TW202337260A - 無線通訊系統、搬運台車側的通訊設備、及通訊方法 - Google Patents

無線通訊系統、搬運台車側的通訊設備、及通訊方法 Download PDF

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桑原哲也
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Abstract

無線通訊系統(10)係具備：搬運台車(1)；搬運台車側的通訊設備(11)；及在與搬運台車側的通訊設備(11)之間以預定的周期藉由無線通訊進行互鎖通訊的埠側的通訊設備(3)。搬運台車側的通訊設備(11)係具備：判斷部(111)；及處理部(112)。判斷部(111)係在配對訊號送訊前，判斷其他搬運台車(1)是否使用與無線通訊所使用的預定的通道相同的通道正在進行互鎖通訊。處理部(112)係若判斷部(111)判斷出正在進行上述互鎖通訊時，將有關互鎖通訊的訊號的送訊時序，以由其他搬運台車(1)的有關互鎖通訊的訊號的送訊時序錯開的方式進行控制。

Description

無線通訊系統、搬運台車側的通訊設備、及通訊方法
本發明係關於無線通訊系統、搬運台車側的通訊設備、及通訊方法。
在專利文獻1中係揭示有具備：用以搬運搬運物的複數搬運台車、及分別以一對一連接於載置搬運物的複數埠的各個的複數通訊設備的搬運系統。在該搬運系統中係在搬運台車、與以一對一連接於埠的通訊設備之間，進行用以將搬運物移載至埠的互鎖通訊。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]國際公開第2019/244466號
(發明所欲解決之問題)
在專利文獻1所揭示之搬運系統中，可能產生以下所示之課題。例如，假設在複數搬運台車與複數通訊設備之間分別在同一通道正在進行互鎖通訊。此時，若複數通訊設備彼此以相對較近的間隔作設置時，有由複數搬運台車的各個被送訊出的複數通訊資料彼此衝突而發生通訊錯誤的可能性。
本發明係鑑於上述課題而完成，目的在提供可減低搬運台車與埠側的通訊設備之間的互鎖通訊中的通訊錯誤的無線通訊系統、搬運台車側的通訊設備、及通訊方法。 (解決問題之技術手段)
為達成上述目的，本發明之一態樣之無線通訊系統係具備：搬運台車，其係藉由沿著軌道行走來搬運搬運物；搬運台車側的通訊設備，其係連接於前述搬運台車；及埠側的通訊設備，其係連接於藉由前述搬運台車移載前述搬運物的埠，將由前述搬運台車側的通訊設備收訊配對訊號作為觸發器，在與前述搬運台車側的通訊設備之間，以預定的周期藉由無線通訊進行用以在前述埠及前述搬運台車之間移載前述搬運物的互鎖通訊。前述搬運台車側的通訊設備係具備：判斷部，其係前述配對訊號送訊前，判斷其他搬運台車是否使用與在與前述埠側的通訊設備之間的無線通訊所使用的預定的通道相同的通道正在進行前述互鎖通訊；及處理部，其係若前述判斷部判斷出前述其他搬運台車使用前述相同通道正在進行前述互鎖通訊時，將有關前述互鎖通訊的訊號的送訊時序，以由前述其他搬運台車的有關前述互鎖通訊的訊號的送訊時序錯開的方式進行控制。
藉由本態樣，即使在相對較為近旁存在使用相同通道來進行互鎖通訊的複數搬運台車的情形下，亦因有關互鎖通訊的訊號的送訊時序彼此偏離，藉此不易發生無線通訊干擾。亦即，藉由本態樣，可減低搬運台車與埠側的通訊設備之間的互鎖通訊中的通訊錯誤。
例如，亦可構成為前述處理部係若前述判斷部判斷出前述其他搬運台車使用前述相同通道正在進行前述互鎖通訊時，將前述配對訊號的送訊時序，以由前述其他搬運台車的有關前述互鎖通訊的訊號的送訊時序錯開的方式進行控制。
藉由本態樣，即使在相對較為近旁存在使用相同通道來進行互鎖通訊的複數搬運台車的情形下，亦因配對訊號的送訊時序彼此偏離，藉此可不易發生無線通訊干擾。
例如，亦可構成為前述搬運台車側的通訊設備係具備：檢測部，其係檢測前述其他搬運台車的有關前述互鎖通訊的無線通訊的訊號強度，前述處理部係若前述判斷部判斷出存在複數使用前述相同通道正在進行前述互鎖通訊的前述其他搬運台車時，根據前述檢測部所檢測到的前述訊號強度，決定成為將有關前述互鎖通訊的訊號的送訊時序錯開的對象的前述其他搬運台車的優先目標。
藉由本態樣，由於根據成為表示發生無線干擾的可能性的指標的訊號強度來決定優先目標，因此可有效抑制無線干擾的發生。
例如，亦可構成為前述處理部係由前述檢測部所檢測到的前述訊號強度大的前述其他搬運台車優先決定為前述優先目標。
藉由本態樣，由於將發生無線干擾的可能性相對較高的其他搬運台車決定為優先目標，因此可更有效抑制無線干擾的發生。
例如，亦可構成為前述處理部係將前述檢測部所檢測到的前述訊號強度最大的前述其他搬運台車決定為前述優先目標。
藉由本態樣，由於將發生無線干擾的可能性最高的其他搬運台車決定為優先目標，因此可更有效抑制無線干擾的發生。
例如，亦可構成為前述處理部係將前述檢測部所檢測到的前述訊號強度成為預定的臨限值以上的前述其他搬運台車決定為前述優先目標。
藉由本態樣，由於集中在有發生無線干擾的可能性的其他搬運台車來決定為優先目標，因此可更有效抑制無線干擾的發生。
例如，亦可構成為前述處理部係若前述判斷部判斷出存在複數使用前述相同通道正在進行前述互鎖通訊的前述其他搬運台車時，根據前述其他搬運台車中的前述互鎖通訊的進行狀況，決定成為將有關前述互鎖通訊的訊號的送訊時序錯開的對象的前述其他搬運台車的優先目標。
藉由本態樣，由於根據成為表示可能發生無線通訊的干擾的期間的長短的指標的互鎖通訊的進行狀況來決定優先目標，因此可有效抑制無線干擾的發生。
例如，亦可構成為前述進行狀況係移載前述搬運物之前的移載前順序、移載前述搬運物的途中亦即移載中順序、及移載前述搬運物之後的移載後順序之中任何順序的執行階段，前述處理部係將前述進行狀況為前述移載前順序的執行階段的前述其他搬運台車優先決定為前述優先目標。
藉由本態樣，由於將至互鎖通訊完成為止相對較為需要時間，亦即可能發生無線干擾的期間相對較長的其他搬運台車決定為優先目標，因此可更有效抑制無線干擾的發生。
例如，亦可構成為前述進行狀況係移載前述搬運物之前的移載前順序、移載前述搬運物的途中亦即移載中順序、及移載前述搬運物之後的移載後順序之中任何順序的執行階段，前述處理部係將前述進行狀況為前述移載前順序的執行階段的前述其他搬運台車、及前述進行狀況為前述移載中順序的執行階段的前述其他搬運台車優先決定為前述優先目標。
藉由本態樣，由於將至互鎖通訊完成為止相對較為需要時間，亦即可能發生無線干擾的期間相對較長的其他搬運台車決定為優先目標，因此可更有效抑制無線干擾的發生。
例如，亦可構成為前述進行狀況係移載前述搬運物之前的移載前順序、移載前述搬運物的途中亦即移載中順序、及移載前述搬運物之後的移載後順序之中任何順序的執行階段，前述處理部係將前述進行狀況為前述移載後順序的執行階段的前述其他搬運台車由前述優先目標除外。
藉由本態樣，由於將至互鎖通訊完成所需時間相對較短，亦即可能發生無線干擾的期間相對較短的其他搬運台車由優先目標除外，因此容易將發生無線干擾的可能性相對較高的其他搬運台車決定為優先目標，可更有效抑制無線干擾的發生。
本發明之一態樣之搬運台車側的通訊設備係連接於藉由沿著軌道行走來搬運搬運物的搬運台車的搬運台車側的通訊設備，具備：判斷部，其係連接於藉由前述搬運台車移載前述搬運物的埠的埠側的通訊設備，在與前述搬運台車側的通訊設備之間，以預定的周期藉由無線通訊進行用以在前述埠及前述搬運台車之間移載前述搬運物的互鎖通訊之成為觸發器的配對訊號送訊前，判斷其他搬運台車是否使用與在與前述埠側的通訊設備之間的無線通訊所使用的預定的通道相同的通道正在進行前述互鎖通訊；及處理部，其係若前述判斷部判斷出前述其他搬運台車使用前述相同通道正在進行前述互鎖通訊時，將有關前述互鎖通訊的訊號的送訊時序，以由前述其他搬運台車的有關前述互鎖通訊的訊號的送訊時序錯開的方式進行控制。
藉由本態樣，即使在相對較為近旁存在使用相同通道來進行互鎖通訊的複數搬運台車的情形下，亦因有關互鎖通訊的訊號的送訊時序彼此偏離，藉此不易發生無線通訊干擾。亦即，藉由本態樣，可減低搬運台車與埠側的通訊設備之間的互鎖通訊中的通訊錯誤。
