KR20210044837A - 제어 방법, 반송 시스템, 및 통신 디바이스 - Google Patents

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Abstract

제어 방법으로는 컨트롤러(20)가 반송물을 운반해야 할 설비(40)를 특정하는 설비 특정 정보를 취득하고, 반송 대차(30)가 반송 대차(30)의 위치를 나타내는 대차 위치 정보를 취득한다. 반송 대차(30)와, 특정 통신 디바이스(10)와, 컨트롤러(20) 중 어느 것이 특정 설비(40)의 위치를 나타내는 운반 위치 정보와 대차 위치 정보에 의거하여 반송 대차(30)와 특정 통신 디바이스(10) 사이의 거리를 산출하고, 그 거리가 소정 거리 이하인지의 여부를 판정한다. 그 거리가 소정 거리 이하라고 판정될 경우에 반송 대차(30)와 특정 통신 디바이스(10) 중 일방이 반송 대차(30)와 특정 설비(40) 사이에서 무선 통신을 개시하기 위한 트리거 신호를 무선으로 주위에 송신하고, 반송 대차(30)와 특정 설비(40) 사이에서 반송물을 운반하기 위한 무선 통신이 실행된다.

Description

제어 방법, 반송 시스템, 및 통신 디바이스
반송 시스템의 제어 방법, 반송 시스템, 및 통신 디바이스에 관한 것이다.
특허문헌 1에는 반도체 웨이퍼가 저장된 FOUP(Front Opening Unified Pod)를 반송하는 복수의 천정 주행식의 반송 대차와, 웨이퍼를 가공하는 복수의 반도체 제조 장치를 구비하는 반송 시스템이 개시되어 있다. 각 반도체 제조 장치에는 1세트의 통신 디바이스 및 액세스 포인트가 부착되어 있다. 각 반도체 제조 장치는 FOUP가 재치되는 재치 포트를 구비한다. 통신 디바이스는 패럴렐 케이블을 통해 재치 포트에 접속되어 있음과 아울러, LAN(Local Area Network) 케이블을 통해 액세스 포인트에 접속되어 있다. 액세스 포인트는 각 반송 대차와 무선 통신을 실행 가능하다.
일본 특허공개 2015-82574호 공보
상기와 같은 반송 시스템에서는 각 통신 디바이스는 통신 상대를 검색하기 위한 트리거 신호(예를 들면, 비컨)를 액세스 포인트를 통해 무선으로 주위에 항상 계속 송신한다. 반송 대차는 FOUP를 재치해야 할 반도체 제조 장치의 부근에 도착하면 상기 반도체 제조 장치에 부착된 통신 디바이스로부터의 트리거 신호에 응답한다. 이것에 의해 대차 및 통신 디바이스는 재치 포트와 반송 대차 사이에서 반송물을 이송하기 위한 처리(SEMI E84 규격에서 정하는 인터로크 처리)를 실행하기 위한 무선 통신(인터로크 통신)을 개시한다.
그러나 인접한 각 통신 디바이스가 트리거 신호를 항상 계속 송신하면 트리거 신호가 서로 간섭해서 통신 장해가 발생할 우려가 있다.
그래서 본 발명은 반송 시스템에 있어서의 통신 장해의 발생을 억제할 수 있는 제어 방법 등을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명의 일실시형태에 의한 제어 방법은 반송물을 반송하기 위한 반송 대차와, 상기 반송물이 운반되는 복수의 설비에 접속된 복수의 통신 디바이스와, 상기 반송 대차의 주행을 제어하는 컨트롤러를 구비하는 반송 시스템의 제어 방법이며, 상기 컨트롤러가 상기 반송 대차가 상기 반송물을 운반해야 할 설비를 특정하는 설비 특정 정보를 취득하는 제 1 취득 스텝과, 상기 반송 대차가 상기 반송 대차의 위치를 나타내는 대차 위치 정보를 취득하는 제 2 취득 스텝과, 상기 반송 대차와, 상기 설비 특정 정보에 의해 특정되는 특정 설비에 접속되어 있는 특정 통신 디바이스와, 상기 컨트롤러 중 어느 것이 상기 특정 설비의 위치를 나타내는 운반 위치 정보와 상기 대차 위치 정보에 의거하여 상기 반송 대차와 상기 특정 통신 디바이스 사이의 거리를 산출하는 산출 스텝과, 상기 반송 대차와, 상기 특정 통신 디바이스와, 상기 컨트롤러 중 어느 것이 상기 거리가 소정 거리 이하인지의 여부를 판정하는 판정 스텝과, 상기 거리가 상기 소정 거리 이하라고 판정될 경우에 상기 반송 대차와 상기 특정 통신 디바이스 중 일방이 상기 반송 대차와 상기 특정 설비 사이에서 무선 통신을 개시하기 위한 트리거 신호를 무선으로 주위에 송신하는 제 1 송신 스텝과, 상기 트리거 신호가 상기 반송 대차와 상기 특정 통신 디바이스 사이에서 무선 통신될 경우에 상기 반송 대차 및 상기 특정 통신 디바이스가 상기 반송 대차와 상기 특정 설비 사이에서 상기 반송물을 운반하기 위한 무선 통신을 실행하는 실행 스텝을 포함한다.
상기 제어 방법에 의하면 반송 대차와 특정 통신 디바이스의 거리가 소정 거리 이하가 되면 반송 대차와 특정 통신 디바이스 중 일방이 트리거 신호를 송신한다. 이 때문에 복수의 통신 디바이스 각각이 트리거 신호를 항상 계속 송신할 필요가 없다. 따라서, 복수의 통신 디바이스가 트리거 신호를 송신하는 것에 의한 트리거 신호의 상호 간섭이 발생하지 않는다. 이와 같이 상기 제어 방법에 의하면 반송 시스템에 있어서의 통신 장해의 발생을 억제할 수 있다.
또한, 상기 제어 방법은 상기 반송 대차가 상기 특정 설비의 위치까지 주행하는 것을 지시하는 주행 지시를 상기 컨트롤러로부터 수신함으로써 상기 운반 위치 정보를 취득하는 제 3 취득 스텝을 더 포함하고, 상기 산출 스텝에서는 상기 반송 대차가 취득한 상기 운반 위치 정보와 상기 대차 위치 정보에 의거하여 상기 거리를 산출하고, 상기 판정 스텝에서는 상기 반송 대차가 상기 거리가 상기 소정 거리 이하인지의 여부를 판정하고, 상기 제 1 송신 스텝에서는 상기 거리가 상기 소정 거리 이하라고 판정될 경우에 상기 반송 대차가 상기 트리거 신호를 무선으로 주위에 송신한다고 해도 좋다.
이것에 의해 복수의 통신 디바이스 각각은 반드시 트리거 신호를 송신하는 기능을 가질 필요가 없다. 이 때문에 상기 제어 방법에 의하면 트리거 신호를 송신하는 기능을 갖지 않는 통신 디바이스를 포함해서 구성되는 반송 시스템에 상기 제어 방법을 적용할 수 있다.
또한, 상기 복수의 통신 디바이스는 각각을 일의로 식별하기 위한 식별자를 기억하고, 상기 제 1 송신 스텝에서는 상기 반송 대차가 상기 특정 통신 디바이스를 식별하기 위한 특정 식별자를 포함하는 상기 트리거 신호를 주위에 송신하고, 상기 실행 스텝에서는 상기 특정 통신 디바이스가 상기 트리거 신호에 상기 특정 식별자가 포함되는 것을 확인함으로써 상기 반송 대차를 통신 상대로서 특정하고, 상기 특정에 의거하여 상기 반송 대차 및 상기 특정 통신 디바이스가 상기 무선 통신을 실행한다고 해도 좋다.
이것에 의해 특정 통신 디바이스는 트리거 신호에 포함되는 자통신(自通信) 디바이스를 식별하기 위한 식별자를 확인함으로써 자통신 디바이스가 특정 통신 디바이스인 것을 인식한다. 이 때문에 상기 제어 방법에 의하면 반송 대차 및 특정 통신 디바이스는 비교적 용이하게 반송 대차와 특정 설비 사이에서 반송물을 운반하기 위한 무선 통신의 실행을 실현할 수 있다.
또한, 상기 반송 시스템은 상기 반송 대차와 상기 복수의 통신 디바이스 사이의 무선 통신을 중계하는 중계 장치를 더 구비하고, 상기 제어 방법은 상기 반송 대차가 상기 특정 설비의 위치까지 주행하는 것을 지시하는 주행 지시를 상기 컨트롤러로부터 수신함으로써 상기 운반 위치 정보를 취득하는 제 3 취득 스텝을 더 포함하고, 상기 산출 스텝에서는 상기 반송 대차가 취득한 상기 운반 위치 정보와 상기 대차 위치 정보에 의거하여 상기 거리를 산출하고, 상기 판정 스텝에서는 상기 반송 대차가 상기 거리가 상기 소정 거리 이하인지의 여부를 판정하고, 상기 제어 방법은 상기 거리가 상기 소정 거리 이하라고 판정될 경우에 상기 반송 대차가 상기 트리거 신호를 송신해야 할 것을 지시하는 송신 지시를 상기 중계 장치를 통해 상기 특정 통신 디바이스에 무선으로 송신하는 제 2 송신 스텝을 더 포함하고, 상기 제 1 송신 스텝에서는 상기 송신 지시가 수신될 경우에 상기 특정 통신 디바이스가 상기 트리거 신호를 무선으로 주위에 송신한다고 해도 좋다.
