KR102242360B1 - 반도체 반송 시스템 및 이의 반송 차량 제어 방법 - Google Patents

반도체 반송 시스템 및 이의 반송 차량 제어 방법 Download PDF

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Abstract

반도체 반송 선로의 교차로 영역에서 반송 차량들의 충돌을 방지할 수 있으며, 높은 안전성을 가지는 반도체 반송 시스템 및 이의 반송 차량 제어 방법이 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 반도체 반송 시스템은, 반도체를 반송하기 위한 반송 차량들이 이동 가능하게 제공되는 선로들을 포함하는 반도체 반송 선로; 상기 반도체 반송 선로의 상기 선로들이 교차되는 교차로 영역의 반송 차량 진입부에 배치되고, 상기 반송 차량들과 통신 가능한 선로측 통신 모듈; 상기 반송 차량들과 무선 통신 가능하고, 상기 반송 차량들로 제어 신호를 전송하거나 상기 반송 차량들로부터 수신한 정보를 서버로 전송하는 중계 장치; 및 상기 반송 차량들에 각각 구비되고, 상기 반송 차량들의 위치정보 및 차량정보를 상기 선로측 통신 모듈로 전송하는 통신 모듈을 포함한다.

Description

반도체 반송 시스템 및 이의 반송 차량 제어 방법{Semiconductor transfer system and controlling method for transfer vehicle of the same}
본 발명은 반도체 반송 시스템 및 이의 반송 차량 제어 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 반송 선로의 선로들이 교차되는 교차로 영역에서 반송 차량들의 진입 순위를 제어하여 충돌을 방지할 수 있는 반도체 반송 시스템 및 이의 반송 차량 제어 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 공정은 증착, 공정액 도포, 노광, 현상, 식각, 세정 등의 다양한 공정을 거쳐 반도체를 제조하고 있다. 이를 위해, 반도체 제조 시스템은 각 공정을 수행하는 공정 모듈들 간에 반도체를 반송할 수 있도록 오버헤드 호이스트 반송 장치(OHT; Overhead Hoist Transport) 등의 반도체 반송 시스템을 구비하고 있다. 반도체 반송 효율을 높이기 위해 반도체 반송 시스템은 선로를 따라 주행하는 반송 차량을 다수 포함하고 있으며, 다수의 반송 차량을 다수의 공정 모듈들 사이에 마련된 다수의 선로를 따라 주행시켜 반도체를 반송하게 된다.
반도체 반송 시스템은 반송 차량들이 주행하는 선로들이 교차되는 교차로 영역에서 반송 차량들 간의 충돌을 방지하기 위한 모니터링 시스템을 구비하고 있다. 종래의 반도체 반송 시스템은 다수의 광센서를 반도체 반송 차량의 주행 레일에 설치하여 반도체 반송 차량의 교차로 진입 여부를 모니터링하고 있다. 이와 같은 종래의 방식은 조도 센서에 의한 센싱 방식이므로 센싱 지연이 발생될 수 있으며, 다수의 조도 센서를 설치해야 하므로 설치 비용이 큰 단점이 있다. 또한, 목적지 입력 방식에 의해 반도체 반송 차량의 제어를 수행할 경우, 반도체 반송 차량이 중간에 멈췄을 때 반송 차량의 위치를 파악하기가 어려운 문제가 있다.
본 발명은 반도체 반송 선로의 선로들이 교차되는 교차로 영역에서 반송 차량들의 충돌을 효율적으로 방지할 수 있는 반도체 반송 시스템 및 이의 반송 차량 충돌 방지 방법을 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 반송 차량과 무선 통신 선로, 중계 서버 및 서버에 의해 2-way 무선 통신을 수행하여 반도체 반송 선로의 교차로 영역에서 반송 차량들의 진입 순위를 제어하여 반도체 반송 공정의 안전성을 제고할 수 있다.
본 발명의 실시예의 일 측면에 따른 반도체 반송 시스템은, 반도체를 반송하기 위한 반송 차량들이 이동 가능하게 제공되는 선로들을 포함하는 반도체 반송 선로; 상기 반도체 반송 선로의 상기 선로들이 교차되는 교차로 영역의 반송 차량 진입부에 배치되고, 상기 반송 차량들과 통신 가능한 선로측 통신 모듈; 상기 반송 차량들과 무선 통신 가능하고, 상기 반송 차량들로 제어 신호를 전송하거나 상기 반송 차량들로부터 수신한 정보를 서버로 전송하는 중계 장치; 및 상기 반송 차량들에 각각 구비되고, 상기 반송 차량들의 위치정보 및 차량정보 중 적어도 하나를 상기 선로측 통신 모듈로 전송하는 통신 모듈을 포함한다.
또한, 상기 반도체 반송 선로는, 상기 선로들의 연장 방향과 동일한 방향으로 연장 형성되며 복수의 식별태그들을 포함하는 식별태그부를 포함하고, 상기 반송 차량들은 각각 상기 선로들에 배치된 식별태그를 인식하여 상기 위치정보를 인식하고, 반송 차량의 위치정보 및 차량정보를 중 적어도 하나 상기 선로측 통신 모듈 및 상기 서버로 각각 송신하도록 형성될 수 있다.
또한, 상기 반도체 반송 선로는, 제1 선로, 상기 제1 선로와 교차로 영역에서 합쳐지는 제2 선로 및 상기 제1 선로 및 상기 제2 선로가 합쳐져 형성되는 합류 선로를 포함하고, 상기 제1 선로 및 상기 제2 선로에서의 상기 반송 차량의 이동은 서로 마주보는 방향으로 이동되며, 상기 식별태그부는, 상기 제1 선로, 상기 제2 선로 및 상기 합류 선로에 각각 배치되는 제1 식별태그부, 제2 식별태그부 및 제3 식별태그부를 포함하고, 상기 제1 식별태그부는 상기 제2 식별태그부는 합류 선로가 형성되는 부분에서 제3 식별태그부와 만날 수 있다.
또한, 상기 식별태그부의 상기 식별태그들 각각은 상기 반도체 반송 선로의 연장 방향과 동일한 방향으로 배치되며, 복수의 상기 식별태그 중 어느 하나의 식별태그와 이에 인접한 다른 하나의 식별태그 사이의 간격은 하나의 상기 식별태그의 길이보다 짧게 형성될 수 있다.
또한, 상기 반도체 반송 선로에는, 상기 선로측 통신 모듈이 배치되는 영역에 대응되는 로컬 통신 영역이 형성되며, 상기 로컬 통신 영역의 외부에서, 상기 반송 차량들은 상기 서버와 무선 통신하여, 상기 반송 차량들의 상기 위치정보 및 상기 차량정보 중 적어도 하나를 상기 서버로 전달하며, 상기 로컬 통신 영역의 내부에서, 상기 반송 차량들은 상기 서버 및 상기 선로측 통신 모듈과 무선 통신하여, 상기 반송 차량들의 상기 위치정보 및 상기 차량정보 중 적어도 하나를 상기 서버 및 상기 선로측 통신 모듈과 연결된 상기 중계 모듈로 각각 전달하며, 상기 로컬 통신 영역의 내부에서, 상기 반송 차량 및 상기 서버간 통신과, 상기 반송 차량 및 상기 선로측 통신 모듈간 통신은 상호 독립적일 수 있다.
또한, 상기 반송 차량 및 상기 선로측 통신 모듈간 통신을 통하여 상기 서버로 상기 차량 정보 및 상기 위치 정보를 전달하는 통신은, 상기 반송 차량 및 상기 서버간 통신 보다 무선 구간이 짧게 형성될 수 있다.
