WO2022190710A1 - 無線通信システム及び無線通信システムの制御方法 - Google Patents

無線通信システム及び無線通信システムの制御方法 Download PDF

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亘 北村
宗訓 大島
哲也 桑原
弘慶 高原
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村田機械株式会社
サイレックス・テクノロジー株式会社
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    • H04W84/02—Hierarchically pre-organised networks, e.g. paging networks, cellular networks, WLAN [Wireless Local Area Network] or WLL [Wireless Local Loop]
    • H04W84/10—Small scale networks; Flat hierarchical networks

Definitions

  • the first communication unit of the other carriage receives the second communication data related to the interlock communication established between the specific carriage and the communication device, , the first communication data may not be transmitted to the communication device.
  • the first communication unit of the other carriage uses the identification information of the communication device and the identification information of the specific carriage, which are included in the received second communication data, to It can be readily determined that interlocked communication has been established between a vehicle and a particular vehicle.
  • the wireless communication system and the like it is possible to stably perform interlock communication between the carrier and the communication device.
  • FIG. 1 is a diagram showing an overview of a radio communication system according to an embodiment.
  • FIG. 2 shows an example of an E84 interlock sequence when grabbing a FOUP.
  • FIG. 3 shows an example of an E84 interlock sequence when unloading a FOUP.
  • FIG. 4 is a block diagram showing the functional configuration of the radio communication system according to the embodiment.
  • FIG. 5 is a diagram showing an example of a communication frame related to interlock communication.
  • FIG. 6 is a diagram showing an example of a management table.
  • FIG. 7 is a diagram for explaining the operation of the radio communication system according to the embodiment.
  • FIG. 8 is a sequence diagram showing the operation flow of the radio communication system according to the embodiment.
  • FIG. 9 is a sequence diagram showing the flow of operations of the wireless communication system according to the comparative example.
  • a gripping portion 18 for gripping the FOUP 14 is mounted inside the first carriage 4 .
  • the gripping portion 18 can move up and down with respect to the first carriage 4 .
  • the first carrier 4 is directly above the first port 26. While stopped at the position, the gripper 18 descends from the first carrier 4 to the vicinity of the first port 26 .
  • the gripper 18 rises from the vicinity of the first port 26 to the first carriage 4 and is stored inside the first carriage 4 .
  • the semiconductor manufacturing apparatus 8 has two ports (the first port 26 and the second port 28). It may have ports.
  • the second communication device 12 is a device server for mediating communication between each of the first carrier 4 and the second carrier 6 and the second port 28 of the semiconductor manufacturing equipment 8 .
  • the second communication device 12 is arranged, for example, on the top surface of the semiconductor manufacturing equipment 8 and is connected to the second port 28 of the semiconductor manufacturing equipment 8 via a parallel cable 32 . This allows the second communication device 12 to perform wired communication with the second port 28 of the semiconductor manufacturing equipment 8 via the parallel cable 32 .
  • the second communication device 12 is connected to the first communication device 10 via a serial cable 34 . This allows the second communication device 12 to wire-communicate with the first communication device 10 via the serial cable 34 .
  • the second communication device 12 can wirelessly communicate with each of the first carrier 4 and the second carrier 6 by, for example, short-range wireless communication using BLE.
  • the storage unit 48 is a memory that stores the management table 44 described above.
  • the communication unit 64 transmits and receives communication data to and from the second communication device 12 via the parallel cable 32 .
