JPWO2017098813A1 - 搬送システム及び搬送方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1に示されるように、搬送システム1は、軌道10と、複数の搬送車20と、コントローラ50と、を備えている。軌道10は、複数の処理装置100を備える半導体製造工場の天井付近に敷設されている。搬送車20は、OHT(Overhead Hoist Transfer)であり、軌道10に吊り下げられた状態で軌道10に沿って一方向に走行する。搬送車20は、各処理装置100のロードポート101に対して、複数の半導体ウェハが収容されたFOUP(Front Opening Unified Pod)90を被搬送物として搬送する。コントローラ50は、各搬送車20と通信し、各搬送車20の動作を制御する。
搬送システム1では、以下に説明する待機制御が実施される。一例として、次のような状況において実施される待機制御について説明する。すなわち、図1に示されるように、区間10cに沿って配置された3台の特定の処理装置100A,100B,100Cのうち、特定の処理装置100Aのロードポート101にFOUP90が載置されている。したがって、このとき、特定の処理装置100Aは、そのロードポート101にFOUP90を搬送可能な状況にない。また、特定の処理装置100Aのロードポート101に載置されたFOUP90を取得するために、搬送車20Aが特定の処理装置100Aに向かって区間10cを走行中である。
搬送システム1では、以下に説明する第1離脱制御、第2離脱制御及び第3離脱制御が実施される。
以上説明したように、搬送システム1及び当該搬送システム1において実施される搬送方法では、各特定の処理装置100A,100B,100Cのロードポート101にFOUP90を搬送可能な状況にないときであっても、搬送車20は、FOUP90を荷つかみし、待機区間30に向かって走行を開始する。各特定の処理装置100A,100B,100Cのロードポート101にFOUP90を搬送可能な状況になると、待機区間30に向かって走行している搬送車20B、或いは、待機区間30に到着してFOUP90を保持した状態で待機している搬送車20Bは、改めて荷つかみ等の動作を行うことを必要とせず、直ちに特定の処理装置100A,100B,100Cのロードポート101にFOUP90を搬送することができる。よって、特定の処理装置100A,100B,100Cにおける稼働率の低下を抑制することができる。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、搬送車20は、軌道10に沿って一方向に走行する。しかし、搬送車20は、軌道10に沿って双方向に走行してもよい。
Claims (8)
- 軌道と、
前記軌道に沿って走行し、複数の処理装置のそれぞれのロードポートに対して被搬送物を搬送する複数の搬送車と、
複数の前記搬送車のそれぞれと通信し、複数の前記搬送車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備え、
前記軌道には、複数の前記処理装置のうちの特定の処理装置に対応して、前記搬送車を待機させる待機区間が設けられており、
前記コントローラは、前記特定の処理装置のロードポートに前記被搬送物を搬送する搬送要求が存在することを把握した場合には、前記搬送車に対して、前記待機区間に前記被搬送物を搬送する第1搬送指令を割り付け、
前記第1搬送指令を割り付けられた前記搬送車は、前記待機区間に到着した場合には、前記被搬送物を保持した状態で前記待機区間にて待機し、
前記コントローラは、前記搬送車に対して前記第1搬送指令を割り付けた後、前記特定の処理装置の前記ロードポートに前記被搬送物を搬送可能な状況にあることを把握した場合には、前記第1搬送指令を割り付けられた前記搬送車に対して、前記特定の処理装置の前記ロードポートに前記被搬送物を搬送する第2搬送指令を割り付ける、搬送システム。 - 前記搬送車は、前記軌道に沿って一方向に走行し、
前記待機区間は、前記特定の処理装置の前記ロードポートに対して前記被搬送物を移載する位置を含む第1走行区間に上流側から連続する第2走行区間に対して並列に接続されている、請求項1記載の搬送システム。 - 前記第1走行区間は、複数の前記特定の処理装置に対して1つ設けられている、請求項2記載の搬送システム。
- 前記コントローラは、待機区間離脱条件が満たされたことを把握した場合には、前記第1搬送指令を割り付けられた前記搬送車に対して、所定の搬送先に前記被搬送物を搬送する第3搬送指令を割り付ける、請求項1〜3のいずれか一項記載の搬送システム。
- 前記コントローラは、前記待機区間離脱条件として、前記第1搬送指令を割り付けられた前記搬送車が前記待機区間に到着してから所定時間以上経過したことを把握した場合には、当該搬送車に対して、前記第3搬送指令を割り付ける、請求項4記載の搬送システム。
- 前記コントローラは、前記待機区間離脱条件として、前記待機区間に所定数以上の複数の前記搬送車が待機していることを把握した場合には、複数の当該搬送車のうちの少なくとも1台に対して、前記第3搬送指令を割り付ける、請求項4記載の搬送システム。
- 前記搬送車は、前記軌道に沿って一方向に走行し、
前記コントローラは、
前記待機区間に複数の前記搬送車が待機している場合において、複数の当該搬送車のうち、最も下流側の前記搬送車を除くいずれかの前記搬送車に対して、前記待機区間から離脱する搬送指令を割り付けるときには、当該搬送車よりも下流側の他の前記搬送車に対して、前記待機区間から離脱して再び前記待機区間に前記被搬送物を搬送する搬送指令を割り付け、
前記待機区間離脱条件として、前記第1搬送指令を割り付けられた前記搬送車が、前記待機区間から所定回数以上離脱したことを把握したときには、当該搬送車に対して、前記第3搬送指令を割り付ける、請求項4記載の搬送システム。 - 軌道と、前記軌道に沿って走行し、複数の処理装置のそれぞれのロードポートに対して被搬送物を搬送する複数の搬送車と、複数の前記搬送車のそれぞれと通信し、複数の前記搬送車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備え、前記軌道には、複数の前記処理装置のうちの特定の処理装置に対応して、前記搬送車を待機させる待機区間が設けられた搬送システムにおいて実施される搬送方法であって、
前記コントローラが、前記特定の処理装置のロードポートに前記被搬送物を搬送する搬送要求が存在することを把握した場合には、前記搬送車に対して、前記待機区間に前記被搬送物を搬送する第1搬送指令を割り付ける第1ステップと、
前記第1搬送指令を割り付けられた前記搬送車が、前記待機区間に到着した場合には、前記被搬送物を保持した状態で前記待機区間にて待機する第2ステップと、
前記コントローラが、前記搬送車に対して前記第1搬送指令を割り付けた後、前記特定の処理装置の前記ロードポートに前記被搬送物を搬送可能な状況にあることを把握した場合には、前記第1搬送指令を割り付けられた前記搬送車に対して、前記特定の処理装置の前記ロードポートに前記被搬送物を搬送する第2搬送指令を割り付ける第3ステップと、を含む、搬送方法。
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