TWI851945B - 通信裝置、通信裝置之控制方法及通信系統 - Google Patents

Abstract

本發明之通信裝置(2)具備有：廣域無線通信部(46)，其經由無線存取點(10)，而藉由廣域無線通信在與搬送台車(4)之間收發資訊；近距離無線通信部(50)，其在與通信元件(8)之間，藉由通信範圍較廣域無線通信窄之近距離無線通信來收發資訊；及控制部(54)，其將廣域無線通信部(46)所接收之資訊從廣域無線通信用的資訊轉換為近距離無線通信用的資訊並輸出至近距離無線通信部(50)，且將近距離無線通信部(50)所接收之資訊從近距離無線通信用的資訊轉換為廣域無線通信用的資訊並輸出至廣域無線通信部(46)。

Description

通信裝置、通信裝置之控制方法及通信系統

本發明係關於通信裝置、通信裝置之控制方法及通信系統。

已知有一種半導體製造系統，其具備有用以搬送貯存有半導體晶圓之FOUP(前開式晶圓傳送盒；Front Opening Unified Pod)之高架移行式的搬送台車、及用以對半導體晶圓進行處理之半導體製造裝置(例如參照專利文獻1)。

搬送台車與被連接於半導體製造裝置之載置埠之通信元件之間的通信，可應用SEMI(國際半導體設備與材料產業協會；Semiconductor Equipment and Materials International)之E84通信序列。於在搬送台車與載置埠之間移載FOUP時，控制信號係藉由E84通信序列而於搬送台車與通信元件之間被收發。

E84通信序列係由移載前程序、移載程序及移載後程序之3個步驟所構成。於移載前程序中，表示接下來要開始FOUP之移載之意的控制信號，被在搬送台車與通信元件之間被收發。於移載程序中，用以執行FOUP之移載之控制信號則在搬送台車與通信元件之間被收發，而實際地進行FOUP之移載。於移載後程序中，表示FOUP之移載已完成之意的控制信號，被在搬送台車與通信元件之間被收發。移載前程序、移載程序及移載後程序則在搬送台車停止於載置埠之正上方之位置的狀態下被執行。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2019-117616號公報

(發明所欲解決之問題)

於半導體製造系統中，存在有複數台搬送台車分別在與應移載FOUP之複數個載置埠之各通信元件之間同時以無線通信進行E84通信序列之必要。又，被分配給各載置埠之各通信元件之電力會因為半導體製造裝置而受限，使通信元件存在著有要省電地進行動作之必要。因此，為了避免無線通信之干擾且進行可省電地動作之無線通信，作為搬送台車與通信元件之間的無線通信的方式，被採用通信範圍被限制在近距離(例如3~5 m以內)之近距離無線通信。

然而，近年來在上述之半導體製造系統中，為了進一步提高半導體之製造效率，而提案有在搬送台車之移行中執行E84通信序列之移載前程序及移載後程序者。

然而，於搬送台車與通信元件之間的近距離無線通信中，由於電波輸出強度受到抑制，因此會產生如下的問題：於移載前程序及移載後程序中，在離開載置埠之正上方之位置之位置上移行的搬送台車與通信元件之間的接收電波強度會下降。

本發明係鑒於如此之問題所完成者，其目的在於提供可使搬送台車與通信元件之間的無線通信穩定之通信裝置、通信裝置之控制方法及通信系統。 (解決問題之技術手段)

為了達成上述目的，本發明一態樣之通信裝置係對搬送台車與通信元件之間的通信進行中繼者，該搬送台車係用以搬送被搬送物者，而該通信元件被連接於上述被搬送物在與上述搬送台車之間被移載之移載裝置；其具備有：廣域無線通信部，其經由廣域無線通信基地台，而藉由廣域無線通信在與上述搬送台車之間收發資訊；近距離無線通信部，其在與上述通信元件之間，藉由通信範圍較上述廣域無線通信窄之近距離無線通信來收發資訊；及控制部，其將上述廣域無線通信部所接收之資訊從廣域無線通信用的資訊轉換為近距離無線通信用的資訊並輸出至上述近距離無線通信部，且將上述近距離無線通信部所接收之資訊從近距離無線通信用的資訊轉換為廣域無線通信用的資訊並輸出至上述廣域無線通信部。

根據本態樣，例如即便搬送台車在離開移載裝置之正上方之位置的位置移行中，由於廣域無線通信部亦可經由廣域無線通信基地台(例如無線存取點)，而藉由廣域無線通信在與搬送台車之間收發資訊，因此可避免搬送台車與通信元件之間的接收電波強度下降之情形，而可使搬送台車與通信元件之間的無線通信穩定。又，由於近距離無線通信部在與通信元件之間藉由近距離無線通信來收發資訊，因此其可以低耗電來使通信元件動作。

