JP6661172B2 - 通信装置、搬送システム、及び、通信装置の制御方法 - Google Patents

Description

本発明は、通信装置、搬送装置、搬送システム、及び、通信装置の制御方法に関する。

半導体製造装置に設けられた載置ポートと、天井走行台車などの搬送台車との間のインターロックのための通信には、ＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ａｎｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）のＥ８４通信シーケンスが適用される。搬送システムでは、ウェハ等を収納したポッドを被搬送物として天井走行台車により搬送し、載置ポートに移載する際、及び、載置ポートからポッドを搬出する際には、Ｅ８４通信シーケンスで、天井走行台車と載置ポートとの間で制御信号が授受される。

例えば、天井走行台車よりポッドを載置ポートに移載する際、特定の信号（Ｌ＿ＲＥＱ）がオフとならないと、次の工程には移行しないような複数の工程からなるインターロックシーケンスが採用されている（例えば、特許文献１参照）。これにより、天井走行台車から載置ポートへのポッドの移載を安全かつ確実に行おうとしている。

特許第５０５６３６８号公報

一般に、Ｅ８４通信シーケンスにおける載置ポートと天井走行台車との通信は、片方向で８ｂｉｔ（双方向の合計で１６ｂｉｔ）のパラレルインタフェースが使用されている。一方、コスト削減等のため、パラレルインタフェースに代えて、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）などのネットワークによって、入出力ポート（以下ＩＯポートという）の情報を伝達する構成を採用し得る。この構成においては、ＩＯポートの情報であるパラレル信号が通信パケット（以降、単にパケットという）に変換され、ネットワークを経由して伝達される。

パラレルインタフェースによって情報を伝達する場合は、パラレルインタフェースのＩＯポートの情報が常時接続先に伝達される。一方、ネットワーク通信を用いる構成においては、所定のタイミングでパケットがネットワーク経由で送信される。パラレルインタフェースの入出力ポートの情報をリアルタイムにパケットに含めて送信する場合、比較的短い時間（例えば５０ｍｓｅｃ）間隔でパケットを送信する必要があり、ネットワークにおける通信量の増大を招く。ネットワークにおける通信量の増大は、通信遅延又は通信ロスを引き起こしインターロックのエラーを招くという問題がある。

本発明は、上記問題を解決するためのものであり、インターロックシーケンスにおける通信に係る通信量の増大を抑制する通信装置等を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の一態様に係る通信装置は、被搬送物が載置される載置ポートとの間で通信するパラレルインタフェースと、前記載置ポートとの間で前記被搬送物を移載する搬送装置とネットワークを介して通信するネットワーク通信部と、前記パラレルインタフェース及び前記ネットワーク通信部を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、（ａ）前記載置ポートと前記搬送装置との間で前記被搬送物を移載するためのインターロックシーケンスに係る処理の実行コマンドを前記ネットワーク通信部により受信すると、前記処理の実行に必要なコマンドを順次に選定し、選定した前記コマンドの前記載置ポートへの送信と、前記載置ポートからの応答の受信とを複数回行うことで前記処理を実行させ、（ｂ）前記処理の実行結果を前記実行コマンドの応答として、前記ネットワーク通信部により前記搬送装置に送信する。

これによれば、通信装置は、搬送装置からの実行コマンドの受信をトリガとして、この実行コマンドにより実行されるべき処理に必要なコマンドを載置ポートに送信する。また、送信したコマンドに対する応答を載置ポートから受信し、受信した応答の内容に基づいて上記処理に必要なコマンドを順次に選定して載置ポートに送信する。このようにして通信装置は、コマンドの選定及び送信と、送信したコマンドに対する応答の受信とを複数回行うことにより上記処理を完了させ、その結果を示す情報を搬送装置に送信する。このとき、通信装置は、載置ポートから受信した応答を搬送装置に送信することを抑制している。これにより、通信装置は、処理中における載置ポートと搬送装置との通信を抑制し、通信量を削減することができる。よって、通信装置は、インターロックシーケンスにおける通信に係る通信量の増大を抑制することができる。

また、前記制御部は、前記（ａ）及び前記（ｂ）を行う代理モードと、（ｃ）前記処理の実行コマンドを含むパケットを前記ネットワーク通信部により受信すると、受信した前記パケットをパラレル信号に変換して前記パラレルインタフェースから出力することと、前記パラレルインタフェースにより受信したパラレル信号をパケットに変換して前記ネットワーク通信部から出力することとを複数回行うことで前記処理を実行させる中継モードと、のそれぞれにより前記処理を実行可能であり、前記制御部は、さらに、前記代理モードと前記中継モードとを切り替えてもよい。