또한, 상기 로컬 통신 영역은, 선형으로 형성되는 상기 선로측 통신 모듈의 일단에서 상기 선로측 통신 모듈의 타단을 연결하는 영역에 대응되는 크기로 형성되고, 상기 선로측 통신 모듈의 중심은 상기 로컬 통신 영역의 중심 및 상기 교차로 영역의 중심과 일치될 수 있다.
또한, 상기 로컬 통신 영역은 상기 교차로 영역을 중심으로 대칭되도록 길게 연장 형성될 수 있다.
또한, 상기 선로측 통신 모듈은 RCoax 방사 케이블을 기반으로 상기 반송 차량들과 통신하도록 구성되고, 상기 RCoax 방사 케이블은 상기 선로들과 나란하게 배치될 수 있다.
또한, 상기 중계 장치 및 상기 서버는 각각, 상기 교차로 영역에서의 반송 차량들의 진입 정보를 기반으로 상기 교차로 영역에 2 이상의 반송 차량이 동시에 진입되는 것을 방지하도록 상기 반송 차량들의 교차로 영역 진입 순서를 제어하기 위한 제어 신호를 상기 반송 차량들로 전송할 수 있다.
또한, 상기 반도체 반송 선로는 오버헤드 호이스트 반송 장치(OHT; Overhead Hoist Transport)의 선로일 수 있다.
또한, 상기 교차로 영역에서 상기 반송 차량과 상기 선로측 통신 모듈과 상기 중계 장치 및 상기 서버 간, 그리고 상기 반송 차량과 상기 서버 간의 2-way 통신을 통해 상기 교차로 영역에서의 상기 반송 차량들 간의 충돌을 방지하도록 구성될 수 있다.
또한, 상기 서버의 제어 부하량이 기준 부하량을 초과하는 경우, 상기 중계 장치는 상기 교차로 영역에서 상기 반송 차량들 중 일부에 대해 직접 진입 제어를 위한 관제를 수행하여, 상기 서버의 제어 부하량을 감소시키도록 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예의 다른 측면에 따른 반도체 반송 시스템의 반송 차량 제어 방법은, 반도체를 반송하기 위해 반송 차량들이 반도체 반송 선로의 선로들을 따라 이동하는 단계; 상기 반도체 반송 선로의 상기 선로들이 교차하는 교차로 영역의 반송 차량 진입부에 배치된 선로측 통신 모듈이 상기 반송 차량들과 통신하는 단계; 상기 반송 차량들이 상기 선로측 통신 모듈 및 서버로 반송 차량의 위치정보 및 차량정보 중 적어도 하나를 전송하는 단계; 중계 장치가, 상기 반송 차량들과 무선 통신하여 상기 반송 차량들로 충돌 방지를 위한 제1 제어 신호를 전송하는 단계; 상기 중계 장치가 상기 선로측 통신 모듈로 수신된 상기 반송 차량의 위치정보 및 차량정보를 상기 서버로 전송하는 단계; 및 상기 서버가 상기 반송 차량들과 무선 통신하여 상기 반송 차량들로 충돌 방지를 위한 제2 제어 신호를 전송하는 단계를 포함한다.
또한, 상기 반송 차량들이 상기 반송 차량의 위치정보 및 차량정보를 전송하는 단계는, 상기 반송 차량들이 각각 상기 선로들에 배치된 식별태그를 인식하여 상기 위치정보를 인식하는 단계; 및 상기 위치정보 및 상기 차량정보를 상기 선로측 통신 모듈 및 상기 서버로 각각 송신하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 상기 중계 장치 및 상기 서버는 각각, 상기 교차로 영역에서의 반송 차량들의 진입정보를 기반으로 상기 교차로 영역에 2 이상의 반송 차량이 동시에 진입되는 것을 방지하도록 상기 반송 차량들의 교차로 영역 진입 순서를 제어하기 위한 제어 신호를 상기 반송 차량들에 전송할 수 있다.
또한, 상기 반도체 반송 선로에는, 상기 선로측 통신 모듈이 배치되는 영역에 대응되는 로컬 통신 영역이 형성되며, 상기 로컬 통신 영역의 외부에서, 상기 반송 차량들은 상기 서버와 무선 통신하여, 상기 반송 차량들의 상기 위치정보 및 상기 차량정보 중 적어도 하나를 상기 서버로 전달하며, 상기 로컬 통신 영역의 내부에서, 상기 반송 차량들은 상기 서버 및 상기 선로측 통신 모듈과 무선 통신하여, 상기 반송 차량들의 상기 위치정보 및 상기 차량정보 중 적어도 하나를 상기 서버 및 상기 선로측 통신 모듈과 연결된 상기 중계 모듈로 각각 전달하며, 상기 로컬 통신 영역의 내부에서, 상기 반송 차량 및 상기 서버간 통신과, 상기 반송 차량 및 상기 선로측 통신 모듈간 통신은 상호 독립적일 수 있다.
또한, 상기 반송 차량 및 상기 선로측 통신 모듈간 통신을 통하여 상기 서버로 상기 차량 정보 및 상기 위치 정보를 전달하는 통신은, 상기 반송 차량 및 상기 서버간 통신 보다 무선 구간이 짧게 형성되고, 상기 로컬 통신 영역은, 선형으로 형성되는 상기 선로측 통신 모듈의 일단에서 상기 선로측 통신 모듈의 타단을 연결하는 영역에 대응되는 크기로 형성되며, 상기 선로측 통신 모듈의 중심은 상기 로컬 통신 영역의 중심 및 상기 교차로 영역의 중심과 일치되고, 상기 로컬 통신 영역은 상기 교차로 영역을 중심으로 대칭되도록 길게 연장 형성되며, 상기 선로측 통신 모듈은 RCoax 방사 케이블을 기반으로 상기 반송 차량들과 통신할 수 있다.
또한, 상기 교차로 영역에서 상기 반송 차량과 상기 선로측 통신 모듈과 상기 중계 장치 및 상기 서버 간, 그리고 상기 반송 차량과 상기 서버 간의 2-way 통신을 통해 상기 교차로 영역에서의 상기 반송 차량들 간의 충돌을 방지할 수 있다.
또한, 상기 서버의 제어 부하량이 기준 부하량을 초과하는 경우, 상기 중계 장치는 상기 교차로 영역에서 상기 반송 차량들 중 일부에 대해 직접 진입 제어를 위한 관제를 수행하여, 상기 서버의 제어 부하량을 감소시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기록된 컴퓨터로 기록된 판독 가능한 기록매체에는 반도체를 반송하기 위해 반송 차량들이 반도체 반송 선로의 선로들을 따라 이동하는 단계; 상기 반도체 반송 선로의 상기 선로들이 교차하는 교차로 영역의 반송 차량 진입부에 배치된 선로측 통신 모듈이 상기 반송 차량들과 통신하는 단계; 상기 반송 차량들이 상기 선로측 통신 모듈 및 서버로 반송 차량의 위치정보 및 차량정보 중 적어도 하나를 전송하는 단계; 중계 장치가, 상기 반송 차량들과 무선 통신하여 상기 반송 차량들로 충돌 방지를 위한 제1 제어 신호를 전송하는 단계; 상기 중계 장치가 상기 선로측 통신 모듈로 수신된 상기 반송 차량의 위치정보 및 차량정보를 상기 서버로 전송하는 단계; 및 상기 서버가 상기 반송 차량들과 무선 통신하여 상기 반송 차량들로 충돌 방지를 위한 제2 제어 신호를 전송하는 단계를 포함하는 반도체 반송 시스템의 반송 차량 제어 방법을 실행하기 위한 프로그램이 기록된다.
본 발명의 실시예에 의하면, 반도체 반송 선로의 선로들이 교차되는 교차로 영역에서 반송 차량들의 충돌을 효율적으로 방지할 수 있는 반도체 반송 시스템 및 이의 반송 차량 제어 방법이 제공된다.