이것에 의해 반송 대차는 반드시 트리거 신호를 송신하는 기능을 가질 필요가 없다. 이 때문에 상기 제어 방법에 의하면 트리거 신호를 송신하는 기능을 갖지 않는 반송 대차를 포함해서 구성되는 반송 시스템에 상기 제어 방법을 적용할 수 있다.
또한, 상기 복수의 통신 디바이스는 각각을 일의로 식별하기 위한 식별자를 기억하고, 상기 반송 대차는 상기 복수의 통신 디바이스와 복수의 상기 식별자의 대응 관계를 나타내는 대응 정보를 기억하고, 상기 제 1 송신 스텝에서는 상기 특정 통신 디바이스가 상기 특정 통신 디바이스를 식별하기 위한 특정 식별자를 포함하는 상기 트리거 신호를 무선으로 주위에 송신하고, 상기 실행 스텝에서는 상기 반송 대차가 상기 트리거 신호에 포함되는 상기 특정 식별자와 상기 대응 정보에 의거하여 상기 특정 통신 디바이스를 통신 상대로서 특정하고, 상기 특정에 의거하여 상기 반송 대차 및 상기 특정 통신 디바이스가 상기 무선 통신을 실행한다고 해도 좋다.
이것에 의해 반송 대차는 트리거 신호에 포함되는 식별자를 사용해서 특정 통신 디바이스를 통신 상대로서 특정한다. 이 때문에 상기 제어 방법에 의하면 반송 대차 및 특정 통신 디바이스는 비교적 용이하게 반송 대차와 특정 설비 사이에서 반송물을 운반하기 위한 무선 통신의 실행을 실현할 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명의 일실시형태에 의한 반송 시스템은 반송물을 반송하기 위한 반송 대차와, 상기 반송물이 운반되는 복수의 설비에 접속된 복수의 통신 디바이스와, 상기 반송 대차의 주행을 제어하는 컨트롤러를 구비하는 반송 시스템이며, 상기 컨트롤러는 상기 반송 대차가 상기 반송물을 운반해야 할 설비를 특정하는 설비 특정 정보를 취득하고, 상기 반송 대차는 상기 반송 대차의 위치를 나타내는 대차 위치 정보를 취득하고, 상기 반송 대차와, 상기 설비 특정 정보에 의해 특정되는 특정 설비에 접속되어 있는 특정 통신 디바이스와, 상기 컨트롤러 중 어느 것은 상기 특정 설비의 위치를 나타내는 운반 위치 정보와 상기 대차 위치 정보에 의거하여 상기 반송 대차와 상기 특정 통신 디바이스 사이의 거리를 산출하고, 상기 반송 대차와, 상기 특정 통신 디바이스와, 상기 컨트롤러 중 어느 것은 상기 거리가 소정 거리 이하인지의 여부를 판정하고, 상기 거리가 상기 소정 거리 이하라고 판정될 경우에 상기 반송 대차와 상기 특정 통신 디바이스 중 일방은 상기 반송 대차와 상기 특정 설비 사이에서 무선 통신을 개시하기 위한 트리거 신호를 무선으로 주위에 송신하고, 상기 트리거 신호가 상기 반송 대차와 상기 특정 통신 디바이스 사이에서 무선 통신될 경우에 상기 반송 대차 및 상기 특정 통신 디바이스는 상기 반송 대차와 상기 특정 설비 사이에서 상기 반송물을 운반하기 위한 무선 통신을 실행한다.
상기 반송 시스템에 의하면 반송 대차와 특정 통신 디바이스의 거리가 소정 거리 이하가 되면 반송 대차와 특정 통신 디바이스 중 일방이 트리거 신호를 송신한다. 이 때문에 복수의 통신 디바이스 각각이 트리거 신호를 항상 계속 송신할 필요가 없다. 따라서, 복수의 통신 디바이스가 트리거 신호를 송신하는 것에 의한 트리거 신호의 상호 간섭이 발생하지 않는다. 이와 같이 상기 반송 시스템에 의하면 통신 장해의 발생을 억제할 수 있다.
또한, 상기 반송 대차는 상기 특정 설비의 위치까지 주행하는 것을 지시하는 주행 지시를 상기 컨트롤러로부터 수신함으로써 상기 운반 위치 정보를 취득하고, 상기 반송 대차는 취득한 상기 운반 위치 정보와 상기 대차 위치 정보에 의거하여 상기 거리를 산출하고, 상기 반송 대차는 상기 거리가 상기 소정 거리 이하인지의 여부를 판정하고, 상기 거리가 상기 소정 거리 이하라고 판정될 경우에 상기 반송 대차는 상기 트리거 신호를 무선으로 주위에 송신한다고 해도 좋다.
이것에 의해 복수의 통신 디바이스 각각은 반드시 트리거 신호를 송신하는 기능을 가질 필요가 없다. 이 때문에 상기 반송 시스템에 의하면 트리거 신호를 송신하는 기능을 갖지 않는 통신 디바이스를 포함할 수 있다.
또한, 상기 복수의 통신 디바이스는 각각을 일의로 식별하기 위한 식별자를 기억하고, 상기 반송 대차는 상기 특정 통신 디바이스를 식별하기 위한 특정 식별자를 포함하는 상기 트리거 신호를 주위에 송신하고, 상기 특정 통신 디바이스는 상기 트리거 신호에 상기 특정 식별자가 포함되는 것을 확인함으로써 상기 반송 대차를 통신 상대로서 특정하고, 상기 특정에 의거하여 상기 반송 대차 및 상기 특정 통신 디바이스는 상기 무선 통신을 실행한다고 해도 좋다.
이것에 의해 특정 통신 디바이스는 트리거 신호에 포함되는 자통신 디바이스를 식별하기 위한 식별자를 확인함으로써 자통신 디바이스가 특정 통신 디바이스인 것을 인식한다. 이 때문에 상기 반송 시스템에 의하면 반송 대차 및 특정 통신 디바이스는 비교적 용이하게 반송 대차와 특정 설비 사이에서 반송물을 운반하기 위한 무선 통신의 실행을 실현할 수 있다.
또한, 상기 반송 대차와 상기 복수의 통신 디바이스 사이의 무선 통신을 중계하는 중계 장치를 더 구비하고, 상기 반송 대차는 상기 특정 설비의 위치까지 주행하는 것을 지시하는 주행 지시를 상기 컨트롤러로부터 수신함으로써 상기 운반 위치 정보를 취득하고, 상기 반송 대차는 취득한 상기 운반 위치 정보와 상기 대차 위치 정보에 의거하여 상기 거리를 산출하고, 상기 반송 대차는 상기 거리가 상기 소정 거리 이하인지의 여부를 판정하고, 상기 거리가 상기 소정 거리 이하라고 판정될 경우에 상기 반송 대차는 상기 트리거 신호를 송신해야 할 것을 지시하는 송신 지시를 상기 중계 장치를 통해 상기 특정 통신 디바이스에 무선으로 송신하고, 상기 송신 지시가 수신될 경우에 상기 특정 통신 디바이스는 상기 트리거 신호를 무선으로 주위에 송신한다고 해도 좋다.
이것에 의해 반송 대차는 반드시 트리거 신호를 송신하는 기능을 가질 필요가 없다. 이 때문에 상기 반송 시스템에 의하면 트리거 신호를 송신하는 기능을 갖지 않는 반송 대차를 포함할 수 있다.
또한, 상기 복수의 통신 디바이스는 각각을 일의로 식별하기 위한 식별자를 기억하고, 상기 반송 대차는 상기 복수의 통신 디바이스와 복수의 상기 식별자의 대응 관계를 나타내는 대응 정보를 기억하고, 상기 특정 통신 디바이스는 상기 특정 통신 디바이스를 식별하기 위한 특정 식별자를 포함하는 상기 트리거 신호를 무선으로 주위에 송신하고, 상기 반송 대차는 상기 트리거 신호에 포함되는 상기 특정 식별자와 상기 대응 정보에 의거하여 상기 특정 통신 디바이스를 통신 상대로서 특정하고, 상기 특정에 의거하여 상기 반송 대차 및 상기 특정 통신 디바이스는 상기 무선 통신을 실행한다고 해도 좋다.
이것에 의해 반송 대차는 트리거 신호에 포함되는 식별자를 사용해서 특정 통신 디바이스를 통신 상대로서 특정한다. 이 때문에 상기 반송 시스템에 의하면 반송 대차 및 특정 통신 디바이스는 비교적 용이하게 반송 대차와 특정 설비 사이에서 반송물을 운반하기 위한 무선 통신의 실행을 실현할 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명의 일실시형태에 의한 통신 디바이스는 반송물이 운반되는 특정 설비에 접속된 통신 디바이스이며, 상기 반송물을 반송하기 위한 반송 대차로부터 상기 반송 대차와 상기 통신 디바이스 사이의 무선 통신을 중계하는 중계 장치를 통해 상기 반송 대차와 상기 특정 설비 사이에서 무선 통신을 개시하기 위한 트리거 신호를 송신해야 할 것을 지시하는 송신 지시가 수신될 경우에 상기 트리거 신호를 무선으로 주위에 송신한다.
상기 통신 디바이스는 송신 지시가 수신될 경우에 트리거 신호를 송신한다. 이 때문에 상기 통신 디바이스는 트리거 신호를 항상 계속 송신할 필요가 없다. 이 때문에 복수의 통신 디바이스를 포함해서 구성되는 반송 시스템에 상기 통신 디바이스를 이용하면 복수의 통신 디바이스 각각이 트리거 신호를 송신하는 것에 의한 트리거 신호의 상호 간섭이 발생하지 않는다. 이와 같이 상기 통신 디바이스에 의하면 통신 장해의 발생을 억제할 수 있다.