例如亦可構成為，(i)於上述搬送台車在與上述移載裝置之間移載上述被搬送物之前朝接近上述移載裝置之方向之移行中、或者在與上述移載裝置之間移載上述被搬送物之後朝離開上述移載裝置之方向之移行中，對上述通信元件發送資訊之情形時，上述廣域無線通信部經由上述廣域無線通信基地台，而藉由上述廣域無線通信來接收來自上述搬送台車之資訊；上述控制部將上述廣域無線通信部所接收之資訊從廣域無線通信用的資訊轉換為近距離無線通信用的資訊並輸出至上述近距離無線通信部；上述近距離無線通信部藉由上述近距離無線通信，將由上述控制部所轉換之資訊發送至上述通信元件；而(ii)於上述搬送台車在與上述移載裝置之間移載上述被搬送物之前朝接近上述移載裝置之方向之移行中、或者在與上述移載裝置之間移載上述被搬送物之後朝離開上述移載裝置之方向之移行中，上述通信元件對上述搬送台車發送資訊之情形時，上述近距離無線通信部藉由上述近距離無線通信接收來自上述通信元件之資訊；上述控制部將上述近距離無線通信部所接收之資訊從近距離無線通信用的資訊轉換為廣域無線通信用的資訊，並輸出至上述廣域無線通信部；上述廣域無線通信部經由上述廣域無線通信基地台，而藉由上述廣域無線通信將由上述控制部所轉換之資訊發送至上述搬送台車。

根據本態樣，於例如在搬送台車與通信元件之間應用SEMI之E84通信序列之情形時，即便於E84通信序列之移載前程序或移載後程序中，搬送台車在離開移載裝置之正上方之位置之位置上移行中，亦可使搬送台車與通信元件之間的無線通信穩定。

例如亦可構成為，上述通信裝置進一步具備有取得部，該取得部於上述搬送台車之移行中，取得表示該搬送台車以外之其他搬送台車與上述通信元件之通信狀況的通信狀況資訊；且上述廣域無線通信部將由上述取得部所取得之通信狀況資訊經由上述廣域無線通信基地台，而藉由上述廣域無線通信發送至移行中之該搬送台車。

根據本態樣，移行中之搬送台車根據表示該搬送台車以外之其他搬送台車與通信元件之通信狀況的通信狀況資訊，於例如其他搬送台車在該搬送台車之移行路線上執行E84通信序列之移載程序之情形時，可適當變更移行路線。

例如亦可構成為，上述通信裝置進一步具備有取得部，該取得部於上述搬送台車之移行中，取得表示該搬送台車以外之其他搬送台車之位置的位置資訊；且上述廣域無線通信部將由上述取得部所取得之位置資訊經由上述廣域無線通信基地台，而藉由上述廣域無線通信發送至移行中之該搬送台車。

根據本態樣，移行中之搬送台車根據表示該搬送台車以外之其他搬送台車之位置的位置資訊，於例如其他搬送台車在該搬送台車之移行路線上執行E84通信序列之移載程序之情形時，可適當變更移行路線。

又，本發明一態樣之通信裝置之控制方法係將搬送台車與通信元件之間的通信進行中繼者；該搬送台車係用以搬送被搬送物者；而該通信元件被連接至上述被搬送物在與上述搬送台車之間被移載之移載裝置；該控制方法包含有如下的步驟：(a)經由廣域無線通信基地台，而藉由廣域無線通信接收來自上述搬送台車之資訊；(b)將在上述步驟(a)所接收之資訊，從廣域無線通信用的資訊轉換為近距離無線通信用的資訊；(c)藉由通信範圍較上述廣域無線通信窄之近距離無線通信，將在上述步驟(b)所轉換之資訊發送至上述通信元件；(d)藉由上述近距離無線通信，接收來自上述通信元件之資訊；(e)將在上述步驟(d)所接收之資訊，從近距離無線通信用的資訊轉換為廣域無線通信用的資訊；及(f)經由上述廣域無線通信基地台，而藉由上述廣域無線通信將在上述步驟(e)所轉換之資訊發送至上述搬送台車。

根據本態樣，例如即便搬送台車在與移載裝置之正上方之位置的位置上移行，亦可經由廣域無線通信基地台(例如無線存取點)而藉由廣域無線通信在與搬送台車之間收發資訊，因此可避免搬送台車與通信元件之間的接收電波強度下降至情形，而可使搬送台車與通信元件之間的無線通信穩定。又，由於近距離無線通信部在與通信元件之間藉由近距離無線通信來收發資訊，因此能以低耗電來使通信元件動作。

又，本發明一態樣之通信系統具備有：搬送台車，其用以搬送被搬送物；通信元件，其被連接於上述被搬送物在與上述搬送台車之間被移載之移載裝置；及通信裝置，其將上述搬送台車與上述通信元件之間的通信進行中繼；而上述搬送台車具有經由廣域無線通信基地台，而藉由廣域無線通信在與上述通信裝置之間收發資訊的第1通信部；上述通信元件具有在與上述通信裝置之間藉由通信範圍較上述廣域無線通信窄之近距離無線通信來收發資訊的第2通信部；且上述通信裝置具有：廣域無線通信部，其經由上述廣域無線通信基地台，而藉由上述廣域無線通信在與上述搬送台車之上述第1通信部之間收發資訊；近距離無線通信部，其在與上述通信元件之上述第2通信部之間，藉由上述近距離無線通信來收發資訊；及控制部，其將上述廣域無線通信部所接收之資訊從廣域無線通信用的資訊轉換為近距離無線通信用的資訊並輸出至上述近距離無線通信部，且將上述近距離無線通信部所接收之資訊從近距離無線通信用的資訊轉換為廣域無線通信用的資訊並輸出至上述廣域無線通信部。

