WO2024142536A1 - 無線通信システムおよび無線通信方法 - Google Patents
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- the present invention relates to a wireless communication system and a wireless communication method.
- a wireless communication system includes a communication unit mounted on a transport cart that travels on a track to transport an item, and a communication device that is connected to a port to which the item is delivered by the transport cart and that performs wireless communication with the communication unit, the communication unit and the communication device change the communication channel at each hopping period in communication using a communication channel consisting of a plurality of communication slots, and perform wireless communication using a time-division method using one of the plurality of communication slots, the communication unit determines a first communication slot from the plurality of communication slots that is a communication slot that can transmit a trigger signal to the communication device before the transport cart on which the communication unit is mounted delivers the item to the port, and transmits the trigger signal to the communication device using the first communication slot, and when the communication device receives the trigger signal from the communication unit, it performs interlock communication with the communication unit regarding the delivery of the item by the transport cart on which the communication unit is mounted.
- the communication unit determines the first communication slot and transmits a trigger signal to the communication device using the first communication slot. Therefore, the first communication slot can be determined more quickly, and synchronous communication can be started quickly.
- the communication unit may also transmit the trigger signal to the communication device using a second communication slot, which is one of the plurality of communication slots, to determine the first communication slot, and when a response to the trigger signal is received from the communication device, determine the second communication slot as the first communication slot.
- the first communication slot can be determined more quickly, and wireless communication using the communication slot can be performed more efficiently. This makes it possible to achieve even faster start of synchronous communication.
- the communication unit may transmit the trigger signal to the communication device using a third communication slot that is one of the plurality of communication slots and is different from the second communication slot.
- the first communication slot can be determined even more quickly, and wireless communication using the communication slot can be performed even more efficiently. Therefore, synchronous communication can be started even more quickly.
- timing of transmitting the trigger signal to the communication device in the second communication slot and the timing of transmitting the trigger signal to the communication device in the third communication slot may be different from each other.
- the communication unit may determine the first communication slot and transmit the trigger signal to the communication device using the first communication slot.
- the trigger signal may also include a transmission start command for initiating the interlock communication.
- the transmitting unit 22 transmits the trigger signal to the communication device 32 using a third communication slot which is one of the multiple communication slots and is different from the second communication slot. If a response to the trigger signal is received from the communication device 32, the determining unit 24 determines the third communication slot as the first communication slot.
- FIG. 3 is a table showing an example of a hopping table stored in the transport vehicle 20 of the wireless communication system 10 of FIG. 1.
- the communication unit 21 starts interlock communication with the communication device 32 (step S2). While interlock communication is being performed, an item is transferred from the transport cart 20 to the load port 31.
- step S15 If the communication device 32 receives a trigger signal (Yes in step S15), it transmits a response to the trigger signal (step S12) and restarts interlock communication (step S13). In this way, if the communication device 32 receives a trigger signal after starting interlock communication, it determines that the interlock communication has been disconnected and restarts interlock communication.
- step S16 the communication device 32 ends the process. If the transfer of the item from the transport cart 20 to the load port 31 has ended, the communication device 32 ends the interlock communication.
- the communication unit 21 uses the first communication slot (first communication slot) in the changed communication channel to send a command related to interlock communication to the communication device 32.
- the communication device 32 uses the first communication slot (first communication slot) in the changed communication channel to send a response to a command related to interlock communication to the communication unit 21.
- the communication device 32 performs wireless communication with the communication unit 21 of the first transport cart 20 using the first communication slot in each communication channel, and performs wireless communication with the communication unit 21 of the second transport cart 20 using the second communication slot in each communication channel.
- the wireless communication system 10 includes a communication unit 21 mounted on a transport cart 20 that travels along a track to transport items, and a communication device 32 that is connected to a load port 31 to which the transport cart 20 delivers items and that performs wireless communication with the communication unit 21.
- the communication unit 21 and the communication device 32 change the communication channel for each hopping period in communication using a communication channel consisting of multiple communication slots, and perform wireless communication in a time-division manner using one of the multiple communication slots.
- the communication unit 21 determines a first communication slot from the multiple communication slots that is a communication slot that can transmit a trigger signal to the communication device 32, and transmits a trigger signal to the communication device 32 using the first communication slot.
- the communication device 32 receives a trigger signal from the communication unit 21, it performs interlock communication with the communication unit 21 regarding the delivery of the item by the transport cart 20 on which the communication unit 21 is mounted.
- the communication unit 21 determines the first communication slot and transmits a trigger signal to the communication device 32 using the first communication slot. Therefore, the first communication slot can be determined more quickly, and synchronous communication can be started quickly.
- the first communication slot can be determined even more quickly, and wireless communication using the communication slot can be performed even more efficiently. Therefore, synchronous communication can be started even more quickly.
- the timing of transmitting a trigger signal to the communication device 32 in the second communication slot is different from the timing of transmitting a trigger signal to the communication device 32 in the third communication slot.
- the trigger signal also includes a start transmission command to initiate interlock communication.
- the communication unit 21 is mounted on the transporting cart 20, the communication device 32 is connected to the load port 31, and before the transporting cart 20 delivers an article to the load port 31, the communication unit 21 transmits a trigger signal to the communication device 32 using the first communication slot, and the communication device 32 performs interlock communication with the communication unit 21.
- the present invention is not limited to this.
- the communication unit 21 may be mounted on a mobile terminal or the like, and the communication device 32 may be a mobile terminal or the like.
- the communication unit 21 determines the first communication slot and transmits a trigger signal to the communication device 32 using the first communication slot. Therefore, the first communication slot can be determined more quickly and the trigger signal can be transmitted more reliably to the communication device 32 using the first communication slot, so that wireless communication using the communication slot can be performed efficiently. Therefore, synchronous communication can be started more quickly.
- Wireless communication system Wireless communication system.
- the communication unit transmits the trigger signal to the communication device using a second communication slot, which is one of the plurality of communication slots, in order to determine the first communication slot, and when a response to the trigger signal is obtained from the communication device, determines the second communication slot as the first communication slot.
- the wireless communication system according to technology 1.
- the trigger signal includes a transmission start command for starting the interlock communication.
- a wireless communication system according to any one of techniques 1 to 5.
- the Communications Department and a communication device that wirelessly communicates with the communication unit; the communication unit and the communication device, in a communication using a communication channel constituted by a plurality of communication slots, change the communication channel for each hopping period, and perform time division wireless communication using one of the plurality of communication slots; the communication unit determines a first communication slot from among the plurality of communication slots, the first communication slot being a communication slot capable of transmitting a trigger signal to the communication device, and transmits the trigger signal to the communication device using the first communication slot; When the communication device receives the trigger signal from the communication unit, the communication device performs a pairing process with the communication unit.
- Wireless communication system The Communications Department and a communication device that wirelessly communicates with the communication unit; the communication unit and the communication device, in a communication using a communication channel constituted by a plurality of communication slots, change the communication channel for each hopping period, and perform time division wireless communication using one of the plurality of communication slots; the communication unit determines a first communication slot from among the plurality of communication slots, the
- a wireless communication method by a wireless communication system comprising: the wireless communication system includes a communication unit mounted on a transport vehicle that travels on a track to transport an article, and a communication device that is connected to a port to which the article is delivered by the transport vehicle and that wirelessly communicates with the communication unit; the communication unit and the communication device, in communication using a communication channel consisting of a plurality of communication slots, change the communication channel for each hopping period, and perform time division wireless communication using one of the plurality of communication slots; the communication unit determines a first communication slot from among the plurality of communication slots, which is a communication slot capable of transmitting a trigger signal to the communication device, before the transport vehicle on which the communication unit is mounted delivers the article to the port, and transmits the trigger signal to the communication device using the first communication slot; When the communication device receives the trigger signal from the communication unit, the communication device performs interlock communication with the communication unit regarding delivery of the article by the transport cart on which the communication unit is mounted.