또한, 본 발명의 실시예에 의하면, 반송 차량과 선로선로측 통신 모듈, 중계 장치 및 서버에 의해 2-way 통신을 수행하여 반도체 반송 선로의 교차로 영역에서 반송 차량들의 진입 순위를 제어하여 반도체 반송 공정의 안전성을 제고할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 반송 시스템의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 반송 시스템을 구성하는 통신 모듈의 구성도이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 반송 시스템의 동작을 예시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 반송 시스템의 반송 차량 제어 방법의 순서도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다. 또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
본 명세서에서 사용되는 '~모듈'은 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위로서, 예를 들어 소프트웨어, FPGA 또는 하드웨어 구성요소를 의미할 수 있다. '~모듈'에서 제공하는 기능은 복수의 구성요소에 의해 분리되어 수행되거나, 다른 추가적인 구성요소와 통합될 수도 있다. 본 명세서의 '~모듈'은 반드시 소프트웨어 또는 하드웨어에 한정되지 않으며, 어드레싱할 수 있는 저장 매체에 있도록 구성될 수도 있고, 하나 또는 그 이상의 프로세서들을 재생시키도록 구성될 수도 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 반송 시스템의 구성도이다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 반송 시스템(100)은 반도체를 공정 모듈들 간에 반송하기 위해 제공될 수 있다. 일 실시예에서, 반도체 반송 시스템(100)은 오버헤드 호이스트 반송 장치(OHT; Overhead Hoist Transport)로 제공될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
본 발명의 실시예에 따른 반도체 반송 시스템(100)은 이원화된 무선 통신에 의해 교차로 영역(116)에서의 반송 차량(10, 20)들 간의 충돌을 효과적으로 방지할 수 있도록 하기 위해, 반도체 반송 선로(110), 선로측 통신 모듈(120), 중계 장치(130), 통신 모듈(140) 및 서버(150)를 포함할 수 있다.
반도체 반송 선로(110)는 예를 들어, 반도체 공정 설비의 천정부에 설치되는 오버헤드 호이스트 반송 장치(OHT; Overhead Hoist Transport) 선로(레일)로 제공될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 반도체 반송 선로(110)는 반도체를 반송하기 위한 반송 차량들(10, 20)이 이동 가능하게 제공되는 선로들(111, 112, 114)을 포함할 수 있다. 반송 차량들(10, 20)은 반도체(예를 들어, 반도체 기판, 유리 기판, 기판 수납 풉, 반도체 캐리어 등)를 지지하는 지지 수단, 반도체 승강을 위한 호이스트 수단 및/또는 반도체를 회전/이동시킬 수 있는 구동 수단을 구비할 수 있다.
반도체 반송 선로(110)는 선로들(111, 112, 114)이 교차되는 교차로 영역(116)을 포함할 수 있다. 교차로 영역(116)은 2개 이상의 선로(111, 112, 114)가 하나의 선로로 합류되는 진입 영역이거나, 2개 이상의 선로가 상호 간에 교차하는 영역일 수 있다.
즉, 제1 선로(112) 및 제2 선로(114)는 교차로 영역(116)에서 하나의 합류 선로(111)로 합쳐질 수 있다.
선로측 통신 모듈(120)는 반도체 반송 선로(110)의 선로들(111, 112, 114)이 교차하는 교차로 영역(116)의 반송 차량 진입부에 배치될 수 있다. 선로측 통신 모듈(120)는 선로들(111, 112, 114)과 나란한 선형의 통신 선로(비접촉 통신망)로 제공될 수 있다. 선로측 통신 모듈(120)는 RCoax 방사 케이블을 기반으로 반송 차량들(10, 20)과 통신할 수 있다. RCoax 방사 케이블은 약 2.4 내지 5 GHz 주파수 대역에서 안테나로 작동하여 신뢰할 수있는 무선 링크를 제공할 수 있다.
본 실시예에 따른 반도체 반송 선로(110)에는 선로측 통신 모듈(120)이 배치되는 영역에 대응되는 로컬 통신 영역(118)이 형성된다. 즉, 반송 차량들(10, 20)은 로컬 통신 영역(118)의 외부에서는 서버(150)와만 직접 무선 통신하여, 반송 차량들(10, 20)의 위치정보 및 차량정보를 서버(150)로 직접 전달한다. 그리고, 반송 차량들(10, 20)은 로컬 통신 영역(118)에 진입한 순간부터, 반송 차량들(10, 20)은 서버(150) 및 중계 장치(130)와 무선 통신하여, 반송 차량들(10, 20)의 위치정보 및 차량정보를 서버(150) 및 중계 장치(130)로 전달한다.
즉, 로컬 통신 영역(118)의 외부에서는 반송 차량 - 서버 간의 1 way 통신이 제공되며, 로컬 통신 영역(118)의 내부에서는 반송 차량 - 서버 간 및 반송 차량 - 중계 장치 - 서버 간의 2-way 통신이 제공된다. 그리고, 반송 차량 - 서버 간 및 반송 차량 - 중계 장치 - 서버 간 통신은 상호 독립적으로 수행된다.
로컬 통신 영역(118)은, 선형으로 형성되는 선로측 통신 모듈(120)의 일단(120A)에서 선로측 통신 모듈(120)의 타단(120B)을 연결하는 영역에 대응되는 크기로 형성되며, 선로측 통신 모듈(120)의 중심은 로컬 통신 영역(118)의 중심과 일치된다. 그리고, 선로측 통신 모듈(120)의 상기 중심 및 로컬 통신 영역(118)의 상기 중심은 교차로 영역(116)의 중심과 일치될 수 있다. 본 실시예에 따른 로컬 통신 영역(118)은 횡방향으로 길게 형성될 수 있으며, 예시적으로 제1 선로(112) 및 제2 선로(114)와 나란하게 형성되는 직사각형 형태로 형성될 수 있다. 다만, 이는 예시적인 구성에 불과할 뿐, 제1 선로(112) 및 제2 선로(114)가 기설정된 각도로 꺾여진 상태로 만나게 되는 경우, 로컬 통신 영역(118) 또한 기설정된 각도로 꺾여진 형태로 형성될 수 있다. 또한, 로컬 통신 영역(118)이 상기 교차로 영역을 중심으로 횡 방향으로 길게 형성되는 구성으로 설명되고 있으나, 상기 교차로 영역을 중심으로 서로 대칭되도록 길게 연장 형성되는 구성 또한 본 발명의 실시예에 포함된다.
예시적으로 선로측 통신 모듈(120)은 제1 선로(112) 및 제2 선로(114)에만 설치되고, 합류 선로(111)에는 설치되지 않을 수 있다.
한편, 본 실시예에서는, 선로측 통신 모듈(120)이 선형으로 형성되는 구성으로 설명되고 있으나, 선로측 통신 모듈(120)이 안테나 형상으로 형성되며, 선로측 통신 모듈(120)에 의하여 형성되는 로컬 통신 영역(118)은 구(Sphere) 형으로 형성되는 구성 또한 본 발명의 실시예에 포함될 수 있다.
반송 차량들(10, 20)은 각각 선로(111, 112, 114)에 배치된 식별태그부(122)를 인식하는 등의 방식으로 반송 차량(10, 20)의 위치정보, 즉 선로(111, 112, 114) 상에서 반송 차량(10, 20)의 절대 위치를 인식할 수 있으며, 인식한 반송 차량(10, 20)의 위치정보 및 차량정보를 통신 모듈(140)에 의해 선로측 통신 모듈(120)로 송신할 수 있다. 선로측 통신 모듈(120)로 송신된 반송 차량(10, 20)의 위치정보 및 차량정보는 중계 장치(130)를 통해 서버(150)로 송신될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 식별태그부(122)는 복수의 식별태그들을 포함하며, 상기 식별태그들은 상기 식별태그들이 설치된 위치의 고유 정보를 포함한다. 반송 차량들(10, 20)은 식별태그부(122)의 상기 식별태그들을 인식하여 반송 차량들(10, 20)이 위치되는 지점에 대한 절대 위치를 실시간으로 식별할 수 있다.
