JP2022090515A - 通信装置、通信装置の制御方法及び通信システム - Google Patents

通信装置、通信装置の制御方法及び通信システム Download PDF

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Abstract

【課題】搬送台車と通信デバイスとの間の無線通信を安定化させることができる通信装置を提供する。【解決手段】通信装置２は、無線アクセスポイント１０を介して、搬送台車４との間で広域無線通信により情報を送受信する広域無線通信部４６と、通信デバイス８との間で、広域無線通信よりも狭い通信範囲の近距離無線通信により情報を送受信する近距離無線通信部５０と、広域無線通信部４６が受信した情報を、広域無線通信用の情報から近距離無線通信用の情報に変換して近距離無線通信部５０に出力し、且つ、近距離無線通信部５０が受信した情報を、近距離無線通信用の情報から広域無線通信用の情報に変換して広域無線通信部４６に出力する制御部５４とを備える。【選択図】図４

Description

本発明は、通信装置、通信装置の制御方法及び通信システムに関する。
半導体ウエハが格納されたＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）を搬送するための天井走行式の搬送台車と、半導体ウエハを処理するための半導体製造装置とを備えた半導体製造システムが知られている（例えば、特許文献１参照）。
搬送台車と、半導体製造装置の載置ポートに接続された通信デバイスとの間の通信には、ＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ａｎｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）のＥ８４通信シーケンスが適用される。搬送台車と載置ポートとの間でＦＯＵＰを移載する際には、Ｅ８４通信シーケンスにより搬送台車と通信デバイスとの間で制御信号が授受される。
Ｅ８４通信シーケンスは、移載前手順、移載手順及び移載後手順の３ステップから成り立っている。移載前手順では、搬送台車と通信デバイスとの間で、これからＦＯＵＰの移載を開始する旨を示す制御信号が授受される。移載手順では、搬送台車と通信デバイスとの間で、ＦＯＵＰの移載を実行するための制御信号が授受され、実際にＦＯＵＰの移載が行われる。移載後手順では、搬送台車と通信デバイスとの間で、ＦＯＵＰの移載が完了した旨を示す制御信号が授受される。移載前手順、移載手順及び移載後手順は、搬送台車が載置ポートの直上の位置で停止した状態で実行される。
特開２０１９－１１７６１６号公報
半導体製造システムにおいては、複数の搬送台車はそれぞれ、ＦＯＵＰを移載すべき複数の載置ポートの各通信デバイスとの間でＥ８４通信シーケンスを、同時に無線通信で行う必要がある。また、半導体製造装置によっては、各載置ポートの各通信デバイスに対して割り当てられる電力が限られているものがあり、通信デバイスは省電力で動作する必要がある。そのため、無線通信の干渉を回避し、且つ、省電力で動作する無線通信を行うために、搬送台車と通信デバイスとの間の無線通信の方式として、通信範囲が近距離（例えば３～５ｍ以内）に制限された近距離無線通信が採用されている。
ところで、近年、上述した半導体製造システムにおいて、半導体の製造効率をより高めるために、Ｅ８４通信シーケンスの移載前手順及び移載後手順を、搬送台車の走行中に実行することが提案されている。
しかしながら、搬送台車と通信デバイスとの間の近距離無線通信では、電波出力強度が抑えられているため、移載前手順及び移載後手順において、載置ポートの直上の位置から離れた位置を走行中の搬送台車と通信デバイスとの間における受信電波強度が低下するという課題が生じる。
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、搬送台車と通信デバイスとの間の無線通信を安定化させることができる通信装置、通信装置の制御方法及び通信システムを提供することである。
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る通信装置は、被搬送物を搬送するための搬送台車と、前記搬送台車との間で前記被搬送物が移載される移載装置に接続された通信デバイスと、の間における通信を中継する通信装置であって、広域無線通信基地局を介して、前記搬送台車との間で広域無線通信により情報を送受信する広域無線通信部と、前記通信デバイスとの間で、前記広域無線通信よりも狭い通信範囲の近距離無線通信により情報を送受信する近距離無線通信部と、前記広域無線通信部が受信した情報を、広域無線通信用の情報から近距離無線通信用の情報に変換して前記近距離無線通信部に出力し、且つ、前記近距離無線通信部が受信した情報を、近距離無線通信用の情報から広域無線通信用の情報に変換して前記広域無線通信部に出力する制御部と、を備える。
本態様によれば、例えば搬送台車が移載装置の直上の位置から離れた位置を走行中であっても、広域無線通信部は、広域無線通信基地局（例えば、無線アクセスポイント）を介して、搬送台車との間で広域無線通信により情報を送受信するので、搬送台車と通信デバイスとの間における受信電波強度が低下するのを回避することができ、搬送台車と通信デバイスとの間の無線通信を安定化させることができる。また、近距離無線通信部は、通信デバイスとの間で近距離無線通信により情報を送受信するので、通信デバイスを低消費電力で動作させることができる。
