KR102608150B1 - 반송 시스템 및 반송 제어 방법 - Google Patents

반송 시스템 및 반송 제어 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR102608150B1
KR102608150B1 KR1020217036765A KR20217036765A KR102608150B1 KR 102608150 B1 KR102608150 B1 KR 102608150B1 KR 1020217036765 A KR1020217036765 A KR 1020217036765A KR 20217036765 A KR20217036765 A KR 20217036765A KR 102608150 B1 KR102608150 B1 KR 102608150B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
port
load
transport
command
transport vehicle
Prior art date
Application number
KR1020217036765A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20210151914A (ko
Inventor
마사유키 다카하라
Original Assignee
무라다기카이가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 무라다기카이가부시끼가이샤 filed Critical 무라다기카이가부시끼가이샤
Publication of KR20210151914A publication Critical patent/KR20210151914A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102608150B1 publication Critical patent/KR102608150B1/ko

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733Overhead conveying
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • B65G1/0457Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G35/00Mechanical conveyors not otherwise provided for
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D1/00Control of position, course or altitude of land, water, air, or space vehicles, e.g. automatic pilot
    • G05D1/02Control of position or course in two dimensions
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D1/00Control of position, course or altitude of land, water, air, or space vehicles, e.g. automatic pilot
    • G05D1/02Control of position or course in two dimensions
    • G05D1/021Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles
    • G05D1/0212Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles with means for defining a desired trajectory
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D1/00Control of position, course or altitude of land, water, air, or space vehicles, e.g. automatic pilot
    • G05D1/02Control of position or course in two dimensions
    • G05D1/021Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles
    • G05D1/0227Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles using mechanical sensing means, e.g. for sensing treated area
    • G05D1/0229Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles using mechanical sensing means, e.g. for sensing treated area in combination with fixed guiding means
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D1/00Control of position, course or altitude of land, water, air, or space vehicles, e.g. automatic pilot
    • G05D1/02Control of position or course in two dimensions
    • G05D1/021Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles
    • G05D1/0287Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles involving a plurality of land vehicles, e.g. fleet or convoy travelling
    • G05D1/0291Fleet control
    • G05D1/0297Fleet control by controlling means in a control room
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706Mechanical details, e.g. roller, belt
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773Conveying cassettes, containers or carriers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736Loading to or unloading from a conveyor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0297Wafer cassette

Abstract

본 발명은 하물 픽업 포트에 물품이 남은 채인 상태가 되는 것을 회피할 수 있는 반송 시스템 및 반송 제어 방법을 제공한다.
반송차(V)와, 반송차(V)를 제어하는 컨트롤러(TC)를 구비하고, 컨트롤러(TC)는, 하물(荷物) 픽업 포트(PF1)로부터 하물 드롭 포트(PT1)까지의 주행 경로를 확보할 수 없는 경우, 반송차(V)로 하여금, 하물 픽업 포트(PF1)에서 물품(W)을 픽업하게 하고, 주행 경로를 확보할 수 있는 지정 포인트(P1)까지 주행하게 하는 제1 반송 지령을 할당하며, 반송차(V)가 지정 포인트(P1)에 접근 또는 도달한 시점에서 지정 포인트(P1)로부터 하물 드롭 포트(PT1)까지의 주행 경로를 확보할 수 있는 경우에는, 반송차(V)로 하여금, 지정 포인트(P1)로부터 하물 드롭 포트(PT1)까지 주행하게 하여, 하물 드롭 포트(PT1)에 물품(W)을 드롭하게 하는 제2 반송 지령을 할당한다.

