JP2951787B2 - ワーク搬送移載装置 - Google Patents
ワーク搬送移載装置Info
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- JP2951787B2 JP2951787B2 JP4032758A JP3275892A JP2951787B2 JP 2951787 B2 JP2951787 B2 JP 2951787B2 JP 4032758 A JP4032758 A JP 4032758A JP 3275892 A JP3275892 A JP 3275892A JP 2951787 B2 JP2951787 B2 JP 2951787B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、複数個平行に配置さ
れ半導体ウエハ収納カセットを搬送するワーク搬送装置
と、そのワーク搬送装置に半導体ウエハ収納カセットを
積み込み又は積み降しするワーク移載装置とを組み合わ
せたワーク搬送移載装置に関するものである。
れ半導体ウエハ収納カセットを搬送するワーク搬送装置
と、そのワーク搬送装置に半導体ウエハ収納カセットを
積み込み又は積み降しするワーク移載装置とを組み合わ
せたワーク搬送移載装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来のワーク搬送移載装置を示す
斜視図であり、図４は同搬送移載装置の側面図である。
このワーク搬送移載装置は、半導体ウエハ収納カセット
（以下「ワーク」と呼ぶ）１を各キャリア２ｂ上に載せ
て所定の場所へ搬送するワーク搬送装置２と、ワーク１
をワーク置場から各キャリア２ｂ上に積み込んだり、各
キャリア２ｂ上からワーク置場へ降ろしたりするワーク
移載装置３とにより構成されている。そして、ワーク搬
送装置２では、遠方走行レール２a-２と近方走行レール
２a-１が同一水平面上に平行に配置され、各走行レール
上には、同レールに沿って走行する遠方キャリア２b-２
及び近方キャリア２b-１が取り付けてある。また、ワー
ク移載装置３では、ワーク置場３ａと、ワーク移載のた
めのアーム部３ｂ、およびリフト部３ｃが設けられてい
る。
斜視図であり、図４は同搬送移載装置の側面図である。
このワーク搬送移載装置は、半導体ウエハ収納カセット
（以下「ワーク」と呼ぶ）１を各キャリア２ｂ上に載せ
て所定の場所へ搬送するワーク搬送装置２と、ワーク１
をワーク置場から各キャリア２ｂ上に積み込んだり、各
キャリア２ｂ上からワーク置場へ降ろしたりするワーク
移載装置３とにより構成されている。そして、ワーク搬
送装置２では、遠方走行レール２a-２と近方走行レール
２a-１が同一水平面上に平行に配置され、各走行レール
上には、同レールに沿って走行する遠方キャリア２b-２
及び近方キャリア２b-１が取り付けてある。また、ワー
ク移載装置３では、ワーク置場３ａと、ワーク移載のた
めのアーム部３ｂ、およびリフト部３ｃが設けられてい
る。
【０００３】次に、上記ワーク搬送移載装置の動作につ
いて説明する。まず、ワーク移載装置３が、ワーク置場
３ａ上のワーク１を、近方ワーク搬送装置２-１のキャ
リア２b-１上に積み込む場合について説明する。ワーク
が載っていない状態でキャリア２b-１がワーク移載装置
３の前に停止する。ワーク移載装置３は、リフト部３ｃ
によりアーム部３ｂが閉じた状態で下降し、ワーク置場
３ａ上のワーク１を把持する。その後、ワーク１を把持
した状態で、リフト部３ｃによりアーム部３ｂが、キャ
リア２b-１上にワーク１を積み込む時に干渉しない高さ
まで上昇する。そして、アーム部３ｂを伸ばし、キャリ
ア２b-１上で停止する。続いて、リフト部３ｃにより、
アーム部３ｂが下降し、ワーク１がキャリア２b-１上に