또한, 상기 통신 디바이스를 일의로 식별하기 위한 식별자를 기억하고, 상기 트리거 신호의 송신에서는 기억하는 상기 식별자를 포함하는 상기 트리거 신호를 무선으로 주위에 송신하고, 상기 반송 대차가 수신한 상기 트리거 신호에 포함되는 상기 식별자에 의거하여 상기 통신 디바이스를 통신 상대로서 특정했을 경우에 상기 반송 대차와 상기 특정 설비 사이에서 상기 반송물을 운반하기 위한 무선 통신을 상기 반송 대차 사이에서 실행한다고 해도 좋다.
이것에 의해 반송 대차는 트리거 신호에 포함되는 식별자를 사용해서 상기 통신 디바이스를 통신 상대로서 특정한다. 이 때문에 상기 통신 디바이스에 의하면 반송 대차와 특정 설비 사이에서 반송물을 운반하기 위해 무선 통신의 실행을 반송 대차 사이에서 비교적 용이하게 실현할 수 있다.
(발명의 효과)
본 발명에 의한 제어 방법 등에 의하면 반송 시스템에 있어서의 통신 장해의 발생을 억제할 수 있다.
도 1은 실시형태 1에 의한 반송 시스템의 구성도이다.
도 2는 실시형태 1에 의한 반송 시스템의 개요를 나타내는 외관도이다.
도 3은 실시형태 1에 의한 반송 시스템의 기능 구성을 나타내는 블록도이다.
도 4는 실시형태 1에 의한 인터로크 통신 개시 처리의 플로우 차트이다.
도 5는 실시형태 2에 의한 반송 시스템의 구성도이다.
도 6은 실시형태 2에 의한 반송 시스템의 기능 구성을 나타내는 블록도이다.
도 7은 실시형태 2에 의한 인터로크 통신 개시 처리의 플로우 차트이다.
이하, 실시형태에 대해서 도면을 참조하면서 구체적으로 설명한다.
이하에서 설명하는 실시형태는 모두 본 발명의 바람직한 일구체예를 나타내는 것이다. 이하의 실시형태에서 나타내어지는 수치, 형상, 재료, 구성 요소, 구성 요소의 배치 위치 및 접속 형태, 스텝, 스텝의 순서 등은 일례이며, 본 발명을 한정하는 주지는 아니다. 또한, 이하의 실시형태에 있어서의 구성 요소 중 본 발명의 최상위 개념을 나타내는 독립 청구항에 기재되어 있지 않은 구성 요소에 대해서는 보다 바람직한 형태를 구성하는 임의의 구성 요소로서 설명된다. 또한, 동일한 구성 요소에는 동일한 부호를 붙여서 설명을 생략하는 경우가 있다.
(실시형태 1)
이하, 반송물을 반송하는 반송 시스템에 대해서 설명한다.
도 1은 실시형태 1에 의한 반송 시스템(1)의 구성도이다.
도 1에 나타내어지는 바와 같이 반송 시스템(1)은 반송물을 반송하기 위한 반송 대차(30)와, 반송물이 운반되는 복수의 설비(40a~40k, 40m)에 접속된 복수의 통신 디바이스(10a~10k, 10m)와, 반송 대차(30)의 주행을 제어하는 컨트롤러(20)를 포함해서 구성된다.
여기에서는 반송 시스템(1)은 반도체 제조 장치(50a~50c)를 구비하는 반도체 공장에 있어서 반도체 웨이퍼가 저장된 FOUP를 반송물로 해서 반송하는 반송 시스템으로서 운용되어 있는 예로 되어 있다.
이하, 통신 디바이스(10a~10k, 10m)인 것을 각 개체를 명시적으로 구별해서 설명할 필요가 있을 경우를 제외하고, 통신 디바이스(10)라고 칭한다. 또한, 설비(40a~40k, 40m)인 것을 각 개체를 명시적으로 구별해서 설명할 필요가 있을 경우를 제외하고, 설비(40)라고 칭한다. 또한, 반도체 제조 장치(50a~50c)인 것을 각 개체를 명시적으로 구별해서 설명할 필요가 있을 경우를 제외하고, 반도체 제조 장치(50)라고 칭한다.
또한, 여기에서는 반송 시스템(1)은 설비(40) 및 반도체 제조 장치(50)를 포함하지 않는다고 해서 설명하지만 반송 시스템(1)은 설비(40) 및 반도체 제조 장치(50)의 일방 또는 쌍방을 포함한다고 해도 좋다. 또한, 도 1에서는 반송 대차(30)가 1대인 것과 같이 도시하고 있지만 복수대이어도 좋다.
도 2는 반송 시스템(1)의 개요를 나타내는 외관도이다.
도 2에 나타내어지는 반도체 제조 장치(50)는 반도체 웨이퍼를 가공하는 장치이며, 반송물(100)인 FOUP를 반입 및 반출하기 위한 FOUP 반입 반출구(51)를 구비한다.
설비(40)는 반송물(100)인 FOUP가 재치되는 재치 포트이며, 반도체 제조 장치(50)의 FOUP 반입 반출구(51) 부근에 배치되어 반송 대차(30) 사이 및 반도체 제조 장치(50) 사이에서 반송물(100)을 운반한다.
또한, 설비(40)는 유선 케이블을 통해 통신 디바이스(10) 사이에서 신호를 송수신한다. 여기에서는 1개의 반도체 제조 장치(50)에 대해서, 예를 들면 4개의 설비(40)가 설치되어 있으며, 각 설비(40)는 1개의 통신 디바이스(10)와 1 대 1로 접속되어 있다. 이 때문에 1개의 반도체 제조 장치(50)와 복수(여기에서는 4개)의 통신 디바이스(10)가 복수(여기에서는 4개)의 설비(40)를 통해 접속되게 된다.
또한, 본 실시형태 1에서는 설비(40)는 통신 디바이스(10)와 1 대 1의 접속으로 설명하지만, 예를 들면 설비(40a 및 40b)가 통신 디바이스(10a)에 접속되고, 설비(40)의 설비(40c, 40d)가 통신 디바이스(10b)에 접속하는 등 2 대 1의 접속에 의해 통신 디바이스(10)의 수를 감소시키는 구성이어도 좋다. 이와 같이 하면 반송 시스템 전체의 비용 삭감 효과가 될 수 있다.
반송 대차(30)는 설비(40) 사이에서 반송물(100)을 운반하고, 주행 루트(2)를 따라 반송물(100)을 반송하는 대차이며, 내부에 반송물(100)을 파지하는 파지부(31)를 구비한다. 파지부(31)는, 예를 들면 승강 가능하게 형성되어 있으며, 반송물(100)을 설비(40)와의 사이에서 이송할 때에는 설비(40) 부근까지 강하된다. 또한, 파지부(31)는 수평 방향으로 이동 가능하게 형성되어 있어도 좋다.
통신 디바이스(10)는 설비(40)와 반송 대차(30) 사이에서 반송물을 운반하기 위해 통신되는 신호, 구체적으로는 인터로크 처리에 의한 신호(이하, 「인터로크 신호」라고 칭한다)의 송수신(이하, 「인터로크 통신」이라고 칭한다)을 중계하는 통신 기능을 포함하는 장치이다. 인터로크 신호는, 예를 들면 패킷이다. 인터로크 처리란 특정 조건이 성립하지 않으면 다른 동작을 할 수 없게 되는 것 같은 처리이다. 인터로크 처리는, 예를 들면 SEMI E84 규격에서 규정되는 처리이어도 좋다. 반송 시스템(1)에 있어서 인터로크 처리가 행해짐으로써 반송 대차(30)에 의해 반송물(100)을 설비(40)로 이송할 때에 특정 조건이 성립하지 않으면 다음 공정에는 이행하지 않도록 할 수 있다. 특정 조건이란, 예를 들면 특정 반송 대차(30)가 반송물(100)의 운반을 행하고 싶은 특정 설비(40)로 현재 운반을 행할 수 있는 상태에 있는지를 확인시키는 지시(인터로크 처리의 실행 커맨드)를 포함하는 인터로크 신호를 송신하고, 특정 설비(40)로부터 현재 이송을 행할 수 있는 상태에 있는 것을 나타내는 응답을 포함하는 인터로크 신호를 수신할 수 있었다는 조건이다. 이것에 의해 특정 반송 대차(30)로부터 특정 설비(40)로의 반송물(100)의 운반을 안전하게, 또한 확실하게 행할 수 있다.
통신 디바이스(10)는 설비(40)와 반송 대차(30) 사이의 인터로크 통신의 중계에 있어서 통신 디바이스(10)와 반송 대차(30) 사이의 통신은 무선에 의해 행하고, 통신 디바이스(10)와 설비(40) 사이의 통신은 유선 케이블을 통하는 유선에 의해 행한다. 여기에서 무선 통신으로서, 예를 들면 IEEE 802. 11a, b, g, n 규격, ISM 밴드에서의 통신에서 사용되는 ANT 통신 규격 등에 준거한 통신, Sub Giga 주파수대의 통신을 채용할 수 있다.
또한, 유선 통신으로서, 예를 들면 IEEE 802. 3 규격, 패럴렐 통신, 시리얼 통신 등의 통신을 채용할 수 있다.