これによれば、通信装置は、通信量を抑制しない通常の動作モードである中継モードと、通信量を抑制する動作モードである代理モードとを必要に応じて切り替える。具体的には、インターロックシーケンスに係る通信量の増減に応じて動作モードを切り替えたり、インターロックシーケンスの処理に万が一の不具合が生じたときに動作モードを切り替えたりする。このようにして、通信装置は、インターロックシーケンスの適切な実現と、通信量の抑制とを抑制することができる。

また、前記処理は、前記搬送装置が前記被搬送物を移載する処理を含んでもよい。

これによれば、通信装置は、インターロックシーケンスにおいて、特に、搬送装置が被搬送物を移載する処理における通信量を抑制することができる。

また、前記載置ポートは、半導体製造装置に搭載されており、前記パラレルインタフェースは、ＳＥＭＩ Ｅ８４規格に基づく構成を有してもよい。

これによれば、通信装置は、ＳＥＭＩ Ｅ８４規格に基づくパラレルインタフェースを用いたインターロックシーケンスにおいて、通信量を抑制することができる。

また、前記ネットワーク通信部は、ポーリングによるアクセス制御がなされた無線ネットワークを含む前記ネットワークを介して通信してもよい。

これによれば、通信装置は、ポーリングによるアクセス制御によって通信ロスがより削減されたネットワークによってインターロックシーケンスに係る通信を行うことで、インターロックシーケンスのエラーの発生を回避することができる。

また、本発明の一態様に係る搬送装置は、通信装置とネットワークを介して通信するネットワーク通信部と、前記ネットワーク通信部を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、（ｄ）載置ポートと前記搬送装置との間で被搬送物を移載するためのインターロックシーケンスに係る処理の実行コマンドを前記ネットワーク通信部により送信することで、前記通信装置のパラレルインタフェースによる前記載置ポートとの複数回の通信により前記処理を実行させ、（ｅ）前記処理の実行結果を、送信した前記実行コマンドの応答として、前記ネットワーク通信部により受信する。

これによれば、搬送装置は、インターロックシーケンスに係る処理の実行コマンドを送信した後、搬送装置からの応答に逐一応答することなく、当該処理が完了した後に通信装置が送信する処理の実行結果に基づいて、インターロックシーケンスに係る処理が正常に終了したことを認知し得る。これにより、搬送装置は、通信量を抑制することができる。

また、本発明の一態様に係る搬送システムは、上記の通信装置と、前記通信装置の前記パラレルインタフェースが通信する相手である前記載置ポートと、前記通信装置の前記ネットワーク通信部が前記ネットワークを介して通信する相手である前記搬送装置とを備える。

これによれば、搬送システムは、上記通信装置と同様の効果を奏する。

また、本発明の一態様に係る通信装置の制御方法では、前記通信装置は、被搬送物が載置される載置ポートとの間で通信するパラレルインタフェースと、前記載置ポートとの間で前記被搬送物を移載する搬送装置とネットワークを介して通信するネットワーク通信部と、前記パラレルインタフェース及び前記ネットワーク通信部を制御する制御部と、を備え、前記制御方法は、（ａ）前記載置ポートと前記搬送装置との間で前記被搬送物を移載するためのインターロックシーケンスに係る処理の実行コマンドを前記ネットワーク通信部により受信すると、前記処理の実行に必要なコマンドを順次に選定し、選定した前記コマンドの前記載置ポートへの送信と、前記載置ポートからの応答の受信とを複数回行うことで前記処理を実行させるステップと、（ｂ）前記処理の実行結果を前記実行コマンドの応答として、前記ネットワーク通信部により前記搬送装置に送信するステップとを含む。

これによれば、上記通信装置と同様の効果を奏する。

本発明にかかる通信装置は、インターロックシーケンスにおける通信に係る通信量の増大を抑制することができる。

実施の形態に係る通信装置を含む搬送システムの概要を示す外観図である。 実施の形態に係る通信装置を含む搬送システムの機能構成を示すブロック図である。 実施の形態に係る搬送システムにおけるインターロックシーケンスに含まれる荷掴み時のハンドシェイクに係るパラレル信号の時間変化の説明図である。 実施の形態に係る搬送システムにおけるインターロックシーケンスに含まれる荷掴み時の処理ステップと経過時間の関係を示すグラフである。 実施の形態に係るネットワーク通信部と搬送台車との間で送受信される通信パケットの説明図である。 実施の形態に係る通信装置による中継モードの処理を示すフロー図である。 実施の形態に係る通信装置による中継モードの処理を示すシーケンス図である。 実施の形態に係る通信装置による代理モードの処理を示すフロー図である。 実施の形態に係る通信装置による代理モードの処理を示すシーケンス図である。

以下、実施の形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。

以下で説明する実施の形態は、いずれも本発明の好ましい一具体例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、より好ましい形態を構成する任意の構成要素として説明される。なお、同一の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する場合がある。

