状態においても、ピニオンを第１及び第２ラックで両側から挟持する必要があるので、それ以上に第１及び第２ラックを伸長方向にずらすことは不可能となる。言い換えれば、ピニオンが噛み合う箇所において、第１及び第２ラックが相互に対向しないまでに両者をずらすことは不可能となり、二つのラックが重なる分だけ長いラックが必要となる。

或いは、仮に、本発明の構成において、第１及び第２ラックの間に、相互に噛み合わされる第１及び第２ピニオンのみ介在させたとすれば、第１及び第２ラックに噛み合わされている限り、係合箇所にて相互に逆回転しようとする第１及び第２ピニオンを転運させることはできない。同様に、仮に、本発明の構成において、第１及び第２ピニオンの間に、偶数個の第３ピニオンのみ介在させたとすれば、やはり第１及び第２ラックに噛み合わされている限り、第１から第３ピニオンを転運させることはできない。

しかるに本発明では特に、上述の如く第１及び第２ラック並びに第１から第３ピニオンが噛み合わされているので、第１から第３ピニオンが転運可能であると共に、それらの転動に伴って第１及び第２ラックが伸長方向にずれることが可能となる。しかも、この際、いずれか一つのピニオンを第１及び第２ラックで両側から挟持する必要がないので、ピニオンが噛み合う箇所において、第１及び第２ラックが相互に対向しないまでに両者を大きくずらすことが可能となる。よって、ラックの長さを固定して考えれば、複数のピニオンが介在する分だけ、伸長可能な長さが長くなる。言い換えれば、伸長可能な長さを固定して考えれば、伸長機構の小型化及び搬送装置全体の小型化が、極めて効率的に図られることになる。ラックの長さが短くて済めば、非伸長時における伸長機構の伸長方向の長さ及び搬送装置の伸長方向の長さは、より短くて済む訳であり、小型の搬送装置から積載部がより遠くまで伸長する訳である。

尚、このような第２ラックの伸長及び第１から第３ピニオンの転動は、例えばモータ等の回転駆動手段により、いずれかのピニオンの軸を回転させることや、例えば積載部又は第２ラックを伸長方向に往復運動させるアクチュエータ、駆動ベルト等の直線駆動手段により積載部等を側方に押し出す又は引っ張ることで行えばよい。

以上説明したように、本発明に係る搬送装置によれば、小型化が可能となると共に、横移載が可能となる。

本発明の搬送装置の一態様では、前記伸長機構は、前記伸長方向に沿って延びると共に、前記第１、第２及び第３ピニオンを軸止し、前記第２ラックがずらされるのに連動して前記伸長方向にスライドするスライダを更に備える。

この態様によれば、スライダに軸止された第１から第３ピニオンが転動され、第２ピニオンに噛み合わされる第２ラックが、第１ピニオンに噛み合わされる第１ラックに対して、伸長方向にずらされる。例えば、第１ラックに対して、第２ラックが伸長方向に、第１及び第２ピニオンの回転量に相当する長さだけずれると、スライダは伸長方向に、第１ピニオンの回転量に相当する分だけずれる。この際、第１及び第２ラックは、スライダが存在する分だけ、伸長方向に離間することも可能となり、同一長さのラックによって、より遠くまで伸長することが可能となる。

本発明の搬送装置の他の態様では、前記第３ピニオンは、前記第１及び第２ラックのいずれにも干渉しない位置にて、前記第１及び第２ピニオンに噛み合わせられる。

この態様によれば、第３ピニオンは、第１及び第２ラックのいずれにも干渉しない位置にて、言い換えれば、第１又は第２ラックの歯にぶつかって第１及び第２ピニオンの転動を邪魔しない位置にて、第１及び第２ピニオンに噛み合わせられる。このような位置は、典型的には、ラックの伸長方向に対して交わる交差方向に外れた位置であり、この位置にて、例えばラックより交差方向に幅広に構成された第１及び第２ピニオンに噛み合わされる。従って、積載部は、第２ラックが第３ピニオンにより邪魔されることなく第１ラックに対して伸長方向にずらされ、これにより伸長方向に伸長される。

