JP3508130B2 - 搬送システム - Google Patents

搬送システム

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JP3508130B2
JP3508130B2 JP2000287154A JP2000287154A JP3508130B2 JP 3508130 B2 JP3508130 B2 JP 3508130B2 JP 2000287154 A JP2000287154 A JP 2000287154A JP 2000287154 A JP2000287154 A JP 2000287154A JP 3508130 B2 JP3508130 B2 JP 3508130B2
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    • B61BRAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)
  • Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の利用分野】この発明は、クリーンルーム等で用
いる搬送システムに関する。
【0002】
【従来技術】クリーンルームなどでの物品の搬送では、
移載装置を搭載した低速の有軌道台車で工程内搬送を用
い、移載装置を搭載しないが高速のリニア搬送台車で工
程間搬送を行っている例がある。有軌道台車は専用のレ
ールを用いて有軌道台車システムとして運用され、リニ
ア搬送台車も同様に専用のリニアモータを敷設したレー
ルを用いて、リニア搬送台車システムとして運用され
る。このようなシステムを用いて、1つの工程から別の
工程へと物品を搬送する場合、有軌道台車からバッファ
としてのストッカーへの移載、ストッカーからリニア搬
送台車への移載、リニア搬送台車からバッファのストッ
カーへの移載、ストッカーから有軌道台車への移載と、
合計4回の移載が必要で移載回数が多い。
【0003】
【発明の課題】この発明の基本的課題は、工程間搬送シ
ステムと工程内搬送システムとを融合させ、搬送効率を
改善し、特に特急品などの搬送を容易にして、速やかに
物品を搬送できるようにすることにある(請求項1〜
3)。請求項2の発明での追加の課題は、分岐の制御を
容易にすることにある。
【0004】
【発明の構成】この発明の搬送システムは、長距離ルー
プに沿って工程間搬送用の搬送台車を走行させ、前記長
距離ループの周囲に工程内搬送用の短距離搬送路を複数
設けて、工程内搬送用の搬送台車を走行させると共に、
工程間搬送用の搬送台車及び工程内搬送用の搬送台車の
いずれとの間でも物品を移載可能なストッカーを、少な
くとも前記短距離搬送路毎に設けて、工程内搬送用の搬
送台車からストッカー、工程間搬送用の搬送台車、他の
ストッカー、他の工程内搬送用の搬送台車の順に物品を
搬送するようにしたシステムであって、前記長距離ルー
プに前記短距離搬送路を分岐・合流部を介して接続し、
前記工程間搬送用の搬送台車は移載装置を搭載しない搬
送台車とし、 前記工程内搬送用の搬送台車は移載装置
を搭載した搬送台車とし、かつ前記工程内搬送用の搬送
台車が、前記長距離ループと前記短距離搬送路の双方を
走行し得るように、前記長距離ループと短距離搬送路と
を構成することにより、工程内搬送用の搬送台車が、搬
送元の工程の処理装置のステーションから、短距離搬送
路と前記長距離ループ及び、搬送先の工程の短距離搬送
路を走行して、搬送先の工程の処理装置のステーション
まで、物品を直送できるようにしたことを特徴とする
(請求項1)。
【0005】好ましくは、前記工程間搬送用の搬送台車
と、工程内搬送用の搬送台車の各々に、分岐・合流部で
の分岐方向を制御するための手段を設ける(請求項
2)。
【0006】また好ましくは、前記直送を、少なくとも
特急品の搬送に対して行う(請求項3)。
【0007】
【発明の作用と効果】この発明では、工程間搬送用の搬
送システムと工程内搬送用の搬送システムとを接続する
ので、これらのシステムを融合して運用できる。このた
め例えば、工程内搬送用の短距離搬送路から、工程間搬
送用の長距離ループを経由して、次の工程内搬送用の短
距離搬送路まで、物品の積み替え無しで直送する等のこ