  • the communication unit 36 of the first carriage 4 transmits a command signal to the first communication device 10b by wireless communication ( S110). If the communication unit 46 of the second carriage 6 cannot receive the response signal even after a predetermined time (for example, 100 msec) has passed since the command signal was transmitted in step S106, the command signal transmitted in step S106 is transmitted. The timing for transmitting the command signal to be transmitted next is changed from the timing based on the predetermined period (the timing indicated by the dashed arrow in FIG. 8) (S111).
  • step S111 described above the communication unit 46 of the second carriage 6 sets the timing of transmitting the command signal subsequent to the command signal transmitted in step S106 to be 10 msec from the timing at which the command signal was originally supposed to be transmitted. It may be staggered to be delayed by a longer period of time (eg, 12 msec).
  • the communication unit 52 of the first communication device 10b receives the command signal from the first carriage 4 with which interlock communication has been established with the first communication device 10b via wired communication. 1 port 26b.
  • the communication unit 52 of the first communication device 10b transmits a response signal to the first carriage 4 as a response to the command signal from the first carriage 4 by wireless communication (S114), and transmits the response signal. It is transmitted to the second carriage 6 (S115). Note that the timings of these steps S114 and S115 may be substantially the same.
  • the communication unit 56 of the second communication device 12b Upon receiving the response signal from the first communication device 10b, the communication unit 56 of the second communication device 12b transmits the response signal to the second carriage 6 by wireless communication (S120).
  • the reply signal is a signal for transmitting progress information as a reply to the inquiry signal from the second carriage 6 .
  • the communication unit 46 of the second carriage 6 receives the reply signal from the second communication device 12b.
  • the control unit 50 of the second carriage 6 determines the progress of interlock communication between the first carriage 4 and the first communication device 10b based on the response signal received by the communication unit 46. (S121).
  • the control unit 50 of the second carriage 6 executes either first control or second control, which will be described later, according to the progress of the interlock communication indicated by the response signal.

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Abstract

第１の通信デバイス（１０ｂ）は、第１の搬送台車（４）からのペアリング信号を受信したことをトリガとして、第１の搬送台車（４）からのコマンド信号を受信し、且つ、コマンド信号を受信する毎に応答信号を第１の搬送台車（４）に送信することにより、第１の搬送台車（４）との間でインターロック通信を確立し、第１の搬送台車（４）との間でインターロック通信を確立している間は、第２の搬送台車（６）との間でインターロック通信を確立することを回避する通信部（５２）を有する。第２の搬送台車（６）の通信部（４６）は、コマンド信号を第１の通信デバイス（１０ｂ）に送信してから所定の時間が経過しても応答信号を受信できない場合には、当該コマンドの次に送信すべきコマンド信号を送信するタイミングを、所定の周期に基づくタイミングから変更する。

Description

無線通信システム及び無線通信システムの制御方法
　本発明は、無線通信システム及び無線通信システムの制御方法に関する。
　半導体ウエハが格納されたＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ　Ｏｐｅｎｉｎｇ　Ｕｎｉｆｉｅｄ　Ｐｏｄ）を搬送するための天井走行式の搬送台車と、半導体ウエハを処理するための半導体製造装置とを備えた半導体製造システムが知られている。
　この半導体製造システムでは、搬送台車と、半導体製造装置のポートに接続された通信デバイスとの間の通信には、ＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ　ａｎｄ　Ｍａｔｅｒｉａｌｓ　Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）のＥ８４インターロックシーケンスを実行するためのインターロック通信が適用される。搬送台車とポートとの間でＦＯＵＰを移載する際には、上述したインターロック通信により搬送台車と通信デバイスとの間で通信データが授受される。
　ところで、特許文献１には、移動機が基地局からの呼設定受付を受信できない場合に、周辺ゾーンとして登録されている止まり木チャネルを読み出し、対象の基地局に対して発呼要求を送信する技術が開示されている。
特開２００２－３７４５５０号公報
　特許文献１に開示された技術を上述した半導体製造システムに適用した場合には、次のような課題が生じる。例えば２台の搬送台車が１台の通信デバイスとの間でほぼ同時にインターロック通信を開始した場合、２台の搬送台車からそれぞれ送信された２つの通信データが衝突して通信エラーが発生する。その結果、２台の搬送台車ともインターロック通信に失敗するおそれが生じる。
　本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、搬送台車と通信デバイスとの間のインターロック通信を安定して実行することができる無線通信システム及び無線通信システムの制御方法を提供することである。