（実施の形態）
本実施の形態において、インターロックシーケンスにおける通信に係る通信量の増大を抑制する通信装置などについて説明する。

まず、本発明に係る通信装置を含む搬送システム１の実施の形態の概要を説明する。図１は、搬送システム１の概要を示す外観図である。図１に示される搬送システム１は、より具体的には、半導体製造システムである。

図１に示されるように、搬送システム１は、通信装置１０、半導体製造装置５０、載置ポート２０、走行ルート２、搬送台車３０及びアクセスポイント４０を備える。

図１に示される半導体製造装置５０は、ウェハを加工する装置であり、ウェハが格納されたＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）１００を搬入及び搬出するためのＦＯＵＰ搬入搬出口５１を備える。なお、ＦＯＵＰ１００は、搬送システム１により搬送される被搬送物に相当する。

載置ポート２０は、被搬送物であるＦＯＵＰ１００が載置されるポートであり、半導体製造装置５０のＦＯＵＰ搬入搬出口５１付近に配置されて、半導体製造装置５０との間でＦＯＵＰ１００を受け渡しする。また、載置ポート２０は、搬送台車３０との間で、ＦＯＵＰ１００を移載する。また、載置ポート２０は、パラレルインタフェース２１を有し、パラレルケーブル６０を介して、通信装置１０との間で信号を送受信する。

搬送台車３０は、載置ポート２０との間でＦＯＵＰ１００を移載し、走行ルート２に沿って搬送する台車であり、内部にＦＯＵＰ１００を把持する把持部３１を備える。把持部３１は、昇降可能に設けられており、ＦＯＵＰ１００を載置ポート２０との間で移載する際には、載置ポート２０付近まで降下される。搬送台車３０は、搬送装置に相当する。

通信装置１０は、載置ポート２０と搬送台車３０との間のインターロックシーケンスに係る信号の送受信を仲介する通信装置である。通信装置１０は、パラレルインタフェース１１を備え、パラレルケーブル６０を介して、載置ポート２０のパラレルインタフェース２１との間でパラレル信号を送受信する。また、通信装置１０は、ＬＡＮポート１２を備え、ＬＡＮケーブル７０及びアクセスポイント４０を介して、搬送台車３０との間でパケットを送受信する。

アクセスポイント４０は、搬送台車３０と通信装置１０との間でパケットの送受信を仲介する基地局である。アクセスポイント４０は、通信装置１０からＬＡＮケーブル７０を介して受信したパケットを、無線通信（例えばＩＥＥＥ８０２．１１ａ、ｂ、ｇ、ｎ準拠の無線ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ））の無線通信リンクＬを介して搬送台車３０に送信し、搬送台車３０から無線通信によって受信したパケットを、ＬＡＮケーブル７０を介して通信装置１０に送信する。

次に、本実施の形態の半導体製造装置５０の機能構成を説明する。図２は、通信装置１０を含む半導体製造装置５０の特徴的な機能構成を示すブロック図である。

まず、図２に示される搬送台車３０の機能構成について説明する。図２に示されるように、搬送台車３０は、機能的には、台車制御部３２及び台車通信部３３を含む。

台車通信部３３は、通信装置１０とネットワークを介して通信する通信インタフェースである。台車通信部３３は、台車制御部３２から送信された搬送台車３０の状態を示すパケットを、無線通信によってアクセスポイント４０に送信する。また、台車通信部３３は、アクセスポイント４０から送信されたパケットを受信して、台車制御部３２に送信する。台車通信部３３は、搬送装置のネットワーク通信部に相当する。

台車制御部３２は、台車通信部３３を制御する処理部である。台車制御部３２は、台車通信部３３から載置ポート２０の情報を示す信号を受信して、搬送台車３０の動作を制御する。また、台車制御部３２は、搬送台車３０の状態を示すパケットを台車通信部３３に送信する。台車制御部３２は、搬送装置の制御部に相当する。

台車制御部３２は、具体的には、載置ポート２０と搬送台車３０との間で被搬送物を移載するためのインターロックシーケンスに含まれる処理の実行コマンドを台車通信部３３により送信することで、通信装置１０のパラレルインタフェース１１による載置ポート２０との複数回の通信により上記処理を実行させる。また、台車制御部３２は、上記処理の実行結果を、送信した実行コマンドの応答として台車通信部３３により受信する。

次に、図２に示される載置ポート２０の機能構成について説明する。図２に示されるように、載置ポート２０は、機能的には、ポート制御部２２とパラレルインタフェース２１とを含む。

ポート制御部２２は、パラレルインタフェース２１から搬送台車３０の状態を示すパラレル信号を受信して、載置ポート２０を制御する。また、ポート制御部２２は、載置ポート２０の状態を示すパラレル信号をパラレルインタフェース２１に送信する。