이때, 상기 식별태그부(122)는 반송 선로(111, 112, 114)들의 연장 "?항?* 동일한 방향으로 형성될 수 있으며, 반송 선로(111, 112, 114)가 합쳐지는 지점에서는 서로 다른 반송 선로(111, 112, 114)에 설치되는 식별태그부(122)도 함께 합쳐진다. 그리고, 식별태그부(122)의 상기 식별태그들 각각은 상기 반송 선로(111, 112, 114)의 연장 방향과 동일한 방향으로 배치되며, 하나의 식별태그(123)와 이에 인접한 다른 하나의 식별태그(123) 사이의 간격은 하나의 식별태그(123)의 길이보다 짧게 형성된다. 식별태그(123)는 광학적 수단에 의하여 인식될 수 있는 광학식별태그 또는 자기적 식별수단에 의하여 인식될 수 있는 자기식별태그 일 수 있으며, 예시적으로 바코드, QR코드, 자기태그 등 일 수 있다. 그리고, 반송 차량(10, 20)에는 상기 식별태그들을 인식하기 위한 인식유닛이 설치될 수 있다.
한편, 제1 선로(112)에는 제1 식별태그부(122A)가 형성되며, 제2 선로(114)에는 제2 식별태그부(122B)가 형성되며, 합류 선로(111)에는 제3 식별태그부(122C)가 형성된다. 이때, 제1 식별태그부(122A) 및 제2 식별태그부(122B)는, 합류 선로(111)가 형성되는 부분에서 제3 식별태그부(122C)와 만난다.
중계 장치(130)는 반송 차량들(10, 20)과 무선 통신할 수 있으며, 반송 차량들(10, 20)로 교차로 영역(116)에서의 반송 장치 충돌 방지를 위한 제어 신호를 전송하거나 반송 차량들(10, 20)로부터 선로측 통신 모듈(120)로 수신된 정보(위치정보, 차량정보)를 서버(150)로 전송할 수 있다. 중계 장치(130)는 서버(150)에 과부하 발생시 교차로 영역(116)에서의 반송 차량들(10, 20)의 진입 정보를 기반으로 교차로 영역(116)에 2 이상의 반송 차량(10, 20)이 동시에 진입되는 것을 방지하도록 반송 차량들(10, 20)의 교차로 영역 진입 순서를 제어할 수 있다.
통신 모듈(140)은 반송 차량들(10, 20)에 각각 구비될 수 있다. 통신 모듈(140)은 반송 차량(10, 20)의 위치정보 및 차량정보(예를 들어, 반송 차량 식별 ID)를 선로측 통신 모듈(120)로 송신할 수 있다. 또한, 통신 모듈(140)은 반송 차량(10, 20)의 위치정보 및 차량정보를 서버(150)로 송신하고, 중계 장치(130) 및/또는 서버(150)로부터 송신된 제어 신호(반송 차량의 진입을 제어하기 위한 신호)를 수신할 수 있다. 반송 차량(10, 20)이 교차로 영역(116) 부근에 진입하면, 통신 모듈(140)에 의해 선로측 통신 모듈(120)의 단부(예를 들어, RCoax 방사 케이블의 단부)에 대응되는 영역부터 반송 차량(10, 20)과 선로측 통신 모듈(120) 간의 통신이 개시될 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 반송 시스템을 구성하는 통신 모듈의 구성도이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 통신 모듈(140)은 제1 무선 통신 모듈(142)과 제2 무선 통신 모듈(144)을 포함할 수 있다. 제1 무선 통신 모듈(142)은 선로측 통신 모듈(120), 예를 들어 RCoax 방사 케이블로 반송 차량(10, 20)의 위치정보와 차량정보를 무선 송신할 수 있다.
제2 무선 통신 모듈(144)은 중계 장치(130) 및/또는 서버(150)와 무선 통신할 수 있다. 제2 무선 통신 모듈(144)은 예를 들어 LTE(Long Term Evolution), Wireless LAN(Local Area Network), WIFI(Wireless Fidelity), 블루투스(Bluetooth) 등의 무선 통신 인터페이스를 통해 중계 장치(130) 및/또는 서버(150)와 무선 통신할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
서버(150)는 복수의 중계 장치(130) 및 복수의 반송 장치(10, 20)로부터 복수의 교차로 영역(116)의 분기 영역으로의 반송 차량들(10, 20)의 진입 현황을 전달받을 수 있으며, 교차로 영역(116)(분기 영역)에 2 이상의 차량이 동시 진입되는 것을 방지하도록 반송 차량들(10, 20)의 진입 우선 순위를 제어할 수 있다. 서버(150)는 중계 장치(130) 뿐 아니라, 반송 차량(10, 20)과도 통신하여 반송 차량(10, 20)의 위치정보 및 차량정보를 전달받을 수 있으며, 반송 차량들(10, 20) 간의 충돌 방지를 위한 제어 신호를 반송 차량들(10, 20)로 송신할 수 있다.
서버(150) 및 중계 장치(130)는 반송 차량들(10, 20)의 위치에 따라 반송 차량들(10, 20)의 진입 우선 순위를 결정할 수 있다. 예를 들어, 교차로 영역(116) 부근에 보다 먼저 진입한 반송 차량이 교차로 영역(116)으로 우선 진입하도록 할 수 있으며, 선진입한 반송 차량이 교차로 영역(116)을 통과한 후 후진입한 반송 차량이 교차로 영역(116)으로 진입하도록, 반송 차량들(10, 20)을 제어할 수 있다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 반송 시스템의 동작을 예시한 도면이다. 반도체 반송 시스템(100)은 교차로 영역(116)에서 반송 차량(10, 20)과 중계 장치(130) 및 서버(150) 간, 그리고 반송 차량(10, 20)과 서버(150) 간의 2-way 통신을 통해 교차로 영역(116)에서의 반송 차량들(10, 20) 간의 충돌을 방지할 수 있다.
즉, 반도체 반송 시스템(100)은 반송 차량들(10, 20) 간의 충돌 위험이 있는 분기 영역인 교차로 영역(116)에서, 반송 차량 - 서버 간 및 반송 차량 - 중계 장치 - 서버 간의 2-way 통신을 제공하여, 교차로 영역(116)의 안전도를 보다 향상시킬 수 있다.
도 3을 참조하면, 반송 차량들(10, 20)은 통신 모듈(140)에 의해 선로측 통신 모듈(120)로 반송 차량(10, 20)의 위치정보와 차량정보를 무선 송신함과 동시에, 서버(150)로도 반송 차량(10, 20)의 위치정보와 차량정보를 무선 송신할 수 있다. 이에 따라 교차로 영역(116) 부근에 진입한 반송 차량(10, 20)의 위치정보와 차량정보는 선로측 통신 모듈(120), 중계 장치(130) 및 서버(150)를 순차적으로 경유하여 전송됨과 동시에, 반송 차량들(10, 20)로부터 서버(150)로 무선 전송되어, 2-way 무선 통신을 통해 서버(150)로 송신될 수 있으므로, 교차로 영역(116)으로 진입하는 반송 차량들(10, 20)로부터의 무선 전송 오류에 의한 충돌 위험을 낮출 수 있다.