- a wireless communication method includes a communication unit mounted on
- the present invention can be used in wireless communication systems that use communication slots to perform wireless communication.
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Abstract
無線通信システム（１０）は、通信部（２１）と、通信デバイス（３２）とを備え、通信部（２１）と通信デバイス（３２）とは、複数の通信スロットから構成される通信チャンネルを用いた通信において、ホッピング周期毎に当該通信チャンネルを変更し、複数の通信スロットのいずれかを使用して時分割方式の無線通信を行い、通信部（２１）は、搬送台車（２０）がロードポート（３１）に対して物品を受け渡しする前に、複数の通信スロットのうちから通信デバイス（３２）に対してトリガ信号を送信できる通信スロットである第１通信スロットを決定し、第１通信スロットを使用して通信デバイス（３２）に対してトリガ信号を送信し、通信デバイス（３２）は、通信部（２１）からトリガ信号を受信した場合、搬送台車（２０）による物品の受け渡しを許可するためのインターロック通信を通信部（２１）との間で行う。
Description
本発明は、無線通信システムおよび無線通信方法に関する。
従来、時分割方式による無線通信を行う無線通信システム等が知られている。たとえば、特許文献１には、固有情報に基づいて通信スロットを決定して通信を行う無線通信装置が開示されている。
しかしながら、特許文献１の無線通信装置は、コントローラによって指定された通信スロットを使用して無線通信を行うものであるため、コントローラにより通信スロットが指定されるまで無線通信を開始することができず、通信開始が遅れるおそれがあった。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、速やかな同期通信の開始を実現する無線通信システム等を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の一態様に係る無線通信システムは、軌道を走行して物品を搬送する搬送台車に搭載される通信部と、前記搬送台車によって前記物品が受け渡されるポートに接続され、前記通信部と無線通信を行う通信デバイスとを備え、前記通信部および前記通信デバイスは、複数の通信スロットから構成される通信チャンネルを用いた通信において、ホッピング周期毎に当該通信チャンネルを変更し、前記複数の通信スロットのいずれかを使用して時分割方式の無線通信を行い、前記通信部は、前記通信部が搭載された前記搬送台車が前記ポートに対して前記物品を受け渡しする前に、前記複数の通信スロットのうちから前記通信デバイスに対してトリガ信号を送信できる通信スロットである第１通信スロットを決定し、前記第１通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信し、前記通信デバイスは、前記通信部から前記トリガ信号を受信した場合、前記通信部が搭載された前記搬送台車による前記物品の受け渡しに係るインターロック通信を前記通信部との間で行う。
これによれば、通信部は、第１通信スロットを決定し、第１通信スロットを使用して通信デバイスに対してトリガ信号を送信する。したがって、第１通信スロットをより速やかに決定でき、速やかな同期通信の開始を実現できる。
また、前記通信部は、前記第１通信スロットを決定するために前記複数の通信スロットのうち１つである第２通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信し、前記通信デバイスから当該トリガ信号に対する応答が得られた場合、前記第２通信スロットを前記第１通信スロットとして決定してもよい。
これによれば、トリガ信号を使用することによって、第１通信スロットをさらに速やかに決定できるので、通信スロットを使用した無線通信をさらに効率よく行える。したがって、さらに速やかな同期通信の開始を実現できる。
また、前記通信部は、前記第２通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信してから所定時間経過しても前記通信デバイスから当該トリガ信号に対する前記応答が得られない場合、前記複数の通信スロットのうち１つでありかつ前記第２通信スロットとは異なる第３通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信してもよい。
これによれば、第２通信スロットとは異なる第３通信スロットを使用することによって、第１通信スロットをさらに速やかに決定できるので、通信スロットを使用した無線通信をさらに効率よく行える。したがって、さらに速やかな同期通信の開始を実現できる。
また、前記第２通信スロットにおいて前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信するタイミングと、前記第３通信スロットにおいて前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信するタイミングとは、相互に異なってもよい。
これによれば、通信スロットにおけるトリガ信号を通信デバイスに対して送信できるタイミングをより速やかに決定できるので、通信スロットを使用した無線通信をさらに効率よく行える。したがって、さらに速やかな同期通信の開始を実現できる。
また、前記通信部は、前記インターロック通信が開始された後に前記通信デバイスから前記インターロック通信に係る応答が得られない場合、前記第１通信スロットを決定し、前記第１通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信してもよい。
これによれば、インターロック通信が切断された場合に、第１通信スロットをより速やかに決定でき、第１通信スロットを使用して通信デバイスにトリガ信号をより確実に送信できるので、通信スロットを使用した無線通信を効率よく行える。したがって、さらに速やかな同期通信の開始を実現できる。
また、前記トリガ信号は、前記インターロック通信を開始するための送信開始コマンドを含んでもよい。
これによれば、インターロック通信をより確実に開始できるので、さらに速やかな同期通信の開始を実現できる。
また、上記課題を解決するために、本発明の一態様に係る無線通信システムは、通信部と、前記通信部と無線通信を行う通信デバイスとを備え、前記通信部および前記通信デバイスは、複数の通信スロットから構成される通信チャンネルを用いた通信において、ホッピング周期毎に当該通信チャンネルを変更し、前記複数の通信スロットのいずれかを使用して時分割方式の無線通信を行い、前記通信部は、前記複数の通信スロットのうちから前記通信デバイスに対してトリガ信号を送信できる通信スロットである第１通信スロットを決定し、前記第１通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信し、前記通信デバイスは、前記通信部から前記トリガ信号を受信した場合、前記通信部との間でペアリング処理を行う。
これによれば、通信部は、第１通信スロットを決定し、第１通信スロットを使用して通信デバイスに対してトリガ信号を送信する。したがって、第１通信スロットをより速やかに決定でき、第１通信スロットを使用して通信デバイスにトリガ信号をより確実に送信できるので、通信スロットを使用した無線通信を効率よく行える。したがって、さらに速やかな同期通信の開始を実現できる。
また、上記課題を解決するために、本発明の一態様に係る無線通信方法は、無線通信システムによる無線通信方法であって、前記無線通信システムは、軌道を走行して物品を搬送する搬送台車に搭載される通信部と、前記搬送台車によって前記物品が受け渡されるポートに接続され、前記通信部と無線通信を行う通信デバイスとを備え、前記通信部および前記通信デバイスが、複数の通信スロットから構成される通信チャンネルを用いた通信において、ホッピング周期毎に当該通信チャンネルを変更し、前記複数の通信スロットのいずれかを使用して時分割方式の無線通信を行い、前記通信部が、前記通信部が搭載された前記搬送台車が前記ポートに対して前記物品を受け渡しする前に、前記複数の通信スロットのうちから前記通信デバイスに対してトリガ信号を送信できる通信スロットである第１通信スロットを決定し、前記第１通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信し、前記通信デバイスが、前記通信部から前記トリガ信号を受信した場合、前記通信部が搭載された前記搬送台車による前記物品の受け渡しに係るインターロック通信を前記通信部との間で行う。
これによれば、上記の無線通信システムと同様の作用効果を奏する。
