CN118176814A - 无线通信系统、输送台车侧的通信设备以及通信方法 - Google Patents

Abstract

无线通信系统(10)具备：输送台车(1)、输送台车侧的通信设备(11)、以及在与输送台车侧的通信设备(11)之间以规定的周期通过无线通信进行互锁通信的端口侧的通信设备(3)。输送台车侧的通信设备(11)具备判断部(111)和处理部(112)。在配对信号的发送前，判断部(111)判断其他输送台车(1)是否正在使用与用于无线通信的预定的信道相同的信道进行互锁通信。在判断部(111)判断为正在进行上述互锁通信的情况下，处理部(112)控制与互锁通信相关的信号的发送定时，使其与从其他输送台车(1)的与互锁通信相关的信号的发送定时错开。

Description

无线通信系统、输送台车侧的通信设备以及通信方法

技术领域

本发明涉及无线通信系统、输送台车侧的通信设备以及通信方法。

背景技术

在专利文献1公开了一种输送系统，该输送系统具备：输送输送物用的多个输送台车、和与载置输送物的多个端口的每一个分别一对一连接的多个通信设备。在该输送系统中，在输送台车和与端口一对一连接的通信设备之间，进行将输送物移载至端口用的互锁通信(interlock communication)。

专利文献1：国际公开第2019/244466号。

在专利文献1中公开的输送系统中，可能产生以下那样的课题。例如，在多个输送台车与多个通信设备之间分别在相同的信道进行互锁通信。在该情况下，若以彼此较近的间隔设置多个通信设备，则存在从多个输送台车的每一个发送的多个通信数据相互冲突而发生通信错误的可能性。

发明内容

本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种能够减少输送台车与端口侧的通信设备之间的互锁通信中的通信错误的无线通信系统、输送台车侧的通信设备以及通信方法。

为了实现上述目的，本发明的一个方式所涉及的无线通信系统具备：输送台车，其通过沿轨道行驶来输送输送物；输送台车侧的通信设备，其与上述输送台车连接；端口侧的通信设备，其与通过上述输送台车移载上述输送物的端口连接，将从上述输送台车侧的通信设备接收到配对信号作为触发，在与上述输送台车侧的通信设备之间，以规定的周期通过无线通信进行用于在上述端口和上述输送台车之间移载上述输送物的互锁通信。上述输送台车侧的通信设备具备：判断部，其在上述配对信号的发送前，判断其他输送台车是否正在使用和与上述端口侧的通信设备之间的无线通信中使用的预定的信道相同的信道进行上述互锁通信；以及处理部，其在上述判断部判断为上述其他输送台车正在使用上述相同的信道来进行上述互锁通信的情况下，控制与上述互锁通信相关的信号的发送定时，使其与从上述其他输送台车的与上述互锁通信相关的信号的发送定时错开。

根据本方式，即使在较近处存在多个使用相同的信道来进行互锁通信的输送台车的情况下，与互锁通信相关的信号的发送定时也彼此错开，从而难以产生无线通信的干扰。即，根据本方式，能够减少输送台车与端口侧的通信设备之间的互锁通信中的通信错误。

例如，也可以构成为，在上述判断部判断为上述其他输送台车正在使用上述相同的信道来进行上述互锁通信的情况下，上述处理部控制上述配对信号的发送定时，使其与从上述其他输送台车的与上述互锁通信相关的信号的发送定时错开。

根据本方式，即使在较近处存在多个使用相同的信道来进行互锁通信的输送台车的情况下，配对信号的发送定时彼此错开，从而能够使无线通信的干扰难以产生。

例如，也可以构成为，上述输送台车侧的通信设备具备对上述其他输送台车的与上述互锁通信相关的无线通信的信号强度进行检测的检测部，在上述判断部判断为存在多个正在使用上述相同的信道来进行上述互锁通信的上述其他输送台车的情况下，上述处理部基于上述检测部检测出的上述信号强度来决定优先目标，该优先目标是成为使与上述互锁通信相关的信号的发送定时错开的对象的上述其他输送台车。

根据本方式，基于成为表示产生无线干扰的可能性的指标的信号强度来决定优先目标，因此能够有效地抑制无线干扰的产生。

例如，也可以构成为，上述处理部从上述检测部检测出的上述信号强度较大的上述其他输送台车中优先决定为上述优先目标。

根据本方式，将产生无线干扰的可能性比较高的其他输送台车决定为优先目标，因此能够更有效地抑制无线干扰的产生。

例如，也可以构成为，上述处理部将上述检测部检测出的上述信号强度最大的上述其他输送台车决定为上述优先目标。

根据本方式，将产生无线干扰的可能性最高的其他输送台车决定为优先目标，因此能够更有效地抑制无线干扰的产生。

例如，也可以构成为，上述处理部将上述检测部检测出的上述信号强度成为规定的阈值以上的上述其他输送台车决定为上述优先目标。

根据本方式，集中于存在产生无线干扰可能性的其他输送台车决定为优先目标，因此能够更有效地抑制无线干扰的产生。

例如，也可以构成为，在上述判断部判断为存在多个正在使用上述相同的信道来进行上述互锁通信的上述其他输送台车的情况下，上述处理部基于上述其他输送台车中的上述互锁通信的进行状况来决定优先目标，该优先目标是成为与上述互锁通信相关的信号的发送定时错开的对象的上述其他输送台车。

根据本方式，基于成为表示可能产生无线通信的干扰的期间的长度的指标的互锁通信的进行状况来决定优先目标，因此能够有效地抑制无线干扰的产生。

例如，也可以构成为，上述进行状况是移载上述输送物前的移载前步骤、作为正在移载上述输送物中途的移载中步骤、以及移载上述输送物后的移载后步骤中的任一步骤的执行阶段，上述处理部将上述进行状况为上述移载前步骤的执行阶段的上述其他输送台车优先决定为上述优先目标。

根据本方式，到互锁通信的完成为止需要比较长的时间，也就是说，将可能产生无线干扰的期间比较长的其他输送台车决定为优先目标，因此能够更有效地抑制无线干扰的产生。

例如，也可以构成为，上述进行状况是移载上述输送物前的移载前步骤、作为正在移载上述输送物中途的移载中步骤、以及移载上述输送物后的移载后步骤中的任一步骤的执行阶段，上述处理部将上述进行状况为上述移载前步骤的执行阶段的上述其他输送台车、以及上述进行状况为上述移载中步骤的执行阶段的上述其他输送台车优先决定为上述优先目标。

根据本方式，到互锁通信的完成为止需要比较长的时间，也就是说，将可能产生无线干扰的期间比较长的其他输送台车决定为优先目标，因此能够更有效地抑制无线干扰的产生。

例如，也可以构成为，上述进行状况是移载上述输送物前的移载前步骤、作为正在移载上述输送物中途的移载中步骤、以及移载上述输送物后的移载后步骤中的任一步骤的执行阶段，上述处理部将上述进行状况为上述移载后步骤的执行阶段的上述其他输送台车从上述优先目标中除去。

根据本方式，到互锁通信的完成为止需要的时间比较短，也就是说，将可能产生无线干扰的期间比较短的其他输送台车从优先目标中除去，因此变得容易将产生无线干扰的可能性比较高的其他输送台车决定为优先目标，能够更有效地抑制无线干扰的产生。

本发明的一个方式所涉及的输送台车侧的通信设备是与通过沿轨道行驶来输送输送物的输送台车连接的输送台车侧的通信设备，该通信设备具备：判断部，当成为与通过上述输送台车移载上述输送物的端口连接的端口侧的通信设备在与上述输送台车侧的通信设备之间，以规定的周期通过无线通信进行用于在上述端口和上述输送台车之间移载上述输送物的互锁通信的触发的配对信号的发送前，判断其他输送台车是否正在使用和与上述端口侧的通信设备之间的无线通信中使用的预定的信道相同的信道进行上述互锁通信；以及处理部，在上述判断部判断为上述其他输送台车正在使用上述相同的信道来进行上述互锁通信的情况下，控制与上述互锁通信相关的信号的发送定时，使其与从上述其他输送台车的与上述互锁通信相关的信号的发送定时错开。

根据本方式，即使在较近处存在多个使用相同的信道进行互锁通信的输送台车的情况下，与互锁通信相关的信号的发送定时彼此错开，从而难以产生无线通信的干扰。也就是说，根据本方式，能够减少输送台车与端口侧的通信设备之间的互锁通信中的通信错误。

