TW202018848A - 控制方法、搬送系統及通信元件 - Google Patents

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Abstract

於本發明之控制方法中，控制器(20)取得將應交接搬送物之設備(40)加以特定之設備特定資訊，搬送台車(30)取得表示搬送台車(30)之位置之台車位置資訊。搬送台車(30)、特定的通信元件(10)及控制器(20)中之任一者，根據表示特定的設備(40)之位置之交接位置資訊與台車位置資訊，來計算搬送台車(30)與特定的通信元件(10)之間之距離，並判定該距離是否為既定距離以下。於該距離被判定為既定距離以下之情形時，搬送台車(30)與特定的通信元件(10)中之一者將用以在搬送台車(30)與特定的設備(40)之間開始進行無線通信之觸發信號以無線之方式發送至周圍，並執行用以在搬送台車(30)與特定的設備(40)之間交接搬送物之無線通信。

Description

控制方法、搬送系統及通信元件
本發明係關於搬送系統之控制方法、搬送系統及通信元件。
於專利文獻1中揭示有一種搬送系統，其具備有搬送收納有半導體晶圓之FOUP(前開式傳送晶圓盒；Front Opening Unified Pod)之複數個高架移行式之搬送台車、及加工晶圓之複數個半導體製造裝置。於各半導體製造裝置中，安裝有1組通信元件及存取點。各半導體製造裝置具備有供FOUP載置之載置埠。通信元件經由並行纜線被連接於載置埠，並且經由LAN(區域網路；Local Area Network)纜線被連接於存取點。存取點可與各搬送台車進行無線通信。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2015-82574號公報
於如上所述之搬送系統中，各通信元件將用以檢索通信對象之觸發信號(例如信標)，經由存取點以無線之方式始終持續地發送至周圍。搬送台車若到達應載置FOUP之半導體製造裝置之 附近，便回應來自被安裝於該半導體製造裝置之通信元件之觸發信號。藉此，台車及通信元件開始進行用以執行在載置埠與搬送台車之間用來移載搬送物之處理(由SEMI(國際半導體設備與材料產業協會)E84規格所規定之互鎖處理)之無線通信(互鎖通信)。
然而，若相鄰之各通信元件始終持續地發送觸發信號，便存在有觸發信號會相互地干擾而產生通信障礙之可能性。
因此，本發明之目的，在於提供可抑制搬送系統中之通信障礙之產生之控制方法等。
為了解決上述課題，本發明一態樣之控制方法係具備有用以搬送搬送物之搬送台車、被連接於上述搬送物所要被交接之複數個設備之複數個通信元件、及控制上述搬送台車之移行之控制器之搬送系統之控制方法；其包含有：第1取得步驟，其係上述控制器取得將上述搬送台車應交接上述搬送物之設備加以特定之設備特定資訊的步驟；第2取得步驟，其係上述搬送台車取得表示上述搬送台車之位置之台車位置資訊的步驟；計算步驟，其係上述搬送台車、被連接於要由上述設備特定資訊所特定出之特定的設備之特定的通信元件、及上述控制器中之任一者，根據表示上述特定的設備之位置之交接位置資訊與上述台車位置資訊，來計算出上述搬送台車與上述特定的通信元件之間之距離的步驟；判定步驟，其係上述搬送台車、上述特定的通信元件、及上述控制器中之任一者判定上述距離是否為既定距離以下的步驟；第1發送步驟，其係於上述距離被判定為上述既定距離以下之情形時，上述搬送台車與上述特定的通信元件中之一者將用以在上述搬送台車與上述特定的設 備之間開始進行無線通信之觸發信號以無線之方式發送至周圍的步驟；以及執行步驟，其係於上述觸發信號在上述搬送台車與上述特定的通信元件之間進行無線通信之情形時，上述搬送台車及上述特定的通信元件執行用以在上述搬送台車與上述特定的設備之間交接上述搬送物之無線通信的步驟。
根據上述控制方法，若搬送台車與特定的通信元件之距離成為既定距離以下，搬送台車與特定的通信元件中之一者便發送觸發信號。因此，複數個通信元件之各者不必始終持續地發送觸發信號。因此，不會產生因複數個通信元件發送觸發信號而導致觸發信號之相互干擾。如此，根據上述控制方法，可抑制搬送系統中之通信障礙之產生。
又，亦可為，上述控制方法進一步包含有第3取得步驟，該第3取得步驟係上述搬送台車藉由自上述控制器接收指示其移行至上述特定的設備之位置之移行指示，而取得上述交接位置資訊的步驟；且於上述計算步驟中，上述搬送台車根據所取得之上述交接位置資訊與上述台車位置資訊來計算上述距離，於上述判定步驟中，上述搬送台車判定上述距離是否為上述既定距離以下，於上述第1發送步驟中，於上述距離被判定為上述既定距離以下之情形時，上述搬送台車將上述觸發信號以無線之方式發送至周圍。
藉此，複數個通信元件之各者不需一定要具有發送觸發信號之功能。因此，根據上述控制方法，可將上述控制方法應用於由包含不具有發送觸發信號之功能之通信元件所構成之搬送系統。
又，亦可為，上述複數個通信元件儲存用以將該等分 別識別為不同者之識別碼，且於上述第1發送步驟中，上述搬送台車將包含用以識別上述特定的通信元件之特定的識別碼之上述觸發信號發送至周圍，於上述執行步驟中，上述特定的通信元件藉由確認上述觸發信號中包含有上述特定的識別碼，而將上述搬送台車特定為通信對象，且根據該特定，上述搬送台車及上述特定的通信元件執行上述無線通信。
藉此，特定的通信元件藉由確認觸發信號所包含之用以識別本身的通信元件之識別碼，而認知到本身的通信元件為特定的通信元件。因此，根據上述控制方法，搬送台車及特定的通信元件可較為容易地實現用以在搬送台車與特定的設備之間交接搬送物之無線通信之執行。
又，亦可為，上述搬送系統進一步具備有中繼裝置，該中繼裝置中繼上述搬送台車與上述複數個通信元件之間之無線通信；且上述控制方法進一步包含有第3取得步驟，該第3取得步驟係上述搬送台車藉由自上述控制器接收指示其移行至上述特定的設備之位置之移行指示，而取得上述交接位置資訊的步驟；於上述計算步驟中，上述搬送台車根據所取得之上述交接位置資訊與上述台車位置資訊來計算上述距離，於上述判定步驟中，上述搬送台車判定上述距離是否為上述既定距離以下，上述控制方法進一步包含有第2發送步驟，該第2發送步驟係於上述距離被判定為上述既定距離以下之情形時，上述搬送台車將指示應發送上述觸發信號之發送指示，經由上述中繼裝置以無線之方式發送至上述特定的通信元件的步驟；於上述第1發送步驟中，於接收到上述發送指示之情形時，上述特定的通信元件將上述觸發信號以無線之方式發送至周圍。