なお、本発明は、装置として実現できるだけでなく、その装置を構成する処理手段をステップとする方法として実現したり、それらステップをコンピュータに実行させるプログラムとして実現したり、そのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能なＣＤ－ＲＯＭなどの記録媒体として実現したり、そのプログラムを示す情報、データまたは信号として実現したりすることもできる。そして、それらプログラム、情報、データおよび信号は、インターネット等の通信ネットワークを介して配信してもよい。
本発明によれば、速やかな同期通信の開始を実現する無線通信システム等を提供できる。
以下、実施の形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。
以下で説明する実施の形態は、いずれも本発明の好ましい一具体例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置および接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、独立請求項に記載されていない構成要素については、より好ましい形態を構成する任意の構成要素として説明される。なお、同一の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する場合がある。
（実施の形態）
図１は、実施の形態に係る無線通信システム１０を示す模式図である。
図１は、実施の形態に係る無線通信システム１０を示す模式図である。
無線通信システム１０は、時分割方式の無線通信を行う。図１に示すように、無線通信システム１０は、複数の搬送台車２０と、複数の半導体製造装置３０とを備える。
搬送台車２０は、軌道を走行して物品を搬送する。たとえば、搬送台車２０は、ＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｆｅｒ）等である。また、物品は、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）等である。搬送台車２０は、通信部２１を有する。
通信部２１は、搬送台車２０に搭載されている。通信部２１は、複数の通信スロットから構成される通信チャンネルを用いた通信において、ホッピング周期毎に当該通信チャンネルを変更し、複数の通信スロットのいずれかを使用して時分割方式の無線通信を行う。ここで、通信スロットとは、同一周波数（チャンネル）で通信可能に割り当てられた期間を、複数に分割した（たとえば１０分割）うちの１つの期間を示している。詳細は後述するが、通信部２１は、通信部２１が搭載された搬送台車２０がロードポート３１に対して物品を受け渡しする前に、複数の通信スロットのうちから通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信できる通信スロットである第１通信スロットを決定し、第１通信スロットを使用して通信デバイスに対してトリガ信号を送信する。
半導体製造装置３０は、搬送台車２０から受け渡された物品を用いて半導体を製造する。半導体製造装置３０は、複数のロードポート（ＬＰ）３１と、複数の通信デバイス３２とを有する。
ロードポート３１は、搬送台車２０から物品を受け渡されるポートの一例である。
通信デバイス３２は、ロードポート３１に接続され、通信部２１と無線通信を行う。たとえば、通信デバイス３２は、ＢＬＥ（Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標） Ｌｏｗ Ｅｎｅｒｇｙ）による近距離無線通信、或いは独自の通信方式による近距離無線通信等によって、通信部２１と無線通信を行う。通信デバイス３２は、複数の通信スロットから構成される通信チャンネルを用いた通信において、ホッピング周期毎に当該通信チャンネルを変更し、複数の通信スロットのいずれかを使用して時分割方式の無線通信を行う。詳細は後述するが、通信デバイス３２は、通信部２１からトリガ信号を受信した場合、通信部２１が搭載された搬送台車２０による物品の受け渡しに係るインターロック通信を通信部２１との間で行う。インターロック通信は、ＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ａｎｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）に関するＥ８４規格に規定された通信である。たとえば、インターロック通信は、通信部２１が搭載された搬送台車２０による物品の受け渡しを許可するための通信である。通信部２１と通信デバイス３２との間でインターロック通信が行われている期間において、搬送台車２０からロードポート３１への物品の受け渡しが許可される。インターロック通信が行われている期間とは、具体的には搬送台車２０が搬送している物品をロードポート３１に移載する期間であり、移載前、移載中、移載後の３つのフェーズ（手順）から構成される。
たとえば、位置１、位置２、位置３、および位置４のそれぞれに搬送台車２０が位置している場合、これらの搬送台車２０のそれぞれの通信部２１は、物品を受け渡すロードポート３１に接続される通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信する。
このとき、これらの搬送台車２０のそれぞれの通信部２１は、複数の通信スロットのうちからトリガ信号を送信できる通信スロットである第１通信スロットを決定し、第１通信スロットを使用してトリガ信号を送信する。後に詳細に説明するが、たとえば、これらの搬送台車２０のそれぞれの通信部２１は、複数の通信スロットのうちから他の搬送台車２０の通信部２１が使用していない通信スロットを探索し、当該通信スロットを第１通信スロットとして決定し、第１通信スロットを使用してトリガ信号を送信する。
これによって、これらの搬送台車２０のそれぞれの通信部２１は、通信デバイス３２に対してトリガ信号をより速やかにかつより確実に送信できる。したがって、通信スロットを使用した無線通信を効率よく行え、効率よく物品の受け渡しを行うことができる。
以下、無線通信システム１０について詳細に説明する。
図２は、図１の無線通信システム１０の機能構成を示すブロック図である。
図２に示すように、通信部２１は、送信部２２と、受信部２３と、決定部２４と、記憶部２５とを有する。たとえば、通信部２１は、プロセッサおよび通信回路等によって実現される。また、記憶部２５は、メモリ等によって実現される。
送信部２２は、ホッピング周期毎に通信チャンネルを変更し、複数の通信スロットのいずれかを使用して時分割方式の無線通信を行う。
送信部２２は、通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信する。トリガ信号は、たとえばインターロック通信を開始させる（同期をとるための）トリガとなる信号（具体的にはインターロック通信を開始するための送信開始コマンドなどを含む）である。また、送信部２２は、インターロック通信に係るコマンド（トリガ信号が含まれていてもよい）を送信する。送信部２２は、第１通信スロットを使用して通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信する。
たとえば、送信部２２は、第１通信スロットを決定するために、複数の通信スロットのうち１つである第２通信スロットを使用して通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信する。たとえば、第２通信スロットは、複数の通信スロットのうち直近の通信スロットである。
たとえば、送信部２２は、第２通信スロットを使用して通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信してから所定時間経過しても通信デバイス３２から当該トリガ信号に対する応答が得られない場合、複数の通信スロットのうち１つでありかつ第２通信スロットとは異なる第３通信スロットを使用して通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信する。たとえば、所定時間は、第２通信スロットを使用して通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信してから第２通信スロットが終了するまでの時間である。また、通信デバイス３２からトリガ信号に対する応答が得られたか否かは、受信部２３が通信デバイス３２からトリガ信号に対する応答を受信したか否かによって判定される。
たとえば、第２通信スロットにおいて通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信するタイミングと、第３通信スロットにおいて通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信するタイミングとは、相互に異なる。たとえば、複数の通信スロットのそれぞれを３分割した場合を考えると、送信部２２は、第２通信スロットにおいては３分割された３つの期間のうち１番目の期間においてトリガ信号を送信し、第３通信スロットにおいては３分割された３つの期間のうち２番目の期間においてトリガ信号を送信する。