이하, 반송 시스템(1)을 구성하는 각 구성 요소에 대해서 보다 상세하게 설명한다.
도 3은 반송 시스템(1)의 기능 구성을 나타내는 블록도이다.
컨트롤러(20)는 반송 대차(30)의 주행을 제어한다. 컨트롤러(20)는, 예를 들면 반송 대차(30)가 주행하는 주행 루트(2)(도 2 참조)를 따라 배치된 누설 피더선을 이용해서 반송 대차(30)와 비접촉으로 통신하고, 반송 대차(30)에 각종 제어 신호를 송신함으로써 반송 대차(30)의 주행의 제어를 행한다. 컨트롤러(20)와 반송 대차(30)의 통신은 비접촉이며, 주행 루트(2)를 따라 배치된 리츠선에 공급되는 전력에 제어 신호를 중첩하는 방식을 채용할 수도 있다.
컨트롤러(20)는 외부 장치(예를 들면, 반송 시스템(1)이 운용되어 있는 반도체 제조 공장에 있어서 반도체 제조 공정을 관리하는 관리 시스템의 관리 서버)로부터 반송 대차(30)가 반송물(100)을 운반해야 할 설비(40)를 특정하는 설비 특정 정보를 취득한다.
컨트롤러(20)는 설비 특정 정보를 취득하면 설비 특정 정보에 의해 특정되는 특정 설비(40)의 위치까지 주행하는 것을 지시하는 주행 지시를 반송 대차(30)에 송신한다.
컨트롤러(20)는, 예를 들면 프로세서와, 메모리와, 통신 인터페이스를 구비하는 컴퓨터 장치에 의해 실현된다. 이 경우 컨트롤러(20)의 각종 기능은 메모리에 기억되는 프로그램을 프로세서가 실행함으로써 실현된다.
반송 대차(30)는 파지부(31)와, 대차 제어부(32)와, 대차 통신부(33)를 포함해서 구성된다.
대차 통신부(33)는 통신 디바이스(10) 및 컨트롤러(20)와 통신한다. 대차 통신부(33)는 통신 디바이스(10)와의 사이에서 무선 통신을 행하고, 컨트롤러(20)와의 사이에서 비접촉으로 통신을 행한다.
대차 통신부(33)는 외부에 트리거 신호(예를 들면, 비컨, 페어링 신호)를 송신하는 마스터 스테이션 모드와, 외부에 트리거 신호를 송신하지 않는 슬레이브 스테이션 모드의 2개의 동작 모드를 갖는다. 대차 통신부(33)의 동작 모드는 대차 제어부(32)에 의해 마스터 스테이션 모드와 슬레이브 스테이션 모드 중 어느 것으로 설정된다. 대차 통신부(33)의 동작 모드는 소정 조건을 충족하는 특별한 기간 이외의 통상 시에는 슬레이브 스테이션 모드로 설정되어 있다.
대차 제어부(32)는 반송 대차(30)를 제어한다.
대차 제어부(32)는 반송 대차(30)의 위치를 나타내는 대차 위치 정보를 취득한다. 대차 제어부(32)는, 예를 들면 바코드 리더를 구비하여 주행 루트(2)에 소정 간격(예를 들면, 3m)으로 배치되어 있는 바코드를 판독함으로써 주행 루트(2)에 있어서의 대차 위치 정보를 취득한다고 해도 좋다. 이 경우 대차 제어부(32)는 반송 대차(30)가 바코드 사이에 위치할 때에는 반송 대차(30)를 주행시키기 위한 구동 장치(예를 들면, 모터)로부터 출력되는 인코드 신호를 사용해서 바코드 사이의 어느 위치인지를 보간함으로써 대차 위치 정보를 취득해도 좋다.
대차 제어부(32)는 대차 통신부(33)를 통해 컨트롤러(20)로부터 송신된 주행 지시를 수신함으로써 반송 대차(30)가 반송물(100)을 운반해야 할 특정 설비(40)의 위치를 나타내는 운반 위치 정보를 취득한다.
대차 제어부(32)는 취득한 대차 위치 정보와 취득한 운반 위치 정보에 의거하여 반송 대차(30)와 특정 설비(40)에 접속되어 있는 특정 통신 디바이스(10) 사이의 거리, 구체적으로는 반송 대차(30)와 특정 통신 디바이스(10)의 주행 루트(2)를 따르는 거리를 산출하고, 산출한 거리가 소정 거리 이하인지의 여부를 판정한다. 또한, 반송 대차(30)와 특정 통신 디바이스(10)의 거리는 양자를 잇는 직선 거리이어도 좋다. 여기에서는 대차 제어부(32)는 특정 통신 디바이스(10)와 특정 설비(40)가 거의 동일 위치에 있기 때문에 특정 설비(40)와 반송 대차(30) 사이의 거리를 특정 통신 디바이스(10)와 반송 대차(30) 사이의 거리라고 간주할 수 있다.
대차 제어부(32)는 산출한 거리가 소정 거리 이하라고 판정될 경우에 대차 통신부(33)의 동작 모드를 마스터 스테이션 모드로 설정한다. 그리고 대차 제어부(32)는 반송 대차(30)와 상기 특정 설비(40) 사이에서 무선 통신인 인터로크 통신을 개시하기 위한 트리거 신호를 대차 통신부(33)를 통해 무선으로 주위에 송신한다. 트리거 신호는 특정 통신 디바이스(10)를 식별하는 식별자를 포함한다. 여기에서 식별자는 복수의 통신 디바이스(10) 각각에 할당된 복수의 통신 디바이스(10) 각각을 일의로 식별하기 위한 식별자이다. 식별자는, 예를 들면 무선 통신이 IEEE 802. 11 규격에 준거하는 통신이면 네트워크를 식별하는 SSID(Service Set Identifier)이어도 좋다. 또한, 식별자는, 예를 들면 무선 통신이 ANT 통신 규격에 준거하는 통신이면 미리 복수의 통신 디바이스(10) 각각에(중복되는 일 없이) 할당된 장치 번호 등이어도 좋다.
트리거 신호가 대차 제어부(32)와 특정 통신 디바이스(10) 사이에서 무선 통신될 경우에 대차 제어부(32)는 대차 제어부(32)와 특정 설비(40) 사이에서 반송물(100)을 운반하기 위한 무선 통신인 인터로크 통신을 대차 통신부(33)를 통해 특정 통신 디바이스(10)와의 사이에서 실행한다.
대차 제어부(32)는, 예를 들면 트리거 신호를 송신한 후에 있어서 상기 특정 통신 디바이스(10)로부터 대차 통신부(33)를 통해 자통신 디바이스(10)를 식별하는 식별자를 포함하는 트리거 신호를 수신한 취지를 나타내는 응답 신호를 수신함으로써 인터로크 통신의 실행을 개시한다고 해도 좋다.
대차 제어부(32)는, 예를 들면 반송 대차(30)가 구비하는 메모리에 기억되는 프로그램을 반송 대차(30)가 구비하는 프로세서가 실행함으로써 실현된다.
통신 디바이스(10)는 통신부(12)와, 제어부(13)를 포함해서 구성된다.
통신부(12)는 반송 대차(30) 및 설비(40)와 통신한다. 통신부(12)는 반송 대차(30)와의 사이에서 무선 통신을 행하고, 설비(40)와의 사이에서 유선 케이블을 통해 유선통신을 행한다.
제어부(13)는 통신 디바이스(10)를 제어한다.
제어부(13)는 자신을 포함하는 통신 디바이스(10)를 일의로 식별하기 위한 식별자를 기억한다. 즉, 복수의 통신 디바이스(10)는 각각을 일의로 식별하기 위한 식별자를 각각의 제어부(13)에 기억한다.
제어부(13)는 반송 대차(30)로부터 통신부(12)를 통해 트리거 신호를 수신했을 경우에 있어서 그 트리거 신호에 기억하는 식별자가 포함되어 있는 것을 확인했을 때에 반송 대차(30)를 통신 상대로서 특정한다. 그리고 이 특정에 의거하여 반송 대차(30)와 통신 디바이스(10)가 접속되는 설비(40) 사이에서 반송물을 운반하기 위한 무선 통신인 인터로크 통신을 통신부(12)를 통해 반송 대차(30)와의 사이에서 실행한다.
제어부(13)는, 예를 들면 수신한 트리거 신호에 기억하는 식별자가 포함되어 있는 것을 확인하면 통신부(12)를 통해 자통신 디바이스(10)를 식별하는 식별자를 포함하는 트리거 신호를 수신한 취지를 나타내는 응답 신호를 반송 대차(30)에 송신한다고 해도 좋다.
제어부(13)는, 예를 들면 통신 디바이스(10)가 구비하는 메모리에 기억되는 프로그램을 통신 디바이스(10)가 구비하는 프로세서가 실행함으로써 실현된다.
이하, 상기 구성의 반송 시스템(1)이 행하는 동작에 대해서 설명한다.
반송 시스템(1)은 설비(40)와 반송 대차(30) 사이에서 반송물(100)을 운반하기 위한 인터로크 통신을 개시하는 인터로크 통신 개시 처리를 행한다.
도 4는 인터로크 통신 개시 처리의 플로우 차트이다.
인터로크 통신 개시 처리는, 예를 들면 반송 시스템(1)이 기동됨으로써 개시된다.
인터로크 통신 개시 처리가 개시되면 컨트롤러(20)는 반송 대차(30)가 반송물(100)을 운반해야 할 설비(40)를 특정하는 설비 특정 정보를 외부 장치로부터 취득한다(스텝(S10)).