例えば、（ｉ）前記搬送台車が、前記移載装置との間で前記被搬送物を移載する前に前記移載装置に近付く方向に走行中、又は、前記移載装置との間で前記被搬送物を移載した後に前記移載装置から離れる方向に走行中に、前記通信デバイスに対して情報を送信する場合には、前記広域無線通信部は、前記広域無線通信基地局を介して、前記広域無線通信により前記搬送台車からの情報を受信し、前記制御部は、前記広域無線通信部が受信した情報を、広域無線通信用の情報から近距離無線通信用の情報に変換して前記近距離無線通信部に出力し、前記近距離無線通信部は、前記近距離無線通信により前記制御部で変換された情報を前記通信デバイスに送信し、（ｉｉ）前記搬送台車が、前記移載装置との間で前記被搬送物を移載する前に前記移載装置に近付く方向に走行中、又は、前記移載装置との間で前記被搬送物を移載した後に前記移載装置から離れる方向に走行中の際に、前記通信デバイスが前記搬送台車に対して情報を送信する場合には、前記近距離無線通信部は、前記近距離無線通信により前記通信デバイスからの情報を受信し、前記制御部は、前記近距離無線通信部が受信した情報を、近距離無線通信用の情報から広域無線通信用の情報に変換して前記広域無線通信部に出力し、前記広域無線通信部は、前記広域無線通信基地局を介して、前記広域無線通信により前記制御部で変換された情報を前記搬送台車に送信するように構成してもよい。
本態様によれば、例えば搬送台車と通信デバイスとの間にＳＥＭＩのＥ８４通信シーケンスが適用される場合に、Ｅ８４通信シーケンスの移載前手順又は移載後手順において、搬送台車が移載装置の直上の位置から離れた位置を走行中であっても、搬送台車と通信デバイスとの間の無線通信を安定化させることができる。
例えば、前記通信装置は、さらに、前記搬送台車の走行中に、当該搬送台車以外の他の搬送台車と前記通信デバイスとの通信状況を示す通信状況情報を取得する取得部を備え、前記広域無線通信部は、前記取得部により取得された通信状況情報を、前記広域無線通信基地局を介して前記広域無線通信により走行中の当該搬送台車に送信するように構成してもよい。
本態様によれば、走行中の搬送台車は、当該搬送台車以外の他の搬送台車と通信デバイスとの通信状況を示す通信状況情報に基づいて、例えば他の搬送台車が当該搬送台車の走行ルート上でＥ８４通信シーケンスの移載手順を実行している場合に、走行ルートを適宜変更することができる。
例えば、前記通信装置は、さらに、前記搬送台車の走行中に、当該搬送台車以外の他の搬送台車の位置を示す位置情報を取得する取得部を備え、前記広域無線通信部は、前記取得部により取得された位置情報を、前記広域無線通信基地局を介して前記広域無線通信により走行中の当該搬送台車に送信するように構成してもよい。
本態様によれば、走行中の搬送台車は、当該搬送台車以外の他の搬送台車の位置を示す位置情報に基づいて、例えば他の搬送台車が当該搬送台車の走行ルート上でＥ８４通信シーケンスの移載手順を実行している場合に、走行ルートを適宜変更することができる。
また、本発明の一態様に係る通信装置の制御方法は、被搬送物を搬送するための搬送台車と、前記搬送台車との間で前記被搬送物が移載される移載装置に接続された通信デバイスと、の間における通信を中継する通信装置の制御方法であって、（ａ）広域無線通信基地局を介して、広域無線通信により前記搬送台車からの情報を受信するステップと、（ｂ）前記（ａ）で受信した情報を、広域無線通信用の情報から近距離無線通信用の情報に変換するステップと、（ｃ）前記広域無線通信よりも狭い通信範囲の近距離無線通信により、前記（ｂ）で変換された情報を前記通信デバイスに送信するステップと、（ｄ）前記近距離無線通信により前記通信デバイスからの情報を受信するステップと、（ｅ）前記（ｄ）で受信した情報を、近距離無線通信用の情報から広域無線通信用の情報に変換するステップと、（ｆ）前記広域無線通信基地局を介して、前記広域無線通信により前記（ｅ）で変換された情報を前記搬送台車に送信するステップと、を含む。
本態様によれば、例えば搬送台車が移載装置の直上の位置から離れた位置を走行中であっても、広域無線通信基地局（例えば、無線アクセスポイント）を介して、搬送台車との間で広域無線通信により情報を送受信するので、搬送台車と通信デバイスとの間における受信電波強度が低下するのを回避することができ、搬送台車と通信デバイスとの間の無線通信を安定化させることができる。また、通信デバイスとの間で近距離無線通信により情報を送受信するので、通信デバイスを低消費電力で動作させることができる。
また、本発明の一態様に係る通信システムは、被搬送物を搬送するための搬送台車と、前記搬送台車との間で前記被搬送物が移載される移載装置に接続された通信デバイスと、前記搬送台車と前記通信デバイスとの間における通信を中継する通信装置と、を備え、前記搬送台車は、広域無線通信基地局を介して、前記通信装置との間で広域無線通信により情報を送受信する第１の通信部を有し、前記通信デバイスは、前記通信装置との間で、前記広域無線通信よりも狭い通信範囲の近距離無線通信により情報を送受信する第２の通信部を有し、前記通信装置は、前記広域無線通信基地局を介して、前記搬送台車の前記第１の通信部との間で前記広域無線通信により情報を送受信する広域無線通信部と、前記通信デバイスの前記第２の通信部との間で前記近距離無線通信により情報を送受信する近距離無線通信部と、前記広域無線通信部が受信した情報を、広域無線通信用の情報から近距離無線通信用の情報に変換して前記近距離無線通信部に出力し、且つ、前記近距離無線通信部が受信した情報を、近距離無線通信用の情報から広域無線通信用の情報に変換して前記広域無線通信部に出力する制御部と、を有する。
本態様によれば、例えば搬送台車が移載装置の直上の位置から離れた位置を走行中であっても、通信装置の広域無線通信部は、広域無線通信基地局（例えば、無線アクセスポイント）を介して、搬送台車の第１の通信部との間で広域無線通信により情報を送受信するので、搬送台車と通信デバイスとの間における受信電波強度が低下するのを回避することができ、搬送台車と通信デバイスとの間の無線通信を安定化させることができる。また、通信装置の近距離無線通信部は、通信デバイスの第２の通信部との間で近距離無線通信により情報を送受信するので、通信デバイスを低消費電力で動作させることができる。