Description

반송 시스템 및 반송 제어 방법
[0001] 본 발명은 반송 시스템 및 반송 제어 방법에 관한 것이다.
[0002] 반도체 디바이스의 제조공장 등에 있어서, 예컨대 반도체 웨이퍼 또는 레티클을 수용한 물품은, 반송(搬送) 시스템에 의해 반송된다. 반송 시스템은 예컨대, 궤도를 주행하는 반송차와, 반송차를 제어하는 컨트롤러를 구비하고 있다. 반송차는 무선 등의 통신에 의해 현재 위치 등의 정보를 컨트롤러에 송신한다. 컨트롤러는, 반송차의 위치 등에 근거하여, 반송을 실행할 반송차를 결정하고, 결정한 반송차에 대하여, 하물(荷物) 픽업 포트(pick-up port)에서 물품을 픽업하게 하며, 하물 픽업 포트에서 픽업된 물품을 하물 드롭 포트(drop-off port)까지 반송하여 드롭하게 하는 반송 지령을 할당한다(예컨대, 특허문헌 1 참조).
[0003] 1. 일본 특허 공보 제6176399호
[0004] 상기 반송 시스템에서는, 반송차의 현재 위치로부터 하물 픽업 포트까지의 경로, 또는 하물 픽업 포트로부터 하물 드롭 포트까지의 경로의 일부가 유지 보수(maintenance) 등의 이유로 인해 폐쇄되는 경우가 있다. 또한, 혼잡이나 또는 고장 등의 이유로 인해 상기한 경로에 다른 반송차가 정지해 있는 경우가 있다. 이러한 경우, 반송차는 폐쇄된 경로 또는 다른 반송차가 정지해 있는 경로를 주행할 수 없다. 상기한 반송 시스템에서는, 주행 경로를 확보할 수 없는 구간에 대하여 주행 불가 구간을 설정하고, 이 주행 불가 구간이 해제될 때까지 반송 지령이 어떠한 반송차에도 할당되지 않고 보류되었다. 따라서, 예컨대, 하물 픽업 포트인 처리장치의 로드(load) 포트로부터 하물 드롭 포트까지의 경로의 일부에 주행 불가 구간이 설정되면, 반송차가 처리장치의 로드 포트에서 하물의 픽업을 행하지 않기 때문에, 처리장치의 로드 포트에 물품이 남은 채로 있게 되며, 처리장치에 있어서 새로운 물품을 받아들일 수 없어, 처리장치의 가동률을 저하시키게 된다.
[0005] 본 발명은 하물 픽업 포트에 물품이 남은 채로 있게 되는 경우를 회피할 수 있는 반송 시스템 및 반송 제어 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
[0006] 본 발명의 실시양태에 관계된 반송 시스템은, 궤도를 따라 주행하는 반송차와, 반송차를 제어하는 컨트롤러를 구비하고, 컨트롤러는, 궤도에 있어서 반송 지령으로 정해진 하물 픽업 포트로부터 하물 드롭 포트까지의 반송차의 주행 경로를 확보할 수 없는 경우, 반송 지령 대신에, 반송차로 하여금 하물 픽업 포트에서 물품을 픽업하게 하고, 하물 픽업 포트보다 반송차의 주행 방향의 하류 측이면서 궤도에 있어서 주행 경로를 확보할 수 있는 지정 포인트까지 주행하게 하는 제1 반송 지령을 할당하며, 반송차가 지정 포인트에 접근 또는 도달한 시점에서 지정 포인트로부터 하물 드롭 포트까지의 주행 경로를 확보할 수 있는 경우에는, 반송차로 하여금 지정 포인트로부터 하물 드롭 포트까지 주행하게 하여, 하물 드롭 포트에 물품을 드롭하게 하는 제2 반송 지령을 할당한다.
[0007] 또한, 제1 반송 지령은, 반송차로 하여금 지정 포인트까지 주행하게 하며, 물품을 드롭하지 않고 유지하도록 하는 지령이어도 된다. 또한, 지정 포인트는, 궤도에서의 분기(分岐)부 또는 합류부의 앞에 설정되어도 된다. 또한, 지정 포인트가, 분기부의 앞에 설정되는 경우, 분기부는 하물 픽업 포트에 가장 가까운 분기부여도 된다.
[0008] 또한 컨트롤러는, 하물 픽업 포트 및 하물 드롭 포트 중 적어도 한쪽의 종류에 따라, 제1 반송 지령 및 제2 반송 지령을 할당할지 여부를 판정해도 된다. 또한 컨트롤러는, 하물 픽업 포트가 처리장치의 로드 포트인 경우, 제1 반송 지령 및 제2 반송 지령을 반송차에 할당해도 된다. 또한 컨트롤러는, 하물 픽업 포트가 스토커(stocker)의 로드 포트인 경우, 제1 반송 지령 및 제2 반송 지령을 반송차에 할당해도 된다.
[0009] 또한 컨트롤러는, 하물 픽업 포트가 물품을 재치(載置)할 수 있는 버퍼이며 또한 하물 드롭 포트가 처리장치의 로드 포트인 경우, 제1 반송 지령 및 제2 반송 지령을 할당하고, 하물 픽업 포트가 버퍼이며 또한 하물 드롭 포트가 처리장치의 로드 포트 이외(以外)인 경우, 제1 반송 지령 및 제2 반송 지령을 할당하지 않아도 된다. 또한 컨트롤러는, 복수의 반송차를 제어하는 반송 컨트롤러, 또는 반송차에 탑재되는 차재(車載) 컨트롤러여도 된다.
[0010] 본 발명의 양태에 관계된 반송 제어 방법은, 궤도를 따라 주행하는 반송차를 제어하는 방법으로서, 궤도에 있어서 반송 지령으로 정해진 하물 픽업 포트로부터 하물 드롭 포트까지의 반송차의 주행 경로를 확보할 수 없는 경우, 반송 지령 대신에, 반송차로 하여금 하물 픽업 포트에서 물품을 픽업하게 하고, 하물 픽업 포트보다 반송차의 주행 방향의 하류 측이면서 궤도에 있어서 주행 경로를 확보할 수 있는 지정 포인트까지 주행하게 하는 제1 반송 지령을 할당하는 것과, 반송차가 지정 포인트에 접근 또는 도달한 시점에서 지정 포인트로부터 하물 드롭 포트까지의 주행 경로를 확보할 수 있는 경우에는, 반송차로 하여금 지정 포인트로부터 하물 드롭 포트까지 주행하게 하며, 하물 드롭 포트에 물품을 드롭하게 하는 제2 반송 지령을 할당하는 것을 포함한다.
[0011] 상기한 양태에 관계된 반송 시스템 및 반송 제어 방법에 의하면, 궤도에 있어서 반송 지령으로 정해진 하물 픽업 포트로부터 하물 드롭 포트까지의 반송차의 주행 경로를 확보할 수 없는 경우, 반송차는, 제1 반송 지령에 의해 하물 픽업 포트에서 물품을 픽업하여 지정 포인트까지 주행한다. 이 때문에, 하물 픽업 포트로부터 신속하게 물품을 반출하여, 물품이 반출된 하물 픽업 포트에 다른 물품을 재치할 수가 있다. 또한, 반송차가 지정 포인트에 접근 또는 도달할 때까지의 동안에 하물 드롭 포트까지의 주행 경로를 확보할 수 있게 된 경우에는, 제2 반송 지령에 의해, 그 반송차가 그대로 하물 드롭 포트까지 주행하여 하물 드롭 포트에서 물품을 드롭하기 때문에, 반송차의 모든 주행 경로가 확보되고 나서 반송차에 반송 지령을 할당하는 경우에 비해 물품의 반송 시간이 단축되어, 물품의 반송 효율을 향상시킬 수가 있다.
[0012] 또한, 제1 반송 지령이, 반송차로 하여금 지정 포인트까지 주행하게 하며, 물품을 드롭하지 않고 유지하게 하는 지령인 구성에서는, 지정 포인트까지 주행한 반송차가 물품을 일단 보관부 등에 드롭하는 구성에 비해, 지정 포인트로부터 하물 드롭 포트까지의 주행 경로를 확보할 수 있게 된 경우에 신속하게 물품을 반송할 수가 있다. 또한, 지정 포인트가, 궤도에서의 분기부 또는 합류부의 앞에 설정되는 구성에서는, 분기부에 있어서는 지정 포인트 뒤에서 주행 가능한 주행 경로를 선택할 수 있으며, 합류부에 있어서는 다른 반송차에 의한 합류부의 통과를 확보할 수가 있다. 또한, 지정 포인트가, 분기부의 앞에 설정될 경우, 분기부가 하물 픽업 포트에 가장 가까운 분기부인 구성에서는, 하물 픽업 포트로부터 물품을 반송하면서, 분기부에 의해 다른 주행 경로로 쉽게 변경할 수가 있다.
[0013] 또한 컨트롤러가, 하물 픽업 포트 및 하물 드롭 포트 중 적어도 한쪽의 종류에 따라, 제1 반송 지령 및 제2 반송 지령을 할당할지 여부를 판정하는 구성에서는, 물품의 조기(早期) 반출이 필요한 하물 픽업 포트로부터는 제1 반송 지령에 의해 신속하게 물품을 반출하기 때문에, 컨트롤러의 처리 부담을 경감할 수가 있다. 또한, 하물 픽업 포트가 처리장치의 로드 포트인 경우, 컨트롤러가 제1 반송 지령 및 제2 반송 지령을 반송차에 할당하는 구성에서는, 처리장치의 로드 포트로부터 신속하게 물품을 반출하기 때문에, 처리장치의 로드 포트에 새로운 물품을 재치할 수 있게 되어, 처리장치의 가동률을 향상시킬 수가 있다. 또한, 하물 픽업 포트가 스토커의 로드 포트인 경우, 컨트롤러가 제1 반송 지령 및 제2 반송 지령을 반송차에 할당하는 구성에서는, 스토커의 로드 포트로부터 신속하게 물품을 반출하기 때문에, 스토커의 로드 포트에 새로운 물품을 재치할 수 있게 되어, 스토커의 가동률을 향상시킬 수가 있다.
[0014] 또한, 하물 픽업 포트가 물품을 재치할 수 있는 버퍼이며 또한 하물 드롭 포트가 처리장치의 로드 포트인 경우, 컨트롤러가 제1 반송 지령 및 제2 반송 지령을 할당하고, 하물 픽업 포트가 버퍼이며 또한 하물 드롭 포트가 처리장치의 로드 포트 이외인 경우, 제1 반송 지령 및 제2 반송 지령을 할당하지 않는 구성에서는, 처리장치의 로드 포트에 대하여 단시간에 물품을 반송할 수가 있다. 또한, 컨트롤러가 복수의 반송차를 제어하는 반송 컨트롤러, 또는 반송차에 탑재되는 차재 컨트롤러인 구성에서는, 반송차를 효율적으로 제어할 수가 있다.
[0015] 도 1은 제1 실시형태에 관계된 반송 시스템 및 컨트롤러의 일례를 나타내는 도면이다.
도 2는 컨트롤러의 기능 블록 구성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 3은 반송차의 구성의 일례를 나타낸 도면이다.
도 4는 제1 실시형태에 관계된 컨트롤러의 동작 흐름의 일례를 나타내는 도면이다.
도 5는 제1 실시형태에 있어서 반송차의 동작의 일례를 설명하는 도면이다.
도 6은 도 5에 이어서, 반송차의 동작의 일례를 설명하는 도면이다.
도 7은 도 6에 이어서, 반송차의 동작의 일례를 설명하는 도면이다.
도 8은 제2 실시형태에 관계된 컨트롤러의 동작 흐름의 일례를 나타내는 도면이다.
도 9는 제2 실시형태에 있어서 반송차의 동작의 일례를 설명하는 도면이다.
도 10은 도 9에 이어서, 반송차의 동작의 다른 예를 설명하는 도면이다.
도 11은 반송차의 동작의 다른 예를 설명하는 도면이다.
도 12는 제3 실시형태에 관계된 컨트롤러의 기능 블록 구성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 13은 제3 실시형태에 관계된 컨트롤러의 동작 흐름의 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 14는 하물 픽업 포트 및 하물 드롭 포트의 종별과, 할당하는 반송 지령의 종류 간의 관계를 나타내는 표이다.
도 15는 제4 실시형태에 있어서 반송차의 동작의 다른 예를 설명하는 도면이다.