한편, 반송 차량(10, 20)으로부터 선로측 무선 통신 모듈(120)로 전달되는 상기 위치정보 및 상기 차량정보(로컬 정보)와, 반송 차량(10, 20)으로부터 서버(150)로 직접 전달되는 상기 위치정보 및 상기 차량정보(중앙 정보) 간의 차이가 발생되는 경우, 서버(150)는 상기 로컬 정보를 우선적으로 반영하여, 반송 차량들(10, 20)을 제어한다. 이는, 반송 차량(10, 20)으로부터 서버(150)로 직접 전달되는 상기 위치정보 및 상기 차량정보(중앙 정보)의 경우, WiFi 등의 무선 통신을 이용하여 비교적 원거리로 전달되는 정보이기 때문에, 혼선 또는 지연의 우려가 있어, 무선 통신 경로가 비교적 짧은 상기 지역 정보를 우선적으로 반영하여, 제어 안정성을 보다 향상시킬 수 있다.
도 4를 참조하면, 서버(150)의 제어 부하량이 기준 부하량을 초과하는 경우, 중계 장치(130)는 교차로 영역(116)에서 반송 차량들(10, 20) 중 일부에 대해 직접 진입 제어를 위한 관제를 수행하여, 서버(150)의 제어 부하량을 감소시킬 수 있다. 본 실시예에 의하면, 중계 장치(130)가 위험 영역(분기 영역)에서 반송 차량(10, 20)에 대한 관제를 직접 수행하여, 메인 관제시스템(서버)의 제어 부하량을 감소시키고, 보다 신속한 제어를 수행할 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 반송 시스템의 반송 차량 제어 방법의 순서도이다. 도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 반송 방법은 반도체를 반송하기 위해 반송 차량들(10, 20)이 반도체 반송 선로(110)의 선로들(111, 112, 114)을 따라 이동하는 과정에서, 반도체 반송 선로(110)의 선로들(111, 112, 114)이 교차하는 교차로 영역(116)의 차량 진입부에 배치된 선로측 통신 모듈(120)이 반송 차량들(10, 20)과 통신하게 된다(S110, S120).
반송 차량들(10, 20)은 선로(111, 112, 114)에 배치된 식별태그부(122)를 인식하여 반송 차량(10, 20)의 위치정보를 인식할 수 있으며, 인식한 반송 차량(10, 20)의 위치정보 및 차량정보를 선로측 통신 모듈(120) 및 서버(150)로 전송한다(S120, S130).
선로측 통신 모듈(120)은 RCoax 방사 케이블을 기반으로 반송 차량들(10, 20)과 통신할 수 있다. 중계 장치(130)는 선로측 통신 모듈(120)로 수신된 반송 차량들(10, 20)의 위치정보와 차량정보를 서버(150)로 전송한다(S140). 서버(150)와 중계 장치(130)는 반송 차량들(10, 20)로 제어 신호를 전송하여 교차로 영역(116)(분기 영역)에 2 이상의 차량이 동시 진입되는 것을 방지하도록 반송 차량들(10, 20)을 제어한다(S150, S160).
반송 차량들(10, 20)은, 서버(150)의 제어 신호 및 중계 장치(130)의 제어 신호를 모두 받으면 다음 반송 선로로 이동하게 된다(S170). 즉 반송 차량들(10, 20)이 서버(150)의 제어 신호 및 중계 장치(130)의 제어 신호 중 어느 하나의 제어 신호만을 전달받는 경우, 위험한 상태로 인식하여 상기 반송 선로에 진입하지 않게 된다.
본 발명의 실시예에 따른 반도체 반송 시스템의 반송 장치 충돌 방지 방법은 교차로 영역(116)에서 반송 차량(10, 20)과 중계 장치(130) 및 서버(150) 간, 그리고 반송 차량(10, 20)과 서버(150) 간의 2-way 통신을 통해 교차로 영역(116)에서의 반송 차량들(10, 20) 간의 충돌을 방지할 수 있다. 즉, 반송 차량들(10, 20) 간의 충돌 위험이 있는 분기 영역인 교차로 영역(116)에서, 반송 차량(10, 20) - 서버(150) 간 그리고 반송 차량(10, 20) - 중계 장치(130) - 서버(150) 간의 2-way 통신을 제공하여, 교차로 영역(116)에서의 안전도를 보다 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 반송 시스템의 반송 장치 충돌 방지 방법은 서버(150)의 제어 부하량이 기준 부하량을 초과하는 경우, 중계 장치(130)는 교차로 영역(116)에서 반송 차량들(10, 20) 중 일부에 대해 직접 진입 제어를 위한 관제를 수행하여, 서버(150)의 제어 부하량을 감소시킬 수 있다. 즉, 중계 장치(130)가 위험 영역(분기 영역)에서 반송 차량(10, 20)에 대한 관제를 직접 수행하여, 메인 관제시스템(서버)의 제어 부하량을 감소시키고, 보다 신속한 제어를 수행할 수 있다.
실시예에서, 서버(150)는 반송 차량들에 대한 제어 부하량을 기준 부하량과 비교하여, 제어 부하량이 기준 부하량을 초과하는 경우, 하나 이상의 중계 장치(130)가 반송 차량들(10, 20)의 충돌 방지를 위한 제어 신호 전송 및 관제 기능을 수행하도록 중계 장치(130)로 제어 명령을 송출할 수 있다. 서버(150)로부터 제어 명령을 전달받은 중계 장치(130)는 반송 차량들(10, 20)을 관제하는 기능을 수행할 수 있다. 서버(150)의 제어 부하량이 다시 기준 부하량 이하로 감소하게 되면, 서버(150)는 중계 장치(130)로 관제 중단 명령을 송출할 수 있으며, 이에 따라 중계 장치(130)의 반송 차량 관제 기능이 종료될 수 있다.
이상에서 설명된 실시예들은 하드웨어 구성요소, 소프트웨어 구성요소, 및/ 또는 하드웨어 구성요소 및 소프트웨어 구성요소의 조합으로 구현될 수 있다. 예를 들어, 실시예들에서 설명된 장치, 방법 및 구성요소는, 예를 들어, 프로세서, 콘트롤러, ALU(Arithmetic Logic Unit), 디지털 신호 프로세서(Digital Signal Processor), 마이크로컴퓨터, FPGA(Field Programmable Gate Array), PLU(Programmable Logic Unit), 마이크로프로세서, 또는 명령(instruction)을 실행하고 응답할 수 있는 다른 어떠한 장치와 같이, 하나 이상의 범용 컴퓨터 또는 특수 목적 컴퓨터를 이용하여 구현될 수 있다.
처리 장치는 운영 체제 및 상기 운영 체제 상에서 수행되는 하나 이상의 소프트웨어 애플리케이션을 수행할 수 있다. 또한, 처리 장치는 소프트웨어의 실행에 응답하여, 데이터를 접근, 저장, 조작, 처리 및 생성할 수도 있다. 이해의 편의를 위하여, 처리 장치는 하나가 사용되는 것으로 설명된 경우도 있지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 처리 장치가 복수 개의 처리 요소(Processing Element) 및/또는 복수 유형의 처리요소를 포함할 수 있음을 이해할 것이다.
예를 들어, 처리 장치는 복수 개의 프로세서 또는 하나의 프로세서 및 하나의 콘트롤러를 포함할 수 있다. 또한, 병렬 프로세서(Parallel Processor) 와 같은, 다른 처리 구성(Processing configuration)도 가능하다. 소프트웨어는 컴퓨터 프로그램(Computer Program), 코드(code), 명령(instruction), 또는 이들 중 하나 이상의 조합을 포함할 수 있으며, 원하는 대로 동작하도록 처리 장치를 구성하거나 독립적으로 또는 결합적으로(collectively) 처리 장치를 명령할 수 있다.