설비 특정 정보를 취득하면 컨트롤러(20)는 취득한 설비 특정 정보에 의해 특정되는 특정 설비(40)의 위치까지 주행하는 것을 지시하는 주행 지시를 반송 대차(30)에 송신한다(스텝(S20)).
주행 지시가 송신되면 반송 대차(30)는 주행 지시를 수신함으로써 반송 대차(30)가 반송물(100)을 운반해야 할 특정 설비(40)의 위치를 나타내는 운반 위치 정보를 취득한다(스텝(S30)).
운반 위치 정보를 취득하면 반송 대차(30)는 자신(반송 대차(30))의 현재 위치를 나타내는 대차 위치 정보를 취득한다(스텝(S40)).
대차 위치 정보를 취득하면 반송 대차(30)는 취득한 운반 위치 정보와 취득한 대차 위치 정보에 의거하여 반송 대차(30)와 특정 설비(40)에 접속되어 있는 특정 통신 디바이스(10) 사이의 거리를 산출한다(스텝(S50)).
반송 대차(30)와 특정 통신 디바이스(10) 사이의 거리를 산출하면 반송 대차(30)는 산출한 거리가 소정 거리 이하인지의 여부를 판정한다(스텝(S60)).
스텝(S60)의 처리에 있어서 산출한 거리가 소정 거리 이하가 아닐 경우에(스텝(S60): No) 반송 시스템(1)은 다시 스텝(S40)의 처리로 진행한다.
스텝(S60)의 처리에 있어서 산출한 거리가 소정 거리 이하일 경우에(스텝(S60): Yes) 반송 대차(30)는 대차 통신부(33)의 동작 모드를 마스터 스테이션 모드로 설정하고, 특정 설비(40)에 결부된 통신 디바이스(10)를 특정하는 특정 식별자를 포함하는 트리거 신호이며, 반송 대차(30)와 특정 설비(40) 사이에서 반송물(100)을 운반하기 위한 무선 통신인 인터로크 통신을 개시하기 위한 트리거 신호를 무선으로 주위에 송신한다(스텝(S70)).
트리거 신호가 송신되면 특정 통신 디바이스(10)는 트리거 신호를 수신하고, 수신한 트리거 신호에 특정 식별자(예를 들면, SSID 등)가 포함되는 것을 확인하고, 반송 대차(30)를 통신 상대로서 특정한다(스텝(S80)).
특정 통신 디바이스(10)가 반송 대차(30)를 통신 상대로서 특정하면 반송 대차(30) 및 특정 통신 디바이스(10)는 반송 대차(30)와 특정 설비(40) 사이에서 반송물(100)을 운반하기 위한 무선 통신인 인터로크 통신을 실행한다(스텝(S90)).
스텝(S90)의 처리가 종료되면 반송 시스템(1)은 그 인터로크 통신 개시 처리를 종료한다.
상술한 바와 같이 상기 구성의 반송 시스템(1)은 인터로크 통신 개시 처리에 있어서 반송 대차(30)와 특정 통신 디바이스(10)의 거리가 소정 거리 이하가 되면 반송 대차(30)와 복수의 통신 디바이스(10) 중 특정 통신 디바이스(10) 사이에서 무선 통신을 개시하기 위해서 반송 대차(30)가 트리거 신호를 송신한다. 이 때문에 복수의 통신 디바이스(10)는 무선 통신을 개시하기 위해서 트리거 신호를 송신할 필요가 없다. 따라서, 복수의 통신 디바이스(10) 각각이 트리거 신호를 송신하는 것에 의한 트리거 신호의 상호 간섭이 발생하지 않는다. 이와 같이 상기 구성의 반송 시스템(1)에 의하면 통신 장해의 발생을 억제할 수 있다.
(실시형태 2)
이하, 실시형태 1에 의한 반송 시스템(1)으로부터 그 구성의 일부가 변경된 실시형태 2에 의한 반송 시스템에 대해서 설명한다.
실시형태 1에 의한 반송 시스템(1)은 반송 대차(30)가 트리거 신호를 송신하는 구성의 예이었다. 이에 대해서 실시형태 2에 의한 반송 시스템은 특정 통신 디바이스가 트리거 신호를 송신하는 구성의 예로 되어 있다.
도 5는 실시형태 2에 의한 반송 시스템(1a)의 구성도이다.
도 5에 나타내어지는 바와 같이 반송 시스템(1a)은 실시형태 1에 의한 반송 시스템(1)에 대해서 실시형태 1에 의한 반송 대차(30)가 반송 대차(80)로 변경되고, 실시형태 1에 의한 통신 디바이스(10a~10k, 10m)가 각각 통신 디바이스(60a~60k, 60m)로 변경되고, 중계 장치(90)가 추가되어 구성된다.
이하, 실시형태 1과 마찬가지로 통신 디바이스(60a~60k, 60m)인 것을 각 개체를 명시적으로 구별해서 설명할 필요가 있을 경우를 제외하고, 통신 디바이스(60)라고 칭한다.
중계 장치(90)는 반송 대차(80)와 통신 디바이스(60) 사이의 무선 통신을 중계한다. 중계 장치(90)는, 예를 들면 액세스 포인트이어도 좋다.
이하, 반송 시스템(1a)을 구성하는 각 구성 요소에 대해서 실시형태 1에 의한 반송 시스템(1)과의 상위점을 중심으로 보다 상세하게 설명한다.
도 6은 반송 시스템(1a)의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 6에 나타내어지는 바와 같이 반송 대차(80)는 실시형태 1에 의한 반송 대차(30)로부터 대차 제어부(32)가 대차 제어부(82)로 변경되고, 대차 통신부(33)가 대차 통신부(83)로 변경되어 구성된다.
대차 통신부(83)는 통신 디바이스(60), 중계 장치(90), 및 컨트롤러(20)와 통신한다. 대차 통신부(83)는 통신 디바이스(60) 및 중계 장치(90)와의 사이에서 무선 통신을 행하고, 컨트롤러(20)와의 사이에서 누설 피더선을 이용해서 비접촉으로 통신을 행한다.
대차 통신부(83)는 실시형태 1에 의한 대차 통신부(33)와 상이하며, 동작 모드로서 외부에 트리거 신호를 송신하는 마스터 스테이션 모드를 가질 필요는 없다.
대차 제어부(82)는 실시형태 1에 의한 대차 제어부(32)와 마찬가지로 자신의 대차 위치 정보를 취득하고, 운반 위치 정보를 취득하고, 반송 대차(80)와 특정 설비(40)에 접속되어 있는 특정 통신 디바이스(60) 사이의 거리를 산출하고, 산출한 거리가 소정 거리 이하인지의 여부를 판정한다.
대차 제어부(82)는 산출한 거리가 소정 거리 이하라고 판정될 경우에 트리거 신호를 송신해야 할 것을 지시하는 송신 지시를 대차 통신부(83)를 통해 중계 장치(90) 경유에 의해 특정 통신 디바이스(60)에 무선으로 송신한다.
대차 제어부(82)는 복수의 통신 디바이스(60) 중 어느 것으로부터 송신된 트리거 신호를 대차 통신부(83)를 통해 수신한다.
대차 제어부(82)는 복수의 통신 디바이스(60)와 복수의 통신 디바이스(60) 각각을 일의로 식별하기 위한 복수의 식별자(예를 들면, SSID 등)의 대응 관계를 나타내는 대응 정보를 기억한다.
대차 제어부(82)는 특정 통신 디바이스(60)로부터 대차 통신부(83)를 통해 특정 통신 디바이스(60)를 식별하는 특정 식별자를 포함하는 트리거 신호를 수신하면 그 특정 식별자와 대응 정보에 의거하여 그 특정 통신 디바이스(60)를 통신 상대로서 특정한다. 그리고 이 특정 결과에 따라 대차 제어부(82)는 대차 제어부(82)와 특정 설비(40) 사이에서 반송물(100)을 운반하기 위한 무선 통신인 인터로크 통신을 대차 통신부(83)를 통해 특정 통신 디바이스(60)와의 사이에서 실행한다.
대차 제어부(82)는, 예를 들면 수신한 트리거 신호에 특정 통신 디바이스(60)를 식별하는 특정 식별자가 포함되어 있는 것을 확인하면 특정 식별자를 포함하는 트리거 신호를 수신한 취지를 나타내는 응답 신호를 특정 통신 디바이스(60)에 송신하다고 해도 좋다.
대차 제어부(82)는, 예를 들면 실시형태 1에 의한 대차 제어부(32)와 마찬가지로 반송 대차(80)가 구비하는 메모리에 기억되는 프로그램을 반송 대차(80)가 구비하는 프로세서가 실행함으로써 실현된다.
통신 디바이스(60)는 실시형태 1에 의한 통신 디바이스(10)로부터 통신부(12)가 통신부(62)로 변경되고, 제어부(13)가 제어부(63)로 변경되어 구성된다.
통신부(62)는 반송 대차(80), 중계 장치(90), 및 설비(40)와 통신한다. 통신부(62)는 반송 대차(80) 및 중계 장치(90)와의 사이에서 무선 통신을 행하고, 설비(40)와의 사이에서 유선 케이블을 통해 유선 통신을 행한다.
통신부(62)는 외부에 트리거 신호(예를 들면, 비컨, 페어링 신호)를 송신하는 마스터 스테이션 모드와, 외부에 트리거 신호를 송신하지 않는 슬레이브 스테이션 모드의 2개의 동작 모드를 갖는다. 통신부(62)의 동작 모드는 제어부(63)에 의해 마스터 스테이션 모드와 슬레이브 스테이션 모드 중 어느 것으로 설정된다. 통신부(62)의 동작 모드는 소정 조건을 충족하는 특별한 기간 이외의 통상 시에는 슬레이브 스테이션 모드로 설정되어 있다.