本發明之一態樣之通訊方法係連接於藉由沿著軌道行走來搬運搬運物的搬運台車的搬運台車側的通訊設備的通訊方法，連接於藉由前述搬運台車移載前述搬運物的埠的埠側的通訊設備，在與前述搬運台車側的通訊設備之間，以預定的周期藉由無線通訊進行用以在前述埠及前述搬運台車之間移載前述搬運物的互鎖通訊之成為觸發器的配對訊號送訊前，判斷其他搬運台車是否使用與在與前述埠側的通訊設備之間的無線通訊所使用的預定的通道相同的通道正在進行前述互鎖通訊；若判斷出前述其他搬運台車使用前述相同通道正在進行前述互鎖通訊時，將有關前述互鎖通訊的訊號的送訊時序，以由前述其他搬運台車的有關前述互鎖通訊的訊號的送訊時序錯開的方式進行控制。
藉由本態樣，即使在相對較為近旁存在使用相同通道來進行互鎖通訊的複數搬運台車的情形下，亦因有關互鎖通訊的訊號的送訊時序彼此偏離，藉此不易發生無線通訊的干擾。亦即，藉由本態樣，可減低搬運台車與埠側的通訊設備之間的互鎖通訊中的通訊錯誤。
其中，本發明不僅可作為裝置來實現，亦可作為將構成該裝置的處理手段作為步驟的方法來實現、或作為使電腦執行該等步驟的程式來實現、或作為記錄有該程式的電腦可讀取的CD-ROM等記錄媒體來實現、或作為表示該程式的資訊、資料或訊號來實現。接著，該等程式、資訊、資料及訊號亦可透過網際網路等通訊網路來配訊。 (發明之效果)
藉由本發明之一態樣之無線通訊系統等，可減低搬運台車與埠側的通訊設備之間的互鎖通訊中的通訊錯誤。
以下使用圖面，詳加說明本發明之實施形態。其中，以下說明的實施形態均為示出涵括性或具體性之例者。以下實施形態所示之數值、形狀、材料、構成要素、構成要素的配置位置及連接形態、步驟、步驟的順序等為一例，並非為限定本發明的主旨。此外，關於以下實施形態中的構成要素之中獨立請求項未記載的構成要素，係作為任意構成要素加以說明。
(實施形態) [1.無線通訊系統的概要] 首先，一邊參照圖1~圖3，一邊說明實施形態之無線通訊系統10的概要。圖1係顯示實施形態之無線通訊系統10的概要的圖。圖2係顯示將FOUP(Front Opening Unified Pod，前開式晶圓收納盒)5抓貨時的E84互鎖序列之一例的圖。圖3係顯示將FOUP5卸貨時的E84互鎖序列之一例的圖。在此，「E84互鎖序列」係指關於SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International，國際半導體設備與材料產業協會)的E84規格所規定的序列。
如圖1所示，無線通訊系統10係例如建構在半導體製造工廠內的系統。在圖1所示之例中，在建構有無線通訊系統10的半導體製造工廠內係設有：第1搬運台車1a、第2搬運台車1b、第1半導體處理裝置2a、及第2半導體處理裝置2b。此外，在第1搬運台車1a及第2搬運台車1b係分別裝載有第1搬運台車側的通訊設備11a及第2搬運台車側的通訊設備11b。此外，在第1半導體處理裝置2a及第2半導體處理裝置2b係分別裝載有第1埠側的通訊設備3a及第2埠側的通訊設備3b。
其中，在半導體製造工廠實際上配置有多數(例如數百台)搬運台車，惟為方便說明，在圖1中僅圖示第1搬運台車1a及第2搬運台車1b。此外，在半導體製造工廠實際上設置有多數(例如幾千台)半導體處理裝置，惟為方便說明，在圖1中僅圖示第1半導體處理裝置2a及第2半導體處理裝置2b。
第1搬運台車1a係用以搬運儲放有半導體晶圓的FOUP5的高架行走式的搬運台車，為所謂OHT(Overhead Hoist Transfer，懸吊式自動搬運車)。在此，FOUP5係搬運台車1(後述)所搬運的對象的物品之一例。以下只要未特別說明，設為搬運物為FOUP5來作說明。第1搬運台車1a係沿著設置在半導體製造工廠的頂棚側的軌道L進行無人行走。該軌道L係由例如半導體製造工廠的頂棚懸掛而設。其中，實施形態的軌道L係如圖1所示以直線形狀表示，惟非侷限於此。例如，軌道L可為由直線及曲線所成的形狀，亦可為格子狀。
在第1搬運台車1a的內部係裝載有用以把持FOUP5的把持部14a。把持部14a係可對第1搬運台車1a作昇降。例如在第1搬運台車1a與第1半導體處理裝置2a的第1埠4a(後述)之間移載FOUP5時，在第1搬運台車1a在第1埠4a的正上方的位置停止的狀態下，把持部14a係由被儲放在第1搬運台車1a的內部的位置下降至第1埠4a的近旁位置。此外，FOUP5的移載完成時，把持部14a係由第1埠4a的近旁位置上昇至第1搬運台車1a而被儲放在第1搬運台車1a的內部。
此外，在第1搬運台車1a的側面係配置有第1搬運台車側的通訊設備11a。第1搬運台車側的通訊設備11a係構成為在與第1埠側的通訊設備3a及第2埠側的通訊設備3b的各個之間進行無線通訊。
與第1搬運台車1a同樣地，第2搬運台車1b為用以搬運儲放有半導體晶圓的FOUP5的高架行走式的搬運台車。與第1搬運台車1a同樣地，第2搬運台車1b係沿著被設置在半導體製造工廠的頂棚的軌道L進行無人行走。其中，第1搬運台車1a所行走的軌道、與第2搬運台車1b所行走的軌道亦可彼此不同。更言之，第1搬運台車1a及第2搬運台車1b可在相同軌道行走，亦可在彼此不同的軌道行走，亦可變更在複數軌道交叉之處行走的軌道。
與第1搬運台車1a同樣地，在第2搬運台車1b的內部裝載有用以把持FOUP5的把持部14b。把持部14b係可對第2搬運台車1b作昇降。
此外，在第2搬運台車1b的側面係配置有第2搬運台車側的通訊設備11b。與第1搬運台車側的通訊設備11a同樣地，第2搬運台車側的通訊設備11b係構成為在與第1埠側的通訊設備3a及第2埠側的通訊設備3b的各個之間進行無線通訊。
其中，如後所述，第1搬運台車側的通訊設備11a係構成為截取在其他搬運台車亦即該第1搬運台車1a以外的搬運台車、與第1埠4a或第2埠4b之間進行的無線通訊。
第1半導體處理裝置2a及第2半導體處理裝置2b均為用以處理或暫置被儲放在FOUP5的半導體晶圓等的裝置。在圖1所示之例中，第1半導體處理裝置2a及第2半導體處理裝置2b係設置成在軌道L的正下方排列。其中，第1半導體處理裝置2a及第2半導體處理裝置2b亦可分別設置在彼此不同的軌道的正下方。
第1半導體處理裝置2a係具有：用以將被儲放在FOUP5的半導體晶圓對半導體處理裝置進行搬入及搬出的第1搬入出口40a；及被配置在第1搬入出口40a的近旁的第1埠4a。此外，第2半導體處理裝置2b係具有：用以將被儲放在FOUP5的半導體晶圓對半導體處理裝置進行搬入及搬出的第2搬入出口40b；及被配置在第2搬入出口40b的近旁的第2埠4b。
第1埠4a係用以載置FOUP5的裝載埠。第1搬運台車1a的把持部14a(或第2搬運台車1b的把持部14b)係在與第1埠4a之間移載FOUP5。第1埠4a係通過第1搬入出口40a在與第1半導體處理裝置2a之間進行被儲放在FOUP5的半導體晶圓的授予。
與第1埠4a同樣地，第2埠4b係用以載置FOUP5的裝載埠。第1搬運台車1a的把持部14a(或第2搬運台車1b的把持部14b)係在與第2埠4b之間移載FOUP5。第2埠4b係通過第2搬入出口40b在與第2半導體處理裝置2b之間進行被儲放在FOUP5的半導體晶圓的授予。
第1埠側的通訊設備3a係用以仲介第1搬運台車側的通訊設備11a及第2搬運台車側的通訊設備11b的各個、與第1半導體處理裝置2a的第1埠4a之間的通訊的裝置伺服器(device server)。第1埠側的通訊設備3a係配置在第1半導體處理裝置2a的頂面，透過並聯線Ca而與第1半導體處理裝置2a的第1埠4a相連接。藉此，第1埠側的通訊設備3a係可透過並聯線Ca而與第1半導體處理裝置2a的第1埠4a進行有線通訊。此外，第1埠側的通訊設備3a係可藉由例如利用BLE(Bluetooth(註冊商標) Low Energy)所為之近距離無線通訊等，與第1搬運台車側的通訊設備11a及第2搬運台車側的通訊設備11b的各個進行無線通訊。在實施形態中，無線通訊所使用的頻帶為例如2.4GHz頻帶或5.8GHz頻帶。此外，在該近距離無線通訊等，亦可包含在主機端及從機端間確立配對，且進行無線通訊的無線通訊規格(例如ANT通訊等)。