とができる。この発明では、工程内搬送用の搬送台車で
特急品を工程間で直送する、次の工程までの長距離ルー
プでの走行距離が僅かな場合などに、長距離ループを経
由して次の工程まで物品を直送する、などのことができ
る。そして工程内搬送用の搬送台車は移載装置を備えて
いるので、工程内の処理装置から他の工程内の処理装置
等へ物品を直送して、移載できる。また工程間搬送用
に、移載装置を備えていない搬送台車を設けるので、工
程間搬送用の台車で移載装置を備えた少数のステーショ
ン間で、物品を高速搬送できる(請求項1)。
【0008】この発明では多数の分岐・合流部が生じ
る。そして請求項2の発明では、これらの分岐・合流部
を、工程内及び工程間の搬送台車に設けた分岐方向の制
御手段で分岐するので、分岐の制御が容易になる。
【0009】工程内搬送用の短距離搬送路から長距離ル
ープを介して他の短距離搬送路へ物品を直送するのは、
特急品の搬送でも、長距離ループでの走行距離が僅かな
場合などに行えばよいが、特急品の搬送に用いると、搬
送元の短距離搬送路から長距離ループへ移行する間に、 ・ 工程内搬送用の搬送台車からストッカーに移載す
る、 ・ 工程間搬送用の搬送台車に移載する、 ・ 工程間搬送用の搬送台車から搬送先の工程の短距離
搬送路のストッカーに移載する、 ・ 工程内搬送用の搬送台車に移載する、 4回の移載を省略でき、搬送時間を短縮できる(請求項
3)。
【0010】
【実施例】図1〜図5に、リニア搬送台車システムと有
軌道台車システムとを融合させた搬送システムを例に、
実施例を示す。図1に示すように、工程間搬送用の長距
離ループとして走行ループ2,3を設け、これらはいず
れも図1に示す矢印方向向きの一方走行のループとす
る。走行ループ2,3にはショートカット4〜7を設け
ると共に、走行ループ2と走行ループ3とを接続する連
絡路8〜11を設ける。12〜15は連絡路8〜11等
に沿って設けた引き込み線で、ストッカーとの移載や追
い越し走行等のために用いる。なお走行ループ2,3に
も同様に引き込み線を設けても良い。そして走行ループ
2,3、ショートカット4〜7、連絡路8〜11、引き
込み線12〜15は、リニア搬送台車と有軌道台車の共
用のレールを敷設する。図1では、実線と破線とを重ね
て、リニア搬送台車と有軌道台車の共用区間を示す。
【0011】工程内搬送用に、有軌道台車専用の走行ル
ープ20〜25を設ける。走行ループ20〜23は走行
ループ2に接続し、走行ループ24,25は走行ループ
2,3の双方に接続する。ここでは有軌道台車が走行ル
ープ2,3を経由せずに、走行ループ20〜25内を周
回できるように、走行ループ20〜25をループ状に構
成した。しかし、図1の右側に示す往復路20’のよう
に、有軌道台車がループを周回するのではなく、走行ル
ープ2,3に接続した往復路20’を往復走行するよう
にしても良い。走行ループ2,3と、走行ループ20〜
25やショートカット4〜7、連絡路8〜11との接続
部や、連絡路8〜11と引き込み線12〜15の接続部
等には、分岐・合流部30を設ける。分岐・合流部30
の構成は、図4,図5を参照して後述する。
【0012】リニア搬送台車の搬送作業は、ストッカー
とストッカーとの間で物品を搬送することである。スト
ッカーにはリニア搬送台車用に伸縮自在なアームを備え
た移載装置が設けられ、リニア搬送台車自体は移載装置
を搭載していない。このためリニア搬送台車は、限られ
たステーションの間を高速で物品を搬送して、長距離工
程間搬送を行うのに適している。有軌道台車は移載装
置、例えば昇降自在なチャックを搭載し、工程内の処理
装置から処理装置へと順次物品を搬送するほかに、スト
ッカーとの間でも物品を移載できる。このため、各スト
ッカーにはリニア搬送台車用のステーションと、有軌道
台車用のステーションとを例えば別個に設ける。実施例
では、走行ループ2,3の連絡路8〜11に沿って比較
的大規模なストッカー32を設けると共に、各工程の入
口や出口付近に比較的小規模なストッカー34を設け
る。これらのストッカー32,34には、リニア搬送台
車用のステーションと有軌道台車用のステーションとを
設け、リニア搬送台車用のステーションには図示しない
移載装置を設ける。
【0013】図1ではリニア搬送台車と有軌道台車とを