本发明的一个方式所涉及的通信方法是与通过沿轨道行驶来输送输送物的输送台车连接的输送台车侧的通信设备的通信方法，当成为与通过上述输送台车移载上述输送物的端口连接的端口侧的通信设备在与上述输送台车侧的通信设备之间，以规定的周期通过无线通信进行用于在上述端口和上述输送台车之间移载上述输送物的互锁通信的触发的配对信号的发送前，判断其他输送台车是否正在使用和与上述端口侧的通信设备之间的无线通信中使用的预定的信道相同的信道进行上述互锁通信，在判断为上述其他输送台车正在使用上述相同的信道来进行上述互锁通信的情况下，控制与上述互锁通信相关的信号的发送定时，使其与从上述其他输送台车的与上述互锁通信相关的信号的发送定时错开。

根据本方式，即使在比较附近处存在多个使用相同的信道进行互锁通信的输送台车的情况下，与互锁通信相关的信号的发送定时也彼此错开，从而难以产生无线通信的干扰。也就是说，根据本方式，能够减少输送台车与端口侧的通信设备之间的互锁通信中的通信错误。

另外，本发明不仅能够作为装置实现，也能够作为将构成该装置的处理单元作为步骤的方法来实现，或者作为使计算机执行这些步骤的程序来实现，或者作为记录了该程序的计算机可读取的CD-ROM等记录介质来实现，或者作为表示该程序的信息、数据或信号来实现。而且，这些程序、信息、数据以及信号也可以经由互联网等通信网络进行分发。

根据本发明的一个方式所涉及的无线通信系统等，能够减少输送台车与端口侧的通信设备之间的互锁通信中的通信错误。

附图说明

图1是表示实施方式所涉及的无线通信系统的概要的图。

图2是表示将FOUP抓取时的E84互锁序列的一个例子的图。

图3是表示将FOUP卸载时的E84互锁序列的一个例子的图。

图4是表示实施方式所涉及的无线通信系统的功能结构的框图。

图5是表示互锁通信所涉及的通信帧的一个例子的图。

图6是表示管理表格的一个例子的图。

图7是表示实施方式所涉及的无线通信系统中的监测动作的一个例子的流程图。

图8是表示实施方式所涉及的无线通信系统中的目标的决定动作的一个例子的流程图。

图9是表示实施方式所涉及的无线通信系统中的互锁通信动作的一个例子的流程图。

图10是用于对实施方式所涉及的无线通信系统的动作的具体例进行说明的图。

图11是表示实施方式所涉及的无线通信系统的动作的具体例的流程的序列图。

图12是用于对实施方式所涉及的无线通信系统的优点进行说明的图。

具体实施方式

以下，使用附图详细地对本发明的实施方式进行说明。此外，以下说明的实施方式均示出包含性的或者具体的例子。以下的实施方式所示的数值、形状、材料、构成要素、构成要素的配置位置以及连接形式、步骤、步骤的顺序等是一个例子，并不是限定本发明的要旨。另外，以下的实施方式中的构成要素中，独立权利要求中未记载的构成要素被描述为任意的构成要素。

(实施方式)

[1.无线通信系统的概要]

首先，参照图1～图3对实施方式所涉及的无线通信系统10的概要进行说明。图1是表示实施方式所涉及的无线通信系统10的概要的图。

图2是表示抓取FOUP(Front Opening Unified Pod：前开式晶圆传送盒)5时的E84互锁序列的一个例子的图。图3是表示将FOUP5卸载时的E84互锁序列的一个例子的图。这里，“E84互锁序列”是指与SEMI(Semiconductor Equipment and MaterialsInternational：国际半导体设备与材料组织)相关的E84标准所规定的序列。

如图1所示，无线通信系统10例如是在半导体制造工厂内构建的系统。在图1所示的例子中，在构建无线通信系统10的半导体制造工厂内设置有第一输送台车1a、第二输送台车1b、第一半导体处理装置2a、以及第二半导体处理装置2b。另外，在第一输送台车1a以及第二输送台车1b分别搭载有第一输送台车侧的通信设备11a和第二输送台车侧的通信设备11b。并且，在第一半导体处理装置2a和第二半导体处理装置2b分别搭载有第一端口侧的通信设备3a以及第二端口侧的通信设备3b。

另外，在半导体制造工厂中，实际上配置有多个(例如数百台)的输送台车，但为了便于说明，在图1中仅图示了第一输送台车1a以及第二输送台车1b。另外，在半导体制造工厂中，实际上设置有多个(例如数千台)的半导体处理装置，但为了便于说明，在图1中仅图示了第一半导体处理装置2a以及第二半导体处理装置2b。

第一输送台车1a是用于对储存有半导体晶圆的FOUP5进行输送的高架行驶式的输送台车，是所谓的OHT(Overhead Hoist Transfer：空中吊运)。这里，FOUP5是输送台车1(后述)输送的对象的物品的一个例子。以下，只要未特别说明，则假设输送物为FOUP5进行说明。第一输送台车1a沿着设置于半导体制造工厂的顶棚侧的轨道L进行无人行驶。该轨道L例如从半导体制造工厂的顶棚悬挂设置。另外，实施方式的轨道L如图1所示以直线形状表示，但并不限于此。例如，轨道L也可以是由直线以及曲线形成的形状，也可以是格子状。

在第一输送台车1a的内部搭载有用于把持FOUP5的把持部14a。把持部14a能够相对于第一输送台车1a升降。例如在第一输送台车1a与第一半导体处理装置2a的第一端口4a(后述)之间移载FOUP5时，在第一输送台车1a在第一端口4a的正上方的位置停止的状态下，把持部14a从储存于第一输送台车1a的内部的位置下降到第一端口4a的附近位置。另外，在FOUP5的移载完成时，把持部14a从第一端口4a的附近位置上升到第一输送台车1a，并收纳于第一输送台车1a的内部。

另外，在第一输送台车1a的侧面配置有第一输送台车侧的通信设备11a。第一输送台车侧的通信设备11a构成为在与第一端口侧的通信设备3a和第二端口侧的通信设备3b的每一个之间进行无线通信。

第二输送台车1b与第一输送台车1a相同，是用于对储存有半导体晶圆的FOUP5进行输送的高架行驶式的输送台车。第二输送台车1b与第一输送台车1a相同，沿着设置于半导体制造工厂的顶棚的轨道L进行无人行驶。另外，第一输送台车1a的行驶轨道与第二输送台车1b的行驶轨道也可以彼此不同。进一步而言，第一输送台车1a以及第二输送台车1b既可以在相同的轨道上行驶，也可以在彼此不同的轨道上行驶，且能够在多个轨道交叉的位置变更行驶的轨道。

在第二输送台车1b的内部，与第一输送台车1a相同，搭载有用于把持FOUP5的把持部14b。把持部14b能够相对于第二输送台车1b升降。

另外，在第二输送台车1b的侧面配置有第二输送台车侧的通信设备11b。第二输送台车侧的通信设备11b与第一输送台车侧的通信设备11a相同，构成为在与第一端口侧的通信设备3a和第二端口侧的通信设备3b的每一个之间进行无线通信。

另外，如后述那样，第一输送台车侧的通信设备11a构成为监听在其他输送台车即该第一输送台车1a以外的输送台车与第一端口4a或第二端口4b之间进行的无线通信。

第一半导体处理装置2a以及第二半导体处理装置2b均为用于对储存于FOUP5的半导体晶圆进行处理或者临时存放等的装置。在图1所示的例子中，第一半导体处理装置2a以及第二半导体处理装置2b以在轨道L的正下方排列的方式设置。另外，第一半导体处理装置2a以及第二半导体处理装置2b也可以分别设置在彼此不同的轨道的正下方。

第一半导体处理装置2a具有：用于将储存于FOUP5的半导体晶圆相对于半导体处理装置进行搬入以及搬出的第一搬入搬出口40a、以及配置于第一搬入搬出口40a的附近的第一端口4a。另外，第二半导体处理装置2b具有：用于将储存于FOUP5的半导体晶圆相对于半导体处理装置进行搬入以及搬出的第二搬入搬出口40b、以及配置于第二搬入搬出口40b的附近的第二端口4b。

第一端口4a是用于载置FOUP5的装载端口。第一输送台车1a的把持部14a(或者第二输送台车1b的把持部14b)在与第一端口4a之间移载FOUP5。第一端口4a通过第一搬入搬出口40a在与第一半导体处理装置2a之间进行储存于FOUP5的半导体晶圆的交接。

第二端口4b与第一端口4a相同，是用于载置FOUP5的装载端口。第一输送台车1a的把持部14a(或者第二输送台车1b的把持部14b)在与第二端口4b之间移载FOUP5。第二端口4b通过第二搬入搬出口40b在与第二半导体处理装置2b之间进行储存于FOUP5的半导体晶圆的交接。