載った時点で停止する。ここで、アーム部３ｂはワーク
１を把持しているのを離し、アーム部３ｂを縮める。以
上の動作により、ワーク１はキャリア２b-１に積み込ま
れたこととなり、キャリア２b-１はワーク１を載せた状
態で、搬送先の別のワーク移載装置へと向う。
いて説明する。まず、ワーク移載装置３が、ワーク置場
３ａ上のワーク１を、近方ワーク搬送装置２-１のキャ
リア２b-１上に積み込む場合について説明する。ワーク
が載っていない状態でキャリア２b-１がワーク移載装置
３の前に停止する。ワーク移載装置３は、リフト部３ｃ
によりアーム部３ｂが閉じた状態で下降し、ワーク置場
３ａ上のワーク１を把持する。その後、ワーク１を把持
した状態で、リフト部３ｃによりアーム部３ｂが、キャ
リア２b-１上にワーク１を積み込む時に干渉しない高さ
まで上昇する。そして、アーム部３ｂを伸ばし、キャリ
ア２b-１上で停止する。続いて、リフト部３ｃにより、
アーム部３ｂが下降し、ワーク１がキャリア２b-１上に
載った時点で停止する。ここで、アーム部３ｂはワーク
１を把持しているのを離し、アーム部３ｂを縮める。以
上の動作により、ワーク１はキャリア２b-１に積み込ま
れたこととなり、キャリア２b-１はワーク１を載せた状
態で、搬送先の別のワーク移載装置へと向う。
【０００４】次に、ワーク移載装置３が、ワーク置場３
ａ上のワーク１を、遠方ワーク搬送装置２-２上のキャ
リア２b-２上に積み込む場合について説明する。ワーク
１が載っていない状態で、キャリア２b-２が、ワーク移
載装置３の前に停止する。ワーク移載装置３では、リフ
ト部３ｃにより、アーム部３ｂが下降し、ワーク置場３
ａ上のワーク１を把持する。そして、ワーク１を把持し
た状態で、リフト３ｃによりアーム部３ｂが、近方キャ
リア２b-１上にワーク１が載った状態で走行していて
も、互いのワーク同士が干渉しない程度の位置まで上昇
する。続いて、アーム部３ｂを伸ばし、キャリア２b-２
上で停止し、リフト部３ｃによりアーム部３ｂが下降
し、ワーク１がキャリア２a-２上に載った時点で停止す
る。アーム部３ａはワーク１を離し、先程と逆のルート
でアーム部３ｂを縮める。以上の動作により、ワーク１
はキャリア２b-２に積み込まれたこととなり、キャリア
２b-２はワーク１を載せた状態で、搬送先の別のワーク
移載装置へと向う。
ａ上のワーク１を、遠方ワーク搬送装置２-２上のキャ
リア２b-２上に積み込む場合について説明する。ワーク
１が載っていない状態で、キャリア２b-２が、ワーク移
載装置３の前に停止する。ワーク移載装置３では、リフ
ト部３ｃにより、アーム部３ｂが下降し、ワーク置場３
ａ上のワーク１を把持する。そして、ワーク１を把持し
た状態で、リフト３ｃによりアーム部３ｂが、近方キャ
リア２b-１上にワーク１が載った状態で走行していて
も、互いのワーク同士が干渉しない程度の位置まで上昇
する。続いて、アーム部３ｂを伸ばし、キャリア２b-２
上で停止し、リフト部３ｃによりアーム部３ｂが下降
し、ワーク１がキャリア２a-２上に載った時点で停止す
る。アーム部３ａはワーク１を離し、先程と逆のルート
でアーム部３ｂを縮める。以上の動作により、ワーク１
はキャリア２b-２に積み込まれたこととなり、キャリア
２b-２はワーク１を載せた状態で、搬送先の別のワーク
移載装置へと向う。
【０００５】また、ワーク移載装置３が、ワーク１を近
方ワーク搬送装置２-１のキャリア２b-１上からワーク
置場３ａに降ろす場合は、上述したワーク移載装置３が
ワーク置場３ａ上のワーク１を近方ワーク搬送装置２-
１のキャリア２b-１上に積み込む場合の動作の終始逆の
動作を行えばよい。更に、ワーク移載装置３が、遠方ワ
ーク搬送装置２-２上のキャリア２b-２からワーク置場