第2埠側的通訊設備3b係用以仲介第1搬運台車側的通訊設備11a及第2搬運台車側的通訊設備11b的各個、與第2半導體處理裝置2b的第2埠4b之間的通訊的裝置伺服器。第2埠側的通訊設備3b係配置在第2半導體處理裝置2b的頂面，透過並聯線Cb而與第2半導體處理裝置2b的第2埠4b相連接。藉此，第2埠側的通訊設備3b係可透過並聯線Cb而與第2半導體處理裝置2b的第2埠4b進行有線通訊。此外，第2埠側的通訊設備3b係可藉由例如利用BLE所為之近距離無線通訊等，與第1搬運台車側的通訊設備11a及第2搬運台車側的通訊設備11b的各個進行無線通訊。
在此說明例如將被載置在第1埠4a的FOUP5藉由第1搬運台車1a進行抓貨的情形、及由第1搬運台車1a將FOUP5卸貨至第1埠4a的情形。此時，在上述之無線通訊系統10中，藉由有關SEMI的E84互鎖序列的互鎖通訊，在第1搬運台車側的通訊設備11a、與第1埠側的通訊設備3a之間授受控制訊號(以下亦稱為「通訊資料」)。在此，互鎖通訊係用以在埠(第1埠4a或第2埠4b)及搬運台車(第1搬運台車1a或第2搬運台車1b)之間移載搬運物(FOUP)5的通訊。在E84互鎖序列中係採用在第1搬運台車1a與第1埠4a之間移載FOUP5時，若特定的控制訊號(例如「L_REQ」)未形成為OFF並不移至接下來的順序之由複數順序所成的互鎖序列。
如圖2所示，將FOUP5抓貨時的E84互鎖序列係由移載前順序、移載中順序、及移載後順序的3個步驟所成立。此外，如圖3所示，將FOUP5卸貨時的E84互鎖序列係與圖2同樣地，由移載前順序、移載中順序、及移載後順序的3個步驟所成立。其中，移載前順序、移載中順序、及移載後順序係在例如第1搬運台車1a到達了應移載FOUP5的第1埠4a的正上方的位置之後，在該位置停止的狀態下予以執行。或者，移載前順序亦可為第1搬運台車1a一邊在比應移載FOUP5的第1埠4a的正上方更為跟前(上游)側的位置行走一邊予以執行者。此外，移載後順序亦可為第1搬運台車1a在比應移載FOUP5的第1埠4a的正上方更為後方(下游)側的位置行走一邊予以執行者。
如圖2及圖3所示，在移載前順序中，係在第1搬運台車側的通訊設備11a與第1埠側的通訊設備3a(第1埠4a)之間，授受表示自此開始FOUP5的移載的要旨的控制訊號。在移載中順序中，係在第1搬運台車側的通訊設備11a與第1埠側的通訊設備3a(第1埠4a)之間，授受用以執行FOUP5的移載的控制訊號，且實際上進行FOUP5的移載。在移載後順序中，係在第1搬運台車側的通訊設備11a與第1埠側的通訊設備3a(第1埠4a)之間，授受表示FOUP5的移載已完成的要旨的控制訊號。
[2.無線通訊系統的功能構成] 以下一邊參照圖4~圖6，一邊說明實施形態之無線通訊系統10的功能構成。圖4係顯示實施形態之無線通訊系統10的功能構成的區塊圖。圖5係顯示有關互鎖通訊的通訊訊框61之一例的圖。圖6係顯示管理表格62之一例的圖。
其中，在以下說明中，若未特別區分第1搬運台車1a及第2搬運台車1b等，即稱為「搬運台車1」。此外，在以下說明中，若未特別區分第1搬運台車1a的把持部14a及第2搬運台車1b的把持部14b等，即稱為「把持部14」。此外，在以下說明中，若未特別區分第1半導體處理裝置2a及第2半導體處理裝置2b等，即稱為「半導體處理裝置2」。此外，在以下說明中，若未特別區分第1搬運台車側的通訊設備11a及第2搬運台車側的通訊設備11b等，即稱為「搬運台車側的通訊設備11」。此外，在以下說明中，若未特別區分第1埠側的通訊設備3a及第2埠側的通訊設備3b等，即稱為「埠側的通訊設備3」。此外，在以下說明中，若未特別區分第1埠4a及第2埠4b等，即稱為「埠4」。
如圖4所示，無線通訊系統10係具備有：搬運台車1、搬運台車側的通訊設備11、及埠側的通訊設備3，作為功能構成。其中，在圖4中，搬運台車側的通訊設備11係包含在搬運台車1的構成要素，但是與搬運台車1為不同個體。當然，搬運台車側的通訊設備11亦可與搬運台車1一體構成。此外，在圖4中，埠側的通訊設備3係包含在半導體處理裝置2的構成要素，但是與半導體處理裝置2為不同個體。當然，埠側的通訊設備3亦可與半導體處理裝置2一體構成。
在此係聚焦在1個搬運台車1及1個埠4進行說明，惟無線通訊系統10作為對象的搬運台車1及埠4亦可為複數。此時，無線通訊系統10係具備：複數搬運台車1、複數搬運台車側的通訊設備11、及複數埠側的通訊設備3。
搬運台車側的通訊設備11係連接於搬運台車1，且在與埠側的通訊設備3之間，藉由無線通訊來傳送接收有關互鎖通訊的通訊資料。
在此，以一例而言，說明在搬運台車側的通訊設備11與埠側的通訊設備3之間所授受之有關互鎖通訊的通訊資料。該有關互鎖通訊的通訊資料為例如圖5所示之通訊訊框61。圖5所示之通訊訊框61係包含：「SYNC」、「Message Length」、「Message ID」、「搬運台車側無線ID」、「半導體處理裝置側無線ID」、「Option/Message Status」、「PI/O IN 8bit」、「PI/O OUT 8bit」、及「CHECK SUM」的各欄位。
「SYNC」為通訊訊框61的SYNC部。「Message Length」係由通訊訊框61的「Message ID」至「PI/O OUT 8bit」的資料長。「Message ID」係通訊訊框61的獨特識別碼。「搬運台車側無線ID」係搬運台車側的通訊設備11的識別資訊，換言之為搬運台車1的識別資訊。「半導體處理裝置側無線ID」係埠側的通訊設備3的識別資訊，換言之為半導體處理裝置2的埠的識別資訊。「Option/Message Status」係選項指示、及通訊訊框61的送訊方向(搬運台車側的通訊設備11→埠側的通訊設備3、或埠側的通訊設備3→搬運台車側的通訊設備11)。「PI/O IN 8bit」係被輸入至埠4的並列I/O資料。「PI/O OUT 8bit」係由埠4被輸出的並列I/O資料。「CHECK SUM」為通訊訊框61的CHECK SUM部。
返回至圖4，搬運台車側的通訊設備11具備有：判斷部111、處理部112、及檢測部113。其中，判斷部111、處理部112、及檢測部113係藉由例如處理器讀出被記錄在硬碟或半導體記憶體等記錄媒體的軟體程式來執行予以實現。
判斷部111係在配對訊號送訊前，判斷其他搬運台車1是否使用與在與埠側的通訊設備3之間的無線通訊所使用的預定的通道(無線通道)相同的通道正在進行互鎖通訊。在此，配對訊號係用以在搬運台車側的通訊設備11與埠側的通訊設備3之間確立同步方式的無線通訊的訊號。搬運台車側的通訊設備11係朝向埠側的通訊設備3送訊配對訊號，確立了與埠側的通訊設備3的無線通訊之後，執行關於在搬運台車1與埠4之間的FOUP5的移載的各種通訊。
此外，在此所謂「其他搬運台車1正在進行互鎖通訊」具體而言係指處於設在其他搬運台車1的其他搬運台車側的通訊設備11所送訊及收訊的有關互鎖通訊的訊號、與搬運台車(自車)側的通訊設備11所送訊及收訊的有關互鎖通訊的訊號可能干擾的狀態。
亦即，判斷部111係在送訊配對訊號的前階段，監控使用相同通道而正在進行互鎖通訊的其他搬運台車側的通訊設備11是否存在於無線通訊可能干擾的範圍內。在後述之[3.無線通訊系統的動作]中詳細說明判斷部111的動作。
處理部112係若判斷部111判斷出其他搬運台車1使用相同通道正在進行互鎖通訊時，將有關互鎖通訊的訊號的送訊時序，以由其他搬運台車1的有關互鎖通訊的訊號的送訊時序錯開的方式進行控制。在此，有關互鎖通訊的訊號係包含在已確立在搬運台車側的通訊設備11與埠側的通訊設備3之間的無線通訊的狀態下，由搬運台車側的通訊設備11被送訊的指令訊號、及由收訊到指令訊號的埠側的通訊設備3被送訊的響應訊號。
處理部112係若判斷部111判斷出其他搬運台車1未進行互鎖通訊時，送訊配對訊號，且若監控結束之後經過既定的送訊時序時間亦即預定時間，以預定的周期開始指令訊號的送訊。另一方面，處理部112係若判斷部111判斷出其他搬運台車1正在進行互鎖通訊時，送訊出配對訊號之後，由作為目標的其他搬運台車1的送訊時序等待了預定的延遲時間經過之後，以預定的周期開始指令訊號的送訊。在此所謂「目標」係成為將有關互鎖通訊的訊號的送訊時序錯開的對象的其他搬運台車1(其他搬運台車側的通訊設備11)。亦即，處理部112若判斷出其他搬運台車1正在進行互鎖通訊，將有關互鎖通訊的訊號的送訊時序，由該其他搬運台車1的有關互鎖通訊的訊號的送訊時序以預定的延遲時間錯開。