[0016] 이하, 본 발명의 실시형태에 관하여 도면을 참조하면서 설명한다. 단, 본 발명은 본 형태로 한정되지 않는다. 또한, 도면에서는 실시형태를 설명하기 위하여, 일부분을 크게 또는 강조하여 기재하는 등 적절히 축척을 변경하여 표현하고 있다. 도 3에서는 XYZ 좌표계를 이용하여 도면에서의 방향을 설명한다. 이 XYZ 좌표계는, 수평면에 평행한 평면을 XY 평면으로 한다. 이 XY 평면에 있어서 반송차(V)가 주행하는 방향을 X 방향으로 표기하고, X 방향에 직교하는 방향을 Y 방향으로 표기한다. 또한, XY 평면에 수직인 방향은 Z 방향으로 표기한다. X 방향, Y 방향 및 Z 방향의 각각은, 도면의 화살표가 가리키는 방향이 + 방향이며, 화살표가 가리키는 방향과 반대인 방향이 - 방향 인 것으로 하여 설명한다.
[0017] (제1 실시형태)
도 1은 제1 실시형태에 관계된 반송 시스템 및 컨트롤러의 일례를 나타내는 도면이다. 본 실시형태에 관계된 반송 시스템(SYS)은, 반송차(V)에 의해 물품(W)을 반송하는 시스템이다. 반송 시스템(SYS)은, 예컨대 반도체 공장에 설치된다. 물품(W)은 예컨대, 웨이퍼 또는 레티클 등을 수용할 수 있는 FOUP, SMIF Pod, 레티클 Pod 등이다. 반송 시스템(SYS)은 예컨대, 상위 컨트롤러(MC)와 컨트롤러(TC)와 복수의 반송차(V)를 구비한다. 컨트롤러(TC)는 복수의 반송차(V)를 제어하는 반송 컨트롤러이다. 또한, 본 실시형태에서는 복수의 반송차(V) 중 1대의 반송차(V)에 관해 나타내고 있지만, 다른 반송차(V)여도 마찬가지이다.
[0018] 반송차(V)는 소정의 궤도(TA; 경로)를 따라 주행하며 물품(W)을 반송한다. 궤도(TA)는 분기부(11) 및 합류부(12)를 포함한다. 분기부(11) 및 합류부(12)에는 차단 영역(Blocking Area; BA1~BA4)이 설정된다. 차단 영역(BA1~BA4)에서는 반송차(V)의 통과를 규제한다. 예컨대, 반송차(V)가 차단 영역(BA1~BA4)을 통과할 때, 반송차(V)로부터 도시되지 않은 차단 컨트롤러로 차단 영역(BA1~BA4)에 관하여 통과 요구를 송신한다. 반송차(V)는 차단 컨트롤러로부터의 통과 허가를 수신한 경우, 각 차단 영역(BA1~BA4)을 통과하지만, 통과 허가를 받지 못하면, 각 차단 영역(BA1~BA4)에 진입하지 않고 각 차단 영역(BA1~BA4)의 앞에서 정지한다. 궤도(TA)는 임의로 설정 가능하며, 예컨대, 건물의 천장(1, 도 3 참조)에서 매달려 부설(敷設)된다. 반송차(V)는 컨트롤러(TC)로부터 할당된 반송 지령에 따라 물품(W)을 반송한다.
[0019] 도 2는 컨트롤러의 기능 블록 구성의 일례를 나타내는 도면이다. 본 실시형태에 있어서, 컨트롤러는 상위 컨트롤러(MC) 및 컨트롤러(TC)를 포함한다. 상위 컨트롤러(MC)는, 예컨대 CPU, 메인 메모리, 기억장치, 통신장치 등을 구비하며, 각종 정보의 처리, 정보의 기억, 정보의 입출력, 정보의 통신(송수신) 등을 행한다. 상위 컨트롤러(MC)는 예컨대, 컴퓨터 시스템이 이용된다.
[0020] 상위 컨트롤러(MC)는 반송 시스템(SYS)에 있어서 물품(W)의 반송을 지시한다. 상위 컨트롤러(MC)에는, 각 하물 픽업 포트(PF1)들 및 각 하물 드롭 포트(PT1)들의 상태에 관한 정보, 자신이 컨트롤러(TC)에 송신한 지령의 상태에 관한 정보 등이 컨트롤러(TC)를 포함하는 시스템의 각 부로부터 송신된다. 상위 컨트롤러(MC)는, 각 물품(W)의 위치 정보, 각 하물 픽업 포트 또는 각 하물 드롭 포트의 상태(예컨대 장치 등의 가동 상태, 물품(W)의 점유 상태)에 관한 정보, 자신이 컨트롤러(TC)에 송신한 지령의 상태(예컨대 실행 중, 실행 완료, 실행 실패 등)에 관한 정보 등을 관리한다.
[0021] 상위 컨트롤러(MC)는 상위 반송 지령 생성부(반송 지령 생성부; 31)를 구비한다. 상위 반송 지령 생성부(31)는, 소정의 물품(W)을 반송원(搬送元)인 하물 픽업 포트(PF1)로부터 반송처인 하물 드롭 포트(PT1)로 반송시키는 상위 반송 지령을 생성한다. 상위 컨트롤러(MC)는 상위 반송 지령 생성부(31)가 생성한 상위 반송 지령을 컨트롤러(TC)에 송신한다. 상위 반송 지령은, 예컨대, 반송 대상인 물품(W)의 위치(하물 픽업 포트(PF1))를 나타내는 하물 픽업 포트 정보와, 반송 대상인 물품(W)을 드롭하는 위치(하물 드롭 포트(PT1))를 나타내는 하물 드롭 포트 정보와, 하물 픽업 포트(PF1)의 물품(W)을 하물 드롭 포트(PT1)로 반송시키는 지령을 포함한다. 컨트롤러(TC)는, 상위 컨트롤러(MC)로부터 수신한 상위 반송 지령에 근거하여, 물품(W)의 반송에 관한 반송 지령을 반송차(V)에 할당한다. 즉, 반송 대상인 물품(W)을, 하물 픽업 포트(PF1)에서 픽업하게 하고, 하물 드롭 포트(PT1)에서 드롭하게 하는 반송 지령을 어떠한 반송차(V)에 할당한다.
[0022] 컨트롤러(TC)는 반송차(V)를 제어한다. 컨트롤러(TC)는 각종 지령을 반송차(V)에 송신함으로써, 각 반송차(V)를 제어한다. 컨트롤러(TC)는, 예컨대, 반송 지령 수신부(41)와, 반송차 선택부(42)와, 주행 경로 생성부(43)와, 경로 판정부(44)와, 할당부(45)와, 상태 보고 수신부(46)와, 반송 완료 보고부(47)와, 위치 특정부(48)와, 목적지 변경 요구부(49)를 구비한다. 컨트롤러(TC)는, 예컨대 CPU, 메인 메모리, 기억장치, 통신장치 등을 구비하며, 각종 정보의 처리, 정보의 기억, 정보의 입출력, 정보의 통신(송수신) 등을 행한다. 컨트롤러(TC)는 예컨대, 컴퓨터 시스템이 이용된다. 컨트롤러(TC)는, 반송차(V)의 제어에 필요한 정보(예컨대, 경로 정보, 지도(map) 정보) 및 제어 프로그램 등이, 도시되지 않은 기억장치에 의해 저장되어 있다. 또한, 컨트롤러(TC)의 구성은 도 2에 나타내는 구성으로 한정되지 않으며, 다른 구성이어도 된다.
[0023] 반송 지령 수신부(41)는, 상위 컨트롤러(MC)로부터 송신된 상위 반송 지령을 수신한다. 상위 컨트롤러(MC)로부터 컨트롤러(TC)로 송신되는 상위 반송 지령에는, 상기한 바와 같이, 물품(W)의 하물 픽업 포트(PF1)(From: 반송원)와, 물품(W)의 하물 드롭 포트(PT1)(To: 반송처)가 포함된다.
[0024] 반송차 선택부(42)는, 반송 지령을 할당할 반송차(V)를 선택한다. 반송차 선택부(42)는 예컨대, 복수의 반송차(V) 중 공차(空車; 물품(W)을 반송하고 있지 않은 반송차)를 선정하고, 선정한 공차인 반송차(V) 중에서 하물 픽업 포트(PF1)에 가장 빨리 도착하는 반송차(V)를 선택한다. 주행 경로 생성부(43)는, 궤도(TA)에 있어서 반송 지령(상위 반송 지령)으로 정해진 하물 픽업 포트(PF1)로부터 하물 드롭 포트(PT1)까지의 반송차(V)의 주행 경로를 생성한다. 주행 경로 생성부(43)는, 예컨대, 도시되지 않은 기억장치에 기억되어 있는 경로 정보로부터 최단(最短)의 경로를 선정하여 반송차(V)의 주행 경로를 생성한다.
[0025] 경로 판정부(44)는, 주행 경로 생성부(43)에서 생성된 주행 경로에 있어서, 주행 경로를 확보할 수 있는지 여부를 판정한다. 경로 판정부(44)는, 예컨대, 주행 경로 생성부(43)에서 생성된 주행 경로에 있어서, 주행 경로의 일부가 폐쇄되어 있는지 여부를 검출한다. 주행 경로의 일부 폐쇄는, 예컨대, 궤도(TA)의 손상, 고장 차량(故障車)의 존재, 유지 보수 등으로 인해 발생하며, 운영자 등에 의해 컨트롤러(TC)에 입력 또는 송신된다. 또한, 주행 경로의 폐쇄는, '루트 다운(route down)'이라고 부르며, 예컨대, 운영자 등에 의해 루트 단위로 설정된다. 경로 판정부(44)는 폐쇄가 검출되지 않을 경우, 주행 경로를 확보할 수 있다고 판정한다. 또한 경로 판정부(44)는, 주행 경로의 일부가 폐쇄되어 있음이 검출된 경우, 주행 경로를 확보할 수 없다고 판정한다.
[0026] 할당부(45)는, 경로 판정부(44)에서의 판정 결과에 근거하여, 반송차 선택부(42)에서 선택된 반송차(V)에 대해 반송 지령, 제1 반송 지령 및 제2 반송 지령 중의 어느 하나를 할당한다. 본 실시형태에서는 할당부(45)는, 궤도(TA)에 있어서 반송 지령으로 정해진 하물 픽업 포트(PF1)로부터 하물 드롭 포트(PT1)까지의 반송차(V)의 주행 경로를 확보할 수 있는 경우, 하물 픽업 포트(PF1)에서 물품(W)을 픽업하게 하고, 상기한 주행 경로를 주행하게 하여 하물 드롭 포트(PT1)에서 물품(W)을 드롭하게 하는 반송 지령을 반송차(V)에 할당한다.
[0027] 또한 컨트롤러(TC)는, 궤도(TA)에 있어서 반송 지령으로 정해진 하물 픽업 포트(PF1)로부터 하물 드롭 포트(PT1)까지의 반송차(V)의 주행 경로를 확보할 수 없는 경우, 제1 반송 지령을 생성한다. 할당부(45)는 앞서의 반송 지령 대신에 제1 반송 지령을 반송차(V)에 할당한다. 제1 반송 지령은, 할당부(45)에 의해 생성될 수도 있고, 할당부(45)와는 별도로 컨트롤러(TC)에 구비되는 도시되지 않은 반송 지령 생성부에 의해 생성될 수도 있다. 제1 반송 지령은, 반송차(V)로 하여금 하물 픽업 포트(PF1)에서 물품(W)을 픽업하게 하고, 하물 픽업 포트(PF1)보다 반송차(V)의 주행 방향의 하류 측이면서 궤도(TA)에 있어서 주행 경로를 확보할 수 있는 지정 포인트(P1)까지 주행하게 하며, 물품(W)을 드롭하지 않고 유지하도록 하는 지령이다.
[0028] 제1 반송 지령으로는, 궤도(TA)에서의 분기부(11) 또는 합류부(12)의 앞에 지정 포인트(P1)가 설정된다. 지정 포인트(P1)의 설정은, 예컨대, 주행 경로 생성부(43)에 의해 설정될 수도 있고, 할당부(45)에 의해 설정될 수도 있다. 본 실시형태에 있어서, 지정 포인트(P1)는, 하물 픽업 포트(PF1)보다 하류 측이면서 하물 픽업 포트(PF1)에 가장 가까운 분기부(11)의 앞에 설정되어 있다. 지정 포인트(P1)가 분기부(11) 또는 합류부(12)의 앞에 설정됨에 따라, 분기부(11)에 있어서는 지정 포인트(P1)에 도달한 후에 있어서 주행 가능한 다른 주행 경로를 선택할 수 있어, 다른 반송차(V)에 의한 합류부(12)의 통과를 확보할 수가 있다. 또한, 하물 픽업 포트(PF1)의 상방으로부터 반송차(V)를 이동시키게 되므로, 이 하물 픽업 포트(PF1)에 대하여 다른 반송차(V)가 물품(W)을 드롭할 수 있게 된다.