소프트웨어 및/ 또는 데이터는, 처리 장치에 의하여 해석되거나 처리 장치에 명령 또는 데이터를 제공하기 위하여, 어떤 유형의 기계, 구성요소(component), 물리적 장치, 가상 장치(virtual equipment), 컴퓨터 저장 매체 또는 장치, 또는 전송되는 신호파(signal wave)에 영구적으로, 또는 일시적으로 구체화(embody) 될 수 있다. 소프트웨어는 네트워크로 연결된 컴퓨터 시스템 상에 분산되어서, 분산된 방법으로 저장되거나 실행될 수도 있다. 소프트웨어 및 데이터는 하나 이상의 컴퓨터 판독 가능 기록 매체에 저장될 수 있다.
실시예에 따른 방법은 다양한 컴퓨터 수단을 통하여 수행될 수 있는 프로그램 명령 형태로 구현되어 컴퓨터 판독 가능 매체에 기록될 수 있다. 컴퓨터 판독 가능 매체는 프로그램 명령, 데이터 파일, 데이터 구조 등을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다. 매체에 기록되는 프로그램 명령은 실시예를 위하여 특별히 설계되고 구성된 것들이거나 컴퓨터 소프트웨어 당업자에게 공지되어 사용 가능한 것일 수도 있다.
컴퓨터 판독 가능 기록 매체의 예에는 하드 디스크, 플로피 디스크 및 자기 테이프와 같은 자기 매체(magnetic media), CDROM, DVD와 같은 광기록 매체(optical media) 및 롬(ROM), 램(RAM), 플래시 메모리 등과 같은 프로그램 명령을 저장하고 수행하도록 특별히 구성된 하드웨어 장치가 포함된다. 프로그램 명령의 예에는 컴파일러에 의해 만들어지는 것과 같은 기계어 코드뿐만 아니라 인터프리터 등을 사용해서 컴퓨터에 의해서 실행될 수 있는 고급 언어 코드를 포함한다. 상기된 하드웨어 장치는 실시예의 동작을 수행하기 위해 하나 이상의 소프트웨어 모듈로서 작동하도록 구성될 수 있으며, 그 역도 마찬가지이다.
이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다. 그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 청구범위와 균등한 것들도 후술하는 청구범위의 범위에 속한다.
10, 20: 반송 차량
100: 반도체 반송 시스템
110: 반도체 반송 선로
112, 114: 선로
116: 교차로 영역
120: 선로측 통신 모듈
130: 중계 장치
140: 통신 모듈
142: 제1 무선 통신 모듈
144: 제2 무선 통신 모듈
150: 서버

Claims (21)

  1. 반도체를 반송하기 위한 반송 차량들이 이동 가능하게 제공되는 선로들을 포함하는 반도체 반송 선로;
    상기 반도체 반송 선로의 상기 선로들이 교차되는 교차로 영역의 반송 차량 진입부에 배치되고, 상기 반송 차량들과 통신 가능한 선로측 통신 모듈;
    상기 반송 차량들과 무선 통신 가능하고, 상기 반송 차량들로 제어 신호를 전송하거나 상기 반송 차량들로부터 수신한 정보를 서버로 전송하는 중계 장치; 및
    상기 반송 차량들에 각각 구비되고, 상기 반송 차량들의 위치정보 및 차량정보 중 적어도 하나를 상기 선로측 통신 모듈로 전송하는 통신 모듈을 포함하고,
    상기 반도체 반송 선로에는, 상기 선로측 통신 모듈이 배치되는 영역에 대응되는 로컬 통신 영역이 형성되며,
    상기 로컬 통신 영역의 외부에서, 상기 반송 차량들은 상기 서버와 무선 통신하여, 상기 반송 차량들의 상기 위치정보 및 상기 차량정보 중 적어도 하나를 상기 서버로 전달하며,
    상기 로컬 통신 영역의 내부에서, 상기 반송 차량들은 상기 서버 및 상기 선로측 통신 모듈과 무선 통신하여, 상기 반송 차량들의 상기 위치정보 및 상기 차량정보 중 적어도 하나를 상기 서버 및 상기 선로측 통신 모듈과 연결된 상기 중계 장치로 각각 전달하며,
    상기 로컬 통신 영역의 내부에서, 상기 반송 차량 및 상기 서버간 통신과, 상기 반송 차량 및 상기 선로측 통신 모듈간 통신은 상호 독립적이며,
    상기 반송 차량 및 상기 선로측 통신 모듈간 통신을 통하여 상기 서버로 상기 차량 정보 및 상기 위치 정보를 전달하는 통신은, 상기 반송 차량 및 상기 서버간 통신 보다 무선 구간이 짧은 것을 특징으로 하는 반도체 반송 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 반도체 반송 선로는, 상기 선로들의 연장 방향과 동일한 방향으로 연장 형성되며 복수의 식별태그들을 포함하는 식별태그부를 포함하고,
    상기 반송 차량들은 각각 상기 선로들에 배치된 식별태그를 인식하여 상기 위치정보를 인식하고, 반송 차량의 위치정보 및 차량정보 중 적어도 하나를 상기 선로측 통신 모듈 및 상기 서버로 각각 송신하도록 구성되는 반도체 반송 시스템.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 반도체 반송 선로는, 제1 선로, 상기 제1 선로와 교차로 영역에서 합쳐지는 제2 선로 및 상기 제1 선로 및 상기 제2 선로가 합쳐져 형성되는 합류 선로를 포함하고,
    상기 제1 선로 및 상기 제2 선로에서의 상기 반송 차량의 이동은 서로 마주보는 방향으로 이동되며,
    상기 식별태그부는, 상기 제1 선로, 상기 제2 선로 및 상기 합류 선로에 각각 배치되는 제1 식별태그부, 제2 식별태그부 및 제3 식별태그부를 포함하고, 상기 제1 식별태그부는 상기 제2 식별태그부는 합류 선로가 형성되는 부분에서 제3 식별태그부와 만나는 것을 특징으로 하는 반도체 반송 시스템.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 식별태그부의 상기 식별태그들 각각은 상기 반도체 반송 선로의 연장 방향과 동일한 방향으로 배치되며,
    복수의 상기 식별태그 중 어느 하나의 식별태그와 이에 인접한 다른 하나의 식별태그 사이의 간격은 하나의 상기 식별태그의 길이보다 짧게 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 반송 시스템.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 반도체를 반송하기 위한 반송 차량들이 이동 가능하게 제공되는 선로들을 포함하는 반도체 반송 선로;
    상기 반도체 반송 선로의 상기 선로들이 교차되는 교차로 영역의 반송 차량 진입부에 배치되고, 상기 반송 차량들과 통신 가능한 선로측 통신 모듈;
    상기 반송 차량들과 무선 통신 가능하고, 상기 반송 차량들로 제어 신호를 전송하거나 상기 반송 차량들로부터 수신한 정보를 서버로 전송하는 중계 장치; 및
    상기 반송 차량들에 각각 구비되고, 상기 반송 차량들의 위치정보 및 차량정보 중 적어도 하나를 상기 선로측 통신 모듈로 전송하는 통신 모듈을 포함하고,
    상기 반도체 반송 선로에는, 상기 선로측 통신 모듈이 배치되는 영역에 대응되는 로컬 통신 영역이 형성되며,
    상기 로컬 통신 영역의 외부에서, 상기 반송 차량들은 상기 서버와 무선 통신하여, 상기 반송 차량들의 상기 위치정보 및 상기 차량정보 중 적어도 하나를 상기 서버로 전달하며,
    상기 로컬 통신 영역의 내부에서, 상기 반송 차량들은 상기 서버 및 상기 선로측 통신 모듈과 무선 통신하여, 상기 반송 차량들의 상기 위치정보 및 상기 차량정보 중 적어도 하나를 상기 서버 및 상기 선로측 통신 모듈과 연결된 상기 중계 장치로 각각 전달하며,
    상기 로컬 통신 영역의 내부에서, 상기 반송 차량 및 상기 서버간 통신과, 상기 반송 차량 및 상기 선로측 통신 모듈간 통신은 상호 독립적이며,
    상기 로컬 통신 영역은, 선형으로 형성되는 상기 선로측 통신 모듈의 일단에서 상기 선로측 통신 모듈의 타단을 연결하는 영역에 대응되는 크기로 형성되고,
    상기 선로측 통신 모듈의 중심은 상기 로컬 통신 영역의 중심 및 상기 교차로 영역의 중심과 일치되는 반도체 반송 시스템.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 로컬 통신 영역은 상기 교차로 영역을 중심으로 대칭되도록 길게 연장 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 반송 시스템.