在實施形態中，處理部112係若判斷部111判斷出存在複數使用相同通道正在進行互鎖通訊的其他搬運台車1時，根據預定的演算法來決定優先目標。在此所謂「優先目標」係相當於存在複數使用相同通道正在進行互鎖通訊的其他搬運台車1時的目標。成為優先目標的其他搬運台車1係例如複數其他搬運台車1之中發生無線通訊干擾的可能性最高的搬運台車1。
其中，在實施形態中，處理部112係若判斷部111判斷出其他搬運台車1正在進行互鎖通訊時，配對訊號的送訊時序亦錯開。在後述之[3.無線通訊系統的動作]詳細說明處理部112的動作。
檢測部113係檢測其他搬運台車1的有關互鎖通訊的無線通訊(相同通道)的訊號強度。在實施形態中，檢測部113係在搬運台車側的通訊設備11所收訊到的無線訊號之中，檢測其他埠側的通訊設備3所送訊出的無線訊號的RSSI(Received Signal Strength Indicator，接收訊號強度指示器)值。
搬運台車1係具備有：控制部12、記憶部13、及把持部14。
控制部12係參照記憶部13，而且控制搬運台車側的通訊設備11，藉此執行各種處理。其中，控制部12係藉由例如處理器讀出被記錄在硬碟或半導體記憶體等記錄媒體的軟體程式且執行來實現。
記憶部13係記憶管理表格62的記憶體。管理表格62係例如圖6所示，按每個半導體處理裝置2(換言之按每個埠4)，表示半導體處理裝置2的站號、埠側的通訊設備3的無線通道、與埠側的通訊設備3的裝置號碼(識別資訊)的對應關係的資料表格。在圖6所示之例中，在管理表格62的第1行，半導體處理裝置2的站號「00001」、埠側的通訊設備3的無線通道「001」、及埠側的通訊設備3的裝置號碼「00001」建立對應予以儲存。
埠側的通訊設備3係有線連接於埠4。埠側的通訊設備3係將由搬運台車側的通訊設備11收訊配對訊號作為觸發器(trigger)，在與搬運台車側的通訊設備11之間以預定的周期藉由無線通訊進行互鎖通訊。藉此，在有線連接於通訊設備3的埠4與搬運台車側的通訊設備11之間進行互鎖通訊。埠側的通訊設備3係具有：通訊部31、及控制部32。
通訊部31係在與搬運台車側的通訊設備11之間，藉由無線通訊，送訊及收訊有關互鎖通訊的通訊資料。具體而言，通訊部31係收訊由搬運台車側的通訊設備11被送訊的指令訊號，而且朝向搬運台車側的通訊設備11送訊響應訊號。此外，通訊部31係透過並聯線，在與埠4之間送訊及收訊通訊資料。
控制部32係藉由控制通訊部31，來執行各種處理。其中，控制部32係藉由例如處理器讀出被記錄在硬碟或半導體記憶體等記錄媒體的軟體程式且執行來實現。
埠4係藉由搬運台車1來移載搬運物(FOUP)5。埠4係具有：通訊部41、及控制部42。
通訊部41係透過並聯線，在與埠側的通訊設備3之間送訊及收訊通訊資料。
控制部42係藉由控制通訊部41，來執行各種處理。具體而言，控制部42係根據來自埠側的通訊設備3的通訊資料，執行用以在與搬運台車1之間移載FOUP5的互鎖處理。此外，控制部42係執行用以通過搬入出口而在與半導體處理裝置2之間進行被儲放在FOUP5的半導體晶圓的授予的處理。其中，控制部42係藉由例如處理器讀出被記錄在硬碟或半導體記憶體等記錄媒體的軟體程式且執行來實現。
[3.無線通訊系統的動作] 以下說明實施形態之無線通訊系統10，尤其搬運台車側的通訊設備11的動作。
[3-1.基本動作] 首先，一邊參照圖7~圖9一邊說明無線通訊系統10(搬運台車側的通訊設備11)的基本動作。圖7係顯示實施形態之無線通訊系統10中的監控動作之一例的流程圖。圖8係顯示實施形態之無線通訊系統10中的目標的決定動作之一例的流程圖。圖9係顯示實施形態之無線通訊系統10中的互鎖通訊動作之一例的流程圖。
搬運台車側的通訊設備11的判斷部111係在開始在與作為對象的埠4之間的FOUP5的移載的前階段，例如搬運台車1移動至作為對象的埠4的跟前的位置或正上方的位置的階段，開始圖7所示之監控動作。開始監控動作時，判斷部111係最初將內置於搬運台車側的通訊設備11的記憶體中的監控記錄區進行清除(重置)(S11)。接著，判斷部111係起動軟體計時器(S12)。藉此，開始藉由判斷部111所為的監控動作。
在監控動作中，判斷部111係判斷有無其他搬運台車1與其他埠(作為對象的埠4以外的埠)側的通訊設備3之間的無線通訊(S13)。若有無線通訊(S13：Yes)，若所取得的通訊訊框61所包含的其他搬運台車的ID(「搬運台車側無線ID」)是新的ID(S14：Yes)，判斷部111係將該搬運台車側無線ID寫入至監控記錄區(S15)。另一方面，若搬運台車側無線ID已被寫入至監控記錄區(S14：No)，判斷部111並不執行步驟S15。
接著，判斷部111係按每個搬運台車側無線ID，將監控動作的經過時間、與檢測部113所檢測到的RSSI值寫入至監控記錄區(S16)。此外，判斷部111係按每個搬運台車側無線ID，將監控動作的經過時間、與所取得的通訊訊框61的PI/O IN(8bit)值及PI/O OUT(8bit)值寫入至監控記錄區(S17)。其中，若無其他搬運台車側的通訊設備11與其他埠側的通訊設備3之間的無線通訊(S13：No)，判斷部111並不執行步驟S14~S17。
以下在起動軟體計時器之後經過監控時間為止的期間(S18：No)，判斷部111反覆步驟S13~S17。接著，若起動軟體計時器之後經過監控時間(S18：Yes)，判斷部111係結束監控動作。
如上所示，判斷部111係按每台其他搬運台車1，取得有關互鎖通訊的訊號的送訊時序、收訊時序、預定的周期、互鎖通訊的進行狀況、及RSSI值。在此所謂「互鎖通訊的進行狀況」係指根據其他搬運台車側的通訊設備11與其他埠側的通訊設備3之間的通訊之在其他搬運台車1與其他埠4之間所進行的搬運物(FOUP)5的移載的進度。在實施形態中，互鎖通訊的進行狀況係移載搬運物5之前的移載前順序、正在移載搬運物5的途中亦即移載中順序、及移載搬運物5之後的移載後順序之中任何順序的執行階段。
接著，搬運台車側的通訊設備11的處理部112係開始圖8所示之目標的決定動作。首先，處理部112係根據判斷部111的判斷結果，確認有無互鎖通訊中的其他搬運台車1(S21、S22)。若不存在互鎖通訊中的其他搬運台車1(S21：No)，處理部112係未決定目標，即結束目標的決定動作。此時，處理部112係執行後述之互鎖通訊動作中的步驟S36。
若互鎖通訊中的其他搬運台車1為1台(S21：Yes、S22：No)，處理部112係將該其他搬運台車1決定為目標(S28)，且結束目標的決定動作。另一方面，若互鎖通訊中的其他搬運台車1為2台以上(S22：Yes)，處理部112係藉由執行以下步驟S23~S27，來決定優先目標。
首先，處理部112係由監控記錄區讀出檢測部113所檢測到的RSSI值高的上位2個搬運台車側無線ID(S23)。亦即，處理部112係在互鎖通訊中的複數其他搬運台車1之中，選擇RSSI值最高的其他搬運台車1、及RSSI值第二高的其他搬運台車1。其中，若互鎖中的複數其他搬運台車1為2台，處理部112係可由監控記錄區讀出該等2台搬運台車側無線ID。
接著，處理部112係由所選擇出的上位2個搬運台車1所取得的通訊訊框61之中，由監控記錄區讀出最後(亦即最新)的通訊訊框61所包含的PI/O IN(8bit)值及PI/O OUT(8bit)值(S24)。
在此，在PI/O IN(8bit)值及PI/O OUT(8bit)值係包含有表示互鎖通訊的進行狀況的資訊。具體而言，如圖2及圖3所示，可根據E84互鎖序列中的特定的控制訊號(在此為「CS_0」、「BUSY」、及「COMPT」)，判斷其他搬運台車1處於移載前順序、移載中順序、及移載後順序之中任何順序的執行階段。例如，若「CS_0」為ON、「BUSY」為OFF、及「COMPT」為OFF，處理部112係判斷其他搬運台車1處於移載前順序的執行階段。此外，例如，若「CS_0」為ON、「BUSY」為ON、及「COMPT」為OFF，處理部112係判斷其他搬運台車1處於移載中順序的執行階段。此外，例如，若「CS_0」為ON、「BUSY」為OFF、及「COMPT」為ON，處理部112係判斷其他搬運台車1處於移載後順序的執行階段。其中，若「CS_0」、「BUSY」、及「COMPT」均為OFF，處理部112係判斷藉由其他搬運台車1所為之FOUP5的移載已完成。