[0029] 할당부(45)는, 반송차(V)가 지정 포인트(P1)에 접근 또는 도달한 시점에서(또는 지정 포인트(P1)에 도달할 때까지의 동안에) 지정 포인트(P1)로부터 하물 드롭 포트(PT1)까지의 주행 경로를 확보할 수 있는 경우에는, 반송차(V)에 제2 반송 지령을 할당한다. 즉, 반송차(V)가 지정 포인트(P1)에 접근 또는 도달한 시점에서 주행 경로의 폐쇄가 해제되어 있을 때, 예컨대, 궤도(TA)의 복구가 완료되었을 때, 고장 차량이 제거되었을 때, 또는 유지 보수가 종료되었을 때에는, 할당부(45)는 반송차(V)에 제2 반송 지령을 할당한다. 제2 반송 지령은, 지정 포인트(P1)로부터 하물 드롭 포트(PT1)까지 주행하게 하여, 하물 드롭 포트(PT1)에 물품(W)을 드롭하게 하는 지령이다.
[0030] 상태 보고 수신부(46)는, 컨트롤러(TC)로부터 송신된 상태 보고 요구에 대하여, 차재 컨트롤러(VC)로부터 송신된 상태 보고를 수신한다. 차재 컨트롤러(VC)로부터 컨트롤러(TC)로 송신되는 상태 보고에는, 반송차(V)의 위치를 보고하는 위치 보고와, 반송차(V)가 물품(W)의 픽업을 완료하였음을 보고하는 하물 픽업 완료 보고와, 반송차(V)가 물품(W)의 드롭을 완료하였음을 보고하는 반송 완료 보고가 포함되며, 나아가 주행 속도 등의 정보가 포함된다. 반송 완료 보고부(47)는, 하물 드롭 포트(PT1)로의 물품(W)의 반송이 완료되었음을 상위 컨트롤러(MC)에 보고한다.
[0031] 위치 특정부(48)는, 반송차(V)로부터 보내지는 위치 보고에 근거하여, 궤도(TA)에서의 반송차(V)의 위치를 특정한다. 목적지 변경 요구부(49)는, 제1 반송 지령을 받은 반송차(V)의 목적지가 지정 포인트(P1)로 변경되었음을 보고하며, 지정 포인트(P1)를 기준으로 한 물품(W)의 하물 드롭 포트를 새롭게 결정하도록, 상위 컨트롤러(MC)에 요구한다. 상기한 바와 같이 할당부(45)는, 반송차(V)가 지정 포인트(P1)에 접근 또는 도달한 시점에서 주행 경로를 확보할 수 있을 때에 반송차(V)에 제2 반송 지령을 할당하는데, 지정 포인트(P1)로부터 하물 드롭 포트(PT1)까지의 주행 경로를 확보할 수 없으면, 제2 반송 지령이 할당되지 않아, 반송차(V)가 지정 포인트(P1)에서 정지한 상태가 되고 만다. 제2 반송 지령이 할당되지 않게 될 경우, 예컨대, 목적지 변경 요구부(49)는, 물품(W)의 새로운 하물 드롭 포트를 요구하기 위하여, 상위 컨트롤러(MC)에 목적지 변경 요구를 송신한다.
[0032] 상위 컨트롤러(MC)는, 목적지 변경 요구부(49)의 요구에 근거하여, 물품(W)의 새로운 하물 드롭 포트를 결정하고, 물품(W)의 새로운 하물 드롭 포트에 관한 결정 내용을 컨트롤러(TC)로 송신한다. 물품(W)의 새로운 하물 드롭 포트에 관한 결정 내용을 수신한 컨트롤러(TC)는, 주행 경로 생성부(43)에 있어서 지정 포인트(P1)로부터 새로운 하물 드롭 포트까지의 주행 경로를 생성한다. 할당부(45)는 반송차(V)에 대하여, 지정 포인트(P1)로부터 새로운 하물 드롭 포트까지 주행하게 하고, 새로운 하물 드롭 포트에서 물품(W)을 드롭하게 하는 제3 반송 지령을 할당한다.
[0033] 반송차(V)의 구성에 대해 설명하도록 한다. 도 3은 반송차(V)의 구성의 일례를 나타낸다. 반송차(V)는, 예컨대 건물의 천장(1) 등으로부터 매달린 궤도(TA)를 따라 일방향(+X 방향)으로 주행하고, 궤도(TA)의 하방(수직 하방(直下)), 또는 하방이면서 측방(Y 방향)에 배치된 하물 픽업 포트(PF1)에서 물품(W)의 픽업을 행하며, 궤도(TA)의 하방, 또는 하방이면서 측방에 배치된 하물 드롭 포트(PT1)에서 물품(W)의 드롭을 행하는 천장 반송차이다.
[0034] 반송차(V)는 차재 컨트롤러(VC)를 구비하고 있다. 차재 컨트롤러(VC)는, 반송차(V)의 각종 동작(예컨대 주행, 속도 제어(가속, 감속, 정지), 하물 픽업의 실행에 관한 동작, 하물 드롭의 실행에 관한 동작)을 제어한다. 차재 컨트롤러(VC)는 컨트롤러(TC)로부터 송신되는 지령에 따라서 반송차(V)를 제어한다. 컨트롤러(TC)는 예컨대, 반송차(V)를 제어하는 지령으로서, 상기한 반송 지령, 이후에 설명하는 이동 지령 등을 반송차(V)에 송신한다. 차재 컨트롤러(VC)는, 예컨대 CPU, 메인 메모리, 기억장치, 통신장치 등을 구비하며, 각종 정보의 처리, 정보의 기억, 정보의 입출력, 정보의 통신(송수신) 등을 행하는 컴퓨터 시스템이다.
[0035] 차재 컨트롤러(VC)는 반송차(V)의 상태를 나타내는 상태 정보를 관리한다. 차재 컨트롤러(VC)는, 컨트롤러(TC)로부터 정기적으로 송신되는 상태 보고 요구에 응답하는 양식으로, 상태 정보(상태 정보를 포함하는 상태 보고)를 컨트롤러(TC)에 송신한다. 차재 컨트롤러(VC)와 컨트롤러(TC)의 사이에서 행해지는 상태 보고 요구 및 상태 정보(상태 정보를 포함하는 상태 보고)에 관한 통신은, 소정의 시간마다 정기적으로 행해진다. 컨트롤러(TC)는, 각 반송차(V)로부터 상태 정보(상태 정보를 포함하는 상태 보고)를 정기적으로 수신함으로써, 관리 하의 각 반송차(V)의 최신의 상태, 컨트롤러(TC) 자신이 반송차(V)에 송신한 각종 지령의 최신의 상태를 파악하고 관리한다.
[0036] 반송차(V)의 상태 정보는, 예컨대 반송차(V)의 현재 위치를 나타내는 정보(현재 위치 정보), 주행에 관한 정보(예컨대 속도, 정지 등), 물품(W)의 유지 여부에 관한 정보, 컨트롤러(TC)로부터 송신된(할당된) 각종 지령의 상태(상황)에 관한 정보를 포함한다. 상태 정보에서의 각종 지령의 상태에 관한 정보는, 예컨대 각종 지령의 할당의 완료 또는 실패(불가능), 각종 지령(예컨대 반송 지령, 이동 지령)의 실행의 완료 또는 실패, 각종 지령에 관한 동작 또는 처리(예컨대 주행, 하물의 픽업, 드롭)의 실행의 완료 또는 실패 등을 나타내는 정보 등을 포함한다. 컨트롤러(TC)는, 각 반송차(V)로부터 정기적으로 송신되는 상태 정보(상태 정보를 포함하는 상태 보고)를 수신함으로써, 각 반송차(V)의 상태, 각 반송차(V)에 대한 지령의 실행 상태 등을 파악하여, 각 반송차(V)의 관리 및 제어를 행한다. 컨트롤러(TC)는, 반송차(V)로부터 송신되는 상태 정보(상태 정보를 포함하는 상태 보고)에 따라, 반송차(V)에 의한 지정 포인트(P1)로의 접근 또는 도달을 인식할 수가 있다.
[0037] 반송차(V)는 도 3에 나타낸 바와 같이, 주행부(M)와 본체부(3)를 구비한다. 주행부(M)는 차륜(車輪; 4)을 구비하며, 도시하지 않은 주행 구동부에 의해 궤도(TA; 경로)를 따라 주행한다. 본체부(3)는 주행부(M)의 하방에 매달린 상태로 설치된다. 본체부(3)는 이재(移載)장치(5)를 구비한다. 이재장치(5)는, 물품(W)을 유지하는 물품 유지부(6)와, 물품 유지부(6)를 승강시키는 승강 구동부(7)와, 승강 구동부(7)를 궤도(TA)의 측방(+Y 방향 또는 -Y 방향)으로 이동시키는 횡출(橫出) 기구(8)를 구비한다.
[0038] 물품 유지부(6)는, 진퇴 가능한 클로(claw)부(6a)를 갖는 척(chuck)이며, 클로부(6a)를 물품(W)의 플랜지부(Wa)의 하방으로 진입시켜, 물품(W)을 매달아 유지한다. 물품 유지부(6)는, 와이어 또는 벨트 등의 행거 부재(6b)와 접속되어 있다. 승강 구동부(7)는 예컨대 호이스트이며, 행거 부재(6b)를 풀어내거나 또는 감음으로써 물품 유지부(6)를 승강시킨다. 횡출 기구(8)는, 복수의 가동판을 슬라이드 시킴으로써, 물품 유지부(6) 및 승강 구동부(7)를, 본체부(3) 내에 격납되는 위치와, 궤도(TA)의 측방으로 돌출된 위치의 사이에서 이동시킨다. 반송차(V)에 의한 물품(W)의 픽업 및 드롭은, 상기한 물품 유지부(6), 또는 승강 구동부(7) 및 횡출 기구(8)를 이용하여 행한다. 물품 유지부(6), 승강 구동부(7) 및 횡출 기구(8)의 동작은, 차재 컨트롤러(VC)에 의해 제어된다.
[0039] 차재 컨트롤러(VC)는, 하물 픽업 포트(PF1)에서 물품(W)의 픽업을 행할 경우, 반송차(V)를 하물 픽업 포트(PF1)에 맞추어 정지시키고, 승강 구동부(7), 또는 승강 구동부(7)와 횡출 기구(8)를 동작시켜 물품 유지부(6)를 소정 위치로 이동시킴으로써, 하물 픽업 포트(PF1)에서 물품(W)의 픽업을 행하도록 지시한다. 하물 픽업 포트(PF1)는, 반송 시스템(SYS)에 있어서 임의로 설정 가능하다. 하물 픽업 포트(PF1)는, 예컨대 처리장치(PA)의 로드 포트 또는 스토커(ST)의 로드 포트, 물품(W)을 재치할 수 있는 선반부가 건물의 천장(1) 등에서 매달려 설치된 오버 헤드 버퍼(BF; 이하, '버퍼'로 표기함) 등이다. 또한 버퍼(BF)는, 궤도(TA)의 하방이면서 측방에 배치된 사이드 트랙 버퍼와, 궤도(TA)의 수직 하방에 배치된 언더 트랙 버퍼를 포함한다.
[0040] 또한, 하물 드롭 포트(PT1)에서 물품(W)의 드롭을 행할 경우, 차재 컨트롤러(VC)는, 반송차(V)를 하물 드롭 포트(PT1)에 맞추어 정지시키고, 승강 구동부(7), 또는 승강 구동부(7)와 횡출 기구(8)를 동작시켜 물품 유지부(6)를 소정 위치로 이동시킴으로써, 하물 드롭 포트(PT1)에서 물품(W)의 드롭을 행하도록 지시한다. 하물 드롭 포트(PT1)는 반송 시스템(SYS)에서 임의로 설정 가능하다. 하물 드롭 포트(PT1)는 예컨대, 처리장치(PA) 또는 스토커(ST)의 로드 포트, 물품(W)을 재치할 수 있는 선반부가 건물의 천장(1) 등에서 매달려 설치된 버퍼(BF) 등이다.
[0041] 컨트롤러(TC)와 차재 컨트롤러(VC)는, 예컨대, 무선 LAN(Local Area Network), 피더(feeder) 선을 이용한 피더 통신 등의 전송로를 통해 무선 통신 접속되어 있다. 또한 컨트롤러(TC)와 상위 컨트롤러(MC)는, 유선 LAN, 무선 LAN 등의 전송로를 통해 통신 접속되어 있다.
[0042] 도 4는 컨트롤러(TC)의 동작 흐름의 일례를 나타내는 도면이다. 여기에서는 도 4에 나타내어진 동작 흐름을 참조하여 컨트롤러(TC)가 반송 지령을 할당할 때의 동작에 대해 설명한다. 또한, 이러한 동작 흐름의 설명에서는 도 1 내지 도 3을 적절히 참조한다. 하물 픽업 포트(PF1)에 있는 물품(W)을 하물 드롭 포트(PT1)로 반송시키는 경우, 상위 컨트롤러(MC)는, 픽업 대상인 물품(W)이 하물 픽업 포트(PF1)에 존재하며, 픽업 대상인 물품(W)을 하물 드롭 포트(PT1)까지 반송하도록 지시하는 반송 지령(상위 반송 지령)을 컨트롤러(TC)에 대하여 송신한다.