なお、本発明は、装置として実現できるだけでなく、その装置を構成する処理手段をステップとする方法として実現したり、それらステップをコンピュータに実行させるプログラムとして実現したり、そのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能なＣＤ－ＲＯＭなどの記録媒体として実現したり、そのプログラムを示す情報、データ又は信号として実現したりすることもできる。そして、それらプログラム、情報、データ及び信号は、インターネット等の通信ネットワークを介して配信してもよい。
本発明の一態様に係る通信装置等によれば、搬送台車と通信デバイスとの間の無線通信を安定化させることができる。
実施の形態に係る通信システムの概要を示す図である。 ＦＯＵＰを荷掴みする際におけるＥ８４通信シーケンスの一例を示す図である。 ＦＯＵＰを荷降ろしする際におけるＥ８４通信シーケンスの一例を示す図である。 実施の形態に係る通信システムの機能構成を示すブロック図である。 広域無線通信用の情報の一例を示す図である。 近距離無線通信用の情報の一例を示す図である。 移載前手順における、実施の形態に係る通信システムの動作を説明するための概略図である。 移載前手順における、実施の形態に係る通信システムの動作の流れを示すシーケンス図である。 移載手順における、実施の形態に係る通信システムの動作を説明するための概略図である。 移載手順における、実施の形態に係る通信システムの動作の流れを示すシーケンス図である。 移載後手順における、実施の形態に係る通信システムの動作を説明するための概略図である。
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的又は具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序等は、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
（実施の形態）
［１．通信システムの概要］
まず、図１～図３を参照しながら、実施の形態に係る通信システム２の概要について説明する。図１は、実施の形態に係る通信システム２の概要を示す図である。図２は、ＦＯＵＰ１４を荷掴みする際におけるＥ８４通信シーケンスの一例を示す図である。図３は、ＦＯＵＰ１４を荷降ろしする際におけるＥ８４通信シーケンスの一例を示す図である。
図１に示すように、通信システム２は、例えば半導体製造工場内に構築されたシステムである。通信システム２は、搬送台車４と、半導体製造装置６と、通信デバイス８と、無線アクセスポイント１０と、通信装置１２とを備えている。
搬送台車４は、半導体ウエハが格納されたＦＯＵＰ１４（被搬送物の一例）を搬送するための天井走行式の搬送台車であり、いわゆるＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｆｅｒ）である。搬送台車４は、半導体製造工場の天井に設置されたレール１６に沿って無人走行する。なお、半導体製造工場には、複数（例えば数百台）の搬送台車４が配置されているが、説明の都合上、図１では１つの搬送台車４のみを図示している。
搬送台車４の内部には、ＦＯＵＰ１４を把持するための把持部１８が昇降可能に搭載されている。例えば搬送台車４と半導体製造装置６の載置ポート２２（後述する）との間でＦＯＵＰ１４を移載する際には、搬送台車４が載置ポート２２の直上の位置で停止している状態で、把持部１８は、搬送台車４から載置ポート２２の近傍まで下降する。また、ＦＯＵＰ１４の移載が完了した際には、把持部１８は、載置ポート２２の近傍から搬送台車４まで上昇して、搬送台車４の内部に格納される。
半導体製造装置６は、ＦＯＵＰ１４に格納された半導体ウエハを処理又は仮置き等するための装置であり、レール１６の直下に設置されている。半導体製造装置６は、ＦＯＵＰ１４を搬入及び搬出するための搬入出口２０と、搬入出口２０の近傍に配置された載置ポート２２（移載装置の一例）とを有している。載置ポート２２は、ＦＯＵＰ１４を載置するためのロードポートである。載置ポート２２は、搬送台車４の把持部１８との間でＦＯＵＰ１４を移載し、且つ、搬入出口２０を通して半導体製造装置６との間でＦＯＵＰ１４の受け渡しを行う。
なお、半導体製造工場には、複数（例えば数千台）の半導体製造装置６が設置されているが、説明の都合上、図１では１つの半導体製造装置６のみを図示している。また、本実施の形態では、半導体製造装置６が１つの載置ポート２２を有する場合について説明したが、これに限定されず、複数の載置ポート２２を有していてもよい。
通信デバイス８は、搬送台車４と半導体製造装置６の載置ポート２２との間の通信を仲介するためのデバイスサーバである。通信デバイス８は、半導体製造装置６の天面に配置されており、パラレルケーブル２４を介して、半導体製造装置６の載置ポート２２と接続されている。これにより、通信デバイス８は、半導体製造装置６の載置ポート２２と通信することができる。通信デバイス８と搬送台車４との間の通信には、ＳＥＭＩのＥ８４通信シーケンスが適用される。なお、半導体製造工場には、載置ポート２２と同数の通信デバイス８が設置されているが、説明の都合上、図１では１つの通信デバイス８のみを図示している。