　上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る無線通信システムは、軌道に沿って走行することにより被搬送物を搬送する複数の搬送台車と、前記複数の搬送台車の各々により前記被搬送物が移載されるポートに接続され、前記複数の搬送台車の各々との間で無線通信を行う通信デバイスと、を備える無線通信システムであって、前記複数の搬送台車の各々は、（ｉ）ペアリング信号を前記通信デバイスに送信し、（ｉｉ）前記ペアリング信号が前記通信デバイスで受信されたことをトリガとして、前記ポートに対して前記被搬送物を移載するためのインターロック通信に係る第１の通信データを所定の周期で前記通信デバイスに送信し、且つ、前記第１の通信データに対する応答として前記インターロック通信に係る第２の通信データを前記通信デバイスから受信することにより、前記通信デバイスとの間で前記インターロック通信を確立する第１の通信部を有し、前記通信デバイスは、（ｉｉｉ）前記複数の搬送台車のうち特定の搬送台車からの前記ペアリング信号を受信し、（ｉｖ）前記ペアリング信号を受信したことをトリガとして、前記特定の搬送台車からの前記第１の通信データを受信し、且つ、前記第１の通信データを受信する毎に前記第２の通信データを前記特定の搬送台車に送信することにより、前記特定の搬送台車との間で前記インターロック通信を確立し、（ｖ）前記特定の搬送台車との間で前記インターロック通信を確立している間は、前記特定の搬送台車以外の他の搬送台車との間で前記インターロック通信を確立することを回避する第２の通信部を有し、前記第１の通信部は、前記第１の通信データを前記通信デバイスに送信してから所定の時間が経過しても前記第２の通信データを受信できない場合には、当該第１の通信データの次に送信すべき第１の通信データを送信するタイミングを、前記所定の周期に基づくタイミングから変更する。
　本態様によれば、他の搬送台車の第１の通信部は、第１の通信データを通信デバイスに送信してから所定の時間が経過しても第２の通信データを受信できない場合には、当該第１の通信データの次に送信すべき第１の通信データを送信するタイミングを、所定の周期に基づくタイミングから変更する。これにより、特定の搬送台車が第１の通信データを送信する所定の周期と、他の搬送台車が第１の通信データを送信する所定の周期とが一致している場合であっても、特定の搬送台車からの第１の通信データと他の搬送台車からの第１の通信データとが衝突するのを回避することができる。その結果、通信デバイスは第１の通信データを受信することができるため通信エラーになることが無く、特定の搬送台車と通信デバイスとの間のインターロック通信を安定して実行することができる。
　例えば、前記他の搬送台車の前記第１の通信部は、前記特定の搬送台車と前記通信デバイスとの間で確立された前記インターロック通信に係る前記第２の通信データを受信した場合には、前記第１の通信データを前記通信デバイスに送信しないように構成してもよい。
　本態様によれば、特定の搬送台車と通信デバイスとの間でインターロック通信が確立されている場合に、他の搬送台車の第１の通信部が第１の通信データを通信デバイスに無駄に送信するのを回避することができる。
　例えば、前記他の搬送台車の前記第１の通信部は、前記特定の搬送台車と前記通信デバイスとの間で確立された前記インターロック通信に係る前記第２の通信データを受信した場合には、当該第２の通信データに含まれる、前記通信デバイスの識別情報及び前記特定の搬送台車の識別情報に基づいて、前記通信デバイスと前記特定の搬送台車との間で前記インターロック通信が確立されていると判定するように構成してもよい。
　本態様によれば、他の搬送台車の前記第１の通信部は、受信した第２の通信データに含まれる、通信デバイスの識別情報及び特定の搬送台車の識別情報を利用して、通信デバイスと特定の搬送台車との間でインターロック通信が確立されていることを容易に判定することができる。
　例えば、前記通信デバイスの前記第２の通信部は、前記特定の搬送台車との間で前記インターロック通信が確立されている間に、前記他の搬送台車からの前記第１の通信データを受信した場合には、当該第１の通信データを前記ポートに出力しないように構成してもよい。
　本態様によれば、複数の搬送台車の各々が１つのポートとの間で同時にインターロック通信を行うのを回避することができる。
　例えば、前記複数の搬送台車の各々は、さらに、制御部を有し、前記他の搬送台車の前記制御部は、前記通信デバイスと前記特定の搬送台車との間で前記インターロック通信が確立されている場合には、前記ポートから離れるように前記他の搬送台車を移動させる第１の制御、及び、前記インターロック通信が終了するまで前記他の搬送台車を待機させ、前記インターロック通信の終了後に前記ペアリング信号を前記通信デバイスに送信するように前記第１の通信部を制御する第２の制御のいずれか一方を実行するように構成してもよい。
　本態様によれば、通信デバイスと特定の搬送台車との間でインターロック通信が確立されている場合に、他の搬送台車の動作を適切に制御することができる。
　例えば、前記他の搬送台車の前記制御部は、前記通信デバイスと前記特定の搬送台車との間における前記インターロック通信の進行状況に応じて、前記第１の制御及び前記第２の制御のいずれか一方を実行するように構成してもよい。
　本態様によれば、通信デバイスと特定の搬送台車との間におけるインターロック通信の進行状況に応じて、他の搬送台車の動作を適宜変更することにより、他の搬送台車の無駄な動作を抑制することができる。
　例えば、前記軌道は、上下方向に関して異なる位置に配置された第１の軌道及び第２の軌道を含み、前記特定の搬送台車及び前記他の搬送台車はそれぞれ、前記第１の軌道及び前記第２の軌道において前記ポートとの間で前記被搬送物を移載可能であるように構成してもよい。
　本態様によれば、複数の搬送台車の各搬送効率を高めることができる。
　例えば、前記軌道は、前記軌道の延在方向に対して垂直な水平方向に関して異なる位置に配置された第１の軌道及び第２の軌道を含み、前記特定の搬送台車及び前記他の搬送台車はそれぞれ、前記第１の軌道及び前記第２の軌道において前記ポートとの間で前記被搬送物を移載可能であるように構成してもよい。
　本態様によれば、複数の搬送台車の各搬送効率を高めることができる。
　例えば、前記軌道は、水平面内において格子状に配置された複数の軌道を含み、前記特定の搬送台車及び前記他の搬送台車はそれぞれ、前記複数の軌道上の互いに異なる第１の位置及び第２の位置において、前記ポートとの間で前記被搬送物を移載可能であるように構成してもよい。
　本態様によれば、複数の搬送台車の各搬送効率を高めることができる。
　本発明の一態様に係る無線通信システムの制御方法は、軌道に沿って走行することにより被搬送物を搬送する複数の搬送台車と、前記複数の搬送台車の各々により前記被搬送物が移載されるポートに接続され、前記複数の搬送台車の各々との間で無線通信を行う通信デバイスと、を備える無線通信システムの制御方法であって、（ａ）前記複数の搬送台車のうち特定の搬送台車が、ペアリング信号を前記通信デバイスに送信するステップと、（ｂ）前記通信デバイスが、前記特定の搬送台車からの前記ペアリング信号を受信するステップと、（ｃ）前記ペアリング信号が前記通信デバイスで受信されたことをトリガとして、前記特定の搬送台車が、前記ポートに対して前記被搬送物を移載するためのインターロック通信に係る第１の通信データを所定の周期で前記通信デバイスに送信し、且つ、前記通信デバイスが、前記第１の通信データを受信する毎に、前記第１の通信データに対する応答として、前記インターロック通信に係る第２の通信データを前記特定の搬送台車に送信することにより、前記特定の搬送台車と前記通信デバイスとの間で前記インターロック通信を確立するステップと、（ｄ）前記特定の搬送台車が、前記第１の通信データを前記通信デバイスに送信してから所定の時間が経過しても前記第２の通信データを受信できない場合には、当該第１の通信データの次に送信すべき第１の通信データを送信するタイミングを、前記所定の周期に基づくタイミングから変更するステップと、（ｅ）前記通信デバイスは、前記特定の搬送台車との間で前記インターロック通信を確立している間は、前記特定の搬送台車以外の他の搬送台車との間で前記インターロック通信を確立することを回避するステップと、を含む。
　本態様によれば、他の搬送台車は、第１の通信データを通信デバイスに送信してから所定の時間が経過しても第２の通信データを受信できない場合には、当該第１の通信データの次に送信すべき第１の通信データを送信するタイミングを、所定の周期に基づくタイミングから変更する。これにより、特定の搬送台車が第１の通信データを送信する所定の周期と、他の搬送台車が第１の通信データを送信する所定の周期とが一致している場合であっても、特定の搬送台車からの第１の通信データと他の搬送台車からの第１の通信データとが衝突するのを回避することができる。その結果、通信デバイスは第１の通信データを受信することができるため通信エラーになることが無く、特定の搬送台車と通信デバイスとの間のインターロック通信を安定して実行することができる。
　なお、本発明は、装置として実現できるだけでなく、その装置を構成する処理手段をステップとする方法として実現したり、それらステップをコンピュータに実行させるプログラムとして実現したり、そのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能なＣＤ－ＲＯＭなどの記録媒体として実現したり、そのプログラムを示す情報、データ又は信号として実現したりすることもできる。そして、それらプログラム、情報、データ及び信号は、インターネット等の通信ネットワークを介して配信してもよい。
　本発明の一態様に係る無線通信システム等によれば、搬送台車と通信デバイスとの間のインターロック通信を安定して実行することができる。
図１は、実施の形態に係る無線通信システムの概要を示す図である。 図２は、ＦＯＵＰを荷掴みする際におけるＥ８４インターロックシーケンスの一例を示す図である。 図３は、ＦＯＵＰを荷降ろしする際におけるＥ８４インターロックシーケンスの一例を示す図である。 図４は、実施の形態に係る無線通信システムの機能構成を示すブロック図である。 図５は、インターロック通信に係る通信フレームの一例を示す図である。 図６は、管理テーブルの一例を示す図である。 図７は、実施の形態に係る無線通信システムの動作を説明するための図である。 図８は、実施の形態に係る無線通信システムの動作の流れを示すシーケンス図である。 図９は、比較例に係る無線通信システムの動作の流れを示すシーケンス図である。