[0043] 컨트롤러(TC)의 반송 지령 수신부(41)는, 상위 컨트롤러(MC)로부터 반송 지령을 수신한다(단계 S01). 반송 지령 수신부(41)는 예컨대, 상위 컨트롤러(MC)로부터 수신한 데이터의 헤더(header)를 참조하여, 상위 컨트롤러(MC)로부터 수신한 데이터가 반송 지령인지를 판정한다. 반송 지령을 수신한 후, 컨트롤러(TC)의 반송차 선택부(42)는, 반송 지령을 할당할 반송차(V)를 선택한다(단계 S02). 주행 경로 생성부(43)는, 수신한 반송 지령에 근거하여, 하물 픽업 포트(PF1)로부터 하물 드롭 포트(PT1)까지 반송차(V)의 주행 경로를 생성한다(단계 S03).
[0044] 경로 판정부(44)는, 주행 경로 생성부(43)에서 생성된 주행 경로에 있어서, 주행 경로의 일부가 폐쇄되어 있는지 여부를 판정한다(단계 S04). 단계 S04에서 폐쇄되어 있지 않다고 판정된 경우(단계 S04; NO), 주행 경로 생성부(43)에 의해 생성된 주행 경로를 포함하는 반송 지령을 반송차(V)에 할당한다(단계 S05).
[0045] 한편, 단계 S04에 있어서 주행 경로의 일부가 폐쇄되어 있고, 소정 범위 내에, 상위 컨트롤러(MC)로부터의 반송 지령을 실행할 수 있는 반송차(V)(즉, 반송 지령으로 정해진 하물 픽업 포트(PF1)로부터 하물 드롭 포트(PT1)까지 물품(W)을 반송할 수 있는 반송차(V))가 한 대도 존재하지 않는다고 판정된 경우(단계 S04; YES), 상위 컨트롤러(MC)로부터의 반송 지령 대신에 제1 반송 지령을 반송차(V)에 할당한다(단계 S06). 도 5는, 반송차(V)의 동작의 일례를 설명하는 도면이다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 궤도(TA)의 주행 경로의 일부에 폐쇄 경로(CR)가 설정되어 있는 경우, 할당부(45)는, 반송원(From)을 하물 픽업 포트(PF1)로 설정하고, 반송처(To)를 지정 포인트(P1)로 한 제1 반송 지령을 반송차(V)에 할당한다. 반송차(V)는, 제1 반송 지령을 수신한 경우, 제1 반송 지령에 따라 하물 픽업 포트(PF1)에서 물품(W)을 픽업한 후, 지정 포인트(P1)를 향해 주행한다.
[0046] 반송차(V)가 지정 포인트(P1)에 접근 또는 도달한 시점에서, 경로 판정부(44)는, 지정 포인트(P1)로부터 하물 드롭 포트(PT1)까지의 주행 경로를 확보할 수 있는지 여부를 판정한다(단계 S07). 단계 S07에 있어서 주행 경로를 확보할 수 있다고 판정된 경우(단계 S07; YES), 반송차(V)에 제2 반송 지령을 할당한다(단계 S08).
[0047] 도 6은 도 5에 이어서, 반송차(V)의 동작의 일례를 설명하는 도면이다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 반송차(V)가 지정 포인트(P1)에 도달한 시점에서, 폐쇄 경로(CR)가 해제되어 주행 가능하게 되어 있다. 따라서, 반송차(V)에 의한 지정 포인트(P1)로부터 하물 드롭 포트(PT1)까지의 주행 경로에는 폐쇄된 경로가 없어, 주행 경로를 확보할 수 있는 상태로 되어 있다. 이 경우, 할당부(45)는, 반송원(From)을 지정 포인트(P1) 또는 반송차(V) 자신으로 설정하고, 반송처(To)를 하물 드롭 포트(PT1)로 한 제2 반송 지령을 반송차(V)에 할당한다. 반송차(V)는 제2 반송 지령을 수신한 경우, 제2 반송 지령에 따라 지정 포인트(P1)로부터 하물 드롭 포트(PT1)를 향해 주행한다.
[0048] 도 7은 도 6에 이어서, 반송차(V)의 동작의 일례를 설명하는 도면이다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 반송차(V)는, 지정 포인트(P1)로부터 분기부(11)와 합류부(12)를 거쳐 하물 드롭 포트(PT1)를 향해 주행하는 경우, 각 차단 영역(BA1~BA4)을 통과하게 된다. 반송차(V)가 차단 영역(BA1~BA4)을 통과할 때에는, 반송차(V)로부터 도시되지 않은 차단 컨트롤러로 각 차단 영역(BA1~BA4)의 통과 요구를 송신한다. 반송차(V)는, 차단 컨트롤러로부터의 통과 허가를 수신한 경우, 각 차단 영역(BA1~BA4)을 통과한다. 반송차(V)는 하물 드롭 포트(PT1)에 도착하면 물품(W)을 드롭한다. 또한, 도 7에서는, 하물 드롭 포트(PT1)에서 물품(W)을 드롭한 후에 반송차(V)가 하류 측으로 이동한 상태를 나타내고 있다.
[0049] 또한, 단계 S07에 있어서 주행 경로를 확보할 수 없다고 판정된 경우(단계 S07; NO)에는, 예컨대, 반송차(V)는 지정 포인트(P1)에 있어서 정지한 상태가 된다. 또한, 제1 반송 지령은, 물품(W)을 드롭하지 않고 유지하는 지령이기 때문에, 지정 포인트(P1)에 반송차(V)가 도착하여도 물품(W)을 드롭하게 하지 않는다.
[0050] 이와 같이, 본 실시형태에 의하면, 궤도(TA)에 있어서 반송 지령으로 정해진 하물 픽업 포트(PF1)로부터 하물 드롭 포트(PT1)까지의 반송차(V)의 주행 경로를 확보할 수 없는 경우, 반송차(V)는, 제1 반송 지령에 의해 하물 픽업 포트(PF1)에서 물품(W)을 픽업하여 지정 포인트(P1)까지 주행한다. 이 때문에, 하물 픽업 포트(PF1)로부터 신속하게 물품(W)을 반출하여, 물품(W)이 반출된 하물 픽업 포트(PF1)에 다른 물품(W)을 재치할 수 있다. 그 결과, 처리장치(PA) 등에 의한 처리 효율이 저하되는 것을 방지할 수가 있다.
[0051] 또한, 반송차(V)가 지정 포인트(P1)에 접근 또는 도달할 때까지의 동안에 하물 드롭 포트(PT1)까지의 주행 경로를 확보할 수 있게 된 경우에는, 제2 반송 지령에 의해, 반송차(V)가 그대로 하물 드롭 포트(PT1)까지 주행하여 하물 드롭 포트(PT1)에서 물품(W)을 드롭하기 때문에, 반송차(V)의 모든 주행 경로가 확보되고 나서 반송차(V)에 반송 지령을 할당하는 경우에 비해 물품(W)의 반송 시간이 단축되어, 물품(W)의 반송 효율을 향상시킬 수가 있다. 본 실시형태에서는, 상위 컨트롤러(MC)로부터의 상위 반송 지령을, 컨트롤러(TC)에 의해 제1 반송 지령과 제2 반송 지령으로 분할하여, 먼저, 제1 반송 지령을 반송차(V)에 할당한 후에, 반송차(V)에 제2 반송 지령을 할당하는 형태에 상당한다.
[0052] (제2 실시형태)
다음으로, 제2 실시형태에 대해 설명한다. 도 8은 제2 실시형태에 관계된 컨트롤러(TC)의 동작 흐름의 일례를 나타내는 도면이다. 도 8에 나타내는 동작 흐름에 있어서, 단계 S01에서 단계 S06, 단계 S07의 YES 및 단계 S08의 동작에 관해서는, 상기한 실시형태의 동작 흐름과 마찬가지이다. 본 실시형태에서는 도 8에 나타낸 바와 같이, 단계 S07에 있어서 주행 경로를 확보할 수 없다고 판정된 경우(단계 S07; NO), 목적지 변경 요구부(49)는, 상위 컨트롤러(MC)에 대하여, 제1 반송 지령을 받은 반송차(V)의 목적지가 지정 포인트(P1)로 변경되었음을 보고하고, 지정 포인트(P1)를 기준으로 한 물품(W)의 하물 드롭 포트를 새롭게 결정하도록 상위 컨트롤러(MC)에 요구한다(단계 S11). 상위 컨트롤러(MC)는, 목적지 변경 요구부(49)의 요구에 근거하여, 물품(W)의 새로운 하물 드롭 포트(PT2)를 결정하고, 물품(W)의 새로운 하물 드롭 포트(PT2)에 관한 결정 내용을 컨트롤러(TC)에 송신한다.
[0053] 컨트롤러(TC)는, 물품(W)의 새로운 하물 드롭 포트(PT2)에 관한 새로운 반송 지령을 수신한다(단계 S12). 컨트롤러(TC)는, 새로운 반송 지령을 수신한 경우, 주행 경로 생성부(43)에 있어서 지정 포인트(P1)로부터 하물 드롭 포트(PT2)까지의 주행 경로를 생성한다(단계 S13). 또한, 단계 S13 후에, 경로 판정부(44)에 의해 지정 포인트(P1)로부터 하물 드롭 포트(PT2)까지의 주행 경로를 확보할 수 있는지 여부가 판정되어도 된다. 할당부(45)는, 반송차(V)에 대하여, 지정 포인트(P1)로부터 하물 드롭 포트(PT2)까지 주행하게 하고, 하물 드롭 포트(PT2)에서 드롭하게 하는 제3 반송 지령을 반송차(V)에 할당한다(단계 S14).
[0054] 도 9 및 도 10은, 제2 실시형태에 있어서, 반송차(V)의 동작의 일례를 설명하는 도면이다. 도 9에 나타낸 바와 같이, 반송차(V)가 지정 포인트(P1)에 도달한 시점에서, 폐쇄 경로(CR)가 그대로 설정된 채인 상태로 되어 있다. 이 경우, 목적지 변경 요구부(49)는, 상기 단계 S11과 같이, 상위 컨트롤러(MC)에 대하여 목적지 변경을 요구한다. 상위 컨트롤러(MC)는 이 요구에 대해, 반송원(From)을 지정 포인트(P1)로 하고, 반송처(To)를 하물 드롭 포트(PT2)로 한 반송 지령(상위 반송 지령)을 컨트롤러(TC)에 송신한다.
[0055] 컨트롤러(TC)는, 반송 지령을 수신한 경우, 이 반송 지령에 근거하여, 반송원(From)을 지정 포인트(P1)로 하고, 반송처(To)를 하물 드롭 포트(PT2)로 한 제3 반송 지령을 생성하여 반송차(V)에 할당한다. 반송차(V)는, 제3 반송 지령을 수신한 경우, 도 10에 나타낸 바와 같이, 제3 반송 지령에 따라서 지정 포인트(P1)로부터 분기부(11) 및 합류부(12A)를 거쳐 하물 드롭 포트(PT2)까지 주행하여, 하물 드롭 포트(PT2)에서 물품(W)을 드롭한다. 이 경우, 반송차(V)는 차단 영역(BA1, BA5)을 통과하게 된다. 반송차(V)가 차단 영역(BA1, BA5)을 통과할 때에는, 도시되지 않은 차단 컨트롤러에 반송차(V)로부터 각 차단 영역(BA1, BA5)의 통과 요구를 송신한다. 반송차(V)는, 차단 컨트롤러로부터의 통과 허가를 수신한 경우, 각 차단 영역(BA1, BA5)을 통과한다. 또한, 도 10에서는 하물 드롭 포트(PT2)에서 물품(W)을 드롭한 후에 반송차(V)가 하류 측으로 이동한 상태를 나타내고 있다.
[0056] 도 11은 반송차(V)의 동작의 다른 예를 설명하는 도면이다. 도 11에 나타낸 바와 같이, 반송차(V)가 지정 포인트(P1)에 도달한 상태에 있어서, 폐쇄 경로(CR)가 설정되어 있는 점은 상기와 마찬가지이다. 이 경우, 목적지 변경 요구부(49)는 상위 컨트롤러(MC)에 대하여 목적지의 변경을 요구한다. 상위 컨트롤러(MC)는 이 요구에 대하여, 반송원(From)을 지정 포인트(P1)로 하고, 반송처(To)를 주회(周回) 주행으로 하는 반송 지령(상위 반송 지령)을 컨트롤러(TC)에 송신하여도 된다.