無線アクセスポイント１０は、無線ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）におけるアクセスポイントである。無線アクセスポイント１０は、搬送台車４と通信装置１２との間の広域無線通信を仲介する。すなわち、搬送台車４及び通信装置１２は、無線ＬＡＮにおけるステーションである。なお、広域無線通信は、無線ＬＡＮによる無線通信であり、その通信範囲は、例えば無線アクセスポイント１０を中心とする約２０～３０ｍ四方である。無線アクセスポイント１０は、広域無線通信基地局の一例である。
通信装置１２は、搬送台車４と通信デバイス８との間における通信を中継するための中継装置である。通信装置１２は、例えばレール１６の上方に配置されている。通信装置１２は、無線アクセスポイント１０を介して、搬送台車４との間で広域無線通信により情報を送受信する。また、通信装置１２は、通信デバイス８との間で近距離無線通信により情報を送受信する。なお、近距離無線通信は、例えばＢＬＥ（Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標） Ｌｏｗ Ｅｎｅｒｇｙ）による無線通信であり、その通信範囲は、広域無線通信の通信範囲よりも狭く、例えば通信装置１２を中心とする約５ｍ四方である。近距離無線通信は、「近接無線通信」ともいう。
上述した通信システム２では、載置ポート２２に載置されたＦＯＵＰ１４を搬送台車４により荷掴みする際、及び、搬送台車４から載置ポート２２にＦＯＵＰ１４を荷降ろしする際には、Ｅ８４通信シーケンスにより搬送台車４と通信デバイス８との間で制御信号（情報）が授受される。Ｅ８４通信シーケンスでは、搬送台車４と載置ポート２２との間でＦＯＵＰ１４を移載する際に、特定の制御信号（例えばＬ＿ＲＥＱ）がオフとならないと次の工程には移行しないような、複数の工程からなるインターロックシーケンスが採用されている。
図２に示すように、ＦＯＵＰ１４を荷掴みする際におけるＥ８４通信シーケンスは、移載前手順、移載手順及び移載後手順の３つのステップから成り立っている。また、図３に示すように、ＦＯＵＰ１４を荷降ろしする際におけるＥ８４通信シーケンスは、図２と同様に、移載前手順、移載手順及び移載後手順の３つのステップから成り立っている。
図２及び図３に示すように、移載前手順では、搬送台車４と通信デバイス８との間で、これからＦＯＵＰ１４の移載を開始する旨を示す制御信号が授受される。移載手順では、搬送台車４と通信デバイス８との間で、ＦＯＵＰ１４の移載を実行するための制御信号が授受され、実際にＦＯＵＰ１４の移載が行われる。移載後手順では、搬送台車４と通信デバイス８との間で、ＦＯＵＰ１４の移載が完了した旨を示す制御信号が授受される。
移載前手順は、搬送台車４がＦＯＵＰ１４を移載すべき載置ポート２２の直上の位置に近付く方向に走行している間に実行される。移載手順は、搬送台車４がＦＯＵＰ１４を移載すべき載置ポート２２の直上の位置に到着した後に、当該位置で停止した状態で実行される。移載後手順は、搬送台車４がＦＯＵＰ１４を移載した載置ポート２２の直上の位置から離れる方向に走行している間に実行される。
［２．通信システムの機能構成］
図４～図６を参照しながら、実施の形態に係る通信システム２の機能構成について説明する。図４は、実施の形態に係る通信システム２の機能構成を示すブロック図である。図５は、広域無線通信用の情報の一例を示す図である。図６は、近距離無線通信用の情報の一例を示す図である。
図４に示すように、搬送台車４、無線アクセスポイント１０及び通信装置１２は、無線ネットワーク２６に接続されている。無線ネットワーク２６は、例えばＩＥＥＥ８０２．１１シリーズに準拠した無線ＬＡＮであり、２．４ＧＨｚ帯又は５ＧＨｚ帯のＷｉＦｉ（登録商標）で構築されている。
搬送台車４は、広域無線通信部２８（第１の通信部の一例）と、アンテナ３０と、近距離無線通信部３２と、アンテナ３４と、制御部３６とを有している。
広域無線通信部２８は、無線アクセスポイント１０を介して、通信装置１２との間で広域無線通信により情報を送受信する。アンテナ３０は、広域無線通信用のアンテナであり、広域無線通信部２８に接続されている。
近距離無線通信部３２は、通信デバイス８との間で近距離無線通信により情報を送受信する。アンテナ３４は、近距離無線通信用のアンテナであり、近距離無線通信部３２に接続されている。
制御部３６は、広域無線通信部２８及び近距離無線通信部３２を制御することにより、各種の処理を実行する。具体的には、制御部３６は、搬送台車４がＦＯＵＰ１４を移載すべき載置ポート２２の直上の位置に到着する直前に、近距離無線通信部３２により通信デバイス８との間で近距離無線通信を行うように制御する。また、制御部３６は、搬送台車４がＦＯＵＰ１４を移載すべき載置ポート２２の位置と自走位置とが一定範囲内にある場合には、近距離無線通信部３２により通信デバイス８との間で通信装置１２を介することなく近距離無線通信を行うように制御してもよい。この場合、通信装置１２の消費電力を軽減することができる。なお、制御部３６は、例えばプロセッサがハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現される。
半導体製造装置６の載置ポート２２は、通信部３８と、制御部４０とを有している。
通信部３８は、パラレルケーブル２４（図１参照）を介して、通信デバイス８との間で情報を送受信する。
制御部４０は、通信部３８を制御することにより、各種の処理を実行する。具体的には、制御部４０は、搬送台車４との間でＦＯＵＰ１４（図１参照）を移載するためのインターロック処理を実行する。また、制御部４０は、搬入出口２０（図１参照）を通して半導体製造装置６との間でＦＯＵＰ１４の受け渡しを行うための処理を実行する。なお、制御部４０は、例えばプロセッサがハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現される。
通信デバイス８は、通信部４２（第２の通信部の一例）と、制御部４４とを有している。