  9. 반도체를 반송하기 위한 반송 차량들이 이동 가능하게 제공되는 선로들을 포함하는 반도체 반송 선로;
    상기 반도체 반송 선로의 상기 선로들이 교차되는 교차로 영역의 반송 차량 진입부에 배치되고, 상기 반송 차량들과 통신 가능한 선로측 통신 모듈;
    상기 반송 차량들과 무선 통신 가능하고, 상기 반송 차량들로 제어 신호를 전송하거나 상기 반송 차량들로부터 수신한 정보를 서버로 전송하는 중계 장치; 및
    상기 반송 차량들에 각각 구비되고, 상기 반송 차량들의 위치정보 및 차량정보 중 적어도 하나를 상기 선로측 통신 모듈로 전송하는 통신 모듈을 포함하고,
    상기 반도체 반송 선로에는, 상기 선로측 통신 모듈이 배치되는 영역에 대응되는 로컬 통신 영역이 형성되며,
    상기 로컬 통신 영역의 외부에서, 상기 반송 차량들은 상기 서버와 무선 통신하여, 상기 반송 차량들의 상기 위치정보 및 상기 차량정보 중 적어도 하나를 상기 서버로 전달하며,
    상기 로컬 통신 영역의 내부에서, 상기 반송 차량들은 상기 서버 및 상기 선로측 통신 모듈과 무선 통신하여, 상기 반송 차량들의 상기 위치정보 및 상기 차량정보 중 적어도 하나를 상기 서버 및 상기 선로측 통신 모듈과 연결된 상기 중계 장치로 각각 전달하며,
    상기 로컬 통신 영역의 내부에서, 상기 반송 차량 및 상기 서버간 통신과, 상기 반송 차량 및 상기 선로측 통신 모듈간 통신은 상호 독립적이며,
    상기 선로측 통신 모듈은 RCoax 방사 케이블을 기반으로 상기 반송 차량들과 통신하도록 구성되고, 상기 RCoax 방사 케이블은 상기 선로들과 나란하게 배치되는 반도체 반송 시스템.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 중계 장치 및 상기 서버는 각각, 상기 교차로 영역에서의 반송 차량들의 진입 정보를 기반으로 상기 교차로 영역에 2 이상의 반송 차량이 동시에 진입되는 것을 방지하도록 상기 반송 차량들의 교차로 영역 진입 순서를 제어하기 위한 제어 신호를 상기 반송 차량들로 전송하는 반도체 반송 시스템.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 반도체 반송 선로는 오버헤드 호이스트 반송 장치(OHT; Overhead Hoist Transport)의 선로인 반도체 반송 시스템.
  12. 반도체를 반송하기 위한 반송 차량들이 이동 가능하게 제공되는 선로들을 포함하는 반도체 반송 선로;
    상기 반도체 반송 선로의 상기 선로들이 교차되는 교차로 영역의 반송 차량 진입부에 배치되고, 상기 반송 차량들과 통신 가능한 선로측 통신 모듈;
    상기 반송 차량들과 무선 통신 가능하고, 상기 반송 차량들로 제어 신호를 전송하거나 상기 반송 차량들로부터 수신한 정보를 서버로 전송하는 중계 장치; 및
    상기 반송 차량들에 각각 구비되고, 상기 반송 차량들의 위치정보 및 차량정보 중 적어도 하나를 상기 선로측 통신 모듈로 전송하는 통신 모듈을 포함하고,
    상기 교차로 영역에서의 상기 반송 차량들 간의 충돌을 방지하도록 상기 반송 차량 및 상기 서버간 통신인 2-way 통신을 수행하고,
    상기 2-way 통신은 상기 교차로 영역에서 상기 반송 차량과 상기 선로측 통신 모듈과 상기 중계 장치 및 상기 서버 간 통신 경로인 제1 경로 및 상기 반송 차량과 상기 서버 간 통신 경로인 제2 경로를 통해 수행하되,
    상기 제2 경로는 상기 선로측 통신 모듈을 거치지 않는 것을 특징으로 하는 반도체 반송 시스템.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 서버의 제어 부하량이 기준 부하량을 초과하는 경우, 상기 중계 장치는 상기 교차로 영역에서 상기 반송 차량들 중 일부에 대해 직접 진입 제어를 위한 관제를 수행하여, 상기 서버의 제어 부하량을 감소시키도록 구성되는 반도체 반송 시스템.
  14. 반도체를 반송하기 위해 반송 차량들이 반도체 반송 선로의 선로들을 따라 이동하는 단계;
    상기 반도체 반송 선로의 상기 선로들이 교차하는 교차로 영역의 반송 차량 진입부에 배치된 선로측 통신 모듈이 상기 반송 차량들과 통신하는 단계;
    상기 반송 차량들이 상기 선로측 통신 모듈 및 서버로 반송 차량의 위치정보 및 차량정보 중 적어도 하나를 전송하는 단계;
    중계 장치가, 상기 반송 차량들과 무선 통신하여 상기 반송 차량들로 충돌 방지를 위한 제1 제어 신호를 전송하는 단계;
    상기 중계 장치가 상기 선로측 통신 모듈로 수신된 상기 반송 차량의 위치정보 및 차량정보를 상기 서버로 전송하는 단계; 및
    상기 서버가 상기 반송 차량들과 무선 통신하여 상기 반송 차량들로 충돌 방지를 위한 제2 제어 신호를 전송하는 단계를 포함하고,
    상기 반도체 반송 선로에는, 상기 선로측 통신 모듈이 배치되는 영역에 대응되는 로컬 통신 영역이 형성되며,
    상기 로컬 통신 영역의 외부에서, 상기 반송 차량들은 상기 서버와 무선 통신하여, 상기 반송 차량들의 상기 위치정보 및 상기 차량정보 중 적어도 하나를 상기 서버로 전달하며,
    상기 로컬 통신 영역의 내부에서, 상기 반송 차량들은 상기 서버 및 상기 선로측 통신 모듈과 무선 통신하여, 상기 반송 차량들의 상기 위치정보 및 상기 차량정보 중 적어도 하나를 상기 서버 및 상기 선로측 통신 모듈과 연결된 상기 중계 장치로 각각 전달하며,
    상기 로컬 통신 영역의 내부에서, 상기 반송 차량 및 상기 서버간 통신과, 상기 반송 차량 및 상기 선로측 통신 모듈간 통신은 상호 독립적이며,
    상기 반송 차량 및 상기 선로측 통신 모듈간 통신을 통하여 상기 서버로 상기 차량 정보 및 상기 위치 정보를 전달하는 통신은, 상기 반송 차량 및 상기 서버간 통신 보다 무선 구간이 짧게 형성되는 반도체 반송 시스템의 반송 차량 제어 방법.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 반송 차량들이 상기 반송 차량의 위치정보 및 차량정보를 전송하는 단계는,
    상기 반송 차량들이 각각 상기 선로들에 배치된 식별태그를 인식하여 상기 위치정보를 인식하는 단계; 및
    상기 위치정보 및 상기 차량정보를 상기 선로측 통신 모듈 및 상기 서버로 각각 송신하는 단계를 포함하는 반도체 반송 시스템의 반송 차량 제어 방법.
