JPH01321506A - 自動搬送制御方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体製造における自動搬送制御方式に係り
、特に、その上位コンピュータによる被処理物の移載を
行う搬送制御方式に関するものである。

（従来の技術） 半導体製造工場の形態は半導体素子の集積度の増大によ
り、塵埃を除去するために、自動化が不可欠の要素とな
ってきている。

このようなことから、最近の半導体製造工場は、半導体
ウェハを収納したカセットを、倉庫より処理装置まで、
処理装置間、そして処理装置より倉庫まで、自動的に搬
送するようにしている。この場合、カセットの搬送は天
井空間や地上に設置されている搬送車により行われ、こ
れらのすべての搬送装置は上位コンピュータにより制御
されている。

第２図は係る従来の自動搬送システムの概略構成図であ
る。

この図において、従来の自動搬送システムは、半導体ウ
ェハを収納したカセットを保管する自動倉庫２と、カセ
ットを自動倉庫２から移載装置４へ搬送する搬送車３と
、搬送車３からカセットを受は取る移載装置４と、これ
らの装置を制御する上位コンピュータＬＣ１により構成
されている。

そこで、カセットを自動倉庫２より移載装置４へ搬送を
行う場合、上位コンピュータ１はカセットの移動に従っ
て、自動倉庫２へ移載指示Ｓ１を、且つ、搬送車３へ移
載指示Ｓ２を行い、移載装置４へ移載指示Ｓ３を行って
いた。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、以上述べた従来の方法では、搬送される
カセットが自動倉庫２より移載装置４へ搬送されている
時、移載装置４が人手によるオフライン命令の入力等に
より、上位コンピュータ１との通信においてオフライン
となった場合、上位コンピュータ１は搬送を続行するこ
とができず、カセットを自動倉庫２へ戻すエラー処理を
行わなければならないという問題点があった。　　・本
発明は、以上述べたように、搬送途中において移載装置
がオフラインとなった場合、上位コンビエータがエラー
処理を行わなければならないという問題点を除去し、自
動搬送システムの上位コンピュータの搬送制御が簡単で
、しかも搬送制御を的確に行うことができる自動搬送制
御方式を提供することを目的とする。

（課題を解決するための手段） 本発明は、上記問題点を解決するために、上位コンピュ
ータにより被処理物の搬送が行われる搬送装置と被処理
物の移載を行う移載装置を有する自動搬送制御方式にお
いて、前記上位コンピュータは前記移載装置からオフラ
イン申請を通知されると、移載装置に関わる被処理物の
搬送が終了す゛るまで、移載装置に対してオフライン許
可を通知しないようにする手段と、前記移載装置はオフ
ライン許可を通知されるまで、オフラインへの切り換え
を不能にする手段を設けるようにしたものである。

（作用） 本発明によれば、上記したように、自動搬送システムの
上位コンピュータによる搬送制御を行う場合において、
移載装置がオフライン移行に先だって、上位コンピュー
タにオフライン申請を通知し、上位コンピュータは、オ
フライン申請を通知された場合、その移載装置に関わる
搬送が終了するまで移載装置に、オフライン許可を通知
しないようにし、また、移載装置はオフライン許可を上
位コンピュータから通知されるまで、オフラインに移行
できないように制御される。

（実施例） 以下、本発明の実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。

第１図は本発明の実施例を示す自動搬送システムの概略
構成図である。

この図に示されるように、この自動搬送システムは、半
導体ウェハを収納したカセットを保管する自動倉庫２と
、カセットを自動倉庫２から移載装置Ｆ４へ搬送する搬
送車３と、搬送車３からカセットを受は取る移載装置４
と、これらの装置を制御する上位コンピュータ１からな
り、上位コンピュータｌによって搬送が終了してから移
載装置４へ通知されるオフライン許可Ｓ８に基づき、搬
送が終了するまで移載装置４のオフラインへの切り換え
が阻止されるように構成されている。

第３図は上位コンピュータ１が自動倉庫２より移載装置
４へ被処理物の搬送を行う場合のフローチャートを示し
ており、左側は上位コンピュータ側を示し、右側は移載
装置側を示している。