第一端口侧的通信设备3a是用于对第一输送台车侧的通信设备11a以及第二输送台车侧的通信设备11b的每一个与第一半导体处理装置2a的第一端口4a之间的通信进行中介的设备服务器。第一端口侧的通信设备3a配置于第一半导体处理装置2a的顶面，经由并行电缆Ca，与第一半导体处理装置2a的第一端口4a连接。由此，第一端口侧的通信设备3a能够经由并行电缆Ca，与第一半导体处理装置2a的第一端口4a有线通信。另外，第一端口侧的通信设备3a例如能够通过基于BLE(Bluetooth(注册商标)Low Energy：蓝牙低能耗)的近距离无线通信等，与第一输送台车侧的通信设备11a以及第二输送台车侧的通信设备11b的每一个进行无线通信。在实施方式中，无线通信中使用的频带例如为2.4GHz频带或5.8GHz频带。另外，在该近距离无线通信等中，也可以包含在主设备和从设备之间确立配对，并进行无线通信的无线通信标准(例如，ANT通信等)。

第二端口侧的通信设备3b是用于对第一输送台车侧的通信设备11a以及第二输送台车侧的通信设备11b的每一个与第二半导体处理装置2b的第二端口4b之间的通信进行中介的设备服务器。第二端口侧的通信设备3b配置于第二半导体处理装置2b的顶面，经由并行电缆Cb与第二半导体处理装置2b的第二端口4b连接。由此，第二端口侧的通信设备3b能够经由并行电缆Cb，与第二半导体处理装置2b的第二端口4b进行有线通信。另外，第二端口侧的通信设备3b例如能够通过基于BLE的近距离无线通信等，与第一输送台车侧的通信设备11a以及第二输送台车侧的通信设备11b的每一个进行无线通信。

这里，例如，对通过第一输送台车1a将载置于第一端口4a的FOUP5抓取的情况、以及将FOUP5从第一输送台车1a向第一端口4a卸载的情况进行说明。在该情况下，在上述的无线通信系统10中，通过与SEMI的E84互锁序列相关的互锁通信，在第一输送台车侧的通信设备11a与第一端口侧的通信设备3a之间授受控制信号(以下，也称为“通信数据”)。这里，互锁通信是用于在端口(第一端口4a或第二端口4b)和输送台车(第一输送台车1a或第二输送台车1b)之间移载输送物(FOUP)5的通信。在E84互锁序列中，在第一输送台车1a与第一端口4a之间移载FOUP5时，采用了如果特定的控制信号(例如“L_REQ”)不是关闭则不移至接下来的步骤那样的、由多个步骤构成的互锁序列。

如图2所示，抓取FOUP5时的E84互锁序列由移载前步骤、移载中步骤以及移载后步骤三个步骤构成。另外，如图3所示，将FOUP5卸载时的E84互锁序列与图2相同，由移载前步骤、移载中步骤以及移载后步骤三个步骤构成。另外，对于移载前步骤、移载中步骤以及移载后步骤而言，例如在第一输送台车1a到达应移载FOUP5的第一端口4a的正上方的位置后，在该位置停止的状态下执行。或者，移载前步骤也可以一边使第一输送台车1a在比应移载FOUP5的第一端口4a的正上方靠近前(上游)侧的位置行驶一边执行。另外，移载后步骤也可以一边使第一输送台车1a在比应移载FOUP5的第一端口4a的正上方靠后方(下游)侧的位置行驶一边执行。

如图2以及图3所示，在移载前步骤中，在第一输送台车侧的通信设备11a与第一端口侧的通信设备3a(第一端口4a)之间，授受表示接下来开始FOUP5的移载的旨意的控制信号。在移载中步骤中，在第一输送台车侧的通信设备11a与第一端口侧的通信设备3a(第一端口4a)之间，授受用于执行FOUP5的移载的控制信号，实际上进行FOUP5的移载。在移载后步骤中，在第一输送台车侧的通信设备11a与第一端口侧的通信设备3a(第一端口4a)之间，授受表示FOUP5的移载已完成的旨意的控制信号。

[2.无线通信系统的功能结构]

以下，一边参照图4～图6，一边对实施方式所涉及的无线通信系统10的功能结构进行说明。图4是表示实施方式所涉及的无线通信系统10的功能结构的框图。图5是表示互锁通信所涉及的通信帧61的一个例子的图。图6是表示管理表格62的一个例子的图。

另外，在以下的说明中，在不特别区分第一输送台车1a以及第二输送台车1b等的情况下，称为“输送台车1”。另外，在以下的说明中，在不特别区分第一输送台车1a的把持部14a以及第二输送台车1b的把持部14b等的情况下，称为“把持部14”。另外，在以下的说明中，在不特别区分第一半导体处理装置2a以及第二半导体处理装置2b等的情况下，称为“半导体处理装置2”。另外，在以下的说明中，在不特别区分第一输送台车侧的通信设备11a以及第二输送台车侧的通信设备11b等的情况下，称为“输送台车侧的通信设备11”。另外，在以下的说明中，在不特别说明第一端口侧的通信设备3a以及第二端口侧的通信设备3b等的情况下，称为“端口侧的通信设备3”。另外，在以下的说明中，在不特别区分第一端口4a以及第二端口4b等的情况下，称为“端口4”。

如图4所示，作为功能结构，无线通信系统10具备：输送台车1、输送台车侧的通信设备11、以及端口侧的通信设备3。另外，在图4中，输送台车侧的通信设备11包含于输送台车1的构成要素，但与输送台车1分体构成。当然，输送台车侧的通信设备11也可以与输送台车1一体构成。另外，在图4中，端口侧的通信设备3包含于半导体处理装置2的构成要素，但与半导体处理装置2分体构成。当然，端口侧的通信设备3也可以与半导体处理装置2一体构成。

这里，虽然以一个输送台车1以及一个端口4为焦点进行说明，但以无线通信系统10作为对象的输送台车1以及端口4也可以是多个。在该情况下，无线通信系统10具备：多个输送台车1、多个输送台车侧的通信设备11、以及多个端口侧的通信设备3。

输送台车侧的通信设备11与输送台车1连接，在与端口侧的通信设备3之间，通过无线通信对与互锁通信相关的通信数据进行收发。

这里，作为一个例子，对在输送台车侧的通信设备11与端口侧的通信设备3之间授受的互锁通信所涉及的通信数据进行说明。与该互锁通信相关的通信数据例如是图5所示那样的通信帧61。图5所示的通信帧61包含“SYNC”、“Message Length”、“Message ID”、“输送台车侧无线ID”、“半导体处理装置侧无线ID”、“Option/Message Status”、“PI/O IN8bit”、“PI/O OUT 8bit”、以及“CHECK SUM”的各字段。

“SYNC”是通信帧61的SYNC部。“Message Length”是从通信帧61的“Message ID”到“PI/O OUT 8bit”为止的数据长度。“Message ID”是通信帧61的特殊的标识符。“输送台车侧无线ID”是输送台车侧的通信设备11的识别信息，换言之，是输送台车1的识别信息。“半导体处理装置侧无线ID”是端口侧的通信设备3的识别信息，换言之，是半导体处理装置2的端口的识别信息。“Option/Message Status”是选项指示、以及通信帧61的发送方向(输送台车侧的通信设备11→端口侧的通信设备3、或者端口侧的通信设备3→输送台车侧的通信设备11)。“PI/O IN 8bit”是输入到端口4的并行I/O数据。“PI/O OUT 8bit”是从端口4输出的并行I/O数据。“CHECK SUM”是通信帧61的CHECK SUM部。

返回到图4，输送台车侧的通信设备11具备判断部111、处理部112、以及检测部113。另外，判断部111、处理部112、以及检测部113例如通过处理器读出记录在硬盘或半导体存储器等记录介质中的软件程序并执行来实现。

在配对信号的发送前，判断部111判断其他输送台车1是否正在使用与同端口侧的通信设备3之间的无线通信中使用的预定的信道(无线信道)相同的信道来进行互锁通信。这里，配对信号是用于在输送台车侧的通信设备11与端口侧的通信设备3之间确立同步方式的无线通信的信号。输送台车侧的通信设备11向端口侧的通信设备3发送配对信号，在确立与端口侧的通信设备3的无线通信后，执行与输送台车1和端口4之间的FOUP5的移载相关的各种通信。

另外，这里所说的“其他输送台车1正在进行互锁通信”，具体而言是指，与设置于其他输送台车1的其他输送台车侧的通信设备11发送以及接收的互锁通信相关的信号，和与输送台车(本车)侧的通信设备11发送以及接收的互锁通信相关的信号可能产生干扰的状态。

也就是说，在发送配对信号的前阶段，判断部111监测正在使用相同的信道来进行互锁通信的其他输送台车侧的通信设备11是否存在于无线通信可能产生干扰的范围内。对于判断部111的动作，在后述的[3.无线通信系统的动作]中进行详细说明。

