WO2024070146A1 - 搬送車システム - Google Patents

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WO2024070146A1
WO2024070146A1 PCT/JP2023/026290 JP2023026290W WO2024070146A1 WO 2024070146 A1 WO2024070146 A1 WO 2024070146A1 JP 2023026290 W JP2023026290 W JP 2023026290W WO 2024070146 A1 WO2024070146 A1 WO 2024070146A1
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WO
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transport vehicle
transport
station
vehicle
control unit
Prior art date
Application number
PCT/JP2023/026290
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English (en)
French (fr)
Inventor
健太郎 安並
浩平 定野
Original Assignee
村田機械株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a transport vehicle system.
  • a transport vehicle system e.g., Patent Document 1 in which a transport vehicle transporting a container such as a FOUP (Front Opening Unified Pod) or a reticle pod, in which objects such as semiconductor wafers or glass substrates are stored, travels along a track.
  • the transport vehicle system includes a plurality of transport vehicles that travel along a track whose travel direction is set to one direction. Each of the plurality of transport vehicles is configured to move based on a transport command assigned by a controller.
  • the transport command includes destination information related to a station where a loading request is made.
  • a transport command including the station as destination information is assigned to a transport vehicle that can arrive at the station earliest.
  • the second transport vehicle 105B After waiting as described above, the second transport vehicle 105B performs a transfer operation at the second station STb, which is the destination, as shown in state 5C of FIG. 5. Such a waiting time of the rear transport vehicle (second transport vehicle 105B) reduces the transport efficiency of the transport vehicle system.
  • the object of one aspect of the present invention is to provide a transport vehicle system that can improve the transport efficiency in the transport vehicle system by reducing the waiting time of the rear transport vehicle due to the loading and unloading operation of the front transport vehicle.
  • the transport vehicle system includes a plurality of transport vehicles that travel in one direction along a predetermined route and transport items, a plurality of stations that are provided along the route and serve as the source of a request to load an item, and a control unit that, each time a request to load an item is made, assigns a transport command with the station for which the loading request has been made as a destination to the transport vehicle that can arrive at the station for which the loading request has been made earliest.
  • the control unit executes a swapping determination to determine whether or not a second transport vehicle, which is a transport vehicle other than the first transport vehicle, is assigned a transport command with the second station, which is a station located downstream of the first station, as a destination, upstream of a first transport vehicle, which is one of the plurality of transport vehicles, assigned a transport command with the first station, which is one of the plurality of stations, as a destination, and, when it is determined that the second transport vehicle is present upstream of the first transport vehicle, executes a swapping control to swap the destinations of the transport commands assigned before the swapping determination between the first transport vehicle and the second transport vehicle.
  • a transport vehicle system with this configuration by switching the transport command, it is possible to reduce the time that would occur if the transport command was not switched, that is, the time that the second transport vehicle waits behind (upstream) the first station while the first transport vehicle is performing a transfer operation to receive an item from the first station. Furthermore, if there is another transport vehicle behind the rear transport vehicle, the number of times that the transport vehicle waits is reduced by one, thereby shortening the waiting time, and therefore the length of the waiting vehicle queue is also shortened, thereby further improving the transport efficiency of the entire transport vehicle system. For example, if there is a branch point upstream of the station, the waiting queue is shortened, reducing the possibility of a cart that is scheduled to branch off being caught in the queue. As a result, the transport efficiency of the transport vehicle system can be improved.
  • the control unit may determine whether or not there is a second transport vehicle that will wait upstream of the first transport vehicle until the first transport vehicle completes its work when the first transport vehicle executes a transport command with the first station as its destination.
  • the second transport vehicle can reliably eliminate waiting time during the transfer operation in which the first transport vehicle located in front receives an item from the station. Furthermore, the second transport vehicle executes the transport command with the first station as its destination without a significant delay from the originally scheduled time when the first transport vehicle was supposed to complete its work.
  • the control unit may make a swap determination by determining whether or not there is a second transport vehicle that can begin a transfer operation at the first station while the first transport vehicle is performing a transfer operation at the second station when the destinations of the transport commands assigned before the swap determination are swapped.
  • the first transport vehicle and the second transport vehicle can perform transfers to each station almost simultaneously. In this case, the transport efficiency of the system as a whole is improved.
  • the control unit when the control unit determines through the replacement determination that the second transport vehicle is present upstream of the first transport vehicle, the control unit may execute replacement control even if another transport vehicle is present between the first and second transport vehicles.
  • replacement control can be executed even if the second transport vehicle is not located immediately behind the first transport vehicle, so that the search range for transport vehicles to be replaced can be expanded, making it easier to find the transport vehicle to be replaced.
  • the control unit executes a swap determination when a first transport vehicle, to which a transport command with the first station as its destination, reaches a predetermined position upstream of the first station, and the predetermined position may be a deceleration start position when the first transport vehicle stops at the first station.
  • the first transport vehicle can be stopped at the first station as is.
  • the time for executing the determination control can be delayed until the very last time that the first transport vehicle can be stopped at the first station, it becomes easier to find the second transport vehicle.
  • the burden on the control unit can be reduced compared to a case in which the presence or absence of the second transport vehicle is constantly determined.
  • the waiting time of the rear transport vehicle due to the loading and unloading operation of the front transport vehicle can be reduced, thereby improving the transport efficiency in the transport vehicle system.
  • FIG. 1 is a configuration diagram showing the configuration of a guided vehicle system according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a functional block diagram showing the functional configuration of the guided vehicle system.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining replacement judgment and replacement control in the guided vehicle system.
  • FIG. 4 is a diagram for explaining replacement judgment and replacement control in the guided vehicle system.
  • FIG. 5 is a diagram for explaining a problem that occurs in a conventional guided vehicle system.
  • upstream and downstream refer to upstream and downstream in the travel direction (the direction of the arrow shown on the track 11 in FIG. 1: one direction) of a preset ceiling transport vehicle (transport vehicle) 5 (hereinafter simply referred to as "transport vehicle 5").
  • the transport vehicle system 1 is a system for transporting FOUPs using a transport vehicle 5 that can move along a track 11.
  • the transport vehicle 5 is an unmanned transport vehicle, such as a ceiling transport vehicle or a tracked trolley.
  • the transport vehicle system 1 is described as an example in which the transport vehicle 5 runs along a one-way track 11 installed on the ceiling or the like of a building such as a factory.