接著，處理部112係若所選擇出的上位2個搬運台車1之中其中一方搬運台車1的順序的進行處於比另一方搬運台車1的順序更為之前的狀態(S25：Yes)，將其中一方搬運台車1決定為優先目標(S26)。此外，處理部112係若所選擇出的上位2個搬運台車1之中另一方搬運台車1的順序的進行處於比其中一方搬運台車1的順序更為之前的狀態(S25：No)，將另一方搬運台車1決定為優先目標(S27)。在此，移載前順序為移載中順序之前的順序，移載中順序為移載後順序之前的順序。亦即，處理部112係將至完成FOUP5的移載為止所需時間較長的其他搬運台車1，判斷出可能無線通訊干擾的期間長，亦即無線通訊干擾的可能性高，將如上所示之其他搬運台車1決定為優先目標。處理部112若決定優先目標，即結束目標的決定動作。
接著，處理部112係開始圖9所示之互鎖通訊動作。處理部112係若決定出目標或優先目標，亦即若存在互鎖通訊中的其他搬運台車1，在執行以下步驟S31~S34之後，執行步驟S35、S37~S39。
首先，處理部112係設定在至目標或優先目標的送訊時序為止的時間加算了預定的延遲時間的送訊時間(S31)。接著，處理部112係起動軟體計時器(S32)，且藉由送訊配對訊號來執行與埠側的通訊設備3的配對(S33)。
起動軟體計時器之後(亦即送訊配對訊號之後)經過送訊時間為止的期間(S34：No)，處理部112並未特別執行什麼而待機。接著，若起動軟體計時器之後經過送訊時間(S34：Yes)，處理部112係朝向埠側的通訊設備3送訊指令訊號(S35)。藉此，搬運台車側的通訊設備11係在與埠側的通訊設備3之間開始互鎖通訊。在指令訊號的通訊訊框61，由搬運台車1的控制部12所收訊到的控制資料被寫入至「PI/O IN 8bit」。
處理部112係在指令訊號送訊後、至收訊來自埠側的通訊設備3的響應訊號為止的期間(S37：No)等待響應訊號。接著，若收訊來自埠側的通訊設備3的響應訊號(S37：Yes)，處理部112係讀出所收訊到的響應訊號所包含的「PI/O OUT 8bit」的資料，且送訊至搬運台車1的控制部12(S38)。
以下至與埠側的通訊設備3之間的互鎖通訊結束為止的期間(S39：No)，處理部112反覆步驟S35、S37~S39。接著，若與埠側的通訊設備3之間的互鎖通訊結束(S39：Yes)，處理部112係結束互鎖通訊動作。
其中，處理部112若未決定出目標或優先目標，亦即若不存在互鎖通訊中的其他搬運台車1(S21：No)，未執行步驟S31~S34，而藉由送訊配對訊號來執行與埠側的通訊設備3的配對(S36)。接著，處理部112係與決定出目標或優先目標時同樣地，執行步驟S35、S37~S39。
[3-2.具體例] 以下一邊參照圖10及圖11，一邊說明實施形態之無線通訊系統10(搬運台車側的通訊設備11)的動作的具體例。圖10係用以說明實施形態之無線通訊系統10的動作的具體例的圖。圖11係顯示實施形態之無線通訊系統10的動作的具體例的流程的序列圖。
以下，如圖10所示，考慮在半導體製造工廠內依序排列設置有第1半導體處理裝置2a、第2半導體處理裝置2b、及第3半導體處理裝置2c的情形。其中，在半導體製造工廠內，除了該等半導體處理裝置2a~2c之外亦設置有半導體處理裝置2。在以下說明中，關於第1搬運台車1a及第2搬運台車1b、第1半導體處理裝置2a及第2半導體處理裝置2b、第1埠側的通訊設備3a及第2埠側的通訊設備3b、以及第1埠4a及第2埠4b，已參照圖1加以說明，故在此省略說明。
在圖10所示之例中，在半導體製造工廠內，除了第1搬運台車1a及第2搬運台車1b之外，另外設有第3搬運台車1c。此外，在第3半導體處理裝置2c係具有第3埠4c。在第3埠4c係連接有第3埠側的通訊設備3c。
與圖1所示之其他搬運台車1a、1b同樣地，第3搬運台車1c係用以搬運儲放有半導體晶圓的FOUP5的高架行走式的搬運台車。第3搬運台車1c係與其他搬運台車1a、1b同樣地，沿著被設置在半導體製造工廠的頂棚的軌道L進行無人行走。其中，各搬運台車1a~1c所行走的軌道亦可彼此不同。更言之，各搬運台車1a~1c係可在相同軌道行走，亦可在彼此不同的軌道行走，可變更在複數軌道交叉之處行走的軌道。
在第3搬運台車1c的內部，與其他搬運台車1a、1b同樣地，裝載有用以把持FOUP5的把持部(未圖示)。把持部係可對第3搬運台車1c作昇降。
此外，在第3搬運台車1c的側面配置有第3搬運台車側的通訊設備11c。第3搬運台車側的通訊設備11c係與其他搬運台車側的通訊設備11a、11b同樣地，構成為在與各埠側的通訊設備3a~3c之間進行無線通訊。
其中，第3搬運台車側的通訊設備11c係構成為截取在其他搬運台車亦即該第3搬運台車1c以外的搬運台車、與任何埠4a~4c之間正在進行的無線通訊。
與圖1所示之其他半導體處理裝置2a、2b同樣地，第3半導體處理裝置2c係用以處理或暫置被儲放在FOUP5的半導體晶圓等的裝置。在圖10所示之例中，第3半導體處理裝置2c係設置成在軌道L的正下方排列。其中，各半導體處理裝置2a~2c亦可分別設置在彼此不同的軌道的正下方。
第3半導體處理裝置2c係具有：用以將被儲放在FOUP5的半導體晶圓對半導體處理裝置進行搬入及搬出的第3搬入出口、及被配置在搬入出口的近旁的第3埠4c。
第3埠4c係用以載置FOUP5的裝載埠。各搬運台車1a~1c的把持部係在與第3埠4c之間移載FOUP5。第3埠4c係通過第3搬入出口而在與第3半導體處理裝置2c之間進行被儲放在FOUP5的半導體晶圓的授予。
第3埠側的通訊設備3c係用以仲介各搬運台車側的通訊設備11a~11c、與第3半導體處理裝置2c的第3埠4c之間的通訊的裝置伺服器。第3埠側的通訊設備3c係配置在第3半導體處理裝置2c的頂面，透過並聯線而與第3半導體處理裝置2c的第3埠4c相連接。藉此，第3埠側的通訊設備3c係可透過並聯線而與第3半導體處理裝置2c的第3埠4c進行有線通訊。此外，在第3埠側的通訊設備3c係可藉由例如利用BLE(Bluetooth(註冊商標) Low Energy)所為之近距離無線通訊等，與各搬運台車側的通訊設備11a~11c的各個進行無線通訊。
此外，以下說明第1搬運台車1a、第2搬運台車1b、及第3搬運台車1c由上位控制器(未圖示)被指示了移載FOUP5的情形。
具體而言，第1搬運台車1a係沿著軌道L行走，在應移載FOUP5的第1埠4a的正上方的位置停止。第2搬運台車1b係沿著軌道L行走，在應移載FOUP5的第2埠4b的正上方的位置停止。第3搬運台車1c係沿著軌道L行走，在應移載FOUP5的第3埠4c的正上方的位置停止。第1搬運台車1a、第2搬運台車1b、及第3搬運台車1c係分別具備有：第1搬運台車側的通訊設備11a、第2搬運台車側的通訊設備11b、及第3搬運台車側的通訊設備11c。
此外，以下說明在第1搬運台車側的通訊設備11a與第1埠側的通訊設備3a之間的互鎖通訊、第2搬運台車側的通訊設備11b與第2埠側的通訊設備3b之間的互鎖通訊、及第3搬運台車側的通訊設備11c與第3埠側的通訊設備3c之間的互鎖通訊中，係均使用相同的無線通道。亦即，該等互鎖通訊係視情形而可能干擾。其中，在圖10中係表示第1搬運台車1a、第2搬運台車1b、及第3搬運台車1c同時正在進行互鎖通訊的狀態。
在圖11所示之例中，首先，第1搬運台車側的通訊設備11a(圖示中為「第1通訊設備11a」)開始在與第1埠側的通訊設備3a(圖示中為「第1通訊設備3a」)之間的互鎖通訊。接著，第2搬運台車側的通訊設備11b(圖示中為「第2通訊設備11b」)開始在與第2埠側的通訊設備3b(圖示中為「第2通訊設備3b」)之間的互鎖通訊。最後，第3搬運台車側的通訊設備11c(圖示中為「第3通訊設備11c」)開始在與第3埠側的通訊設備3c(圖示中為「第3通訊設備3c」)之間的互鎖通訊。