在判断部111判断为其他输送台车1正在使用相同的信道来进行互锁通信的情况下，处理部112控制与互锁通信相关的信号的发送定时，使其和与其他输送台车1的互锁通信相关的信号的发送定时错开。这里，与互锁通信相关的信号包含：在确立了输送台车侧的通信设备11与端口侧的通信设备3之间的无线通信的状态下，从输送台车侧的通信设备11发送的命令信号、以及从接收命令信号的端口侧的通信设备3发送的响应信号。

在判断部111判断为其他输送台车1没有正在进行互锁通信的情况下，处理部112发送配对信号，当自监测结束后经过了作为既定的发送定时的规定时间时，以规定的周期开始命令信号的发送。另一方面，在判断部111判断为其他输送台车1正在进行互锁通信的情况下，处理部112在发送配对信号后，等待了从作为目标的其他输送台车1的发送定时起经过规定的延迟时间后，以规定的周期开始命令信号的发送。这里所说的“目标”是成为使互锁通信所涉及的信号的发送定时错开的对象的其他输送台车1(其他输送台车侧的通信设备11)。也就是说，在判断为其他输送台车1正在进行互锁通信的情况下，处理部112将互锁通信所涉及的信号的发送定时和该其他输送台车1的互锁通信所涉及的信号的发送定时错开规定的延迟时间。

在实施方式中，在判断部111判断为存在多个正在使用相同的信道来进行互锁通信的其他输送台车1的情况下，处理部112基于规定的算法决定优先目标。这里所说的“优先目标”相当于存在多个使用相同的信道正在进行互锁通信的其他输送台车1的情况下的目标。成为优先目标的其他输送台车1例如是多个其他输送台车1中产生无线通信的干扰的可能性最高的输送台车1。

另外，在实施方式中，在判断部111判断为其他输送台车1正在进行互锁通信的情况下，处理部112也将配对信号的发送定时错开。对于处理部112的动作，在后述的[3.无线通信系统的动作]中进行详细说明。

检测部113检测与其他输送台车1的互锁通信相关的无线通信(相同信道)的信号强度。在实施方式中，检测部113检测输送台车侧的通信设备11接收到的无线信号中其他的端口侧的通信设备3所发送的无线信号的RSSI(Received Signal Strength Indicator：接收信号的强度指示)值。

输送台车1具备控制部12、存储部13以及把持部14。

控制部12参照存储部13，并且通过控制输送台车侧的通信设备11来执行各种的处理。另外，控制部12例如通过处理器读出记录在硬盘或半导体存储器等记录介质中的软件程序并执行来实现。

存储部13是存储管理表格62的存储器。例如，如图6所示，管理表格62是针对每个半导体处理装置2(换言之，每个端口4)，表示半导体处理装置2的站号、端口侧的通信设备3的无线信道、以及端口侧的通信设备3的设备号(识别信息)的对应关系的数据表格。在图6所示的例子中，在管理表格62的第一行，将半导体处理装置2的站号“00001”、端口侧的通信设备3的无线信道“001”、以及端口侧的通信设备3的设备号“00001”建立对应关系地储存。

端口侧的通信设备3与端口4有线连接。端口侧的通信设备3以从输送台车侧的通信设备11接收配对信号作为触发，在与输送台车侧的通信设备11之间以规定的周期通过无线通信进行互锁通信。由此，在与通信设备3有线连接的端口4与输送台车侧的通信设备11之间进行互锁通信。端口侧的通信设备3具有通信部31和控制部32。

通信部31在与输送台车侧的通信设备11之间，通过无线通信发送以及接收与互锁通信相关的通信数据。具体而言，通信部31接收从输送台车侧的通信设备11发送的命令信号，并且向输送台车侧的通信设备11发送响应信号。另外，通信部31经由并行电缆，在与端口4之间发送以及接收通信数据。

控制部32通过控制通信部31，执行各种的处理。另外，控制部32例如通过处理器读出记录于硬盘或者半导体存储器等记录介质的软件程序并执行而实现。

端口4通过输送台车1移载输送物(FOUP)5。端口4具有通信部41和控制部42。

通信部41经由并行电缆，在与端口侧的通信设备3之间发送以及接收通信数据。

控制部42通过控制通信部41，执行各种的处理。具体而言，控制部42基于来自端口侧的通信设备3的通信数据，在与输送台车1之间执行用于移载FOUP5的互锁处理。另外，控制部42执行用于通过搬入搬出口在与半导体处理装置2之间进行储存于FOUP5的半导体晶圆的交接的处理。另外，控制部42例如通过处理器读出记录于硬盘或者半导体存储器等记录介质的软件程序并执行而实现。

[3.无线通信系统的动作]

以下，对实施方式所涉及的无线通信系统10，特别是输送台车侧的通信设备11的动作进行说明。

[3-1.基本动作]

首先，一边参照图7～图9，一边对无线通信系统10(输送台车侧的通信设备11)的基本动作进行说明。图7是表示实施方式所涉及的无线通信系统10中的监测动作的一个例子的流程图。图8是表示实施方式所涉及的无线通信系统10中的目标的决定动作的一个例子的流程图。图9是表示实施方式所涉及的无线通信系统10中的互锁通信动作的一个例子的流程图。

输送台车侧的通信设备11的判断部111在开始与成为对象的端口4之间的FOUP5的移载的前阶段，例如在输送台车1移动到成为对象的端口4的近前的位置或者正上方的位置的阶段，开始图7所示的监测动作。在开始监测动作时，判断部111首先清除(复位)内置于输送台车侧的通信设备11的存储器中的监测记录区域(S11)。然后，判断部111启动软件定时器(S12)。由此，开始基于判断部111的监测动作。

在监测动作中，判断部111判断其他输送台车1与其他的端口(成为对象的端口4以外的端口)侧的通信设备3之间的无线通信的有无(S13)。当存在无线通信的情况下(S13：是)，如果所取得的通信帧61中包含的其他输送台车的ID(“输送台车侧无线ID”)是新的(S14：是)，则判断部111将该输送台车侧无线ID写入监测记录区域(S15)。另一方面，在输送台车侧无线ID已经被写入监测记录区域的情况下(S14：否)，判断部111不执行步骤S15。

接下来，判断部111针对每个输送台车侧无线ID，将监测动作的经过时间、和检测部113检测出的RSSI值写入监测记录区域(S16)。并且，判断部111针对每个输送台车侧无线ID，将监测动作的经过时间、所取得的通信帧61的PI/O IN(8bit)值以及PI/O OUT(8bit)值写入监测记录区域(S17)。另外，在其他输送台车侧的通信设备11与其他的端口侧的通信设备3之间不存在无线通信的情况下(S13：否)，判断部111不执行步骤S14～S17。

以下，在从启动软件定时器起动到经过监测时间为止的期间(S18：否)，判断部111重复步骤S13～S17。然后，当从启动软件定时器起经过监测时间时(S18：是)，判断部111结束监测动作。

这样，判断部111针对每个其他输送台车1，取得与互锁通信相关的信号的发送定时、接收时间、规定的周期、互锁通信的进行状况、以及RSSI值。这里所说的“互锁通信的进行状况”是指基于其他输送台车侧的通信设备11与其他的端口侧的通信设备3之间的通信、在其他输送台车1与其他的端口4之间进行的输送物(FOUP)5的移载的进展。在实施方式中，互锁通信的进行状况是移载输送物5前的移载前步骤、正在移载输送物5的中途的移载中步骤、以及移载输送物5后的移载后步骤中的任一步骤的执行阶段。

接下来，输送台车侧的通信设备11的处理部112开始图8所示的目标的决定动作。首先，处理部112基于判断部111的判断结果，确认互锁通信中的其他输送台车1的有无(S21、S22)。当不存在互锁通信中的其他输送台车1的情况下(S21：否)，处理部112不决定目标，而结束目标的决定动作。在该情况下，处理部112执行后述的互锁通信动作中的步骤S36。

在互锁通信中的其他输送台车1为一台的情况下(S21：是、S22：否)，处理部112将该其他输送台车1决定为目标(S28)，并结束目标的决定动作。另一方面，在互锁通信中的其他输送台车1为两台以上的情况下(S22：是)，处理部112通过执行以下的步骤S23～S27，决定优先目标。

首先，处理部112从监测记录区域中读出检测部113检测出的RSSI值较高的前两个输送台车侧无线ID(S23)。也就是说，处理部112在互锁通信中的多个其他输送台车1中，选择RSSI值最高的其他输送台车1、和RSSI值第二高的其他输送台车1。另外，在互锁中的多个其他输送台车1为两台的情况下，处理部112从监测记录区域读出这两台的输送台车侧无线ID。