  • the transport vehicle system 1 mainly comprises a track 11, multiple stations ST, multiple transport vehicles 5, and a transport vehicle controller (control unit) 3.
  • the track 11 is a member on which the transport vehicles 5 travel, and is suspended from the ceiling.
  • Figure 1 shows an example of a portion of the layout of the track 11 in this embodiment.
  • the track 11 in this embodiment is set up so that the transport vehicles 5 travel in one direction, in the direction of the arrow shown in Figure 1.
  • the track 11 is provided with a branching point BP where the track 11 branches off, and a merging point CP where the track 11 merges.
  • Station ST is provided along track 11, facing track 11. In this embodiment, multiple stations ST are provided. Station ST is the part where FOUPs are handed over to and from transport vehicles 5. For example, examples of stations ST in a semiconductor processing factory include load ports that hand over FOUPs (items) between semiconductor processing equipment and transport vehicles 5, and buffers where transport vehicles 5 can temporarily store FOUPs. Station ST is the source of a FOUP loading request.
  • the transport vehicle controller 3 includes an input unit 31, a display unit 32, a communication unit 33, and a transport vehicle control unit 40.
  • the input unit 31 is, for example, a keyboard and a mouse, and is a unit where the user inputs various operations and various setting values. In this embodiment, information about a predetermined position P, which will be described in detail later, is input and set from the input unit 31.
  • the display unit 32 is, for example, a liquid crystal display, and is a unit that displays various setting screens and input screens for input by the input unit 31, etc.
  • the input unit 31 and the display unit 32 do not need to be provided integrally with the transport vehicle controller 3, and can be replaced by terminal devices that can communicate with each other.
  • the communication unit 33 is a part that communicates with other devices, etc., and for example, transmits transport commands to the transport vehicle 5 and receives information (position data) regarding the current position of the transport vehicle 5 via a wireless communication network.
  • the communication unit 33 also receives transport instructions including information regarding the destination station ST from a higher-level controller, for example, via a LAN (Local Area Network).
  • the higher-level controller transmits information regarding the station ST for which a transport request has been made to the transport vehicle controller 3.
  • the transport vehicle control unit 40 is a part that executes various control processes in the transport vehicle system 1, which will be described in detail later, and is composed of, for example, a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read Only Memory), and a RAM (Random Access Memory). As shown in FIG. 2, the transport vehicle control unit 40 can be configured as software in which, for example, a program stored in the ROM is loaded onto the RAM and executed by the CPU. The transport vehicle control unit 40 may also be configured as hardware using electronic circuits, etc.
  • a CPU Central Processing Unit
  • ROM Read Only Memory
  • RAM Random Access Memory
  • the transport vehicle control unit 40 assigns a transport command to the transport vehicle 5 based on information on the station ST for which a loading request has been made, for example, sent from a higher-level controller (not shown). More specifically, each time a request to load a FOUP occurs, the transport vehicle control unit 40 assigns a transport command with the station ST for which a loading request has been made as its destination to the transport vehicle 5 that can arrive at the station ST for which a loading request has been made the soonest and that has not been assigned any other transport command (including transport commands other than loading requests). In addition, the transport vehicle controller 3 grasps the position of the transport vehicle 5 based on position information (described in detail later) sent periodically or continuously from each transport vehicle 5. When simply referred to as a "transport command” below, unless otherwise specified, it refers to a transport command with the station ST for which a loading request has been made as its destination.
  • the transport vehicle control unit 40 executes replacement judgment and replacement control as shown in state 3A in FIG. 3.
  • a first transport vehicle 5A which is one of the multiple transport vehicles 5 and is assigned a transport command with the first station STa, which is one of the multiple stations ST, as a destination
  • the replacement judgment is a judgment as to whether a second transport vehicle 5B, which is another transport vehicle 5 from the first transport vehicle 5A and is assigned a transport command with the second station STb, which is a station ST located downstream of the first station STa, exists upstream of the first transport vehicle 5A.
  • the "a" in the transport vehicle 5 shown in FIG. 3 to FIG. 5 means that a transport command with the first station STa as a destination is assigned
  • the "b" in the transport vehicle 5 means that a transport command with the second station STb as a destination is assigned.
  • the predetermined position P is a position that is a distance D away from the first station STa on the upstream side. More specifically, the predetermined position P is the position at which the first transport vehicle 5A starts decelerating when stopping at the first station STa. In other words, the first transport vehicle 5A can stop at the first station STa if it starts decelerating from the predetermined position P.
  • the swap control is a control in which, when it is determined that the second transport vehicle 5B exists upstream of the first transport vehicle 5A, the destinations of the transport commands assigned before the swap determination are swapped between the first transport vehicle 5A and the second transport vehicle 5B. For example, as shown in state 3A in FIG. 3, when a transport command with the first station STa as the destination is assigned to the first transport vehicle 5A and a transport command with the second station STb as the destination is assigned to the second transport vehicle 5B, if swap control is executed, as shown in state 3B in FIG. 3, the transport command with the second station STb as the destination is reassigned to the first transport vehicle 5A, and the transport command with the first station STa as the destination is reassigned to the second transport vehicle 5B.
  • the replacement judgment by the transport vehicle control unit 40 judges whether or not there is a second transport vehicle 5B that can reach the first station STa by the time the first transport vehicle 5A completes a transport command with the first station STa as its destination in state 3A shown in FIG. 3. In other words, the replacement judgment judges whether or not there is a second transport vehicle 5B that will wait upstream of the first transport vehicle 5A until the first transport vehicle 5A completes its work when the first transport vehicle 5A executes a transport command with the first station STa as its destination.
  • the transport vehicle control unit 40 judges that a second transport vehicle 5B as described above exists, it executes the above-mentioned replacement control, and when it judges that the second transport vehicle 5B does not exist, it does not execute the above-mentioned replacement control.
  • the replacement judgment by the transport vehicle control unit 40 may determine whether or not there is a second transport vehicle 5B that can start a transfer operation at the first station STa while the first transport vehicle 5A is performing a transfer operation at the second station STb when the destinations of the transport commands assigned before the replacement judgment are swapped.
  • part of the time during which the first transport vehicle 5A is performing the transfer operation at the second station STb can be overlapped with part of the time during which the second transport vehicle 5B is performing the transfer operation at the second station STb.