共通の走行ループ2,3等に沿って走行させることを示
したが、移載装置を備えた工程内搬送用のリニア搬送台
車と、移載装置を備えない長距離高速搬送用のリニア搬
送台車等のように、モータの種類や台車の構造が共通の
2種類の搬送台車を同じレール上を走行させても良い。
【0014】図2,図3に、走行ループ2,3等に用い
た、リニア搬送台車と有軌道台車の共用のレール40を
示す。レール40は、取付具42等によりクリーンルー
ム等の天井に取り付けられ、レール40の底部上面を走
行ローラの走行面とし、側面内側をガイドローラのガイ
ド面とする。またレール40の内側の中央上部には2次
導体部44を設け、その底面に2次導体を設け、例えば
その両側面を分岐制御用のガイド面とする。
【0015】図2は、リニア搬送台車50がレール40
に沿って懸垂走行している姿を示し、51はリニア搬送
台車50の走行駆動部で、1次側のリニアモータ52を
備えて、2次導体部44と組み合わせてリニアモータと
する。またリニア搬送台車50は、図示しない給電線か
ら例えば非接触で給電を受ける。53,54は走行ロー
ラで、これ以外に図示しないガイドローラにより、レー
ル40の側面内側でガイドされて走行する。56は物品
支持板、57は保持具で、物品60を例えば図2のよう
に保持して走行する。そしてステーションで停止する
と、ステーション側の移載装置が作動し、物品を60を
例えば伸張したアームによりすくい上げて移載する。
【0016】図3に、有軌道台車62がレール40に沿
って懸垂走行している姿を示す。有軌道台車62は走行
駆動部63を備え、図示しない給電線から、同様に非接
触給電等により給電を受けて、走行モータを作動させ、
走行ローラ53,54により走行する。またこれ以外に
ガイドローラを設けて、レール40の側面内側などでガ
イドする。リニア搬送台車50も有軌道台車62も、レ
ール40の2次導体を利用するか否かの他は、走行機構
に大差はない。有軌道台車62は昇降部64とチャック
66とを有して、昇降部64を昇降させ、チャック66
で物品60の上部をチャックして保持し、両側から挟持
部68で物品60を挟持して安定に保持する。このよう
に、有軌道台車は昇降部64とチャック66とを有して
いるため、直接物品60を処理装置のステーションから
他の処理装置のステーションやストッカーのステーショ
ンに搬送することができる。有軌道台車62はチャック
で物品60を保持するものに限らず、昇降自在の爪等で
物品60の底面を保持しても良い。
【0017】図4に、有軌道台車62が分岐・合流部付
近でレール40内を走行している姿を示す。70は2次
導体部44の底面に設けた2次導体で、2次導体部44
の両側面をガイド面71,72とする。またレール40
の底部上面を走行面73,74とする。図4では、分岐
・合流部のために例えば走行面73がカットされている
部分の直前を、有軌道台車62が走行しようとしている
姿を示している。
【0018】有軌道台車62はガイドローラ76,77
を備え、これ以外にガイド面71,72に接触/フリー
の切り替えができるガイドローラ78,79を備えてお
り、切り替えモータ80で、ガイドローラ78,79を
上下させ、ガイド面71,72との接触を切り替える。
そして切り替えモータ80は、ガイドローラ78,79
の一方がガイド面71,72でガイドされる状態と、い
ずれもガイド面71,72からフリーの位置にある状態
との間で、ガイドローラ78,79の高さを切り替え
る。
【0019】分岐・合流部以外の走行では、走行ローラ
53,54で走行面73,74を走行し、有軌道台車6
2の重量を走行面73,74で支える。また有軌道台車
62の姿勢をガイドローラ76,77で支える。これに
対して分岐・合流部では、走行面73,74をカットす
る場所が生じる。図4の場合、走行面73をカットする
ことを示している。図4の場合、有軌道台車62には図
4の反時計回りに傾こうとするモーメントが働く。この
モーメントに対して、切り替えモータ80でガイドロー
ラ78をガイド面71に接触させて、有軌道台車62の
姿勢が傾くのを防止する。またガイドローラ78,79
のいずれがガイド面71,72に接触するかで、分岐方
向を制御する。なお切り替えモータ80は、ガイドロー