　以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的又は具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序等は、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
　（実施の形態）
　［１．通信システムの概要］
　まず、図１～図３を参照しながら、実施の形態に係る無線通信システム２の概要について説明する。図１は、実施の形態に係る無線通信システム２の概要を示す図である。図２は、ＦＯＵＰ１４を荷掴みする際におけるＥ８４インターロックシーケンスの一例を示す図である。図３は、ＦＯＵＰ１４を荷降ろしする際におけるＥ８４インターロックシーケンスの一例を示す図である。
　図１に示すように、無線通信システム２は、例えば半導体製造工場内に構築されたシステムである。半導体製造工場内には、複数の半導体製造装置８が設置されている。無線通信システム２は、第１の搬送台車４と、第２の搬送台車６と、第１の通信デバイス１０と、第２の通信デバイス１２とを備えている。
　なお、半導体製造工場には、実際には多数（例えば数百台）の搬送台車が配置されているが、説明の都合上、図１では第１の搬送台車４及び第２の搬送台車６のみを図示している。また、半導体製造工場には、実際には多数（例えば数千台）の半導体製造装置が設置されているが、説明の都合上、図１では１台の半導体製造装置８のみを図示している。
　第１の搬送台車４は、半導体ウエハが格納されたＦＯＵＰ１４（被搬送物の一例）を搬送するための天井走行式の搬送台車であり、いわゆるＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ　Ｈｏｉｓｔ　Ｔｒａｎｓｆｅｒ）である。第１の搬送台車４は、半導体製造工場の天井側に設置された第１の軌道１６に沿って無人走行する。
　第１の搬送台車４の内部には、ＦＯＵＰ１４を把持するための把持部１８が搭載されている。把持部１８は、第１の搬送台車４に対して昇降可能である。例えば第１の搬送台車４と半導体製造装置８の第１のポート２６（後述する）との間でＦＯＵＰ１４を移載する際には、第１の搬送台車４が第１のポート２６の直上の位置で停止している状態で、把持部１８は、第１の搬送台車４から第１のポート２６の近傍まで下降する。また、ＦＯＵＰ１４の移載が完了した際には、把持部１８は、第１のポート２６の近傍から第１の搬送台車４まで上昇して、第１の搬送台車４の内部に格納される。
　第２の搬送台車６は、第１の搬送台車４と同様に、半導体ウエハが格納されたＦＯＵＰ１４を搬送するための天井走行式の搬送台車である。第２の搬送台車６は、半導体製造工場の天井側に設置された第２の軌道２０に沿って無人走行する。第１の軌道１６及び第２の軌道２０は、半導体製造装置８の第１のポート２６の直上において、上下方向に関して異なる位置に配置されている。図１に示す例では、第２の軌道２０は、第１の軌道１６の上側（直上）に配置されている。なお、このような配置に代えて、第１の軌道１６及び第２の軌道２０の一方のみを、半導体製造装置８の第１のポート２６の直上に配置してもよい。また、第２の搬送台車６の内部には、第１の搬送台車４と同様に、ＦＯＵＰ１４を把持するための把持部２１が搭載されている。把持部２１は、第２の搬送台車６に対して昇降可能である。
　半導体製造装置８は、ＦＯＵＰ１４に格納された半導体ウエハを処理又は仮置き等するための装置であり、第１の軌道１６及び第２の軌道２０の下方に設置されている。半導体製造装置８は、ＦＯＵＰ１４に格納される半導体ウエハを半導体製造装置８内に搬入及び搬出するための第１の搬入出口２２及び第２の搬入出口２４と、第１の搬入出口２２の近傍に配置された第１のポート２６と、第２の搬入出口２４の近傍に配置された第２のポート２８とを有している。
　第１のポート２６は、ＦＯＵＰ１４を載置するためのロードポートである。第１のポート２６に対しては、第１の搬送台車４の把持部１８（又は第２の搬送台車６の把持部２１）との間でＦＯＵＰ１４が受け渡される。そして、第１の搬入出口２２を通して半導体製造装置８との間で、ＦＯＵＰ１４に格納される半導体ウエハが受け渡される。
　第２のポート２８は、第１のポート２６と同様に、ＦＯＵＰ１４を載置するためのロードポートである。第２のポート２８に対しては、第１の搬送台車４の把持部１８（又は第２の搬送台車６の把持部２１）との間でＦＯＵＰ１４が受け渡される。そして、第２の搬入出口２４を通して半導体製造装置８との間で、ＦＯＵＰ１４に格納される半導体ウエハが受け渡される。
　なお、本実施の形態では、半導体製造装置８が２つのポート（第１のポート２６及び第２のポート２８）を有する場合について説明したが、これに限定されず、１つ又は３つ以上のポートを有していてもよい。
　第１の通信デバイス１０は、第１の搬送台車４及び第２の搬送台車６の各々と半導体製造装置８の第１のポート２６との間の通信を仲介するためのデバイスサーバである。第１の通信デバイス１０は、例えば半導体製造装置８の天面に配置されており、パラレルケーブル３０を介して、半導体製造装置８の第１のポート２６と接続されている。これにより、第１の通信デバイス１０は、パラレルケーブル３０を介して、半導体製造装置８の第１のポート２６と有線通信することができる。また、第１の通信デバイス１０は、例えばＢＬＥ（Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）　Ｌｏｗ　Ｅｎｅｒｇｙ）による近距離無線通信等により、第１の搬送台車４及び第２の搬送台車６の各々と無線通信することができる。
　第２の通信デバイス１２は、第１の搬送台車４及び第２の搬送台車６の各々と半導体製造装置８の第２のポート２８との間の通信を仲介するためのデバイスサーバである。第２の通信デバイス１２は、例えば半導体製造装置８の天面に配置されており、パラレルケーブル３２を介して、半導体製造装置８の第２のポート２８と接続されている。これにより、第２の通信デバイス１２は、パラレルケーブル３２を介して、半導体製造装置８の第２のポート２８と有線通信することができる。また、第２の通信デバイス１２は、シリアルケーブル３４を介して第１の通信デバイス１０と接続されている。これにより、第２の通信デバイス１２は、シリアルケーブル３４を介して、第１の通信デバイス１０と有線通信することができる。また、第２の通信デバイス１２は、例えばＢＬＥによる近距離無線通信等により、第１の搬送台車４及び第２の搬送台車６の各々と無線通信することができる。
　ここで、例えば、第１のポート２６に載置されたＦＯＵＰ１４を第１の搬送台車４により荷掴みする場合、及び、第１の搬送台車４から第１のポート２６にＦＯＵＰ１４を荷降ろしする場合について説明する。この場合、上述した無線通信システム２では、ＳＥＭＩのＥ８４インターロックシーケンスに係るインターロック通信により、第１の搬送台車４と第１の通信デバイス１０との間で制御信号（以下、「通信データ」ともいう）が授受される。Ｅ８４インターロックシーケンスでは、第１の搬送台車４と第１のポート２６との間でＦＯＵＰ１４を移載する際に、特定の制御信号（例えばＬ＿ＲＥＱ、Ｕ＿ＲＥＱ）がオフとならないと次の工程には移行しないような、複数の工程からなるインターロックシーケンスが採用されている。
　図２に示すように、ＦＯＵＰ１４を荷掴みする際におけるＥ８４インターロックシーケンスは、移載前手順、移載手順及び移載後手順の３つのステップから成り立っている。また、図３に示すように、ＦＯＵＰ１４を荷降ろしする際におけるＥ８４インターロックシーケンスは、図２と同様に、移載前手順、移載手順及び移載後手順の３つのステップから成り立っている。なお、移載前手順、移載手順及び移載後手順は、例えば第１の搬送台車４がＦＯＵＰ１４を移載すべき第１のポート２６の直上の位置に到着した後に、当該位置で停止した状態で実行される。あるいは、移載前手順は、第１の搬送台車４がＦＯＵＰ１４を移載すべき第１のポート２６の直上の位置に到着する前に、当該第１のポート２６へ向かう移動（走行）を行いながら実行されるものであってもよい。また、移載後手順は、第１の搬送台車４がＦＯＵＰ１４を移載すべき第１のポート２６の直上の位置から離れる移動（走行）を行いながら実行されるものであってもよい。
　図２及び図３に示すように、移載前手順では、第１の搬送台車４と第１の通信デバイス１０との間で、これからＦＯＵＰ１４の移載を開始する旨を示す制御信号が授受される。移載手順では、第１の搬送台車４と第１の通信デバイス１０との間で、ＦＯＵＰ１４の移載を実行するための制御信号が授受され、実際にＦＯＵＰ１４の移載が行われる。移載後手順では、第１の搬送台車４と第１の通信デバイス１０との間で、ＦＯＵＰ１４の移載が完了した旨を示す制御信号が授受される。
　［２．通信システムの機能構成］
　図４～図６を参照しながら、実施の形態に係る無線通信システム２の機能構成について説明する。図４は、実施の形態に係る無線通信システム２の機能構成を示すブロック図である。図５は、インターロック通信に係る通信フレーム４２の一例を示す図である。図６は、管理テーブル４４の一例を示す図である。
　図４に示すように、無線通信システム２は、機能構成として、第１の搬送台車４と、第２の搬送台車６と、第１の通信デバイス１０と、第２の通信デバイス１２とを有している。なお、本発明に係る無線通信システム２は、半導体製造装置８の第１のポート２６及び第２のポート２８の各々と通信するためのシステムである。