首先，第1搬運台車側的通訊設備11a係在監控時間TM的期間執行監控(S101)。監控時間TM係例如幾百ms。在此，由於不存在互鎖通訊中的其他搬運台車1，因此第1搬運台車側的通訊設備11a係若監控結束，即送訊配對訊號P1(S102)，且經過預定時間後，送訊指令訊號C1(S103)。藉此，第1搬運台車側的通訊設備11a係在與第1埠側的通訊設備3a之間開始互鎖通訊。在互鎖通訊中，第1搬運台車側的通訊設備11a係以預定的周期T2反覆送訊指令訊號C1(S103)，且一定時間T1後收訊來自第1埠側的通訊設備3a的響應訊號R1(S104)的一連串通訊。一定時間T1係比延遲時間T3(後述)短的時間，例如幾百μs。此外，預定的周期T2係比延遲時間T3長、且比監控時間TM短的時間，例如幾十ms。
接著，第2搬運台車側的通訊設備11b係在監控時間TM的期間執行監控(S201)。在此，由於存在互鎖通訊中的其他搬運台車1(第1搬運台車1a)，因此第2搬運台車側的通訊設備11b係將第1搬運台車1a決定為目標。接著，第2搬運台車側的通訊設備11b係在送訊出配對訊號P2之後(S202)，在由藉由第1搬運台車側的通訊設備11a所得之指令訊號C1的送訊時序以延遲時間T3錯開的時序，送訊指令訊號C2(S203)。延遲時間T3係比一定時間T1長、且比預定的周期T2短的時間，例如1ms。藉此，第2搬運台車側的通訊設備11b係在與第2埠側的通訊設備3b之間開始互鎖通訊。其中，在此，配對訊號P2的送訊時序與指令訊號C2的送訊時序的間隔一定，因此呼應將指令訊號C2的送訊時序錯開，結果亦將配對訊號P2的送訊時序錯開。
在互鎖通訊中，第2搬運台車側的通訊設備11b係以預定的周期T2反覆送訊指令訊號C2(S203)，且一定時間T1後收訊來自第2埠側的通訊設備3b的響應訊號R2(S204)的一連串通訊。因此，第1搬運台車1a中有關互鎖通訊的訊號的送訊時序、與第2搬運台車1b中有關互鎖通訊的訊號的送訊時序基本上以延遲時間T3偏離，不易發生無線通訊干擾。
最後，第3搬運台車側的通訊設備11c係在監控時間TM的期間執行監控(S301)。在此，互鎖通訊中的其他搬運台車1存在2台(第1搬運台車1a及第2搬運台車1b)。因此，第3搬運台車側的通訊設備11c係將第1搬運台車1a及第2搬運台車1b任一方決定為優先目標。在此，第3搬運台車側的通訊設備11c係將第2搬運台車1b決定為優先目標來作說明。
接著，第3搬運台車側的通訊設備11c係送訊出配對訊號P3之後(S302)，在由藉由第2搬運台車側的通訊設備11b所得之指令訊號C2的送訊時序以延遲時間T3錯開的時序，送訊指令訊號C3(S303)。藉此，第3搬運台車側的通訊設備11c係在與第3埠側的通訊設備3c之間開始互鎖通訊。其中，在此，配對訊號P3的送訊時序與指令訊號C3的送訊時序的間隔為一定，因此呼應將此指令訊號C2的送訊時序錯開，結果亦將配對訊號P3的送訊時序錯開。
在互鎖通訊中，第3搬運台車側的通訊設備11c係以預定的周期T2反覆送訊指令訊號C3(S303)，且一定時間T1後收訊來自第3埠側的通訊設備3c的響應訊號R3(S304)的一連串通訊。因此，第2搬運台車1b中有關互鎖通訊的訊號的送訊時序、及第3搬運台車1c中有關互鎖通訊的訊號的送訊時序基本上成為以延遲時間T3偏離，不易發生無線通訊干擾。
其中，若搬運台車1的預定的周期T2、與作為目標或優先目標的其他搬運台車1的預定的周期T2彼此不同時，在複數次互鎖通訊的任何時序可能發生無線通訊干擾。但是，即使在複數次互鎖通訊中發生1次無線通訊干擾，亦並非連續發生無線通訊干擾，以互鎖通訊全體而言，並無妨礙。
[4.優點] 以下參照圖12，說明實施形態之無線通訊系統10(尤其搬運台車側的通訊設備11)的優點。圖12係用以說明實施形態的無線通訊系統的優點的圖。在圖12所示之例中，複數半導體處理裝置2配置在半導體製造工廠內，各半導體處理裝置2具有4個埠側的通訊設備3(換言之，各半導體處理裝置2具有4個埠4(未圖示))。表示各通訊設備3的矩形的內側所記載的數字係表示該通訊設備3所使用的無線通道。在圖12所示之例中，將使用相同無線通道的複數埠側的通訊設備3設置為彼此分離預定距離以上。具體而言，設置有使用無線通道「1」的埠側的通訊設備3的區域A1、A2、A3係設置成彼此分離預定距離以上，藉此嘗試防止無線通訊干擾。以下將區域A1與區域A3之間的距離稱為「第1預定距離」，將區域A1與區域A2之間的距離稱為「第2預定距離」。
其中，在圖12中，存在例如區域A1所示鄰接設置有使用相同無線通道的2個埠側的通訊設備3的部位，但是此係基於不會有鄰接的2個埠側的通訊設備3同時進行無線通訊的情形，而不會發生無線通訊干擾之故。
例如，假定在鄰接的2個埠側的通訊設備3之中其中一方埠側的通訊設備3的上方配置有搬運台車1(未圖示)。此時，起因於該搬運台車1的尺寸，無法確保用以在另一方埠側的通訊設備3的上方配置其他搬運台車1的空間。亦即，不會有2台搬運台車1排列配置在鄰接的2個埠側的通訊設備3的各個的上方的情形。因此，在鄰接的2個埠側的通訊設備3之中其中一方埠側的通訊設備3正在進行無線通訊的狀態下，另一方埠側的通訊設備3無法進行無線通訊，不會有鄰接的2個埠側的通訊設備3同時進行無線通訊的情形。
在此，若可將複數埠側的通訊設備3以第1預定距離程度分離設置，可防止無線通訊干擾。但是，依半導體製造工廠內可設置的空間，亦有不易針對全部埠側的通訊設備3以第1預定距離程度分離設置的情形。例如，在圖12所示之例中，有僅可將複數埠側的通訊設備3以第2預定距離(＜第1預定距離)程度分離設置的情形，有發生無線通訊干擾的可能性。其中，考慮藉由增加所使用的無線通道數來解決上述課題，但是由於可使用的無線通道數亦有限，因此仍有無法完全防止無線通訊干擾的課題。
因此，在實施形態之無線通訊系統10中，搬運台車側的通訊設備11係判斷其他搬運台車1是否使用與在與埠側的通訊設備3之間的無線通訊所使用的預定的通道相同的通道正在進行互鎖通訊。接著，搬運台車側的通訊設備11係若判斷出其他搬運台車1使用相同通道正在進行互鎖通訊時，將有關互鎖通訊的訊號的送訊時序，以由其他搬運台車1的有關互鎖通訊的訊號的送訊時序錯開的方式進行控制。
因此，在實施形態之無線通訊系統10中，即使在相對較為近旁存在使用相同通道進行互鎖通訊的複數搬運台車1(換言之為複數埠側的通訊設備3)的情形下，亦因有關互鎖通訊的訊號的送訊時序彼此偏離，而不易發生無線通訊干擾。亦即，在實施形態之無線通訊系統10中，可減低搬運台車1(亦即搬運台車側的通訊設備11)與埠側的通訊設備3之間的互鎖通訊中的通訊錯誤。
換言之，在實施形態之無線通訊系統10中，由於必須將複數埠側的通訊設備3彼此分離第1預定距離以上，因此即使增加埠側的通訊設備3的台數，亦容易有效利用半導體製造工廠內的空間。此外，在實施形態之無線通訊系統10中，由於不需要增加通道數，因此可抑制所使用的通道數，容易有效利用可使用的通道。
此外，在實施形態之無線通訊系統10中，搬運台車側的通訊設備11係若判斷出其他搬運台車1使用相同通道正在進行互鎖通訊時，配對訊號的送訊時序亦以由其他搬運台車1的有關互鎖通訊的訊號的送訊時序錯開的方式進行控制。因此，在實施形態之無線通訊系統10中，即使在相對較為近旁存在使用相同通道進行互鎖通訊的複數搬運台車1的情形下，亦因配對訊號的送訊時序彼此偏離，藉此可不易發生無線通訊干擾。結果，搬運台車側的通訊設備11與埠側的通訊設備3之間的配對不易失敗。
此外，在實施形態之無線通訊系統10中，搬運台車側的通訊設備11係若判斷出存在複數使用相同通道正在進行互鎖通訊的其他搬運台車1時，根據檢測部113所檢測到的訊號強度來決定優先目標。因此，在實施形態之無線通訊系統10中，根據成為表示發生無線干擾的可能性的指標的訊號強度來決定優先目標，因此可有效抑制無線干擾的發生。
此外，在實施形態之無線通訊系統10中，搬運台車側的通訊設備11係由檢測部113所檢測到的訊號強度大的其他搬運台車1(在此為訊號強度尤其大的上位2個其他搬運台車1)優先地決定為優先目標。因此，在實施形態之無線通訊系統10中，將發生無線干擾的可能性相對較高的其他搬運台車1決定為優先目標，因此可更有效抑制無線干擾的發生。