[0057] 컨트롤러(TC)는, 반송 지령을 수신한 경우, 반송 지령에 근거하여, 반송원(From)을 지정 포인트(P1)로 하고, 반송처(To)를 주회 경로(C; 주회 주행)로 한 제4 반송 지령을 생성하여 반송차(V)에 할당한다. 제4 반송 지령을 수신한 경우, 반송차(V)는 제4 반송 지령에 따라서, 물품(W)을 유지한 상태에서 지정 포인트(P1)로부터 분기부(11), 합류부(12A), 분기부(11A), 합류부(12B)를 지나는 주회 경로(C)를 주행한다. 컨트롤러(TC)는, 반송차(V)가 주회 경로(C)를 주회 주행하고 있는 동안에, 폐쇄 경로(CR)가 주행 가능해졌다는 정보를 취득한 경우에는, 반송원(From)을 주회 경로(C)로 하고, 반송처(To)를 하물 드롭 포트(PT1)로 한 제5 반송 지령을 생성하여 반송차(V)에 할당해도 된다.
[0058] 또한 컨트롤러(TC)는, 반송차(V)가 주회 경로(C)를 소정 시간 주회 주행한 후에, 목적지 변경 요구부(49)에 의해 상위 컨트롤러(MC)에 대하여 목적지의 변경을 요구해도 된다. 상위 컨트롤러(MC)는, 이 요구에 대하여, 반송원(From)을 주회 경로(C)로 하고, 반송처(To)를 하물 드롭 포트(PT2)로 한 반송 지령(상위 반송 지령)을 컨트롤러(TC)에 송신하여도 된다.
[0059] 이와 같이, 본 실시형태에 의하면, 반송차(V)에 제2 반송 지령을 할당할 수 없는 경우(폐쇄 경로(CR)가 설정된 채인 경우)라 하더라도, 지정 포인트(P1)에 반송차(V)가 정지한 채인 상태가 되는 것을 회피할 수 있어, 지정 포인트(P1)를 통과하는 다른 반송차(V)의 주행에 지장이 되는 것을 회피할 수가 있다.
[0060] (제3 실시형태)
도 12는 제3 실시형태에 관계된 상위 컨트롤러(MC) 및 컨트롤러(TCA)의 기능 블록 구성의 일례를 나타내는 도면이다. 도 12에 나타낸 바와 같이 컨트롤러(TCA)는, 상기한 컨트롤러(TC)의 구성에 추가하여, 포트 판정부(50)를 구비하고 있다. 포트 판정부(50)는, 반송원인 하물 픽업 포트(PF1) 및 반송처인 하물 드롭 포트(PT1) 중의 적어도 한쪽의 종류를 판정한다.
[0061] 도 13은 제3 실시형태에 관계된 컨트롤러(TCA)의 동작 흐름의 일례를 나타내는 도면이다. 도 13에 나타내는 동작 흐름에서는, 단계 S01에서 단계 S03, 단계 S04의 NO 및 단계 S05 이후의 흐름에 관해서는 상기한 실시형태의 동작 흐름과 마찬가지이다. 본 실시형태의 동작 흐름에서는, 단계 S04에 있어서 주행 경로의 일부가 폐쇄되어 있다고 판정된 경우(단계 S04; YES), 포트 판정부(50)는 하물 픽업 포트(PF1)가 특정한 하물 픽업 포트인지 여부를 판정한다(단계 S21).
[0062] 하물 픽업 포트(PF1)가 특정한 하물 픽업 포트인 경우(단계 S21; YES), 할당부(45)는, 반송차(V)에 대하여 제1 반송 지령을 할당한다(단계 S06). 또한, 하물 픽업 포트(PF1)가 특정한 하물 픽업 포트가 아닌 경우(단계 S21; NO), 포트 판정부(50)는 하물 드롭 포트(PT1)가 특정한 하물 드롭 포트인지 여부를 판정한다(단계 S22).
[0063] 하물 드롭 포트(PT1)가 특정한 하물 드롭 포트인 경우(단계 S22; YES), 할당부(45)는 반송차(V)에 대하여 제1 반송 지령을 할당한다(단계 S06). 또한 하물 드롭 포트(PT1)가 특정한 하물 드롭 포트가 아닌 경우(단계 S22; NO), 할당부(45)는 주행 경로를 확보할 수 있을 때까지 반송 지령을 보류한다(단계 S23).
[0064] 도 14는 단계 S21 및 단계 S22의 판정에서의 하물 픽업 포트(PF1) 및 하물 드롭 포트(PT1)의 종별(種別)과, 할당하는 반송 지령의 종류 간의 관계를 나타내는 표이다. 도 14에 나타낸 바와 같이, 하물 픽업 포트(PF1)가 처리장치(PA)의 로드 포트(도 3 참조) 또는 스토커(ST)의 로드 포트(도 3 참조)인 경우에는, 하물 드롭 포트(PT1)의 종별에 관계없이, 주행 경로를 확보할 수 없는 경우에 제1 반송 지령이 할당된다. 하물 픽업 포트(PF1)가 버퍼(BF)인 경우에는, 하물 드롭 포트(PT1)의 종별에 따라 할당되는 지령의 종류가 다르다. 즉, 하물 드롭 포트(PT1)의 종별이 처리장치(PA)의 로드 포트인 경우에는, 주행 경로를 확보할 수 없는 경우에 제1 반송 지령이 할당된다.
[0065] 또한, 하물 드롭 포트(PT1)의 종별이 스토커(ST)의 로드 포트 또는 버퍼(BF, 도 3 참조)인 경우에는, 주행 경로를 확보할 수 없는 경우, 반송 지령의 할당이 보류된다. 즉, 반송차(V)에 반송 지령 및 제1 반송 지령의 어느 것도 할당되지 않고, 상위 컨트롤러(MC)로부터의 반송 지령은 컨트롤러(TC) 내에서 보류된다. 또한, 도 14의 표에 나타낸 바와 같이 주행 경로를 확보할 수 있는 경우에는, 어떠한 경우이든 통상의 반송 지령이 반송차(V)에 할당된다.
[0066] 이와 같이, 본 실시형태에 의하면, 물품(W)의 조기 반출이 필요한 하물 픽업 포트(PF1; 처리장치(PA), 스토커(ST))로부터 제1 반송 지령에 의해 신속하게 물품(W)을 반출하기 때문에, 물품(W)이 반출된 하물 픽업 포트(PF1; 처리장치(PA), 스토커(ST))에는 다음의 물품(W)을 재치할 수 있게 되어, 처리장치(PA) 또는 스토커(ST)의 가동률이 저하되는 것을 회피할 수가 있다.
[0067] 또한, 하물 픽업 포트(PF1)가 물품(W)을 재치할 수 있는 버퍼(BF)이며 또한 하물 드롭 포트(PT1)가 처리장치(PA)의 로드 포트인 경우, 컨트롤러(TC)가 제1 반송 지령 및 제2 반송 지령을 할당하기 때문에, 처리장치(PA)의 로드 포트에 대하여 신속하게 단시간에 물품(W)을 반송할 수가 있다. 또한, 하물 픽업 포트(PF1)가 버퍼(BF)이며 또한 하물 드롭 포트(PT1)가 처리장치(PA)의 로드 포트 이외인 경우, 제1 반송 지령 및 제2 반송 지령을 할당하지 않기 때문에, 컨트롤러(TC)의 처리 부담을 경감시킬 수가 있다.
[0068] (제4 실시형태)
도 15는 제4 실시형태에 있어서, 반송차(V)의 동작의 일례를 설명하는 도면이다. 도 15에 나타내는 궤도(TA)는, 하물 픽업 포트(PF1)의 하류 측에 분기부(11C), 분기부(11D) 및 분기부(11E)를 구비하고 있다. 또한, 분기부(11E)의 하류 측에는 폐쇄 경로(CR)가 설정되고, 폐쇄 경로(CR)의 하류 측에는 하물 드롭 포트(PT1)가 배치되어 있다.
[0069] 상기한 실시형태에서는, 하물 픽업 포트(PF1)에 가장 가까운 분기부(11)의 앞에 지정 포인트(P1)가 설정되었지만, 이 형태로 한정되지 않는다. 예컨대, 폐쇄 경로(CR)에 가장 가까운 분기부(11E)의 앞에 지정 포인트(P2)를 설정해도 된다. 이 경우, 반송차(V)가 지정 포인트(P2)까지 주행하고 정지하기 때문에, 반송차(V)는 하물 드롭 포트(PT1)에 최대한 근접한 위치에서 대기하게 되어, 폐쇄 경로(CR)가 해소되었을 경우에 신속하게 하물 드롭 포트(PT1)에 도달하여 물품(W)을 하물 드롭 포트(PT1)에 드롭할 수가 있다.
[0070] 또한, 하류 측의 궤도(TA1)에 다른 하물 드롭 포트(PT3)가 배치되는 분기부(11D)의 앞에 지정 포인트(P3)가 설정되어도 된다. 이 경우, 제1 반송 지령을 할당한 후에 목적지 변경을 요구하는 경우, 물품(W)의 새로운 반송처를 지정 포인트(P3)로부터 가까운 하물 드롭 포트(PT3)로 함으로써, 물품(W)을 지정 포인트(P3)로부터 단시간에 드롭할 수가 있다. 그 결과, 반송차(V)는 다음의 반송 지령을 할당할 수 있게 되어, 물품(W)의 반송 효율이 저하되는 것을 방지할 수가 있다.
[0071] 이상, 본 발명의 실시형태에 대해 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 상기한 실시형태로 한정되지 않는다. 상기한 실시형태에 다양한 변경 또는 개량을 추가할 수 있음은 당업자에 있어서 분명하다. 또한, 그러한 변경 또는 개량을 추가한 형태도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다. 또한, 본 실시형태에서 나타낸 각 처리의 실행 순서는, 이전의 처리의 출력을 이후의 처리에서 이용하는 형태가 아닌 한, 임의의 순서로 실현 가능하다. 또한, 상기한 실시형태에 있어서의 동작에 관하여, 편의상 '먼저', '다음으로', '이어서' 등을 이용하여 설명했다 하더라도, 그 순서로 실시하는 것이 필수적인 것은 아니다.
[0072] 또한, 상기한 실시형태에서는, 반송 시스템(SYS)에 있어서, 상위 컨트롤러(MC) 및 컨트롤러(TC)를 구비하는 구성을 예로 들어 설명하고 있지만, 이러한 구성으로 한정되지 않는다. 예컨대, 하나의 컨트롤러에 상위 컨트롤러(MC) 및 컨트롤러(TC)의 쌍방(雙方)의 기능을 구비하는 구성이어도 된다. 또한, 상기한 실시형태에서는, 컨트롤러(TC)가 반송차(V)의 차재 컨트롤러(VC)와는 별개로 설치되는 구성을 예로 들어 설명하고 있지만, 이 구성으로 한정되지 않는다. 예컨대, 컨트롤러(TC)의 기능이 차재 컨트롤러(VC)의 기능의 일부로서 실현되는 구성이어도 된다.
[0073] 또한, 상술한 실시형태 등에서 설명한 요건 중 하나 이상은 생략되는 경우가 있다. 또한, 상술한 실시형태 등에서 설명한 요건은 적절하게 조합할 수 있다. 또한, 법령에서 허용하는 범위 내에서 일본 특허 출원인 특허출원 제2019-091260호 및 상술한 실시형태 등에서 인용한 모든 문헌의 개시를 원용(援用)하여 본문의 기재의 일부로 삼는다.
[0074] P, P1, P2, P3…지정 포인트
BF…버퍼
V…반송차
W…물품
MC…상위 컨트롤러
TA, TA1…궤도
CR…폐쇄 경로
TC, TCA…컨트롤러(반송 컨트롤러)
PF1…하물 픽업 포트
PT1, PT2, PT3…하물 드롭 포트
VC…차재(車載) 컨트롤러
SYS…반송 시스템
11, 11A, 11C, 11D, 11E…분기부
12, 12A, 12B…합류부
31…반송 지령 생성부
41…반송 지령 수신부
42…반송차 선택부
43…주행 경로 생성부
44…경로 판정부
45…할당부
46…상태 보고 수신부
47…반송 완료 보고부
48…위치 특정부
49…목적지 변경 요구부
50…포트 판정부