接下来，处理部112从监测记录区域读出从所选择的前两个输送台车1中取得的通信帧61中的最后(也就是说最新)的通信帧61所包含的PI/O IN(8bit)值以及PI/O OUT(8bit)值(S24)。

这里，在PI/O IN(8bit)值以及PI/O OUT(8bit)值中包含表示互锁通信的进行状况的信息。具体而言，如图2以及图3所示，能够基于E84互锁序列中的特定的控制信号(这里为“CS_0”、“BUSY”、以及“COMPT”)，判断其他输送台车1处于移载前步骤、移载中步骤、以及移载后步骤中的哪一步骤的执行阶段。例如，在“CS_0”为开启，“BUSY”为关闭、以及“COMPT”为关闭的情况下，处理部112判断为其他输送台车1处于移载前步骤的执行阶段。另外，例如，在“CS_0”为开启、“BUSY”为开启、以及“COMPT”为关闭的情况下，处理部112判断为其他输送台车1处于移载中步骤的执行阶段。另外，例如，在“CS_0”为开启、“BUSY”为关闭、以及“COMPT”为开启的情况下，处理部112判断为其他输送台车1处于移载后步骤的执行阶段。另外，在“CS_0”、“BUSY”、以及“COMPT”均为关闭的情况下，处理部112判断为基于其他输送台车1的FOUP5的移载已完成。

而且，如果所选择的前两个输送台车1中的一方的输送台车1的步骤的进行处于比另一方的输送台车1的步骤靠前的状态(S25：是)，则处理部112将一方的输送台车1决定为优先目标(S26)。另外，在所选择的前两个输送台车1中的另一方的输送台车1的步骤的进行处于比一方的输送台车1的步骤靠前的状态(S25：否)，处理部112将另一方的输送台车1决定为优先目标(S27)。这里，移载前步骤是移载中步骤之前的步骤，移载中步骤是移载后步骤之前的步骤。也就是说，处理部112将到完成FOUP5的移载为止所需的时间较长的其他输送台车1判断为可能产生无线通信的干扰的期间较长、也就是说无线通信产生干扰的可能性较高，将这样的其他输送台车1决定为优先目标。处理部112一旦决定优先目标，就结束目标的决定动作。

接下来，处理部112开始图9所示的互锁通信动作。处理部112在决定了目标或优先目标的情况下，也就是说互锁通信中的其他输送台车1存在的情况下，在执行以下的步骤S31～S34后，执行步骤S35、S37～S39。

首先，处理部112设定到目标或优先目标的发送定时为止的时间加上规定的延迟时间后的发送时间(S31)。接下来，处理部112启动软件定时器(S32)，通过发送配对信号来执行与端口侧的通信设备3的配对(S33)。

在从启动软件定时器起(也就是说，从发送配对信号起)到经过发送时间为止的期间(S34：否)，处理部112不特别执行任何操作而待机。而且，若从启动软件定时器起经过了发送时间(S34：是)，则处理部112向端口侧的通信设备3发送命令信号(S35)。由此，输送台车侧的通信设备11在与端口侧的通信设备3之间开始互锁通信。在命令信号的通信帧61中，从输送台车1的控制部12接收到的控制数据被写入“PI/O IN 8bit”。

处理部112在命令信号的发送后，在接收到来自端口侧的通信设备3的响应信号为止的期间(S37：否)，等待响应信号。而且，当接收到来自端口侧的通信设备3的响应信号时(S37：是)，处理部112读出接收到的响应信号中包含的“PI/O OUT 8bit”的数据，并发送到输送台车1的控制部12(S38)。

以下，在与端口侧的通信设备3之间的互锁通信结束为止的期间(S39：否)，处理部112重复步骤S35、S37～S39。而且，当与端口侧的通信设备3之间的互锁通信结束时(S39：是)，处理部112结束互锁通信动作。

另外，在未决定目标或优先目标的情况下，也就是说互锁通信中的其他输送台车1不存在的情况下(S21：否)，处理部112不执行步骤S31～S34，而通过发送配对信号来执行与端口侧的通信设备3的配对(S36)。而且，与已决定目标或优先目标的情况相同，处理部112执行步骤S35、S37～S39。

[3-2.具体例]

以下，参照图10以及图11对实施方式所涉及的无线通信系统10(输送台车侧的通信设备11)的动作的具体例进行说明。图10是用于对实施方式所涉及的无线通信系统10的动作的具体例进行说明的图。图11是表示实施方式所涉及的无线通信系统10的动作的具体例的流程的序列图。

以下，如图10所示，考虑在半导体制造工厂内，依次排列设置有第一半导体处理装置2a、第二半导体处理装置2b、以及第三半导体处理装置2c的情况。另外，在半导体制造工厂内，除了这些半导体处理装置2a～2c之外也设置有半导体处理装置2。在以下的说明中，对于第一输送台车1a以及第二输送台车1b、第一半导体处理装置2a以及第二半导体处理装置2b、第一端口侧的通信设备3a以及第二端口侧的通信设备3b、还有第一端口4a以及第二端口4b，由于已经参照图1进行了说明，因此这里省略说明。

在图10所示的例子中，在半导体制造工厂内，除了第一输送台车1a以及第二输送台车1b之外，还设置有第三输送台车1c。另外，第三半导体处理装置2c具有第三端口4c。在第三端口4c连接有第三端口侧的通信设备3c。

第三输送台车1c与图1所示的其他输送台车1a、1b相同，是用于输送储存半导体晶圆的FOUP5的高架行驶式的输送台车。第三输送台车1c与其他输送台车1a、1b相同，沿设置于半导体制造工厂的顶棚的轨道L进行无人行驶。另外，各输送台车1a～1c行驶的轨道也可以彼此不同。进一步而言，各输送台车1a～1c既可以在相同的轨道上行驶，也可以在彼此不同的轨道上行驶，且能够在多个轨道交叉的位置变更行驶的轨道。

在第三输送台车1c的内部，与其他输送台车1a、1b相同，搭载有用于把持FOUP5的把持部(未图示)。把持部能够相对于第三输送台车1c升降。

另外，在第三输送台车1c的侧面配置有第三输送台车侧的通信设备11c。第三输送台车侧的通信设备11c与其他输送台车侧的通信设备11a、11b相同，构成为在与各端口侧的通信设备3a～3c之间进行无线通信。

另外，第三输送台车侧的通信设备11c构成为监听在其他输送台车即该第三输送台车1c以外的输送台车与任一端口4a～4c之间进行的无线通信。

第三半导体处理装置2c与图1所示的其他的半导体处理装置2a、2b相同，是用于对储存于FOUP5的半导体晶圆进行处理或临时存放等的装置。在图10所示的例中，第三半导体处理装置2c以在轨道L的正下方排列的方式设置。另外，各半导体处理装置2a～2c也可以分别设置于彼此不同的轨道的正下方。

第三半导体处理装置2c具有：用于将储存于FOUP5的半导体晶圆相对于半导体处理装置进行搬入以及搬出的第三搬入搬出口、和配置于搬入搬出口的附近的第三端口4c。

第三端口4c是用于载置FOUP5的装载端口。各输送台车1a～1c的把持部在与第三端口4c之间移载FOUP5。第三端口4c通过第三搬入搬出口，在与第三半导体处理装置2c之间进行储存于FOUP5的半导体晶圆的交接。

第三端口侧的通信设备3c是用于对各输送台车侧的通信设备11a～11c与第三半导体处理装置2c的第三端口4c之间的通信进行中介的设备服务器。第三端口侧的通信设备3c配置于第三半导体处理装置2c的顶面，经由并行电缆，与第三半导体处理装置2c的第三端口4c连接。由此，第三端口侧的通信设备3c能够经由并行电缆，与第三半导体处理装置2c的第三端口4c进行有线通信。另外，第三端口侧的通信设备3c例如能够通过基于BLE(Bluetooth(注册商标)Low Energy：蓝牙低能耗)的近距离无线通信等，与各输送台车侧的通信设备11a～11c的每一个进行无线通信。

另外，以下，对由上位控制器(未图示)指示第一输送台车1a、第二输送台车1b、以及第三输送台车1c移载FOUP5的情况进行说明。

具体而言，第一输送台车1a沿轨道L行驶，在应移载FOUP5的第一端口4a的正上方的位置停止。第二输送台车1b沿轨道L行驶，在应移载FOUP5的第二端口4b的正上方的位置停止。第三输送台车1c沿轨道L行驶，在应移载FOUP5的第三端口4c的正上方的位置停止。第一输送台车1a、第二输送台车1b、以及第三输送台车1c分别具备第一输送台车侧的通信设备11a、第二输送台车侧的通信设备11b、以及第三输送台车侧的通信设备11c。