제어부(63)는 통신 디바이스(60)를 제어한다.
제어부(63)는 자신을 포함하는 통신 디바이스(60)를 일의로 식별하기 위한 식별자를 기억한다. 즉, 복수의 통신 디바이스(60)는 각각을 일의로 식별하기 위한 식별자를 각각의 제어부(63)에 기억한다.
제어부(63)는 반송 대차(80)로부터 중계 장치(90) 경유에 의해 통신부(62)를 통해 송신 지시를 수신하면 통신부(62)의 동작 모드를 마스터 스테이션 모드로 설정한다. 그리고 제어부(63)는 반송 대차(30)와 자신을 포함하는 통신 디바이스(60)에 접속되는 설비(40) 사이에서 무선 통신인 인터로크 통신을 개시하기 위한 트리거 신호를 통신부(62)를 통해 무선으로 주위에 송신한다. 이때 제어부(63)는 기억하는 식별자를 트리거 신호에 포함해서 송신한다.
트리거 신호가 제어부(63)와 반송 대차(80) 사이에서 무선 통신될 경우에 제어부(63)는 반송 대차(80)와 제어부(63) 자신을 포함하는 통신 디바이스(60)에 접속되는 설비(40) 사이에서 반송물(100)을 운반하기 위한 무선 통신인 인터로크 통신을 통신부(62)를 통해 반송 대차(80)와의 사이에서 실행한다.
제어부(63)는, 예를 들면 트리거 신호를 송신한 후에 있어서 반송 대차(80)로부터 통신부(62)를 통해 특정 식별자를 포함하는 트리거 신호를 수신한 취지를 나타내는 응답 신호를 수신함으로써 인터로크 통신의 실행을 개시한다고 해도 좋다.
제어부(63)는, 예를 들면 통신 디바이스(60)가 구비하는 메모리에 기억되는 프로그램을 통신 디바이스(60)가 구비하는 프로세서가 실행함으로써 실현된다.
이하, 상기 구성의 반송 시스템(1a)이 행하는 동작에 대해서 설명한다.
반송 시스템(1a)은 설비(40)와 반송 대차(80) 사이에서 반송물(100)을 운반하기 위한 인터로크 통신을 개시하는 인터로크 통신 개시 처리를 행한다. 이 실시형태 2에 의한 인터로크 통신 개시 처리는 실시형태 1에 의한 인터로크 통신 개시 처리로부터 그 일부의 처리가 변경된 처리로 되어 있다.
도 7은 실시형태 2에 의한 인터로크 통신 개시 처리의 플로우 차트이다.
인터로크 통신 개시 처리에 있어서 스텝(S110)의 처리~스텝(S160)의 처리는 각각 실시형태 1에 의한 인터로크 통신 개시 처리에 있어서의 스텝(S10)의 처리~스텝(S60)의 처리에 대해서 통신 디바이스(10)를 통신 디바이스(60)로 대체하고, 반송 대차(30)를 반송 대차(80)로 대체하고, 반송 시스템(1)을 반송 시스템(1a)으로 대체하는 처리와 마찬가지의 처리로 되어 있다. 이 때문에 스텝(S110)의 처리~스텝(S160)의 처리에 대해서는 이미 설명이 완료된 것으로서 여기에서는 그들의 설명을 생략하고, 스텝(S170)의 처리~스텝(S200)의 처리를 중심으로 설명한다.
스텝(S160)의 처리에 있어서 산출한 거리가 소정 거리 이하일 경우에(스텝(S160): Yes) 반송 대차(80)는 트리거 신호를 송신해야 할 것을 지시하는 송신 지시를 중계 장치(90) 경유에 의해 특정 통신 디바이스(10)에 무선으로 송신한다(스텝(S170)).
반송 대차(80)로부터 송신 지시가 송신되면 특정 통신 디바이스(60)는 중계 장치(90) 경유에 의해 송신 신호를 수신하고, 통신부(62)의 동작 모드를 마스터 스테이션 모드로 설정한다. 그리고 특정 통신 디바이스(60)는 반송 대차(30)와 특정 통신 디바이스(60)에 접속되는 설비(40) 사이에서 무선 통신인 인터로크 통신을 개시하기 위한 트리거 신호이며, 특정 통신 디바이스(60)를 식별하는 특정 식별자를 포함하는 트리거 신호를 무선으로 주위에 송신한다(스텝(S180)).
트리거 신호가 송신되면 반송 대차(80)는 트리거 신호를 수신하고, 트리거 신호에 포함되는 특정 식별자와, 기억하는 대응 정보에 의거하여 그 특정 통신 디바이스(10)를 통신 상대로서 특정한다(스텝(S190)).
반송 대차(80)가 특정 통신 디바이스(60)를 통신 상대로서 특정하면 반송 대차(80) 및 특정 통신 디바이스(60)는 반송 대차(80)와 특정 설비(40) 사이에서 반송물(100)을 운반하기 위한 무선 통신인 인터로크 통신을 실행한다(스텝(S200)).
스텝(S200)의 처리가 종료되면 반송 시스템(1a)은 그 인터로크 통신 개시 처리를 종료한다.
상술한 바와 같이 상기 구성의 반송 시스템(1a)은 인터로크 통신 개시 처리에 있어서 반송 대차(80)와 특정 통신 디바이스(60)의 거리가 소정 거리 이하가 되면 복수의 통신 디바이스(60) 중 1의 특정 통신 디바이스(60)가 트리거 신호를 송신한다. 이 때문에 다른 통신 디바이스(60)는 트리거 신호를 송신할 필요가 없다. 따라서, 복수의 통신 디바이스(60)가 트리거 신호를 송신하는 것에 의한 트리거 신호의 상호 간섭이 발생하지 않는다. 이와 같이 상기 구성의 반송 시스템(1a)에 의하면 통신 장해의 발생을 억제할 수 있다.
(그 외의 실시형태)
이상, 본 발명에 의한 제어 방법, 반송 시스템, 및 통신 디바이스에 대해서 실시형태 1 및 실시형태 2에 의거하여 설명했지만 본 발명은 이들 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 한 당업자가 생각해내는 각종 변형을 본 실시형태에 실시한 것 및 상이한 실시형태에 있어서의 구성 요소를 조합해서 구축되는 형태도 본 발명의 범위 내에 포함된다.
(1) 실시형태 1 및 실시형태 2에 있어서 반송 시스템은 반송 대차가 운반 위치 정보와 자신의 대차 위치 정보에 의거하여 반송 대차와 특정 통신 디바이스 사이의 거리를 산출하고, 반송 대차가 산출한 거리가 소정 거리 이하인지의 여부를 판정하는 구성으로서 설명했다. 그러나 본 발명에 의한 반송 시스템은 반송 대차와, 특정 통신 디바이스와, 컨트롤러 중 어느 것이 운반 위치 정보와 대차 위치 정보에 의거하여 반송 대차와 특정 통신 디바이스 사이의 거리를 산출하고, 반송 대차와, 특정 통신 디바이스와, 컨트롤러 중 어느 것이 산출한 거리가 소정 거리 이하인지의 여부를 판정하는 구성이면 좋다.
예를 들면, 컨트롤러에 의한 운반 위치 정보와 대차 위치 정보에 의거하는 반송 대차와 특정 통신 디바이스 사이의 거리의 산출은 컨트롤러가, 예를 들면 누설 피더선에 대한 비접촉 통신 또는 급전 리츠선에 신호를 중첩시키는 중첩 통신에 의해 반송 대차로부터 대차 위치 정보를 수신함으로써 실현할 수 있다.
예를 들면, 특정 통신 디바이스에 의한 운반 위치 정보와 대차 위치 정보에 의거하는 반송 대차와 특정 통신 디바이스 사이의 거리의 산출은 특정 통신 디바이스가, 예를 들면 중계 장치 경유의 무선 통신에 의해 컨트롤러로부터 운반 위치 정보를 수신하고, 특정 통신 디바이스가, 예를 들면 중계 장치 경유의 무선 통신에 의해 반송 대차로부터 대차 위치 정보를 수신함으로써 실현할 수 있다.
예를 들면, 반송 대차가 반송 대차와 특정 통신 디바이스 사이의 거리를 산출할 경우에 있어서의 특정 통신 디바이스에 의한 산출한 거리가 소정 거리 이하 인지의 여부의 판정은 특정 통신 디바이스가, 예를 들면 중계 장치가 중계하는 무선 통신에 의해 반송 대차로부터 산출한 거리를 나타내는 정보를 수신함으로써 실현할 수 있다.
예를 들면, 특정 통신 디바이스가 반송 대차와 특정 통신 디바이스 사이의 거리를 산출할 경우에 있어서의 특정 통신 디바이스에 의한 산출한 거리가 소정 거리 이하인지의 여부의 판정은 특정 통신 디바이스가 산출한 거리를 그대로 이용함으로써 실현할 수 있다.
예를 들면, 컨트롤러가 반송 대차와 특정 통신 디바이스 사이의 거리를 산출할 경우에 있어서의 컨트롤러에 의한 산출한 거리가 소정 거리 이하인지의 여부의 판정은 컨트롤러가 산출한 거리를 그대로 이용함으로써 실현할 수 있다.