  • the transport vehicle control unit 40 determines that the second transport vehicle 5B is present upstream of the first transport vehicle 5A through the above-mentioned replacement determination, it executes replacement control even if there are other transport vehicles 5 (two in this embodiment) between the first transport vehicle 5A and the second transport vehicle 5B, as in state 3A shown in FIG. 3.
  • the other transport vehicles 5 are, for example, transport vehicles to which no transport command is assigned, transport vehicles to which transport commands are assigned to stations other than the station (second station STb) that is the subject of the replacement determination, transport vehicles not holding a FOUP, etc.
  • the transport vehicle 5 is configured to be able to transfer FOUPs.
  • the transport vehicle 5 is equipped with a position acquisition unit 51 and a travel control unit 53, as shown in FIG. 2.
  • the position acquisition unit 51 is a part that acquires position information of the vehicle on the track 11.
  • the position acquisition unit 51 may be composed of, for example, a reading unit that reads a barcode or the like that is affixed to the track 11 and displays position information, and an encoder.
  • the position acquisition unit 51 transmits the point information obtained by the reading unit and the distance traveled since passing the point obtained from the encoder as position information to the transport vehicle controller 3.
  • the information acquired by the position acquisition unit 51 is transmitted to the transport vehicle controller 3 in response to periodic or continuous inquiries from the transport vehicle controller 3.
  • the travel control unit 53 is a part that controls the travel of the transport vehicle 5, and is, for example, an electronic control unit consisting of a CPU, ROM, RAM, etc.
  • the travel control unit 53 controls the travel of the transport vehicle 5 based on a transport command sent from the transport vehicle controller 3.
  • the transport command sent from a higher-level controller (not shown) contains information about the destination station ST with a loading request.
  • the travel control unit 53 controls each mechanism to move to the destination station ST with a loading request included in the transport command, and to receive the FOUP.
  • the transport command sent from the transport vehicle controller 3 may include information regarding the station ST to which the FOUP is to be transported.
  • the travel control unit 53 controls each mechanism to move to the station ST to which the FOUP is to be transported.
  • the transport vehicle controller 3 executes the above-mentioned swapping judgment when the first transport vehicle 5A, to which a transport command with the first station STa, which has a loading request, is assigned as a destination, reaches the above-mentioned predetermined position P upstream of the first station STa, as shown in state 3A of FIG. 3.
  • the transport vehicle controller 3 when the transport vehicle controller 3 judges that the second transport vehicle 5B, to which a transport command with the second station STb as a destination, is present upstream of the first transport vehicle 5A, to which a transport command with the first station STa as a destination is assigned, the transport vehicle controller 3 swaps the destinations of the transport commands assigned before the swapping judgment between the first transport vehicle 5A and the second transport vehicle 5B, as shown in state 3B of FIG. 3. That is, the transport vehicle controller 3 reassigns the transport command with the second station STb as a destination to the first transport vehicle 5A, and reassigns the transport command with the first station STa as a destination to the second transport vehicle 5B.
  • the first transport vehicle 5A which has been reassigned a transport command with the second station STb as its destination, passes through the first station STa and stops at the second station STb, as shown in states 4A and 4B in FIG. 4.
  • the first transport vehicle 5A performs a transfer operation to receive a FOUP from the second station STb.
  • the second transport vehicle 5B which has been reassigned a transport command with the first station STa as its destination, stops at the first station STa.
  • the second transport vehicle 5B performs a transfer operation to receive a FOUP from the first station STa.
  • the transport vehicle controller 3 determines that there is no second transport vehicle 5B, which is assigned a transport command with the second station STb as its destination, upstream of the first transport vehicle 5A, which is assigned a transport command with the first station STa as its destination, the first transport vehicle 5A stops at the first station STa based on the transport command and performs a transfer operation to receive the FOUP from the first station STa.
  • the transport vehicle system 1 of the above embodiment by switching transport commands between the first transport vehicle 5A and the second transport vehicle 5B, it is possible to reduce the waiting time of the second transport vehicle 5B that occurs when the above-mentioned replacement control is not executed (i.e., the time that the second transport vehicle 5B waits behind the first station STa while the first transport vehicle 5A executes the transfer operation to receive a FOUP from the first station STa).
  • the number of times that the transport vehicle 5 waits is reduced by one, further improving the transport efficiency of the entire transport vehicle system 1. As a result, the transport efficiency of the transport vehicle system 1 can be improved.
  • the transport vehicle control unit 40 performs a replacement determination by determining whether or not there is a second transport vehicle 5B that will wait upstream of the first transport vehicle 5A until the work of the first transport vehicle 5A is completed when the first transport vehicle 5A executes a transport command with the first station STa as its destination. This makes it possible to eliminate the waiting time during the transfer operation when the first transport vehicle 5A, which is located in front of the second transport vehicle 5B, receives a FOUP from station ST.
  • the transport vehicle control unit 40 determines through the replacement determination that the second transport vehicle 5B is located upstream of the first transport vehicle 5A, the transport vehicle control unit 40 executes replacement control even if there is another transport vehicle 5 between the first transport vehicle 5A and the second transport vehicle 5B. This makes it possible to execute replacement control even if the second transport vehicle 5B is not located immediately behind the first transport vehicle 5A, so that the search range for the transport vehicle 5 to be replaced can be expanded, making it easier to find the transport vehicle 5 to be replaced.
  • the predetermined position P is set to be the deceleration start position when the first transport vehicle 5A stops at the first station STa.
  • the first transport vehicle 5A can be stopped at the first station STa as is.
  • the time for executing the judgment control can be delayed until the very last time the first transport vehicle 5A can be stopped at the first station STa, it becomes easier to find the second transport vehicle 5B.
  • the processing burden on the transport vehicle control unit 40 can be reduced compared to when constantly judging the presence or absence of the second transport vehicle 5B.
  • the transport vehicle control unit 40 searches all tracks 11 upstream of the junction point CP to determine whether there is a transport vehicle 5 that can become the second transport vehicle 5B.
  • the transport vehicle control unit 40 performs the replacement determination when the first transport vehicle 5A reaches the predetermined position P.
  • the replacement determination may be performed periodically, for example, every T seconds.
  • the transport vehicle control unit 40 performs a replacement determination to determine whether or not the second transport vehicle 5B is present when the transport vehicle 5 that will become the first transport vehicle 5A reaches the predetermined position P within T seconds.