并且，以下，对在第一输送台车侧的通信设备11a与第一端口侧的通信设备3a之间的互锁通信、在第二输送台车侧的通信设备11b与第二端口侧的通信设备3b之间的互锁通信、以及在第三输送台车侧的通信设备11c与第三端口侧的通信设备3c之间的互锁通信中，均使用相同的无线信道的情况进行说明。也就是说，根据情况这些互锁通信有可能产生干扰。另外，在图10中示出了第一输送台车1a、第二输送台车1b、以及第三输送台车1c同时进行互锁通信的状态。

在图11所示的例子中，首先，第一输送台车侧的通信设备11a(在图示中为“第一通信设备11a”)开始与第一端口侧的通信设备3a(在图示中为“第一通信设备3a”)之间的互锁通信。接着，第二输送台车侧的通信设备11b(在图示中为“第二通信设备11b”)开始与第二端口侧的通信设备3b(在图示中为“第二通信设备3b”)之间的互锁通信。最后，第三输送台车侧的通信设备11c(在图示中为“第三通信设备11c”)开始与第三端口侧的通信设备3c(在图示中为“第三通信设备3c”)之间的互锁通信。

首先，第一输送台车侧的通信设备11a在监测时间TM的期间执行监测(S101)。监测时间TM例如为数百ms。这里，由于互锁通信中的其他输送台车1不存在，因此第一输送台车侧的通信设备11a在监测结束时，发送配对信号P1(S102)，经过规定时间后，发送命令信号C1(S103)。由此，第一输送台车侧的通信设备11a在与第一端口侧的通信设备3a之间开始互锁通信。在互锁通信中，第一输送台车侧的通信设备11a以规定的周期T2重复发送命令信号C1(S103)、并在一定时间T1后接收来自第一端口侧的通信设备3a的响应信号R1(S104)这样一系列的通信。一定时间T1是比延迟时间T3(后述)短的时间，例如为数百μs。另外，规定的周期T2是比延迟时间T3长且比监测时间TM短的时间，例如为数十ms。

接下来，第二输送台车侧的通信设备11b在监测时间TM的期间执行监测(S201)。这里，由于互锁通信中的其他输送台车1存在(第一输送台车1a)，因此第二输送台车侧的通信设备11b将第一输送台车1a决定为目标。而且，第二输送台车侧的通信设备11b在发送配对信号P2后(S202)，在从基于第一输送台车侧的通信设备11a的命令信号C1的发送定时错开延迟时间T3的定时，发送命令信号C2(S203)。延迟时间T3是比一定时间T1长且比规定的周期T2短的时间，例如为1ms。由此，第二输送台车侧的通信设备11b在与第二端口侧的通信设备3b之间开始互锁通信。另外，这里，配对信号P2的发送定时与命令信号C2的发送定时的间隔一定，因此与使命令信号C2的发送定时错开相呼应，结果配对信号P2的发送定时也会错开。

在互锁通信中，第二输送台车侧的通信设备11b以规定的周期T2重复发送命令信号C2(S203)，并在一定时间T1后接收来自第二端口侧的通信设备3b的响应信号R2(S204)这样一系列的通信。因此，第一输送台车1a中的与互锁通信相关的信号的发送定时、和第二输送台车1b中的与互锁通信相关的信号的发送定时基本上错开延迟时间T3，难以产生无线通信的干扰。

最后，第三输送台车侧的通信设备11c在监测时间TM的期间，执行监测(S301)。这里，互锁通信中的其他输送台车1存在两台(第一输送台车1a以及第二输送台车1b)。因此，第三输送台车侧的通信设备11c将第一输送台车1a以及第二输送台车1b的任意一方决定为优先目标。这里，对第三输送台车侧的通信设备11c将第二输送台车1b决定为优先目标的情况进行说明。

而且，第三输送台车侧的通信设备11c在发送配对信号P3后(S302)，在与基于第二输送台车侧的通信设备11b的命令信号C2的发送定时错开延迟时间T3的定时，发送命令信号C3(S303)。由此，第三输送台车侧的通信设备11c在与第三端口侧的通信设备3c之间开始互锁通信。另外，这里，由于配对信号P3的发送定时与命令信号C3的发送定时的间隔一定，因此与使命令信号C2的发送定时错开相呼应，结果配对信号P3的发送定时也会错开。

在互锁通信中，第三输送台车侧的通信设备11c以规定的周期T2重复发送命令信号C3(S303)，并在一定时间T1后接收来自第三端口侧的通信设备3c的响应信号R3(S304)这样一系列的通信。因此，第二输送台车1b中的与互锁通信相关的信号的发送定时、和第三输送台车1c中的与互锁通信相关的信号的发送定时基本上错开延迟时间T3，难以产生无线通信的干扰。

另外，在输送台车1的规定的周期T2与作为目标或优先目标的其他输送台车1的规定的周期T2彼此不同的情况下，可能在多次的互锁通信的任一时间点产生无线通信的干扰。然而，即使在多次的互锁通信中产生一次无线通信的干扰，也不会连续地产生无线通信的干扰，作为互锁通信整体没有妨碍。

[4.优点]

以下，参照图12对实施方式所涉及的无线通信系统10(特别是输送台车侧的通信设备11)的优点进行说明。图12是用于对实施方式的无线通信系统的优点进行说明的图。在图12所示的例子中，多个半导体处理装置2配置在半导体制造工厂内，各半导体处理装置2具有四个端口侧的通信设备3(换言之，各半导体处理装置2具有四个端口4(未图示))。在表示各通信设备3的矩形的内侧记载的数字表示了该通信设备3使用的无线信道。在图12所示的例子中，将使用相同的无线信道的多个端口侧的通信设备3以彼此远离规定距离以上的方式设置。具体而言，设置有使用无线信道“1”的端口侧的通信设备3的区域A1、A2、A3以彼此远离规定距离以上的方式设置，由此尝试防止无线通信的干扰。以下，将区域A1与区域A3之间的距离称为“第一规定距离”，将区域A1与区域A2之间的距离称为“第二规定距离”。

另外，在图12中，例如，存在像区域A1那样使用相同的无线信道的两个端口侧的通信设备3相邻地设置的位置，但这是由于相邻的两个端口侧的通信设备3不会同时进行无线通信，不会引起无线通信的干扰。

例如，假设在相邻的两个端口侧的通信设备3中的一方的端口侧的通信设备3的上方配置有输送台车1(未图示)。在该情况下，由于该输送台车1的尺寸，无法确保用于在另一方的端口侧的通信设备3的上方配置其他输送台车1的空间。也就是说，不会有在相邻的两个端口侧的通信设备3的每一个的上方排列配置两台输送台车1的情况。因此，在相邻的两个端口侧的通信设备3中的一方的端口侧的通信设备3正在进行无线通信的状态下，另一方的端口侧的通信设备3无法进行无线通信，不存在相邻的两个端口侧的通信设备3同时进行无线通信的情况。

这里，如果能够将多个端口侧的通信设备3隔开第一规定距离左右而设置，则能够防止无线通信的干扰。然而，根据能够设置在半导体制造工厂内的空间如何，有时难以将全部的端口侧的通信设备3隔开第一规定距离左右而设置。例如，在图12所示的例子中，有时仅能够将多个端口侧的通信设备3隔开第二规定距离(＜第一规定距离)左右而设置，存在产生无线通信的干扰的可能性。另外，虽然考虑到通过增加使用的无线信道的数量来解决上述课题，但由于可使用的无线信道的数量也有限，因此依然存在没有完全防止无线通信的干扰这样的课题。

因此，在实施方式所涉及的无线通信系统10中，输送台车侧的通信设备11判断其他输送台车1是否正在使用和与端口侧的通信设备3之间的无线通信中使用的预定的信道相同的信道进行互锁通信。而且，在输送台车侧的通信设备11判断为其他输送台车1正在使用相同的信道进行互锁通信的情况下，控制与互锁通信相关的信号的发送定时，使其与其他输送台车1的与互锁通信相关的信号的发送定时错开。

因此，在实施方式所涉及的无线通信系统10中，即使在较近处存在使用相同的信道进行互锁通信的多个输送台车1(换言之，多个端口侧的通信设备3)的情况下，与互锁通信相关的信号的发送定时也彼此错开，从而难以产生无线通信的干扰。也就是说，在实施方式所涉及的无线通信系统10中，能够减少输送台车1(也就是说，输送台车侧的通信设备11)与端口侧的通信设备3之间的互锁通信中的通信错误。

换言之，在实施方式所涉及的无线通信系统10中，无需使多个端口侧的通信设备3彼此远离第一规定距离以上，因此即使增加端口侧的通信设备3的台数，也容易有效地利用半导体制造工厂内的空间。并且，在实施方式所涉及的无线通信系统10中，无需增加信道的数量，因此能够抑制使用的信道的数量，且容易有效地利用可使用的信道。