ラ78,79をガイド面71,72に対して接触/切り
離すための任意の機構に代えることができる。
【0020】図5に、レール40を底面側から見た姿を
模式的に示す。走行面73,74間に2次導体部44が
あり、その両側にガイド面71,72がある。ガイド面
71,72での、破線を付して示した範囲A,Bでガイ
ドローラ78,79をガイドして、有軌道台車が傾くの
を防止する。なお図4,図5では有軌道台車62の走行
を示したが、リニア搬送台車が走行する場合も、2次導
体70を利用する他は全く同様である。さらに合流時
も、分岐時と同様にガイドローラ78,79を用いて、
走行面73,74をカットした区間で台車が傾くのを防
止する。
【0021】図1に戻り、実施例の動作を示す。物品搬
送の内容は、工程間の搬送と工程内の搬送の2種類であ
る。工程間の搬送では、工程の出口側のストッカーから
次の工程の入口側のストッカーまで物品を搬送すればよ
く、物品を移載するステーションの数が限られているの
で、移載装置を備えないリニア搬送台車が適している。
工程内搬送では、工程の入口のストッカーから物品を受
け取り、工程内の複数の処理装置のそれぞれのステーシ
ョンに順次物品を搬送する必要があるので、移載装置を
備えた有軌道台車が適している。実施例では移載装置付
きの有軌道台車がリニア搬送台車の走行ループ2,3等
を走行できるようにしているので、例えば走行ループ2
3に配置されている処理装置のステーションから近接し
た走行ループ22に配置されている処理装置のステーシ
ョンへ工程間で物品を搬送する場合、有軌道台車で物品
を直送できる。これに対して走行ループ2,3を有軌道
台車が走行できない従来例では、走行ループ23から出
口側のストッカーに物品を移載し、このストッカーから
リニア搬送台車に物品を移載し、リニア搬送台車から走
行ループ22の入口側のストッカーに物品を移載し、走
行ループ22の入口側のストッカーから有軌道台車に物
品を移載することが必要になる。このため途中で合計4
回の移載が必要で、非効率である。これに対して実施例
では、有軌道台車がリニア搬送台車用の走行ループ2,
3等を走行できるので、工程間搬送用の走行レールを走
行する距離が短い場合、工程間でも直接工程内搬送用の
有軌道台車で物品を搬送でき、搬送時間を短縮できる。
【0022】これ以外に、特定の物品を特急品扱いで至
急他の工程に搬送する必要が生じることがある。このよ
うな場合、実施例では有軌道台車とリニア搬送台車との
間の積み替えを行う必要がないので、短時間で特急品を
搬送できる。またリニア搬送台車と有軌道台車との物品
の受け渡しの中間のストッカー34の能力が限られてい
る場合、有軌道台車で直接工程間搬送を行えば、ストッ
カー34を経由する必要がない。このことは、ストッカ
ー34に余分の収容能力がない場合や、ステーションに
異常が生じている場合等に有効である。
【0023】走行ループ20〜25を走行ループ2,3
に接続し、ショートカット4〜7や連絡路8〜11等を
設けたことに伴い、分岐・合流部30を多数設ける必要
がある。これらの分岐・合流部30を通過する台車の行
き先に応じて制御すると、多数の台車の位置や行き先を
常時正確に監視する必要が生じ、また分岐・合流部30
の数が多いので、設備的な負担も大きい。これに対して
実施例では、図4のように有軌道台車62等の側で、分
岐方向を制御する機構を設けたので、多数の分岐・合流
部30を設けても、設備的にも制御的にも負担が小さ
い。
【0024】ショートカット4〜7を設けたので、走行
ループ2,3内の搬送距離を短縮できると共に、走行ル
ープ20〜25と走行ループ20〜25との走行距離も
短縮できる。例えば走行ループ22から走行ループ25
へ工程間搬送で物品を搬送する場合、ショートカット5
を経由して走行ループ25へ入ることができる。さらに
長距離搬送用の走行ループ2,3を連絡路8〜11で接
続したので、広い範囲で物品を直送できる。また引き込
み線12〜15を設けたので、大型のストッカー32と
の間の物品の移載や、追い越し走行が容易になる。
【0025】実施例では工程内搬送用の搬送システム
と、工程間搬送用の搬送システムとを融合させ、効率的
に物品を搬送できる。また実施例ではクリーンルームへ
の応用を示したが、これに限らず他の組立工場や処理工