  • the predetermined position P is set only at the first station STa, which is the most upstream station in the row of stations ST, but this is not limited to the above.
  • the predetermined position P of the second station STb is also set at the second station STb.
  • a FOUP has been used as an example of an object, but the object may be a container such as a reticle pod for storing glass substrates, a general part, etc.
  • the ceiling transport vehicle 5 has been described as an example of a transport vehicle, but other examples of transport vehicles include unmanned transport vehicles that run on a track installed on the ground or a platform.
  • a plurality of transport vehicles that travel in one direction along a predetermined route and transport articles; a plurality of stations along the route from which the items may be requested to be loaded; a control unit that, each time a loading request for the article is made, assigns a transport command to the transport vehicle that can arrive at the station for which the loading request is made earliest, the transport vehicle having the loading request as a destination,
  • the control unit is execute a replacement determination to determine whether or not a second transporting vehicle, which is a transporting vehicle other than the first transporting vehicle, is assigned a transport command to a first station, which is one of the plurality of stations, and is assigned a transport command to a second station, which is the station located downstream of the first station, and is a transporting vehicle that is a transporting vehicle that is a destination, is present upstream of a first transporting vehicle, which is one of the plurality of transporting vehicles, and is assigned a transport command to a second station
  • the control unit performs the replacement control when it determines through the replacement determination that the second transport vehicle is located upstream of the first transport vehicle, even if another transport vehicle is located between the first transport vehicle and the second transport vehicle.
  • the control unit executes the replacement determination when the first transport vehicle, to which a transport command having the first station as a destination is assigned, reaches a predetermined position upstream of the first station;
  • the transport vehicle system according to any one of [1] to [4], wherein the specified position is a deceleration start position when the first transport vehicle stops at the first station.
  • 1 Transport vehicle system, 3...Transport vehicle controller (control unit), 5...Transport vehicle, 5A...First transport vehicle, 5B...Second transport vehicle, 11...Trajectory, 40...Transport vehicle control unit, P...Predetermined position, ST...Station, STa...First station, STb...Second station.

Landscapes

  • Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)

Abstract

搬送車システム(1)は、複数の搬送車(5)と、複数のステーション(ST)と、制御部(40)と、を備える。制御部(40)は、第一ステーション(STa)を移動先とする搬送指令が割り付けられた第一搬送車(5A)よりも上流側に、第一ステーション(STa)の下流側に配置されている第二ステーション(STb)を移動先とする搬送指令が割り付けられた第二搬送車(5B)が存在するか否かを判定する入替判定を実行し、第一搬送車(5A)よりも上流側に第二搬送車(5B)が存在すると判定すると、第一搬送車(5A)と第二搬送車(5B)との間で、入替判定前に割り付けられていた搬送指令の移動先を互いに入れ替える入替制御を実行する。