根據本態樣，即便例如搬送台車在離開移載裝置之正上方之位置的位置上移行，通信裝置之廣域無線通信部亦可經由廣域無線通信基地台(例如無線存取點)，而藉由廣域無線通信在與搬送台車之第1通信部之間收發資訊，因此可避免搬送台車與通信元件之間的接收電波強度下降之情形，而可使搬送台車與通信元件之間的無線通信穩定。又，由於通信裝置之近距離無線通信部藉由近距離無線通信而在與通信元件之第2通信部之間收發資訊，因此可以低耗電來使通信元件動作。

再者，本發明不僅可作為裝置來實現，亦可作為以構成該裝置之處理手段為步驟之方法來實現、或作為使電腦執行該等步驟之程式來實現、或作為記錄有該程式之電腦可讀取之CD-ROM(唯讀光碟；Compact Disc-Read Only Memory)等之記錄媒體來實現、或作為表示該程式之資訊、資料或信號來實現。而且，該等程式、資訊、資料及信號亦可經由網際網路等之通信網路來發送。 (對照先前技術之功效)

根據本發明一態樣之通信裝置等，可使搬送台車與通信元件之間的無線通信穩定。

以下，對本發明之實施形態，使用圖式詳細地進行說明。再者，以下所說明之實施形態均係表示總括或具體的例子者。以下之實施形態所示之數值、形狀、材料、構成元件、構成元件之配置位置及連接形態、步驟、步驟之順序等僅係為一例，而並非用來限定本發明的主旨。又，以下實施形態之構成元件中未被記載於獨立項之構成元件，被以任意之構成元件來進行說明。

(實施形態) [1.通信系統之概要] 首先，一邊參照圖1至圖3一邊對實施形態之通信系統2之概要進行說明。圖1係表示實施形態之通信系統2的概要圖。圖2係表示對FOUP 14進行抓貨時之E84通信序列之一例的圖。圖3係表示對FOUP 14進行卸貨時之E84通信序列之一例的圖。

如圖1所示，通信系統2例如為被構築於半導體製造工廠內之系統。通信系統2具備有搬送台車4、半導體製造裝置6、通信元件8、無線存取點10、及通信裝置12。

搬送台車4係用以搬送貯存有半導體晶圓之FOUP 14(被搬送物之一例)之高架移行式的搬送台車、即所謂的OHT(懸吊式搬運車；Overhead Hoist Transfer)。搬送台車4沿著被設置於半導體製造工廠之天花板之軌道16自動移行。再者，於半導體製造工廠，雖配置有複數台(例如數百台)搬送台車4，但為了說明上的方便，於圖1中僅圖示1台搬送台車4。

於搬送台車4之內部，可進行升降地搭載有用以把持FOUP 14之把持部18。例如當在搬送台車4與半導體製造裝置6之載置埠22(將於後述之)之間移載FOUP 14時，於搬送台車4停止於載置埠22之正上方之位置之狀態下，把持部18自搬送台車4下降至載置埠22之附近。又，於FOUP 14之移載完成時，把持部18自載置埠22之附近上升至搬送台車4，並被貯存於搬送台車4之內部。

半導體製造裝置6係用以將被貯存於FOUP 14之半導體晶圓進行處理或臨時放置等之裝置，被設置於軌道16之正下方。半導體製造裝置6具有用以搬入及搬出FOUP 14之搬入搬出口20、及被配置於搬入搬出口20之附近的載置埠22(移載裝置之一例)。載置埠22係用以載置FOUP 14之裝載埠。載置埠22在與搬送台車4之把持部18之間移載FOUP 14，且通過搬入搬出口20在與半導體製造裝置6之間進行FOUP 14之交接。

再者，於半導體製造工廠中，設置有數台(例如數千台)半導體製造裝置6，但為了便於說明，在圖1中僅圖示1個半導體製造裝置6。又，本實施形態中，雖已對半導體製造裝置6具有1個載置埠22之情形進行說明，但並不限定於此，亦可具有複數個載置埠22。

通信元件8係用以對搬送台車4與半導體製造裝置6之載置埠22之間的通信進行中介的元件伺服器。通信元件8被配置於半導體製造裝置6之頂面，經由平行纜線24與半導體製造裝置6之載置埠22連接。藉此，通信元件8可與半導體製造裝置6之載置埠22進行通信。通信元件8與搬送台車4之間的通信可應用SEMI之E84通信序列。再者，於半導體製造工廠，設置有與載置埠22之數量相同的通信元件8，但為了說明上的方便，於圖1中僅圖示1個通信元件8。

無線存取點10係無線LAN(區域網路；Local Area Network)中之存取點。無線存取點10對搬送台車4與通信裝置12之間的廣域無線通信進行中介。亦即，搬送台車4及通信裝置12係無線LAN中之站點(station)。再者，廣域無線通信係利用無線LAN所進行之無線通信，其通信範圍例如為以無線存取點10為中心之長寬各約20～30公尺的範圍。無線存取點10係廣域無線通信基地台之一例。