此外，在實施形態之無線通訊系統10中，搬運台車側的通訊設備11係若判斷出存在複數使用相同通道正在進行互鎖通訊的其他搬運台車1，根據其他搬運台車1中的互鎖通訊的進行狀況來決定優先目標。因此，在實施形態之無線通訊系統10中，根據成為表示可能發生無線通訊干擾的期間的長短的指標的互鎖通訊的進行狀況來決定優先目標，因此可有效抑制無線干擾的發生。
(其他變形例等) 以上根據上述實施形態，說明本發明之無線通訊系統及通訊方法，惟本發明並非為限定於上述實施形態者。對上述實施形態施行該領域熟習該項技術者所思及的變形而得的形態、及將上述實施形態中的構成要素作任意組合而實現的別的形態亦包含在本發明中。
在實施形態中，搬運台車側的通訊設備11亦可將檢測部113所檢測到的訊號強度最大的其他搬運台車1決定為優先目標。藉此，由於將發生無線干擾的可能性最高的其他搬運台車1決定為優先目標，因此可更有效抑制無線干擾的發生。此時，搬運台車側的通訊設備11亦可未根據互鎖通訊的進行狀況來決定優先目標。
此外，在實施形態中，搬運台車側的通訊設備11係將檢測部113所檢測到的訊號強度成為預定的臨限值以上的其他搬運台車1決定為優先目標。藉此，集中在有發生無線干擾的可能性的其他搬運台車1而決定為優先目標，因此可更有效抑制無線干擾的發生。
在實施形態中，搬運台車側的通訊設備11亦可將互鎖通訊的進行狀況為移載前順序的執行階段的其他搬運台車1決定為優先目標。此外，在實施形態中，搬運台車側的通訊設備11亦可將互鎖通訊的進行狀況為移載前順序的執行階段的其他搬運台車1、及移載中順序的執行階段的其他搬運台車1決定為優先目標。藉由該等，將至互鎖通訊完成為止相對較為需要時間，亦即可能發生無線干擾的期間相對較長的其他搬運台車1決定為優先目標，因此可更有效抑制無線干擾的發生。
此外，在實施形態中，搬運台車側的通訊設備11亦可將互鎖通訊的進行狀況為移載後順序的執行階段的其他搬運台車1由優先目標除外。藉此，由於將至互鎖通訊完成所需時間相對較短，亦即可能發生無線干擾的期間相對較短的其他搬運台車1由優先目標除外，因此容易將發生無線干擾的可能性相對較高的其他搬運台車1決定為優先目標，可更有效抑制無線干擾的發生。
但是，在實施形態中，搬運台車側的通訊設備11係無線通訊系統10的構成要素的1個，惟非侷限於此。例如，搬運台車側的通訊設備11係可單獨在市場流通。亦即，搬運台車側的通訊設備11係連接於藉由沿著軌道L行走來搬運搬運物5的搬運台車1的通訊設備。接著，搬運台車側的通訊設備11係具備：判斷部111、及處理部112。判斷部111係連接於藉由搬運台車1移載搬運物5的埠4的埠側的通訊設備3在配對訊號送訊前，判斷其他搬運台車1是否使用與在與埠側的通訊設備3之間的無線通訊所使用的預定的通道相同的通道正在進行互鎖通訊。配對訊號係在與搬運台車側的通訊設備11之間，以預定的周期藉由無線通訊進行用以對埠4移載搬運物5的互鎖通訊之成為觸發器的訊號。處理部112係若判斷部111判斷出其他搬運台車1使用相同通道正在進行互鎖通訊時，將有關互鎖通訊的訊號的送訊時序，以由其他搬運台車1的有關互鎖通訊的訊號的送訊時序錯開的方式進行控制。
在實施形態中，說明了半導體處理裝置2具有1個埠4的情形，惟非侷限於此。例如，半導體處理裝置2亦可具有複數埠4。此時，對複數埠4分別以一對一連接複數埠側的通訊設備3。
在實施形態中，搬運台車側的通訊設備11係參照訊號強度及互鎖通訊的進行狀況之雙方來決定優先目標，惟非侷限於此。例如，搬運台車側的通訊設備11係可僅參照訊號強度來決定優先目標，亦可僅參照互鎖通訊的進行狀況來決定優先目標。若為後者，搬運台車側的通訊設備11亦可未具備檢測部113。
在實施形態中，成為優先目標的其他搬運台車1的台數亦可為複數台，而非侷限於1台。此時，延遲時間T3係被設定為與作為優先目標的複數其他搬運台車1的送訊時序不相重疊。以一例而言，若作為優先目標的其他搬運台車1存在2台，根據關於其中一方搬運台車1的延遲時間、與關於另一方搬運台車1的延遲時間的最小公倍數，設定延遲時間T3。
其中，在上述實施形態中，各構成要素亦可由專用的硬體所構成、或藉由執行適於各構成要素的軟體程式來實現。各構成要素亦可藉由CPU或處理器等程式執行部讀出被記錄在硬碟或半導體記憶體等記錄媒體的軟體程式且執行來實現。 (小結) 如以上所述，第1態樣之無線通訊系統10係具備：搬運台車1，其係藉由沿著軌道L行走來搬運搬運物5；搬運台車側的通訊設備11，其係連接於搬運台車1；及埠側的通訊設備3，其係連接於藉由搬運台車1移載搬運物5的埠4，將由搬運台車側的通訊設備11收訊配對訊號作為觸發器，在與搬運台車側的通訊設備11之間，以預定的周期藉由無線通訊進行用以在埠4及搬運台車1之間移載搬運物5的互鎖通訊。搬運台車側的通訊設備11係具備：判斷部111，其係配對訊號送訊前，判斷其他搬運台車1是否使用與在與埠側的通訊設備3之間的無線通訊所使用的預定的通道相同的通道正在進行互鎖通訊；及處理部112，其係若判斷部111判斷出其他搬運台車1使用相同通道正在進行互鎖通訊時，將有關互鎖通訊的訊號的送訊時序，以由其他搬運台車1的有關互鎖通訊的訊號的送訊時序錯開的方式進行控制。 此外，在第2態樣之無線通訊系統10中，在第1態樣中，處理部112係若判斷部111判斷出其他搬運台車1使用相同通道正在進行互鎖通訊時，將配對訊號的送訊時序，以由其他搬運台車1的有關互鎖通訊的訊號的送訊時序錯開的方式進行控制。 此外，在第3態樣之無線通訊系統10中，在第1或第2態樣中，搬運台車側的通訊設備11係具備：檢測部113，其係檢測其他搬運台車1的有關互鎖通訊的無線通訊的訊號強度。處理部112係若判斷部111判斷出存在複數使用相同通道正在進行互鎖通訊的其他搬運台車1時，根據檢測部113所檢測到的訊號強度，決定成為將有關互鎖通訊的訊號的送訊時序錯開的對象的其他搬運台車1的優先目標。 此外，在第4態樣之無線通訊系統10中，在第3態樣中，處理部112係由檢測部113所檢測到的訊號強度大的其他搬運台車1優先決定為優先目標。 此外，在第5態樣之無線通訊系統10中，在第4態樣中，處理部112係將檢測部113所檢測到的訊號強度最大的其他搬運台車1決定為優先目標。 此外，在第6態樣之無線通訊系統10中，在第3態樣中，處理部112係將檢測部113所檢測到的訊號強度成為預定的臨限值以上的其他搬運台車1決定為優先目標。 此外，在第7態樣之無線通訊系統10中，在第1~第6中任一態樣中，處理部112係若判斷部111判斷出存在複數使用相同通道正在進行互鎖通訊的其他搬運台車1時，根據其他搬運台車1中的互鎖通訊的進行狀況，決定成為將有關互鎖通訊的訊號的送訊時序錯開的對象的其他搬運台車1的優先目標。 此外，在第8態樣之無線通訊系統10中，在第7態樣中，進行狀況係移載搬運物5之前的移載前順序、移載搬運物5的途中亦即移載中順序、及移載搬運物5之後的移載後順序之中任何順序的執行階段。處理部112係將進行狀況為移載前順序的執行階段的其他搬運台車1優先決定為優先目標。 此外，在第9態樣之無線通訊系統10中，在第7態樣中，進行狀況係移載搬運物5之前的移載前順序、移載搬運物5的途中亦即移載中順序、及移載搬運物5之後的移載後順序之中任何順序的執行階段。處理部112係將進行狀況為移載前順序的執行階段的其他搬運台車1、及進行狀況為移載中順序的執行階段的其他搬運台車1優先決定為優先目標。 此外，在第10態樣之無線通訊系統10中，在第7態樣中，進行狀況係移載搬運物5之前的移載前順序、移載搬運物5的途中亦即移載中順序、及移載搬運物5之後的移載後順序之中任何順序的執行階段。處理部112係將進行狀況為移載後順序的執行階段的其他搬運台車1由優先目標除外。 此外，在第11態樣之搬運台車側的通訊設備11係連接於藉由沿著軌道L行走來搬運搬運物5的搬運台車1的搬運台車側的通訊設備，具備：判斷部111，其係連接於藉由搬運台車1移載搬運物5的埠4的埠側的通訊設備3，在與搬運台車側的通訊設備11之間，以預定的周期藉由無線通訊進行用以在埠4及搬運台車1之間移載搬運物5的互鎖通訊之成為觸發器的配對訊號送訊前，判斷其他搬運台車1是否使用與在與埠側的通訊設備3之間的無線通訊所使用的預定的通道相同的通道正在進行互鎖通訊；及處理部112，其係若判斷部111判斷出其他搬運台車1使用相同通道正在進行互鎖通訊時，將有關互鎖通訊的訊號的送訊時序，以由其他搬運台車1的有關互鎖通訊的訊號的送訊時序錯開的方式進行控制。 此外，在第12態樣之通訊方法係連接於藉由沿著軌道L行走來搬運搬運物5的搬運台車1的搬運台車側的通訊設備11的通訊方法，連接於藉由搬運台車1移載搬運物5的埠4的埠側的通訊設備3，在與搬運台車側的通訊設備11之間，以預定的周期藉由無線通訊進行用以在埠4及搬運台車1之間移載搬運物5的互鎖通訊之成為觸發器的配對訊號送訊前，判斷其他搬運台車1是否使用與在與埠側的通訊設備3之間的無線通訊所使用的預定的通道相同的通道正在進行互鎖通訊；若判斷出其他搬運台車1使用相同通道正在進行互鎖通訊時，將有關互鎖通訊的訊號的送訊時序，以由其他搬運台車1的有關互鎖通訊的訊號的送訊時序錯開的方式進行控制。 [產業上可利用性]