或いは本発明の搬送装置の他の態様では、前記第３ピニオンは、前記第１及び第２ラックのいずれにも干渉しない形状を有する。

この態様によれば、第３ピニオンは、第１及び第２ラックのいずれにも干渉しない形状を有する。このような形状は、典型的には、第１及び第２ピニオンよりも小さい径を有する円盤状であり、第３ピニオンは第１及び第２ラック間の空間内でこれら第１及び第２ラックに接触することなく、第１及び第２ピニオンに噛み合わされる。従って、積載部は、第２ラックが第３ピニオンにより邪魔されることなく第１ラックに対して伸長方向にずらされ、これにより伸長方向に伸長される。

本発明の搬送システムは上記課題を解決するために、上述した本発明に係る搬送装置（但し、その各種態様を含む）と、軌道部とを備える。

本発明の搬送システムによれば、上述した本発明の搬送装置を備えるので、軌道部上で横移載が可能な搬送装置を、小型化できる。

本発明の伸長機構は上記課題を解決するために、本体部から該本体部の側方に向かう伸長方向に伸長可能である伸長可能部を前記伸長方向に伸長させる伸長機構であって、前記伸長方向に夫々延びると共に空間を隔てて相対向する、前記本体部に対し固定されている第１ラック及び前記伸長可能部に対し固定されている第２ラックと、前記空間内に配置される、前記第１ラックに噛み合わせられる第１ピニオン及び前記第２ラックに噛み合わされる第２ピニオン、並びに前記第１及び第２ピニオン間に噛み合わせられる奇数個の第３ピニオンとを備え、前記第１ピニオン及び前記第２ピニオンは、互いに所定高さ異なる位置で軸止されて、前記第１ピニオン及び前記第２ラックが互いに接触しないように、且つ前記第２ピニオン及び前記第１ラックが互いに接触しないようにされており、前記伸長可能部は、前記第１、第２及び第３ピニオンが転動されつつ前記第２ラックが前記第１ラックに対して前記伸長方向にずらされることで、前記伸長方向に伸長される。

本発明の伸長機構によれば、上述した本発明に係る搬送装置の場合と同様に、伸長可能部を伸長させる際には、第１及び第２ラック間の空間内に配置された第１及び第２ピニオン、並びに第３ピニオンが転動される。すると、第２ラックが固定された伸長可能部は、第１ラックが固定された本体部に対して、伸長方向に伸長される。この結果、伸長機構全体の小型化が可能となると共に、例えば横移載を行う際における積載部の伸長など、各種応用が考えられる伸長可能部の伸長が可能となる。

本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。

以下では、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。

先ず、本実施形態に係る搬送システムの構成について、図１を参照して説明する。ここに図１は、搬送システムの構成を示す側面図である。

図１において、本実施形態に係る搬送システムは、軌道部３００と、走行ローラ１１５を有する走行部１１０と、本体部２１０、積載部２２０、グリップ部２３０、昇降ベルト２４０及び落下防止部２５０、並びに伸長機構６００を有する搬送部１２０とを備えて構成されている。

軌道部３００は、例えば天井に敷設されており、アルミニウムやステンレス等の金属から構成される。

走行部１１０は、例えば図示しないモータ等によって走行ローラ１１５を回転させることで、軌道部３００内を走行する。或いは、リニアモータを敷設し、リニアモータの推進原理で走行ローラを回転させるようにしてもよい。