另外，在实施方式所涉及的无线通信系统10中，在输送台车侧的通信设备11判断为其他输送台车1正在使用相同的信道进行互锁通信的情况下，也控制配对信号的发送定时，使其与其他输送台车1的与互锁通信相关的信号的发送定时错开。因此，在实施方式所涉及的无线通信系统10中，即使在较近处存在多个使用相同的信道进行互锁通信的输送台车1时，配对信号的发送定时彼此错开，从而能够使无线通信的干扰难以产生。其结果，输送台车侧的通信设备11与端口侧的通信设备3之间的配对不易失败。

另外，在实施方式所涉及的无线通信系统10中，在输送台车侧的通信设备11判断为存在多个正在使用相同的信道进行互锁通信的其他输送台车1的情况下，基于检测部113检测出的信号强度决定优先目标。因此，在实施方式所涉及的无线通信系统10中，基于成为表示产生无线干扰的可能性的指标的信号强度来决定优先目标，因此能够有效地抑制无线干扰的产生。

另外，在实施方式所涉及的无线通信系统10中，输送台车侧的通信设备11从检测部113检测出的信号强度较大的其他输送台车1(这里，特别是信号强度的较大的前两个其他输送台车1)中优先决定为优先目标。因此，在实施方式所涉及的无线通信系统10中，将产生无线干扰的可能性比较高的其他输送台车1决定为优先目标，因此能够更有效地抑制无线干扰的产生。

另外，在实施方式所涉及的无线通信系统10中，在输送台车侧的通信设备11判断为存在多个正在使用相同的信道进行互锁通信的其他输送台车1的情况下，基于其他输送台车1中的互锁通信的进行状况来决定优先目标。因此，在实施方式所涉及的无线通信系统10中，基于成为表示可能产生无线通信的干扰的期间的长度的指标的互锁通信的进行状况来决定优先目标，所以能够有效地抑制无线干扰的产生。

(其他的变形例等)

以上，基于上述实施方式对本发明的无线通信系统以及通信方法进行了说明，但本发明并不限于上述实施方式。对于上述实施方式，本领域技术人员想到的变形而得到的方式、以及任意地组合上述各实施方式中的构成要素而实现的其他方式也包含于本发明。

在实施方式中，输送台车侧的通信设备11也可以将检测部113检测出的信号强度最大的其他输送台车1决定为优先目标。由此，将产生无线干扰的可能性最高的其他输送台车1决定为优先目标，因此能够更有效地抑制无线干扰的产生。在该情况下，输送台车侧的通信设备11也可以不基于互锁通信的进行状况来决定优先目标。

另外，在实施方式中，输送台车侧的通信设备11也可以将检测部113检测出的信号强度为规定的阈值以上的其他输送台车1决定为优先目标。由此，集中于可能产生无线干扰的其他输送台车1而决定为优先目标，因此能够更有效地抑制无线干扰的产生。

在实施方式中，输送台车侧的通信设备11也可以将互锁通信的进行状况为移载前步骤的执行阶段的其他输送台车1决定为优先目标。另外，在实施方式中，输送台车侧的通信设备11也可以将互锁通信的进行状况为移载前步骤的执行阶段的其他输送台车1、以及移载中步骤的执行阶段的其他输送台车1决定为优先目标。由此，将完成互锁通信为止需要比较长的时间的、也就是说将可能产生无线干扰的期间比较长的其他输送台车1决定为优先目标，因此能够更有效地抑制无线干扰的产生。

另外，在实施方式中，输送台车侧的通信设备11也可以将互锁通信的进行状况为移载后步骤的执行阶段的其他输送台车1从优先目标中除去。由此，将完成互锁通信为止需要的时间比较短的、也就是说将可能产生无线干扰的期间比较短的其他输送台车1从优先目标中除去，因此变得容易将产生无线干扰的可能性比较高的其他输送台车1决定为优先目标，并能够更有效地抑制无线干扰的产生。

然而，在实施方式中，输送台车侧的通信设备11是无线通信系统10的构成要素之一，但并不限于此。例如，输送台车侧的通信设备11能够单独在市场上流通。即，输送台车侧的通信设备11是与通过沿轨道L行驶来输送输送物5的输送台车1连接的通信设备。而且，输送台车侧的通信设备11具备判断部111和处理部112。在与通过输送台车1移载输送物5的端口4连接的端口侧的通信设备3的配对信号的发送前，判断部111判断其他输送台车1是否正在使用和与端口侧的通信设备3之间的无线通信中使用的预定的信道相同的信道进行互锁通信。配对信号是以规定的周期通过无线通信进行用于在与输送台车侧的通信设备11之间将输送物5移载到端口4的互锁通信的触发的信号。在判断部111判断为其他输送台车1正在使用相同的信道进行互锁通信的情况下，处理部112控制与互锁通信相关的信号的发送定时，其与其他输送台车1的与互锁通信相关的信号的发送定时错开。

在实施方式中，对半导体处理装置2具有一个端口4的情况进行了说明，但并不限于此。例如，半导体处理装置2也可以具有多个端口4。在该情况下，多个端口侧的通信设备3相对于多个端口4分别一对一地连接。

在实施方式中，输送台车侧的通信设备11参照信号强度以及互锁通信的进行状况两者来决定优先目标，但并不限于此。例如，输送台车侧的通信设备11也可以仅参照信号强度来决定优先目标，也可以仅参照互锁通信的进行状况来决定优先目标。在后者的情况下，输送台车侧的通信设备11也可以不具备检测部113。

在实施方式中，成为优先目标的其他输送台车1的台数并不限于一台，也可以是多台。在该情况下，以不与作为优先目标的多个其他输送台车1的发送定时重合的方式设定延迟时间T3。作为一个例子，在存在两台作为优先目标的其他输送台车1的情况下，基于一方的输送台车1的延迟时间、和另一方的输送台车1的延迟时间的最小公倍数，设定延迟时间T3。

另外，在上述实施方式中，各构成要素可以由专用的硬件构成，或者也可以通过执行适用于各构成要素的软件程序来实现。各构成要素也可以通过CPU或处理器等程序执行部读出记录于硬盘或者半导体存储器等记录介质的软件程序并执行而实现。

(总结)

如上所述，第一方式所涉及的无线通信系统10具备：通过沿轨道L行驶输送输送物5的输送台车1、与输送台车1连接的输送台车侧的通信设备11、以及与通过输送台车1移载输送物5的端口4连接，并以从输送台车侧的通信设备11接收到配对信号作为触发，在与输送台车侧的通信设备11之间，以规定的周期通过无线通信进行用于在端口4和输送台车1之间移载输送物5的互锁通信的端口侧的通信设备3。输送台车侧的通信设备11具备：判断部111，在配对信号的发送前，判断其他输送台车1是否正在使用和与端口侧的通信设备3之间的无线通信中使用的预定的信道相同的信道进行互锁通信；以及处理部112，在判断部111判断为其他输送台车1正在使用相同的信道进行互锁通信的情况下，控制与互锁通信相关的信号的发送定时，使其与其他输送台车1的与互锁通信相关的信号的发送定时错开。

另外，在第二方式所涉及的无线通信系统10中，在第一方式中，在判断部111判断为其他输送台车1正在使用相同的信道进行互锁通信的情况下，处理部112控制配对信号的发送定时，使其与其他输送台车1的与互锁通信相关的信号的发送定时错开。

另外，在第三方式所涉及的无线通信系统10中，在第一或第二方式中，输送台车侧的通信设备11具备检测与其他输送台车1的互锁通信相关的无线通信的信号强度的检测部113。在判断部111判断为存在多个正在使用相同的信道进行互锁通信的其他输送台车1的情况下，处理部112基于检测部113检测出的信号强度来决定优先目标，该优先目标是成为与互锁通信相关的信号的发送定时错开的对象的其他输送台车1。

另外，在第四方式所涉及的无线通信系统10中，在第三方式中，处理部112从检测部113检测出的信号强度较大的其他输送台车1中优先决定为优先目标。

另外，在第五方式所涉及的无线通信系统10中，在第四方式中，处理部112将检测部113检测出的信号强度最大的其他输送台车1决定为优先目标。

另外，在第六方式所涉及的无线通信系统10中，在第三方式中，处理部112将检测部113检测出的信号强度为规定的阈值以上的其他输送台车1决定为优先目标。

另外，在第七方式所涉及的无线通信系统10中，在第一～第六的任一方式中，在判断部111判断为存在多个正在使用相同的信道进行互锁通信的其他输送台车1的情况下，处理部112基于其他输送台车1中的互锁通信的进行状况来决定优先目标，该优先目标是成为与互锁通信相关的信号的发送定时错开的对象的其他输送台车1。

另外，在第八方式所涉及的无线通信系统10中，在第七方式中，进行状况是移载输送物5前的移载前步骤、正在移载输送物5的中途的移载中步骤、以及移载输送物5后的移载后步骤中的任一步骤的执行阶段。处理部112将进行状况为移载前步骤的执行阶段的其他输送台车1优先决定为优先目标。

另外，在第九方式所涉及的无线通信系统10中，在第七方式中，进行状况是移载输送物5前的移载前步骤、正在移载输送物5的中途的移载中步骤、以及移载输送物5后的移载后步骤中的任一步骤的执行阶段。处理部112将进行状况为移载前步骤的执行阶段的其他输送台车1、以及进行状况为移载中步骤的执行阶段的其他输送台车1优先决定为优先目标。

另外，在第十方式所涉及的无线通信系统10中，在第七方式中，进行状况是移载输送物5前的移载前步骤、正在移载输送物5的中途的移载中步骤、以及移载输送物5后的移载后步骤中的任一步骤的执行阶段。处理部112将进行状况为移载后步骤的执行阶段的其他输送台车1从优先目标中除去。

另外，第十一方式所涉及的输送台车侧的通信设备11是与通过沿轨道L行驶来输送输送物5的输送台车1连接的输送台车侧的通信设备，该通信设备11具备：判断部111，在与通过输送台车1移载输送物5的端口4连接的端口侧的通信设备3和输送台车侧的通信设备11之间，在发送成为以规定的周期通过无线通信进行用于在端口4和输送台车1之间移载输送物5的互锁通信的触发的配对信号前，判断部111判断其他输送台车1是否正在使用和与端口侧的通信设备3之间的无线通信中使用的预定的信道相同的信道进行互锁通信；以及处理部112，在判断部111判断为其他输送台车1正在使用相同的信道进行互锁通信的情况下，控制与互锁通信相关的信号的发送定时，使其与其他输送台车1的与互锁通信相关的信号的发送定时错开。

另外，第十二方式所涉及的通信方法是与通过沿轨道L行驶输送输送物5的输送台车1连接的输送台车侧的通信设备11的通信方法，对于与通过输送台车1移载输送物5的端口4连接的端口侧的通信设备3而言，在与输送台车侧的通信设备11之间，发送成为以规定的周期通过无线通信进行用于在端口4和输送台车1之间移载输送物5的互锁通信的触发的配对信号前，判断其他输送台车1是否正在使用和与端口侧的通信设备3之间的无线通信中使用的预定的信道相同的信道进行互锁通信，在判断为其他输送台车1正在使用相同的信道进行互锁通信的情况下，控制与互锁通信相关的信号的发送定时，使其与其他输送台车1的与互锁通信相关的信号的发送定时错开。

本发明所涉及的无线通信系统例如能够应用于用于通过沿设置于顶棚的轨道行驶的输送台车来输送FOUP的半导体制造系统等。

1、1a～1c…输送台车；10…无线通信系统；11、11a～11c…输送台车侧的通信设备；111…判断部；112…处理部；113…检测部；12、32、42…控制部；13…存储部；14、14a、14b…把持部；2、2a～2c、100…半导体处理装置；3、3a～3c、端口侧的通信设备；31、41…通信部；4、4a～4c、端口；40a、40b、搬入搬出口；5、FOUP(输送物)；61…通信帧；62…管理表格；A1～A3…区域；L…轨道。

Claims (12)

1.一种无线通信系统，具备：

输送台车，其通过沿轨道行驶来输送输送物；

输送台车侧的通信设备，其与所述输送台车连接；以及

端口侧的通信设备，其与通过所述输送台车移载所述输送物的端口连接，以从所述输送台车侧的通信设备接收到配对信号作为触发，在与所述输送台车侧的通信设备之间，以规定的周期通过无线通信进行用于在所述端口和所述输送台车之间移载所述输送物的互锁通信，

所述输送台车侧的通信设备具备：

判断部，在所述配对信号的发送前，判断其他输送台车是否正在使用和与所述端口侧的通信设备之间的无线通信中使用的预定的信道相同的信道进行所述互锁通信，以及

处理部，在所述判断部判断为所述其他输送台车正在使用所述相同的信道进行所述互锁通信的情况下，控制与所述互锁通信相关的信号的发送定时，使其与所述其他输送台车的与所述互锁通信相关的信号的发送定时错开。

2.根据权利要求1所述的无线通信系统，其中，

在所述判断部判断为所述其他输送台车正在使用所述相同的信道进行所述互锁通信的情况下，所述处理部控制所述配对信号的发送定时，以使得从所述其他输送台车的与所述互锁通信相关的信号的发送定时错开。

3.根据权利要求1或2所述的无线通信系统，其中，

所述输送台车侧的通信设备具备检测所述其他输送台车的与所述互锁通信相关的无线通信的信号强度的检测部，

在所述判断部判断为存在多个正在使用所述相同的信道进行所述互锁通信的所述其他输送台车的情况下，所述处理部基于所述检测部检测出的所述信号强度来决定优先目标，该优先目标是成为使与所述互锁通信相关的信号的发送定时错开的对象的所述其他输送台车。

4.根据权利要求3所述的无线通信系统，其中，

所述处理部从所述检测部检测出的所述信号强度较大的所述其他输送台车中优先决定为所述优先目标。

5.根据权利要求4所述的无线通信系统，其中，

所述处理部将所述检测部检测出的所述信号强度最大的所述其他输送台车决定为所述优先目标。

6.根据权利要求3所述的无线通信系统，其中，

所述处理部将所述检测部检测出的所述信号强度为规定的阈值以上的所述其他输送台车决定为所述优先目标。

7.根据权利要求1或2所述的无线通信系统，其中，

在所述判断部判断为存在多个正在使用所述相同的信道进行所述互锁通信的所述其他输送台车的情况下，所述处理部基于所述其他输送台车中的所述互锁通信的进行状况来决定优先目标，该优先目标是成为使与所述互锁通信相关的信号的发送定时错开的对象的所述其他输送台车。

8.根据权利要求7所述的无线通信系统，其中，

所述进行状况是移载所述输送物前的移载前步骤、正在移载所述输送物的中途的移载中步骤、以及移载所述输送物后的移载后步骤中的任一步骤的执行阶段，

所述处理部将所述进行状况为所述移载前步骤的执行阶段的所述其他输送台车优先决定为所述优先目标。

9.根据权利要求7所述的无线通信系统，其中，

所述进行状况是移载所述输送物前的移载前步骤、正在移载所述输送物的中途的移载中步骤、以及移载所述输送物后的移载后步骤中的任一步骤的执行阶段，

所述处理部将所述进行状况为所述移载前步骤的执行阶段的所述其他输送台车、以及所述进行状况为所述移载中步骤的执行阶段的所述其他输送台车优先决定为所述优先目标。

10.根据权利要求7所述的无线通信系统，其中，

所述进行状况是移载所述输送物前的移载前步骤、正在移载所述输送物的中途的移载中步骤、以及移载所述输送物后的移载后步骤中的任一步骤的执行阶段，

所述处理部将所述进行状况为所述移载后步骤的执行阶段的所述其他输送台车从所述优先目标中除去。

11.一种输送台车侧的通信设备，是与通过沿轨道行驶来输送输送物的输送台车连接的输送台车侧的通信设备，所述通信设备具备：

判断部，当成为与通过所述输送台车移载所述输送物的端口连接的端口侧的通信设备在和所述输送台车侧的通信设备之间，以规定的周期通过无线通信进行用于在所述端口和所述输送台车之间移载所述输送物的互锁通信的触发的配对信号的发送前，判断其他输送台车是否正在使用和与所述端口侧的通信设备之间的无线通信中使用的预定的信道相同的信道进行所述互锁通信，

处理部，在所述判断部判断为所述其他输送台车正在使用所述相同的信道进行所述互锁通信的情况下，控制与所述互锁通信相关的信号的发送定时，使其与从所述其他输送台车的与所述互锁通信相关的信号的发送定时错开。

12.一种通信方法，是与通过沿轨道行驶来输送输送物的输送台车连接的输送台车侧的通信设备的通信方法，

当成为与通过所述输送台车移载所述输送物的端口连接的端口侧的通信设备在和所述输送台车侧的通信设备之间，以规定的周期通过无线通信进行用于在所述端口和所述输送台车之间移载所述输送物的互锁通信的触发的配对信号的发送前，判断其他输送台车是否正在使用和与所述端口侧的通信设备之间的无线通信中使用的预定的信道相同的信道进行所述互锁通信，

在判断为所述其他输送台车正在使用所述相同的信道进行所述互锁通信的情况下，控制与所述互锁通信相关的信号的发送定时，使其与从所述其他输送台车的与所述互锁通信相关的信号的发送定时错开。