WO2020066458A1 - 制御方法、搬送システム、及び通信デバイス - Google Patents

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WO2020066458A1
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communication device
transport
transport vehicle
trigger signal
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宗訓 大島
靖久 伊藤
桑原　哲也
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村田機械株式会社
サイレックス・テクノロジー株式会社
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    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor

Definitions

  • the present invention relates to a transport system control method, a transport system, and a communication device.
  • Patent Literature 1 discloses a transport system including a plurality of overhead traveling transport vehicles that transport a FOUP (Front Opening Unified Unified Pod) in which semiconductor wafers are stored, and a plurality of semiconductor manufacturing apparatuses that process wafers.
  • Each semiconductor manufacturing apparatus is provided with a set of communication devices and an access point.
  • Each semiconductor manufacturing apparatus has a mounting port on which the FOUP is mounted.
  • the communication device is connected to the mounting port via a parallel cable and to an access point via a LAN (Local Area Network) cable.
  • the access point can execute wireless communication with each carrier.
  • each communication device constantly transmits a trigger signal (for example, a beacon) for searching for a communication partner to the surroundings wirelessly through the access point.
  • a trigger signal for example, a beacon
  • the transport vehicle arrives near the semiconductor manufacturing apparatus on which the FOUP is to be mounted, it responds to a trigger signal from a communication device attached to the semiconductor manufacturing apparatus.
  • the cart and the communication device perform wireless communication (interlock communication) for executing a process for transferring a conveyed product between the loading port and the carrier (an interlock process defined by the SEMI @ E84 standard).
  • the trigger signals may interfere with each other and cause a communication failure.
  • an object of the present invention is to provide a control method and the like that can suppress occurrence of a communication failure in a transport system.
  • a control method includes a transport trolley for transporting a transported object, a plurality of communication devices connected to a plurality of facilities to which the transported object is transferred, A controller for controlling the traveling of the transport trolley, wherein the controller obtains equipment specifying information for specifying equipment to which the transport trolley should deliver the conveyed material.
  • Step a second acquisition step in which the transport trolley acquires trolley position information indicating the position of the transport trolley, the transport trolley, and a specific equipment connected to the specific equipment specified by the equipment identification information.
  • the communication device, and any one of the controller based on the delivery position information indicating the position of the specific equipment and the carriage position information, the transfer table And a calculating step of calculating a distance between the communication vehicle and the specific communication device; and any one of the carrier, the specific communication device, and the controller determines whether the distance is equal to or less than a predetermined distance.
  • the control method when the distance between the transport vehicle and the specific communication device becomes equal to or less than the predetermined distance, one of the transport vehicle and the specific communication device transmits a trigger signal. Therefore, it is not necessary for each of the plurality of communication devices to constantly transmit the trigger signal. Therefore, mutual interference of the trigger signals does not occur due to the plurality of communication devices transmitting the trigger signals. As described above, according to the control method, it is possible to suppress occurrence of a communication failure in the transport system.
  • control method may further include a third acquisition step of acquiring the transfer position information by receiving, from the controller, a traveling instruction instructing that the transport vehicle travel to the position of the specific facility.
  • the transport vehicle calculates the distance based on the obtained delivery position information and the vehicle position information, and in the determining step, the transport vehicle determines that the distance is the predetermined distance. It is determined whether or not the distance is equal to or less than a distance.
  • the transport vehicle wirelessly transmits the trigger signal to surroundings. You may do.
  • each of the plurality of communication devices does not necessarily need to have a function of transmitting a trigger signal. Therefore, according to the control method, the control method can be applied to a transport system including a communication device having no function of transmitting a trigger signal.
  • the plurality of communication devices store an identifier for uniquely identifying each, and in the first transmitting step, the carrier includes a specific identifier for identifying the specific communication device. Transmitting a trigger signal to the surroundings, and in the executing step, the specific communication device identifies the carrier as a communication partner by confirming that the specific identifier is included in the trigger signal; , The transport trolley and the specific communication device may execute the wireless communication.
  • the specific communication device recognizes that the own communication device is the specific communication device by checking the identifier included in the trigger signal for identifying the own communication device. Therefore, according to the above control method, the transport trolley and the specific communication device can relatively easily realize the execution of the wireless communication for transferring the transported material between the transport trolley and the specific equipment. it can.
  • the transport system further includes a relay device that relays wireless communication between the transport vehicle and the plurality of communication devices
  • the control method further includes: A third acquisition step of acquiring the transfer position information by receiving a travel instruction instructing to travel to a position from the controller, wherein in the calculation step, the transfer vehicle is configured to acquire the transfer position information and The distance is calculated based on the carriage position information, and in the determining step, the transport carriage determines whether the distance is equal to or less than the predetermined distance, and the control method further includes: When it is determined that the distance is equal to or less than the predetermined distance, the transport vehicle issues a transmission instruction instructing that the trigger signal should be transmitted to the relay. A second transmission step of wirelessly transmitting to the specific communication device via a device. In the first transmission step, when the transmission instruction is received, the specific communication device transmits the trigger signal. It may be transmitted to the surroundings wirelessly.
  • the transport vehicle does not necessarily need to have a function of transmitting a trigger signal. Therefore, according to the control method, the control method can be applied to a transport system including a transport vehicle having no function of transmitting a trigger signal.
  • the plurality of communication devices store identifiers for uniquely identifying each of the plurality of communication devices
  • the transport trolley stores correspondence information indicating a correspondence relationship between the plurality of communication devices and the plurality of identifiers
  • the specific communication device wirelessly transmits the trigger signal including a specific identifier for identifying the specific communication device to the surroundings
  • the transport vehicle includes: The specific identifier included in the trigger signal, based on the correspondence information, to identify the specific communication device as a communication partner, based on the identification, the carrier and the specific communication device, Wireless communication may be performed.
  • the transporting vehicle specifies a specific communication device as a communication partner using the identifier included in the trigger signal. Therefore, according to the above control method, the transport trolley and the specific communication device can relatively easily realize the execution of the wireless communication for transferring the transported material between the transport trolley and the specific equipment. it can.
  • a transport system is a transport trolley for transporting a transported product, and a plurality of communication devices connected to a plurality of facilities to which the transported product is transferred, A controller that controls the traveling of the transport vehicle, and wherein the controller acquires equipment specifying information that specifies the equipment to which the transport vehicle should deliver the conveyed material, and the transport vehicle is Acquiring trolley position information indicating the position of the transport trolley, the transport trolley, a specific communication device connected to a specific equipment specified by the equipment identification information, and any of the controller Calculating a distance between the transport trolley and the specific communication device based on the transfer position information indicating the position of the specific equipment and the trolley position information.
  • any of the transport vehicle, the specific communication device, and the controller determines whether the distance is equal to or less than a predetermined distance, and determines that the distance is equal to or less than the predetermined distance.
  • one of the transport vehicle and the specific communication device wirelessly transmits a trigger signal for starting wireless communication between the transport vehicle and the specific equipment to the surroundings, When the trigger signal is wirelessly communicated between the carrier and the specific communication device, the carrier and the specific communication device transfer the article between the carrier and the specific equipment. Execute wireless communication for delivery.
  • the transport system when the distance between the transport vehicle and the specific communication device becomes equal to or less than the predetermined distance, one of the transport vehicle and the specific communication device transmits a trigger signal. Therefore, it is not necessary for each of the plurality of communication devices to constantly transmit the trigger signal. Therefore, mutual interference of the trigger signals does not occur due to the plurality of communication devices transmitting the trigger signals. As described above, according to the transport system, it is possible to suppress the occurrence of a communication failure.
  • the transfer vehicle receives the traveling instruction for instructing to travel to the position of the specific equipment from the controller, thereby acquiring the transfer position information, and the transfer vehicle acquires the acquired transfer position information. And calculating the distance based on the trolley position information and determining whether the distance is equal to or less than the predetermined distance, and determining that the distance is equal to or less than the predetermined distance.
  • the carrier may transmit the trigger signal wirelessly to the surroundings.
  • each of the plurality of communication devices does not necessarily need to have a function of transmitting a trigger signal. Therefore, according to the transport system, a communication device having no function of transmitting a trigger signal can be included.
  • the plurality of communication devices store an identifier for uniquely identifying each, and the transport trolley transmits the trigger signal including a specific identifier for identifying the specific communication device to the surroundings.
  • the specific communication device specifies the carrier as a communication partner by confirming that the trigger signal includes the specific identifier, and based on the specification, the carrier and the specific communication.
  • the device may execute the wireless communication.
  • the specific communication device recognizes that the own communication device is the specific communication device by checking the identifier included in the trigger signal for identifying the own communication device. For this reason, according to the above-mentioned transport system, the transport trolley and the specific communication device can relatively easily realize the execution of wireless communication for transferring a transported product between the transport trolley and the specific equipment. it can.
  • the transport vehicle is a travel instruction for instructing to travel to the position of the specific equipment.
  • the transfer position information is acquired, and the transport vehicle calculates the distance based on the acquired transfer position information and the vehicle position information, and the transport vehicle has the distance. It is determined whether or not the distance is equal to or less than the predetermined distance, and when it is determined that the distance is equal to or less than the predetermined distance, the transport vehicle issues a transmission instruction to instruct that the trigger signal should be transmitted. Wirelessly transmitting to the specific communication device via the relay device, and when the transmission instruction is received, the specific communication device wirelessly transmits the trigger signal. To send to, it may be.
  • the transport vehicle does not necessarily need to have a function of transmitting a trigger signal. For this reason, according to the transport system, it is possible to include a transport vehicle that does not have a function of transmitting a trigger signal.
  • the plurality of communication devices store identifiers for uniquely identifying each of the plurality of communication devices
  • the transport trolley stores correspondence information indicating a correspondence relationship between the plurality of communication devices and the plurality of identifiers
  • the specific communication device wirelessly transmits the trigger signal including a specific identifier for identifying the specific communication device to the surroundings, and the carrier includes the specific identifier included in the trigger signal.
  • the specific communication device may be specified as a communication partner based on the correspondence information, and based on the specification, the carrier and the specific communication device may execute the wireless communication.
  • the transporting vehicle specifies a specific communication device as a communication partner using the identifier included in the trigger signal. For this reason, according to the above-mentioned transport system, the transport trolley and the specific communication device can relatively easily realize the execution of wireless communication for transferring a transported product between the transport trolley and the specific equipment. it can.
  • a communication device is a communication device connected to a specific facility to which a conveyed object is delivered and received, from a transport trolley for conveying the conveyed object, Indicate that a trigger signal for starting wireless communication between the carrier and the specific equipment should be transmitted via a relay device that relays wireless communication between the carrier and the communication device.
  • the trigger signal is transmitted to the surroundings by radio.
  • the communication device transmits a trigger signal when a transmission instruction is received. Therefore, the communication device does not need to constantly transmit the trigger signal. For this reason, if the communication device is used in a transport system including a plurality of communication devices, mutual interference of trigger signals does not occur due to each of the plurality of communication devices transmitting the trigger signal. Thus, according to the communication device, it is possible to suppress occurrence of a communication failure.
  • the communication device stores an identifier for uniquely identifying the communication device, and in the transmission of the trigger signal, the trigger signal including the identifier to be stored is wirelessly transmitted to the surroundings, and the carrier vehicle receives the trigger signal.
  • the communication device is specified as a communication partner based on the identifier included in the trigger signal, wireless communication for transferring the conveyed product between the carrier and the specific equipment, the carrier and the carrier It may be executed between.
  • the transporting vehicle specifies the communication device as a communication partner using the identifier included in the trigger signal. For this reason, according to the communication device, it is possible to relatively easily realize the execution of wireless communication for transferring the conveyed object between the transport trolley and the specific equipment.
  • control method and the like according to the present invention it is possible to suppress occurrence of a communication failure in the transport system.
  • FIG. 1 is a configuration diagram of the transport system according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is an external view illustrating an outline of the transport system according to the first embodiment.
  • FIG. 3 is a block diagram illustrating a functional configuration of the transport system according to the first embodiment.
  • FIG. 4 is a flowchart of the interlock communication start process according to the first embodiment.
  • FIG. 5 is a configuration diagram of the transport system according to the second embodiment.
  • FIG. 6 is a block diagram illustrating a functional configuration of the transport system according to the second embodiment.
  • FIG. 7 is a flowchart of the interlock communication start process according to the second embodiment.
  • FIG. 1 is a configuration diagram of the transport system 1 according to the first embodiment.
  • the transport system 1 includes a transport trolley 30 for transporting a transported object, and a plurality of communication devices 10a to 10k connected to a plurality of facilities 40a to 40k and 40m for transferring the transported object. , 10 m, and a controller 20 for controlling the traveling of the transport trolley 30.