通信部４２は、パラレルケーブル２４を介して、載置ポート２２との間で情報を送受信する。また、通信部４２は、搬送台車４及び通信装置１２の各々との間で、近距離無線通信により情報を送受信する。
制御部４４は、通信部４２を制御することにより、各種の処理を実行する。なお、制御部４４は、例えばプロセッサがハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現される。
通信装置１２は、広域無線通信部４６と、アンテナ４８と、近距離無線通信部５０と、アンテナ５２と、制御部５４と、取得部５６とを有している。
広域無線通信部４６は、無線アクセスポイント１０を介して、搬送台車４との間で広域無線通信により情報を送受信する。アンテナ４８は、広域無線通信用のアンテナであり、広域無線通信部４６に接続されている。
近距離無線通信部５０は、通信デバイス８との間で近距離無線通信により情報を送受信する。アンテナ５２は、近距離無線通信用のアンテナであり、近距離無線通信部５０に接続されている。なお、本実施の形態では、通信装置１２は、近距離無線通信部５０及びアンテナ５２を１組のみ有しているが、これに限定されず、例えば複数の通信デバイス８との間で同時に近距離無線通信により情報を送受信する場合には、近距離無線通信部５０及びアンテナ５２を複数組有していてもよい。
制御部５４は、広域無線通信部４６及び近距離無線通信部５０を制御することにより、各種の処理を実行する。具体的には、制御部５４は、広域無線通信部４６が受信した情報を、広域無線通信用の情報から近距離無線通信用の情報に変換して近距離無線通信部５０に出力する。また、制御部５４は、近距離無線通信部５０が受信した情報を、近距離無線通信用の情報から広域無線通信用の情報に変換して広域無線通信部４６に出力する。なお、制御部５４は、例えばプロセッサがハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現される。
ここで、広域無線通信用の情報は、例えば図５の（ａ）に示すようなデータフレーム５８である。図５の（ａ）に示すデータフレーム５８は、Ｆｒａｍｅ Ｃｏｎｔｒｏｌ、Ｄｕｒａｔｉｏｎ、ＭＡＣ Ａｄｄｒｅｓｓ１～３、Ｓｅｑ Ｃｏｎｔｒｏｌ、ＭＡＣ Ａｄｄｒｅｓｓ４、Ｄａｔａ及びＣＲＣの各フィールドを含む。図５の（ａ）に示すＤａｔａのフィールドには、図５の（ｂ）に示すＩＰヘッダ、ＵＤＰヘッダ及び通信データの各フィールドが含まれる。さらに、図５の（ｂ）に示す通信データのフィールドには、図５の（ｃ）に示す近距離無線通信周波数帯、近距離無線通信チャンネル、近距離無線接続先デバイスＩＤ、近距離無線接続元ＩＤ及び近距離無線通信データの各フィールドが含まれる。さらに、図５の（ｃ）に示す近距離無線通信データのフィールドには、図５の（ｄ）に示す送信方向、ＩＮＰＵＴ ＤＡＴＡ及びＯＵＴＰＵＴ ＤＡＴＡの各フィールドが含まれる。
また、近距離無線通信用の情報は、例えば図６に示すようなデータフレーム６０である。図６に示すデータフレーム６０は、近距離無線接続先デバイスＩＤ、近距離無線接続元ＩＤ、送信方向、ＩＮＰＵＴ ＤＡＴＡ及びＯＵＴＰＵＴ ＤＡＴＡの各フィールドを含む。
例えば、広域無線通信部４６が図５の（ａ）に示すデータフレーム５８を受信した場合、制御部５４は、広域無線通信部４６が受信したデータフレーム５８から、図５の（ｃ）及び（ｄ）に示す近距離無線接続先デバイスＩＤ、近距離無線接続元ＩＤ、送信方向、ＩＮＰＵＴ ＤＡＴＡ及びＯＵＴＰＵＴ ＤＡＴＡの各フィールドを抽出することにより、図６に示すデータフレーム６０を生成する。このようにして、制御部５４は、広域無線通信用の情報であるデータフレーム５８を、近距離無線通信用の情報であるデータフレーム６０に変換する。
また例えば、近距離無線通信部５０が図６に示すデータフレーム６０を受信した場合、制御部５４は、近距離無線通信部５０が受信したデータフレーム６０の近距離無線接続先デバイスＩＤ、近距離無線接続元ＩＤ、送信方向、ＩＮＰＵＴ ＤＡＴＡ及びＯＵＴＰＵＴ ＤＡＴＡの各フィールドを抽出することにより、図５の（ａ）に示すデータフレーム５８を生成する。このようにして、制御部５４は、近距離無線通信用の情報であるデータフレーム６０を、広域無線通信用の情報であるデータフレーム５８に変換する。
取得部５６は、搬送台車４の走行中に、当該搬送台車４以外の他の搬送台車（図示せず）と通信デバイス８との通信状況を示す通信状況情報を取得する。また、搬送台車４の走行中に、当該搬送台車４以外の他の搬送台車の位置を示す位置情報を取得する。取得部５６は、広域無線通信部４６又は近距離無線通信部５０から通信状況情報及び位置情報を取得してもよいし、通信システム２を統括する上位コントローラ（図示せず）から通信状況情報及び位置情報を取得してもよい。
［３．通信システムの動作］
［３－１．移載前手順における通信システムの動作］
図７及び図８を参照しながら、移載前手順における通信システム２の動作について説明する。図７は、移載前手順における、実施の形態に係る通信システム２の動作を説明するための概略図である。図８は、移載前手順における、実施の形態に係る通信システム２の動作の流れを示すシーケンス図である。
以下、図７に示すように、半導体製造工場内に、半導体製造装置６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆ（６ａ～６ｆ）がこの順に並んで設置されている場合について考える。半導体製造装置６ａ～６ｆはそれぞれ、載置ポート２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ，２２ｅ，２２ｆ（２２ａ～２２ｆ）を有している。載置ポート２２ａ～２２ｆにはそれぞれ、通信デバイス８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ，８ｅ，８ｆ（８ａ～８ｆ）が接続されている。