場等に応用しても良い。実施例では工程内搬送用の搬送
台車を工程間搬送用の搬送ルートを走行できるようにし
たので、特急品等を工程間搬送用の搬送ルートを経由し
て直送できる。また実施例ではリニア搬送台車も有軌道
台車も懸垂走行型の台車としたので、搬送システムが占
めるデッドスペースを小さくできる。そしてレールの底
部上面を走行面として台車の自重を支え、レール内側の
側面をガイド面として台車の姿勢を保ち、レール内側上
部に設けた2次導体でリニア搬送台車を走行させると共
に、その両側面のガイド面で分岐時に台車の姿勢を保
ち、分岐方向を制御する。また実施例では工程内搬送と
工程間搬送とを融合させたので、これらのバッファとな
るストッカーの能力が小さくても良い。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施例の搬送システムのレイアウトを示す平
面図
【図2】 実施例でレールを走行中のリニア搬送台車を
示す正面図
【図3】 実施例でレールを走行中の有軌道台車を示す
正面図
【図4】 レールと有軌道台車とを示す正面図で、分岐
・合流部での出没ガイドローラの作用を示す。
【図5】 分岐・合流部でのレール底面を模式的に示す
【符号の説明】
2,3 走行ループ 4〜7 ショートカット 8〜11 連絡路 12〜15 引き込み線 20〜25 走行ループ 20’ 往復路 30 分岐・合流部 32,34 ストッカー 40 レール 42 取付具 44 2次導体部 50 リニア搬送台車 51 走行駆動部 52 リニアモータ 53,54 走行ローラ 56 物品支持板 57 保持具 60 物品 62 有軌道台車 63 走行駆動部 64 昇降部 66 チャック 68 挟持部 70 2次導体 71,72 ガイド面 73,74 走行面 76〜79 ガイドローラ 80 切り替えモータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI B65G 35/00 B65G 35/00 B (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B61B 13/00 B61B 1/00 B61B 13/12 B61J 1/00

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 長距離ループに沿って工程間搬送用の搬
    送台車を走行させ、前記長距離ループの周囲に工程内搬
    送用の短距離搬送路を複数設けて、工程内搬送用の搬送
    台車を走行させると共に、工程間搬送用の搬送台車及び
    工程内搬送用の搬送台車のいずれとの間でも物品を移載
    可能なストッカーを、少なくとも前記短距離搬送路毎に
    設けて、工程内搬送用の搬送台車からストッカー、工程
    間搬送用の搬送台車、他のストッカー、他の工程内搬送
    用の搬送台車の順に物品を搬送するようにしたシステム
    であって、 前記長距離ループに前記短距離搬送路を分岐・合流部を
    介して接続し、 前記工程間搬送用の搬送台車は移載装置を搭載しない搬
    送台車とし、 前記工程内搬送用の搬送台車は移載装置を搭載した搬送
    台車とし、 かつ前記工程内搬送用の搬送台車が、前記長距離ループ
    と前記短距離搬送路の双方を走行し得るように、前記長
    距離ループと短距離搬送路とを構成することにより、 工程内搬送用の搬送台車が、搬送元の工程の処理装置の
    ステーションから、短距離搬送路と前記長距離ループ及
    び、搬送先の工程の短距離搬送路を走行して、搬送先の
    工程の処理装置のステーションまで、物品を直送できる
    ようにしたことを特徴とする、搬送システム。
  2. 【請求項2】 前記工程間搬送用の搬送台車と、工程内
    搬送用の搬送台車の各々に、分岐・合流部での分岐方向
    を制御するための手段を設けたことを特徴とする、請求
    項1の搬送システム。
  3. 【請求項3】 前記直送を、少なくとも特急品の搬送に
    対して行うことを特徴とする、請求項1または2の搬送
    システム。
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