  • the transport system 1 is operated as a transport system that transports a FOUP storing semiconductor wafers as a transported object in a semiconductor factory including the semiconductor manufacturing apparatuses 50a to 50c.
  • the communication devices 10a to 10k and 10m are referred to as the communication device 10 unless it is necessary to clearly distinguish each individual from the description.
  • the equipments 40a to 40k and 40m are referred to as the equipment 40 unless it is necessary to clearly describe each individual.
  • the semiconductor manufacturing apparatuses 50a to 50c are referred to as semiconductor manufacturing apparatuses 50, unless it is necessary to clearly describe each individual.
  • the transport system 1 is described as not including the facility 40 and the semiconductor manufacturing apparatus 50, but the transport system 1 may include one or both of the facility 40 and the semiconductor manufacturing apparatus 50. Further, in FIG. 1, the number of the transport vehicles 30 is illustrated as if it is one, but a plurality of transport vehicles may be used.
  • FIG. 2 is an external view showing an outline of the transport system 1.
  • the semiconductor manufacturing apparatus 50 shown in FIG. 2 is an apparatus for processing a semiconductor wafer, and includes a FOUP loading / unloading port 51 for loading and unloading the FOUP, which is the transported object 100.
  • the equipment 40 is a mounting port on which the FOUP, which is the transported object 100, is mounted.
  • the equipment 40 is disposed near the FOUP loading / unloading port 51 of the semiconductor manufacturing apparatus 50, between the transport cart 30 and the semiconductor manufacturing apparatus 50. Transfers the conveyed article 100 between.
  • the facility 40 transmits and receives signals to and from the communication device 10 via a wired cable.
  • the facility 40 transmits and receives signals to and from the communication device 10 via a wired cable.
  • four facilities 40 are provided for one semiconductor manufacturing apparatus 50, and each facility 40 is connected to one communication device 10 on a one-to-one basis. Therefore, one semiconductor manufacturing apparatus 50 and a plurality (four in this case) of communication devices 10 are connected via a plurality of (four in this case) facilities 40.
  • the facility 40 will be described as a one-to-one connection with the communication device 10.
  • the facilities 40a and 40b are connected to the communication device 10a
  • the facilities 40c and 40d are connected to the communication device 10b.
  • the number of communication devices 10 may be reduced by a two-to-one connection, such as by connecting to the communication device 10. In this case, the cost of the entire transport system can be reduced.
  • the transport trolley 30 is a trolley that transfers the transported object 100 to and from the facility 40 and transports the transported object 100 along the traveling route 2, and includes a gripper 31 that grips the transported object 100 inside.
  • the gripper 31 is, for example, provided so as to be able to move up and down.
  • the grip part 31 may be provided movably in the horizontal direction.
  • the communication device 10 is a signal that is communicated between the equipment 40 and the transport trolley 30 to transfer the transported object, specifically, a signal related to an interlock process (hereinafter, referred to as an “interlock signal”).
  • an interlock signal Is a device that includes a communication function for relaying transmission and reception (hereinafter, referred to as “interlock communication”).
  • the interlock signal is, for example, a packet.
  • the interlock process is a process in which other operations cannot be performed unless a specific condition is satisfied.
  • the interlock process may be, for example, a process defined by the SEMI @ E84 standard.
  • the specific condition is, for example, an instruction (interlock processing execution command) for confirming whether or not the specific transport vehicle 30 is in a state where the specific transfer can be performed to the specific facility 40 where the transfer of the transported object 100 is desired.
  • the condition is that an interlock signal including a response indicating that the transfer is currently possible can be received from the specific facility 40.
  • the communication device 10 performs wireless communication between the communication device 10 and the transport vehicle 30 in relaying interlock communication between the equipment 40 and the transport vehicle 30, and performs communication between the communication device 10 and the transport vehicle 30. Communication is performed by wire through a cable.
  • the wireless communication for example, communication conforming to the IEEE 802.11a, b, g, and n standards, the ANT communication standard used for communication in the ISM band, and communication in the Sub @ Giga frequency band can be adopted.
  • wired communication for example, communication such as the IEEE802.3 standard, parallel communication, serial communication, or the like can be adopted.
  • FIG. 3 is a block diagram showing a functional configuration of the transport system 1.
  • the controller 20 controls the traveling of the transport vehicle 30.
  • the controller 20 communicates with the transport vehicle 30 in a non-contact manner by using, for example, a leaky feeder line arranged along a travel route 2 (see FIG. 2) on which the transport vehicle 30 travels, and controls the transport vehicle 30 in various ways. By transmitting the signal, the traveling of the transport vehicle 30 is controlled. Communication between the controller 20 and the transport vehicle 30 is non-contact, and a method of superimposing a control signal on electric power supplied to a litz wire arranged along the traveling route 2 can also be adopted.
  • the controller 20 controls the equipment 40 to which the transport trolley 30 should transfer the transported object 100 from an external device (for example, a management server of a management system that manages a semiconductor manufacturing process in a semiconductor manufacturing factory where the transport system 1 is operated). Acquire the equipment specific information to be specified.
  • an external device for example, a management server of a management system that manages a semiconductor manufacturing process in a semiconductor manufacturing factory where the transport system 1 is operated.
  • the controller 20 When the controller 20 acquires the equipment specifying information, the controller 20 transmits a traveling instruction to instruct the vehicle to travel to the position of the specific equipment 40 specified by the equipment specifying information, to the transport vehicle 30.
  • the controller 20 is realized by, for example, a computer device including a processor, a memory, and a communication interface. In this case, various functions of the controller 20 are realized by the processor executing a program stored in the memory.
  • the transport trolley 30 is configured to include a grip unit 31, a trolley control unit 32, and a trolley communication unit 33.
  • the trolley communication unit 33 communicates with the communication device 10 and the controller 20.
  • the trolley communication unit 33 performs wireless communication with the communication device 10 and performs non-contact communication with the controller 20.
  • the bogie communication unit 33 has two operation modes: a master station mode for transmitting a trigger signal (for example, a beacon and a pairing signal) to the outside, and a slave station mode for not transmitting a trigger signal to the outside.
  • the operation mode of the bogie communication unit 33 is set by the bogie control unit 32 to one of a master station mode and a slave station mode.
  • the operation mode of the bogie communication unit 33 is set to the slave station mode during normal times other than a special period satisfying a predetermined condition.
  • the carriage control unit 32 controls the carrier 30.
  • the trolley control unit 32 acquires trolley position information indicating the position of the transport trolley 30.
  • the carriage control unit 32 may include, for example, a barcode reader, and may acquire the carriage position information on the traveling route 2 by reading a barcode arranged at a predetermined interval (for example, 3 m) on the traveling route 2.
  • the carriage control unit 32 uses the encode signal output from a driving device (for example, a motor) for running the transport vehicle 30 and uses the encode signal between the barcodes.
  • the cart position information may be obtained by interpolating the position.
  • the carriage control unit 32 receives the traveling instruction transmitted from the controller 20 via the carriage communication unit 33, and thereby, the transfer position information indicating the position of the specific equipment 40 to which the transfer carriage 30 should transfer the conveyed object 100. To get.
  • the trolley control unit 32 determines the distance between the transport trolley 30 and the specific communication device 10 connected to the specific equipment 40 based on the obtained trolley position information and the obtained transfer position information, specifically, , The distance along the traveling route 2 between the transport trolley 30 and the specific communication device 10 is calculated, and it is determined whether the calculated distance is equal to or less than a predetermined distance.
  • the distance between the transport trolley 30 and the specific communication device 10 may be a linear distance connecting the two.
  • the bogie control unit 32 determines the distance between the specific equipment 40 and the transport trolley 30 with the specific communication device 10 and the specific transport device. It can be regarded as a distance from the carriage 30.
  • the bogie control unit 32 sets the operation mode of the bogie communication unit 33 to the master station mode.
  • the carriage control unit 32 transmits a trigger signal for starting interlock communication, which is wireless communication, between the transport carriage 30 and the specific facility 40 to the surroundings wirelessly via the carriage communication unit 33.
  • the trigger signal includes an identifier that identifies the specific communication device 10.
  • the identifier is an identifier assigned to each of the plurality of communication devices 10 for uniquely identifying each of the plurality of communication devices 10.
  • the identifier may be, for example, an SSID (Service ⁇ Set ⁇ Identifier) for identifying a network if the wireless communication is communication conforming to the IEEE 802.11 standard.
  • the identifier may be, for example, a device number assigned to each of the plurality of communication devices 10 in advance (without duplication) if the wireless communication is communication conforming to the ANT communication standard.
  • the bogie control unit 32 transfers the transported object 100 between the bogie control unit 32 and the specific equipment 40. Is performed with the specific communication device 10 through the bogie communication unit 33.
  • the bogie control unit 32 After transmitting the trigger signal, the bogie control unit 32 indicates that a trigger signal including an identifier identifying the own communication device 10 has been received from the specific communication device 10 via the bogie communication unit 33.
  • the execution of the interlock communication may be started by receiving the response signal.
  • the carriage control unit 32 is realized, for example, by executing a program stored in a memory included in the carriage 30 by a processor included in the carriage 30.
  • the communication device 10 includes a communication unit 12 and a control unit 13.
  • the communication unit 12 communicates with the carrier 30 and the facility 40.
  • the communication unit 12 performs wireless communication with the transport vehicle 30 and performs wired communication with the facility 40 via a wired cable.
  • the control unit 13 controls the communication device 10.
  • the control unit 13 stores an identifier for uniquely identifying the communication device 10 including itself. That is, the plurality of communication devices 10 store the identifiers for uniquely identifying each in the respective control units 13.
  • the control unit 13 When the control unit 13 receives a trigger signal from the transport vehicle 30 via the communication unit 12 and confirms that the trigger signal includes an identifier to be stored, the control unit 13 transmits the transport vehicle 30 to the communication partner. To be specified. Then, based on this specification, the interlock communication, which is wireless communication for transferring a conveyed object between the conveyance vehicle 30 and the facility 40 to which the communication device 10 is connected, is performed via the communication unit 12 via the conveyance vehicle 12. Perform between 30.
  • the interlock communication which is wireless communication for transferring a conveyed object between the conveyance vehicle 30 and the facility 40 to which the communication device 10 is connected
  • control unit 13 determines that the trigger signal including the identifier for identifying the own communication device 10 has been received via the communication unit 12.
  • the response signal shown may be transmitted to the transport vehicle 30.
  • the control unit 13 is realized, for example, by a processor included in the communication device 10 executing a program stored in a memory included in the communication device 10.
  • the transport system 1 performs an interlock communication start process for starting interlock communication for transferring the transported object 100 between the facility 40 and the transport vehicle 30.
  • FIG. 4 is a flowchart of the interlock communication start process.
  • the interlock communication start process is started, for example, when the transport system 1 is started.
  • the controller 20 acquires, from an external device, equipment specifying information for specifying the equipment 40 to which the transport vehicle 30 should transfer the conveyed object 100 (step S10).
  • the controller 20 Upon acquiring the facility specifying information, the controller 20 transmits a traveling instruction for instructing to travel to the position of the specific facility 40 specified by the acquired facility identifying information to the transport trolley 30 (step S20).
  • the transport trolley 30 When the traveling instruction is transmitted, the transport trolley 30 receives the traveling instruction and acquires transfer position information indicating the position of the specific equipment 40 to which the transport trolley 30 should transfer the transported object 100 (step S30). .
  • the transport trolley 30 acquires the trolley position information indicating the current position of itself (the transport trolley 30) (step S40).
  • the transport cart 30 communicates between the transport cart 30 and the specific communication device 10 connected to the specific equipment 40 based on the acquired transfer position information and the acquired cart position information. The distance between them is calculated (step S50).
  • the transport vehicle 30 After calculating the distance between the transport vehicle 30 and the specific communication device 10, the transport vehicle 30 determines whether the calculated distance is equal to or less than a predetermined distance (Step S60).
  • step S60 If the calculated distance is not smaller than or equal to the predetermined distance in the process of step S60 (step S60: No), the transport system 1 proceeds to the process of step S40 again.
  • step S60 when the calculated distance is equal to or less than the predetermined distance (step S60: Yes), the transport trolley 30 sets the operation mode of the trolley communication unit 33 to the master station mode, and This is a trigger signal including a specific identifier for specifying the linked communication device 10, and starts interlock communication that is wireless communication for transferring the conveyed object 100 between the carrier 30 and the specific equipment 40. Is transmitted wirelessly to the surroundings (step S70).