　第１の搬送台車４は、通信部３６（第１の通信部の一例）と、記憶部３８と、制御部４０とを有している。
　通信部３６は、第１の通信デバイス１０（又は第２の通信デバイス１２）との間で、無線通信によりインターロック通信に係る通信データを送受信する。
　ここで、一例として、第１の搬送台車４と第１の通信デバイス１０との間で授受されるインターロック通信に係る通信データについて説明する。このインターロック通信に係る通信データは、例えば図５に示すような通信フレーム４２である。図５に示す通信フレーム４２は、ＳＹＮＣ、Ｍｅｓｓａｇｅ　Ｌｅｎｇｔｈ、Ｍｅｓｓａｇｅ　ＩＤ、搬送台車側無線ＩＤ、半導体製造装置側無線ＩＤ、Ｏｐｔｉｏｎ／Ｍｅｓｓａｇｅ　Ｓｔａｔｕｓ、ＰＩ／Ｏ　ＩＮ　８ｂｉｔ、ＰＩ／Ｏ　ＯＵＴ　８ｂｉｔ、及び、ＣＨＥＣＫ　ＳＵＭの各フィールドを含む。
　ＳＹＮＣは、通信フレーム４２のＳＹＮＣ部である。Ｍｅｓｓａｇｅ　Ｌｅｎｇｔｈは、通信フレーム４２のＭｅｓｓａｇｅ　ＩＤからＰＩ／Ｏ　ＯＵＴ　８ｂｉｔまでのデータ長である。Ｍｅｓｓａｇｅ　ＩＤは、通信フレーム４２のユニークな識別子である。搬送台車側無線ＩＤは、第１の搬送台車４の識別情報である。半導体製造装置側無線ＩＤは、第１の通信デバイス１０の識別情報である。Ｏｐｔｉｏｎ／Ｍｅｓｓａｇｅ　Ｓｔａｔｕｓは、オプション指示、及び、通信フレーム４２の送信方向（第１の搬送台車４→第１の通信デバイス１０、又は、第１の通信デバイス１０→第１の搬送台車４）である。ＰＩ／Ｏ　ＩＮ　８ｂｉｔは、第１のポート２６に入力されるパラレルＩ／Ｏデータである。ＰＩ／Ｏ　ＯＵＴ　８ｂｉｔは、第１のポート２６から出力されるパラレルＩ／Ｏデータである。ＣＨＥＣＫ　ＳＵＭは、通信フレーム４２のＣＨＥＣＫ　ＳＵＭ部である。
　記憶部３８は、管理テーブル４４を記憶するメモリである。管理テーブル４４は、例えば図６に示すように、半導体製造装置８毎に、半導体製造装置８のステーション番号と、第１の通信デバイス１０の無線チャンネルと、第２の通信デバイス１２の無線チャンネルと、第１の通信デバイス１０のデバイス番号（識別情報）と、第２の通信デバイス１２のデバイス番号（識別情報）との対応関係を示すデータテーブルである。
　図６に示す例では、管理テーブル４４の１行目には、半導体製造装置８のステーション番号「００００１」と、第１の通信デバイス１０の無線チャンネル「００１」と、第２の通信デバイス１２の無線チャンネル「０１１」と、第１の通信デバイス１０のデバイス番号「００００１」と、第２の通信デバイス１２のデバイス番号「００００２」とが対応付けられて格納されている。
　制御部４０は、記憶部３８を参照し且つ通信部３６を制御することにより、各種の処理を実行する。なお、制御部４０は、例えばプロセッサがハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現される。
　第２の搬送台車６は、通信部４６（第１の通信部の一例）と、記憶部４８と、制御部５０とを有している。
　通信部４６は、第１の通信デバイス１０（又は第２の通信デバイス１２）との間で、無線通信によりインターロック通信に係る通信データを送受信する。
　記憶部４８は、上述した管理テーブル４４を記憶するメモリである。
　制御部５０は、記憶部４８を参照し且つ通信部４６を制御することにより、各種の処理を実行する。なお、制御部５０は、例えばプロセッサがハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現される。
　第１の通信デバイス１０は、通信部５２（第２の通信部の一例）と、制御部５４とを有している。
　通信部５２は、第１の搬送台車４及び第２の搬送台車６の各々との間で、無線通信によりインターロック通信に係る通信データを送受信する。また、通信部５２は、パラレルケーブル３０を介して、第１のポート２６との間で通信データを送受信する。また、通信部５２は、シリアルケーブル３４を介して、第２の通信デバイス１２との間で各種データを送受信する。
　制御部５４は、通信部５２を制御することにより、各種の処理を実行する。なお、制御部５４は、例えばプロセッサがハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現される。
　第２の通信デバイス１２は、通信部５６（第２の通信部の一例）と、制御部５８とを有している。
　通信部５６は、第１の搬送台車４及び第２の搬送台車６の各々との間で、無線通信によりインターロック通信に係る通信データを送受信する。また、通信部５６は、パラレルケーブル３２を介して、第２のポート２８との間で通信データを送受信する。また、通信部５６は、シリアルケーブル３４を介して、第１の通信デバイス１０との間で各種データを送受信する。
　制御部５８は、通信部５６を制御することにより、各種の処理を実行する。なお、制御部５８は、例えばプロセッサがハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現される。
　第１のポート２６は、通信部６０と、制御部６２とを有している。
　通信部６０は、パラレルケーブル３０を介して、第１の通信デバイス１０との間で通信データを送受信する。
　制御部６２は、通信部６０を制御することにより、各種の処理を実行する。具体的には、制御部６２は、第１の通信デバイス１０からの通信データに基づいて、第１の搬送台車４及び第２の搬送台車６の各々との間でＦＯＵＰ１４を移載するためのインターロック処理を実行する。また、制御部６２は、第１の搬入出口２２を通して半導体製造装置８との間でＦＯＵＰ１４の受け渡しを行うための処理を実行する。なお、制御部６２は、例えばプロセッサがハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現される。
　第２のポート２８は、通信部６４と、制御部６６とを有している。
　通信部６４は、パラレルケーブル３２を介して、第２の通信デバイス１２との間で通信データを送受信する。
　制御部６６は、通信部６４を制御することにより、各種の処理を実行する。具体的には、制御部６６は、第２の通信デバイス１２からの通信データに基づいて、第１の搬送台車４及び第２の搬送台車６の各々との間でＦＯＵＰ１４を移載するためのインターロック処理を実行する。また、制御部６６は、第２の搬入出口２４を通して半導体製造装置８との間でＦＯＵＰ１４の受け渡しを行うための処理を実行する。なお、制御部６６は、例えばプロセッサがハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現される。
　［３．無線通信システムの動作］
　図７及び図８を参照しながら、無線通信システム２の動作について説明する。図７は、実施の形態に係る無線通信システム２の動作を説明するための図である。図８は、実施の形態に係る無線通信システム２の動作の流れを示すシーケンス図である。
　以下、図７に示すように、半導体製造工場内に、半導体製造装置８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄがこの順に並んで設置されている場合について考える。
　半導体製造装置８ａは、第１のポート２６ａ及び第２のポート２８ａを有している。第１のポート２６ａ及び第２のポート２８ａにはそれぞれ、第１の通信デバイス１０ａ及び第２の通信デバイス１２ａが接続されている。
　半導体製造装置８ｂは、第１のポート２６ｂ及び第２のポート２８ｂを有している。第１のポート２６ｂ及び第２のポート２８ｂにはそれぞれ、第１の通信デバイス１０ｂ及び第２の通信デバイス１２ｂが接続されている。
　半導体製造装置８ｃは、第１のポート２６ｃ及び第２のポート２８ｃを有している。第１のポート２６ｃ及び第２のポート２８ｃにはそれぞれ、第１の通信デバイス１０ｃ及び第２の通信デバイス１２ｃが接続されている。
　半導体製造装置８ｄは、第１のポート２６ｄ及び第２のポート２８ｄを有している。第１のポート２６ｄ及び第２のポート２８ｄにはそれぞれ、第１の通信デバイス１０ｄ及び第２の通信デバイス１２ｄが接続されている。
　また、以下では、第１の搬送台車４及び第２の搬送台車６が、ほぼ同じタイミングで、上位コントローラ（図示せず）より、半導体製造装置８ｂの第１のポート２６ｂとの間でＦＯＵＰ１４（図１参照）を移載するように指示された場合について説明する。この場合、第１の搬送台車４及び第２の搬送台車６はそれぞれ、第１の軌道１６及び第２の軌道２０に沿って走行し、ほぼ同じタイミングで、ＦＯＵＰ１４を移載すべき第１のポート２６ｂの直上の位置で停止する。また、第１の搬送台車４及び第２の搬送台車６は、上位コントローラより、第１のポート２６ｂに接続された第１の通信デバイス１０ｂに関する情報（例えば、第１の通信デバイス１０ｂの無線周波数帯、無線チャンネル及び無線ＩＤ等）を取得する。これにより、第１の搬送台車４及び第２の搬送台車６の各々は、取得した第１の通信デバイス１０ｂに関する情報に基づいて、第１の通信デバイス１０ｂとの間で無線通信を行うことが可能となる。
　図８に示すように、第１の搬送台車４の通信部３６は、無線通信により、通信同期のためのペアリング信号を第１の通信デバイス１０ｂに送信する（Ｓ１０１）。ペアリング信号が第１の通信デバイス１０ｂで受信されたことをトリガとして、第１の搬送台車４の通信部３６は、無線通信により、インターロック通信に係る通信データであるコマンド信号（第１の通信データの一例）を第１の通信デバイス１０ｂに送信する（Ｓ１０２）。ここで、第１の搬送台車４の通信部３６は、コマンド信号を所定の周期（例えば、１０ｍｓｅｃ）で第１の通信デバイス１０ｂに送信する。なお、上記所定の周期の起点となるタイミングは、ステップＳ１０２でコマンド信号が送信されたタイミングでもよく、あるいは、ステップＳ１０１でペアリング信号が送信されたタイミングでもよい。