たとえば、第３通信スロットは、複数の通信スロットのうち第２通信スロットの次の通信スロットである。
たとえば、送信部２２は、通信デバイス３２からトリガ信号に対する応答が得られるまで、複数の通信スロットのうち毎通信スロットを使用して通信デバイス３２に対してトリガ信号を繰り返し送信する。
受信部２３は、通信デバイス３２から応答を受信する。たとえば、受信部２３は、通信デバイス３２からトリガ信号に対する応答を受信する。また、受信部２３は、通信デバイス３２の送信部３４からインターロック通信に係る応答を受信する。たとえば、インターロック通信に係る応答は、送信部２２が通信デバイス３２に送信するインターロック通信に係るコマンド（要求）などに対する応答である。たとえば、当該応答に係る通信パケットには、送信部２２が通信デバイス３２に送信するインターロック通信に係るコマンド（要求）などに対する応答（インターロック通信上で通信デバイス３２から送信されるＡＣＫ応答）およびＩＯ（Ｉｎｐｕｔ Ｏｕｔｐｕｔ）データ等を含む。
決定部２４は、通信部２１が搭載された搬送台車２０がロードポート３１に対して物品を受け渡しする前に、複数の通信スロットのうちから通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信できる通信スロットである第１通信スロットを決定する。たとえば、第１通信スロットは、複数の搬送台車２０のうち他の搬送台車２０が使用していない通信スロットである。
たとえば、決定部２４は、トリガ信号を使用して第１通信スロットを決定する。具体的には、送信部２２は、上述したように、第１通信スロットを決定するために複数の通信スロットのうち１つである第２通信スロットを使用して通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信する。決定部２４は、通信デバイス３２から当該トリガ信号に対する応答が得られた場合、第２通信スロットを第１通信スロットとして決定する。
また、送信部２２は、上述したように、第２通信スロットを使用して通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信してから所定時間経過しても通信デバイス３２から当該トリガ信号に対する応答が得られない場合、複数の通信スロットのうち１つでありかつ第２通信スロットとは異なる第３通信スロットを使用して通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信する。決定部２４は、通信デバイス３２から当該トリガ信号に対する応答が得られた場合、第３通信スロットを第１通信スロットとして決定する。
また、送信部２２は、上述したように、通信デバイス３２からトリガ信号に対する応答が得られるまで、複数の通信スロットのうち毎通信スロットを使用して通信デバイス３２に対してトリガ信号を繰り返し送信する。決定部２４は、複数の通信スロットのうち通信デバイス３２から応答が得られたトリガ信号の送信に使用した通信スロットを第１通信スロットとして決定する。
たとえば、決定部２４は、インターロック通信が開始された後に通信デバイス３２からインターロック通信に係る応答が得られない場合、第１通信スロットを決定する。たとえば、通信デバイス３２からインターロック通信に係る応答が得られたか否かは、受信部２３が通信デバイス３２からインターロック通信に係る応答を受信したか否かによって判定される。
たとえば、送信部２２が通信デバイス３２に送信するインターロック通信に係るコマンド（要求）などの応答が得られたか否かで判定する。決定部２４は、送信部２２が通信デバイス３２に送信するインターロック通信に係るコマンド（要求）など送信する度に当該コマンドに対する応答が得られたか否か判定し、応答が得られない場合、インターロック通信が切断されたと判定し、上述したようにして第１通信スロットを再び決定する。送信部２２は、第１通信スロットを使用して通信デバイス３２に対してトリガ信号を再び送信する。
記憶部２５は、種々の情報を記憶する。たとえば、記憶部２５は、周波数ホッピングのパターンを示すホッピングテーブルを記憶する。また、記憶部２５は、通信部２１（プロセッサ）が実行するプログラム等を記憶する。
図３は、図１の無線通信システム１０の搬送台車２０に記憶されるホッピングテーブルの一例を示す表である。
図３の（ａ）～（ｃ）に示すように、たとえば、記憶部２５は、３つのホッピングテーブルを記憶している。
通信部２１は、まず図３の（ａ）に示すホッピングテーブルを使用する。搬送台車２０には、複数のホッピングチャンネルグループのうちから１つが割り当てられる。通信部２１は、割り当てられたホッピングチャンネルグループについて定められた３つの通信チャンネルを順番に使用する。３つの通信チャンネルのそれぞれは、複数の通信スロットから構成されている。通信部２１は、ホッピング周期毎に通信チャンネルを変更し、複数の通信スロットのいずれかを使用して時分割方式の無線通信を行う。
通信部２１は、図３の（ａ）に示すホッピングテーブルを使用した場合において、通信デバイス３２と無線通信できなかった場合、図３の（ｂ）に示すホッピングテーブルを使用する。通信部２１は、図３の（ｂ）に示すホッピングテーブルを使用した場合においても、通信デバイス３２と無線通信できなかった場合、図３の（ｃ）に示すホッピングテーブルを使用する。このように、通信部２１は、使用するホッピングテーブルを適宜変更する。なお、記憶部２５は、複数ではなく１つのホッピングテーブルを記憶していてもよい。この場合、通信部２１は、使用するホッピングテーブルを変更しない。
たとえば、通信部２１は、トリガ信号に対する応答が得られるまで（通信デバイス３２と同期がとれるまで）、ホッピング周期毎に通信チャンネルを変更しなくてもよく、同じ通信チャンネルを３周期連続して使用し、３周期連続して使用した後に通信チャンネルを変更し、変更後の通信チャンネルを３周期連続して使用してもよい。
図２に戻って、通信デバイス３２は、受信部３３と、送信部３４と、処理部３５と、記憶部３６とを有する。たとえば、通信デバイス３２は、プロセッサおよび通信回路等によって実現される。また、記憶部３６は、メモリ等によって実現される。
受信部３３は、通信部２１からトリガ信号を受信する。たとえば、受信部３３は、通信部２１からインターロック通信に係るコマンド（要求）を受信する。
送信部３４は、受信部３３がトリガ信号を受信した場合、トリガ信号に対する応答を通信部２１に対して送信する。送信部３４は、当該トリガ信号の送信に使用された通信スロットを使用して、当該トリガ信号に対する応答を通信部２１に対して送信する。
たとえば、送信部３４は、インターロック通信が開始された後、インターロック通信に係る応答を通信部２１に対して送信する。たとえば、送信部３４は、送信部２２が通信デバイス３２に送信するインターロック通信に係るコマンド（要求）を受信部３３が受信する度に、当該コマンドに対する応答を通信部２１に対して送信する。送信部３４は、当該コマンド（要求）の送信に使用された通信スロットを使用して、当該コマンドに対する応答を通信部２１に対して送信する。
処理部３５は、種々の処理を行う。処理部３５は、通信部２１からトリガ信号を受信した場合、通信部２１が搭載された搬送台車２０による物品の受け渡しに係るインターロック通信を通信部２１との間で行う。
記憶部３６は、種々の情報を記憶する。たとえば、記憶部３６は、周波数ホッピングのパターンを示すホッピングテーブルを記憶する。また、記憶部３６は、通信デバイス３２（プロセッサ）が実行するプログラム等を記憶する。
図４は、図１の無線通信システム１０の半導体製造装置３０に記憶されるホッピングテーブルの一例を示す表である。
図４に示すように、たとえば、記憶部３６は、１つのホッピングテーブルを記憶している。
通信デバイス３２は、図４に示すホッピングテーブルを使用する。半導体製造装置３０には、複数のホッピングチャンネルグループのうちから１つが割り当てられる。通信デバイス３２は、割り当てられたホッピンググループについて定められた３つの通信チャンネルを順番に使用する。３つの通信チャンネルのそれぞれは、複数の通信スロットから構成されている。通信デバイス３２は、ホッピング周期毎に通信チャンネルを変更し、複数の通信スロットのいずれかを使用して時分割方式の無線通信を行う。なお、記憶部３６は、複数のホッピングテーブルを記憶していてもよい。この場合、通信デバイス３２は、使用するホッピングテーブルを変更してもよい。
図５は、図１の無線通信システム１０による無線通信方法における通信部２１の動作の一例を示すフローチャートである。ここから図５を用いて、通信部２１が第１通信スロットでトリガ信号を送信してから、搬送台車２０と通信デバイス３２との間で行われるインターロック通信が終了するまでを順を追って説明する。