  • the specific communication device 10 receives the trigger signal, confirms that the received trigger signal includes a specific identifier (eg, SSID), and sets the transport vehicle 30 as a communication partner. It is specified (step S80).
  • a specific identifier eg, SSID
  • the transport trolley 30 and the specific communication device 10 communicate with each other by wireless communication for transferring the article 100 between the transport trolley 30 and the specific equipment 40. Is executed (step S90).
  • step S90 the transport system 1 ends the interlock communication start processing.
  • the transport system 1 having the above configuration performs communication between the transport vehicle 30 and the plurality of communication devices 10.
  • the carrier 30 transmits a trigger signal to start wireless communication with the specific communication device 10. Therefore, the plurality of communication devices 10 do not need to transmit a trigger signal to start wireless communication. Therefore, mutual interference of the trigger signals does not occur due to each of the plurality of communication devices 10 transmitting the trigger signal.
  • the transport system 1 having the above configuration it is possible to suppress occurrence of a communication failure.
  • the transport system 1 according to Embodiment 1 is an example of a configuration in which the transport cart 30 transmits a trigger signal.
  • the transport system according to the second embodiment is an example of a configuration in which a specific communication device transmits a trigger signal.
  • FIG. 5 is a configuration diagram of a transport system 1a according to the second embodiment.
  • the transport system 1a is different from the transport system 1 according to the first embodiment in that the transport vehicle 30 according to the first embodiment is changed to a transport vehicle 80, and the communication according to the first embodiment is performed.
  • the devices 10a to 10k and 10m are changed to the communication devices 60a to 60k and 60m, respectively, and the relay device 90 is added.
  • the communication devices 60a to 60k and 60m are referred to as the communication device 60 except when it is necessary to clearly describe each individual.
  • the relay device 90 relays wireless communication between the transport trolley 80 and the communication device 60.
  • the relay device 90 may be, for example, an access point.
  • FIG. 6 is a block diagram showing the configuration of the transport system 1a.
  • the transport vehicle 80 is different from the transport vehicle 30 according to Embodiment 1 in that the vehicle control unit 32 is changed to the vehicle control unit 82 and the vehicle communication unit 33 is changed to the vehicle communication unit 83. Be composed.
  • the trolley communication unit 83 communicates with the communication device 60, the relay device 90, and the controller 20.
  • the trolley communication unit 83 performs wireless communication with the communication device 60 and the relay device 90, and performs non-contact communication with the controller 20 using a leaky feeder line.
  • the bogie communication unit 83 does not need to have, as an operation mode, a master station mode for transmitting a trigger signal to the outside.
  • the trolley control unit 82 acquires its own trolley position information, acquires the transfer position information, and specifies the trolley unit connected to the transport trolley 80 and the specific equipment 40, similarly to the trolley control unit 32 according to the first embodiment. Is calculated, and it is determined whether the calculated distance is equal to or less than a predetermined distance.
  • the bogie controller 82 issues a transmission instruction for instructing that a trigger signal be transmitted, via the bogie communication unit 83, via the relay device 90, , To the specific communication device 60 wirelessly.
  • the carriage control unit 82 receives the trigger signal transmitted from any of the plurality of communication devices 60 via the carriage communication unit 83.
  • the bogie controller 82 stores correspondence information indicating the correspondence between the plurality of communication devices 60 and a plurality of identifiers (for example, SSIDs) for uniquely identifying each of the plurality of communication devices 60.
  • a plurality of identifiers for example, SSIDs
  • the bogie controller 82 When the bogie controller 82 receives a trigger signal including a specific identifier for identifying the specific communication device 60 from the specific communication device 60 via the bogie communication unit 83, the bogie controller 82 generates the trigger signal based on the specific identifier and the correspondence information. Then, the specific communication device 60 is specified as a communication partner. Then, according to the specified result, the bogie control unit 82 performs interlock communication, which is wireless communication for transferring the conveyed object 100 between the bogie control unit 82 and the specific equipment 40, via the bogie communication unit 83. , With a specific communication device 60.
  • the bogie controller 82 when the bogie controller 82 confirms that the received trigger signal includes a specific identifier for identifying the specific communication device 60, the bogie controller 82 generates a response signal indicating that the trigger signal including the specific identifier has been received. May be transmitted to a specific communication device 60.
  • the trolley control unit 82 is realized, for example, by a processor included in the transport trolley 80 executing a program stored in a memory included in the transport trolley 80, similarly to the trolley control unit 32 according to the first embodiment.
  • the communication device 60 is configured such that the communication unit 12 is changed to the communication unit 62 and the control unit 13 is changed to the control unit 63 from the communication device 10 according to the first embodiment.
  • the communication unit 62 communicates with the carrier 80, the relay device 90, and the facility 40.
  • the communication unit 62 performs wireless communication with the transport vehicle 80 and the relay device 90, and performs wired communication with the facility 40 via a wired cable.
  • the communication unit 62 has two operation modes, a master station mode for transmitting a trigger signal (for example, a beacon and a pairing signal) to the outside, and a slave station mode for not transmitting a trigger signal to the outside.
  • the operation mode of the communication unit 62 is set by the control unit 63 to one of the master station mode and the slave station mode.
  • the operation mode of the communication unit 62 is set to the slave station mode during normal times other than a special period satisfying a predetermined condition.
  • the control unit 63 controls the communication device 60.
  • the control unit 63 stores an identifier for uniquely identifying the communication device 60 including itself. That is, the plurality of communication devices 60 store the identifiers for uniquely identifying each in the respective control units 63.
  • the control unit 63 When the control unit 63 receives a transmission instruction from the carrier 80 via the relay unit 90 via the communication unit 62, the control unit 63 sets the operation mode of the communication unit 62 to the master station mode.
  • the control unit 63 transmits a trigger signal for starting interlock communication, which is wireless communication, between the transport vehicle 30 and the equipment 40 connected to the communication device 60 including the control unit 63 via the communication unit 62. , And wirelessly transmit to surroundings. At this time, the control unit 63 transmits the identifier stored in the trigger signal.
  • the control unit 63 communicates between the transport trolley 80 and the equipment 40 connected to the communication device 60 including the control unit 63 itself.
  • Interlock communication which is wireless communication for transferring the conveyed object 100, is performed between the conveyed vehicle 80 and the communication unit 62.
  • the control unit 63 receives a response signal indicating that the trigger signal including the specific identifier has been received from the transport vehicle 80 via the communication unit 62, thereby performing the interlock.
  • the execution of the communication may be started.
  • the control unit 63 is realized, for example, by a processor of the communication device 60 executing a program stored in a memory of the communication device 60.
  • the transport system 1a performs an interlock communication start process for starting interlock communication for transferring the transported object 100 between the facility 40 and the transport vehicle 80.
  • the interlock communication start process according to the second embodiment is a process obtained by partially changing the interlock communication start process according to the first embodiment.
  • FIG. 7 is a flowchart of the interlock communication start process according to the second embodiment.
  • step S110 to the processing of step S160 are respectively performed by the communication device 10 with respect to the processing of step S10 to the processing of step S60 in the interlock communication start processing according to the first embodiment.
  • the processing is the same as the processing in which the transfer device 30 is replaced with the transfer device 80, and the transfer system 1 is replaced with the transfer system 1a. Therefore, it is assumed that the processes from step S110 to step S160 have already been described, so that the description thereof is omitted here, and the processes from step S170 to step S200 will be mainly described.
  • step S160 when the calculated distance is equal to or less than the predetermined distance (step S160: Yes), the transport trolley 80 sends, via the relay device 90, a transmission instruction instructing that a trigger signal should be transmitted. It transmits to a specific communication device 10 wirelessly (step S170).
  • the specific communication device 60 When the transmission instruction is transmitted from the transport vehicle 80, the specific communication device 60 receives the transmission signal via the relay device 90, and sets the operation mode of the communication unit 62 to the master station mode.
  • the specific communication device 60 is a trigger signal for starting interlock communication which is wireless communication between the carrier 30 and the equipment 40 connected to the specific communication device 60, and includes a specific communication.
  • a trigger signal including a specific identifier for identifying the device 60 is wirelessly transmitted to the surroundings (step S180).
  • the transport trolley 80 receives the trigger signal, and specifies the specific communication device 10 as a communication partner based on the specific identifier included in the trigger signal and the stored corresponding information. (Step S190).
  • the transport trolley 80 specifies the specific communication device 60 as a communication partner
  • the transport trolley 80 and the specific communication device 60 perform wireless communication for transferring the conveyed object 100 between the transport trolley 80 and the specific equipment 40. Is executed (step S200).
  • step S200 the transport system 1a ends the interlock communication start process.
  • the transport system 1a having the above configuration includes one of the plurality of communication devices 60.
  • a specific communication device 60 transmits a trigger signal. Therefore, the other communication device 60 does not need to transmit the trigger signal. Therefore, mutual interference of the trigger signals does not occur when the plurality of communication devices 60 transmit the trigger signals.
  • the transport system 1a having the above configuration it is possible to suppress occurrence of a communication failure.
  • the transport system calculates the distance between the transport vehicle and a specific communication device based on the delivery position information and its own vehicle position information.
  • the transport trolley is configured to determine whether the calculated distance is equal to or less than a predetermined distance.
  • the transport system according to the present invention, the transport vehicle, a specific communication device, and one of the controller, based on the delivery position information and the vehicle position information, the transport vehicle and the specific communication device Any configuration may be used as long as the distance between them is calculated, and one of the transport trolley, the specific communication device, and the controller determines whether the calculated distance is equal to or less than a predetermined distance.
  • the controller calculates the distance between the transport trolley and the specific communication device based on the delivery position information and the trolley position information, by the controller, for example, a non-contact communication to the leak feeder line or a signal to the power litz line This can be realized by receiving the cart position information from the carrier cart by the superimposition communication for superimposing.
  • the calculation of the distance between the transport trolley and the specific communication device based on the delivery position information and the trolley position information by the specific communication device is performed by the specific communication device, for example, by wireless communication via a relay device.
  • the transfer position information is received from the controller, and the specific communication device can be realized by receiving the vehicle position information from the transport vehicle by, for example, wireless communication via a relay device.
  • the transport vehicle calculates the distance between the transport vehicle and the specific communication device
  • the determination as to whether the calculated distance by the specific communication device is equal to or less than a predetermined distance is based on the specific communication.
  • the device can be realized by, for example, receiving information indicating the distance calculated from the transport vehicle by wireless communication relayed by the relay device.
  • a specific communication device calculates the distance between the transport trolley and the specific communication device
  • the determination as to whether the calculated distance by the specific communication device is equal to or less than a predetermined distance is performed by a specific communication device. Can be realized by using the calculated distance as it is.
  • the controller determines whether the calculated distance is equal to or less than a predetermined distance. It can be realized by using it as it is.
  • the transport system 1 in addition to the transport system 1 described in Embodiment 1 and the transport system 1a described in Embodiment 2, for example, the following transport system 1b is used.
  • the transport system 1e is conceivable.
  • the transport system 1b calculates, for example, the distance between the transport vehicle and a specific communication device based on the delivery position information and the vehicle position information, The communication device determines whether the calculated distance is equal to or less than a predetermined distance, and the specific communication device transmits a trigger signal.
  • the transport system 1c (not shown) according to the present invention is, for example, a specific communication device calculates a distance between the transport vehicle and the specific communication device based on the delivery position information and the vehicle position information, A specific communication device determines whether the calculated distance is equal to or less than a predetermined distance, and the specific communication device transmits a trigger signal.
  • the controller calculates a distance between the transport vehicle and a specific communication device based on the delivery position information and the vehicle position information, It is determined whether the calculated distance is equal to or less than a predetermined distance, and the transport vehicle transmits a trigger signal.
  • the controller calculates the distance between the transport vehicle and the specific communication device based on the delivery position information and the vehicle position information, and the controller: It is determined whether or not the calculated distance is equal to or less than a predetermined distance, and the specific communication device transmits a trigger signal.
  • the equipment connected one-to-one to the communication device 10 is a configuration example in which the equipment 100 is a mounting port on which the transported object 100 is mounted, but is not limited thereto.
  • the facility may be the semiconductor manufacturing apparatus 50. That is, each of the plurality of communication devices 10 may be connected one-to-one with each of the plurality of semiconductor manufacturing apparatuses 50, and one communication device 10 may be responsible for a plurality of mounting ports.