通信裝置12係用以對搬送台車4與通信元件8之間的通信進行中繼之中繼裝置。通信裝置12例如被配置於軌道16之上方。通信裝置12經由無線存取點10，而藉由廣域無線通信在與搬送台車4之間收發資訊。又，通信裝置12在與通信元件8之間藉由近距離無線通信來收發資訊。再者，近距離無線通信例如為利用BLE(低功耗藍牙；Bluetooth(註冊商標) Low Energy)所進行之無線通信，其通信範圍較廣域無線通信之通信範圍窄，例如為以通信裝置12為中心之長寬各約5公尺的範圍。近距離無線通信亦稱為「短程無線通信」。

於上述之通信系統2中，當藉由搬送台車4對被載置於載置埠22上之FOUP 14進行抓貨時、及自搬送台車4將FOUP 14卸貨至載置埠22時，控制信號(資訊)藉由E84通信序列而於搬送台車4與通信元件8之間被收發。於E84通信序列中，採用有如當在搬送台車4與載置埠22之間移載FOUP 14時，特定之控制信號(例如L_REQ)不成為斷開(OFF)則不會移行至下一個製程般之由複數個製程所構成的連鎖序列。

如圖2所示，對FOUP 14進行抓貨時之E84通信序列，係由移載前程序、移載程序及移載後程序之3個步驟所構成。又，如圖3所示，對FOUP 14進行卸貨時之E84通信序列與圖2相同地，由移載前程序、移載程序及移載後程序之3個步驟所構成。

如圖2及圖3所示，於移載前程序中，在搬送台車4與通信元件8之間，收發表示接下來要開始FOUP 14之移載之意的控制信號。於移載程序中，在搬送台車4與通信元件8之間，收發用以執行FOUP 14之移載之控制信號，實際進行FOUP 14之移載。於移載後程序中，在搬送台車4與通信元件8之間，收發表示FOUP 14之移載已完成之意的控制信號。

移載前程序係於搬送台車4朝接近應移載FOUP 14之載置埠22之正上方之位置的方向移行之期間被執行。移載程序係於搬送台車4到達應移載FOUP 14之載置埠22之正上方之位置後，停止於該位置之狀態下被執行。移載後程序係於搬送台車4朝離開已移載FOUP 14之載置埠22之正上方之位置的方向移行之期間被執行。

[2.通信系統之功能構成] 一邊參照圖4至圖6，一邊對實施形態之通信系統2之功能構成進行說明。圖4係表示實施形態之通信系統2之功能構成的方塊圖。圖5係表示廣域無線通信用的資訊之一例的圖。圖6係表示近距離無線通信用的資訊之一例的圖。

如圖4所示，搬送台車4、無線存取點10及通信裝置12被連接於無線網路26。無線網路26例如為依據IEEE802.11系列之無線LAN，由2.4 GHz頻段或5 GHz頻段之WiFi(註冊商標)所構築。

搬送台車4具有廣域無線通信部28(第1通信部之一例)、天線30、近距離無線通信部32、天線34、及控制部36。

廣域無線通信部28經由無線存取點10，而藉由廣域無線通信在與通信裝置12之間收發資訊。天線30係廣域無線通信用天線，被連接於廣域無線通信部28。

近距離無線通信部32在與通信元件8之間，藉由近距離無線通信來收發資訊。天線34係近距離無線通信用天線，被連接於近距離無線通信部32。

控制部36藉由控制廣域無線通信部28及近距離無線通信部32，來執行各種處理。具體而言，控制部36以如下的方式進行控制：搬送台車4於即將到達應移載FOUP 14之載置埠22之正上方之位置前，藉由近距離無線通信部32在與通信元件8之間進行近距離無線通信。又，控制部36亦可以如下的方式進行控制：搬送台車4於應移載FOUP 14之載置埠22之位置及自動移行位置在一定範圍內之情形時，藉由近距離無線通信部32在與通信元件8之間，不經由通信裝置12便進行近距離無線通信。於該情形時，可降低通信裝置12之消耗電力。再者，控制部36例如係藉由處理器讀出並執行被記錄於硬碟或半導體記憶體等之記錄媒體之軟體程式所實現。

半導體製造裝置6之載置埠22具有通信部38及控制部40。

通信部38經由平行纜線24(參照圖1)，在與通信元件8之間收發資訊。

控制部40藉由控制通信部38來執行各種處理。具體而言，控制部40執行用以在與搬送台車4之間移載FOUP 14(參照圖1)之連鎖處理。又，控制部40執行用以通過搬入搬出口20(參照圖1)在與半導體製造裝置6之間進行FOUP 14之交接的處理。再者，控制部40例如係藉由處理器讀出並執行被記錄於硬碟或半導體記憶體等之記錄媒體的軟體程式所實現。