図５に示すように、通信部２１は、第１通信スロットを決定し、第１通信スロットを使用してトリガ信号を送信する（ステップＳ１）。たとえば、通信部２１は、上述したようにして第１通信スロットを決定する。たとえば、通信部２１は、第２通信スロットを使用してトリガ信号を送信し、当該トリガ信号に対する応答が得られた場合、第２通信スロットを新たな第１通信スロットとして決定する。この場合、既に新たな第１通信スロットを使用してトリガ信号を送信していることになるので、通信部２１は、新たな第１通信スロットを決定した後に当該新たな第１通信スロットを使用してトリガ信号を送信しなくてもよく、インターロック通信を開始できる状態（搬送台車２０と通信デバイス３２との間で通信前の同期がとれている状態）であるため、続けてインターロック通信を実行できる。
通信部２１は、通信デバイス３２との間でインターロック通信を開始する（ステップＳ２）。インターロック通信が行われている間に、搬送台車２０からロードポート３１に物品が受け渡される。
通信部２１は、インターロック通信を開始した後、インターロック通信に係る応答が得られたか否かを判定する（ステップＳ３）。たとえば、通信部２１は、上述したように、第１通信スロットを使用してインターロック通信に係るコマンドなどを通信デバイス３２に対して送信し、通信デバイス３２から当該コマンドに対する応答が得られたか否かを判定する。
通信部２１は、インターロック通信に係る応答が得られない場合（ステップＳ３でＮｏ）、第１通信スロットを再び決定し、第１通信スロットを使用してトリガ信号を再び送信する（ステップＳ１）。このように、通信部２１は、インターロック通信に係る応答が得られない場合、インターロック通信が切断されたと判定し、インターロック通信を再開させるために、第１通信スロットを再び決定し、トリガ信号を再び送信し、インターロック通信の再開を試みる。具体的には、通信部２１は、切断時に送信していた同じデータを再び送信する。
通信部２１は、インターロック通信に係る応答が得られた場合（ステップＳ３でＹｅｓ）、インターロック通信が終了したか否かを判定する（ステップＳ４）。
通信部２１は、インターロック通信が終了していない場合（ステップＳ４でＮｏ）、インターロック通信に係る応答が得られたか否かを再び判定する（ステップＳ３）。
通信部２１は、インターロック通信が終了した場合（ステップＳ４でＹｅｓ）、処理を終了する。搬送台車２０からロードポート３１への物品の受け渡しが終了した場合、インターロック通信が終了する。
図６は、図１の無線通信システム１０による無線通信方法における通信デバイス３２の動作の一例を示すフローチャートである。ここから図６を用いて、通信デバイス３２が第１通信スロットでトリガ信号を受信してから、搬送台車２０と通信デバイス３２との間で行われるインターロック通信が終了するまでを順を追って説明する。
図６に示すように、通信デバイス３２は、トリガ信号を受信したか否かを判定する（ステップＳ１１）。
通信デバイス３２は、トリガ信号を受信していない場合（ステップＳ１１でＮｏ）、トリガ信号を受信したか否かを再び判定する（ステップＳ１１）。
通信デバイス３２は、トリガ信号を受信した場合（ステップＳ１１でＹｅｓ）、トリガ信号に対する応答を通信部２１に対して送信し（ステップＳ１２）、インターロック通信を開始する（ステップＳ１３）。インターロック通信が行われている間に、搬送台車２０からロードポート３１に物品が受け渡される。
通信デバイス３２は、インターロック通信を開始した後、インターロック通信に係る応答を送信する（ステップＳ１４）。たとえば、通信デバイス３２は、上述したように、インターロック通信に係るコマンド（要求）を受信した場合、当該コマンドに対する応答を通信部２１に対して送信する。
通信デバイス３２は、トリガ信号を受信したか否かを判定する（ステップＳ１５）。
通信デバイス３２は、トリガ信号を受信した場合（ステップＳ１５でＹｅｓ）、トリガ信号に対する応答を送信し（ステップＳ１２）、インターロック通信を再び開始する（ステップＳ１３）。このように、通信デバイス３２は、インターロック通信を開始した後にトリガ信号を受信した場合、インターロック通信が切断されたと判定し、インターロック通信を再び開始する。
通信デバイス３２は、トリガ信号を受信していない場合（ステップＳ１５でＮｏ）、インターロック通信が終了したか否かを判定する（ステップＳ１６）。
通信デバイス３２は、インターロック通信が終了していない場合（ステップＳ１６でＮｏ）、インターロック通信に係る応答を再び送信する（ステップＳ１４）。
通信デバイス３２は、インターロック通信が終了した場合（ステップＳ１６でＹｅｓ）、処理を終了する。通信デバイス３２は、搬送台車２０からロードポート３１への物品の受け渡しが終了した場合、インターロック通信を終了する。
図７および図８は、図１の無線通信システム１０による無線通信方法の一例を説明するための模式図である。図７は、無線通信システム１０における第１の搬送台車２０の通信部２１と半導体製造装置３０の通信デバイス３２とのやりとりを示す。図８は、無線通信システム１０における第２の搬送台車２０の通信部２１と半導体製造装置３０の通信デバイス３２とのやりとりを示す。なお、図７の（ｂ）および図８の（ｂ）において、Ｉは第１の搬送台車２０の通信部２１が使用していることを示し、ＩＩは第２の搬送台車２０の通信部２１が使用していることを示す。
図７の（ａ）に示すように、第１の搬送台車２０の通信部２１は、まず、通信チャンネル１（ＣＨ１）における複数の通信スロットのうち順番に通信スロット（ｓｌｏｔ番号１－１０）を使用し、通信デバイス３２から応答が得られるまで、通信デバイス３２に対してトリガ信号を繰り返し送信する。
ここでは、通信チャンネル１における１０番目の通信スロットを使用して送信したトリガ信号に対する応答が得られたので、通信部２１は、１０番目の通信スロットを第１通信スロットとして決定する。ここでは、通信部２１は、１０番目の通信スロット（第１通信スロット）を使用してトリガ信号を送信済であるので、１０番目の通信スロットを第１通信スロットとして決定した後に第１通信スロットを使用してトリガ信号を送信しなくてよい。つまり、インターロック通信を開始できる状態であるため、続けてインターロック通信を実行できる。
通信デバイス３２は、トリガ信号を受信したので、トリガ信号に対する応答を通信部２１に対して送信し、通信部２１との間でペアリング処理を行い、通信部２１との間でインターロック通信を開始する。
ここでは、通信部２１および通信デバイス３２は、第１通信スロットが１番目の通信スロットとなるように、ホッピング周期毎に通信チャンネルを変更し、無線通信を行う。なお、ホッピング周期毎に行う通信チャンネルの変更は、たとえば、図３および図４に示すホッピングテーブルを参照し、通信部２１および通信デバイス３２により実行される。
通信部２１は、通信チャンネルを変更する度に、変更後の通信チャンネルにおける第１通信スロット（１番目の通信スロット）を使用してインターロック通信に係るコマンドを通信デバイス３２に送信する。
通信デバイス３２は、通信チャンネルを変更する度に、変更後の通信チャンネルにおける第１通信スロット（１番目の通信スロット）を使用してインターロック通信に係るコマンドに対する応答を通信部２１に送信する。
図７の（ｂ）に示すように、通信デバイス３２は、各通信チャンネルにおける１番目の通信スロット（図７の（ｂ）のＩ）を使用して、第１の搬送台車２０の通信部２１と無線通信を行う。
図８の（ａ）に示すように、第２の搬送台車２０の通信部２１は、まず、通信チャンネル１（ＣＨ１）における複数の通信スロットのうち順番に通信スロット（ｓｌｏｔ番号１－１０）を使用し、通信デバイス３２から応答が得られるまで、通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信する。
ここでは、通信チャンネル１における５番目の通信スロットを使用して送信したトリガ信号に対する応答が得られたので、通信部２１は、５番目の通信スロットを第１通信スロットとして決定する。ここでは、通信部２１は、５番目の通信スロット（第１通信スロット）を使用してトリガ信号を送信済であるので、５番目の通信スロットを第１通信スロットとして決定した後に第１通信スロットを使用してトリガ信号を送信しなくてよい。
通信デバイス３２は、トリガ信号を受信したので、トリガ信号に対する応答を通信部２１に対して送信し、通信部２１との間でペアリング処理を行い、通信部２１との間でインターロック通信を開始する。
ここでは、通信部２１は、第１通信スロットが１番目の通信スロットとなるように、ホッピング周期毎に通信チャンネルを変更し、無線通信を行う。また、通信デバイス３２は、第１通信スロットが２番目の通信スロットとなるように、ホッピング周期毎に通信チャンネルを変更し、無線通信を行う。なお、ここでは、通信デバイス３２が使用する通信チャンネルにおいて、１番目の通信スロットは、第１の搬送台車２０の通信部２１との間で使用される第１通信スロットである。
図８の（ｂ）に示すように、通信デバイス３２は、各通信チャンネルにおける１番目の通信スロットを使用して第１の搬送台車２０の通信部２１と無線通信を行い、各通信チャンネルにおける２番目の通信スロットを使用して第２の搬送台車２０の通信部２１と無線通信を行う。