Claims (10)

  1. 궤도를 따라 주행하는 반송차(搬送車)와,
    상기 반송차를 제어하는 컨트롤러를 구비하고,
    상기 컨트롤러는,
    상기 궤도에 있어서 반송 지령으로 정해진 하물(荷物) 픽업 포트(load pick-up port)로부터 하물 드롭 포트(load drop-off port)까지의 상기 반송차의 주행 경로를 확보할 수 없는 경우, 상기 반송 지령 대신에, 상기 반송차로 하여금, 상기 하물 픽업 포트에서 물품을 픽업하게 하고, 상기 하물 픽업 포트보다 상기 반송차의 주행 방향의 하류 측이면서 상기 궤도에 있어서 주행 경로를 확보할 수 있는 지정 포인트까지 주행하게 하는 제1 반송 지령을 할당하며,
    상기 반송차가 상기 지정 포인트에 접근 또는 도달한 시점에서 상기 지정 포인트로부터 상기 하물 드롭 포트까지의 주행 경로를 확보할 수 있는 경우에는, 상기 반송차로 하여금, 상기 지정 포인트로부터 상기 하물 드롭 포트까지 주행하게 하여, 상기 하물 드롭 포트에 상기 물품을 드롭하게 하는 제2 반송 지령을 할당하는,
    반송 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 
    상기 제1 반송 지령은, 상기 반송차로 하여금, 상기 지정 포인트까지 주행하게 하며, 상기 물품을 드롭하지 않고 유지하게 하는 지령인,
    반송 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 
    상기 지정 포인트는, 상기 궤도에서의 분기부 또는 합류부의 앞에 설정되는,
    반송 시스템.
  4. 제3항에 있어서, 
    상기 지정 포인트가 상기 분기부의 앞에 설정되는 경우,
    상기 분기부는, 상기 하물 픽업 포트에 가장 가까운 분기부인,
    반송 시스템.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 
    상기 컨트롤러는, 상기 하물 픽업 포트 및 상기 하물 드롭 포트 중의 적어도 한쪽의 종류에 따라, 상기 제1 반송 지령 및 상기 제2 반송 지령을 할당할지 여부를 판정하는,
    반송 시스템.
  6. 제5항에 있어서, 
    상기 컨트롤러는, 상기 하물 픽업 포트가 처리장치의 로드 포트(load port)인 경우, 상기 제1 반송 지령 및 상기 제2 반송 지령을 상기 반송차에 할당하는,
    반송 시스템.
  7. 제5항에 있어서, 
    상기 컨트롤러는, 상기 하물 픽업 포트가 스토커(stocker)의 로드 포트인 경우, 상기 제1 반송 지령 및 상기 제2 반송 지령을 상기 반송차에 할당하는,
    반송 시스템.
  8. 제5항에 있어서, 
    상기 컨트롤러는, 상기 하물 픽업 포트가 물품을 재치(載置)할 수 있는 버퍼이며 또한 상기 하물 드롭 포트가 처리장치의 로드 포트인 경우, 상기 제1 반송 지령 및 상기 제2 반송 지령을 할당하고, 상기 하물 픽업 포트가 상기 버퍼이며 또한 상기 하물 드롭 포트가 처리장치의 로드 포트 이외인 경우, 상기 제1 반송 지령 및 상기 제2 반송 지령을 할당하지 않는,
    반송 시스템.
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서, 
    상기 컨트롤러는, 복수의 상기 반송차를 제어하는 반송 컨트롤러, 또는 상기 반송차에 탑재되는 차재(車載) 컨트롤러인,
    반송 시스템.
  10. 궤도를 따라 주행하는 반송차를 제어하는 방법으로서,
    상기 궤도에 있어서 반송 지령으로 정해진 하물 픽업 포트로부터 하물 드롭 포트까지의 상기 반송차의 주행 경로를 확보할 수 없는 경우, 상기 반송 지령 대신에, 상기 반송차로 하여금, 상기 하물 픽업 포트에서 물품을 픽업하게 하고, 상기 하물 픽업 포트보다 상기 반송차의 주행 방향의 하류 측이면서 상기 궤도에 있어서 주행 경로를 확보할 수 있는 지정 포인트까지 주행하게 하는 제1 반송 지령을 할당하는 것과,
    상기 반송차가 상기 지정 포인트에 접근 또는 도달한 시점에서 상기 지정 포인트로부터 상기 하물 드롭 포트까지의 주행 경로를 확보할 수 있는 경우에는, 상기 반송차로 하여금, 상기 지정 포인트로부터 상기 하물 드롭 포트까지 주행하게 하며, 상기 하물 드롭 포트에 상기 물품을 드롭하게 하는 제2 반송 지령을 할당하는 것을 포함하는,
    반송 제어 방법.
KR1020217036765A 2019-05-14 2020-03-10 반송 시스템 및 반송 제어 방법 KR102608150B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2019-091260 2019-05-14
JP2019091260 2019-05-14
PCT/JP2020/010215 WO2020230427A1 (ja) 2019-05-14 2020-03-10 搬送システム及び搬送制御方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210151914A KR20210151914A (ko) 2021-12-14
KR102608150B1 true KR102608150B1 (ko) 2023-11-29