通信元件8具有通信部42(第2通信部之一例)及控制部44。

通信部42經由平行纜線24，在與載置埠22之間收發資訊。又，通信部42在與搬送台車4及通信裝置12之各者之間，藉由近距離無線通信來收發資訊。

控制部44藉由控制通信部42來執行各種處理。再者，控制部44例如係藉由處理器讀出並執行被記錄於硬碟或半導體記憶體等之記錄媒體的軟體程式所實現。

通信裝置12具有廣域無線通信部46、天線48、近距離無線通信部50、天線52、控制部54、及取得部56。

廣域無線通信部46經由無線存取點10，而藉由廣域無線通信在與搬送台車4之間收發資訊。天線48係廣域無線通信用天線，被連接於廣域無線通信部46。

近距離無線通信部50在與通信元件8之間，藉由近距離無線通信來收發資訊。天線52係近距離無線通信用天線，被連接於近距離無線通信部50。再者，於本實施形態中，通信裝置12雖僅具有1組近距離無線通信部50及天線52，但其並不限定於此，例如於在與複數個通信元件8之間同時藉由近距離無線通信來收發資訊之情形時，亦可具有複數組近距離無線通信部50及天線52。

控制部54藉由控制廣域無線通信部46及近距離無線通信部50來執行各種處理。具體而言，控制部54將廣域無線通信部46所接收之資訊從廣域無線通信用的資訊轉換為近距離無線通信用的資訊，並輸出至近距離無線通信部50。又，控制部54將近距離無線通信部50所接收之資訊從近距離無線通信用的資訊轉換為廣域無線通信用的資訊，並輸出至廣域無線通信部46。再者，控制部54例如係藉由處理器讀出並執行被記錄於硬碟或半導體記憶體等之記錄媒體的軟體程式所實現。

此處，廣域無線通信用的資訊例如為如圖5(a)所示般之資料框58。圖5(a)所示之資料框58包含有框控制(Frame Control)、歷時(Duration)、媒體存取控制位址(MAC Address；Media Access Control Address)1～3、序列控制(Seq Control；Sequence Control)、媒體存取控制位址(MAC Address；Media Access Control Address)4、資料(Data)及循環冗餘檢測碼(CRC；Cyclic Redundancy Check)之各欄位。圖5(a)所示之資料之欄位包含有圖5(b)所示之網際網路協定標頭(IP header；Internet Protocol header)、用戶資料包協定標頭(UDP header；User Datagram Protocol header)及通信資料之各欄位。此外，圖5(b)所示之通信資料之欄位包含圖5(c)所示之近距離無線通信頻段、近距離無線通信通道、近距離無線連接目的地裝置ID、近距離無線連接來源ID及近距離無線通信資料之各欄位。此外，圖5(c)所示之近距離無線通信資料之欄位包含圖5(d)所示之發送方向、輸入資料(INPUT DATA)及輸出資料(OUTPUT DATA)之各欄位。

又，近距離無線通信用的資訊例如為如圖6所示般之資料框60。圖6所示之資料框60包含有近距離無線連接目的地裝置ID、近距離無線連接來源ID、發送方向、輸入資料及輸出資料之各欄位。

例如，於廣域無線通信部46接收到圖5之(a)所示之資料框58之情形時，控制部54藉由從廣域無線通信部46所接收之資料框58中擷取圖5(c)及(d)所示之近距離無線連接目的地裝置ID、近距離無線連接來源ID、發送方向、輸入資料及輸出資料之各欄位，來生成圖6所示之資料框60。藉此，控制部54將作為廣域無線通信用的資訊之資料框58轉換為作為近距離無線通信用的資訊之資料框60。

又，例如於近距離無線通信部50接收到圖6所示之資料框60之情形時，控制部54藉由擷取近距離無線通信部50所接收到之資料框60之近距離無線連接目的地裝置ID、近距離無線連接來源ID、發送方向、輸入資料及輸出資料之各欄位，來生成圖5(a)所示之資料框58。藉此，控制部54將作為近距離無線通信用的資訊之資料框60轉換為作為廣域無線通信用的資訊之資料框58。

取得部56於搬送台車4之移行中，取得表示該搬送台車4以外之其他搬送台車(未圖示)與通信元件8之通信狀況的通信狀況資訊。又，於搬送台車4之移行中，取得表示該搬送台車4以外之其他搬送台車之位置的位置資訊。取得部56既可從廣域無線通信部46或近距離無線通信部50取得通信狀況資訊及位置資訊，亦可從總括通信系統2之上位控制器(未圖示)取得通信狀況資訊及位置資訊。

[3.通信系統之動作] [3-1.移載前程序中之通信系統之動作] 一邊參照圖7及圖8，一邊對移載前程序中通信系統2之動作進行說明。圖7係用以說明移載前程序中實施形態之通信系統2之動作的概略圖。圖8係表示移載前程序中實施形態之通信系統2之動作流程的序列圖。

以下，如圖7所示，思考在半導體製造工廠內半導體製造裝置6a、6b、6c、6d、6e、6f(6a～6f)依序地被排列而設置之情形。半導體製造裝置6a～6f分別具有載置埠22a、22b、22c、22d、22e、22f(22a～22f)。於載置埠22a～22f分別連接有通信元件8a、8b、8c、8d、8e、8f(8a～8f)。

又，以下，對搬送台車4在與半導體製造裝置6d之載置埠22d之間移載FOUP 14(參照圖1)之情形進行說明。如圖7所示，移載前程序係於搬送台車4朝接近應移載FOUP 14之載置埠22d之正上方之位置的方向移行之期間被執行。於移載前程序中，表示接下來要開始FOUP 14之移載之意的資訊在搬送台車4與通信元件8d之間被收發。

再者，通信裝置12可藉由近距離無線通信，在與例如通信元件8a～8f之各者之間收發資訊。又，通信裝置12可藉由廣域無線通信，在與正在較半導體製造裝置6d之正上方之位置更靠半導體製造裝置6a側(圖7中之左方)、及較半導體製造裝置6d之正上方之位置更靠半導體製造裝置6f側(圖7中之右方)移行之搬送台車4之間收發資訊。

首先，對搬送台車4對通信元件8d發送資訊之情形進行說明。如圖8所示，搬送台車4之廣域無線通信部28藉由廣域無線通信，對通信裝置12發送資訊(廣域無線通信用的資訊)(S101)。無線存取點10藉由廣域無線通信，將來自該搬送台車4之資訊傳輸至通信裝置12(S102)。

通信裝置12之廣域無線通信部46藉由廣域無線通信，接收從無線存取點10被傳輸而來的資訊(S103)。通信裝置12之控制部54將廣域無線通信部46所接收之資訊，從廣域無線通信用的資訊轉換為近距離無線通信用的資訊(S104)並輸出至近距離無線通信部50。通信裝置12之近距離無線通信部50藉由近距離無線通信，將由控制部54所轉換之資訊(近距離無線通信用的資訊)發送至通信元件8d(S105)。

通信元件8d之通信部42藉由近距離無線通信，接收從通信裝置12被發送而來的資訊(S106)。

其次，對通信元件8d對搬送台車4發送資訊之情形進行說明。如圖8所示，通信元件8d之通信部42藉由近距離無線通信，對通信裝置12發送資訊(近距離無線通信用的資訊)(S107)。

通信裝置12之近距離無線通信部50藉由近距離無線通信，接收從通信元件8d被發送而來的資訊(S108)。通信裝置12之控制部54將近距離無線通信部50所接收之資訊，從近距離無線通信用的資訊轉換為廣域無線通信用的資訊(S109)並輸出至廣域無線通信部46。通信裝置12之廣域無線通信部46藉由廣域無線通信，對搬送台車4發送由控制部54所轉換之資訊(廣域無線通信用的資訊)(S110)。

無線存取點10藉由廣域無線通信，將在步驟S110所發送之來自通信裝置12之資訊傳輸至搬送台車4(S111)。搬送台車4之廣域無線通信部28藉由廣域無線通信，接收從無線存取點10被傳輸而來的資訊(S112)。

[3-2.移載程序中之通信系統之動作] 一邊參照圖9及圖10，一邊對移載程序中之通信系統2之動作進行說明。圖9係用以說明移載程序中實施形態之通信系統2之動作的概略圖。圖10係表示移載程序中實施形態之通信系統2之動作流程的序列圖。

以下，與上述同樣地，對搬送台車4在與半導體製造裝置6d之載置埠22d之間移載FOUP 14之情形進行說明。如圖9所示，移載程序係於搬送台車4停止於應移載FOUP 14之載置埠22d之正上方之位置的狀態下被執行。於移載程序中，用以執行FOUP 14之移載的資訊會在搬送台車4與通信元件8d之間被收發，並實際地進行FOUP 14之移載。

首先，對搬送台車4對通信元件8d發送資訊之情形進行說明。如圖10所示，搬送台車4之近距離無線通信部32藉由近距離無線通信，對通信元件8d發送資訊(近距離無線通信用的資訊)(S201)。通信元件8d之通信部42藉由近距離無線通信，接收從搬送台車4被發送而來的資訊(S202)。

其次，對通信元件8d對搬送台車4發送資訊之情形進行說明。如圖10所示，通信元件8d之通信部42藉由近距離無線通信，對搬送台車4發送資訊(近距離無線通信用的資訊)(S203)。搬送台車4之近距離無線通信部32藉由近距離無線通信，接收從通信元件8d被發送而來的資訊(S204)。

[3-3.移載後程序中之通信系統之動作] 一邊參照圖11，一邊對移載後程序中之通信系統2之動作進行說明。圖11係用以說明移載後程序中實施形態之通信系統2之動作的概略圖。

如圖11所示，移載後程序係於搬送台車4朝離開已移載FOUP 14之載置埠22d之正上方之位置的方向移行之期間被執行。於移載後程序中，與上述圖8同樣地，表示已完成FOUP 14之移載之意的資訊會經由無線存取點10及通信裝置12，而在搬送台車4與通信元件8d之間被收發。

[3-4.其他動作] 如上述般，取得部56於搬送台車4之移行中，取得表示該搬送台車4以外之其他搬送台車與通信元件8a～8f之通信狀況的通信狀況資訊。廣域無線通信部46根據來自移行中之該搬送台車4之要求，將由該取得部56所取得之通信狀況資訊及/或位置資訊經由無線存取點10，而藉由廣域無線通信發送至移行中之該搬送台車4。

藉此，例如在當搬送台車4因移載前程序而朝接近載置埠22d之正上方之位置之方向移行時，其他搬送台車因移載程序而停止於載置埠22d之正上方之位置之情形時，移行中之搬送台車4可根據通信狀況資訊及/或位置資訊，而以繞過載置埠22d之正上方之位置之方式，適當變更移行路線。

[4.效果] 於本實施形態之通信系統2中，例如在E84通信序列之移載前程序或移載後程序中，於搬送台車4在離開載置埠22之正上方之位置的位置上移行時，通信裝置12之廣域無線通信部46經由無線存取點10，而藉由廣域無線通信在與搬送台車4之間收發資訊。藉此，可避免搬送台車4與通信元件8之間的接收電波強度下降之情形，而可使搬送台車4與通信元件8之間的無線通信穩定。

又，通信裝置12之近距離無線通信部50由於藉由近距離無線通信在與通信元件8之間收發資訊，因此能以低耗電使通信元件8動作。藉此，可藉由例如經由被設置於半導體製造裝置6之PI/O(程控輸入輸出；Programmed Input/Output)所供給之電源(24 V、100 mA)，來使通信元件8動作。

又，於E84通信序列之移載程序中，由於資訊之收發在搬送台車4與通信元件8之間藉由近距離無線通信所進行，因此即便於複數台搬送台車4分別在與複數個通信元件8之間同時進行無線通信之情形時，亦可避免無線通信之干擾。

(其他變形例等) 以上，雖已根據上述實施形態對本發明之通信裝置進行說明，但本發明並非被限定於上述實施形態者。對上述實施形態施以熟悉本技藝者可思及之變形而可得到之形態、以及將上述實施形態中之構成元件任意地組合所實現之不同形態亦包含於本發明中。

於上述實施形態中，作為廣域無線通信雖採用WiFi(註冊商標)，但其並不限定於此，例如亦可採用Private LTE(專用長期演進技術；Private Long Term Evolution)、或局部地利用第五代行動通信系統之Local 5G等。於使用該廣域無線通信之情形時，搬送台車4之廣域無線通信部28及天線30、通信裝置12之廣域無線通信部46及天線48、以及通信元件8之通信部42係依據各廣域無線通信之通信標準。

又，於上述實施形態中，關於移載程序中之通信系統2之動作，為了在搬送台車4與通信元件8之間收發用以執行FOUP 14之移載的資訊，雖設為搬送台車4所具備之近距離無線通信部32藉由近距離無線通信來對通信元件8收發資訊(近距離無線通信用的資訊)，但亦可應用與移載前程序及移載後程序中之通信系統2之動作相同的通信方法。亦即，於移載程序中之通信系統2之動作中，搬送台車4經由無線存取點10，而藉由廣域無線通信在與通信裝置12之間收發資訊，使通信裝置12在與通信元件8之間進行近距離無線通信。如此一來，搬送台車4便不存在具備近距離無線通信部32的必要，而可藉由廣域無線通信在與通信元件8之間進行連鎖通信，且可降低搬送台車4之製造成本及設計上的繁雜。

再者，於上述實施形態中，各構成元件亦可由專用之硬體所構成、或者藉由執行適於各構成元件之軟體程式所實現。各構成元件亦可藉由CPU(中央處理單元；Central Processing Unit)或處理器等之程式執行部讀出並執行被記錄於硬碟或半導體記憶體等之記錄媒體的軟體程式所實現。 (產業上之可利用性)

本發明之通信系統可應用於例如用以藉由沿著被設置於天花板之軌道移行之搬送台車來搬送FOUP的半導體製造系統等。

2:通信系統 4:搬送台車 6,6a,6b,6c,6d,6e,6f:半導體製造裝置 8,8a,8b,8c,8d,8e,8f:通信元件 10:無線存取點 12:通信裝置 14:FOUP 16:軌道 18:把持部 20:搬入搬出口 22,22a,22b,22c,22d,22e,22f:載置埠 24:平行纜線 26:無線網路 28,46:廣域無線通信部 30,34,48,52:天線 32,50:近距離無線通信部 36,40,44,54:控制部 38,42:通信部 56:取得部 58,60:資料框

圖1係表示實施形態之通信系統之概要的圖。 圖2係表示對FOUP進行抓貨時之E84通信序列之一例的圖。 圖3係表示對FOUP進行卸貨時之E84通信序列之一例的圖。 圖4係表示實施形態之通信系統之功能構成的方塊圖。 圖5(a)至(d)係表示廣域無線通信用的資訊之一例的圖。 圖6係表示近距離無線通信用的資訊之一例的圖。 圖7係用以說明移載前程序中實施形態之通信系統之動作的概略圖。 圖8係表示移載前程序中實施形態之通信系統之動作流程的序列圖。 圖9係用以說明移載程序中實施形態之通信系統之動作的概略圖。 圖10係表示移載程序中實施形態之通信系統之動作流程的序列圖。 圖11係用以說明移載後程序中實施形態之通信系統之動作的概略圖。

2:通信系統

4:搬送台車

6:半導體製造裝置

8:通信元件

10:無線存取點

12:通信裝置

22:載置埠

26:無線網路

28,46:廣域無線通信部

30,34,48,52:天線

32,50:近距離無線通信部

36,40,44,54:控制部

38,42:通信部

56:取得部

Claims (6)

1. 一種通信裝置，係對搬送台車與通信元件之間的通信進行中繼者；該搬送台車係用以搬送被搬送物，而該通信元件被連接於上述被搬送物在與上述搬送台車之間被移載之移載裝置；該通信裝置具備有： 廣域無線通信部，其經由廣域無線通信基地台，而藉由廣域無線通信在與上述搬送台車之間收發資訊； 近距離無線通信部，其在與上述通信元件之間，藉由通信範圍較上述廣域無線通信窄之近距離無線通信來收發資訊；及 控制部，其將上述廣域無線通信部所接收之資訊從廣域無線通信用的資訊轉換為近距離無線通信用的資訊並輸出至上述近距離無線通信部，且將上述近距離無線通信部所接收之資訊從近距離無線通信用的資訊轉換為廣域無線通信用的資訊並輸出至上述廣域無線通信部。
2. 如請求項1之通信裝置，其中， (i)於上述搬送台車在與上述移載裝置之間移載上述被搬送物之前朝接近上述移載裝置之方向之移行中、或者在與上述移載裝置之間移載上述被搬送物之後朝離開上述移載裝置之方向之移行中，對上述通信元件發送資訊之情形時： 上述廣域無線通信部經由上述廣域無線通信基地台，而藉由上述廣域無線通信接收來自上述搬送台車之資訊； 上述控制部將上述廣域無線通信部所接收之資訊從廣域無線通信用的資訊轉換為近距離無線通信用的資訊，並輸出至上述近距離無線通信部； 上述近距離無線通信部藉由上述近距離無線通信，將由上述控制部所轉換之資訊發送至上述通信元件；而 (ii)於上述搬送台車在與上述移載裝置之間移載上述被搬送物之前朝接近上述移載裝置之方向之移行中、或者在與上述移載裝置之間移載上述被搬送物之後朝離開上述移載裝置之方向之移行中，上述通信元件對上述搬送台車發送資訊之情形時： 上述近距離無線通信部藉由上述近距離無線通信接收來自上述通信元件之資訊； 上述控制部將上述近距離無線通信部所接收之資訊從近距離無線通信用的資訊轉換為廣域無線通信用的資訊，並輸出至上述廣域無線通信部； 上述廣域無線通信部經由上述廣域無線通信基地台，而藉由上述廣域無線通信將由上述控制部所轉換之資訊發送至上述搬送台車。
3. 如請求項2之通信裝置，其中， 上述通信裝置進一步具備有取得部，該取得部於上述搬送台車之移行中，取得表示該搬送台車以外之其他搬送台車與上述通信元件間之通信狀況的通信狀況資訊；且 上述廣域無線通信部將由上述取得部所取得之通信狀況資訊經由上述廣域無線通信基地台，而藉由上述廣域無線通信發送至移行中之該搬送台車。
4. 如請求項2之通信裝置，其中， 上述通信裝置進一步具備有取得部，該取得部於上述搬送台車之移行中，取得表示該搬送台車以外之其他搬送台車之位置的位置資訊；且 上述廣域無線通信部將由上述取得部所取得之位置資訊經由上述廣域無線通信基地台，而藉由上述廣域無線通信發送至移行中之該搬送台車。
5. 一種通信裝置之控制方法，係將搬送台車與通信元件之間的通信進行中繼者；該搬送台車係用以搬送被搬送物者，而該通信元件被連接至上述被搬送物在與上述搬送台車之間被移載之移載裝置；該控制方法包含有如下的步驟： (a)經由廣域無線通信基地台，而藉由廣域無線通信接收來自上述搬送台車之資訊； (b)將在上述步驟(a)所接收之資訊，從廣域無線通信用的資訊轉換為近距離無線通信用的資訊； (c)藉由通信範圍較上述廣域無線通信窄之近距離無線通信，將在上述步驟(b)所轉換之資訊發送至上述通信元件； (d)藉由上述近距離無線通信，接收來自上述通信元件之資訊； (e)將在上述步驟(d)所接收之資訊，從近距離無線通信用的資訊轉換為廣域無線通信用的資訊；及 (f)經由上述廣域無線通信基地台，而藉由上述廣域無線通信將在上述步驟(e)所轉換之資訊發送至上述搬送台車。
6. 一種通信系統，其具備有： 搬送台車，其用以搬送被搬送物； 通信元件，其被連接於上述被搬送物在與上述搬送台車之間被移載之移載裝置；及 通信裝置，其將上述搬送台車與上述通信元件之間的通信進行中繼；而 上述搬送台車具有經由廣域無線通信基地台而藉由廣域無線通信，而在與上述通信裝置之間收發資訊的第1通信部； 上述通信元件具有在與上述通信裝置之間藉由通信範圍較上述廣域無線通信窄之近距離無線通信來收發資訊的第2通信部；且 上述通信裝置具有： 廣域無線通信部，其經由上述廣域無線通信基地台，而藉由上述廣域無線通信在與上述搬送台車之上述第1通信部之間收發資訊； 近距離無線通信部，其在與上述通信元件之上述第2通信部之間，藉由上述近距離無線通信來收發資訊；及 控制部，其將上述廣域無線通信部所接收之資訊從廣域無線通信用的資訊轉換為近距離無線通信用的資訊並輸出至上述近距離無線通信部，且將上述近距離無線通信部所接收之資訊從近距離無線通信用的資訊轉換為廣域無線通信用的資訊並輸出至上述廣域無線通信部。