  • the facility may be a group of semiconductor manufacturing apparatuses 50 each having a group of a plurality of semiconductor manufacturing apparatuses 50 as one unit. That is, each of the plurality of communication devices 10 may be connected to each of the plurality of semiconductor manufacturing apparatuses 50 in a one-to-one relationship, and one communication device 10 may be responsible for the plurality of semiconductor manufacturing apparatuses 50.
  • the equipment may be a group of mounting ports in which a group of a plurality of mounting ports is one unit. That is, each of the plurality of communication devices 10 may be connected one-to-one with each of the plurality of placement port groups. In other words, one communication device 10 may be connected one-to-one to a group of a plurality of mounting ports.
  • the equipment may not be the mounting port or the semiconductor manufacturing apparatus 50 or the like related to semiconductor manufacturing.
  • the equipment may be unrelated to semiconductor manufacturing, or may be a table or the like.
  • the steps in the interlock communication start processing in the first embodiment and the steps in the interlock communication start processing in the second embodiment may be executed by a computer (computer system).
  • the present invention can be realized as a program for causing a computer to execute the steps included in the interlock communication start processing according to the first embodiment and the interlock communication start processing according to the second embodiment. Further, the present invention can be realized as a non-transitory computer-readable recording medium such as a CD-ROM in which the program is recorded.
  • each step is executed by executing the program using hardware resources such as a CPU, a memory, and an input / output circuit of a computer. . That is, each step is executed when the CPU acquires data from a memory or an input / output circuit or the like and performs an operation, or outputs an operation result to the memory or an input / output circuit or the like.
  • each of the plurality of components included in the transport system 1 may be realized as a dedicated or general-purpose circuit. These components may be realized as one circuit or as a plurality of circuits.
  • the plurality of components included in the transport system 1 may be realized as an LSI (Large Scale Integration) which is an integrated circuit (IC: Integrated Circuit). These components may be individually integrated into one chip, or may be integrated into one chip so as to include a part or all of them.
  • the LSI may be called a system LSI, a super LSI, or an ultra LSI depending on the degree of integration.
  • the integrated circuit is not limited to the LSI, and may be realized by a dedicated circuit or a general-purpose processor. As described above, a programmable FPGA or a reconfigurable processor in which connection and setting of circuit cells inside the LSI can be reconfigured may be used.
  • each component included in the transport system 1 is integrated using the technology. Is also good.
  • the present invention is applicable to a transport system or the like that performs an interlock process by wireless communication.
  • 1, 1a transport system 2 travel route 10, 10a, 10b, 10c, 10d, 10e, 10f, 10g, 10h, 10i, 10j, 10k, 10m, 60, 60a, 60b, 60c, 60d, 60e, 60f, 60g 60h, 60i, 60j, 60k, 60m Communication device 12, 62 Communication unit 13, 63 Control unit 20 Controller 30, 80 Carriage truck 31 Gripping unit 32, 82 Truck control unit 33, 83 Truck communication unit 40, 40a, 40b, 40c , 40d, 40e, 40f, 40g, 40h, 40i, 40j, 40k, 40m Equipment 50, 50a, 50b, 50c Semiconductor manufacturing equipment 51 FOUP loading / unloading port 90 Relay device 100

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Abstract

制御方法では、コントローラ（２０）が搬送物を受け渡しすべき設備（４０）を特定する設備特定情報を取得し、搬送台車（３０）が搬送台車（３０）の位置を示す台車位置情報を取得する。搬送台車（３０）と特定の通信デバイス（１０）とコントローラ（２０）とのうちのいずれかが特定の設備（４０）の位置を示す受け渡し位置情報と台車位置情報とに基づいて、搬送台車（３０）と特定の通信デバイス（１０）との間の距離を算出し、その距離が所定の距離以下であるか否かを判定する。その距離が所定の距離以下であると判定される場合に、搬送台車（３０）と特定の通信デバイス（１０）とのうちの一方が搬送台車（３０）と特定の設備（４０）との間で無線通信を開始するためのトリガ信号を無線にて周囲に送信し、搬送台車（３０）と特定の設備（４０）との間で搬送物を受け渡しするための無線通信が実行される。

Description

制御方法、搬送システム、及び通信デバイス
　搬送システムの制御方法、搬送システム、及び通信デバイスに関する。
　特許文献１には、半導体ウエハが格納されたＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を搬送する複数の天井走行式の搬送台車と、ウエハを加工する複数の半導体製造装置とを備える搬送システムが開示されている。各半導体製造装置には、１組の通信デバイス及びアクセスポイントが取り付けられている。各半導体製造装置は、ＦＯＵＰが載置される載置ポートを備える。通信デバイスは、パラレルケーブルを介して載置ポートに接続されていると共に、ＬＡＮ（Local Area Network）ケーブルを介してアクセスポイントに接続されている。アクセスポイントは、各搬送台車と無線通信を実行可能である。
特開２０１５－８２５７４号公報
　上記のような搬送システムでは、各通信デバイスは、通信相手を検索するためのトリガ信号（例えば、ビーコン）を、アクセスポイントを介して無線にて周囲に常に送信し続ける。搬送台車は、ＦＯＵＰを載置すべき半導体製造装置の付近に到着すると、当該半導体製造装置に取り付けられた通信デバイスからのトリガ信号に応答する。これにより、台車及び通信デバイスは、載置ポートと搬送台車との間で搬送物を移載するための処理（ＳＥＭＩ　Ｅ８４規格で定めるインターロック処理）を実行するための無線通信（インターロック通信）を開始する。
　しかし、隣接した各通信デバイスがトリガ信号を常に送信し続けると、トリガ信号が相互に干渉し、通信障害が生じるおそれがある。
　そこで、本発明は、搬送システムにおける通信障害の発生を抑制することができる制御方法等を提供することを目的とする。
　上記課題を解決するために、本発明の一態様に係る制御方法は、搬送物を搬送するための搬送台車と、前記搬送物が受け渡しされる複数の設備に接続された複数の通信デバイスと、前記搬送台車の走行を制御するコントローラと、を備える搬送システムの制御方法であって、前記コントローラが、前記搬送台車が前記搬送物を受け渡しすべき設備を特定する設備特定情報を取得する第１取得ステップと、前記搬送台車が、前記搬送台車の位置を示す台車位置情報を取得する第２取得ステップと、前記搬送台車と、前記設備特定情報によって特定される特定の設備に接続されている特定の通信デバイスと、前記コントローラとのうちのいずれかが、前記特定の設備の位置を示す受け渡し位置情報と前記台車位置情報とに基づいて、前記搬送台車と前記特定の通信デバイスとの間の距離を算出する算出ステップと、前記搬送台車と前記特定の通信デバイスと前記コントローラとのうちのいずれかが、前記距離が所定の距離以下であるか否かを判定する判定ステップと、前記距離が前記所定の距離以下であると判定される場合に、前記搬送台車と前記特定の通信デバイスとのうちの一方が、前記搬送台車と前記特定の設備との間で無線通信を開始するためのトリガ信号を無線にて周囲に送信する第１送信ステップと、前記トリガ信号が前記搬送台車と前記特定の通信デバイスとの間で無線通信される場合に、前記搬送台車及び前記特定の通信デバイスが、前記搬送台車と前記特定の設備との間で前記搬送物を受け渡しするための無線通信を実行する実行ステップと、を含む。
　上記制御方法によれば、搬送台車と特定の通信デバイスとの距離が所定の距離以下になると、搬送台車と特定の通信デバイスとのうちの一方が、トリガ信号を送信する。このため、複数の通信デバイスのそれぞれが、トリガ信号を常に送信し続ける必要がない。よって、複数の通信デバイスがトリガ信号を送信することによる、トリガ信号の相互干渉が生じない。このように、上記制御方法によれば、搬送システムにおける通信障害の発生を抑制することができる。
　また、前記制御方法は、さらに、前記搬送台車が、前記特定の設備の位置まで走行することを指示する走行指示を前記コントローラから受信することによって、前記受け渡し位置情報を取得する第３取得ステップを含み、前記算出ステップでは、前記搬送台車が、取得した前記受け渡し位置情報と前記台車位置情報とに基づいて、前記距離を算出し、前記判定ステップでは、前記搬送台車が、前記距離が前記所定の距離以下であるか否かを判定し、前記第１送信ステップでは、前記距離が前記所定の距離以下であると判定される場合に、前記搬送台車が、前記トリガ信号を無線にて周囲に送信する、としてもよい。