また、以下では、搬送台車４が半導体製造装置６ｄの載置ポート２２ｄとの間でＦＯＵＰ１４（図１参照）を移載する場合について説明する。図７に示すように、移載前手順は、搬送台車４がＦＯＵＰ１４を移載すべき載置ポート２２ｄの直上の位置に近付く方向に走行している間に実行される。移載前手順では、搬送台車４と通信デバイス８ｄとの間で、これからＦＯＵＰ１４の移載を開始する旨を示す情報が授受される。
なお、通信装置１２は、近距離無線通信により、例えば通信デバイス８ａ～８ｆの各々との間で情報を送受信可能である。また、通信装置１２は、広域無線通信により、半導体製造装置６ｄの直上の位置よりも半導体製造装置６ａ側（図７において左方）、及び、半導体製造装置６ｄの直上の位置よりも半導体製造装置６ｆ側（図７において右方）を走行している搬送台車４との間で情報を送受信可能である。
まず、搬送台車４が通信デバイス８ｄに対して情報を送信する場合について説明する。図８に示すように、搬送台車４の広域無線通信部２８は、広域無線通信により、通信装置１２に対して情報（広域無線通信用の情報）を送信する（Ｓ１０１）。無線アクセスポイント１０は、広域無線通信により、この搬送台車４からの情報を通信装置１２に転送する（Ｓ１０２）。
通信装置１２の広域無線通信部４６は、広域無線通信により、無線アクセスポイント１０から転送されてきた情報を受信する（Ｓ１０３）。通信装置１２の制御部５４は、広域無線通信部４６が受信した情報を、広域無線通信用の情報から近距離無線通信用の情報に変換し（Ｓ１０４）、近距離無線通信部５０に出力する。通信装置１２の近距離無線通信部５０は、近距離無線通信により、制御部５４で変換された情報（近距離無線通信用の情報）を通信デバイス８ｄに送信する（Ｓ１０５）。
通信デバイス８ｄの通信部４２は、近距離無線通信により、通信装置１２から送信されてきた情報を受信する（Ｓ１０６）。
次に、通信デバイス８ｄが搬送台車４に対して情報を送信する場合について説明する。図８に示すように、通信デバイス８ｄの通信部４２は、近距離無線通信により、通信装置１２に対して情報（近距離無線通信用の情報）を送信する（Ｓ１０７）。
通信装置１２の近距離無線通信部５０は、近距離無線通信により、通信デバイス８ｄから送信されてきた情報を受信する（Ｓ１０８）。通信装置１２の制御部５４は、近距離無線通信部５０が受信した情報を、近距離無線通信用の情報から広域無線通信用の情報に変換し（Ｓ１０９）、広域無線通信部４６に出力する。通信装置１２の広域無線通信部４６は、広域無線通信により、制御部５４で変換された情報（広域無線通信用の情報）を搬送台車４に対して送信する（Ｓ１１０）。
無線アクセスポイント１０は、広域無線通信により、ステップＳ１１０で送信された通信装置１２からの情報を搬送台車４に転送する（Ｓ１１１）。搬送台車４の広域無線通信部２８は、広域無線通信により、無線アクセスポイント１０から転送されてきた情報を受信する（Ｓ１１２）。
［３－２．移載手順における通信システムの動作］
図９及び図１０を参照しながら、移載手順における通信システム２の動作について説明する。図９は、移載手順における、実施の形態に係る通信システム２の動作を説明するための概略図である。図１０は、移載手順における、実施の形態に係る通信システム２の動作の流れを示すシーケンス図である。
以下では、上述と同様に、搬送台車４が半導体製造装置６ｄの載置ポート２２ｄとの間でＦＯＵＰ１４を移載する場合について説明する。図９に示すように、移載手順は、搬送台車４がＦＯＵＰ１４を移載すべき載置ポート２２ｄの直上の位置で停止した状態で実行される。移載手順では、搬送台車４と通信デバイス８ｄとの間で、ＦＯＵＰ１４の移載を実行するための情報が授受され、実際にＦＯＵＰ１４の移載が行われる。
まず、搬送台車４が通信デバイス８ｄに対して情報を送信する場合について説明する。図１０に示すように、搬送台車４の近距離無線通信部３２は、近距離無線通信により通信デバイス８ｄに情報（近距離無線通信用の情報）を送信する（Ｓ２０１）。通信デバイス８ｄの通信部４２は、近距離無線通信により、搬送台車４から送信されてきた情報を受信する（Ｓ２０２）。
次に、通信デバイス８ｄが搬送台車４に対して情報を送信する場合について説明する。図１０に示すように、通信デバイス８ｄの通信部４２は、近距離無線通信により、搬送台車４に情報（近距離無線通信用の情報）を送信する（Ｓ２０３）。搬送台車４の近距離無線通信部３２は、近距離無線通信により、通信デバイス８ｄから送信されてきた情報を受信する（Ｓ２０４）。
［３－３．移載後手順における通信システムの動作］
図１１を参照しながら、移載後手順における通信システム２の動作について説明する。図１１は、移載後手順における、実施の形態に係る通信システム２の動作を説明するための概略図である。
図１１に示すように、移載後手順は、搬送台車４がＦＯＵＰ１４を移載した載置ポート２２ｄの直上の位置から離れる方向に走行している間に実行される。移載後手順では、上述した図８と同様に、搬送台車４と通信デバイス８ｄとの間で、無線アクセスポイント１０及び通信装置１２を介して、ＦＯＵＰ１４の移載を完了した旨を示す情報が授受される。
［３－４．その他の動作］
上述したように、取得部５６は、搬送台車４の走行中に、当該搬送台車４以外の他の搬送台車と通信デバイス８ａ～８ｆとの通信状況を示す通信状況情報を取得する。広域無線通信部４６は、走行中の当該搬送台車４からの要求に応じて、この取得部５６により取得された通信状況情報及び／又は位置情報を、無線アクセスポイント１０を介して広域無線通信により走行中の当該搬送台車４に送信する。