이와 같은 점에서 본 발명에 의한 반송 시스템의 일례로서 실시형태 1에 있어서 설명한 반송 시스템(1)과 실시형태 2에 있어서 설명한 반송 시스템(1a)에 추가하여, 예를 들면 이하의 반송 시스템(1b)~반송 시스템(1e)이 생각된다.
본 발명에 의한 반송 시스템(1b)(도시되지 않음)은, 예를 들면 반송 대차가 운반 위치 정보와 대차 위치 정보에 의거하여 반송 대차와 특정 통신 디바이스 사이의 거리를 산출하고, 특정 통신 디바이스가 산출한 거리가 소정 거리 이하인지의 여부를 판정하고, 특정 통신 디바이스가 트리거 신호를 송신한다.
본 발명에 의한 반송 시스템(1c)(도시되지 않음)은, 예를 들면 특정 통신 디바이스가 운반 위치 정보와 대차 위치 정보에 의거하여 반송 대차와 특정 통신 디바이스 사이의 거리를 산출하고, 특정 통신 디바이스가 산출한 거리가 소정 거리 이하인지의 여부를 판정하고, 특정 통신 디바이스가 트리거 신호를 송신한다.
본 발명에 의한 반송 시스템(1d)(도시되지 않음)은, 예를 들면 컨트롤러가 운반 위치 정보와 대차 위치 정보에 의거하여 반송 대차와 특정 통신 디바이스 사이의 거리를 산출하고, 컨트롤러가 산출한 거리가 소정 거리 이하인지의 여부를 판정하고, 반송 대차가 트리거 신호를 송신한다.
본 발명에 의한 반송 시스템(1e)(도시되지 않음)은, 예를 들면 컨트롤러가 운반 위치 정보와 대차 위치 정보에 의거하여 반송 대차와 특정 통신 디바이스 사이의 거리를 산출하고, 컨트롤러가 산출한 거리가 소정 거리 이하인지의 여부를 판정하고, 특정 통신 디바이스가 트리거 신호를 송신한다.
(2) 실시형태 1에 있어서 통신 디바이스(10)에 1 대 1로 접속되어 있는 설비는 반송물(100)이 재치되는 재치 포트인 구성예이었지만 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 설비는 반도체 제조 장치(50)이어도 좋다. 즉, 복수의 통신 디바이스(10) 각각은 복수의 반도체 제조 장치(50) 각각과 1 대 1로 접속되어 1대의 통신 디바이스(10)가 복수의 재치 포트를 담당해도 좋다.
또한, 예를 들면 설비는 복수의 반도체 제조 장치(50)의 집합을 1개의 단위로 하는 반도체 제조 장치(50)군이어도 좋다. 즉, 복수의 통신 디바이스(10) 각각은 복수의 반도체 제조 장치(50)군 각각과 1 대 1로 접속되어 1대의 통신 디바이스(10)가 복수의 반도체 제조 장치(50)를 담당해도 좋다.
또한, 예를 들면 설비는 복수의 재치 포트의 집합을 1개의 단위로 하는 재치 포트군이어도 좋다. 즉, 복수의 통신 디바이스(10) 각각은 복수의 재치 포트군 각각과 1 대 1로 접속되어 있어도 좋다. 환언하면, 1개의 통신 디바이스(10)는 복수의 재치 포트의 집합과 1 대 1로 접속되어 있어도 좋다.
또한, 예를 들면 설비는 반도체 제조에 관한 재치 포트 또는 반도체 제조 장치(50) 등이 아니어도 좋다. 예를 들면, 설비는 반도체 제조와 관계가 없는 것이어도 좋고, 거치대 등이어도 좋다.
(3) 실시형태 1에 있어서의 인터로크 통신 개시 처리 및 실시형태 2에 있어서의 인터로크 통신 개시 처리에 있어서의 스텝은 컴퓨터(컴퓨터 시스템)에 의해 실행되어도 좋다. 그리고 본 발명은 실시형태 1의 인터로크 통신 개시 처리 및 실시형태 2의 인터로크 통신 개시 처리에 포함되는 스텝을 컴퓨터에 실행시키기 위한 프로그램으로서 실현할 수 있다. 또한, 본 발명은 그 프로그램을 기록한 CD-ROM 등인 비일시적인 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체로서 실현할 수 있다.
예를 들면, 본 발명이 프로그램(소프트웨어)으로 실현될 경우에는 컴퓨터의 CPU, 메모리, 및 입출력 회로 등의 하드웨어 자원을 이용해서 프로그램이 실행됨으로써 각 스텝이 실행된다. 즉, CPU가 데이터를 메모리 또는 입출력 회로 등으로부터 취득해서 연산하거나 연산 결과를 메모리 또는 입출력 회로 등에 출력하거나 함으로써 각 스텝이 실행된다.
(4) 실시형태 1에 있어서 반송 시스템(1)에 포함되는 복수의 구성 요소는 각각 전용 또는 범용의 회로로서 실현되어도 좋다. 이들 구성 요소는 1개의 회로로서 실현되어도 좋고, 복수의 회로로서 실현되어도 좋다.
또한, 반송 시스템(1)에 포함되는 복수의 구성 요소는 집적 회로(IC: Integrated Circuit)인 LSI(Large Scale Integration)로서 실현되어도 좋다. 이들 구성 요소는 개별로 1칩화되어도 좋고, 일부 또는 전체를 포함하도록 1칩화되어도 좋다. LSI는 집적도의 상위함에 의해 시스템 LSI, 슈퍼 LSI 또는 울트라 LSI라고 호칭되는 경우가 있다.
또한, 집적 회로는 LSI에 한정되지 않고, 전용 회로 또는 범용 프로세서에서 실현되어도 좋다. 상술한 바와 같이 프로그램 가능한 FPGA 또는 LSI 내부의 회로 셀의 접속 및 설정이 재구성 가능한 리컨피규러블·프로세서가 이용되어도 좋다.
또한, 반도체 기술의 진보 또는 파생되는 다른 기술에 의해 LSI로 치환되는 집적 회로화의 기술이 등장하면 당연히 그 기술을 사용해서 반송 시스템(1)에 포함되는 각 구성 요소의 집적 회로화가 행해져도 좋다.
(5) 그 외 실시형태 1 및 실시형태 2에 대해서 당업자가 생각해내는 각종 변형을 실시해서 얻어지는 형태나, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 각 실시형태에 있어서의 구성 요소 및 기능을 임의로 조합함으로써 실현되는 형태도 본 발명에 포함된다.
(산업상 이용가능성)
본 발명은 무선 통신에 의해 인터로크 처리를 행하는 반송 시스템 등에 이용 가능하다.
1, 1a: 반송 시스템 2: 주행 루트
10, 10a, 10b, 10c, 10d, 10e, 10f, 10g, 10h, 10i, 10j, 10k, 10m, 60, 60a, 60b, 60c, 60d, 60e, 60f, 60g, 60h, 60i, 60j, 60k, 60m: 통신 디바이스
12, 62: 통신부 13, 63: 제어부
20: 컨트롤러 30, 80: 반송 대차
31: 파지부 32, 82: 대차 제어부
33, 83: 대차 통신부
40, 40a, 40b, 40c, 40d, 40e, 40f, 40g, 40h, 40i, 40j, 40k, 40m: 설비
50, 50a, 50b, 50c: 반도체 제조 장치 51: FOUP 반입 반출구
90: 중계 장치 100: 반송물

Claims (12)

  1. 반송물을 반송하기 위한 반송 대차와, 상기 반송물이 운반되는 복수의 설비에 접속된 복수의 통신 디바이스와, 상기 반송 대차의 주행을 제어하는 컨트롤러를 구비하는 반송 시스템의 제어 방법으로서,
    상기 컨트롤러가 상기 반송 대차가 상기 반송물을 운반해야 할 설비를 특정하는 설비 특정 정보를 취득하는 제 1 취득 스텝과,
    상기 반송 대차가 상기 반송 대차의 위치를 나타내는 대차 위치 정보를 취득하는 제 2 취득 스텝과,
    상기 반송 대차와, 상기 설비 특정 정보에 의해 특정되는 특정 설비에 접속되어 있는 특정 통신 디바이스와, 상기 컨트롤러 중 어느 것이 상기 특정 설비의 위치를 나타내는 운반 위치 정보와 상기 대차 위치 정보에 의거하여 상기 반송 대차와 상기 특정 통신 디바이스 사이의 거리를 산출하는 산출 스텝과,
    상기 반송 대차와, 상기 특정 통신 디바이스와, 상기 컨트롤러 중 어느 것이 상기 거리가 소정 거리 이하인지의 여부를 판정하는 판정 스텝과,
    상기 거리가 상기 소정 거리 이하라고 판정될 경우에 상기 반송 대차와 상기 특정 통신 디바이스 중 일방이 상기 반송 대차와 상기 특정 설비 사이에서 무선 통신을 개시하기 위한 트리거 신호를 무선으로 주위에 송신하는 제 1 송신 스텝과,
    상기 트리거 신호가 상기 반송 대차와 상기 특정 통신 디바이스 사이에서 무선 통신될 경우에 상기 반송 대차 및 상기 특정 통신 디바이스가 상기 반송 대차와 상기 특정 설비 사이에서 상기 반송물을 운반하기 위한 무선 통신을 실행하는 실행 스텝을 포함하는 제어 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어 방법은 상기 반송 대차가 상기 특정 설비의 위치까지 주행하는 것을 지시하는 주행 지시를 상기 컨트롤러로부터 수신함으로써 상기 운반 위치 정보를 취득하는 제 3 취득 스텝을 더 포함하고,
    상기 산출 스텝에서는 상기 반송 대차가 취득한 상기 운반 위치 정보와 상기 대차 위치 정보에 의거하여 상기 거리를 산출하고,