　これにより、複数の通信デバイスのそれぞれは、必ずしもトリガ信号を送信する機能を有する必要がない。このため、上記制御方法によれば、トリガ信号を送信する機能を有さない通信デバイスを含んで構成される搬送システムに、上記制御方法を適用することができる。
　また、前記複数の通信デバイスは、それぞれを一意に識別するための識別子を記憶し、前記第１送信ステップでは、前記搬送台車が、前記特定の通信デバイスを識別するための特定の識別子を含む前記トリガ信号を周囲に送信し、前記実行ステップでは、前記特定の通信デバイスが、前記トリガ信号に前記特定の識別子が含まれることを確認することによって、前記搬送台車を通信相手として特定し、当該特定に基づいて、前記搬送台車及び前記特定の通信デバイスが、前記無線通信を実行する、としてもよい。
　これにより、特定の通信デバイスは、トリガ信号に含まれる、自通信デバイスを識別するための識別子を確認することで、自通信デバイスが特定の通信デバイスであることを認識する。このため、上記制御方法によれば、搬送台車及び特定の通信デバイスは、比較的容易に、搬送台車と特定の設備との間で搬送物を受け渡しするための無線通信の実行を実現することができる。
　また、前記搬送システムは、さらに、前記搬送台車と、前記複数の通信デバイスとの間の無線通信を中継する中継装置を備え、前記制御方法は、さらに、前記搬送台車が、前記特定の設備の位置まで走行することを指示する走行指示を前記コントローラから受信することによって、前記受け渡し位置情報を取得する第３取得ステップを含み、前記算出ステップでは、前記搬送台車が、取得した前記受け渡し位置情報と前記台車位置情報とに基づいて、前記距離を算出し、前記判定ステップでは、前記搬送台車が、前記距離が前記所定の距離以下であるか否かを判定し、前記制御方法は、さらに、前記距離が前記所定の距離以下であると判定される場合に、前記搬送台車が、前記トリガ信号を送信すべきことを指示する送信指示を、前記中継装置を介して前記特定の通信デバイスに無線にて送信する第２送信ステップを含み、前記第１送信ステップでは、前記送信指示が受信される場合に、前記特定の通信デバイスが、前記トリガ信号を無線にて周囲に送信する、としてもよい。
　これにより、搬送台車は、必ずしもトリガ信号を送信する機能を有する必要がない。このため、上記制御方法によれば、トリガ信号を送信する機能を有さない搬送台車を含んで構成される搬送システムに、上記制御方法を適用することができる。
　また、前記複数の通信デバイスは、それぞれを一意に識別するための識別子を記憶し、前記搬送台車は、前記複数の通信デバイスと複数の前記識別子との対応関係を示す対応情報を記憶し、前記第１送信ステップでは、前記特定の通信デバイスが、前記特定の通信デバイスを識別するための特定の識別子を含む前記トリガ信号を無線にて周囲に送信し、前記実行ステップでは、前記搬送台車が、前記トリガ信号に含まれる前記特定の識別子と、前記対応情報とに基づいて、前記特定の通信デバイスを通信相手として特定し、当該特定に基づいて、前記搬送台車及び前記特定の通信デバイスが、前記無線通信を実行する、としてもよい。
　これにより、搬送台車は、トリガ信号に含まれる識別子を用いて特定の通信デバイスを通信相手として特定する。このため、上記制御方法によれば、搬送台車及び特定の通信デバイスは、比較的容易に、搬送台車と特定の設備との間で搬送物を受け渡しするための無線通信の実行を実現することができる。
　上記課題を解決するために、本発明の一態様に係る搬送システムは、搬送物を搬送するための搬送台車と、前記搬送物が受け渡しされる複数の設備に接続された複数の通信デバイスと、前記搬送台車の走行を制御するコントローラと、を備える搬送システムであって、前記コントローラは、前記搬送台車が前記搬送物を受け渡しすべき設備を特定する設備特定情報を取得し、前記搬送台車は、前記搬送台車の位置を示す台車位置情報を取得し、前記搬送台車と、前記設備特定情報によって特定される特定の設備に接続されている特定の通信デバイスと、前記コントローラとのうちのいずれかは、前記特定の設備の位置を示す受け渡し位置情報と前記台車位置情報とに基づいて、前記搬送台車と前記特定の通信デバイスとの間の距離を算出し、前記搬送台車と前記特定の通信デバイスと前記コントローラとのうちのいずれかは、前記距離が所定の距離以下であるか否かを判定し、前記距離が前記所定の距離以下であると判定される場合に、前記搬送台車と前記特定の通信デバイスとのうちの一方は、前記搬送台車と前記特定の設備との間で無線通信を開始するためのトリガ信号を無線にて周囲に送信し、前記トリガ信号が前記搬送台車と前記特定の通信デバイスとの間で無線通信される場合に、前記搬送台車及び前記特定の通信デバイスは、前記搬送台車と前記特定の設備との間で前記搬送物を受け渡しするための無線通信を実行する。
　上記搬送システムによれば、搬送台車と特定の通信デバイスとの距離が所定の距離以下になると、搬送台車と特定の通信デバイスとのうちの一方が、トリガ信号を送信する。このため、複数の通信デバイスのそれぞれが、トリガ信号を常に送信し続ける必要がない。よって、複数の通信デバイスがトリガ信号を送信することによる、トリガ信号の相互干渉が生じない。このように、上記搬送システムによれば、通信障害の発生を抑制することができる。
　また、前記搬送台車は、前記特定の設備の位置まで走行することを指示する走行指示を前記コントローラから受信することによって、前記受け渡し位置情報を取得し、前記搬送台車は、取得した前記受け渡し位置情報と前記台車位置情報とに基づいて、前記距離を算出し、前記搬送台車は、前記距離が前記所定の距離以下であるか否かを判定し、前記距離が前記所定の距離以下であると判定される場合に、前記搬送台車は、前記トリガ信号を無線にて周囲に送信するとしてもよい。
　これにより、複数の通信デバイスのそれぞれは、必ずしもトリガ信号を送信する機能を有する必要がない。このため、上記搬送システムによれば、トリガ信号を送信する機能を有さない通信デバイスを含むことができる。
　また、前記複数の通信デバイスは、それぞれを一意に識別するための識別子を記憶し、前記搬送台車は、前記特定の通信デバイスを識別するための特定の識別子を含む前記トリガ信号を周囲に送信し、前記特定の通信デバイスは、前記トリガ信号に前記特定の識別子が含まれることを確認することによって、前記搬送台車を通信相手として特定し、当該特定に基づいて、前記搬送台車及び前記特定の通信デバイスは、前記無線通信を実行する、としてもよい。
　これにより、特定の通信デバイスは、トリガ信号に含まれる、自通信デバイスを識別するための識別子を確認することで、自通信デバイスが特定の通信デバイスであることを認識する。このため、上記搬送システムによれば、搬送台車及び特定の通信デバイスは、比較的容易に、搬送台車と特定の設備との間で搬送物を受け渡しするための無線通信の実行を実現することができる。
　また、さらに、前記搬送台車と、前記複数の通信デバイスとの間の無線通信を中継する中継装置を備え、前記搬送台車は、前記特定の設備の位置まで走行することを指示する走行指示を前記コントローラから受信することによって、前記受け渡し位置情報を取得し、前記搬送台車は、取得した前記受け渡し位置情報と前記台車位置情報とに基づいて、前記距離を算出し、前記搬送台車は、前記距離が前記所定の距離以下であるか否かを判定し、前記距離が前記所定の距離以下であると判定される場合に、前記搬送台車は、前記トリガ信号を送信すべきことを指示する送信指示を、前記中継装置を介して前記特定の通信デバイスに無線にて送信し、前記送信指示が受信される場合に、前記特定の通信デバイスは、前記トリガ信号を無線にて周囲に送信する、としてもよい。
　これにより、搬送台車は、必ずしもトリガ信号を送信する機能を有する必要がない。このため、上記搬送システムによれば、トリガ信号を送信する機能を有さない搬送台車を含むことができる。
　また、前記複数の通信デバイスは、それぞれを一意に識別するための識別子を記憶し、前記搬送台車は、前記複数の通信デバイスと複数の前記識別子との対応関係を示す対応情報を記憶し、前記特定の通信デバイスは、前記特定の通信デバイスを識別するための特定の識別子を含む前記トリガ信号を無線にて周囲に送信し、前記搬送台車は、前記トリガ信号に含まれる前記特定の識別子と、前記対応情報とに基づいて、前記特定の通信デバイスを通信相手として特定し、当該特定に基づいて、前記搬送台車及び前記特定の通信デバイスは、前記無線通信を実行する、としてもよい。
　これにより、搬送台車は、トリガ信号に含まれる識別子を用いて特定の通信デバイスを通信相手として特定する。このため、上記搬送システムによれば、搬送台車及び特定の通信デバイスは、比較的容易に、搬送台車と特定の設備との間で搬送物を受け渡しするための無線通信の実行を実現することができる。
　上記課題を解決するために、本発明の一態様に係る通信デバイスは、搬送物が受け渡しされる特定の設備に接続された通信デバイスであって、前記搬送物を搬送するための搬送台車から、前記搬送台車と前記通信デバイスとの間の無線通信を中継する中継装置を介して、前記搬送台車と前記特定の設備との間で無線通信を開始するためのトリガ信号を送信すべきことを指示する送信指示が受信される場合に、前記トリガ信号を無線にて周囲に送信する。
　上記通信デバイスは、送信指示が受信される場合に、トリガ信号を送信する。このため、上記通信デバイスは、トリガ信号を常に送信し続ける必要がない。このため、複数の通信デバイスを含んで構成される搬送システムに上記通信デバイスを利用すれば、複数の通信デバイスのそれぞれがトリガ信号を送信することによる、トリガ信号の相互干渉が生じない。このように、上記通信デバイスによれば、通信障害の発生を抑制することができる。
　また、前記通信デバイスを一意に識別するための識別子を記憶し、前記トリガ信号の送信では、記憶する前記識別子を含む前記トリガ信号を無線にて周囲に送信し、前記搬送台車が、受信した前記トリガ信号に含まれる前記識別子に基づいて前記通信デバイスを通信相手として特定した場合に、前記搬送台車と前記特定の設備との間で前記搬送物を受け渡しするための無線通信を、前記搬送台車との間で実行するとしてもよい。
　これにより、搬送台車は、トリガ信号に含まれる識別子を用いて上記通信デバイスを通信相手として特定する。このため、上記通信デバイスによれば、搬送台車と特定の設備との間で搬送物を受け渡しするため無線通信の実行を、搬送台車との間で比較的容易に実現することができる。
　本発明に係る制御方法等によれば、搬送システムにおける通信障害の発生を抑制することができる。
図１は、実施の形態１に係る搬送システムの構成図である。 図２は、実施の形態１に係る搬送システムの概要を示す外観図である。 図３は、実施の形態１に係る搬送システムの機能構成を示すブロック図である。 図４は、実施の形態１に係るインターロック通信開始処理のフローチャートである。 図５は、実施の形態２に係る搬送システムの構成図である。 図６は、実施の形態２に係る搬送システムの機能構成を示すブロック図である。 図７は、実施の形態２に係るインターロック通信開始処理のフローチャートである。
　以下、実施の形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。
　以下で説明する実施の形態は、いずれも本発明の好ましい一具体例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、より好ましい形態を構成する任意の構成要素として説明される。なお、同一の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する場合がある。
　（実施の形態１）
　以下、搬送物を搬送する搬送システムについて説明する。
　図１は、実施の形態１に係る搬送システム１の構成図である。
　図１に示されるように、搬送システム１は、搬送物を搬送するための搬送台車３０と、搬送物が受け渡しされる複数の設備４０ａ～４０ｋ、４０ｍに接続された複数の通信デバイス１０ａ～１０ｋ、１０ｍと、搬送台車３０の走行を制御するコントローラ２０とを含んで構成される。
　ここでは、搬送システム１は、半導体製造装置５０ａ～５０ｃを備える半導体工場において、半導体ウエハが格納されたＦＯＵＰを搬送物として搬送する搬送システムとして運用されている例となっている。
　以下、通信デバイス１０ａ～１０ｋ、１０ｍのことを、各個体を明示的に区別して説明する必要がある場合を除いて、通信デバイス１０と称する。また、設備４０ａ～４０ｋ、４０ｍのことを、各個体を明示的に区別して説明する必要がある場合を除き、設備４０と称する。また、半導体製造装置５０ａ～５０ｃのことを、各個体を明示的に区別して説明する必要がある場合を除き、半導体製造装置５０と称する。
　なお、ここでは、搬送システム１は、設備４０及び半導体製造装置５０を含まないとして説明するが、搬送システム１は、設備４０及び半導体製造装置５０の一方又は双方を含むとしてもよい。また、図１では、搬送台車３０が１台であるかのように図示しているが、複数台であってもよい。
　図２は、搬送システム１の概要を示す外観図である。
　図２に示される半導体製造装置５０は、半導体ウエハを加工する装置であり、搬送物１００であるＦＯＵＰを搬入及び搬出するためのＦＯＵＰ搬入搬出口５１を備える。
　設備４０は、搬送物１００であるＦＯＵＰが載置される載置ポートであり、半導体製造装置５０のＦＯＵＰ搬入搬出口５１付近に配置されて、搬送台車３０との間、及び半導体製造装置５０との間で搬送物１００を受け渡しする。
　また、設備４０は、有線ケーブルを介して、通信デバイス１０との間で信号を送受信する。ここでは、１つの半導体製造装置５０に対して、例えば４つの設備４０が設けられており、各設備４０は、１つの通信デバイス１０と一対一に接続されている。このため、１つの半導体製造装置５０と複数（ここでは４つ）の通信デバイス１０とが複数（ここでは４つ）の設備４０を介して接続されることになる。
　なお、本実施の形態１では、設備４０は、通信デバイス１０と１対１の接続で説明するが、例えば設備４０ａおよび４０ｂが通信デバイス１０ａに接続し、設備４０の４０ｃ、４０ｄが通信デバイス１０ｂに接続するなど２対１の接続によって、通信デバイス１０の数を減らす構成であってもよい。このようにすれば、搬送システム全体のコスト削減効果になり得る。
　搬送台車３０は、設備４０との間で搬送物１００を受け渡しし、走行ルート２に沿って搬送物１００を搬送する台車であり、内部に搬送物１００を把持する把持部３１を備える。把持部３１は、例えば昇降可能に設けられており、搬送物１００を設備４０との間で移載する際には、設備４０付近まで降下される。なお、把持部３１は、水平方向に移動可能に設けられていてもよい。
　通信デバイス１０は、設備４０と搬送台車３０との間で搬送物を受け渡しするために通信される信号、具体的には、インターロック処理に係る信号（以下、「インターロック信号」と称する。）の送受信（以下、「インターロック通信」と称する。）を中継する通信機能を含む装置である。インターロック信号は、例えばパケットである。インターロック処理とは、特定の条件が成立しないと他の動作ができなくなるような処理である。インターロック処理は、例えば、ＳＥＭＩ　Ｅ８４規格で規定される処理であってよい。搬送システム１においてインターロック処理が行われることで、搬送台車３０より搬送物１００を設備４０に移載する際に、特定の条件が成立しないと次の工程には移行しないようにできる。特定の条件とは、例えば、特定の搬送台車３０が、搬送物１００の受け渡しを行いたい特定の設備４０へ、現在受け渡しを行える状態にあるかを確認させる指示（インターロック処理の実行コマンド）を含むインターロック信号を送信し、特定の設備４０から、現在移載を行える状態にあることを示す応答を含むインターロック信号を受信できたといった条件である。これにより、特定の搬送台車３０から特定の設備４０への搬送物１００の受け渡しを安全かつ確実に行うことができる。
　通信デバイス１０は、設備４０と搬送台車３０との間のインターロック通信の中継において、通信デバイス１０と搬送台車３０との間の通信は、無線により行い、通信デバイス１０と設備４０との間の通信は、有線ケーブルを介する有線により行う。ここで、無線通信として、例えば、ＩＥＥＥ８０２．１１ａ、ｂ、ｇ、ｎ規格、ＩＳＭバンドでの通信で使用されるＡＮＴ通信規格などに準拠した通信、Sub Giga周波数帯の通信を採用し得る。
　また、有線通信として、例えば、ＩＥＥＥ８０２．３規格、パラレル通信、シリアル通信などの通信を採用し得る。
　以下、搬送システム１を構成する各構成要素について、より詳細に説明する。
　図３は、搬送システム１の機能構成を示すブロック図である。
　コントローラ２０は、搬送台車３０の走行を制御する。コントローラ２０は、例えば、搬送台車３０が走行する走行ルート２（図２参照）に沿って配置された漏洩フィーダ線を利用して、搬送台車３０と非接触で通信し、搬送台車３０に各種制御信号を送信することで、搬送台車３０の走行の制御を行う。コントローラ２０と搬送台車３０の通信は、非接触であり、走行ルート２に沿って配置されたリッツ線に供給される電力に制御信号を重畳する方式を採用することもできる。
　コントローラ２０は、外部装置（例えば、搬送システム１が運用されている半導体製造工場において、半導体製造工程を管理する管理システムの管理サーバ）から、搬送台車３０が搬送物１００を受け渡しすべき設備４０を特定する設備特定情報を取得する。
　コントローラ２０は、設備特定情報を取得すると、設備特定情報によって特定される特定の設備４０の位置まで走行することを指示する走行指示を搬送台車３０に送信する。
　コントローラ２０は、例えば、プロセッサとメモリと通信インターフェースとを備えるコンピュータ装置によって実現される。この場合、コントローラ２０の各種機能は、メモリに記憶されるプログラムをプロセッサが実行することによって実現される。
　搬送台車３０は、把持部３１と、台車制御部３２と、台車通信部３３とを含んで構成される。
　台車通信部３３は、通信デバイス１０及びコントローラ２０と通信する。台車通信部３３は、通信デバイス１０との間で無線通信を行い、コントローラ２０との間で、非接触で通信を行う。
　台車通信部３３は、外部にトリガ信号（例えば、ビーコン、ペアリング信号）を送信する親局モードと、外部にトリガ信号を送信しない子局モードとの２つの動作モードを有する。台車通信部３３の動作モードは、台車制御部３２によって、親局モードと子局モードとのいずれかに設定される。台車通信部３３の動作モードは、所定の条件を満たす特別な期間以外の通常時には、子局モードに設定されている。
　台車制御部３２は、搬送台車３０を制御する。
　台車制御部３２は、搬送台車３０の位置を示す台車位置情報を取得する。台車制御部３２は、例えば、バーコードリーダを備え、走行ルート２に所定間隔（例えば、３ｍ）で配置されているバーコードを読み取ることで、走行ルート２における台車位置情報を取得するとしてよい。この場合、台車制御部３２は、搬送台車３０がバーコード間に位置するときには、搬送台車３０を走行させるための駆動装置（例えば、モータ）から出力されるエンコード信号を用いて、バーコード間のどの位置であるかを補間することで、台車位置情報を取得してもよい。
　台車制御部３２は、台車通信部３３を介して、コントローラ２０から送信された走行指示を受信することで、搬送台車３０が搬送物１００を受け渡しすべき特定の設備４０の位置を示す受け渡し位置情報を取得する。
　台車制御部３２は、取得した台車位置情報と、取得した受け渡し位置情報とに基づいて、搬送台車３０と、特定の設備４０に接続されている特定の通信デバイス１０との間の距離、具体的には搬送台車３０と特定の通信デバイス１０との走行ルート２に沿う距離を算出し、算出した距離が所定の距離以下であるか否かを判定する。なお、搬送台車３０と特定の通信デバイス１０との距離は、両者を結ぶ直線距離であってもよい。ここでは、台車制御部３２は、特定の通信デバイス１０と特定の設備４０とがほぼ同じ位置にあるため、特定の設備４０と搬送台車３０との間の距離を、特定の通信デバイス１０と搬送台車３０との間の距離とみなすことができる。
　台車制御部３２は、算出した距離が所定の距離以下であると判定される場合に、台車通信部３３の動作モードを親局モードに設定する。そして、台車制御部３２は、搬送台車３０と上記特定の設備４０との間で無線通信であるインターロック通信を開始するためのトリガ信号を、台車通信部３３を介して、無線にて周囲に送信する。トリガ信号は、特定の通信デバイス１０を識別する識別子を含む。ここで、識別子は、複数の通信デバイス１０のそれぞれに割り当てられた、複数の通信デバイス１０のそれぞれを一意に識別するための識別子である。識別子は、例えば無線通信がＩＥＥＥ８０２．１１規格に準拠する通信であれば、ネットワークを識別するＳＳＩＤ（Ｓｅｒｖｉｃｅ　Ｓｅｔ　Ｉｄｅｎｔｉｆｉｅｒ）であってもよい。また、識別子は、例えば無線通信がＡＮＴ通信規格に準拠する通信であれば、予め複数の通信デバイス１０のそれぞれに（重複することなく）割り当てられた装置番号などであってもよい。
　トリガ信号が、台車制御部３２と特定の通信デバイス１０との間で無線通信される場合に、台車制御部３２は、台車制御部３２と特定の設備４０との間で搬送物１００を受け渡しするための無線通信であるインターロック通信を、台車通信部３３を介して、特定の通信デバイス１０との間で実行する。
　台車制御部３２は、例えば、トリガ信号を送信した後において、上記特定の通信デバイス１０から、台車通信部３３を介して、自通信デバイス１０を識別する識別子を含むトリガ信号を受信した旨を示す応答信号を受信することで、インターロック通信の実行を開始するとしてもよい。
　台車制御部３２は、例えば、搬送台車３０の備えるメモリに記憶されるプログラムを搬送台車３０の備えるプロセッサが実行することによって実現される。
　通信デバイス１０は、通信部１２と、制御部１３とを含んで構成される。
　通信部１２は、搬送台車３０及び設備４０と通信する。通信部１２は、搬送台車３０との間で無線通信を行い、設備４０との間で、有線ケーブルを介して有線通信を行う。
　制御部１３は、通信デバイス１０を制御する。
　制御部１３は、自身を含む通信デバイス１０を一意に識別するための識別子を記憶する。すなわち、複数の通信デバイス１０は、それぞれを一意に識別するための識別子を、それぞれの制御部１３に記憶する。
　制御部１３は、搬送台車３０から、通信部１２を介してトリガ信号を受信した場合において、そのトリガ信号に、記憶する識別子が含まれていることを確認したときに、搬送台車３０を通信相手として特定する。そして、この特定に基づいて、搬送台車３０と通信デバイス１０が接続される設備４０との間で搬送物を受け渡しするための無線通信であるインターロック通信を、通信部１２を介して、搬送台車３０との間で実行する。
　制御部１３は、例えば、受信したトリガ信号に、記憶する識別子が含まれていることを確認すると、通信部１２を介して、自通信デバイス１０を識別する識別子を含むトリガ信号を受信した旨を示す応答信号を、搬送台車３０に送信するとしてもよい。
　制御部１３は、例えば、通信デバイス１０の備えるメモリに記憶されるプログラムを通信デバイス１０の備えるプロセッサが実行することによって実現される。
　以下、上記構成の搬送システム１の行う動作について説明する。
　搬送システム１は、設備４０と搬送台車３０との間で搬送物１００を受け渡しするためのインターロック通信を開始するインターロック通信開始処理を行う。
　図４は、インターロック通信開始処理のフローチャートである。
　インターロック通信開始処理は、例えば、搬送システム１が起動されることで開始される。
　インターロック通信開始処理が開始されると、コントローラ２０は、搬送台車３０が搬送物１００を受け渡しすべき設備４０を特定する設備特定情報を外部装置から取得する（ステップＳ１０）。
　設備特定情報を取得すると、コントローラ２０は、取得した設備特定情報によって特定される特定の設備４０の位置まで走行することを指示する走行指示を搬送台車３０に送信する（ステップＳ２０）。
　走行指示が送信されると、搬送台車３０は、走行指示を受信することで、搬送台車３０が搬送物１００を受け渡しすべき特定の設備４０の位置を示す受け渡し位置情報を取得する（ステップＳ３０）。
　受け渡し位置情報を取得すると、搬送台車３０は、自身（搬送台車３０）の現在位置を示す台車位置情報を取得する（ステップＳ４０）。
　台車位置情報を取得すると、搬送台車３０は、取得した受け渡し位置情報と、取得した台車位置情報とに基づいて、搬送台車３０と、特定の設備４０に接続されている特定の通信デバイス１０との間の距離を算出する（ステップＳ５０）。
　搬送台車３０と特定の通信デバイス１０との間の距離を算出すると、搬送台車３０は、算出した距離が、所定の距離以下であるか否かを判定する（ステップＳ６０）。
　ステップＳ６０の処理において、算出した距離が所定の距離以下でない場合に（ステップＳ６０：Ｎｏ）、搬送システム１は、再びステップＳ４０の処理に進む。
　ステップＳ６０の処理において、算出した距離が所定の距離以下である場合に（ステップＳ６０：Ｙｅｓ）、搬送台車３０は、台車通信部３３の動作モードを親局モードに設定し、特定の設備４０に紐づいた通信デバイス１０を特定する特定の識別子を含むトリガ信号であって、搬送台車３０と特定の設備４０との間で搬送物１００を受け渡しするための無線通信であるインターロック通信を開始するためのトリガ信号を、無線にて周囲に送信する（ステップＳ７０）。
　トリガ信号が送信されると、特定の通信デバイス１０は、トリガ信号を受信し、受信したトリガ信号に特定の識別子（例えば、ＳＳＩＤなど）が含まれることを確認し、搬送台車３０を通信相手として特定する（ステップＳ８０）。
　特定の通信デバイス１０が、搬送台車３０を通信相手として特定すると、搬送台車３０及び特定の通信デバイス１０は、搬送台車３０と特定の設備４０との間で搬送物１００を受け渡しするための無線通信であるインターロック通信を実行する（ステップＳ９０）。
　ステップＳ９０の処理が終了すると、搬送システム１は、そのインターロック通信開始処理を終了する。
　上述したように、上記構成の搬送システム１は、インターロック通信開始処理において、搬送台車３０と特定の通信デバイス１０との距離が所定の距離以下になると、搬送台車３０と複数の通信デバイス１０のうち特定の通信デバイス１０との間で、無線通信を開始するために搬送台車３０がトリガ信号を送信する。このため、複数の通信デバイス１０は、無線通信を開始するためにトリガ信号を送信する必要がない。よって、複数の通信デバイス１０それぞれがトリガ信号を送信することによる、トリガ信号の相互干渉が生じない。このように、上記構成の搬送システム１によれば、通信障害の発生を抑制することができる。
　（実施の形態２）
　以下、実施の形態１に係る搬送システム１から、その構成の一部が変更された実施の形態２に係る搬送システムについて説明する。
　実施の形態１に係る搬送システム１は、搬送台車３０がトリガ信号を送信する構成の例であった。これに対して、実施の形態に２に係る搬送システムは、特定の通信デバイスがトリガ信号を送信する構成の例となっている。
　図５は、実施の形態２に係る搬送システム１ａの構成図である。
　図５に示されるように、搬送システム１ａは、実施の形態１に係る搬送システム１に対して、実施の形態１に係る搬送台車３０が搬送台車８０に変更され、実施の形態１に係る通信デバイス１０ａ～１０ｋ、１０ｍが、それぞれ通信デバイス６０ａ～６０ｋ、６０ｍに変更され、中継装置９０が追加されて構成される。