　第１の通信デバイス１０ｂの通信部５２は、無線通信により、第１の搬送台車４からのコマンド信号を受信する。また、第１の通信デバイス１０ｂの通信部５２は、有線通信により、受信した当該コマンド信号を第１のポート２６ｂに送信（出力）する。第１の通信デバイス１０ｂの通信部５２は、受信したコマンド信号に対する応答として、無線通信により、インターロック通信に係る通信データである応答信号（第２の通信データの一例）を第１の搬送台車４に送信する（Ｓ１０３）。ここで、第１の通信デバイス１０ｂの通信部５２は、第１の搬送台車４からのコマンド信号を受信する毎に、応答信号を第１の搬送台車４に送信する。
　このように、第１の搬送台車４からのコマンド信号が第１の通信デバイス１０ｂで受信され、且つ、第１の通信デバイス１０ｂからの応答信号が第１の搬送台車４で受信されることにより、第１の搬送台車４と第１の通信デバイス１０ｂとの間でインターロック通信が確立する。これにより、第１の搬送台車４と第１のポート２６ｂとの間で、Ｅ８４インターロックシーケンスにより、移載前手順、移載手順及び移載後手順がこの順に実行される。
　続いて、第１の搬送台車４の通信部３６は、第１の通信デバイス１０ｂからの応答信号を受信したことを受けて、無線通信により、コマンド信号を第１の通信デバイス１０ｂに送信する（Ｓ１０４）。上述と同様に、第１の通信デバイス１０ｂの通信部５２は、無線通信により、第１の搬送台車４からのコマンド信号を受信する。また、第１の通信デバイス１０ｂの通信部５２は、有線通信により、受信した当該コマンド信号を第１のポート２６ｂに出力する。
　次に、第２の搬送台車６の通信部４６は、無線通信により、通信同期のためのペアリング信号を第１の通信デバイス１０ｂに送信する（Ｓ１０５）。ペアリング信号が第１の通信デバイス１０ｂで受信されたことをトリガとして、第２の搬送台車６の通信部４６は、無線通信により、コマンド信号を第１の通信デバイス１０ｂに送信する（Ｓ１０６）。ここで、第２の搬送台車６の通信部４６は、コマンド信号を所定の周期（例えば、１０ｍｓｅｃ）で第１の通信デバイス１０ｂに送信する。第１の搬送台車４の通信部３６がコマンド信号を送信する所定の周期と、第２の搬送台車６の通信部４６がコマンド信号を送信する所定の周期とは、同一である。なお、上記所定の周期の起点となるタイミングは、ステップＳ１０６でコマンド信号が送信されたタイミングでもよく、あるいは、ステップＳ１０５でペアリング信号が送信されたタイミングでもよい。
　上述したステップＳ１０６と同じタイミングで、第１の通信デバイス１０ｂの通信部５２は、無線通信により、第１の搬送台車４からのコマンド信号に対する応答として、応答信号を第２の搬送台車６に送信するとともに（Ｓ１０７）、応答信号を第１の搬送台車４に送信する（Ｓ１０８）。なお、これらのステップＳ１０７及びステップＳ１０８の各タイミングは、ほぼ同時であってもよい。
　この時、ステップＳ１０６で第２の搬送台車６がコマンド信号を送信したタイミングと、ステップＳ１０７で第１の通信デバイス１０ｂが応答信号を送信したタイミングとが一致するため、これらのコマンド信号と応答信号とが衝突する（Ｓ１０９）。これにより、第２の搬送台車６の通信部４６は、ステップＳ１０９における信号同士（コマンド信号及び応答信号）の衝突（より具体的には、２つの通信フレームの破損）により、ステップＳ１０７で送信された応答信号を受信することができないため、第２の搬送台車６と第１の通信デバイス１０ｂとの間ではインターロック通信が確立されない。一方、第１の搬送台車４の通信部３６は、第１の通信デバイス１０ｂが応答信号を送信するタイミングでコマンド信号を送信していないため、コマンド信号と応答信号とが衝突しない。そのため、第１の搬送台車４の通信部３６は、ステップＳ１０８で送信された応答信号を受信することができる。
　続いて、第１の搬送台車４の通信部３６は、第１の通信デバイス１０ｂからの応答信号を受信したことを受けて、無線通信により、コマンド信号を第１の通信デバイス１０ｂに送信する（Ｓ１１０）。第２の搬送台車６の通信部４６は、ステップＳ１０６でコマンド信号を送信してから所定の時間（例えば、１００ｍｓｅｃ）が経過しても応答信号を受信できない場合、ステップＳ１０６で送信したコマンド信号の次に送信すべきコマンド信号を送信するタイミングを、所定の周期に基づくタイミング（図８において破線の矢印で示すタイミング）から変更する（Ｓ１１１）。
　具体的には、第２の搬送台車６の通信部４６は、ステップＳ１０６で送信したコマンド信号の次にコマンド信号を送信するタイミングを、本来送信するはずであったタイミングから１０ｍｓｅｃよりも短い時間（例えば、７ｍｓｅｃ）だけ遅れるようにずらす。これにより、第２の搬送台車６の通信部４６は、当該変更したタイミングでコマンド信号を第１の通信デバイス１０ｂに送信する（Ｓ１１２）。この時、第２の搬送台車６の通信部４６は、コマンド信号を送信する所定の周期については変更しない。なお、このタイミングのずらし量は、必ずしも固定値でなくともよく、第１の搬送台車４と第２の搬送台車６とで予め異なる値が定められたものであってもよい。あるいは、このタイミングのずらし量は、ランダムに定められるものであってもよい。
　なお、上述したステップＳ１１１において、第２の搬送台車６の通信部４６は、ステップＳ１０６で送信したコマンド信号の次にコマンド信号を送信するタイミングを、本来送信するはずであったタイミングから１０ｍｓｅｃよりも長い時間（例えば、１２ｍｓｅｃ）だけ遅れるようにずらしてもよい。
　この時、ステップＳ１１１でタイミングを変更する前において第２の搬送台車６が元々コマンド信号を送信するはずであったタイミング（図８において破線の矢印で示すタイミング）と、ステップＳ１１０で第１の搬送台車４がコマンド信号を送信するタイミングとが一致しているとする。この場合、上述したようにステップＳ１１１でコマンド信号を送信するタイミングを変更することにより、以降、第１の搬送台車４がコマンド信号を送信するタイミングと、第２の搬送台車６がコマンド信号を送信するタイミングとが一致しなくなる。その結果、第１の搬送台車４からのコマンド信号と第２の搬送台車６からのコマンド信号とが衝突するのを回避することができる。
　第１の通信デバイス１０ｂの通信部５２は、ステップＳ１１０で送信された第１の搬送台車４からのコマンド信号と、ステップＳ１１２で送信するタイミングをずらして送信された第２の搬送台車６からのコマンド信号とを受信する。
　この時、第１の通信デバイス１０ｂの通信部５２は、当該第１の通信デバイス１０ｂとの間でインターロック通信が確立されている第１の搬送台車４からのコマンド信号を、有線通信により第１のポート２６ｂに送信する。
　一方、第１の通信デバイス１０ｂの通信部５２は、当該第１の通信デバイス１０ｂとの間でインターロック通信が確立されていない第２の搬送台車６からのコマンド信号を破棄する（Ｓ１１３）。これにより、第１の通信デバイス１０ｂの通信部５２は、第１の搬送台車４との間でインターロック通信が確立されている間に、当該第１の搬送台車４以外の他の搬送台車（第２の搬送台車６）からのコマンド信号を受信した場合には、受信した当該コマンド信号を第１のポート２６ｂに送信しない。すなわち、第１の通信デバイス１０ｂの通信部５２は、第１の搬送台車４との間でインターロック通信を確立している間は、当該第１の搬送台車４以外の他の搬送台車（第２の搬送台車６）との間でインターロック通信を確立することを回避する。
　第１の通信デバイス１０ｂの通信部５２は、無線通信により、第１の搬送台車４からのコマンド信号に対する応答として、応答信号を第１の搬送台車４に送信するとともに（Ｓ１１４）、応答信号を第２の搬送台車６に送信する（Ｓ１１５）。なお、これらのステップＳ１１４及びステップＳ１１５の各タイミングは、ほぼ同時であってもよい。
　第１の搬送台車４の通信部３６は、第１の通信デバイス１０ｂからの応答信号を受信し、以降、第１の搬送台車４と第１のポート２６ｂとの間でＥ８４インターロックシーケンスの移載後手順が終了するまで、第１の通信デバイス１０ｂとの間でインターロック通信を継続して行う。なお、第１の搬送台車４の通信部３６は、ＰＩ／Ｏ　ＩＮ　８ｂｉｔ（ａｌｌ　０）及びＰＩ／Ｏ　ＯＵＴ　８ｂｉｔ（ａｌｌ　０）を含む図５の通信フレーム４２を第１の通信デバイス１０ｂに送信することにより、第１の通信デバイス１０ｂとの間におけるインターロック通信を終了する。
　一方、第２の搬送台車６の通信部４６は、第１の搬送台車４からのコマンド信号に対する応答である、ステップＳ１１５で第１の通信デバイス１０ｂが送信した応答信号を受信する。この時、第２の搬送台車６の通信部４６は、受信した応答信号に含まれる、図５に示す搬送台車側無線ＩＤ（第１の搬送台車４の識別情報）及び半導体製造装置側無線ＩＤ（第１の通信デバイス１０ｂの識別情報）に基づいて、第１の搬送台車４と第１の通信デバイス１０ｂとの間でインターロック通信が確立されていると判定する。第２の搬送台車６の通信部４６は、この判定結果に基づいて、第１の通信デバイス１０ｂへのコマンド信号の送信を停止する（Ｓ１１６）。
　次に、第２の搬送台車６の通信部４６は、記憶部４８に記憶された管理テーブル４４を参照することにより、第１の通信デバイス１０ｂと接続された第２の通信デバイス１２ｂの無線チャンネル及びデバイス番号（識別情報）を読み出す。第２の搬送台車６の通信部４６は、読み出した第２の通信デバイス１２ｂの無線チャンネル及びデバイス番号に基づいて、無線通信により、問い合わせ信号を第２の通信デバイス１２ｂに送信する（Ｓ１１７）。問い合わせ信号は、第２の通信デバイス１２ｂに対して、第１の搬送台車４と第１の通信デバイス１０ｂとの間におけるインターロック通信の進行状況を問い合わせるための信号である。