これにより、例えば、搬送台車４が移載前手順のために載置ポート２２ｄの直上の位置に近付く方向に走行している際に、他の搬送台車が移載手順のために載置ポート２２ｄの直上の位置で停止している場合には、走行中の搬送台車４は、通信状況情報及び／又は位置情報に基づいて、載置ポート２２ｄの直上の位置を迂回するように、走行ルートを適宜変更することができる。
［４．効果］
本実施の形態に係る通信システム２では、例えばＥ８４通信シーケンスの移載前手順又は移載後手順において、搬送台車４が載置ポート２２の直上の位置から離れた位置を走行中、通信装置１２の広域無線通信部４６は、無線アクセスポイント１０を介して、搬送台車４との間で広域無線通信により情報を送受信する。これにより、搬送台車４と通信デバイス８との間における受信電波強度が低下するのを回避することができ、搬送台車４と通信デバイス８との間の無線通信を安定化させることができる。
また、通信装置１２の近距離無線通信部５０は、通信デバイス８との間で近距離無線通信により情報を送受信するので、通信デバイス８を低消費電力で動作させることができる。これにより、例えば半導体製造装置６に設置されたＰＩ／Ｏ（Ｐｒｏｇｒａｍｍｅｄ Ｉｎｐｕｔ／Ｏｕｔｐｕｔ）経由で供給される電源（２４Ｖ、１００ｍＡ）により、通信デバイス８を動作させることができる。
また、Ｅ８４通信シーケンスの移載手順では、搬送台車４と通信デバイス８との間で近距離無線通信により情報の送受信が行われるので、複数の搬送台車４がそれぞれ複数の通信デバイス８との間で同時に無線通信を行う場合であっても、無線通信の干渉を回避することができる。
（他の変形例等）
以上、本発明の通信装置について、上記実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。上記実施の形態に対して当業者が思い付く変形を施して得られる形態、及び、上記実施の形態における構成要素を任意に組み合わせて実現される別の形態も本発明に含まれる。
上記実施の形態では、広域無線通信としてＷｉＦｉ（登録商標）を採用したが、これに限定されず、例えばＰｒｉｖａｔｅ ＬＴＥ（Ｌｏｎｇ Ｔｅｒｍ Ｅｖｏｌｕｔｉｏｎ）、又は、第５世代移動体通信システムを局所的に利用するＬｏｃａｌ ５Ｇ等を採用してもよい。当該広域無線通信を使用する場合は、搬送台車４の広域無線通信部２８及びアンテナ３０、通信装置１２の広域無線通信部４６及びアンテナ４８、並びに、通信デバイス８の通信部４２は、各広域無線通信の通信規格に準拠する。
また、上記実施の形態では、移載手順における通信システム２の動作について、搬送台車４と通信デバイス８との間で、ＦＯＵＰ４の移載を実行するための情報を授受するために、搬送台車４が備える、近距離無線通信部３２が近距離無線通信により通信デバイス８に情報（近距離無線通信用の情報）を送受信するようにしたが、移載前手順及び移載後手順における通信システム２の動作と同様の通信方法を適用してもよい。つまり、移載手順における通信システム２の動作において、搬送台車４は無線アクセスポイント１０を介して、通信装置１２との間で広域無線通信により情報を授受し、通信装置１２は通信デバイス８との間で、近距離無線通信を行うのである。このようにすれば、搬送台車４は近距離無線通信部３２を備える必要が無く、広域無線通信により通信デバイス８との間でインターロック通信が可能であり、且つ、搬送台車４の製造コスト及び設計上の煩雑さを軽減することができる。
なお、上記実施の形態において、各構成要素は、専用のハードウェアで構成されるか、各構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。各構成要素は、ＣＰＵ又はプロセッサ等のプログラム実行部が、ハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。
本発明に係る通信システムは、例えば天井に設置されたレールに沿って走行する搬送台車によりＦＯＵＰを搬送するための半導体製造システム等に適用することができる。
２ 通信システム
４ 搬送台車
６，６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆ 半導体製造装置
８，８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ，８ｅ，８ｆ 通信デバイス
１０ 無線アクセスポイント
１２ 通信装置
１４ ＦＯＵＰ
１６ レール
１８ 把持部
２０ 搬入出口
２２，２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ，２２ｅ，２２ｆ 載置ポート
２４ パラレルケーブル
２６ 無線ネットワーク
２８，４６ 広域無線通信部
３０，３４，４８，５２ アンテナ
３２，５０ 近距離無線通信部
３６，４０，４４，５４ 制御部
３８，４２ 通信部
５６ 取得部
５８，６０ データフレーム

Claims (6)

  1. 被搬送物を搬送するための搬送台車と、前記搬送台車との間で前記被搬送物が移載される移載装置に接続された通信デバイスと、の間における通信を中継する通信装置であって、
    広域無線通信基地局を介して、前記搬送台車との間で広域無線通信により情報を送受信する広域無線通信部と、
    前記通信デバイスとの間で、前記広域無線通信よりも狭い通信範囲の近距離無線通信により情報を送受信する近距離無線通信部と、
    前記広域無線通信部が受信した情報を、広域無線通信用の情報から近距離無線通信用の情報に変換して前記近距離無線通信部に出力し、且つ、前記近距離無線通信部が受信した情報を、近距離無線通信用の情報から広域無線通信用の情報に変換して前記広域無線通信部に出力する制御部と、を備える
    通信装置。
  2. （ｉ）前記搬送台車が、前記移載装置との間で前記被搬送物を移載する前に前記移載装置に近付く方向に走行中、又は、前記移載装置との間で前記被搬送物を移載した後に前記移載装置から離れる方向に走行中に、前記通信デバイスに対して情報を送信する場合には、