Description

搬送車システム
 本発明は、搬送車システムに関する。
 半導体ウエハ又はガラス基板等の被格納物が格納されたFOUP(Front Opening Unified Pod)又はレチクルポッド等の容器を搬送する搬送車が軌道に沿って走行する搬送車システム(例えば特許文献1)が知られている。搬送車システムは、一方向に走行方向が定められた軌道を走行する複数の搬送車を含んで構成されている。そして、複数の搬送車のそれぞれは、コントローラによって割り付けられる搬送指令に基づいて移動するように構成されている。搬送指令は、荷積み要求のあるステーションに関する移動先情報を含んでいる。このような搬送車システムでは、一のステーションにおいて搬送要求が生じる度に、当該一のステーションを移動先情報として含む搬送指令が、当該一のステーションに最も早くに到着できる搬送車に割り付けられることが一般的に行われている。
国際公開第WO2017/029873号
 しかしながら、上記のような一般的な制御において、図5の状態5Aに示されるように、軌道111を走行する第一搬送車105Aに第一ステーションSTaを移動先とする搬送指令が割り付けられ、第二搬送車105Bに第一ステーションSTaの下流側に配置されている第二ステーションSTbを移動先とする搬送指令が割り付けられ、かつ、第一搬送車105Aが第二搬送車105Bの上流側を走行することになった場合、下記の問題が生じることがある。すなわち、図5の状態5Bに示されるように、第一搬送車105Aが第一ステーションSTaから物品を受け取る移載動作を実行する間、第二搬送車105Bは、第一搬送車105Aの後方(上流側)にて、第一搬送車105Aの移載動作が完了するまで待機しなければならない。第二搬送車105Bは、上記のような待機の後、図5の状態5Cに示されるように、移動先となる第二ステーションSTbにて移載動作を実行する。このような後方搬送車(第二搬送車105B)の待機時間は、搬送車システムの搬送効率を低下させる。
 そこで、本発明の一側面の目的は、前方搬送車の移載動作による後方搬送車の待ち時間を低減することにより、搬送車システムにおける搬送効率を向上させることができる、搬送車システムを提供することにある。
 本発明の一側面に係る搬送車システムは、予め定められた経路に沿って一方向に走行し、物品を搬送する複数の搬送車と、経路沿いに設けられ、物品の荷積み要求元となる複数のステーションと、物品の荷積み要求が生じる都度、荷積み要求があったステーションに最も早く到着することが可能な搬送車に対して、荷積み要求があったステーションを移動先とする搬送指令を割り付ける制御部と、を備え、制御部は、複数のステーションの一つである第一ステーションを移動先とする搬送指令が割り付けられた、複数の搬送車の一つである第一搬送車よりも上流側に、第一ステーションの下流側に配置されているステーションである第二ステーションを移動先とする搬送指令が割り付けられた、第一搬送車とは別の搬送車である第二搬送車が存在するか否かを判定する入替判定を実行し、第一搬送車よりも上流側に第二搬送車が存在すると判定すると、第一搬送車と第二搬送車との間で、入替判定前に割り付けられていた搬送指令の移動先を互いに入れ替える入替制御を実行する。
 この構成の搬送車システムでは、搬送指令を入れ替えることによって、搬送指令を入れ替えない場合に生じる時間、すなわち、第一搬送車が第一ステーションから物品を受け取る移載動作を実行している間に第二搬送車が第一ステーションの後方(上流側)にて待機する時間を低減させることができる。また、後方搬送車の後方に別の搬送車が存在する場合には、当該搬送車の待ち回数が一回減ることで待機時間が短くなり、それによって待機する車列の長さも短くなるので搬送車システム全体の搬送効率がより向上する。例えば、当該ステーションの上流に分岐点がある場合、待機する車列が短くなることで分岐予定の台車を車列に巻き込む可能性が減る。この結果、搬送車システムにおける搬送効率を向上させることができる。
 本発明の一側面に係る搬送車システムでは、制御部による入替判定は、第一搬送車が第一ステーションを移動先とする搬送指令を実行した場合に、第一搬送車の上流で第一搬送車の作業が完了するまで待機することになる第二搬送車が存在するか否かを判定してもよい。この構成では、第二搬送車は、前方に位置する第一搬送車がステーションから物品を受け取る移載動作時の待ち時間を確実になくすことができる。更に、第一搬送車は、実行完了するはずだった当初の予定時刻から大きく遅れることなく、第二搬送車は、第一ステーションを移動先とする搬送指令を実行する。
 本発明の一側面に係る搬送車システムでは、制御部による入替判定は、入替判定前に割り付けられていた搬送指令の移動先を互いに入れ替えた場合に、第一搬送車が第二ステーションにおいて移載動作をしている間に、第一ステーションにおいて移載動作を開始できる第二搬送車が存在するか否かを判定してもよい。この構成では、第1搬送車と第二搬送車が各ステーションへほぼ同時に移載を行うことができる。この場合、システム全体としての搬送効率を向上する。
 本発明の一側面に係る搬送車システムでは、制御部は、入替判定によって第一搬送車よりも上流側に第二搬送車が存在すると判定したときに、第一搬送車と第二搬送車との間に他の搬送車が存在する場合であっても入替制御を実行してもよい。この構成では、第二搬送車が第一搬送車のすぐ後方に位置しない場合であっても入替制御を実行可能となるため、入替対象となる搬送車の検索範囲を広げることができ、入替対象となる搬送車を見つけ易くなる。
 本発明の一側面に係る搬送車システムでは、制御部は、第一ステーションを移動先とする搬送指令が割り付けられた第一搬送車が、第一ステーションの上流側における所定位置に到達したときに入替判定を実行し、所定位置は、第一搬送車が第一ステーションへ停止するときの減速開始位置であってもよい。この構成では、第一搬送車の後方に入替対象となる第二搬送車が存在しない場合、第一搬送車をそのまま第一ステーションに停止させることができる。また、第一搬送車が第一ステーションに停止させることができるぎりぎりの時間まで判定制御を実行する時間を遅らせることができるので、第二搬送車を見つけ易くなる。更に、常時第二搬送車の存在の有無を判定する場合に比べ、制御部の負担を軽減することができる。
 本発明の一側面によれば、前方搬送車の移載動作による後方搬送車の待ち時間を低減することにより、搬送車システムにおける搬送効率を向上させることができる。
図1は、一実施形態に係る搬送車システムの構成を示す構成図である。 図2は、搬送車システムの機能構成を示す機能ブロック図である。 図3は、搬送車システムにおける入替判定及び入替制御を説明するための図である。 図4は、搬送車システムにおける入替判定及び入替制御を説明するための図である。 図5は、従来の搬送車システムに生じる課題を説明するための図である。
 以下、図面を参照して一実施形態について説明する。図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。また、一実施形態を説明するときの上流及び下流は、予め設定された天井搬送車(搬送車)5(以下、単に「搬送車5」と称する。)の走行方向(図1に示す軌道11に示された矢印方向:一方向)における上流及び下流を意味する。