パラレルインタフェース２１は、パラレル信号を入出力する入出力部であって、パラレルケーブル６０が備えるコネクタ（Ｄｓｕｂ−２５ｐｉｎ）を接続するためのレセプタクルを含む。パラレルインタフェース２１は、ＳＥＭＩ Ｅ８４規格に基づく構成を有する。パラレルインタフェース２１が入出力するパラレル通信は、例えば、セントロニクス、ＩＥＥＥ１２８４通信規格などの方式に適合するものである。

次に、図２に示される通信装置１０の機能構成について説明する。図２に示されるように、通信装置１０は、機能的には、パラレルインタフェース１１、ＬＡＮポート１２、制御部１３及びネットワーク通信部１４を含む。

パラレルインタフェース１１は、載置ポート２０との間で通信するインタフェースであって、片方向で８ｂｉｔ（双方向の合計で１６ｂｉｔ）のＩＯポートを含み、パラレルケーブル６０が接続される。パラレルインタフェース１１の通信規格は、パラレルインタフェース２１と同じものが用いられる。

制御部１３は、パラレルインタフェース２１及びネットワーク通信部１４を制御する処理部である。制御部１３は、載置ポート２０と搬送台車３０との間でＦＯＵＰ１００を移載するためのインターロックシーケンスに含まれる一連の処理を、載置ポート２０及び搬送台車３０との通信処理を複数回行うことで実行させる。制御部１３は、上記一連の処理を実行させる実行モードとして、代理モードと中継モードとを有する。

制御部１３は、代理モードにおいて、載置ポート２０と搬送台車３０との間で被搬送物を移載するためのインターロックシーケンスに含まれる処理の実行コマンドをネットワーク通信部１４により受信すると、上記処理の実行に必要なコマンドを順次に選定し、選定したコマンドの載置ポート２０への送信と、載置ポート２０からの応答の受信とを複数回行うことで上記処理を実行させる。また、制御部１３は、上記処理の実行結果を実行コマンドの応答として、ネットワーク通信部１４により搬送台車３０に送信する。

また、制御部１３は、中継モードにおいて、上記処理の実行コマンドを含むパケットをネットワーク通信部１４により受信すると、受信したパケットをパラレル信号に変換してパラレルインタフェース２１から出力することと、パラレルインタフェース２１により受信したパラレル信号をパケットに変換してネットワーク通信部１４から出力することとを複数回行うことで上記処理を実行させる。なお、中継モードでの処理の実行だけを行う通信装置が従来の通信装置に相当する。

制御部１３は、所定の条件が成立すると、実行モードを代理モード及び中継モードの一方から他方に切り替えてもよい。例えば、アクセスポイント４０が送受信する無線通信の通信量が所定の閾値を超えると、実行モードを中継モードから代理モードへ切り替えてもよい。無線通信の通信量を削減するためである。また、代理モードでインターロックシーケンスの処理を実行している時に何らかの不具合又は不都合が生じたときに中継モードに切り替えてもよい。インターロックシーケンスは、搬送台車３０と載置ポート２０との間で信号の送受信が行われる中継モードが前提として設計されているので、代理モードで何らかの不具合が生じた場合には、その前提である中継モードに戻すことで不具合を解消できる可能性があるからである。また、実行モードを切り替える命令を外部から受信した場合に、当該命令に従って、実行モードを代理モード及び中継モードの一方から他方に切り替えてもよい。この命令の一例は、後述する図５のステップＳ２１１で送信される、エラーの発生を示す情報に対して送信される命令である。

なお、制御部１３は、プロセッサが所定のプログラムを実行することで実現されてもよいし、専用のハードウェアにより実現されてもよい。

ネットワーク通信部１４は、ネットワークを介して搬送台車３０と通信する通信部である。ＬＡＮポート１２は、パケットを入出力する入出力部であって、ＬＡＮケーブル７０が接続される。ネットワーク通信部１４と搬送台車３０とを接続するネットワークは、ＬＡＮポート１２を用いて接続される有線ネットワーク（例えばＩＥＥＥ８０２．３準拠の有線ＬＡＮ）を含み、また、無線ネットワーク（例えばＩＥＥＥ８０２．１１ａ、ｂ、ｇ、ｎ準拠の無線ＬＡＮ）を含んでよい。無線ネットワークは、ポーリングによるアクセス制御（例えば、ＩＥＥＥ８０２．１１で規定されるＰＣＦ（Ｐｏｉｎｔ Ｃｏｏｒｄｉｎａｔｉｏｎ Ｆｕｎｃｔｉｏｎ））がなされていることが望ましい。自律分散的なアクセス制御（例えば、ＩＥＥＥ８０２．１１で規定されるＤＣＦ（Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ Ｃｏｏｒｄｉｎａｔｉｏｎ Ｆｕｎｃｔｉｏｎ））がなされている場合と比較して、無線ネットワークでのパケット衝突が回避され、インターロックシーケンスにおけるエラーの発生を回避し得る利点がある。