藉此，搬送台車不需一定要具有發送觸發信號之功能。因此，根據上述控制方法，可將上述控制方法應用於由包含不具有發送觸發信號之功能之搬送台車所構成之搬送系統。
又，亦可為，上述複數個通信元件儲存用以將該等分別識別為不同者之識別碼，上述搬送台車儲存表示上述複數個通信元件與複數個上述識別碼之對應關係之對應資訊，且於上述第1發送步驟中，上述特定的通信元件將包含用以識別上述特定的通信元件之特定的識別碼之上述觸發信號以無線之方式發送至周圍，於上述執行步驟中，上述搬送台車根據上述觸發信號中包含之上述特定的識別碼、及上述對應資訊，將上述特定的通信元件特定為通信對象，且根據該特定，上述搬送台車及上述特定的通信元件執行上述無線通信。
藉此，搬送台車使用觸發信號所包含之識別碼將特定的通信元件特定為通信對象。因此，根據上述控制方法，搬送台車及特定的通信元件可較為容易地實現用以在搬送台車與特定的設備之間交接搬送物之無線通信之執行。
為了解決上述問題，本發明一態樣之搬送系統具備有用以搬送搬送物之搬送台車、被連接於上述搬送物所要被交接之複數個設備之複數個通信元件、及控制上述搬送台車之移行之控制器；其中，上述控制器取得將上述搬送台車應交接上述搬送物之設備加以特定之設備特定資訊，上述搬送台車取得表示上述搬送台車之位置之台車位置資訊，上述搬送台車、被連接於要由上述設備特定資訊所特定出之特定的設備之特定的通信元件、及上述控制器中之任一者，根據表示上述特定的設備之位置之交接位置資訊與上述 台車位置資訊，來計算上述搬送台車與上述特定的通信元件之間之距離，上述搬送台車、上述特定的通信元件、及上述控制器中之任一者判定上述距離是否為既定距離以下，於上述距離被判定為上述既定距離以下之情形時，上述搬送台車與上述特定的通信元件中之一者將用以在上述搬送台車與上述特定的設備之間開始進行無線通信之觸發信號以無線之方式發送至周圍，於上述觸發信號在上述搬送台車與上述特定的通信元件之間進行無線通信之情形時，上述搬送台車及上述特定的通信元件執行用以在上述搬送台車與上述特定的設備之間交接上述搬送物之無線通信。
根據上述搬送系統，若搬送台車與特定的通信元件之距離成為既定距離以下，搬送台車與特定的通信元件中之一者便發送觸發信號。因此，複數個通信元件之各者不需一定要始終持續地發送觸發信號。因此，不會產生因複數個通信元件發送觸發信號所導致觸發信號之相互干擾。如此，根據上述搬送系統，可抑制通信障礙之產生。
又，亦可為，上述搬送台車藉由自上述控制器接收指示其移行至上述特定的設備之位置之移行指示，而取得上述交接位置資訊，上述搬送台車根據所取得之上述交接位置資訊與上述台車位置資訊來計算上述距離，上述搬送台車判定上述距離是否為上述既定距離以下，於上述距離被判定為上述既定距離以下之情形時，上述搬送台車將上述觸發信號以無線之方式發送至周圍。
藉此，複數個通信元件之各者不需一定要具有發送觸發信號之功能。因此，根據上述搬送系統，可包含不具有發送觸發信號之功能之通信元件。
又，亦可為，上述複數個通信元件儲存用以將該等分別識別為不同者之識別碼，上述搬送台車將包含用以識別上述特定的通信元件之特定的識別碼之上述觸發信號發送至周圍，上述特定的通信元件藉由確認上述觸發信號中包含有上述特定的識別碼，而將上述搬送台車特定為通信對象，且根據該特定，上述搬送台車及上述特定的通信元件執行上述無線通信。
藉此，特定的通信元件藉由確認觸發信號所包含之用以識別本身的通信元件之識別碼，而認知到本身的通信元件為特定的通信元件。因此，根據上述搬送系統，搬送台車及特定的通信元件可較為容易地實現用以在搬送台車與特定的設備之間交接搬送物之無線通信之執行。
又，搬送系統亦可進一步具備有中繼裝置，該中繼裝置中繼上述搬送台車與上述複數個通信元件之間之無線通信；上述搬送台車藉由自上述控制器接收指示其移行至上述特定的設備之位置之移行指示，而取得上述交接位置資訊，上述搬送台車根據所取得之上述交接位置資訊與上述台車位置資訊來計算上述距離，上述搬送台車判定上述距離是否為上述既定距離以下，於上述距離被判定為上述既定距離以下之情形時，上述搬送台車將指示應發送上述觸發信號之發送指示，經由上述中繼裝置以無線之方式發送至上述特定的通信元件，於接收到上述發送指示之情形時，上述特定的通信元件將上述觸發信號以無線之方式發送至周圍。
藉此，搬送台車不需一定要具有發送觸發信號之功能。因此，根據上述搬送系統，可包含不具有發送觸發信號之功能之搬送台車。
又，亦可為，上述複數個通信元件儲存用以將該等分別識別為不同者之識別碼，上述搬送台車儲存表示上述複數個通信元件與複數個上述識別碼之對應關係之對應資訊，上述特定的通信元件將包含用以識別上述特定的通信元件之特定的識別碼之上述觸發信號以無線之方式發送至周圍，上述搬送台車根據上述觸發信號所包含之上述特定的識別碼、及上述對應資訊，將上述特定的通信元件特定為通信對象，且根據該特定，上述搬送台車及上述特定的通信元件執行上述無線通信。
藉此，搬送台車使用觸發信號所包含之識別碼，將特定的通信元件特定為通信對象。因此，根據上述搬送系統，搬送台車及特定的通信元件可較為容易地實現用以在搬送台車與特定的設備之間交接搬送物之無線通信之執行。
為了解決上述問題，本發明一態樣之通信元件係被連接於搬送物所要被交接之特定的設備者；其中，於自用以搬送上述搬送物之搬送台車經由中繼上述搬送台車與上述通信元件之間之無線通信之中繼裝置而接收到指示應發送用以在上述搬送台車與上述特定的設備之間開始進行無線通信之觸發信號之發送指示之情形時，將上述觸發信號以無線之方式發送至周圍。
上述通信元件於接收到發送指示之情形時，發送觸發信號。因此，上述通信元件不需始終持續地發送觸發信號。因此，若將上述通信元件利用在由包含複數個通信元件所構成之搬送系統，便不會產生因複數個通信元件之各者發送觸發信號所導致觸發信號之相互干擾。如此，根據上述通信元件，可抑制通信障礙之產生。