搬送部１２０は、本体部２１０が走行部１１０に釣り下がる形で取り付けられており、本体部２１０に対し、伸長機構６００を介する形で積載部２２０が設けられている。積載部２２０は、伸長機構６００によって、本体部２１０に対して側方に移動可能（即ち、伸長可能）である。尚、伸長機構６００の構成及び動作については後に詳述する。グリップ部２３０は、昇降ベルト２４０によって積載部２２０と接続されており、被搬送物４００を把持する。昇降ベルト２４０は、巻出し及び巻取りを行うことで、グリップ部２３０を昇降させる。落下防止部２５０は、移載した被搬送物４００を図に示すように下側から支持し、落下を防止する。尚、被搬送物４００の移載を行う場合には、移載の妨げとならないように縮小させる、或いは積載部２２０の内部に収納させることが可能である。

次に、本実施形態に係る搬送システムの搬送動作について、図１に加えて図２を参照して説明する。ここに図２は、横移載を行う際の搬送システムの構成を示す側面図である。尚、ここでは搬送部１２０が横移載を行う場合を例にとり説明する。

本実施形態に係る搬送システムの動作時には、先ず被搬送物を移載していない搬送部１２０が、走行部１１０によって被搬送物を移載する位置に移動される。この際、昇降ベルト２４０は巻取られており、グリップ部２３０は積載部２２０の内部に収納されている（図１参照）。

図２において、走行部１１０の移動が行われた後、積載部２２０は伸長機構６００によって側方に移動される（即ち、伸長される）。これにより、被搬送物４００の横移載を行うことが可能となる。続いて、昇降ベルト２４０が巻出されることでグリップ部２３０が下降し、被搬送物４００を把持する。

図１に戻り、被搬送物４００がグリップ部２３０に把持されると、昇降ベルト２４０が巻取られ、グリップ部２３０が元の位置に戻る。続いて、積載部２２０が伸長の際とは反対方向（即ち、図２の左方向）に移動して、伸長前の位置へと戻る。そして、図に示すような状態で走行部１１０が再び走行し、被搬送物４００の搬送が行われる。

上述したように、積載部２２０が伸長機構６００により伸長可能であることによって、被搬送物４００の横移載が可能となる。そして、伸長機構６００の伸長距離が長ければ長い程、より広い範囲で横移載が可能となる。即ち、軌道部３００から、より離れた位置にある被搬送物４００を積載することが可能となる。また、伸長距離を固定して考えると、より小型の装置で同様の伸長距離を実現することが可能となる。

本実施形態に係る積載部２２０は、伸長機構６００によって、相対的に長い伸長距離６００を実現している。以下に、本実施形態に係る伸長機構６００について、比較例を交えて詳細に説明する。

先ず、比較例における伸長機構５００の構成及び動作について、図３を参照して説明する。ここに図３は、積載部における伸長機構の比較例を示す側面図である。尚、図３では、説明の便宜上、伸長機構５００に係る部材以外の部材は適宜省略して図示してある。

図３において、比較例の伸長機構５００は、本体部２１０に固定された第１ラック５１０と、積載部２２０に固定された第２ラック５２０と、第１ラック５１０及び第２ラック５２０の夫々に噛み合わされた第１ピニオン６１０とを備えて構成されている。

比較例の伸長機構５００によれば、第１ピニオン６１０が図の矢印方向に転動されることによって、第１ピニオン６１０及び第２ラック５２０が伸長方向（即ち、図における右方向）に移動される。

しかしながら、比較例の伸長機構５００では、図に示すような最も伸長させた状態においても、第１ピニオン６１０が第１ラック５１０及び第２ラック５２０で両側から挟持された状態であるので、それ以上に第１ラック５１０及び第２ラック５２０を伸長方向にずらすことは困難である。言い換えれば、第１ピニオン６１０が噛み合う箇所において、第１ラック５１０及び第２ラック５２０が相互に対向しないまでに両者をずらすことは困難である。

続いて、本実施形態に係る伸長機構６００の構成及び動作について、図４を参照して説明する。ここに図４は、本実施形態に係る積載部の伸長機構の構成を示す側面図である。尚、図４では、図３と同様に、適宜部材を省略して図示してある。また、上述した比較例の伸長機構５００と重複する構成や動作については適宜省略して説明する。

図４において、本実施形態に係る伸長機構６００は、本体部２１０に固定された第１ラック５１０と、積載部２２０に固定された第２ラック５２０と、第１ラック５１０に噛み合わされた第１ピニオン６１０と、第２ラックに噛み合わされた第２ピニオン６２０と、第１ピニオン６１０及び第２ピニオン６２０の夫々に噛み合わされた第３ピニオン６３０とを備えて構成されている。

本実施形態に係る伸長機構６００によれば、第１ピニオン６１０、第２ピニオン６２０及び第３ピニオン６３０が夫々図の矢印方向（即ち、第１ピニオン６１０及び第２ピニオン６２０が反時計回り、第３ピニオン６３０が時計回り）に転動されることによって、第１ピニオン６１０、第２ピニオン６２０及び第３ピニオン６３０、並びに第２ラック５２０が伸長方向（即ち、図の右方向）に移動する。このような伸長機構６００の動作によって、積載部２２０が本体部２１０に対して移動し、伸長が行われる。

尚、上述した伸長動作は、例えばモータ等の回転駆動部７００により、いずれかの第１ピニオン６１０の軸を回転させることや、第２ラック５２０を伸長方向に往復運動させるアクチュエータ、駆動ベルト、リニアスライダー等の直線駆動部により積載部等を側方に押し出す又は引っ張ることで行うことが可能である。

ここで、本実施形態の伸長機構６００は、図に示すような最も伸長した際に、上述した比較例の伸長機構５００と比較して、第２ピニオン６２０及び第３ピニオン６３０が追加された分（即ち、第１ピニオンの半径＋第２ピニオン６２０の半径＋第３ピニオン６３０の直径の分）、より長く伸長することが可能である。また、伸長可能な長さを固定して考えれば、第１ラック５１０及び第２ラック５２０の夫々の長さを短くしても同様の伸長距離が実現可能となるため、伸長機構６００の小型化及び搬送装置全体の小型化が、極めて効率的に図られることになる。

次に、上述した本実施形態に係る伸長機構６００のピニオンの構成について、図５から図８を参照して詳細に説明する。ここに図５は、伸長機構におけるピニオンの構成を示す部分拡大側面図であり、図６は、伸長機構におけるピニオンの構成を示す部分拡大下面図である。また図７は、伸長していない際の積載部の構成を示す側面図であり、図８は、伸長機構の変形例を示す側面図である。

図５及び図６において、本実施形態に係る伸長機構６００では、第１ピニオン６１０、第２ピニオン６２０及び第３ピニオン６３０は、本発明の「スライダ」の一例である第１固定板７１０及び第２固定版７２０に挟持される形で軸止されている。第１ピニオン６１０、第２ピニオン６２０及び第３ピニオン６３０は、夫々の回転軸であるシャフト８１０、８２０及び８３０によって、夫々第１固定板７１０及び第２固定板７２０に固定されており、第１固定板７１０及び第２固定板７２０はネジ７３０及び７４０によって、互いに連結されている。また、第２固定板７２０の上端部は、図示しないリニアスライド部材により本体部２１０（図４参照）に対して水平方向にスライド自在に支持され、第２固定板７２０の下端部も、図示しないリニアスライド部材により積載部２２０（図４参照）に対して水平方向にスライド自在に支持される。

伸長が行われる際には、夫々のピニオンと共に第１固定板７１０及び第２固定板７２０も伸長方向に移動する。第１固定板７１０及び第２固定板７２０は夫々のピニオンを軸止しているため、第１ラック５１０及び第２ラック５２０（図４参照）は、第１固定板７１０及び第２固定板７２０の長さの分だけ伸長方向に離間することが可能となり、より遠くまで伸長することが可能となる。