 搬送車システム1は、軌道11に沿って移動可能な搬送車5を用いて、FOUPを搬送するためのシステムである。搬送車5は、無人搬送車であり、例えば天井搬送車、有軌道台車等である。ここでは、工場等の建屋において、搬送車5が、建屋の天井等に敷設された一方通行の軌道11に沿って走行する搬送車システム1を例に挙げて説明する。図1に示されるように、搬送車システム1は、主に、軌道11と、複数のステーションSTと、複数台の搬送車5と、搬送車コントローラ(制御部)3と、を備えている。
 軌道11は、搬送車5を走行させる部材であり、天井から吊り下げられている。図1は、本実施形態における軌道11のレイアウトの一部の一例を示している。本実施形態の軌道11は、搬送車5が図1に示される矢印方向に一方通行するように設定されている。軌道11には、軌道11を分岐させる分岐点BP及び軌道11を合流させる合流点CPが設けられている。
 ステーションSTは、軌道11沿いに、軌道11に面するように設けられている。本実施形態では、ステーションSTは、複数設けられている。ステーションSTは、搬送車5との間でFOUPの受け渡しが行われる部分である。例えば半導体処理工場におけるステーションSTの例には、半導体処理装置と搬送車5との間でFOUP(物品)の受け渡しをするロードポート及び搬送車5がFOUPを仮置きできるバッファ等が含まれる。ステーションSTは、FOUPの荷積み要求元となる。
 搬送車コントローラ3は、図2に示されるように、入力部31と、表示部32と、通信部33と、搬送車制御部40と、を備えている。入力部31は、例えば、キーボード及びマウス等からなり、ユーザにより各種操作及び各種設定値が入力される部分である。本実施形態では、後段にて詳述する所定位置Pに関する情報が入力部31から入力されて設定される。表示部32は、例えば、液晶ディスプレイ等からなり、各種設定画面を表示したり、入力部31等により入力させる入力画面等を表示したりする部分である。入力部31及び表示部32は、搬送車コントローラ3と一体的に設けられる必要はなく、互いに通信可能な端末装置によって代替が可能である。
 通信部33は、他の装置等と通信を行う部分であり、例えば、無線通信ネットワークを介して、搬送指令を搬送車5へ送信したり、搬送車5の現在位置に関する情報(位置データ)を受信したりする。また、通信部33は、例えばLAN(Local Area Network)を介して、移動先となるステーションSTの情報を含む搬送指示を上位コントローラから受信したりもする。すなわち、上位コントローラは、搬送要求のあったステーションSTに関する情報を搬送車コントローラ3に送信する。
 搬送車制御部40は、後段にて詳述する搬送車システム1における各種制御処理を実行する部分であり、例えば、CPU(Central Processing Unit)、ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)等で構成される。図2に示されるように、搬送車制御部40は、例えばROMに格納されているプログラムがRAM上にロードされてCPUで実行されるソフトウェアとして構成することができる。なお、搬送車制御部40は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。
 搬送車制御部40は、例えば上位コントローラ(図示せず)から送信されてくる荷積み要求のあったステーションSTに関する情報に基づいて搬送車5に搬送指令を割り付ける。より詳細には、搬送車制御部40は、FOUPの荷積み要求が生じる都度、荷積み要求があったステーションSTに最も早く到着することが可能かつ他の搬送指令(荷積み要求以外の搬送指令も含む)が割り付けられていない搬送車5に対して、荷積み要求があったステーションSTを移動先とする搬送指令を割り付ける。また、搬送車コントローラ3は、各搬送車5から定期的又は連続的に送信されてくる位置情報(後段にて詳述)に基づいて搬送車5の位置を把握する。以下に単に「搬送指令」と示される場合は、特に言及がない限り、荷積み要求のあるステーションSTを移動先とする搬送指令のことをいう。
 搬送車制御部40は、図3に示される状態3Aに示されるように、入替判定と入替制御とを実行する。入替判定は、複数のステーションSTの一つである第一ステーションSTaを移動先とする搬送指令が割り付けられた、複数の搬送車5の一つである第一搬送車5Aが、第一ステーションSTaの上流側における所定位置Pに到達すると、第一ステーションSTaの下流側に配置されているステーションSTである第二ステーションSTbを移動先とする搬送指令が割り付けられた、第一搬送車5Aとは別の搬送車5である第二搬送車5Bが、第一搬送車5Aよりも上流側に存在するか否かの判定である。なお、図3~図5に示される搬送車5の中の「a」は、第一ステーションSTaを移動先とする搬送指令が割り付けられていることを意味し、搬送車5の中の「b」は、第二ステーションSTbを移動先とする搬送指令が割り付けられていることを意味する。
 ここで、所定位置Pとは、第一ステーションSTaから上流側に距離D離れた位置である。より詳細には、所定位置Pは、第一搬送車5Aが第一ステーションSTaへ停止するときの減速開始位置である。言い換えれば、第一搬送車5Aは、所定位置Pから減速を開始すれば第一ステーションSTaに停止することができる。
 入替制御は、第一搬送車5Aよりも上流側に第二搬送車5Bが存在すると判定すると、第一搬送車5Aと第二搬送車5Bとの間で、入替判定前に割り付けられていた搬送指令の移動先を互いに入れ替える制御である。例えば、図3に示される状態3Aに示されるように、第一搬送車5Aに第一ステーションSTaを移動先とする搬送指令が割り付けられ、第二搬送車5Bに第二ステーションSTbを移動先とする搬送指令が割り付けられていたときに入替制御を実行すると、図3に示される状態3Bに示されるように、第一搬送車5Aに第二ステーションSTbを移動先とする搬送指令を割り付け直し、第二搬送車5Bに第一ステーションSTaを移動先とする搬送指令を割り付け直す。
 搬送車制御部40による入替判定は、図3に示される状態3Aにおいて、第一搬送車5Aが第一ステーションSTaを移動先とする搬送指令を完了するまでに第一ステーションSTaに到達可能な第二搬送車5Bが存在するか否かを判定する。言い換えれば、上記入替判定は、第一搬送車5Aが第一ステーションSTaを移動先とする搬送指令を実行した場合に、第一搬送車5Aの上流で第一搬送車5Aの作業が完了するまで待機することになる第二搬送車5Bが存在するか否かを判定する。搬送車制御部40は、上述したような第二搬送車5Bが存在すると判定した場合に、上述の入替制御を実行し、第二搬送車5Bが存在しないと判定した場合に、上述の入替制御を実行しない。
 また、搬送車制御部40による入替判定は、入替判定前に割り付けられていた搬送指令の移動先を互いに入れ替えた場合に、第一搬送車5Aが第二ステーションSTbにおいて移載動作をしている間に、第一ステーションSTaにおいて移載動作を開始できる第二搬送車5Bが存在するか否かを判定してもよい。