  16. 제14 항에 있어서,
    상기 중계 장치 및 상기 서버는 각각, 상기 교차로 영역에서의 반송 차량들의 진입정보를 기반으로 상기 교차로 영역에 2 이상의 반송 차량이 동시에 진입되는 것을 방지하도록 상기 반송 차량들의 교차로 영역 진입 순서를 제어하기 위한 제어 신호를 상기 반송 차량들에 전송하는 반도체 반송 시스템의 반송 차량 제어 방법.
  17. 반도체를 반송하기 위해 반송 차량들이 반도체 반송 선로의 선로들을 따라 이동하는 단계;
    상기 반도체 반송 선로의 상기 선로들이 교차하는 교차로 영역의 반송 차량 진입부에 배치된 선로측 통신 모듈이 상기 반송 차량들과 통신하는 단계;
    상기 반송 차량들이 상기 선로측 통신 모듈 및 서버로 반송 차량의 위치정보 및 차량정보 중 적어도 하나를 전송하는 단계;
    중계 장치가, 상기 반송 차량들과 무선 통신하여 상기 반송 차량들로 충돌 방지를 위한 제1 제어 신호를 전송하는 단계;
    상기 중계 장치가 상기 선로측 통신 모듈로 수신된 상기 반송 차량의 위치정보 및 차량정보를 상기 서버로 전송하는 단계; 및
    상기 서버가 상기 반송 차량들과 무선 통신하여 상기 반송 차량들로 충돌 방지를 위한 제2 제어 신호를 전송하는 단계를 포함하고,
    상기 반도체 반송 선로에는, 상기 선로측 통신 모듈이 배치되는 영역에 대응되는 로컬 통신 영역이 형성되며,
    상기 로컬 통신 영역의 외부에서, 상기 반송 차량들은 상기 서버와 무선 통신하여, 상기 반송 차량들의 상기 위치정보 및 상기 차량정보 중 적어도 하나를 상기 서버로 전달하며,
    상기 로컬 통신 영역의 내부에서, 상기 반송 차량들은 상기 서버 및 상기 선로측 통신 모듈과 무선 통신하여, 상기 반송 차량들의 상기 위치정보 및 상기 차량정보 중 적어도 하나를 상기 서버 및 상기 선로측 통신 모듈과 연결된 상기 중계 장치로 각각 전달하며,
    상기 로컬 통신 영역의 내부에서, 상기 반송 차량 및 상기 서버간 통신과, 상기 반송 차량 및 상기 선로측 통신 모듈간 통신은 상호 독립적이며,
    상기 로컬 통신 영역은, 선형으로 형성되는 상기 선로측 통신 모듈의 일단에서 상기 선로측 통신 모듈의 타단을 연결하는 영역에 대응되는 크기로 형성되며,
    상기 선로측 통신 모듈의 중심은 상기 로컬 통신 영역의 중심 및 상기 교차로 영역의 중심과 일치되고, 상기 로컬 통신 영역은 상기 교차로 영역을 중심으로 대칭되도록 길게 연장 형성되는, 반도체 반송 시스템의 반송 차량 제어 방법.
  18. 반도체를 반송하기 위해 반송 차량들이 반도체 반송 선로의 선로들을 따라 이동하는 단계;
    상기 반도체 반송 선로의 상기 선로들이 교차하는 교차로 영역의 반송 차량 진입부에 배치된 선로측 통신 모듈이 상기 반송 차량들과 통신하는 단계;
    상기 반송 차량들이 상기 선로측 통신 모듈 및 서버로 반송 차량의 위치정보 및 차량정보 중 적어도 하나를 전송하는 단계;
    중계 장치가, 상기 반송 차량들과 무선 통신하여 상기 반송 차량들로 충돌 방지를 위한 제1 제어 신호를 전송하는 단계;
    상기 중계 장치가 상기 선로측 통신 모듈로 수신된 상기 반송 차량의 위치정보 및 차량정보를 상기 서버로 전송하는 단계; 및
    상기 서버가 상기 반송 차량들과 무선 통신하여 상기 반송 차량들로 충돌 방지를 위한 제2 제어 신호를 전송하는 단계를 포함하고,
    상기 반도체 반송 선로에는, 상기 선로측 통신 모듈이 배치되는 영역에 대응되는 로컬 통신 영역이 형성되며,
    상기 로컬 통신 영역의 외부에서, 상기 반송 차량들은 상기 서버와 무선 통신하여, 상기 반송 차량들의 상기 위치정보 및 상기 차량정보 중 적어도 하나를 상기 서버로 전달하며,
    상기 로컬 통신 영역의 내부에서, 상기 반송 차량들은 상기 서버 및 상기 선로측 통신 모듈과 무선 통신하여, 상기 반송 차량들의 상기 위치정보 및 상기 차량정보 중 적어도 하나를 상기 서버 및 상기 선로측 통신 모듈과 연결된 상기 중계 장치로 각각 전달하며,
    상기 로컬 통신 영역의 내부에서, 상기 반송 차량 및 상기 서버간 통신과, 상기 반송 차량 및 상기 선로측 통신 모듈간 통신은 상호 독립적이며,
    상기 선로측 통신 모듈은 RCoax 방사 케이블을 기반으로 상기 반송 차량들과 통신하는 반도체 반송 시스템의 반송 차량 제어 방법.
  19. 반도체를 반송하기 위해 반송 차량들이 반도체 반송 선로의 선로들을 따라 이동하는 단계;
    상기 반도체 반송 선로의 상기 선로들이 교차하는 교차로 영역의 반송 차량 진입부에 배치된 선로측 통신 모듈이 상기 반송 차량들과 통신하는 단계;
    상기 반송 차량들이 상기 선로측 통신 모듈 및 서버로 반송 차량의 위치정보 및 차량정보 중 적어도 하나를 전송하는 단계;
    중계 장치가, 상기 반송 차량들과 무선 통신하여 상기 반송 차량들로 충돌 방지를 위한 제1 제어 신호를 전송하는 단계;
    상기 중계 장치가 상기 선로측 통신 모듈로 수신된 상기 반송 차량의 위치정보 및 차량정보를 상기 서버로 전송하는 단계; 및
    상기 서버가 상기 반송 차량들과 무선 통신하여 상기 반송 차량들로 충돌 방지를 위한 제2 제어 신호를 전송하는 단계를 포함하고,
    상기 교차로 영역에서의 상기 반송 차량들 간의 충돌을 방지하도록 상기 반송 차량 및 상기 서버간 통신인 2-way 통신을 수행하고,
    상기 2-way 통신은 상기 교차로 영역에서 상기 반송 차량과 상기 선로측 통신 모듈과 상기 중계 장치 및 상기 서버 간 통신 경로인 제1 경로 및 상기 반송 차량과 상기 서버 간 통신 경로인 제2 경로를 통해 수행하되,
    상기 제2 경로는 상기 선로측 통신 모듈을 거치지 않는 것을 특징으로 하는 반도체 반송 시스템의 반송 차량 제어 방법.
  20. 제14 항에 있어서,
    상기 서버의 제어 부하량이 기준 부하량을 초과하는 경우, 상기 중계 장치는 상기 교차로 영역에서 상기 반송 차량들 중 일부에 대해 직접 진입 제어를 위한 관제를 수행하여, 상기 서버의 제어 부하량을 감소시키는 단계를 더 포함하는 반도체 반송 시스템의 반송 차량 제어 방법.
  21. 제14 항 내지 제20 항 중 어느 한 항에 기재된 반도체 반송 시스템의 반송 차량 제어 방법을 실행하기 위한 프로그램이 기록된 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체.
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