　以下、実施の形態１と同様に、通信デバイス６０ａ～６０ｋ，６０ｍのことを、各個体を明示的に区別して説明する必要がある場合を除いて、通信デバイス６０と称する。
　中継装置９０は、搬送台車８０と通信デバイス６０との間の無線通信を中継する。中継装置９０は、例えば、アクセスポイントであってよい。
　以下、搬送システム１ａを構成する各構成要素について、実施の形態１に係る搬送システム１との相違点を中心に、より詳細に説明する。
　図６は、搬送システム１ａの構成を示すブロック図である。
　図６に示されるように、搬送台車８０は、実施の形態１に係る搬送台車３０から、台車制御部３２が台車制御部８２に変更され、台車通信部３３が台車通信部８３に変更されて構成される。
　台車通信部８３は、通信デバイス６０、中継装置９０、及びコントローラ２０と通信する。台車通信部８３は、通信デバイス６０及び中継装置９０との間で無線通信を行い、コントローラ２０との間で、漏洩フィーダ線を利用して非接触で通信を行う。
　台車通信部８３は、実施の形態１に係る台車通信部３３と異なり、動作モードとして、外部にトリガ信号を送信する親局モードを有する必要はない。
　台車制御部８２は、実施の形態１に係る台車制御部３２と同様に、自身の台車位置情報を取得し、受け渡し位置情報を取得し、搬送台車８０と特定の設備４０に接続されている特定の通信デバイス６０との間の距離を算出し、算出した距離が所定の距離以下であるか否かを判定する。
　台車制御部８２は、算出した距離が所定の距離以下であると判定される場合に、トリガ信号を送信すべきことを指示する送信指示を、台車通信部８３を介して、中継装置９０経由で、特定の通信デバイス６０に無線にて送信する。
　台車制御部８２は、複数の通信デバイス６０のいずれかから送信されたトリガ信号を、台車通信部８３を介して受信する。
　台車制御部８２は、複数の通信デバイス６０と、複数の通信デバイス６０それぞれを一意に識別するための複数の識別子（例えば、ＳＳＩＤなど）との対応関係を示す対応情報を記憶する。
　台車制御部８２は、特定の通信デバイス６０から、台車通信部８３を介して特定の通信デバイス６０を識別する特定の識別子を含むトリガ信号を受信すると、その特定の識別子と、対応情報とに基づいて、その特定の通信デバイス６０を通信相手として特定する。そして、この特定結果に従い、台車制御部８２は、台車制御部８２と特定の設備４０との間で搬送物１００を受け渡しするための無線通信であるインターロック通信を、台車通信部８３を介して、特定の通信デバイス６０との間で実行する。
　台車制御部８２は、例えば、受信したトリガ信号に特定の通信デバイス６０を識別する特定の識別子が含まれていることを確認すると、特定の識別子を含むトリガ信号を受信した旨を示す応答信号を、特定の通信デバイス６０に送信するとしてもよい。
　台車制御部８２は、例えば、実施の形態１に係る台車制御部３２と同様に、搬送台車８０の備えるメモリに記憶されるプログラムを搬送台車８０の備えるプロセッサが実行することによって実現される。
　通信デバイス６０は、実施の形態１に係る通信デバイス１０から、通信部１２が通信部６２に変更され、制御部１３が制御部６３に変更されて構成される。
　通信部６２は、搬送台車８０、中継装置９０、及び設備４０と通信する。通信部６２は、搬送台車８０及び中継装置９０との間で無線通信を行い、設備４０との間で、有線ケーブルを介して有線通信を行う。
　通信部６２は、外部にトリガ信号（例えば、ビーコン、ペアリング信号）を送信する親局モードと、外部にトリガ信号を送信しない子局モードとの２つの動作モードを有する。通信部６２の動作モードは、制御部６３によって、親局モードと子局モードとのいずれかに設定される。通信部６２の動作モードは、所定の条件を満たす特別な期間以外の通常時には、子局モードに設定されている。
　制御部６３は、通信デバイス６０を制御する。
　制御部６３は、自身を含む通信デバイス６０を一意に識別するための識別子を記憶する。すなわち、複数の通信デバイス６０は、それぞれを一意に識別するための識別子を、それぞれの制御部６３に記憶する。
　制御部６３は、搬送台車８０から、中継装置９０経由で、通信部６２を介して送信指示を受信すると、通信部６２の動作モードを親局モードに設定する。そして、制御部６３は、搬送台車３０と、自身を含む通信デバイス６０に接続される設備４０との間で無線通信であるインターロック通信を開始するためのトリガ信号を、通信部６２を介して、無線にて周囲に送信する。この際、制御部６３は、記憶する識別子をトリガ信号に含めて送信する。
　トリガ信号が、制御部６３と搬送台車８０との間で無線通信される場合に、制御部６３は、搬送台車８０と制御部６３自身を含む通信デバイス６０に接続される設備４０との間で搬送物１００を受け渡しするための無線通信であるインターロック通信を、通信部６２を介して、搬送台車８０との間で実行する。
　制御部６３は、例えば、トリガ信号を送信した後において、搬送台車８０から、通信部６２を介して、特定の識別子を含むトリガ信号を受信した旨を示す応答信号を受信することで、インターロック通信の実行を開始するとしてもよい。
　制御部６３は、例えば、通信デバイス６０の備えるメモリに記憶されるプログラムを通信デバイス６０の備えるプロセッサが実行することによって実現される。
　以下、上記構成の搬送システム１ａの行う動作について説明する。
　搬送システム１ａは、設備４０と搬送台車８０との間で搬送物１００を受け渡しするためのインターロック通信を開始するインターロック通信開始処理を行う。この実施の形態２に係るインターロック通信開始処理は、実施の形態１に係るインターロック通信開始処理から、その一部の処理が変更された処理となっている。
　図７は、実施の形態２に係るインターロック通信開始処理のフローチャートである。
　インターロック通信開始処理において、ステップＳ１１０の処理～ステップＳ１６０の処理は、それぞれ、実施の形態１に係るインターロック通信開始処理における、ステップＳ１０の処理～ステップＳ６０の処理に対して、通信デバイス１０を通信デバイス６０に読み替えて、搬送台車３０を搬送台車８０に読み替えて、搬送システム１を搬送システム１ａに読み替えた処理と同様の処理となっている。このため、ステップＳ１１０の処理～ステップＳ１６０の処理については、既に説明済みであるとして、ここではそれらの説明を省略し、ステップＳ１７０の処理～ステップＳ２００の処理を中心に説明する。
　ステップＳ１６０の処理において、算出した距離が所定の距離以下である場合に（ステップＳ１６０：Ｙｅｓ）、搬送台車８０は、トリガ信号を送信すべきことを指示する送信指示を、中継装置９０経由で、特定の通信デバイス１０に無線にて送信する（ステップＳ１７０）。
　搬送台車８０から送信指示が送信されると、特定の通信デバイス６０は、中継装置９０経由で、送信信号を受信し、通信部６２の動作モードを親局モードに設定する。そして、特定の通信デバイス６０は、搬送台車３０と、特定の通信デバイス６０に接続される設備４０との間で無線通信であるインターロック通信を開始するためのトリガ信号であって、特定の通信デバイス６０を識別する特定の識別子を含むトリガ信号を、無線にて周囲に送信する（ステップＳ１８０）。
　トリガ信号が送信されると、搬送台車８０は、トリガ信号を受信し、トリガ信号に含まれる特定の識別子と、記憶する対応情報とに基づいて、その特定の通信デバイス１０を通信相手として特定する（ステップＳ１９０）。
　搬送台車８０が、特定の通信デバイス６０を通信相手として特定すると、搬送台車８０及び特定の通信デバイス６０は、搬送台車８０と特定の設備４０との間で搬送物１００を受け渡しするための無線通信であるインターロック通信を実行する（ステップＳ２００）。
　ステップＳ２００の処理が終了すると、搬送システム１ａは、そのインターロック通信開始処理を終了する。
　上述したように、上記構成の搬送システム１ａは、インターロック通信開始処理において、搬送台車８０と特定の通信デバイス６０との距離が所定の距離以下になると、複数の通信デバイス６０のうち、１の特定の通信デバイス６０がトリガ信号を送信する。このため、他の通信デバイス６０は、トリガ信号を送信する必要がない。よって、複数の通信デバイス６０がトリガ信号を送信することによる、トリガ信号の相互干渉が生じない。このように、上記構成の搬送システム１ａによれば、通信障害の発生を抑制することができる。
　（その他の実施の形態）
　以上、本発明に係る制御方法、搬送システム、及び通信デバイスについて、実施の形態１及び実施の形態２に基づいて説明したが、本発明は、これら実施の形態に限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したもの、及び異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本発明の範囲内に含まれる。
　（１）実施の形態１及び実施の形態２において、搬送システムは、搬送台車が、受け渡し位置情報と自身の台車位置情報とに基づいて、搬送台車と特定の通信デバイスとの間の距離を算出し、搬送台車が、算出した距離が所定の距離以下であるか否かを判定する構成であるとして説明した。しかしながら、本発明に係る搬送システムは、搬送台車と、特定の通信デバイスと、コントローラとのうちのいずれかが、受け渡し位置情報と台車位置情報とに基づいて、搬送台車と特定の通信デバイスとの間の距離を算出し、搬送台車と、特定の通信デバイスと、コントローラとのうちのいずれかが、算出した距離が所定の距離以下であるか否かを判定する構成であればよい。
　例えば、コントローラによる、受け渡し位置情報と台車位置情報とに基づく、搬送台車と特定の通信デバイスとの間の距離の算出は、コントローラが、例えば、漏洩フィーダ線に対する非接触通信又は給電リッツ線に信号を重畳させる重畳通信によって、搬送台車から台車位置情報を受信することで実現し得る。
　例えば、特定の通信デバイスによる、受け渡し位置情報と台車位置情報とに基づく、搬送台車と特定の通信デバイスとの間の距離の算出は、特定の通信デバイスが、例えば、中継装置経由の無線通信によって、コントローラから受け渡し位置情報を受信し、特定の通信デバイスが、例えば、中継装置経由の無線通信によって、搬送台車から台車位置情報を受信することで実現し得る。
　例えば、搬送台車が、搬送台車と特定の通信デバイスとの間の距離を算出する場合における、特定の通信デバイスによる、算出した距離が所定の距離以下であるか否かの判定は、特定の通信デバイスが、例えば、中継装置が中継する無線通信によって、搬送台車から算出した距離を示す情報を受信することで実現し得る。
　例えば、特定の通信デバイスが、搬送台車と特定の通信デバイスとの間の距離を算出する場合における、特定の通信デバイスによる、算出した距離が所定の距離以下であるか否かの判定は、特定の通信デバイスが、算出した距離をそのまま利用することで実現し得る。
　例えば、コントローラが、搬送台車と特定の通信デバイスとの間の距離を算出する場合における、コントローラによる、算出した距離が所定の距離以下であるか否かの判定は、コントローラが、算出した距離をそのまま利用することで実現し得る。
　このようなことから、本発明に係る搬送システムの一例として、実施の形態１において説明した搬送システム１と、実施の形態２において説明した搬送システム１ａとに加えて、例えば、以下の搬送システム１ｂ～搬送システム１ｅが考えられる。
　本発明に係る搬送システム１ｂ（図示されず）は、例えば、搬送台車が、受け渡し位置情報と台車位置情報とに基づいて、搬送台車と特定の通信デバイスとの間の距離を算出し、特定の通信デバイスが、算出した距離が所定の距離以下であるか否かを判定し、特定の通信デバイスが、トリガ信号を送信する。
　本発明に係る搬送システム１ｃ（図示されず）は、例えば、特定の通信デバイスが、受け渡し位置情報と台車位置情報とに基づいて、搬送台車と特定の通信デバイスとの間の距離を算出し、特定の通信デバイスが、算出した距離が所定の距離以下であるか否かを判定し、特定の通信デバイスが、トリガ信号を送信する。
　本発明に係る搬送システム１ｄ（図示されず）は、例えば、コントローラが、受け渡し位置情報と台車位置情報とに基づいて、搬送台車と特定の通信デバイスとの間の距離を算出し、コントローラが、算出した距離が所定の距離以下であるか否かを判定し、搬送台車が、トリガ信号を送信する。
　本発明に係る搬送システム１ｅ（図示されず）は、例えば、コントローラが、受け渡し位置情報と台車位置情報とに基づいて、搬送台車と特定の通信デバイスとの間の距離を算出し、コントローラが、算出した距離が所定の距離以下であるか否かを判定し、特定の通信デバイスが、トリガ信号を送信する。
　（２）実施の形態１において、通信デバイス１０に一対一に接続されている設備は、搬送物１００が載置される載置ポートである構成例であったが、これに限らない。例えば、設備は、半導体製造装置５０であってもよい。つまり、複数の通信デバイス１０のそれぞれは、複数の半導体製造装置５０のそれぞれと一対一に接続され、一台の通信デバイス１０が複数の載置ポートを受け持ってもよい。
　また、例えば、設備は、複数の半導体製造装置５０の集まりを１つの単位とする半導体製造装置５０群であってもよい。つまり、複数の通信デバイス１０のそれぞれは、複数の半導体製造装置５０群のそれぞれと一対一に接続され、一台の通信デバイス１０が複数の半導体製造装置５０を受け持ってもよい。
　また、例えば、設備は、複数の載置ポートの集まりを１つの単位とする載置ポート群であってもよい。つまり、複数の通信デバイス１０のそれぞれは、複数の載置ポート群のそれぞれと一対一に接続されていてもよい。言い換えると、１つの通信デバイス１０は、複数の載置ポートの集まりと一対一に接続されていてもよい。