 このような判定において、上述の入替制御を実行した場合には、図4に示される状態4Bに示されるように、第一搬送車5Aが第二ステーションSTbにおいて移載動作をしている時間の一部に、第二搬送車5Bが第二ステーションSTbにおいて移載動作をしている時間の一部を重ね合わせることができる。これにより、第二搬送車5Bの前方に位置する第一搬送車5AがステーションSTからFOUPを受け取る移載時動作時の待ち時間をなくすことができる。なお、第一搬送車5Aが第二ステーションSTbにおいて移載動作をしている時間と、第二搬送車5Bが第二ステーションSTbにおいて移載動作をしている時間とが完全に一致してもよい。
 搬送車制御部40は、上述の入替判定によって第一搬送車5Aよりも上流側に第二搬送車5Bが存在すると判定したときに、例えば、図3に示される状態3Aのように、第一搬送車5Aと第二搬送車5Bとの間に他の搬送車5が存在する(本実施形態では2台存在する)場合であっても入替制御を実行する。ここでいう他の搬送車5とは、例えば搬送指令が割り付けられていない搬送車、入替判定対象となるステーション(第二ステーションSTb)以外への搬送指令が割り付けられた搬送車、FOUPを保持していない搬送車等である。
 搬送車5は、FOUPを移載可能に構成されている。搬送車5は、軌道11に沿って走行する機構及びFOUPを移載する公知の機構の他、図2に示されるように、位置取得部51と、走行制御部53と、を備えている。
 位置取得部51は、軌道11上における自車両の位置情報を取得する部分である。位置取得部51は、例えば、軌道11に貼付されると共に位置情報が表示されたバーコード等を読み取る読取部及びエンコーダ等から構成されてもよい。位置取得部51は、読取部によって得られるポイント情報と、エンコーダから得られる当該ポイントを通過してからの走行距離と、を搬送車コントローラ3へ位置情報として送信する。位置取得部51によって取得される情報は、搬送車コントローラ3からの定期的又は連続的な問い合わせに対して、搬送車コントローラ3に送信される。
 走行制御部53は、搬送車5の走行を制御する部分であり、例えば、CPU、ROM及びRAM等からなる電子制御ユニットである。走行制御部53は、搬送車コントローラ3から送信されてくる搬送指令に基づいて、搬送車5の走行を制御する。上位コントローラ(図示せず)から送信されてくる搬送指令には、移動先となる荷積み要求のあるステーションSTに関する情報が含まれている。走行制御部53は、上記搬送指令に含まれる移動先となる荷積み要求のあるステーションSTに移動し、FOUPを受け取るように各機構を制御する。
 搬送車コントローラ3から送信されてくる搬送指令には、FOUPの搬送先となるステーションSTに関する情報が含まれていてもよい。走行制御部53は、搬送先となるステーションSTに移動するように各機構を制御する。
 次に、上述した入替判定及び入替制御を実行した場合の搬送車システム1の動作について説明する。
 搬送車コントローラ3(搬送車制御部40)は、図3の状態3Aに示されるように、荷積み要求のある第一ステーションSTaを移動先とする搬送指令が割り付けられた第一搬送車5Aが、第一ステーションSTaの上流側における上記所定位置Pに到達したときに上記入替判定を実行する。ここで、搬送車コントローラ3が、第一ステーションSTaを移動先とする搬送指令が割付けられた第一搬送車5Aよりも上流側に第二ステーションSTbを移動先とする搬送指令が割り付けられた第二搬送車5Bが存在すると判定すると、図3の状態3Bに示されるように、第一搬送車5Aと第二搬送車5Bとの間で、入替判定前に割り付けられていた搬送指令の移動先を互いに入れ替える。すなわち、搬送車コントローラ3は、第一搬送車5Aに第二ステーションSTbを移動先とする搬送指令を割り付け直し、第二搬送車5Bに第一ステーションSTaを移動先とする搬送指令を割り付け直す。
 第二ステーションSTbを移動先とする搬送指令を割り付け直された第一搬送車5Aは、図4の状態4A及び状態4Bに示されるように、第一ステーションSTaを通過し、第二ステーションSTbに停止する。第一搬送車5Aは、第二ステーションSTbからFOUPを受け取る移載動作を実行する。第一ステーションSTaを移動先とする搬送指令を割り付け直された第二搬送車5Bは、第一ステーションSTaに停止する。第二搬送車5Bは、第一ステーションSTaからFOUPを受け取る移載動作を実行する。
 なお、図3の状態3Aのときに、搬送車コントローラ3が、第一ステーションSTaを移動先とする搬送指令が割付けられた第一搬送車5Aよりも上流側に第二ステーションSTbを移動先とする搬送指令が割り付けられた第二搬送車5Bが存在しないと判定した場合には、第一搬送車5Aは、搬送指令に基づいて第一ステーションSTaに停止し、第一ステーションSTaからFOUPを受け取る移載動作を実行する。
 上記実施形態の搬送車システム1における作用効果について説明する。上記実施形態の搬送車システム1では、第一搬送車5Aと第二搬送車5Bとの間で搬送指令を入れ替えることによって、上記の入替制御を実行しなかった場合に発生する第二搬送車5Bの待機時間(すなわち、第一搬送車5Aが第一ステーションSTaからFOUPを受け取る移載動作を実行する間に、第二搬送車5Bが第一ステーションSTaの後方にて待機する時間)を低減させることができる。また、第二搬送車5Bの後方に更に別の搬送車5が存在する場合には、当該搬送車5の待ち回数が一回減るので、搬送車システム1全体の搬送効率がより向上する。この結果、搬送車システム1における搬送効率を向上させることができる。
 上記実施形態の搬送車システム1では、搬送車制御部40による入替判定は、第一搬送車5Aが第一ステーションSTaを移動先とする搬送指令を実行した場合に第一搬送車5Aの上流で第一搬送車5Aの作業が完了するまで待機することになる第二搬送車5Bが存在するか否かを判定している。これにより、第二搬送車5Bの前方に位置する第一搬送車5AがステーションSTからFOUPを受け取る移載時動作時の待ち時間をなくすことができる。
 上記実施形態の搬送車システム1では、搬送車制御部40は、入替判定によって第二搬送車5Bが第一搬送車5Aよりも上流側に存在すると判定したときに、第一搬送車5Aと第二搬送車5Bとの間に他の搬送車5が存在する場合であっても入替制御を実行している。これにより、第二搬送車5Bが第一搬送車5Aのすぐ後方に位置しない場合であっても入替制御を実行可能となるため、入替対象となる搬送車5の検索範囲を広げることができ、入替対象となる搬送車5を見つけ易くなる。
 上記実施形態の搬送車システム1では、所定位置Pは、第一搬送車5Aが第一ステーションSTaへ停止するときの減速開始位置となるように設定されている。これにより、第一搬送車5Aの後方に入替対象となる第二搬送車5Bが存在しない場合、第一搬送車5Aをそのまま第一ステーションSTaに停止させることができる。また、第一搬送車5Aが第一ステーションSTaに停止させることができるぎりぎりの時間まで判定制御を実行する時間を遅らせることができるので、第二搬送車5Bを見つけ易くなる。更に、常時第二搬送車5Bの存在の有無を判定する場合に比べ、搬送車制御部40の処理負担を軽減することができる。
 以上、一実施形態について説明したが、本発明の一側面は、上記実施形態に限られない。発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
 上記実施形態では、第一搬送車5Aの後方に一例に配列されている例を挙げて説明したが、これに限定されない。例えば、搬送車制御部40は、第一搬送車5Aの上流側(後方)に合流点CPがある場合、合流点CPよりも上流側の全ての軌道11を検索して、第二搬送車5Bとなる搬送車5の有無を判定する。