本發明之無線通訊系統係可適用於用以藉由例如沿著設置在頂棚的軌道行走的搬運台車來搬運FOUP的半導體製造系統等。
1,1a~1c:搬運台車 10:無線通訊系統 11,11a~11c:搬運台車側的通訊設備 111:判斷部 112:處理部 113:檢測部 12,32,42:控制部 13:記憶部 14,14a,14b:把持部 2,2a~2c,100:半導體處理裝置 3,3a~3c:埠側的通訊設備 31,41:通訊部 4,4a~4c:埠 40a,40b:搬入出口 5:FOUP(搬運物) 61:通訊訊框 62:管理表格 A1~A3:區域 L:軌道 Ca,Cb:並聯線 C1,C2,C3:指令訊號 P1,P2,P3:配對訊號 R1,R2,R3:響應訊號 T1:一定時間 T2:預定的周期 T3:延遲時間 TM:監控時間
[圖1]係顯示實施形態之無線通訊系統的概要的圖。 [圖2]係顯示將FOUP抓貨時的E84互鎖序列(interlock sequence)之一例的圖。 [圖3]係顯示將FOUP卸貨時的E84互鎖序列之一例的圖。 [圖4]係顯示實施形態之無線通訊系統的功能構成的區塊圖。 [圖5]係顯示有關互鎖通訊的通訊訊框之一例的圖。 [圖6]係顯示管理表格之一例的圖。 [圖7]係顯示實施形態之無線通訊系統中的監控動作之一例的流程圖。 [圖8]係顯示實施形態之無線通訊系統中的目標的決定動作之一例的流程圖。 [圖9]係顯示實施形態之無線通訊系統中的互鎖通訊動作之一例的流程圖。 [圖10]係用以說明實施形態之無線通訊系統的動作的具體例的圖。 [圖11]係顯示實施形態之無線通訊系統的動作的具體例的流程的序列圖。 [圖12]係用以說明實施形態之無線通訊系統的優點的圖。
3a~3c:埠側的通訊設備
11a~11c:搬運台車側的通訊設備
C1,C2,C3:指令訊號
P1,P2,P3:配對訊號
R1,R2,R3:響應訊號
T1:一定時間
T2:預定的周期
T3:延遲時間
TM:監控時間

Claims (12)

  1. 一種無線通訊系統，其係具備： 搬運台車，其係藉由沿著軌道行走來搬運搬運物； 搬運台車側的通訊設備，其係連接於前述搬運台車；及 埠側的通訊設備，其係連接於藉由前述搬運台車移載前述搬運物的埠，將由前述搬運台車側的通訊設備收訊配對訊號作為觸發器，在與前述搬運台車側的通訊設備之間，以預定的周期藉由無線通訊進行用以在前述埠及前述搬運台車之間移載前述搬運物的互鎖通訊， 前述搬運台車側的通訊設備係具備： 判斷部，其係前述配對訊號送訊前，判斷其他搬運台車是否使用與在與前述埠側的通訊設備之間的無線通訊所使用的預定的通道相同的通道正在進行前述互鎖通訊；及 處理部，其係若前述判斷部判斷出前述其他搬運台車使用前述相同通道正在進行前述互鎖通訊時，將有關前述互鎖通訊的訊號的送訊時序，以由前述其他搬運台車的有關前述互鎖通訊的訊號的送訊時序錯開的方式進行控制。
  2. 如請求項1之無線通訊系統，其中，前述處理部係若前述判斷部判斷出前述其他搬運台車使用前述相同通道正在進行前述互鎖通訊時，將前述配對訊號的送訊時序，以由前述其他搬運台車的有關前述互鎖通訊的訊號的送訊時序錯開的方式進行控制。
  3. 如請求項1或2之無線通訊系統，其中，前述搬運台車側的通訊設備係具備： 檢測部，其係檢測前述其他搬運台車的有關前述互鎖通訊的無線通訊的訊號強度， 前述處理部係若前述判斷部判斷出存在複數使用前述相同通道正在進行前述互鎖通訊的前述其他搬運台車時，根據前述檢測部所檢測到的前述訊號強度，決定成為將有關前述互鎖通訊的訊號的送訊時序錯開的對象的前述其他搬運台車的優先目標。
  4. 如請求項3之無線通訊系統，其中，前述處理部係由前述檢測部所檢測到的前述訊號強度大的前述其他搬運台車優先決定為前述優先目標。
  5. 如請求項4之無線通訊系統，其中，前述處理部係將前述檢測部所檢測到的前述訊號強度最大的前述其他搬運台車決定為前述優先目標。
  6. 如請求項3之無線通訊系統，其中，前述處理部係將前述檢測部所檢測到的前述訊號強度成為預定的臨限值以上的前述其他搬運台車決定為前述優先目標。
  7. 如請求項1或2之無線通訊系統，其中，前述處理部係若前述判斷部判斷出存在複數使用前述相同通道正在進行前述互鎖通訊的前述其他搬運台車時，根據前述其他搬運台車中的前述互鎖通訊的進行狀況，決定成為將有關前述互鎖通訊的訊號的送訊時序錯開的對象的前述其他搬運台車的優先目標。
  8. 如請求項7之無線通訊系統，其中，前述進行狀況係移載前述搬運物之前的移載前順序、移載前述搬運物的途中亦即移載中順序、及移載前述搬運物之後的移載後順序之中任何順序的執行階段， 前述處理部係將前述進行狀況為前述移載前順序的執行階段的前述其他搬運台車優先決定為前述優先目標。
  9. 如請求項7之無線通訊系統，其中，前述進行狀況係移載前述搬運物之前的移載前順序、移載前述搬運物的途中亦即移載中順序、及移載前述搬運物之後的移載後順序之中任何順序的執行階段， 前述處理部係將前述進行狀況為前述移載前順序的執行階段的前述其他搬運台車、及前述進行狀況為前述移載中順序的執行階段的前述其他搬運台車優先決定為前述優先目標。
  10. 如請求項7之無線通訊系統，其中，前述進行狀況係移載前述搬運物之前的移載前順序、移載前述搬運物的途中亦即移載中順序、及移載前述搬運物之後的移載後順序之中任何順序的執行階段， 前述處理部係將前述進行狀況為前述移載後順序的執行階段的前述其他搬運台車由前述優先目標除外。
  11. 一種搬運台車側的通訊設備，其係連接於藉由沿著軌道行走來搬運搬運物的搬運台車的搬運台車側的通訊設備， 具備： 判斷部，其係連接於藉由前述搬運台車移載前述搬運物的埠的埠側的通訊設備，在與前述搬運台車側的通訊設備之間，以預定的周期藉由無線通訊進行用以在前述埠及前述搬運台車之間移載前述搬運物的互鎖通訊之成為觸發器的配對訊號送訊前，判斷其他搬運台車是否使用與在與前述埠側的通訊設備之間的無線通訊所使用的預定的通道相同的通道正在進行前述互鎖通訊；及 處理部，其係若前述判斷部判斷出前述其他搬運台車使用前述相同通道正在進行前述互鎖通訊時，將有關前述互鎖通訊的訊號的送訊時序，以由前述其他搬運台車的有關前述互鎖通訊的訊號的送訊時序錯開的方式進行控制。
  12. 一種通訊方法，其係連接於藉由沿著軌道行走來搬運搬運物的搬運台車的搬運台車側的通訊設備的通訊方法， 連接於藉由前述搬運台車移載前述搬運物的埠的埠側的通訊設備，在與前述搬運台車側的通訊設備之間，以預定的周期藉由無線通訊進行用以在前述埠及前述搬運台車之間移載前述搬運物的互鎖通訊之成為觸發器的配對訊號送訊前，判斷其他搬運台車是否使用與在與前述埠側的通訊設備之間的無線通訊所使用的預定的通道相同的通道正在進行前述互鎖通訊； 若判斷出前述其他搬運台車使用前述相同通道正在進行前述互鎖通訊時，將有關前述互鎖通訊的訊號的送訊時序，以由前述其他搬運台車的有關前述互鎖通訊的訊號的送訊時序錯開的方式進行控制。
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