本実施の形態に係る無線通信システム１０は、軌道を走行して物品を搬送する搬送台車２０に搭載される通信部２１と、搬送台車２０によって物品が受け渡されるロードポート３１に接続され、通信部２１と無線通信を行う通信デバイス３２とを備え、通信部２１および通信デバイス３２は、複数の通信スロットから構成される通信チャンネルを用いた通信において、ホッピング周期毎に当該通信チャンネルを変更し、複数の通信スロットのいずれかを使用して時分割方式の無線通信を行い、通信部２１は、通信部２１が搭載された搬送台車２０がロードポート３１に対して物品を受け渡しする前に、複数の通信スロットのうちから通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信できる通信スロットである第１通信スロットを決定し、第１通信スロットを使用して通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信し、通信デバイス３２は、通信部２１からトリガ信号を受信した場合、通信部２１が搭載された搬送台車２０による物品の受け渡しに係るインターロック通信を通信部２１との間で行う。
これによれば、通信部２１は、第１通信スロットを決定し、第１通信スロットを使用して通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信する。したがって、第１通信スロットをより速やかに決定でき、速やかな同期通信の開始を実現できる。
また、通信部２１は、第１通信スロットを決定するために複数の通信スロットのうち１つである第２通信スロットを使用して通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信し、通信デバイス３２から当該トリガ信号に対する応答が得られた場合、第２通信スロットを第１通信スロットとして決定する。
これによれば、トリガ信号を使用することによって、第１通信スロットをさらに速やかに決定できるので、通信スロットを使用した無線通信をさらに効率よく行える。したがって、さらに速やかな同期通信の開始を実現できる。
また、通信部２１は、第２通信スロットを使用して通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信してから所定時間経過しても通信デバイス３２から当該トリガ信号に対する応答が得られない場合、複数の通信スロットのうち１つでありかつ第２通信スロットとは異なる第３通信スロットを使用して通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信する。
これによれば、第２通信スロットとは異なる第３通信スロットを使用することによって、第１通信スロットをさらに速やかに決定できるので、通信スロットを使用した無線通信をさらに効率よく行える。したがって、さらに速やかな同期通信の開始を実現できる。
また、第２通信スロットにおいて通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信するタイミングと、第３通信スロットにおいて通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信するタイミングとは、相互に異なる。
これによれば、通信スロットにおけるトリガ信号を通信デバイス３２に対して送信できるタイミングをより速やかに決定できるので、通信スロットを使用した無線通信をさらに効率よく行える。したがって、さらに速やかな同期通信の開始を実現できる。
また、通信部２１は、インターロック通信が開始された後に通信デバイス３２からインターロック通信に係る応答が得られない場合、第１通信スロットを決定し、第１通信スロットを使用して通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信する。
これによれば、インターロック通信が切断された場合に、第１通信スロットをより速やかに決定でき、第１通信スロットを使用して通信デバイス３２にトリガ信号をより確実に送信できるので、通信スロットを使用した無線通信を効率よく行える。したがって、さらに速やかな同期通信の開始を実現できる。
また、トリガ信号は、インターロック通信を開始するための送信開始コマンドを含む。
これによれば、インターロック通信をより確実に開始できるので、さらに速やかな同期通信の開始を実現できる。
また、本実施の形態に係る無線通信方法は、無線通信システム１０による無線通信方法であって、無線通信システム１０は、軌道を走行して物品を搬送する搬送台車２０に搭載される通信部２１と、搬送台車２０によって物品が受け渡されるロードポート３１に接続され、通信部２１と無線通信を行う通信デバイス３２とを備え、通信部２１および通信デバイス３２が、複数の通信スロットから構成される通信チャンネルを用いた通信において、ホッピング周期毎に当該通信チャンネルを変更し、複数の通信スロットのいずれかを使用して時分割方式の無線通信を行い、通信部２１が、通信部２１が搭載された搬送台車２０がロードポート３１に対して物品を受け渡しする前に、複数の通信スロットのうちから通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信できる通信スロットである第１通信スロットを決定し、第１通信スロットを使用して通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信し（ステップＳ１）、通信デバイス３２が、通信部２１からトリガ信号を受信した場合、通信部２１が搭載された搬送台車２０による物品の受け渡しに係るインターロック通信を通信部２１との間で行う（ステップＳ１３）。
これによれば、上記の無線通信システム１０と同様の作用効果を奏する。
（他の実施の形態等）
上述した実施の形態では、通信部２１が搬送台車２０に搭載され、通信デバイス３２がロードポート３１に接続され、搬送台車２０がロードポート３１に対して物品を受け渡しする前に通信部２１が第１通信スロットを使用して通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信し、通信デバイス３２がインターロック通信を通信部２１との間で行う場合について説明したが、これに限定されない。たとえば、通信部２１は携帯端末等に搭載されてもよく、通信デバイス３２は携帯端末等であってもよい。この場合、たとえば、通信部２１は、複数の通信スロットのうちから通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信できる通信スロットである第１通信スロットを決定し、第１通信スロットを使用して通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信する。また、通信デバイス３２は、通信部２１からトリガ信号を受信した場合、通信部２１との間でペアリング処理を行う。
上述した実施の形態では、通信部２１が搬送台車２０に搭載され、通信デバイス３２がロードポート３１に接続され、搬送台車２０がロードポート３１に対して物品を受け渡しする前に通信部２１が第１通信スロットを使用して通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信し、通信デバイス３２がインターロック通信を通信部２１との間で行う場合について説明したが、これに限定されない。たとえば、通信部２１は携帯端末等に搭載されてもよく、通信デバイス３２は携帯端末等であってもよい。この場合、たとえば、通信部２１は、複数の通信スロットのうちから通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信できる通信スロットである第１通信スロットを決定し、第１通信スロットを使用して通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信する。また、通信デバイス３２は、通信部２１からトリガ信号を受信した場合、通信部２１との間でペアリング処理を行う。
本実施の形態に係る無線通信システムは、通信部２１と、通信部２１と無線通信を行う通信デバイス３２とを備え、通信部２１および通信デバイス３２は、複数の通信スロットから構成される通信チャンネルを用いた通信において、ホッピング周期毎に当該通信チャンネルを変更し、複数の通信スロットのいずれかを使用して時分割方式の無線通信を行い、通信部２１は、複数の通信スロットのうちから通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信できる通信スロットである第１通信スロットを決定し、第１通信スロットを使用して通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信し、通信デバイス３２は、通信部２１からトリガ信号を受信した場合、通信部２１との間でペアリング処理を行う。
これによれば、通信部２１は、第１通信スロットを決定し、第１通信スロットを使用して通信デバイス３２に対してトリガ信号を送信する。したがって、第１通信スロットをより速やかに決定でき、第１通信スロットを使用して通信デバイス３２にトリガ信号をより確実に送信できるので、通信スロットを使用した無線通信を効率よく行える。したがって、さらに速やかな同期通信の開始を実現できる。