　さらに、例えば、設備は、半導体製造に関する載置ポート又は半導体製造装置５０等でなくてもよい。例えば、設備は、半導体製造と関係のないものであってもよく、置き台等であってもよい。
　（３）実施の形態１におけるインターロック通信開始処理、及び実施の形態２におけるインターロック通信開始処理におけるステップは、コンピュータ（コンピュータシステム）によって実行されてもよい。そして、本発明は、実施の形態１のインターロック通信開始処理、及び実施の形態２のインターロック通信開始処理に含まれるステップを、コンピュータに実行させるためのプログラムとして実現できる。さらに、本発明は、そのプログラムを記録したＣＤ－ＲＯＭ等である非一時的なコンピュータ読み取り可能な記録媒体として実現できる。
　例えば、本発明が、プログラム（ソフトウェア）で実現される場合には、コンピュータのＣＰＵ、メモリおよび入出力回路等のハードウェア資源を利用してプログラムが実行されることによって、各ステップが実行される。つまり、ＣＰＵがデータをメモリまたは入出力回路等から取得して演算したり、演算結果をメモリまたは入出力回路等に出力したりすることによって、各ステップが実行される。
　（４）実施の形態１において、搬送システム１に含まれる複数の構成要素は、それぞれ、専用または汎用の回路として実現されてもよい。これらの構成要素は、１つの回路として実現されてもよいし、複数の回路として実現されてもよい。
　また、搬送システム１に含まれる複数の構成要素は、集積回路（ＩＣ：Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　Ｃｉｒｃｕｉｔ）であるＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ　Ｓｃａｌｅ　Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）として実現されてもよい。これらの構成要素は、個別に１チップ化されてもよいし、一部または全てを含むように１チップ化されてもよい。ＬＳＩは、集積度の違いにより、システムＬＳＩ、スーパーＬＳＩまたはウルトラＬＳＩと呼称される場合がある。
　また、集積回路はＬＳＩに限られず、専用回路または汎用プロセッサで実現されてもよい。上述したように、プログラム可能なＦＰＧＡ、または、ＬＳＩ内部の回路セルの接続および設定が再構成可能なリコンフィギュラブル・プロセッサが、利用されてもよい。
　さらに、半導体技術の進歩または派生する別技術によりＬＳＩに置き換わる集積回路化の技術が登場すれば、当然、その技術を用いて、搬送システム１に含まれる各構成要素の集積回路化が行われてもよい。
　（５）その他、実施の形態１及び実施の形態２に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素および機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。
　本発明は、無線通信によりインターロック処理を行う搬送システム等に利用可能である。
　１、１ａ　搬送システム
　２　走行ルート
　１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、１０ｅ、１０ｆ、１０ｇ、１０ｈ、１０ｉ、１０ｊ、１０ｋ、１０ｍ、６０、６０ａ、６０ｂ、６０ｃ、６０ｄ、６０ｅ、６０ｆ、６０ｇ、６０ｈ、６０ｉ、６０ｊ、６０ｋ、６０ｍ　通信デバイス
　１２、６２　通信部
　１３、６３　制御部
　２０　コントローラ
　３０、８０　搬送台車
　３１　把持部
　３２、８２　台車制御部
　３３、８３　台車通信部
　４０、４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄ、４０ｅ、４０ｆ、４０ｇ、４０ｈ、４０ｉ、４０ｊ、４０ｋ、４０ｍ　設備
　５０、５０ａ、５０ｂ、５０ｃ　半導体製造装置
　５１　ＦＯＵＰ搬入搬出口
　９０　中継装置
　１００　搬送物

Claims (12)

  1. 　搬送物を搬送するための搬送台車と、前記搬送物が受け渡しされる複数の設備に接続された複数の通信デバイスと、前記搬送台車の走行を制御するコントローラと、を備える搬送システムの制御方法であって、
    　前記コントローラが、前記搬送台車が前記搬送物を受け渡しすべき設備を特定する設備特定情報を取得する第１取得ステップと、
    　前記搬送台車が、前記搬送台車の位置を示す台車位置情報を取得する第２取得ステップと、
    　前記搬送台車と、前記設備特定情報によって特定される特定の設備に接続されている特定の通信デバイスと、前記コントローラとのうちのいずれかが、前記特定の設備の位置を示す受け渡し位置情報と前記台車位置情報とに基づいて、前記搬送台車と前記特定の通信デバイスとの間の距離を算出する算出ステップと、
    　前記搬送台車と前記特定の通信デバイスと前記コントローラとのうちのいずれかが、前記距離が所定の距離以下であるか否かを判定する判定ステップと、
    　前記距離が前記所定の距離以下であると判定される場合に、前記搬送台車と前記特定の通信デバイスとのうちの一方が、前記搬送台車と前記特定の設備との間で無線通信を開始するためのトリガ信号を無線にて周囲に送信する第１送信ステップと、
    　前記トリガ信号が前記搬送台車と前記特定の通信デバイスとの間で無線通信される場合に、前記搬送台車及び前記特定の通信デバイスが、前記搬送台車と前記特定の設備との間で前記搬送物を受け渡しするための無線通信を実行する実行ステップと、
    　を含む制御方法。
  2. 　前記制御方法は、さらに、前記搬送台車が、前記特定の設備の位置まで走行することを指示する走行指示を前記コントローラから受信することによって、前記受け渡し位置情報を取得する第３取得ステップを含み、
    　前記算出ステップでは、前記搬送台車が、取得した前記受け渡し位置情報と前記台車位置情報とに基づいて、前記距離を算出し、
    　前記判定ステップでは、前記搬送台車が、前記距離が前記所定の距離以下であるか否かを判定し、
    　前記第１送信ステップでは、前記距離が前記所定の距離以下であると判定される場合に、前記搬送台車が、前記トリガ信号を無線にて周囲に送信する、
    　請求項１に記載の制御方法。
  3. 　前記複数の通信デバイスは、それぞれを一意に識別するための識別子を記憶し、
    　前記第１送信ステップでは、前記搬送台車が、前記特定の通信デバイスを識別するための特定の識別子を含む前記トリガ信号を周囲に送信し、
    　前記実行ステップでは、前記特定の通信デバイスが、前記トリガ信号に前記特定の識別子が含まれることを確認することによって、前記搬送台車を通信相手として特定し、当該特定に基づいて、前記搬送台車及び前記特定の通信デバイスが、前記無線通信を実行する、
    　請求項２に記載の制御方法。
  4. 　前記搬送システムは、さらに、前記搬送台車と、前記複数の通信デバイスとの間の無線通信を中継する中継装置を備え、
    　前記制御方法は、さらに、前記搬送台車が、前記特定の設備の位置まで走行することを指示する走行指示を前記コントローラから受信することによって、前記受け渡し位置情報を取得する第３取得ステップを含み、
    　前記算出ステップでは、前記搬送台車が、取得した前記受け渡し位置情報と前記台車位置情報とに基づいて、前記距離を算出し、
    　前記判定ステップでは、前記搬送台車が、前記距離が前記所定の距離以下であるか否かを判定し、
    　前記制御方法は、さらに、前記距離が前記所定の距離以下であると判定される場合に、前記搬送台車が、前記トリガ信号を送信すべきことを指示する送信指示を、前記中継装置を介して前記特定の通信デバイスに無線にて送信する第２送信ステップを含み、
    　前記第１送信ステップでは、前記送信指示が受信される場合に、前記特定の通信デバイスが、前記トリガ信号を無線にて周囲に送信する、
    　請求項１に記載の制御方法。
  5. 　前記複数の通信デバイスは、それぞれを一意に識別するための識別子を記憶し、
    　前記搬送台車は、前記複数の通信デバイスと複数の前記識別子との対応関係を示す対応情報を記憶し、
    　前記第１送信ステップでは、前記特定の通信デバイスが、前記特定の通信デバイスを識別するための特定の識別子を含む前記トリガ信号を無線にて周囲に送信し、
    　前記実行ステップでは、前記搬送台車が、前記トリガ信号に含まれる前記特定の識別子と、前記対応情報とに基づいて、前記特定の通信デバイスを通信相手として特定し、当該特定に基づいて、前記搬送台車及び前記特定の通信デバイスが、前記無線通信を実行する、
    　請求項４に記載の制御方法。
  6. 　搬送物を搬送するための搬送台車と、前記搬送物が受け渡しされる複数の設備に接続された複数の通信デバイスと、前記搬送台車の走行を制御するコントローラと、を備える搬送システムであって、
    　前記コントローラは、前記搬送台車が前記搬送物を受け渡しすべき設備を特定する設備特定情報を取得し、
    　前記搬送台車は、前記搬送台車の位置を示す台車位置情報を取得し、
    　前記搬送台車と、前記設備特定情報によって特定される特定の設備に接続されている特定の通信デバイスと、前記コントローラとのうちのいずれかは、前記特定の設備の位置を示す受け渡し位置情報と前記台車位置情報とに基づいて、前記搬送台車と前記特定の通信デバイスとの間の距離を算出し、
    　前記搬送台車と前記特定の通信デバイスと前記コントローラとのうちのいずれかは、前記距離が所定の距離以下であるか否かを判定し、
    　前記距離が前記所定の距離以下であると判定される場合に、前記搬送台車と前記特定の通信デバイスとのうちの一方は、前記搬送台車と前記特定の設備との間で無線通信を開始するためのトリガ信号を無線にて周囲に送信し、
    　前記トリガ信号が前記搬送台車と前記特定の通信デバイスとの間で無線通信される場合に、前記搬送台車及び前記特定の通信デバイスは、前記搬送台車と前記特定の設備との間で前記搬送物を受け渡しするための無線通信を実行する、
    　搬送システム。
  7. 　前記搬送台車は、前記特定の設備の位置まで走行することを指示する走行指示を前記コントローラから受信することによって、前記受け渡し位置情報を取得し、
    　前記搬送台車は、取得した前記受け渡し位置情報と前記台車位置情報とに基づいて、前記距離を算出し、
    　前記搬送台車は、前記距離が前記所定の距離以下であるか否かを判定し、
    　前記距離が前記所定の距離以下であると判定される場合に、前記搬送台車は、前記トリガ信号を無線にて周囲に送信する、
    　請求項６に記載の搬送システム。
  8. 　前記複数の通信デバイスは、それぞれを一意に識別するための識別子を記憶し、
    　前記搬送台車は、前記特定の通信デバイスを識別するための特定の識別子を含む前記トリガ信号を周囲に送信し、
    　前記特定の通信デバイスは、前記トリガ信号に前記特定の識別子が含まれることを確認することによって、前記搬送台車を通信相手として特定し、当該特定に基づいて、前記搬送台車及び前記特定の通信デバイスは、前記無線通信を実行する、
    　請求項７に記載の搬送システム。
  9. 　さらに、前記搬送台車と、前記複数の通信デバイスとの間の無線通信を中継する中継装置を備え、
    　前記搬送台車は、前記特定の設備の位置まで走行することを指示する走行指示を前記コントローラから受信することによって、前記受け渡し位置情報を取得し、
    　前記搬送台車は、取得した前記受け渡し位置情報と前記台車位置情報とに基づいて、前記距離を算出し、
    　前記搬送台車は、前記距離が前記所定の距離以下であるか否かを判定し、
    　前記距離が前記所定の距離以下であると判定される場合に、前記搬送台車は、前記トリガ信号を送信すべきことを指示する送信指示を、前記中継装置を介して前記特定の通信デバイスに無線にて送信し、
    　前記送信指示が受信される場合に、前記特定の通信デバイスは、前記トリガ信号を無線にて周囲に送信する、
    　請求項６に記載の搬送システム。
  10. 　前記複数の通信デバイスは、それぞれを一意に識別するための識別子を記憶し、
    　前記搬送台車は、前記複数の通信デバイスと複数の前記識別子との対応関係を示す対応情報を記憶し、
    　前記特定の通信デバイスは、前記特定の通信デバイスを識別するための特定の識別子を含む前記トリガ信号を無線にて周囲に送信し、
    　前記搬送台車は、前記トリガ信号に含まれる前記特定の識別子と、前記対応情報とに基づいて、前記特定の通信デバイスを通信相手として特定し、当該特定に基づいて、前記搬送台車及び前記特定の通信デバイスは、前記無線通信を実行する、
    　請求項９に記載の搬送システム。
  11. 　搬送物が受け渡しされる特定の設備に接続された通信デバイスであって、
    　前記搬送物を搬送するための搬送台車から、前記搬送台車と前記通信デバイスとの間の無線通信を中継する中継装置を介して、前記搬送台車と前記特定の設備との間で無線通信を開始するためのトリガ信号を送信すべきことを指示する送信指示が受信される場合に、前記トリガ信号を無線にて周囲に送信する、
    　通信デバイス。
  12. 　前記通信デバイスを一意に識別するための識別子を記憶し、
    　前記トリガ信号の送信では、記憶する前記識別子を含む前記トリガ信号を無線にて周囲に送信し、
    　前記搬送台車が、受信した前記トリガ信号に含まれる前記識別子に基づいて前記通信デバイスを通信相手として特定した場合に、前記搬送台車と前記特定の設備との間で前記搬送物を受け渡しするための無線通信を、前記搬送台車との間で実行する、
    　請求項１１に記載の通信デバイス。
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