又，通信元件亦可儲存用以將上述通信元件識別為不同者之識別碼，於上述觸發信號之發送中，將包含所儲存之上述識別碼之上述觸發信號以無線之方式發送至周圍，於上述搬送台車根據所接收到之上述觸發信號所包含之上述識別碼而將上述通信元件特定為通信對象之情形時，於上述通信元件與上述搬送台車之間執行用以在上述搬送台車與上述特定的設備之間交接上述搬送物之無線通信。
藉此，搬送台車使用觸發信號所包含之識別碼，將上述通信元件特定為通信對象。因此，根據上述通信元件，可在與搬送台車之間較為容易地實現用以在搬送台車與特定的設備之間交接搬送物之無線通信之執行。
根據本發明之控制方法等，可抑制搬送系統中之通信障礙之產生。
1、1a‧‧‧搬送系統
2‧‧‧移行路線
10、10a、10b、10c、10d、10e、10f、10g、10h、10i、10j、10k、10m、60、60a、60b、60c、60d、60e、60f、60g、60h、60i、60j、60k、60m‧‧‧通信元件
12、62‧‧‧通信部
13、63‧‧‧控制部
20‧‧‧控制器
30、80‧‧‧搬送台車
31‧‧‧把持部
32、82‧‧‧台車控制部
33、83‧‧‧台車通信部
40、40a、40b、40c、40d、40e、40f、40g、40h、40i、40j、40k、40m‧‧‧設備
50、50a、50b、50c‧‧‧半導體製造裝置
51‧‧‧FOUP搬入搬出口
90‧‧‧中繼裝置
100‧‧‧搬送物
圖1係實施形態1之搬送系統的構成圖。
圖2係表示實施形態1之搬送系統之概要的外觀圖。
圖3係表示實施形態1之搬送系統之功能構成的方塊圖。
圖4係實施形態1之互鎖通信開始處理的流程圖。
圖5係實施形態2之搬送系統的構成圖。
圖6係表示實施形態2之搬送系統之功能構成的方塊圖。
圖7係實施形態2之互鎖通信開始處理的流程圖。
以下，一邊參照圖式一邊對實施形態具體地進行說明。
以下所說明之實施形態，均為表示本發明較佳之一具體例者。以下之實施形態所示之數值、形狀、材料、構成元件、構成元件之配置位置及連接形態、步驟、步驟之順序等為一例，並非用以限定本發明者。又，關於以下之實施形態之構成元件中未被記載於表示本發明之最上位概念之獨立請求項之構成元件，作為構成更佳形態之任意之構成元件進行說明。再者，對於相同之構成元件標示相同之符號，並存在有省略說明之情形。
(實施形態1)
以下，對搬送搬送物之搬送系統進行說明。
圖1係實施形態1之搬送系統1的構成圖。
如圖1所示般，搬送系統1係構成為包含有：用以搬送搬送物之搬送台車30；被連接於搬送物所要被交接之複數個設備40a~40k、40m之複數個通信元件10a~10k、10m；及控制搬送台車30之移行之控制器20。
此處，搬送系統1為於具備有半導體製造裝置50a~50c之半導體工廠中，被運用作為將收納有半導體晶圓之FOUP作為搬送物而加以搬送之搬送系統的例子。
以下，除了必須明確地區別各個體而進行說明之情形外，將通信元件10a~10k、10m稱為通信元件10。又，除了必須明確地區別各個體而進行說明之情形外，將設備40a~40k、40m稱為設備40。又，除了必須明確地區別各個體而進行說明之情形外，將 半導體製造裝置50a~50c稱為半導體製造裝置50。
再者，此處，搬送系統1雖作為不包含設備40及半導體製造裝置50而進行說明，但搬送系統1亦可包含設備40及半導體製造裝置50之一者或雙方。又，於圖1中，搬送台車30雖圖示為1台，但亦可為複數台。
圖2係表示搬送系統1之概要之外觀圖。
圖2所示之半導體製造裝置50係對半導體晶圓進行加工之裝置，其具備有用以將作為搬送物100之FOUP加以搬入及搬出之FOUP搬入搬出口51。
設備40係供作為搬送物100之FOUP載置之載置埠，被配置於半導體製造裝置50之FOUP搬入搬出口51附近，在與搬送台車30之間、及與半導體製造裝置50之間交接搬送物100。
又，設備40經由有線纜線而在與通信元件10之間收發信號。此處，對於1個半導體製造裝置50，例如設置有4個設備40，且各設備40與1個通信元件10一對一地被連接。因此，1個半導體製造裝置50與複數個(此處為4個)通信元件10經由複數個(此處為4個)設備40而被連接。
再者，於本實施形態1中，設備40雖以與通信元件10一對一之連接進行說明，但亦可為例如藉由設備40a及40b連接於通信元件10a且設備40之40c、40d連接於通信元件10b等二對一之連接來減少通信元件10之數量的構成。如此一來，可得到搬送系統整體之成本削減效果。
搬送台車30係在與設備40之間交接搬送物100且沿著移行路線2搬送搬送物100之台車，於內部具備有把持搬送物100之 把持部31。把持部31例如被設置為可進行升降，當將搬送物100在與設備40之間進行移載時，被下降至設備40附近。再者，把持部31亦可被設置為可朝水平方向移動。
通信元件10係包含通信功能之裝置，而該通信功能係中繼為了在設備40與搬送台車30之間交接搬送物所通信之信號之收發，具體而言係互鎖處理之信號(以下稱為「互鎖信號」)之收發(以下稱為「互鎖通信」)。互鎖信號例如為封包。所謂互鎖處理，係指若特定的條件不成立便無法進行其他動作之處理。互鎖處理例如可為由SEMI E84規格所規定之處理。藉由在搬送系統1中進行互鎖處理，可設為：在將搬送物100自搬送台車30移載至設備40時，若特定的條件不成立便不移轉至下一個步驟。所謂特定的條件，例如為特定的搬送台車30對欲進行搬送物100之交接之特定的設備40，發送包含使其確認當下是否處於可進行交接之狀態之指示(互鎖處理之執行指令)的互鎖信號，並自特定的設備40成功接收到包含表示當下處於可進行移載之狀態之回應之互鎖信號等的條件。藉此，可安全地且確實地進行搬送物100自特定的搬送台車30朝向特定的設備40之交接。
通信元件10於設備40與搬送台車30之間之互鎖通信之中繼時，通信元件10與搬送台車30之間之通信藉由無線之方式來進行，而通信元件10與設備40之間之通信藉由經由有線纜線之有線之方式來進行。此處，作為無線通信，例如可採用在依據IEEE802.11a、b、g、n規格、ISM頻帶下之通信所使用之ANT通信規格等之通信、Sub Giga頻率帶之通信。
又，作為有線通信，例如可採用IEEE802.3規格、平 行通信、串列通信等之通信。
以下，對構成搬送系統1之各構成元件，更詳細地進行說明。
圖3係表示搬送系統1之功能構成的方塊圖。
控制器20控制搬送台車30之移行。控制器20例如利用沿著供搬送台車30移行之移行路線2(參照圖2)所配置之洩漏饋電線，而與搬送台車30以非接觸之方式進行通信，並對搬送台車30發送各種控制信號，藉此進行搬送台車30之移行之控制。控制器20與搬送台車30之通信，亦可採用非接觸且使控制信號重疊於被供給至沿著移行路線2所配置之鉸合線(Litz wire)之電力的方式。
控制器20自外部裝置(例如於運用有搬送系統1之半導體製造工廠，對半導體製造步驟進行管理之管理系統之管理伺服器)取得將搬送台車30應交接搬送物100之設備40加以特定的設備特定資訊。
控制器20若取得設備特定資訊，便將指示移行至由設備特定資訊所特定出之特定的設備40之位置之移行指示，發送至搬送台車30。
控制器20例如藉由具備有處理器、記憶體及通信介面之電腦裝置所實現。於該情形時，控制器20之各種功能藉由處理器執行被儲存於記憶體之程式所實現。
搬送台車30係構成為包含有把持部31、台車控制部32及台車通信部33。
台車通信部33與通信元件10及控制器20進行通信。台車通信部33在與通信元件10之間進行無線通信，並在與控制器20之 間以非接觸之方式進行通信。
台車通信部33具有對外部發送觸發信號(例如，信標、配對信號)之主基地台模式、及不對外部發送觸發信號之子基地台模式之2個動作模式。台車通信部33之動作模式藉由台車控制部32而被設定為主基地台模式與子基地台模式之任一者。台車通信部33之動作模式於滿足既定條件之特別期間以外之平常時，設定為子基地台模式。
台車控制部32控制搬送台車30。
台車控制部32取得表示搬送台車30之位置之台車位置資訊。台車控制部32例如可具備有條碼讀取器，並藉由讀取以既定間隔(例如3m)被配置於移行路線2之條碼，來取得移行路線2上之台車位置資訊。於該情形時，台車控制部32可在搬送台車30位於條碼之間時，藉由使用自用以使搬送台車30移行之驅動裝置(例如，馬達)所輸出之編碼信號來內插(interpolation)其為條碼之間之哪一個位置，而取得台車位置資訊。
台車控制部32經由台車通信部33接收自控制器20所發送之移行指示，藉此取得表示搬送台車30應交接搬送物100之特定的設備40之位置之交接位置資訊。
台車控制部32根據所取得之台車位置資訊、及所取得之交接位置資訊，計算搬送台車30與被連接於特定的設備40之特定的通信元件10之間之距離，具體而言，計算搬送台車30與特定的通信元件10之沿著移行路線2之距離，並判定所計算出之距離是否為既定距離以下。再者，搬送台車30與特定的通信元件10之距離，亦可為連結兩者之直線距離。此處，台車控制部32由於特定的通信元 件10與特定的設備40位於大致相同之位置，因此可將特定的設備40與搬送台車30之間之距離視為特定的通信元件10與搬送台車30之間之距離。
台車控制部32於所計算出之距離被判定為既定距離以下之情形時，將台車通信部33之動作模式設定為主基地台模式。然後，台車控制部32將用以在搬送台車30與上述特定的設備40之間開始進行無線通信之互鎖通信之觸發信號，經由台車通信部33以無線之方式發送至周圍。觸發信號包含識別特定的通信元件10之識別碼。此處，識別碼係被分配至複數個通信元件10之各者，且用以將複數個通信元件10之各者分別識別為不同者之識別碼。識別碼例如若無線通信為依據IEEE802.11規格之通信，則亦可為識別網路之SSID(服務設定識別符；Service Set Identifier)。又，識別碼例如若無線通信為依據ANT通信規格之通信，則亦可為(不重複地)被預先分配至複數個通信元件10之各者之裝置編號等。
於觸發信號在台車控制部32與特定的通信元件10之間進行無線通信之情形時，台車控制部32經由台車通信部33而於與特定的通信元件10之間，執行用以在台車控制部32與特定的設備40之間交接搬送物100之作為無線通信之互鎖通信。
台車控制部32例如亦可於發送觸發信號之後，自上述特定的通信元件10經由台車通信部33接收表示已接收到包含識別本身的通信元件10之識別碼之觸發信號之回應信號，藉此開始進行互鎖通信之執行。
台車控制部32例如由搬送台車30所具備之處理器執行被儲存於搬送台車30所具備之記憶體之程式所實現。
通信元件10係構成為包含有通信部12及控制部13。
通信部12與搬送台車30及設備40進行通信。通信部12在與搬送台車30之間進行無線通信，並在與設備40之間經由有線纜線而進行有線通信。
控制部13對通信元件10進行控制。
控制部13儲存用以將包含自身之通信元件10識別為不同者之識別碼。亦即，複數個通信元件10將用以將該等分別識別為不同者之識別碼，儲存於各自之控制部13。
控制部13於自搬送台車30經由通信部12而接收到觸發信號之情形時，於確認到該觸發信號包含有所儲存之識別碼時，將搬送台車30特定為通信對象。然後，根據該特定，經由通信部12而於與搬送台車30之間，執行用以在搬送台車30與連接有通信元件10之設備40之間交接搬送物之作為無線通信之互鎖通信。
控制部13亦可設為例如若確認到所接收到之觸發信號包含有所儲存之識別碼，便經由通信部12將表示已接收到包含識別本身的通信元件10之識別碼之觸發信號之意旨的回應信號，發送至搬送台車30。
控制部13例如由通信元件10所具備之處理器來執行被儲存於通信元件10所具備之記憶體之程式所實現。
以下，對上述構成之搬送系統1所執行之動作進行說明。
搬送系統1進行開始用以在設備40與搬送台車30之間交接搬送物100之互鎖通信之互鎖通信開始處理。
圖4係互鎖通信開始處理之流程圖。
互鎖通信開始處理例如藉由搬送系統1被啟動而開始。
若互鎖通信開始處理開始，控制器20便自外部裝置取得將搬送台車30應交接搬送物100之設備40加以特定的設備特定資訊(步驟S10)。
若取得設備特定資訊，控制器20便將指示移行至由所取得之設備特定資訊所特定出之特定的設備40之位置之移行指示，發送至搬送台車30(步驟S20)。
若移行指示被發送，搬送台車30便藉由接收移行指示，而取得表示搬送台車30應交接搬送物100之特定的設備40之位置的交接位置資訊(步驟S30)。
若取得交接位置資訊，搬送台車30便取得表示自身(搬送台車30)之當下位置之台車位置資訊(步驟S40)。
若取得台車位置資訊，搬送台車30便根據所取得之交接位置資訊、及所取得之台車位置資訊，而計算搬送台車30與被連接於特定的設備40之特定的通信元件10之間之距離(步驟S50)。
若計算出搬送台車30與特定的通信元件10之間之距離，搬送台車30便判定所計算出之距離是否為既定距離以下(步驟S60)。
於步驟S60之處理中，在所計算出之距離並非既定距離以下之情形時(步驟S60：No)，搬送系統1再次前進至步驟S40之處理。
於步驟S60之處理中，在所計算出之距離為既定距離以下之情形時(步驟S60：Yes)，搬送台車30將台車通信部33之動作 模式設定為主基地台模式，並將觸發信號以無線之方式發送至周圍(步驟S70)，其中，該觸發信號係包含將與特定的設備40建立關聯之通信元件10加以特定之特定的識別碼者且用於開始用以在搬送台車30與特定的設備40之間交接搬送物100之作為無線通信之互鎖通信。
若觸發信號被發送，特定的通信元件10便接收觸發信號，確認所接收到之觸發信號包含有特定的識別碼(例如，SSID等)，並將搬送台車30特定為通信對象(步驟S80)。
若特定的通信元件10將搬送台車30特定為通信對象，搬送台車30及特定的通信元件10便執行用以在搬送台車30與特定的設備40之間交接搬送物100之作為無線通信之互鎖通信(步驟S90)。
若步驟S90之處理結束，搬送系統1便結束該互鎖通信開始處理。
如上所述般，上述構成之搬送系統1於互鎖通信開始處理中，若搬送台車30與特定的通信元件10之距離為既定距離以下，搬送台車30便發送觸發信號，用以在搬送台車30與複數個通信元件10中特定的通信元件10之間開始無線通信。因此，複數個通信元件10不需為了開始無線通信而發送觸發信號。因此，不會產生因複數個通信元件10分別發送觸發信號所導致觸發信號之相互干擾。如此，根據上述構成之搬送系統1，可抑制通信障礙之產生。
(實施形態2)
以下，對構成之一部分從實施形態1之搬送系統1被變更之實施 形態2之搬送系統進行說明。
實施形態1之搬送系統1係搬送台車30發送觸發信號之構成的例子。相對於此，實施形態2之搬送系統為特定的通信元件發送觸發信號之構成的例子。
圖5係實施形態2之搬送系統1a的構成圖。
如圖5所示，搬送系統1a相對於實施形態1之搬送系統1，係實施形態1之搬送台車30被變更為搬送台車80，實施形態1之通信元件10a~10k、10m分別被變更為通信元件60a~60k、60m，並追加中繼裝置90所構成。
以下，與實施形態1同樣地，除了必須明確地區別各個體來說明之情形外，將通信元件60a~60k、60m稱為通信元件60。
中繼裝置90中繼搬送台車80與通信元件60之間之無線通信。中繼裝置90例如可為存取點。
以下，將構成搬送系統1a之各構成元件，以與實施形態1之搬送系統1之不同點為中心更詳細地進行說明。
圖6係表示搬送系統1a之構成的方塊圖。
如圖6所示，搬送台車80係從實施形態1之搬送台車30，台車控制部32被變更為台車控制部82，而台車通信部33被變更為台車通信部83所構成。
台車通信部83與通信元件60、中繼裝置90及控制器20進行通信。台車通信部83在與通信元件60及中繼裝置90之間進行無線通信，並在與控制器20之間利用洩漏饋電線以非接觸之方式進行通信。
台車通信部83與實施形態1之台車通信部33不同，不 需具有對外部發送觸發信號之主基地台模式來作為動作模式。
台車控制部82與實施形態1之台車控制部32同樣地，取得自身之台車位置資訊，取得交接位置資訊，計算搬送台車80與被連接於特定的設備40之特定的通信元件60之間之距離，並判定所計算出之距離是否為既定距離以下。
台車控制部82於所計算出之距離被判定為既定距離以下之情形時，將指示應發送觸發信號之發送指示，經由台車通信部83並經由中繼裝置90而以無線之方式發送至特定的通信元件60。
台車控制部82經由台車通信部83，接收自複數個通信元件60之任一者所發送之觸發信號。
台車控制部82儲存表示複數個通信元件60與用以將複數個通信元件60之各者識別為不同者之複數個識別碼(例如SSID等)之對應關係的對應資訊。
台車控制部82若自特定的通信元件60經由台車通信部83而接收到包含識別特定的通信元件60之特定的識別碼的觸發信號，便根據該特定的識別碼與對應資訊，將該特定的通信元件60特定為通信對象。然後，依照該特定結果，台車控制部82經由台車通信部83，而於與特定的通信元件60之間執行用以在台車控制部82與特定的設備40之間交接搬送物100之作為無線通信之互鎖通信。
台車控制部82例如亦可設為若確認到所接收到之觸發信號包含有識別特定的通信元件60之特定的識別碼，便將表示已接收到包含特定的識別碼之觸發信號之意旨的回應信號，發送至特定的通信元件60。
台車控制部82例如與實施形態1之台車控制部32同樣 地，由搬送台車80所具備之處理器執行被儲存於搬送台車80所具備之記憶體之程式所實現。
通信元件60係從實施形態1之通信元件10，通信部12被變更為通信部62，且控制部13被變更為控制部63所構成。
通信部62與搬送台車80、中繼裝置90及設備40進行通信。通信部62在與搬送台車80及中繼裝置90之間進行無線通信，並在與設備40之間經由有線纜線而進行有線通信。
通信部62具有對外部發送觸發信號(例如信標、配對信號)之主基地台模式、及不對外部發送觸發信號之子基地台模式之2個動作模式。通信部62之動作模式藉由控制部63，被設定為主基地台模式與子基地台模式之任一者。通信部62之動作模式於滿足既定條件之特別期間以外之平常時，被設定為子基地台模式。
控制部63對通信元件60進行控制。
控制部63儲存用以將包含自身之通信元件60識別為不同者之識別碼。亦即，複數個通信元件60將用以將該等分別識別為不同者之識別碼儲存於各自之控制部63。
控制部63若自搬送台車80經由中繼裝置90並經由通信部62接收到發送指示，便將通信部62之動作模式設定為主基地台模式。然後，控制部63將用以在搬送台車30與被連接於包含自身之通信元件60之設備40之間開始進行作為無線通信之互鎖通信之觸發信號，經由通信部62而以無線之方式發送至周圍。此時，控制部63將所儲存之識別碼包含於觸發信號而加以發送。
於觸發信號在控制部63與搬送台車80之間進行無線通信之情形時，控制部63經由通信部62於與搬送台車80之間，執行 用以在搬送台車80與被連接於包含自身之通信元件60之設備40之間交接搬送物100之作為無線通信之互鎖通信。
控制部63例如亦可設為於發送觸發信號之後，自搬送台車80經由通信部62接收表示已接收到包含特定的識別碼之觸發信號之意旨的回應信號，藉此開始互鎖通信之執行。
控制部63例如由通信元件60所具備之處理器執行被儲存於通信元件60所具備之記憶體之程式所實現。
以下，對上述構成之搬送系統1a所執行之動作進行說明。
搬送系統1a執行，開始用以在設備40與搬送台車80之間交接搬送物100之互鎖通信的互鎖通信開始處理。該實施形態2之互鎖通信開始處理，為從實施形態1之互鎖通信開始處理，一部分之處理被變更之處理。
圖7係實施形態2之互鎖通信開始處理的流程圖。
於互鎖通信開始處理中，步驟S110之處理至步驟S160之處理分別為與相對於實施形態1之互鎖通信開始處理中步驟S10之處理至步驟S60之處理，將通信元件10替換為通信元件60，將搬送台車30替換為搬送台車80，並將搬送系統1替換為搬送系統1a之處理相同之處理。因此，針對步驟S110之處理至步驟S160之處理，作為已完成說明者，此處省略該等之說明，而以步驟S170之處理至步驟S200之處理為中心來進行說明。
於步驟S160之處理中，於所計算出之距離為既定距離以下之情形時(步驟S160：Yes)，搬送台車80將指示應發送觸發信號之發送指示經由中繼裝置90，而以無線之方式發送至特定的通信元 件10(步驟S170)。
若發送指示自搬送台車80被發送，特定的通信元件60便經由中繼裝置90接收發送信號，並將通信部62之動作模式設定為主基地台模式。然後，特定的通信元件60將觸發信號以無線之方式發送至周圍(步驟S180)，其中，該觸發信號係用以在搬送台車30與被連接於特定的通信元件60之設備40之間開始作為無線通信之互鎖通信者且包含識別特定的通信元件60之特定的識別碼。
若觸發信號被發送，搬送台車80接收觸發信號，並根據觸發信號所包含之特定的識別碼、及所儲存之對應資訊，將該特定的通信元件10特定為通信對象(步驟S190)。
若搬送台車80將特定的通信元件60特定為通信對象，搬送台車80及特定的通信元件60便執行用以在搬送台車80與特定的設備40之間交接搬送物100之作為無線通信之互鎖通信(步驟S200)。
若步驟S200之處理結束，搬送系統1a便結束該互鎖通信開始處理。
如上所述般，上述構成之搬送系統1a於互鎖通信開始處理中，若搬送台車80與特定的通信元件60之距離為既定距離以下，複數個通信元件60中之1個特定的通信元件60便發送觸發信號。因此，其他通信元件60不需發送觸發信號。因此，不會產生因複數個通信元件60發送觸發信號所導致觸發信號之相互干擾。如此，根據上述構成之搬送系統1a，可抑制通信障礙之產生。
(其他實施形態)
以上，雖已根據實施形態1及實施形態2對本發明之控制方法、搬送系統及通信元件進行說明，但本發明並非被限定於該等實施形態者。只要不脫離本發明之主旨，則對本實施形態實施本發明所屬技術領域中其有通常知識者可思及之各種變形者、及將不同實施形態中之構成元件加以組合所構成之形態，亦包含於本發明之範圍內。
(1)於實施形態1及實施形態2中，搬送系統已設為如下之構成而進行說明：搬送台車根據交接位置資訊與自身之台車位置資訊，計算搬送台車與特定的通信元件之間之距離，且搬送台車判定所計算出之距離是否為既定距離以下。然而，本發明之搬送系統只要為如下之構成即可：搬送台車、特定的通信元件及控制器中之任一者根據交接位置資訊與台車位置資訊，計算搬送台車與特定的通信元件之間之距離，且搬送台車、特定的通信元件及控制器中之任一者判定所計算出之距離是否為既定距離以下。
例如，利用控制器而根據交接位置資訊與台車位置資訊所進行搬送台車與特定的通信元件之間之距離的計算，可藉由以下之方式來實現：控制器藉由例如對洩漏饋電線之非接觸通信、或使信號重疊於饋電鉸合線之重疊通信，而自搬送台車接收台車位置資訊。
例如，利用特定的通信元件而根據交接位置資訊與台車位置資訊所進行之搬送台車與特定的通信元件之間之距離的計算，可藉由以下之方式來實現：特定的通信元件藉由例如經由中繼裝置之無線通信，而自控制器接收交接位置資訊，且特定的通信元件藉由例如經由中繼裝置之無線通信，而自搬送台車接收台車位置 資訊。
例如，於搬送台車計算搬送台車與特定的通信元件之間之距離之情形時利用特定的通信元件所進行所計算出之距離是否為既定距離以下的判定，可由以下之方式來實現：特定的通信元件藉由例如中繼裝置所中繼之無線通信，而自搬送台車接收表示所計算出之距離的資訊。
例如，於特定的通信元件計算搬送台車與特定的通信元件之間之距離之情形時，利用特定的通信元件所進行所計算出之距離是否為既定距離以下的判定，可藉由特定的通信元件直接利用所計算出之距離來實現。
例如，於控制器計算搬送台車與特定的通信元件之間之距離之情形時利用控制器所進行所計算出之距離是否為既定距離以下的判定，可藉由控制器直接利用所計算出之距離來實現。
藉此，作為本發明之搬送系統之一例，除了實施形態1中所說明之搬送系統1、及實施形態2中所說明之搬送系統1a外，例如，亦可為以下之搬送系統1b至搬送系統1e。
本發明之搬送系統1b(未圖示)中，例如，搬送台車根據交接位置資訊與台車位置資訊而計算搬送台車與特定的通信元件之間之距離，特定的通信元件判定所計算出之距離是否為既定距離以下，特定的通信元件發送觸發信號。
本發明之搬送系統1c(未圖示)，例如特定的通信元件根據交接位置資訊與台車位置資訊來計算搬送台車與特定的通信元件之間之距離，特定的通信元件判定所計算出之距離是否為既定距離以下，特定的通信元件發送觸發信號。
本發明之搬送系統1d(未圖示)，例如控制器根據交接位置資訊與台車位置資訊來計算搬送台車與特定的通信元件之間之距離，控制器判定所計算出之距離是否為既定距離以下，搬送台車發送觸發信號。
本發明之搬送系統1e(未圖示)，例如控制器根據交接位置資訊與台車位置資訊來計算搬送台車與特定的通信元件之間之距離，控制器判定所計算出之距離是否為既定距離以下，特定的通信元件發送觸發信號。
(2)於實施形態1中，一對一地被連接於通信元件10之設備，雖為供搬送物100載置之載置埠，但並不限於此。例如，設備亦可為半導體製造裝置50。亦即，複數個通信元件10之各者亦可與複數個半導體製造裝置50之各者一對一地連接，由一台通信元件10負責複數個載置埠。
又，例如，設備亦可為以複數個半導體製造裝置50之集合為1個單位之半導體製造裝置50群。亦即，複數個通信元件10之各者亦可與複數個半導體製造裝置50群之各者一對一地連接，由一台通信元件10負責複數個半導體製造裝置50。
又，例如，設備亦可為以複數個載置埠之集合為1個單位之載置埠群。亦即，複數個通信元件10之各者亦可與複數個載置埠群之各者一對一地連接。換言之，1個通信元件10亦可與複數個載置埠之集合一對一地連接。
此外，例如，設備亦可並非與半導體製造有關之載置埠或半導體製造裝置50等。例如，設備既可為與半導體製造無關者，亦可為載物台等。
(3)實施形態1之互鎖通信開始處理、及實施形態2之互鎖通信開始處理中之步驟，亦可由電腦(電腦系統)所執行。而且，本發明可作為用以使電腦執行實施形態1之互鎖通信開始處理、及實施形態2之互鎖通信開始處理所包含之步驟之程式而實現。此外，本發明可作為記錄有該程式之CD-ROM(唯讀光碟；compact disc read only memory)等非暫時性之電腦可讀取記錄媒體而實現。
例如，於本發明由程式(軟體)所實現之情形時，各步驟藉由程式利用電腦之CPU(中央處理單元；Central Processing Unit)、記憶體及輸入輸出電路等之硬體資源所執行而被執行。亦即，各步驟藉由CPU將資料自記憶體或輸入輸出電路等取得並進行運算、或將運算結果輸出至記憶體或輸入輸出電路等而被執行。
(4)於實施形態1中，搬送系統1所包含之複數個構成元件亦可分別作為專用或通用之電路而實現。該等構成元件既可作為1個電路而實現，亦可作為複數個電路而實現。
又，搬送系統1所包含之複數個構成元件亦可作為作為積體電路(IC：Integrated Circuit)之LSI(大規模積體電路；Large Scale Integration)而實現。該等構成元件既可個別地被單晶片化，亦可以包含一部分或全部之方式被單晶片化。LSI存在有會根據積體度之不同，而被稱為系統LSI、超級(Super)LSI或大規模(Ultra)LSI之情形。
又，積體電路並不限於LSI，亦可由專用電路或通用處理器所實現。如上所述般，亦可利用可程式化之FPGA(場可程式閘陣列；Field Programmable Gate Array)、或者可重構LSI內部之電路單元之連接及設定之可重配置處理器。
此外，若因半導體技術之進步或所衍生之其他技術而出現取代LSI之積體電路化之技術，則當然亦可使用該技術來進行搬送系統1所包含之各構成元件之積體電路化。
(5)其他，對實施形態1及實施形態2實施本發明所屬技術領域中具有通常知識者可思及之各種變形而可得到之形態、或於不脫離本發明主旨之範圍內將各實施形態之構成元件及功能任意地加以組合所實現之形態，亦包含於本發明中。
(產業上之可利用性)
本發明可利用在藉由無線通信進行互鎖處理之搬送系統等。
1‧‧‧搬送系統
10‧‧‧通信元件
12‧‧‧通信部
13‧‧‧控制部
20‧‧‧控制器
30‧‧‧搬送台車
31‧‧‧把持部
32‧‧‧台車控制部
33‧‧‧台車通信部
40‧‧‧設備

Claims (12)

  1. 一種控制方法，係具備有用以搬送搬送物之搬送台車、被連接於上述搬送物所要被交接之複數個設備之複數個通信元件、及控制上述搬送台車之移行之控制器之搬送系統之控制方法；其包含有：
    第1取得步驟，其係上述控制器取得將上述搬送台車應交接上述搬送物之設備加以特定之設備特定資訊的步驟；
    第2取得步驟，其係上述搬送台車取得表示上述搬送台車之位置之台車位置資訊的步驟；
    計算步驟，其係上述搬送台車、被連接於要由上述設備特定資訊所特定出之特定的設備之特定的通信元件、及上述控制器中之任一者，根據表示上述特定的設備之位置之交接位置資訊與上述台車位置資訊，來計算上述搬送台車與上述特定的通信元件之間之距離的步驟；
    判定步驟，其係上述搬送台車、上述特定的通信元件、及上述控制器中之任一者判定上述距離是否為既定距離以下的步驟；
    第1發送步驟，其係於上述距離被判定為上述既定距離以下之情形時，上述搬送台車與上述特定的通信元件中之一者將用以在上述搬送台車與上述特定的設備之間開始進行無線通信之觸發信號以無線之方式發送至周圍的步驟；以及
    執行步驟，其係於上述觸發信號在上述搬送台車與上述特定的通信元件之間進行無線通信之情形時，上述搬送台車及上述特定的通信元件執行用以在上述搬送台車與上述特定的設備之間交接上述搬送物之無線通信的步驟。
  2. 如請求項1之控制方法，其中，
    上述控制方法進一步包含有第3取得步驟，該第3取得步驟係上述搬 送台車藉由自上述控制器接收指示其移行至上述特定的設備之位置之移行指示，而取得上述交接位置資訊的步驟；且
    於上述計算步驟中，上述搬送台車根據所取得之上述交接位置資訊與上述台車位置資訊來計算上述距離，
    於上述判定步驟中，上述搬送台車判定上述距離是否為上述既定距離以下，
    於上述第1發送步驟中，於上述距離被判定為上述既定距離以下之情形時，上述搬送台車將上述觸發信號以無線之方式發送至周圍。
  3. 如請求項2之控制方法，其中，
    上述複數個通信元件儲存用以將該等分別識別為不同者之識別碼，且
    於上述第1發送步驟中，上述搬送台車將包含用以識別上述特定的通信元件之特定的識別碼之上述觸發信號發送至周圍，
    於上述執行步驟中，上述特定的通信元件藉由確認上述觸發信號中包含有上述特定的識別碼，而將上述搬送台車特定為通信對象，且根據該特定，上述搬送台車及上述特定的通信元件執行上述無線通信。
  4. 如請求項1之控制方法，其中，
    上述搬送系統進一步具備有中繼裝置，該中繼裝置中繼上述搬送台車與上述複數個通信元件之間之無線通信；且
    上述控制方法進一步包含有第3取得步驟，該第3取得步驟係上述搬送台車藉由自上述控制器接收指示其移行至上述特定的設備之位置之移行指示，而取得上述交接位置資訊的步驟；
    於上述計算步驟中，上述搬送台車根據所取得之上述交接位置資訊與上述台車位置資訊來計算上述距離，
    於上述判定步驟中，上述搬送台車判定上述距離是否為上述既定距離以下，
    上述控制方法進一步包含有第2發送步驟，該第2發送步驟係於上述距離被判定為上述既定距離以下之情形時，上述搬送台車將指示應發送上述觸發信號之發送指示，經由上述中繼裝置以無線之方式發送至上述特定的通信元件的步驟；
    於上述第1發送步驟中，於接收到上述發送指示之情形時，上述特定的通信元件將上述觸發信號以無線之方式發送至周圍。
  5. 如請求項4之控制方法，其中，
    上述複數個通信元件儲存用以將該等分別識別為不同者之識別碼，
    上述搬送台車儲存表示上述複數個通信元件與複數個上述識別碼之對應關係之對應資訊，且
    於上述第1發送步驟中，上述特定的通信元件將包含用以識別上述特定的通信元件之特定的識別碼之上述觸發信號以無線之方式發送至周圍，
    於上述執行步驟中，上述搬送台車根據上述觸發信號所包含之上述特定的識別碼、及上述對應資訊，將上述特定的通信元件特定為通信對象，且根據該特定，上述搬送台車及上述特定的通信元件執行上述無線通信。
  6. 一種搬送系統，其具備有用以搬送搬送物之搬送台車、被連接於上述搬送物所要被交接之複數個設備之複數個通信元件、及控制上述搬送台車之移行之控制器；其中，
    上述控制器取得將上述搬送台車應交接上述搬送物之設備加以特定之設備特定資訊，
    上述搬送台車取得表示上述搬送台車之位置之台車位置資訊，
    上述搬送台車、被連接於要由上述設備特定資訊所特定出之特定的設備之特定的通信元件、及上述控制器中之任一者，根據表示上述特定的設備之位置之交接位置資訊與上述台車位置資訊，來計算上述搬送台車與上述特定的通信元件之間之距離，
    上述搬送台車、上述特定的通信元件、及上述控制器中之任一者判定上述距離是否為既定距離以下，
    於上述距離被判定為上述既定距離以下之情形時，上述搬送台車與上述特定的通信元件中之一者將用以在上述搬送台車與上述特定的設備之間開始進行無線通信之觸發信號以無線之方式發送至周圍，
    於上述觸發信號在上述搬送台車與上述特定的通信元件之間進行無線通信之情形時，上述搬送台車及上述特定的通信元件執行用以在上述搬送台車與上述特定的設備之間交接上述搬送物之無線通信。
  7. 如請求項6之搬送系統，其中，
    上述搬送台車藉由自上述控制器接收指示其移行至上述特定的設備之位置之移行指示，而取得上述交接位置資訊，
    上述搬送台車根據所取得之上述交接位置資訊與上述台車位置資訊來計算上述距離，
    上述搬送台車判定上述距離是否為上述既定距離以下，
    於上述距離被判定為上述既定距離以下之情形時，上述搬送台車將上述觸發信號以無線之方式發送至周圍。
  8. 如請求項7之搬送系統，其中，
    上述複數個通信元件儲存用以將該等分別識別為不同者之識別碼，
    上述搬送台車將包含用以識別上述特定的通信元件之特定的識別碼 之上述觸發信號發送至周圍，
    上述特定的通信元件藉由確認上述觸發信號中包含有上述特定的識別碼，而將上述搬送台車特定為通信對象，且根據該特定，上述搬送台車及上述特定的通信元件執行上述無線通信。
  9. 如請求項6之搬送系統，其中，其進一步具備有中繼裝置，該中繼裝置中繼上述搬送台車與上述複數個通信元件之間之無線通信；
    上述搬送台車藉由自上述控制器接收指示其移行至上述特定的設備之位置之移行指示，而取得上述交接位置資訊，
    上述搬送台車根據所取得之上述交接位置資訊與上述台車位置資訊來計算上述距離，
    上述搬送台車判定上述距離是否為上述既定距離以下，
    於上述距離被判定為上述既定距離以下之情形時，上述搬送台車將指示應發送上述觸發信號之發送指示，經由上述中繼裝置以無線之方式發送至上述特定的通信元件，
    於接收到上述發送指示之情形時，上述特定的通信元件將上述觸發信號以無線之方式發送至周圍。
  10. 如請求項9之搬送系統，其中，
    上述複數個通信元件儲存用以將該等分別識別為不同者之識別碼，
    上述搬送台車儲存表示上述複數個通信元件與複數個上述識別碼之對應關係之對應資訊，
    上述特定的通信元件將包含用以識別上述特定的通信元件之特定的識別碼之上述觸發信號以無線之方式發送至周圍，
    上述搬送台車根據上述觸發信號所包含之上述特定的識別碼、及上述對應資訊，將上述特定的通信元件特定為通信對象，且根據該特定， 上述搬送台車及上述特定的通信元件執行上述無線通信。
  11. 一種通信元件，係被連接於搬送物所要被交接之特定的設備者；其中，
    於自用以搬送上述搬送物之搬送台車經由中繼上述搬送台車與上述通信元件之間之無線通信之中繼裝置而接收到指示應發送用以在上述搬送台車與上述特定的設備之間開始進行無線通信之觸發信號之發送指示之情形時，將上述觸發信號以無線之方式發送至周圍。
  12. 如請求項11之通信元件，其中，
    該通信元件儲存用以將上述通信元件識別為不同者之識別碼，
    於上述觸發信號之發送中，將包含所儲存之上述識別碼之上述觸發信號以無線之方式發送至周圍，
    於上述搬送台車根據所接收到之上述觸發信號所包含之上述識別碼而將上述通信元件特定為通信對象之情形時，於上述通信元件與上述搬送台車之間執行用以在上述搬送台車與上述特定的設備之間交接上述搬送物之無線通信。
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