図５において、第１ピニオン６１０は、第２ピニオン６２０及び第３ピニオン６３０に対して、ｈ１高い位置で軸止されている。これは、図７に示すように、伸長機構６００が伸長されておらず、第１ラック５１０と第２ラック５２０とが、互いに対向するような位置関係となった場合に、第１ピニオン６１０と第２ラック５２０とが接触しないように、或いは第２ピニオン６２０と第１ラック５１０とが接触しないようにするためである。尚、ここでは第３ピニオン６３０の高さを第２ピニオン６２０と同じ高さとしているが、第３ピニオン６３０は、第１ピニオン６１０及び第２ピニオン６２０と噛み合わせることが可能な範囲であれば、特に高さは制限されない。

図６において、第３ピニオン６３０の幅は、第１ピニオン６１０及び第２ピニオン６２０と比べ、幅ｗ１だけ狭い。このため、第３ピニオン６３０と第２固定板７２０との間には幅ｗ１の間隙ができる。これは、図７に示すように、伸長機構６００が伸長されておらず、第３ピニオン６３０と第１ラック５１０又は第２ラック５２０とが、互いに重なるような位置関係となった場合に、第３ピニオンと第１ラック５１０又は第２ラック５２０とが接触しないようにするためである。即ち、第１ラック５１０及び第２ラック５２０を、上述した幅ｗ１の間隙の部分において、第１ピニオン６１０或いは第２ピニオン６２０と噛み合せるようにすれば、第３ピニオン６３０と接触することなく伸長が可能となる。

このように、第３ピニオン６３０と第１ラック５１０又は第２ラック５２０とが接触しないようにすることで、第３ピニオンの直径を大きくすることが可能となる。第３ピニオン６３０の直径を大きくすることで、その分伸長距離を多く伸ばすことが可能である。また、ピニオンの動きをスムーズにするという効果も得られる。

尚、上述したように、第３ピニオン６３０の直径を大きくしない場合には、第３ピニオン６３０を、第１ラック５１０及び第２ラック５２０のいずれにも接触しないような小さな径とすることで、接触を防止することも可能である。このような場合には、上述したような間隙は設けられなくともよい。言い換えれば、第３ピニオン６３０と、第１ピニオン６１０及び第２ピニオン６２０は、互いに同一の幅であってもよい。

図８に変形例として示すように、第３ピニオン６３０の個数は、奇数個であれば上述したように１個でなくともよい。例えば、図８に示すように、第３ピニオン６３０が３個設けられるとすると、伸長する際における夫々のピニオンの転動方向は、図中の矢印で示す方向となる。即ち、第３ピニオン６３０が奇数個であれば、第１ピニオン６１０及び第２ピニオン６２０の転動方向を互いに同じ方向とすることが可能である。よって、第１ラック５１０及び第２ラック５２０は、互いに近づく又は遠ざかる方向に移動されることとなり、上述したような伸長動作が可能となる。

以上説明したように、本実施形態に伸長機構６００によれば、伸長機構６００全体の小型化が可能となると共に、例えば積載部の伸長など、各種応用が考えられる伸長可能部の伸長が可能となる。そして、このような伸長機構６００を有する搬送装置及び搬送システムによれば、装置或いはシステム全体を小型化することが可能になると共に、被搬送物の横移載も可能となる。

本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う搬送装置、搬送システム及び伸長機構もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。

搬送システムの構成を示す側面図である。 横移載を行う際の搬送システムの構成を示す側面図である。 積載部における伸長機構の比較例を示す側面図である。 実施形態に係る積載部の伸長機構の構成を示す側面図である。 伸長機構におけるピニオンの構成を示す部分拡大側面図である。 伸長機構におけるピニオンの構成を示す部分拡大下面図である。 伸長していない際の積載部の構成を示す側面図である。 伸長機構の変形例を示す側面図である。