また、上述した実施の形態では、通信部２１が、トリガ信号を使用して第１通信スロットを決定する場合について説明したが、これに限定されない。たとえば、通信部２１は、他の通信部２１から当該他の通信部２１が使用する予定のまたは使用中の通信スロットを示す情報を取得し、複数の通信スロットのうち当該通信スロット以外の通信スロットを第１通信スロットとして決定してもよい。
以上、本発明の無線通信システムおよび無線通信方法について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したものや、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本発明の範囲内に含まれる。
（付記）
以上の実施の形態等の記載により、下記の技術が開示される。
以上の実施の形態等の記載により、下記の技術が開示される。
（技術１）
軌道を走行して物品を搬送する搬送台車に搭載される通信部と、
前記搬送台車によって前記物品が受け渡されるポートに接続され、前記通信部と無線通信を行う通信デバイスとを備え、
前記通信部および前記通信デバイスは、複数の通信スロットから構成される通信チャンネルを用いた通信において、ホッピング周期毎に当該通信チャンネルを変更し、前記複数の通信スロットのいずれかを使用して時分割方式の無線通信を行い、
前記通信部は、前記通信部が搭載された前記搬送台車が前記ポートに対して前記物品を受け渡しする前に、前記複数の通信スロットのうちから前記通信デバイスに対してトリガ信号を送信できる通信スロットである第１通信スロットを決定し、前記第１通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信し、
前記通信デバイスは、前記通信部から前記トリガ信号を受信した場合、前記通信部が搭載された前記搬送台車による前記物品の受け渡しに係るインターロック通信を前記通信部との間で行う、
無線通信システム。
軌道を走行して物品を搬送する搬送台車に搭載される通信部と、
前記搬送台車によって前記物品が受け渡されるポートに接続され、前記通信部と無線通信を行う通信デバイスとを備え、
前記通信部および前記通信デバイスは、複数の通信スロットから構成される通信チャンネルを用いた通信において、ホッピング周期毎に当該通信チャンネルを変更し、前記複数の通信スロットのいずれかを使用して時分割方式の無線通信を行い、
前記通信部は、前記通信部が搭載された前記搬送台車が前記ポートに対して前記物品を受け渡しする前に、前記複数の通信スロットのうちから前記通信デバイスに対してトリガ信号を送信できる通信スロットである第１通信スロットを決定し、前記第１通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信し、
前記通信デバイスは、前記通信部から前記トリガ信号を受信した場合、前記通信部が搭載された前記搬送台車による前記物品の受け渡しに係るインターロック通信を前記通信部との間で行う、
無線通信システム。
（技術２）
前記通信部は、前記第１通信スロットを決定するために前記複数の通信スロットのうち１つである第２通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信し、前記通信デバイスから当該トリガ信号に対する応答が得られた場合、前記第２通信スロットを前記第１通信スロットとして決定する、
技術１に記載の無線通信システム。
前記通信部は、前記第１通信スロットを決定するために前記複数の通信スロットのうち１つである第２通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信し、前記通信デバイスから当該トリガ信号に対する応答が得られた場合、前記第２通信スロットを前記第１通信スロットとして決定する、
技術１に記載の無線通信システム。
（技術３）
前記通信部は、前記第２通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信してから所定時間経過しても前記通信デバイスから当該トリガ信号に対する前記応答が得られない場合、前記複数の通信スロットのうち１つでありかつ前記第２通信スロットとは異なる第３通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信する、
技術２に記載の無線通信システム。
前記通信部は、前記第２通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信してから所定時間経過しても前記通信デバイスから当該トリガ信号に対する前記応答が得られない場合、前記複数の通信スロットのうち１つでありかつ前記第２通信スロットとは異なる第３通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信する、
技術２に記載の無線通信システム。
（技術４）
前記第２通信スロットにおいて前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信するタイミングと、前記第３通信スロットにおいて前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信するタイミングとは、相互に異なる、
技術３に記載の無線通信システム。
前記第２通信スロットにおいて前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信するタイミングと、前記第３通信スロットにおいて前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信するタイミングとは、相互に異なる、
技術３に記載の無線通信システム。
（技術５）
前記通信部は、前記インターロック通信が開始された後に前記通信デバイスから前記インターロック通信に係る応答が得られない場合、前記第１通信スロットを決定し、前記第１通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信する、
技術１から４のいずれかに記載の無線通信システム。
前記通信部は、前記インターロック通信が開始された後に前記通信デバイスから前記インターロック通信に係る応答が得られない場合、前記第１通信スロットを決定し、前記第１通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信する、
技術１から４のいずれかに記載の無線通信システム。
（技術６）
前記トリガ信号は、前記インターロック通信を開始するための送信開始コマンドを含む、
技術１から５のいずれかに記載の無線通信システム。
前記トリガ信号は、前記インターロック通信を開始するための送信開始コマンドを含む、
技術１から５のいずれかに記載の無線通信システム。
（技術７）
通信部と、
前記通信部と無線通信を行う通信デバイスとを備え、
前記通信部および前記通信デバイスは、複数の通信スロットから構成される通信チャンネルを用いた通信において、ホッピング周期毎に当該通信チャンネルを変更し、前記複数の通信スロットのいずれかを使用して時分割方式の無線通信を行い、
前記通信部は、前記複数の通信スロットのうちから前記通信デバイスに対してトリガ信号を送信できる通信スロットである第１通信スロットを決定し、前記第１通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信し、
前記通信デバイスは、前記通信部から前記トリガ信号を受信した場合、前記通信部との間でペアリング処理を行う、
無線通信システム。
通信部と、
前記通信部と無線通信を行う通信デバイスとを備え、
前記通信部および前記通信デバイスは、複数の通信スロットから構成される通信チャンネルを用いた通信において、ホッピング周期毎に当該通信チャンネルを変更し、前記複数の通信スロットのいずれかを使用して時分割方式の無線通信を行い、
前記通信部は、前記複数の通信スロットのうちから前記通信デバイスに対してトリガ信号を送信できる通信スロットである第１通信スロットを決定し、前記第１通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信し、
前記通信デバイスは、前記通信部から前記トリガ信号を受信した場合、前記通信部との間でペアリング処理を行う、
無線通信システム。
（技術８）
無線通信システムによる無線通信方法であって、
前記無線通信システムは、軌道を走行して物品を搬送する搬送台車に搭載される通信部と、前記搬送台車によって前記物品が受け渡されるポートに接続され、前記通信部と無線通信を行う通信デバイスとを備え、
前記通信部および前記通信デバイスが、複数の通信スロットから構成される通信チャンネルを用いた通信において、ホッピング周期毎に当該通信チャンネルを変更し、前記複数の通信スロットのいずれかを使用して時分割方式の無線通信を行い、
前記通信部が、前記通信部が搭載された前記搬送台車が前記ポートに対して前記物品を受け渡しする前に、前記複数の通信スロットのうちから前記通信デバイスに対してトリガ信号を送信できる通信スロットである第１通信スロットを決定し、前記第１通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信し、