    前記広域無線通信部は、前記広域無線通信基地局を介して、前記広域無線通信により前記搬送台車からの情報を受信し、
    前記制御部は、前記広域無線通信部が受信した情報を、広域無線通信用の情報から近距離無線通信用の情報に変換して前記近距離無線通信部に出力し、
    前記近距離無線通信部は、前記近距離無線通信により前記制御部で変換された情報を前記通信デバイスに送信し、
    （ｉｉ）前記搬送台車が、前記移載装置との間で前記被搬送物を移載する前に前記移載装置に近付く方向に走行中、又は、前記移載装置との間で前記被搬送物を移載した後に前記移載装置から離れる方向に走行中の際に、前記通信デバイスが前記搬送台車に対して情報を送信する場合には、
    前記近距離無線通信部は、前記近距離無線通信により前記通信デバイスからの情報を受信し、
    前記制御部は、前記近距離無線通信部が受信した情報を、近距離無線通信用の情報から広域無線通信用の情報に変換して前記広域無線通信部に出力し、
    前記広域無線通信部は、前記広域無線通信基地局を介して、前記広域無線通信により前記制御部で変換された情報を前記搬送台車に送信する
    請求項１に記載の通信装置。
  3. 前記通信装置は、さらに、前記搬送台車の走行中に、当該搬送台車以外の他の搬送台車と前記通信デバイスとの通信状況を示す通信状況情報を取得する取得部を備え、
    前記広域無線通信部は、前記取得部により取得された通信状況情報を、前記広域無線通信基地局を介して前記広域無線通信により走行中の当該搬送台車に送信する
    請求項２に記載の通信装置。
  4. 前記通信装置は、さらに、前記搬送台車の走行中に、当該搬送台車以外の他の搬送台車の位置を示す位置情報を取得する取得部を備え、
    前記広域無線通信部は、前記取得部により取得された位置情報を、前記広域無線通信基地局を介して前記広域無線通信により走行中の当該搬送台車に送信する
    請求項２に記載の通信装置。
  5. 被搬送物を搬送するための搬送台車と、前記搬送台車との間で前記被搬送物が移載される移載装置に接続された通信デバイスと、の間における通信を中継する通信装置の制御方法であって、
    （ａ）広域無線通信基地局を介して、広域無線通信により前記搬送台車からの情報を受信するステップと、
    （ｂ）前記（ａ）で受信した情報を、広域無線通信用の情報から近距離無線通信用の情報に変換するステップと、
    （ｃ）前記広域無線通信よりも狭い通信範囲の近距離無線通信により、前記（ｂ）で変換された情報を前記通信デバイスに送信するステップと、
    （ｄ）前記近距離無線通信により前記通信デバイスからの情報を受信するステップと、
    （ｅ）前記（ｄ）で受信した情報を、近距離無線通信用の情報から広域無線通信用の情報に変換するステップと、
    （ｆ）前記広域無線通信基地局を介して、前記広域無線通信により前記（ｅ）で変換された情報を前記搬送台車に送信するステップと、を含む
    通信装置の制御方法。
  6. 被搬送物を搬送するための搬送台車と、
    前記搬送台車との間で前記被搬送物が移載される移載装置に接続された通信デバイスと、
    前記搬送台車と前記通信デバイスとの間における通信を中継する通信装置と、を備え、
    前記搬送台車は、広域無線通信基地局を介して、前記通信装置との間で広域無線通信により情報を送受信する第１の通信部を有し、
    前記通信デバイスは、前記通信装置との間で、前記広域無線通信よりも狭い通信範囲の近距離無線通信により情報を送受信する第２の通信部を有し、
    前記通信装置は、
    前記広域無線通信基地局を介して、前記搬送台車の前記第１の通信部との間で前記広域無線通信により情報を送受信する広域無線通信部と、
    前記通信デバイスの前記第２の通信部との間で前記近距離無線通信により情報を送受信する近距離無線通信部と、
    前記広域無線通信部が受信した情報を、広域無線通信用の情報から近距離無線通信用の情報に変換して前記近距離無線通信部に出力し、且つ、前記近距離無線通信部が受信した情報を、近距離無線通信用の情報から広域無線通信用の情報に変換して前記広域無線通信部に出力する制御部と、を有する
    通信システム。
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KR100547880B1 (ko) * 2003-05-20 2006-01-31 삼성전자주식회사 초광대역 통신방식을 이용한 실내 근거리 통신 네트워크시스템
JP3946748B1 (ja) * 2006-02-20 2007-07-18 株式会社神戸製鋼所 情報同期システム
JP6052132B2 (ja) * 2013-10-22 2016-12-27 村田機械株式会社 通信デバイス及びその制御方法
JP6268921B2 (ja) * 2013-10-28 2018-01-31 村田機械株式会社 通信デバイスおよび通信デバイスの制御方法
JP6661172B2 (ja) * 2017-02-28 2020-03-11 サイレックス・テクノロジー株式会社 通信装置、搬送システム、及び、通信装置の制御方法
KR102064485B1 (ko) 2017-12-27 2020-01-09 오학서 자동 반송 시스템의 작업시간 단축을 위한 데이터 통신 방법
JP2019176262A (ja) * 2018-03-27 2019-10-10 株式会社国際電気通信基礎技術研究所 情報取得装置、移動体、情報取得方法、及びプログラム

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