　第２の通信デバイス１２ｂの通信部５６は、第２の搬送台車６からの問い合わせ信号を受信したことを受けて、有線通信により、要求信号を第１の通信デバイス１０ｂに送信する（Ｓ１１８）。要求信号は、第１の通信デバイス１０ｂに対して、第１の搬送台車４と第１の通信デバイス１０ｂとの間におけるインターロック通信の進行状況に関する情報（以下、「進行状況情報」という）の送信を要求するための信号である。
　第１の通信デバイス１０ｂの通信部５２は、第２の通信デバイス１２ｂからの要求信号を受信したことを受けて、有線通信により、応答信号を第２の通信デバイス１２ｂに送信する（Ｓ１１９）。応答信号は、第２の通信デバイス１２ｂからの要求信号に対する応答として、進行状況情報を送信するための信号である。なお、進行状況情報は、図５に示す通信フレーム４２に含まれるＰＩ／Ｏ　ＩＮ　８ｂｉｔ、及び、ＰＩ／Ｏ　ＯＵＴ　８ｂｉｔから取得可能である。
　第２の通信デバイス１２ｂの通信部５６は、第１の通信デバイス１０ｂからの応答信号を受信したことを受けて、無線通信により、回答信号を第２の搬送台車６に送信する（Ｓ１２０）。回答信号は、第２の搬送台車６からの問い合わせ信号に対する回答として、進行状況情報を送信するための信号である。
　第２の搬送台車６の通信部４６は、第２の通信デバイス１２ｂからの回答信号を受信する。第２の搬送台車６の制御部５０は、通信部４６により受信された回答信号に基づいて、第１の搬送台車４と第１の通信デバイス１０ｂとの間におけるインターロック通信の進行状況を判断する（Ｓ１２１）。第２の搬送台車６の制御部５０は、回答信号により示されるインターロック通信の進行状況に応じて、後述する第１の制御及び第２の制御のいずれか一方を実行する。
　第１の搬送台車４と第１の通信デバイス１０ｂとの間におけるインターロック通信の進行状況が移載前手順である場合には（Ｓ１２１で「移載前手順」）、第２の搬送台車６の制御部５０は、第１の制御を実行する（Ｓ１２２）。第１の制御では、第２の搬送台車６の制御部５０は、第１のポート２６ｂの直上の位置から離れるように第２の搬送台車６を移動させることにより、第２の搬送台車６を迂回走行させるように制御する。
　第２の搬送台車６から第１のポート２６ｂへＦＯＵＰ１４を荷降ろしする場合には、第２の搬送台車６の制御部５０は、第１の搬送台車４と第１の通信デバイス１０ｂとの間におけるインターロック通信の終了後に、第１のポート２６ｂの直上の位置に再度戻ってくるように、第２の搬送台車６の走行を制御する。第２の搬送台車６が第１のポート２６ｂの直上の位置に再度戻ってきた際には、第２の搬送台車６の制御部５０は、ペアリング信号を第１の通信デバイス１０ｂに送信するように通信部４６を制御する。
　一方、第１のポート２６ｂから第２の搬送台車６へＦＯＵＰ１４を荷掴みする場合も同様に、第２の搬送台車６の制御部５０は、第１の搬送台車４と第１の通信デバイス１０ｂとの間におけるインターロック通信の終了後に、第１のポート２６ｂの直上の位置に再度戻ってくるように、第２の搬送台車６の走行を制御する。なお、この場合、第２の搬送台車６に代えて、第１の搬送台車４及び第２の搬送台車６以外の他の搬送台車が、第１の搬送台車４と第１の通信デバイス１０ｂとの間におけるインターロック通信の終了後に、第１のポート２６ｂの直上の位置に到着するようにしてもよい。
　第１の搬送台車４と第１の通信デバイス１０ｂとの間におけるインターロック通信の進行状況が移載前手順である場合には、当該インターロック通信の終了までに比較的長い時間（例えば、１０秒）を要するようになる。このような場合に、第２の搬送台車６を迂回走行させる第１の制御を実行することにより、第２の軌道２０において、第２の搬送台車６が後続の他の搬送台車の走行に邪魔になるのを回避することができ、搬送台車の渋滞の発生を回避することができる。
　一方、第１の搬送台車４と第１の通信デバイス１０ｂとの間におけるインターロック通信の進行状況が移載後手順である場合には（Ｓ１２１で「移載後手順」）、第２の搬送台車６の制御部５０は、第２の制御を実行する（Ｓ１２３）。第２の制御では、第２の搬送台車６の制御部５０は、インターロック通信が終了するまで第２の搬送台車６を第１のポート２６ｂの直上の位置で待機させ、インターロック通信の終了後にペアリング信号を第１の通信デバイス１０ｂに送信するように通信部４６を制御する。
　第１の搬送台車４と第１の通信デバイス１０ｂとの間におけるインターロック通信の進行状況が移載後手順である場合には、当該インターロック通信の終了までに比較的短い時間（例えば、１秒）を要するのみである。このような場合に、第２の搬送台車６をその場で待機させる第２の制御を実行することにより、第２の搬送台車６は、インターロック通信の終了後速やかに、ペアリング信号を第１の通信デバイス１０ｂに送信することができる。
　また、第１の搬送台車４と第１の通信デバイス１０ｂとの間におけるインターロック通信の進行状況が移載手順である場合には（Ｓ１２１で「移載手順」）、第２の搬送台車６の制御部５０は、移載手順を開始してから所定時間Ｔ（例えば、数秒）が経過したか否かを判定する（Ｓ１２４）。所定時間Ｔが経過していない場合には（Ｓ１２４でＮＯ）、第２の搬送台車６の制御部５０は、上述した第１の制御を実行する（ステップＳ１２２）。この場合、インターロック通信の終了までに比較的長い時間を要するようになるため、第２の搬送台車６を迂回走行させる第１の制御を実行することにより、第２の軌道２０において、第２の搬送台車６が後続の他の搬送台車の走行に邪魔になるのを回避することができ、搬送台車の渋滞の発生を回避することができる。
　一方、所定時間Ｔが経過した場合には（Ｓ１２４でＹＥＳ）、第２の搬送台車６の制御部５０は、上述した第２の制御を実行する（ステップＳ１２３）。この場合、インターロック通信の終了までに比較的短い時間を要するようになるため、第２の搬送台車６をその場で待機させる第２の制御を実行することにより、第２の搬送台車６は、インターロック通信の終了後速やかに、ペアリング信号を第１の通信デバイス１０ｂに送信することができる。
　［４．効果］
　図９は、比較例に係る無線通信システムの動作の流れを示すシーケンス図である。図９のシーケンス図では、図８のシーケンス図における処理と同一の処理には同一のステップ番号を付し、その説明を省略する。
　比較例に係る無線通信システムでは、ステップＳ１０１～Ｓ１１０が実行された後、図８のステップＳ１１１が実行されない。図９に示すように、ステップＳ１０９の後、第１の搬送台車４の通信部３６がコマンド信号を第１の通信デバイス１０ｂに送信し（Ｓ１１０）、これと同じタイミングで、第２の搬送台車６の通信部４６がコマンド信号を第１の通信デバイス１０ｂに送信する（Ｓ２０１）。すなわち、第１の搬送台車４の通信部３６がコマンド信号を送信する周期及びタイミングと、第２の搬送台車６の通信部４６がコマンド信号を送信する周期及びタイミングとが一致している。この場合、第１の搬送台車４からのコマンド信号と第２の搬送台車６からのコマンド信号とが衝突することにより（Ｓ２０２）、第１の通信デバイス１０ｂの通信部５２はコマンド信号を受信することができずに通信エラーとなる。
　その後、上述したのと同様に、第１の搬送台車４の通信部３６がコマンド信号を第１の通信デバイス１０ｂに再度送信し（Ｓ２０３）、これと同じタイミングで、第２の搬送台車６の通信部４６がコマンド信号を第１の通信デバイス１０ｂに再度送信する（Ｓ２０４）。この場合も、第１の搬送台車４からのコマンド信号と第２の搬送台車６からのコマンド信号とが衝突することにより（Ｓ２０５）、第１の通信デバイス１０ｂの通信部５２はコマンド信号を受信することができずに通信エラーとなる。
　第１の搬送台車４の通信部３６がコマンド信号を送信してから予め定められた応答時間（例えば、２５０ｍｓｅｃ）以内に応答信号を受信できない場合には、通信タイムアウトとなる（Ｓ２０６）。同様に、第２の搬送台車６の通信部４６がコマンド信号を送信してから予め定められた応答時間（例えば、２５０ｍｓｅｃ）以内に応答信号を受信できない場合には、通信タイムアウトとなる（Ｓ２０７）。そのため、第１の搬送台車４及び第２の搬送台車６はともに、第１の通信デバイス１０ｂとの間でインターロック通信を実行できなくなるという問題が生じる。
　これに対して、本実施の形態では、第２の搬送台車６の通信部４６は、図８のステップＳ１０６でコマンド信号を送信してから所定の時間が経過しても応答信号を受信できない場合、図８のステップＳ１０６で送信したコマンド信号の次に送信すべきコマンド信号を送信するタイミングを、所定の周期に基づくタイミング（図８において破線の矢印で示すタイミング）から変更する。
　これにより、第１の搬送台車４の通信部３６がコマンド信号を送信する所定の周期と、第２の搬送台車６の通信部４６がコマンド信号を送信する所定の周期とが一致している場合であっても、第１の搬送台車４からのコマンド信号と第２の搬送台車６からのコマンド信号とが衝突するのを回避することができる。その結果、第１の通信デバイス１０ｂの通信部５２はコマンド信号を受信することができるため通信エラーになることが無く、第１の搬送台車４は、第１の通信デバイス１０ｂとの間でインターロック通信を継続して実行することができる。
　（他の変形例等）
　以上、本発明の無線通信システム及び無線通信システムの制御方法について、上記実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。上記実施の形態に対して当業者が思い付く変形を施して得られる形態、及び、上記実施の形態における構成要素を任意に組み合わせて実現される別の形態も本発明に含まれる。