Family

ID=73289537

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020217036765A KR102608150B1 (ko) 2019-05-14 2020-03-10 반송 시스템 및 반송 제어 방법

Country Status (9)

Country Link
US (1) US20220223446A1 (ko)
EP (1) EP3971111A4 (ko)
JP (1) JP7140279B2 (ko)
KR (1) KR102608150B1 (ko)
CN (1) CN113811498B (ko)
IL (1) IL288047B2 (ko)
SG (1) SG11202112577UA (ko)
TW (1) TWI828906B (ko)
WO (1) WO2020230427A1 (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009215032A (ja) 2008-03-12 2009-09-24 Oki Semiconductor Co Ltd 自動搬送システムおよび自動搬送システムにおける搬送車の待機位置設定方法
JP2018025904A (ja) * 2016-08-09 2018-02-15 村田機械株式会社 走行車システム、及び走行車システムの制御方法
JP2018125042A (ja) * 2018-05-08 2018-08-09 株式会社東芝 コントローラ、自動走行車システム、制御方法及びプログラム

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11143538A (ja) * 1997-11-07 1999-05-28 Murata Mach Ltd 無人搬送車システム
JP3714254B2 (ja) 2002-01-10 2005-11-09 アシスト シンコー株式会社 無人搬送台車システム
US8121724B2 (en) * 2006-05-12 2012-02-21 Murata Kikai Kabushiki Kaisha Transfer system, and transfer method
KR101029258B1 (ko) * 2006-05-12 2011-04-18 무라타 기카이 가부시키가이샤 반송 시스템과 반송 방법
JP5309814B2 (ja) * 2008-09-08 2013-10-09 村田機械株式会社 搬送車システム
KR101246280B1 (ko) * 2008-09-26 2013-03-22 무라다기카이가부시끼가이샤 반송차 시스템
JP5263613B2 (ja) * 2009-05-11 2013-08-14 株式会社ダイフク 物品搬送設備
US9834238B2 (en) 2014-06-02 2017-12-05 Murata Machinery, Ltd. Transporting vehicle system, and method of controlling transporting vehicle
CN108290684B (zh) * 2015-11-27 2020-06-23 村田机械株式会社 输送系统以及输送方法
CN108352349B (zh) * 2015-12-09 2022-07-22 村田机械株式会社 输送系统和输送方法
JP6698399B2 (ja) * 2016-03-29 2020-05-27 北陽電機株式会社 搬送制御装置及び搬送台車の合流点通過方法
JP2019091260A (ja) 2017-11-15 2019-06-13 有限責任監査法人トーマツ 時系列分析装置、時系列分析方法及び時系列分析プログラム
JP7069845B2 (ja) 2018-03-06 2022-05-18 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009215032A (ja) 2008-03-12 2009-09-24 Oki Semiconductor Co Ltd 自動搬送システムおよび自動搬送システムにおける搬送車の待機位置設定方法
JP2018025904A (ja) * 2016-08-09 2018-02-15 村田機械株式会社 走行車システム、及び走行車システムの制御方法
JP2018125042A (ja) * 2018-05-08 2018-08-09 株式会社東芝 コントローラ、自動走行車システム、制御方法及びプログラム

Also Published As

Publication number Publication date
TW202043124A (zh) 2020-12-01
US20220223446A1 (en) 2022-07-14
IL288047B2 (en) 2023-06-01
CN113811498A (zh) 2021-12-17
TWI828906B (zh) 2024-01-11
CN113811498B (zh) 2024-02-02
JP7140279B2 (ja) 2022-09-21
KR20210151914A (ko) 2021-12-14
JPWO2020230427A1 (ko) 2020-11-19
WO2020230427A1 (ja) 2020-11-19
EP3971111A1 (en) 2022-03-23
EP3971111A4 (en) 2023-01-11
IL288047A (en) 2022-01-01
SG11202112577UA (en) 2021-12-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3489785A1 (en) Running vehicle system and control method for running vehicle system
JP4366663B2 (ja) 搬送台車システム
JP6172554B2 (ja) 搬送車システムと搬送方法
JP6460260B2 (ja) 搬送システム及び搬送方法
JP4766111B2 (ja) 搬送車システム
JP7136214B2 (ja) 搬送車システム
KR102392084B1 (ko) 반송 시스템, 반송 컨트롤러, 및, 반송차의 제어 방법
JP2019185499A (ja) 走行車システム及び走行車の制御方法
KR102608150B1 (ko) 반송 시스템 및 반송 제어 방법
KR102376371B1 (ko) 반송 시스템
KR102384236B1 (ko) 반송차 시스템 및 반송차 제어 방법
JP7069845B2 (ja) 搬送システム及び搬送方法
US20230242166A1 (en) Traveling vehicle system and traveling vehicle control method
TW202147054A (zh) 台車系統及台車控制方法
KR20230038275A (ko) 주행차 시스템
KR20230091973A (ko) 주행차 시스템 및 주행차의 제어 방법
JP2010218380A (ja) 搬送車システム

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant