JP2018186196A - 通信装置、バッファ装置、移載システム、及び、通信装置の制御方法 - Google Patents
通信装置、バッファ装置、移載システム、及び、通信装置の制御方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
本実施の形態において、容易に設置され得るバッファ装置を構成し得る通信装置などについて説明する。
本変形例では、複数の載置ポートを備えるバッファを実現する通信装置などについて説明する。
2A、2B 搬送システム
3A、3B 軌道
5、5A、5B、5C、5D 物品
10、10A 通信装置
12、12A 取得部
14、14A 通信部
16、16A 制御部
20、20A バッファ
22、22A、22B、22C、22D 載置ポート
24、24A、24B、24C、24D センサ
30A、30B 搬送台車
31A、31B 把持部
32A、32B 台車制御部
33A、33B 台車通信部
40A、40B 搬送制御装置
50 バッファ制御装置
Claims (9)
- 第一搬送システムの第一搬送台車および第二搬送システムの第二搬送台車それぞれとの間で被搬送物の移載が可能である載置ポートに前記被搬送物が載置されているか否かを検知するセンサから検知結果を取得する取得部と、
前記取得部が取得した前記検知結果を用いて、前記第一搬送台車及び前記第二搬送台車それぞれとの移載の際にインターロックシーケンスに係る通信を行う通信部と、
前記通信部による前記第一搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信によって、前記第一搬送台車から前記載置ポートに被搬送物を移載させた後に、前記通信部による前記第二搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信によって、前記載置ポートから前記第二搬送台車へ前記被搬送物を移載させる制御部とを備える
通信装置。 - 前記取得部は、前記通信装置の外部に配置された前記載置ポートに前記被搬送物が載置されているか否かを検知する、前記通信装置の外部に配置された前記センサから検知結果を取得する
請求項1に記載の通信装置。 - 前記通信部は、
前記第一搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信と、前記第二搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信との少なくとも一方を無線通信により行う
請求項1又は2に記載の通信装置。 - 前記通信部は、
前記第一搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信と、前記第二搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信との両方を無線通信により行う
請求項3に記載の通信装置。 - 前記通信部は、SEMI E84規格のインターロックシーケンスにおけるパッシブ側の通信を行う
請求項1〜4のいずれか1項に記載の通信装置。 - 第一搬送台車及び第二搬送台車それぞれとの間で被搬送物の移載が可能である載置ポートに前記被搬送物が載置されているか否かを検知するセンサから検知結果を取得する取得部と、
前記取得部が取得した前記検知結果を用いて、前記第一搬送台車及び前記第二搬送台車それぞれとの移載の際にインターロックシーケンスに係る通信を行う通信部と、
前記通信部による前記第一搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信によって、前記第一搬送台車から前記載置ポートに被搬送物が移載された後に、前記通信部による前記第二搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信によって、前記載置ポートから前記第二搬送台車へ前記被搬送物を移載させる制御部とを備える
通信装置。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載の通信装置と、
前記被搬送物が載置され得る載置ポートと、
前記被搬送物が前記載置ポートに載置されているか否かを検知し、検知結果を前記通信装置の前記取得部に提供するセンサとを備える
バッファ装置。 - 請求項7に記載のバッファ装置と、
前記載置ポートとの間で被搬送物を移載する搬送システムとを備える
移載システム。 - 通信装置の制御方法であって、
第一搬送システムの第一搬送台車および第二搬送システムの第二搬送台車それぞれとの間で被搬送物の移載が可能である載置ポートに前記被搬送物が載置されているか否かを検知するセンサから検知結果を取得する取得ステップと、
前記取得ステップで取得した前記検知結果を用いて、前記第一搬送台車及び前記第二搬送台車それぞれとの移載の際にインターロックシーケンスに係る通信を行う通信ステップと、
前記通信ステップによる前記第一搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信によって、前記第一搬送台車から前記載置ポートに被搬送物を移載させた後に、前記通信ステップによる前記第二搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信によって、前記載置ポートから前記第二搬送台車へ前記被搬送物を移載させる制御ステップとを含む
制御方法。
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JP2017087284A JP6712036B2 (ja) | 2017-04-26 | 2017-04-26 | 通信装置、バッファ装置、移載システム、及び、通信装置の制御方法 |
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JP2017087284A Active JP6712036B2 (ja) | 2017-04-26 | 2017-04-26 | 通信装置、バッファ装置、移載システム、及び、通信装置の制御方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021182675A1 (ko) * | 2020-03-13 | 2021-09-16 | 에스케이실트론 주식회사 | 반도체 웨이퍼 제조 장치의 물류 자동화 설비 |
Citations (5)
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JP2009130023A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Asyst Technologies Japan Inc | 搬送システム |
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2017
- 2017-04-26 JP JP2017087284A patent/JP6712036B2/ja active Active
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JP6712036B2 (ja) | 2020-06-17 |
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