符号の説明

１１０…走行部、１１５…走行ローラ、１２０…搬送部、２１０…本体部、２２０…積載部、２３０…グリップ部、２４０…昇降ベルト、２５０…落下防止部、３００…軌道部、４００…被搬送物、５００、６００…伸長機構、５１０…第１ラック、５２０…第２ラック、６１０…第１ピニオン、６２０…第２ピニオン、６３０…第３ピニオン、７１０…第１固定板、７２０…第２固定板、７３０、７４０…ネジ、８１０、８２０、８３０…シャフト

Claims (7)

1. 軌道部を走行する走行部と、
   該走行部に取り付けられた本体部、該本体部から前記軌道部の側方に向かう伸長方向に伸長可能であると共に被搬送物を積載可能である積載部、及び該積載部を前記伸長方向に伸長させる伸長機構を有する搬送部と
   を備え、
   前記伸長機構は、
   前記伸長方向に夫々延びると共に空間を隔てて相対向する、前記本体部に対し固定されている第１ラック及び前記積載部に対し固定されている第２ラックと、
   前記空間内に配置される、前記第１ラックに噛み合わせられる第１ピニオン及び前記第２ラックに噛み合わされる第２ピニオン、並びに前記第１及び第２ピニオン間に噛み合わせられる奇数個の第３ピニオンと
   を備え、
   前記第１ピニオン及び前記第２ピニオンは、互いに所定高さ異なる位置で軸止されて、前記第１ピニオン及び前記第２ラックが互いに接触しないように、且つ前記第２ピニオン及び前記第１ラックが互いに接触しないようにされており、
   前記積載部は、前記第１、第２及び第３ピニオンが転動されつつ前記第２ラックが前記第１ラックに対して前記伸長方向にずらされることで、前記伸長方向に伸長される
   ことを特徴とする搬送装置。
2. 前記第３ピニオンの幅は、前記第１ピニオン及び前記第２ピニオンよりも所定幅狭く設定され、
   前記第１ラック及び前記第２ラックは、前記所定幅の間隙の部分において前記第１ピニオン及び前記第２ピニオンの各々と噛み合わせられる
   ことを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記伸長機構は、前記伸長方向に沿って延びると共に、前記第１、第２及び第３ピニオンを軸止し、前記第２ラックがずらされるのに連動して前記伸長方向にスライドするスライダを更に備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送装置。
4. 前記第３ピニオンは、前記第１及び第２ラックのいずれにも干渉しない位置にて、前記第１及び第２ピニオンに噛み合わせられることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の搬送装置。
5. 前記第３ピニオンは、前記第１及び第２ラックのいずれにも干渉しない形状を有することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の搬送装置。
6. 請求項１から５のいずれか一項に記載の搬送装置と、前記軌道部とを備える搬送システム。
7. 本体部から該本体部の側方に向かう伸長方向に伸長可能である伸長可能部を前記伸長方向に伸長させる伸長機構であって、
   前記伸長方向に夫々延びると共に空間を隔てて相対向する、前記本体部に対し固定されている第１ラック及び前記伸長可能部に対し固定されている第２ラックと、
   前記空間内に配置される、前記第１ラックに噛み合わせられる第１ピニオン及び前記第２ラックに噛み合わされる第２ピニオン、並びに前記第１及び第２ピニオン間に噛み合わせられる奇数個の第３ピニオンと
   を備え、
   前記第１ピニオン及び前記第２ピニオンは、互いに所定高さ異なる位置で軸止されて、前記第１ピニオン及び前記第２ラックが互いに接触しないように、且つ前記第２ピニオン及び前記第１ラックが互いに接触しないようにされており、
   前記伸長可能部は、前記第１、第２及び第３ピニオンが転動されつつ前記第２ラックが前記第１ラックに対して前記伸長方向にずらされることで、前記伸長方向に伸長される
   ことを特徴とする伸長機構。

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