 上記実施形態及び上記変形例を説明する図3及び図4では、第一ステーションSTaへ至る軌道11には分岐点BP等は存在していないが、その限りではない。所定位置Pの前後に合流点CPがあってもよいし、図示していない分岐点BPがあってもよい。
 上記実施形態及び上記変形例を説明する図3及び図4では、第一搬送車5Aと第二搬送車5Bとの間に搬送車5が二台存在する例を挙げて説明したがこれに限定されない。例えば、第一搬送車5Aと第二搬送車5Bとの間には、一台の搬送車5が存在していてもよいし、搬送車5が存在していなくてもよい。
 上記実施形態及び上記変形例の搬送車制御部40は、第一搬送車5Aが所定位置Pに到達したタイミングで上記入替判定を実行する例を挙げて説明したが、例えばT秒ごとに定期的に入替判定を実行してもよい。この場合、搬送車制御部40は、第一搬送車5Aとなる搬送車5がT秒以内に所定位置Pに到達する場合に、第二搬送車5Bが存在するか否かを判定する入替判定を実行する。
 上記実施形態及び変形例では、所定位置PはステーションSTの並びの最上流である第一ステーションSTaにしか設定されていない例を挙げて説明したが、その限りではない。例えば、第二ステーションSTbよりも下流に他のステーションSTが存在し、第二ステーションSTbと当該他のステーションSTとの間で荷積み要求の入れ替えを行いたい場合、第二ステーションSTbにも第二ステーションSTbの所定位置Pが設定される。
 上記実施形態及び変形例では、物品としてFOUPを例に挙げて説明したが、ガラス基板を格納するレチクルポッド等のような容器、一般部品等であってもよい。
 上記実施形態及び変形例の搬送車システム1では、搬送車の一例として天井搬送車5を挙げて説明したが、搬送車のその他の例には、地上又は架台に配設された軌道を走行する無人搬送車等が含まれる。
 本発明の一側面の技術主題は以下のとおりに記載され得る。
[1]
 予め定められた経路に沿って一方向に走行し、物品を搬送する複数の搬送車と、
 前記経路沿いに設けられ、前記物品の荷積み要求元となる複数のステーションと、
 前記物品の荷積み要求が生じる都度、前記荷積み要求があった前記ステーションに最も早く到着することが可能な前記搬送車に対して、前記荷積み要求があった前記ステーションを移動先とする搬送指令を割り付ける制御部と、を備え、
 前記制御部は、
  前記複数のステーションの一つである第一ステーションを移動先とする搬送指令が割り付けられた、前記複数の搬送車の一つである第一搬送車よりも上流側に、前記第一ステーションの下流側に配置されている前記ステーションである第二ステーションを移動先とする搬送指令が割り付けられた、前記第一搬送車とは別の前記搬送車である第二搬送車が存在するか否かを判定する入替判定を実行し、
  前記第一搬送車よりも上流側に前記第二搬送車が存在すると判定すると、前記第一搬送車と前記第二搬送車との間で、前記入替判定前に割り付けられていた前記搬送指令の移動先を互いに入れ替える入替制御を実行する、搬送車システム。
[2]
 前記制御部による前記入替判定は、前記第一搬送車が前記第一ステーションを移動先とする搬送指令を実行した場合に、前記第一搬送車の上流で前記第一搬送車の作業が完了するまで待機することになる前記第二搬送車が存在するか否かを判定する、[1]に記載の搬送車システム。
[3]
 前記制御部による前記入替判定は、前記入替判定前に割り付けられていた前記搬送指令の移動先を互いに入れ替えた場合に、前記第一搬送車が前記第二ステーションにおいて移載動作をしている間に、前記第一ステーションにおいて移載動作を開始できる前記第二搬送車が存在するか否かを判定する、[1]又は[2]に記載の搬送車システム。
[4]
 前記制御部は、前記入替判定によって前記第二搬送車が前記第一搬送車よりも上流側に存在すると判定したときに、前記第一搬送車と前記第二搬送車との間に他の前記搬送車が存在する場合であっても前記入替制御を実行する、[1]~[3]の何れか一つに記載の搬送車システム。
[5]
 前記制御部は、前記第一ステーションを移動先とする搬送指令が割り付けられた前記第一搬送車が、前記第一ステーションの上流側における所定位置に到達したときに前記入替判定を実行し、
 前記所定位置は、前記第一搬送車が前記第一ステーションへ停止するときの減速開始位置である、[1]~[4]の何れか一つに記載の搬送車システム。
 1…搬送車システム、3…搬送車コントローラ(制御部)、5…搬送車、5A…第一搬送車、5B…第二搬送車、11…軌道、40…搬送車制御部、P…所定位置、ST…ステーション、STa…第一ステーション、STb…第二ステーション。

Claims (5)

  1.  予め定められた経路に沿って一方向に走行し、物品を搬送する複数の搬送車と、
     前記経路沿いに設けられ、前記物品の荷積み要求元となる複数のステーションと、
     前記物品の荷積み要求が生じる都度、前記荷積み要求があった前記ステーションに最も早く到着することが可能な前記搬送車に対して、前記荷積み要求があった前記ステーションを移動先とする搬送指令を割り付ける制御部と、を備え、
     前記制御部は、
      前記複数のステーションの一つである第一ステーションを移動先とする搬送指令が割り付けられた、前記複数の搬送車の一つである第一搬送車よりも上流側に、前記第一ステーションの下流側に配置されている前記ステーションである第二ステーションを移動先とする搬送指令が割り付けられた、前記第一搬送車とは別の前記搬送車である第二搬送車が存在するか否かを判定する入替判定を実行し、
      前記第一搬送車よりも上流側に前記第二搬送車が存在すると判定すると、前記第一搬送車と前記第二搬送車との間で、前記入替判定前に割り付けられていた前記搬送指令の移動先を互いに入れ替える入替制御を実行する、搬送車システム。
  2.  前記制御部による前記入替判定は、前記第一搬送車が前記第一ステーションを移動先とする搬送指令を実行した場合に、前記第一搬送車の上流で前記第一搬送車の作業が完了するまで待機することになる前記第二搬送車が存在するか否かを判定する、請求項1記載の搬送車システム。
  3.  前記制御部による前記入替判定は、前記入替判定前に割り付けられていた前記搬送指令の移動先を互いに入れ替えた場合に、前記第一搬送車が前記第二ステーションにおいて移載動作をしている間に、前記第一ステーションにおいて移載動作を開始できる前記第二搬送車が存在するか否かを判定する、請求項1記載の搬送車システム。
  4.  前記制御部は、前記入替判定によって前記第一搬送車よりも上流側に前記第二搬送車が存在すると判定したときに、前記第一搬送車と前記第二搬送車との間に他の前記搬送車が存在する場合であっても前記入替制御を実行する、請求項1~3の何れか一項記載の搬送車システム。
  5.  前記制御部は、前記第一ステーションを移動先とする搬送指令が割り付けられた前記第一搬送車が、前記第一ステーションの上流側における所定位置に到達したときに前記入替判定を実行し、
     前記所定位置は、前記第一搬送車が前記第一ステーションへ停止するときの減速開始位置である、請求項1~3の何れか一項記載の搬送車システム。
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