    상기 판정 스텝에서는 상기 반송 대차가 상기 거리가 상기 소정 거리 이하인지의 여부를 판정하고,
    상기 제 1 송신 스텝에서는 상기 거리가 상기 소정 거리 이하라고 판정될 경우에 상기 반송 대차가 상기 트리거 신호를 무선으로 주위에 송신하는 제어 방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 복수의 통신 디바이스는 각각을 일의로 식별하기 위한 식별자를 기억하고,
    상기 제 1 송신 스텝에서는 상기 반송 대차가 상기 특정 통신 디바이스를 식별하기 위한 특정 식별자를 포함하는 상기 트리거 신호를 주위에 송신하고,
    상기 실행 스텝에서는 상기 특정 통신 디바이스가 상기 트리거 신호에 상기 특정 식별자가 포함되는 것을 확인함으로써 상기 반송 대차를 통신 상대로서 특정하고, 상기 특정에 의거하여 상기 반송 대차 및 상기 특정 통신 디바이스가 상기 무선 통신을 실행하는 제어 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 반송 시스템은 상기 반송 대차와 상기 복수의 통신 디바이스 사이의 무선 통신을 중계하는 중계 장치를 더 구비하고,
    상기 제어 방법은 상기 반송 대차가 상기 특정 설비의 위치까지 주행하는 것을 지시하는 주행 지시를 상기 컨트롤러로부터 수신함으로써 상기 운반 위치 정보를 취득하는 제 3 취득 스텝을 더 포함하고,
    상기 산출 스텝에서는 상기 반송 대차가 취득한 상기 운반 위치 정보와 상기 대차 위치 정보에 의거하여 상기 거리를 산출하고,
    상기 판정 스텝에서는 상기 반송 대차가 상기 거리가 상기 소정 거리 이하인지의 여부를 판정하고,
    상기 제어 방법은 상기 거리가 상기 소정 거리 이하라고 판정될 경우에 상기 반송 대차가 상기 트리거 신호를 송신해야 할 것을 지시하는 송신 지시를 상기 중계 장치를 통해 상기 특정 통신 디바이스에 무선으로 송신하는 제 2 송신 스텝을 더 포함하고,
    상기 제 1 송신 스텝에서는 상기 송신 지시가 수신될 경우에 상기 특정 통신 디바이스가 상기 트리거 신호를 무선으로 주위에 송신하는 제어 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 복수의 통신 디바이스는 각각을 일의로 식별하기 위한 식별자를 기억하고,
    상기 반송 대차는 상기 복수의 통신 디바이스와 복수의 상기 식별자의 대응 관계를 나타내는 대응 정보를 기억하고,
    상기 제 1 송신 스텝에서는 상기 특정 통신 디바이스가 상기 특정 통신 디바이스를 식별하기 위한 특정 식별자를 포함하는 상기 트리거 신호를 무선으로 주위에 송신하고,
    상기 실행 스텝에서는 상기 반송 대차가 상기 트리거 신호에 포함되는 상기 특정 식별자와 상기 대응 정보에 의거하여 상기 특정 통신 디바이스를 통신 상대로서 특정하고, 상기 특정에 의거하여 상기 반송 대차 및 상기 특정 통신 디바이스가 상기 무선 통신을 실행하는 제어 방법.
  6. 반송물을 반송하기 위한 반송 대차와, 상기 반송물이 운반되는 복수의 설비에 접속된 복수의 통신 디바이스와, 상기 반송 대차의 주행을 제어하는 컨트롤러를 구비하는 반송 시스템으로서,
    상기 컨트롤러는 상기 반송 대차가 상기 반송물을 운반해야 할 설비를 특정하는 설비 특정 정보를 취득하고,
    상기 반송 대차는 상기 반송 대차의 위치를 나타내는 대차 위치 정보를 취득하고,
    상기 반송 대차와, 상기 설비 특정 정보에 의해 특정되는 특정 설비에 접속되어 있는 특정 통신 디바이스와, 상기 컨트롤러 중 어느 것은 상기 특정 설비의 위치를 나타내는 운반 위치 정보와, 상기 대차 위치 정보에 의거하여 상기 반송 대차와 상기 특정 통신 디바이스 사이의 거리를 산출하고,
    상기 반송 대차와, 상기 특정 통신 디바이스와, 상기 컨트롤러 중 어느 것은 상기 거리가 소정 거리 이하인지의 여부를 판정하고,
    상기 거리가 상기 소정 거리 이하라고 판정될 경우에 상기 반송 대차와 상기 특정 통신 디바이스 중 일방은 상기 반송 대차와 상기 특정 설비 사이에서 무선 통신을 개시하기 위한 트리거 신호를 무선으로 주위에 송신하고,
    상기 트리거 신호가 상기 반송 대차와 상기 특정 통신 디바이스 사이에서 무선 통신될 경우에 상기 반송 대차 및 상기 특정 통신 디바이스는 상기 반송 대차와 상기 특정 설비 사이에서 상기 반송물을 운반하기 위한 무선 통신을 실행하는 반송 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 반송 대차는 상기 특정 설비의 위치까지 주행하는 것을 지시하는 주행 지시를 상기 컨트롤러로부터 수신함으로써 상기 운반 위치 정보를 취득하고,
    상기 반송 대차는 취득한 상기 운반 위치 정보와 상기 대차 위치 정보에 의거하여 상기 거리를 산출하고,
    상기 반송 대차는 상기 거리가 상기 소정 거리 이하인지의 여부를 판정하고,
    상기 거리가 상기 소정 거리 이하라고 판정될 경우에 상기 반송 대차는 상기 트리거 신호를 무선으로 주위에 송신하는 반송 시스템.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 복수의 통신 디바이스는 각각을 일의로 식별하기 위한 식별자를 기억하고,
    상기 반송 대차는 상기 특정 통신 디바이스를 식별하기 위한 특정 식별자를 포함하는 상기 트리거 신호를 주위에 송신하고,
    상기 특정 통신 디바이스는 상기 트리거 신호에 상기 특정 식별자가 포함되는 것을 확인함으로써 상기 반송 대차를 통신 상대로서 특정하고, 상기 특정에 의거하여 상기 반송 대차 및 상기 특정 통신 디바이스는 상기 무선 통신을 실행하는 반송 시스템.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 반송 대차와 상기 복수의 통신 디바이스 사이의 무선 통신을 중계하는 중계 장치를 더 구비하고,
    상기 반송 대차는 상기 특정 설비의 위치까지 주행하는 것을 지시하는 주행 지시를 상기 컨트롤러로부터 수신함으로써 상기 운반 위치 정보를 취득하고,
    상기 반송 대차는 취득한 상기 운반 위치 정보와 상기 대차 위치 정보에 의거하여 상기 거리를 산출하고,
    상기 반송 대차는 상기 거리가 상기 소정 거리 이하인지의 여부를 판정하고,
    상기 거리가 상기 소정 거리 이하라고 판정될 경우에 상기 반송 대차는 상기 트리거 신호를 송신해야 할 것을 지시하는 송신 지시를 상기 중계 장치를 통해 상기 특정 통신 디바이스에 무선으로 송신하고,
    상기 송신 지시가 수신될 경우에 상기 특정 통신 디바이스는 상기 트리거 신호를 무선으로 주위에 송신하는 반송 시스템.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 복수의 통신 디바이스는 각각을 일의로 식별하기 위한 식별자를 기억하고,
    상기 반송 대차는 상기 복수의 통신 디바이스와 복수의 상기 식별자의 대응 관계를 나타내는 대응 정보를 기억하고,
    상기 특정 통신 디바이스는 상기 특정 통신 디바이스를 식별하기 위한 특정 식별자를 포함하는 상기 트리거 신호를 무선으로 주위에 송신하고,
    상기 반송 대차는 상기 트리거 신호에 포함되는 상기 특정 식별자와 상기 대응 정보에 의거하여 상기 특정 통신 디바이스를 통신 상대로서 특정하고, 상기 특정에 의거하여 상기 반송 대차 및 상기 특정 통신 디바이스는 상기 무선 통신을 실행하는 반송 시스템.
  11. 반송물이 운반되는 특정 설비에 접속된 통신 디바이스로서,
    상기 반송물을 반송하기 위한 반송 대차로부터 상기 반송 대차와 상기 통신 디바이스 사이의 무선 통신을 중계하는 중계 장치를 통해 상기 반송 대차와 상기 특정 설비 사이에서 무선 통신을 개시하기 위한 트리거 신호를 송신해야 할 것을 지시하는 송신 지시가 수신될 경우에 상기 트리거 신호를 무선으로 주위에 송신하는 통신 디바이스.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 통신 디바이스를 일의로 식별하기 위한 식별자를 기억하고,
    상기 트리거 신호의 송신에서는 기억하는 상기 식별자를 포함하는 상기 트리거 신호를 무선으로 주위에 송신하고,
    상기 반송 대차가 수신한 상기 트리거 신호에 포함되는 상기 식별자에 의거하여 상기 통신 디바이스를 통신 상대로서 특정했을 경우에 상기 반송 대차와 상기 특정 설비 사이에서 상기 반송물을 운반하기 위한 무선 통신을 상기 반송 대차 사이에서 실행하는 통신 디바이스.
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