前記通信デバイスが、前記通信部から前記トリガ信号を受信した場合、前記通信部が搭載された前記搬送台車による前記物品の受け渡しに係るインターロック通信を前記通信部との間で行う、
無線通信方法。
無線通信システムによる無線通信方法であって、
前記無線通信システムは、軌道を走行して物品を搬送する搬送台車に搭載される通信部と、前記搬送台車によって前記物品が受け渡されるポートに接続され、前記通信部と無線通信を行う通信デバイスとを備え、
前記通信部および前記通信デバイスが、複数の通信スロットから構成される通信チャンネルを用いた通信において、ホッピング周期毎に当該通信チャンネルを変更し、前記複数の通信スロットのいずれかを使用して時分割方式の無線通信を行い、
前記通信部が、前記通信部が搭載された前記搬送台車が前記ポートに対して前記物品を受け渡しする前に、前記複数の通信スロットのうちから前記通信デバイスに対してトリガ信号を送信できる通信スロットである第１通信スロットを決定し、前記第１通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信し、
前記通信デバイスが、前記通信部から前記トリガ信号を受信した場合、前記通信部が搭載された前記搬送台車による前記物品の受け渡しに係るインターロック通信を前記通信部との間で行う、
無線通信方法。
本発明は、通信スロットを使用して無線通信を行う無線通信システム等に利用可能である。
１０ 無線通信システム
２０ 搬送台車
２１ 通信部
２２ 送信部
２３ 受信部
２４ 決定部
２５ 記憶部
３０ 半導体製造装置
３１ ロードポート
３２ 通信デバイス
３３ 受信部
３４ 送信部
３５ 処理部
３６ 記憶部
２０ 搬送台車
２１ 通信部
２２ 送信部
２３ 受信部
２４ 決定部
２５ 記憶部
３０ 半導体製造装置
３１ ロードポート
３２ 通信デバイス
３３ 受信部
３４ 送信部
３５ 処理部
３６ 記憶部
Claims (8)
- 軌道を走行して物品を搬送する搬送台車に搭載される通信部と、
前記搬送台車によって前記物品が受け渡されるポートに接続され、前記通信部と無線通信を行う通信デバイスとを備え、
前記通信部および前記通信デバイスは、複数の通信スロットから構成される通信チャンネルを用いた通信において、ホッピング周期毎に当該通信チャンネルを変更し、前記複数の通信スロットのいずれかを使用して時分割方式の無線通信を行い、
前記通信部は、前記通信部が搭載された前記搬送台車が前記ポートに対して前記物品を受け渡しする前に、前記複数の通信スロットのうちから前記通信デバイスに対してトリガ信号を送信できる通信スロットである第１通信スロットを決定し、前記第１通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信し、
前記通信デバイスは、前記通信部から前記トリガ信号を受信した場合、前記通信部が搭載された前記搬送台車による前記物品の受け渡しに係るインターロック通信を前記通信部との間で行う、
無線通信システム。 - 前記通信部は、前記第１通信スロットを決定するために前記複数の通信スロットのうち１つである第２通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信し、前記通信デバイスから当該トリガ信号に対する応答が得られた場合、前記第２通信スロットを前記第１通信スロットとして決定する、
請求項１に記載の無線通信システム。 - 前記通信部は、前記第２通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信してから所定時間経過しても前記通信デバイスから当該トリガ信号に対する前記応答が得られない場合、前記複数の通信スロットのうち１つでありかつ前記第２通信スロットとは異なる第３通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信する、
請求項２に記載の無線通信システム。 - 前記第２通信スロットにおいて前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信するタイミングと、前記第３通信スロットにおいて前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信するタイミングとは、相互に異なる、
請求項３に記載の無線通信システム。 - 前記通信部は、前記インターロック通信が開始された後に前記通信デバイスから前記インターロック通信に係る応答が得られない場合、前記第１通信スロットを決定し、前記第１通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信する、
請求項１から４のいずれか１項に記載の無線通信システム。 - 前記トリガ信号は、前記インターロック通信を開始するための送信開始コマンドを含む、
請求項１に記載の無線通信システム。 - 通信部と、
前記通信部と無線通信を行う通信デバイスとを備え、
前記通信部および前記通信デバイスは、複数の通信スロットから構成される通信チャンネルを用いた通信において、ホッピング周期毎に当該通信チャンネルを変更し、前記複数の通信スロットのいずれかを使用して時分割方式の無線通信を行い、
前記通信部は、前記複数の通信スロットのうちから前記通信デバイスに対してトリガ信号を送信できる通信スロットである第１通信スロットを決定し、前記第１通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信し、
前記通信デバイスは、前記通信部から前記トリガ信号を受信した場合、前記通信部との間でペアリング処理を行う、
無線通信システム。 - 無線通信システムによる無線通信方法であって、
前記無線通信システムは、軌道を走行して物品を搬送する搬送台車に搭載される通信部と、前記搬送台車によって前記物品が受け渡されるポートに接続され、前記通信部と無線通信を行う通信デバイスとを備え、
前記通信部および前記通信デバイスが、複数の通信スロットから構成される通信チャンネルを用いた通信において、ホッピング周期毎に当該通信チャンネルを変更し、前記複数の通信スロットのいずれかを使用して時分割方式の無線通信を行い、
前記通信部が、前記通信部が搭載された前記搬送台車が前記ポートに対して前記物品を受け渡しする前に、前記複数の通信スロットのうちから前記通信デバイスに対してトリガ信号を送信できる通信スロットである第１通信スロットを決定し、前記第１通信スロットを使用して前記通信デバイスに対して前記トリガ信号を送信し、
前記通信デバイスが、前記通信部から前記トリガ信号を受信した場合、前記通信部が搭載された前記搬送台車による前記物品の受け渡しに係るインターロック通信を前記通信部との間で行う、
無線通信方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2022-211278 | 2022-12-28 | ||
| JP2022211278 | 2022-12-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO2024142536A1 true WO2024142536A1 (ja) | 2024-07-04 |
Family
ID=91717278
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2023/036565 WO2024142536A1 (ja) | 2022-12-28 | 2023-10-06 | 無線通信システムおよび無線通信方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| WO (1) | WO2024142536A1 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20150049322A1 (en) * | 2013-08-19 | 2015-02-19 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Substrate processing system and method of controlling the same |
| WO2022190710A1 (ja) * | 2021-03-09 | 2022-09-15 | 村田機械株式会社 | 無線通信システム及び無線通信システムの制御方法 |
| WO2022264224A1 (ja) * | 2021-06-14 | 2022-12-22 | 株式会社Ｎｔｔドコモ | 端末及び通信方法 |
-
2023
- 2023-10-06 WO PCT/JP2023/036565 patent/WO2024142536A1/ja unknown
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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