図３は、本実施の形態に係る搬送システム１におけるパラレル信号の時間変化の説明図である。図３に示されるパラレル信号の時間変化は、インターロックシーケンスに含まれる荷掴み時のハンドシェイクに係るパラレル信号の時間変化の一例である。なお、荷降ろし時のハンドシェイクにもこれと同様のパラレル信号の時間変化がある。より一般的には、搬送台車３０がインターロックシーケンスにおいて被搬送物を移載する処理が本発明に係る技術の適用対象となり得る。ここで、図３および図４では、載置ポート２０がＥ８４インターロックシーケンスにおけるＰａｓｓｉｖｅ側であり、搬送台車３０がＡｃｔｉｖｅ側であるとして説明する。

図３に示されるパラレル信号は、搬送システム１におけるインターロックシーケンスに含まれる荷掴み時のハンドシェイクに係るパラレル信号の一例である。図３には、Ｐａｓｓｉｖｅ側からＡｃｔｉｖｅ側へ伝達される５つの信号（ＨＯ＿ＡＶＢＬなど）と、Ａｃｔｉｖｅ側からＰａｓｓｉｖｅ側へ伝達される７つの信号（ＣＳ＿０など）との信号値（Ｈｉｇｈ又はＬｏｗ）の変化の様子が、経過時間（横軸）に対して示されている。

図３に示される例では、インターロック通信の開始から、ＦＯＵＰ１００の移載の開始までに１〜２秒程度を要する。この時間内に、Ｅ８４インターロック通信に規定されるＴ０〜Ｔ３タイムアウトチェック等が行われる。例えば、Ｔ０タイムアウトチェックは、ＥＳ及びＨＯ＿ＡＶＢＬがＯＮで他の入力信号が全てＯＦＦとなるのを待つことである。その他、各信号の意味などについてはＥ８４インターロック通信にて規定されている通りであるので詳細な説明を省略する。

また、図３に示される例では、さらに、移載の開始から終了までに６〜９秒程度、移載の完了からインターロック通信の終了までに１〜２秒程度の時間を要する。これらの時間内に含まれる処理についてもＥ８４インターロック通信にて規定されている通りであるので詳細な説明を省略する。

図４は、本実施の形態に係る搬送システム１におけるインターロックシーケンスに含まれる荷掴み時の処理ステップと経過時間との関係を示すグラフである。

このインターロックシーケンスは、載置ポート２０と搬送台車３０との間でＦＯＵＰ１００の移載を行う際に、Ｅ８４インターロックシーケンスに基づいて通信装置１０が通信処理を行う場合の処理手順の一例である。Ｅ８４インターロックシーケンスは、複数の工程を含み、Ａｃｔｉｖｅ側及びＰａｓｓｉｖｅ側の各工程がエラーなく完了する毎に、Ａｃｔｉｖｅ側８ｂｉｔ又はＰａｓｓｉｖｅ側８ｂｉｔのパラレル信号が更新される。

図４に示されるグラフは、インターロックシーケンスのシーケンス番号（横軸）に対して、経過時間をプロットしたものである。図４に示されるように、インターロックシーケンスの開始からＦＯＵＰ１００の移載の開始までの期間と、移載の完了からインターロックシーケンスの終了までの期間とには、比較的多くのステップが含まれているが、これらのステップの処理の実行に要する時間は比較的短い。一方、移載開始から移載完了までの期間（つまり、移載中の期間）に含まれるステップの数は比較的少ないが、これらのステップの処理の実行に比較的長い時間を要する。

図５は、本実施の形態に係るネットワーク通信部１４と搬送台車３０との間で送受信されるパケット８０の説明図である。なお、ここではパケット８０のトランスポート層のプロトコルとしてＵＤＰ（Ｕｓｅｒ Ｄａｔａｇｒａｍ Ｐｒｏｔｏｃｏ）が用いられる場合を例として説明するが、ＵＤＰの代わりにＴＣＰ（Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｐｒｏｔｏｃｏｌ）が用いられてもよいし、トランスポート層のプロトコルを用いなくてもよい。

図５に示されるように、パケット８０は、ＭＡＣヘッダ８１と、ＩＰヘッダ８２と、ＵＤＰヘッダ８３と、データフィールド８４とを含む。データフィールド８４は、通信装置１０（ネットワーク通信部１４）から搬送台車３０（台車通信部３３）に対して送信される場合と、搬送台車３０（台車通信部３３）から通信装置１０（ネットワーク通信部１４）に送信される場合とで内容が異なる。

ＭＡＣヘッダ８１は、ＩＥＥＥ８０２．３又はＩＥＥＥ８０２．１１ａ等準拠の周知のＭＡＣヘッダであり、パケット８０の宛先ＭＡＣアドレス及び送信元ＭＡＣアドレスを含む。

ＩＰヘッダ８２は、周知のＩＰヘッダであり、パケット８０の送信元ＩＰアドレス及び宛先ＩＰアドレスを含む。

ＵＤＰヘッダ８３は、周知のＵＤＰヘッダであり、送信元ポート番号及び宛先ポート番号等を含む。なお、トランスポート層のプロトコルとしてＴＣＰが用いられる場合には、ＵＤＰヘッダ８３の代わりにＴＣＰヘッダが採用される。トランスポート層のプロトコルが用いられない場合には、ＵＤＰヘッダ８３に相当するフィールドは存在しない。

データフィールド８４は、インターロックシーケンスの通信の内容が記載されるフィールドである。通信装置１０から搬送台車３０に対して送信されるパケット８０に含まれるデータフィールド８４は、コマンドフィールド８６を含む（図５の（ａ）参照）。コマンドフィールド８６は、インターロックシーケンスに含まれる一連の処理を進めるための実行コマンドであり、具体的には、「荷掴み要求」、「荷降し要求」などを開始させるコマンドである。

また、搬送台車３０から通信装置１０に送信されるパケット８０は、応答フィールド８８を含む（図５の（ｂ）参照）。応答フィールド８８は、コマンドの実行結果、無線通信リンクＬの状態（受信信号強度及び通信状況など）を示す情報、パラレル信号を示す情報などを含む。

図４に示されるように、通信装置１０は、パラレル信号（パラレルインタフェース１１の入出力ポートの情報）をリアルタイムに搬送台車３０に伝達しようとする場合、比較的短時間（例えば５０ｍｓｅｃ）間隔でネットワーク通信部１４に出力することを要する。これは、通信装置１０が、パラレル信号の情報をパケット８０の応答フィールド８８にのせて、中継モードで処理を実行することに相当する。

そのため、比較的長い時間を要するステップ、つまり図３及び図４における移載中のステップにおいて、特にネットワークの通信量が増大し得る。通信量が増大すると、パケットの通信遅延又は通信ロスが生じる確率が増大し、インターロックシーケンスのエラーの発生につながるという問題が生じ得る。

そこで、通信装置１０は、代理モードを利用してインターロックシーケンスにおける通信に係る通信量の増大を抑制する。

以降において、中継モードと代理モードとについて詳細に説明する。

（１）中継モード
図６は、本実施の形態に係る通信装置１０による中継モードの処理を示すフロー図である。図７は、本実施の形態に係る通信装置１０による中継モードの処理を示すシーケンス図である。

ステップＳ１０１において、制御部１３は、搬送台車３０から、インターロック通信に含まれる処理の実行コマンドを含むパケットを受信したか否かを判定する。制御部１３が上記パケットを受信した場合（ステップＳ１０１でＹｅｓ）にはステップＳ１０２に進み、そうでない場合（ステップＳ１０１でＮｏ）にはステップＳ１０３に進む。

ステップＳ１０２において、制御部１３は、ステップＳ１０１で受信したパケットをパラレル信号に変換して、パラレルインタフェース１１により出力する。

ステップＳ１０３において、制御部１３は、載置ポート２０からパラレル信号により応答を受信したか否かを判定する。制御部１３がパラレル信号により応答を受信した場合（ステップＳ１０３でＹｅｓ）にはステップＳ１０４に進み、そうでない場合（ステップＳ１０３でＮｏ）にはステップＳ１０５に進む。

ステップＳ１０４において、制御部１３は、ステップＳ１０３で受信したパラレル信号をパケットに変換して、ネットワーク通信部１４により出力する。

ステップＳ１０５において、制御部１３は、インターロックシーケンスに含まれる一連の処理が完了したか否かを判定する。上記一連の処理が完了していないと制御部１３が判定した場合（ステップＳ１０５でＮｏ）には、ステップＳ１０１へ戻って処理を実行し、そうでない場合（ステップＳ１０５でＹｅｓ）には、図６に示される一連の処理を終了する。

このように、通信装置１０は、中継モードにおいて、搬送台車３０と載置ポート２０との間でのインターロックシーケンスに含まれる一連の処理に係る通信を、パラレル信号とパケットとの相互変換によって実現する（図７参照）。

（２）代理モード
図８は、本実施の形態に係る通信装置１０による代理モードの処理を示すフロー図である。図９は、本実施の形態に係る通信装置１０による代理モードの処理を示すシーケンス図である。

ステップＳ２０１において、制御部１３は、搬送台車３０から、インターロックシーケンスに含まれる処理に係るコマンドを含むパケットを受信したか否かを判定する。制御部１３が上記パケットを受信した場合（ステップＳ２０１でＹｅｓ）にはステップＳ２０２に進み、そうでない場合（ステップＳ２０１でＮｏ）にはステップＳ２０１を再び実行する。

ステップＳ２０２において、制御部１３は、ステップＳ２０１で受信したパケットをパラレル信号に変換して、パラレルインタフェース１１により出力する。

ステップＳ２０３において、制御部１３は、載置ポート２０からパラレル信号により応答を受信したか否かを判定する。制御部１３がパラレル信号により応答を受信した場合（ステップＳ２０３でＹｅｓ）にはステップＳ２０４に進み、そうでない場合（ステップＳ２０３でＮｏ）にはステップＳ２０３を再び実行する。

ステップＳ２０４において、制御部１３は、ステップＳ２０３で受信した応答がエラーの発生を示しているか否かを判定する。上記応答がエラーの発生を示していると判定した場合（ステップＳ２０４でＹｅｓ）には、ステップＳ２１１に進み、そうでない場合（ステップＳ２０４でＮｏ）には、ステップＳ２０５に進む。

ステップＳ２０５において、制御部１３は、ステップＳ２０３で受信した応答に応じて、インターロックシーケンスに含まれる一連の処理を進めるためのコマンドを選定する。このとき、制御部１３は、インターロックシーケンスに含まれる一連の処理の内容に基づいて、次に載置ポート２０に送信すべきコマンドを選定する。

ステップＳ２０６において、制御部１３は、ステップＳ２０５で選定したコマンドをパラレルインタフェース１１により出力する。

ステップＳ２０７において、制御部１３は、インターロックシーケンスに含まれる一連の処理が完了したか否かを判定する。上記一連の処理が完了したと制御部１３が判定した場合には、ステップＳ２０３へ戻って処理を実行し、そうでない場合には、ステップＳ２０８に進む。

ステップＳ２０８において、制御部１３は、インターロックシーケンスに含まれる一連の処理の実行結果を搬送台車３０に送信する。

ステップＳ２１１において、制御部１３は、インターロックシーケンスに係る通信中にエラーが発生したことを示す情報を搬送台車３０に送信する。本ステップでこの情報を搬送台車３０に送信すると、送信した情報に対して搬送台車３０（又は、搬送台車３０と通信可能に接続された、搬送システム１の制御装置（不図示））により、制御部１３の実行モードを切り替える命令が送信され得る。

ステップＳ２０８又はＳ２１１の処理を終えたら、本フロー図に示された一連の処理を終了する。

このように、通信装置１０は、代理モードにおいて、搬送台車３０と載置ポート２０との間でのインターロックシーケンスに要する処理の一部を代理することでインターロックを実現する（図９参照）。すなわち、通信装置１０（制御部１３）は、ステップＳ２０３でパラレルインタフェース１１により受信した応答を搬送台車３０に送信するのではなく、上記応答の内容を解釈してインターロックシーケンスを次に進める。つまり、通信装置１０（制御部１３）は、搬送台車３０を代理して載置ポート２０にコマンドを送信する。これにより、通信装置１０と搬送台車３０との間の通信を省略することができ、ネットワークにおける通信量の増大を抑制し得る。

以上のように、本実施の形態に係る通信装置は、搬送装置からの実行コマンドの受信をトリガとして、この実行コマンドにより実行されるべき処理に必要なコマンドを載置ポートに送信する。また、当該通信装置は、代理モードにおいて、送信したコマンドに対する応答を載置ポートから受信し、受信した応答の内容に基づいて上記処理に必要なコマンドを順次に選定して載置ポートに送信する。このようにして通信装置は、コマンドの選定及び送信と、送信したコマンドに対する応答の受信とを複数回行うことにより上記処理を完了させ、その結果を示す情報を搬送装置に送信する。このとき、通信装置は、載置ポートから受信した応答を搬送装置に送信することを抑制している。これにより、通信装置は、処理中における載置ポートと搬送装置との通信を抑制し、通信量を削減することができる。よって、通信装置は、インターロックシーケンスにおける通信に係る通信量の増大を抑制することができる。

また、通信装置は、通信量を抑制しない通常の動作モードである中継モードと、通信量を抑制する動作モードである代理モードとを必要に応じて切り替える。具体的には、インターロックシーケンスに係る通信量の増減に応じて動作モードを切り替えたり、インターロックシーケンスの処理に万が一の不具合が生じたときに動作モードを切り替えたりする。このようにして、通信装置は、インターロックシーケンスの適切な実現と、通信量の抑制とを抑制することができる。

また、通信装置は、インターロックシーケンスにおいて、特に、搬送装置が被搬送物を移載する処理における通信量を抑制することができる。

また、通信装置は、ＳＥＭＩ Ｅ８４規格に基づくパラレルインタフェースを用いたインターロックシーケンスにおいて、通信量を抑制することができる。

また、通信装置は、ポーリングによるアクセス制御によって通信ロスがより削減されたネットワークによってインターロックシーケンスに係る通信を行うことで、インターロックシーケンスのエラーの発生を回避することができる。

また、搬送装置は、インターロックシーケンスに係る処理の実行コマンドを送信した後、搬送装置からの応答に逐一応答することなく、当該処理が完了した後に通信装置が送信する処理の実行結果に基づいて、インターロックシーケンスに係る処理が正常に終了したことを認知し得る。これにより、搬送装置は、通信量を抑制することができる。

以上、本発明の通信装置などについて、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したものや、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本発明の範囲内に含まれる。

本発明は、インターロックシーケンスにおける通信に係る通信量の増大を抑制する通信装置に利用可能である。

１ 搬送システム
２ 走行ルート
１０ 通信装置
１１、２１ パラレルインタフェース
１２ ＬＡＮポート
１３ 制御部
１４ ネットワーク通信部
２０ 載置ポート
２２ ポート制御部
３０ 搬送台車
３１ 把持部
３２ 台車制御部
３３ 台車通信部
４０ アクセスポイント
５０ 半導体製造装置
５１ ＦＯＵＰ搬入搬出口
６０ パラレルケーブル
７０ ＬＡＮケーブル
８０ パケット
８１ ＭＡＣヘッダ
８２ ＩＰヘッダ
８３ ＵＤＰヘッダ
８４ データフィールド
８６ コマンドフィールド
８８ 応答フィールド
１００ ＦＯＵＰ
Ｌ 無線通信リンク

Claims (7)

1. 被搬送物が載置される載置ポートとの間で通信するパラレルインタフェースと、
   前記載置ポートとの間で前記被搬送物を移載する搬送装置とネットワークを介して通信するネットワーク通信部と、
   前記パラレルインタフェース及び前記ネットワーク通信部を制御する制御部と、を備え、
   前記制御部は、
   （ａ）前記載置ポートと前記搬送装置との間で前記被搬送物を移載するためのインターロックシーケンスに係る処理の実行コマンドを前記ネットワーク通信部により受信すると、前記処理の実行に必要なコマンドを順次に選定し、選定した前記コマンドの前記載置ポートへの送信と、前記載置ポートからの応答の受信とを複数回行うことで前記処理を実行させ、
   （ｂ）前記処理の実行結果を前記実行コマンドの応答として、前記ネットワーク通信部により前記搬送装置に送信する
   通信装置。
2. 前記制御部は、
   前記（ａ）及び前記（ｂ）を行う代理モードと、
   （ｃ）前記処理の実行コマンドを含むパケットを前記ネットワーク通信部により受信すると、受信した前記パケットをパラレル信号に変換して前記パラレルインタフェースから出力することと、前記パラレルインタフェースにより受信したパラレル信号をパケットに変換して前記ネットワーク通信部から出力することとを複数回行うことで前記処理を実行させる中継モードと、のそれぞれにより前記処理を実行可能であり、
   前記制御部は、さらに、
   前記代理モードと前記中継モードとを切り替える
   請求項１に記載の通信装置。
3. 前記処理は、前記搬送装置が前記被搬送物を移載する処理を含む
   請求項１又は２に記載の通信装置。
4. 前記載置ポートは、半導体製造装置に搭載されており、
   前記パラレルインタフェースは、ＳＥＭＩ Ｅ８４規格に基づく構成を有する
   請求項１〜３のいずれか１項に記載の通信装置。
5. 前記ネットワーク通信部は、ポーリングによるアクセス制御がなされた無線ネットワークを含む前記ネットワークを介して通信する
   請求項１〜４のいずれか１項に記載の通信装置。
6. 請求項１〜５のいずれか１項に記載の通信装置と、
   前記通信装置の前記パラレルインタフェースが通信する相手である前記載置ポートと、
   前記通信装置の前記ネットワーク通信部が前記ネットワークを介して通信する相手である前記搬送装置とを備える
   搬送システム。
7. 通信装置の制御方法であって、
   前記通信装置は、
   被搬送物が載置される載置ポートとの間で通信するパラレルインタフェースと、
   前記載置ポートとの間で前記被搬送物を移載する搬送装置とネットワークを介して通信するネットワーク通信部と、
   前記パラレルインタフェース及び前記ネットワーク通信部を制御する制御部と、を備え、
   前記制御方法は、
   （ａ）前記載置ポートと前記搬送装置との間で前記被搬送物を移載するためのインターロックシーケンスに係る処理の実行コマンドを前記ネットワーク通信部により受信すると、前記処理の実行に必要なコマンドを順次に選定し、選定した前記コマンドの前記載置ポートへの送信と、前記載置ポートからの応答の受信とを複数回行うことで前記処理を実行させるステップと、
   （ｂ）前記処理の実行結果を前記実行コマンドの応答として、前記ネットワーク通信部により前記搬送装置に送信するステップとを含む
   制御方法。

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