　上記実施の形態では、第１の軌道１６及び第２の軌道２０は、半導体製造装置８の第１のポート２６の直上において、上下方向に関して異なる位置に配置されているようにしたが、これに限定されない。第１の軌道１６及び第２の軌道２０は、例えば第１の軌道１６及び第２の軌道２０の各延在方向に対して垂直な水平方向に関して異なる位置に配置されていてもよい。この場合、第１の軌道１６における第１の搬送台車４及び第２の軌道２０における第２の搬送台車６は、いずれも第１のポート２６等との間でＦＯＵＰ１４を移載可能であるため、上記実施の形態と同様に本発明の効果を奏する。
　あるいは、第１の搬送台車４及び第２の搬送台車６は、水平面内において格子状に配置された複数の軌道に沿って二次元的に走行するようにしてもよい。この場合、第１の搬送台車４及び第２の搬送台車６はそれぞれ、格子状の複数の軌道上の互いに異なる第１の位置及び第２の位置において、第１のポート２６等との間でＦＯＵＰ１４を移載可能であるため、上記実施の形態と同様に本発明の効果を奏する。
　なお、上記実施の形態において、各構成要素は、専用のハードウェアで構成されるか、各構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。各構成要素は、ＣＰＵ又はプロセッサ等のプログラム実行部が、ハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。
　本発明に係る無線通信システムは、例えば天井に設置された軌道に沿って走行する搬送台車によりＦＯＵＰを搬送するための半導体製造システム等に適用することができる。
２　無線通信システム
４　第１の搬送台車
６　第２の搬送台車
８，８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ　半導体製造装置
１０，１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ　第１の通信デバイス
１２，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ　第２の通信デバイス
１４　ＦＯＵＰ
１６　第１の軌道
１８，２１　把持部
２０　第２の軌道
２２　第１の搬入出口
２４　第２の搬入出口
２６，２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ　第１のポート
２８，２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，２８ｄ　第２のポート
３０，３２　パラレルケーブル
３４　シリアルケーブル
３６，４６，５２，５６，６０，６４　通信部
３８，４８　記憶部
４０，５０，５４，５８，６２，６６　制御部
４２　通信フレーム
４４　管理テーブル

Claims (10)

  1. 　軌道に沿って走行することにより被搬送物を搬送する複数の搬送台車と、前記複数の搬送台車の各々により前記被搬送物が移載されるポートに接続され、前記複数の搬送台車の各々との間で無線通信を行う通信デバイスと、を備える無線通信システムであって、
    　前記複数の搬送台車の各々は、（ｉ）ペアリング信号を前記通信デバイスに送信し、（ｉｉ）前記ペアリング信号が前記通信デバイスで受信されたことをトリガとして、前記ポートに対して前記被搬送物を移載するためのインターロック通信に係る第１の通信データを所定の周期で前記通信デバイスに送信し、且つ、前記第１の通信データに対する応答として前記インターロック通信に係る第２の通信データを前記通信デバイスから受信することにより、前記通信デバイスとの間で前記インターロック通信を確立する第１の通信部を有し、
    　前記通信デバイスは、（ｉｉｉ）前記複数の搬送台車のうち特定の搬送台車からの前記ペアリング信号を受信し、（ｉｖ）前記ペアリング信号を受信したことをトリガとして、前記特定の搬送台車からの前記第１の通信データを受信し、且つ、前記第１の通信データを受信する毎に前記第２の通信データを前記特定の搬送台車に送信することにより、前記特定の搬送台車との間で前記インターロック通信を確立し、（ｖ）前記特定の搬送台車との間で前記インターロック通信を確立している間は、前記特定の搬送台車以外の他の搬送台車との間で前記インターロック通信を確立することを回避する第２の通信部を有し、
    　前記第１の通信部は、前記第１の通信データを前記通信デバイスに送信してから所定の時間が経過しても前記第２の通信データを受信できない場合には、当該第１の通信データの次に送信すべき第１の通信データを送信するタイミングを、前記所定の周期に基づくタイミングから変更する
    　無線通信システム。
  2. 　前記他の搬送台車の前記第１の通信部は、前記特定の搬送台車と前記通信デバイスとの間で確立された前記インターロック通信に係る前記第２の通信データを受信した場合には、前記第１の通信データを前記通信デバイスに送信しない
    　請求項１に記載の無線通信システム。
  3. 　前記他の搬送台車の前記第１の通信部は、前記特定の搬送台車と前記通信デバイスとの間で確立された前記インターロック通信に係る前記第２の通信データを受信した場合には、当該第２の通信データに含まれる、前記通信デバイスの識別情報及び前記特定の搬送台車の識別情報に基づいて、前記通信デバイスと前記特定の搬送台車との間で前記インターロック通信が確立されていると判定する
    　請求項１又は２に記載の無線通信システム。
  4. 　前記通信デバイスの前記第２の通信部は、前記特定の搬送台車との間で前記インターロック通信が確立されている間に、前記他の搬送台車からの前記第１の通信データを受信した場合には、当該第１の通信データを前記ポートに出力しない
    　請求項１～３のいずれか１項に記載の無線通信システム。
  5. 　前記複数の搬送台車の各々は、さらに、制御部を有し、
    　前記他の搬送台車の前記制御部は、前記通信デバイスと前記特定の搬送台車との間で前記インターロック通信が確立されている場合には、前記ポートから離れるように前記他の搬送台車を移動させる第１の制御、及び、前記インターロック通信が終了するまで前記他の搬送台車を待機させ、前記インターロック通信の終了後に前記ペアリング信号を前記通信デバイスに送信するように前記第１の通信部を制御する第２の制御のいずれか一方を実行する
    　請求項１～４のいずれか１項に記載の無線通信システム。
  6. 　前記他の搬送台車の前記制御部は、前記通信デバイスと前記特定の搬送台車との間における前記インターロック通信の進行状況に応じて、前記第１の制御及び前記第２の制御のいずれか一方を実行する
    　請求項５に記載の無線通信システム。
  7. 　前記軌道は、上下方向に関して異なる位置に配置された第１の軌道及び第２の軌道を含み、
    　前記特定の搬送台車及び前記他の搬送台車はそれぞれ、前記第１の軌道及び前記第２の軌道において前記ポートとの間で前記被搬送物を移載可能である
    　請求項１～６のいずれか１項に記載の無線通信システム。
  8. 　前記軌道は、前記軌道の延在方向に対して垂直な水平方向に関して異なる位置に配置された第１の軌道及び第２の軌道を含み、
    　前記特定の搬送台車及び前記他の搬送台車はそれぞれ、前記第１の軌道及び前記第２の軌道において前記ポートとの間で前記被搬送物を移載可能である
    　請求項１～６のいずれか１項に記載の無線通信システム。
  9. 　前記軌道は、水平面内において格子状に配置された複数の軌道を含み、
    　前記特定の搬送台車及び前記他の搬送台車はそれぞれ、前記複数の軌道上の互いに異なる第１の位置及び第２の位置において、前記ポートとの間で前記被搬送物を移載可能である
    　請求項１～６のいずれか１項に記載の無線通信システム。
  10. 　軌道に沿って走行することにより被搬送物を搬送する複数の搬送台車と、前記複数の搬送台車の各々により前記被搬送物が移載されるポートに接続され、前記複数の搬送台車の各々との間で無線通信を行う通信デバイスと、を備える無線通信システムの制御方法であって、
    　（ａ）前記複数の搬送台車のうち特定の搬送台車が、ペアリング信号を前記通信デバイスに送信するステップと、
    　（ｂ）前記通信デバイスが、前記特定の搬送台車からの前記ペアリング信号を受信するステップと、
    　（ｃ）前記ペアリング信号が前記通信デバイスで受信されたことをトリガとして、前記特定の搬送台車が、前記ポートに対して前記被搬送物を移載するためのインターロック通信に係る第１の通信データを所定の周期で前記通信デバイスに送信し、且つ、前記通信デバイスが、前記第１の通信データを受信する毎に、前記第１の通信データに対する応答として、前記インターロック通信に係る第２の通信データを前記特定の搬送台車に送信することにより、前記特定の搬送台車と前記通信デバイスとの間で前記インターロック通信を確立するステップと、
    　（ｄ）前記特定の搬送台車が、前記第１の通信データを前記通信デバイスに送信してから所定の時間が経過しても前記第２の通信データを受信できない場合には、当該第１の通信データの次に送信すべき第１の通信データを送信するタイミングを、前記所定の周期に基づくタイミングから変更するステップと、
    　（ｅ）前記通信デバイスは、前記特定の搬送台車との間で前記インターロック通信を確立している間は、前記特定の搬送台車以外の他の搬送台車との間で前記インターロック通信を確立することを回避するステップと、を含む
    　無線通信システムの制御方法。
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