以下、自動倉庫２より移載装置４への被処理物の搬送方
法について説明する。

ここで、移載装置４は移載可能状態にあり、この時、移
載装置４は作業者の移載装置付属キーの操作によるオフ
ライン信号の入力、又は上位コンピュータ１からの通信
メツセージである移載指示Ｓ７（オフライン申請を送信
している場合は、更に、オフライン許可Ｓ８）の信号待
ち状態にある。

（Ａ）移載装置４はステップ■でオフライン人力してい
れば、ステップ■で上位コンピュータＩに対してオフラ
イン申請Ｓ６を送信する。上位コンピュータ１はステッ
プ■で自動倉庫２から移載装置４への搬送を決めていな
い場合は、ステップ■で移載装置４からのオフライン申
請Ｓ６の受信待ち状態で、オフライン申請Ｓ６を受信す
ると、ステップ■で移載装置４ヘオフライン許可Ｓ８を
送信する。移載装置４は上位コンピュータ１からのオフ
ライン許可Ｓ８を受信し、ステップ■でオフライン処理
を行う。

（Ｂ）上位コンピュータ１がステップ■で自動倉庫２か
ら移載装置４への搬送を決定した場合、上位コンピュー
タｌはステップ■で自動倉庫２へ移載指示Ｓ４を、ステ
ップ■で搬送車３へ移載指示Ｓ５を送信し、被処理物の
移動に従って、ステップ［相］で移載装置４へ移載指示
Ｓ７を送信する。この間、移載装置４はステップ■でオ
フライン入力していれば、ステップ■で上位コンピュー
タｌに対してオフライン申請Ｓ６を送信し、次に、ステ
ップ０で移載指示Ｓ７が受信されると、ステップ［相］
で移載処理を実行し、ステップ０で移載が完了すると移
載完了の通知Ｓ９を行う。ここでは、まだオフラインに
は切り換わらない、上位コンピュータｌはステップ［相
］で移載装置４の移載が終了しているか否かをチエツク
し、移載装置４の移載が完了している場合には、ステッ
プ■で移載装置４からオフライン申請が出されているか
否かをチエツクし、オフライン申請が出されている場合
には、ステップ［相］で移載装置４ヘオフライン許可Ｓ
８を送信する。すると、移載装置４はステップ■でオフ
ライン許可を受信し、ステップ■でオフライン処理を実
行し、オフラインとなる。また、上位コンピュータｌが
ステップ■で搬送決定後、移載袋Ｗｔ４からオフライン
申請Ｓ６を受信していない場合は、また、次の移載を行
うことになる。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではな（、
本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない。

（発明の効果） 以上、詳細に説明したように、本発明によれば、自動搬
送システムの搬送制御において、上位コンピュータは移
載装置からオフライン申請を通知されると、移載装置に
関わる被処理物の搬送が終了するまで、移載装置に対し
てオフライン許可を通知しない、また、移載装置は上位
コンピュータからオフライン許可の通知を受けるまでオ
フラインに切り換わらないようにしたので、搬送途中で
移載装置がオフラインになることはなく、上位コンピュ
ータのエラー処理をなくすことができる。従って、搬送
制御が簡単で、しかも、搬送制御を的確に行うことがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す自動搬送システムの概略
構成図、第２図は従来の自動搬送システムの概略構成図
、第３図は本発明の自動搬送動作のフローチャートであ
る。 １・・・上位コンピュータ、２・・・自動倉庫、３・・
・搬送車、４・・・移載装置。 特許出願人　沖電気工業株式会社

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 上位コンピュータにより被処理物の搬送が行われる搬送
   装置と被処理物の移載を行う移載装置を有する自動搬送
   制御方式において、 （ａ）前記上位コンピュータは前記移載装置からオフラ
   イン申請を通知されると、移載装置に関わる被処理物の
   搬送が終了するまで、移載装置に対してオフライン許可
   を通知しないようにする手段と、（ｂ）前記移載装置は
   オフライン許可を通知されるまで、オフラインへの切り
   換えを不能にする手段を具備することを特徴とする自動
   搬送制御方式。