３ａ上に降ろす場合は、上述したワーク移載装置３がワ
ーク置場３ａ上のワーク１を遠方ワーク搬送装置２-２
上のキャリア２b-２上に積み込む場合の動作の終始逆の
動作を行えばよい。
方ワーク搬送装置２-１のキャリア２b-１上からワーク
置場３ａに降ろす場合は、上述したワーク移載装置３が
ワーク置場３ａ上のワーク１を近方ワーク搬送装置２-
１のキャリア２b-１上に積み込む場合の動作の終始逆の
動作を行えばよい。更に、ワーク移載装置３が、遠方ワ
ーク搬送装置２-２上のキャリア２b-２からワーク置場
３ａ上に降ろす場合は、上述したワーク移載装置３がワ
ーク置場３ａ上のワーク１を遠方ワーク搬送装置２-２
上のキャリア２b-２上に積み込む場合の動作の終始逆の
動作を行えばよい。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記の様な従来のワー
ク搬送移載装置では、ワーク移載装置３が、遠方のワー
ク搬送装置２-２からワーク１を積み込んだり降ろした
りする場合、近方のワーク搬送装置２-１が障害とな
り、この障害を退避しながら作業を行う必要がある。よ
って、ワーク１を最短経路で移載することができなくな
り、また、移載のシーケンスが複雑になり、また、近方
ワーク搬送装置２−１上でのワーク移載装置３の動作時
間が長くなる事から、ワーク移載装置３が発して、近方
キャリア２b-１上のワーク内の半導体ウエハ（図示せ
ず）に付着するダストの量が増加するという問題が生じ
る。
ク搬送移載装置では、ワーク移載装置３が、遠方のワー
ク搬送装置２-２からワーク１を積み込んだり降ろした
りする場合、近方のワーク搬送装置２-１が障害とな
り、この障害を退避しながら作業を行う必要がある。よ
って、ワーク１を最短経路で移載することができなくな
り、また、移載のシーケンスが複雑になり、また、近方
ワーク搬送装置２−１上でのワーク移載装置３の動作時
間が長くなる事から、ワーク移載装置３が発して、近方
キャリア２b-１上のワーク内の半導体ウエハ（図示せ
ず）に付着するダストの量が増加するという問題が生じ
る。
【０００７】この発明は、上記のような問題を解消する
ためになされたもので、複数個の搬送装置からワークを
移載する場合において、最短の移載経路でかつ単純な移
載シーケンスによりしかも短時間で行うこと、及び、そ
れにより、ワーク移載装置が発するダストが半導体ウエ
ハに付着する量を減少させることを目的とする。
ためになされたもので、複数個の搬送装置からワークを
移載する場合において、最短の移載経路でかつ単純な移
載シーケンスによりしかも短時間で行うこと、及び、そ
れにより、ワーク移載装置が発するダストが半導体ウエ
ハに付着する量を減少させることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明に係るワーク搬
送移載装置は、複数個のワーク移載装置の各前面におい
て、キャリアの走行方向が平行になる様に複数のワーク
搬送装置を配置し、かつ、複数のワーク搬送装置のうち
少なくとも隣り合うワーク搬送装置のワーク走行高さ
が、少なくともワーク１個分以上違えるように設置した
ものである。
送移載装置は、複数個のワーク移載装置の各前面におい
て、キャリアの走行方向が平行になる様に複数のワーク
搬送装置を配置し、かつ、複数のワーク搬送装置のうち
少なくとも隣り合うワーク搬送装置のワーク走行高さ
が、少なくともワーク１個分以上違えるように設置した
ものである。
【０００９】更に、ワーク移載装置の両側に複数のワー
ク搬送装置を配置し、かつ複数のワーク搬送装置のうち
少なくとも隣り合うワーク搬送装置のワーク走行高さ
が、ワーク１個分以上違えるようにした。
ク搬送装置を配置し、かつ複数のワーク搬送装置のうち
少なくとも隣り合うワーク搬送装置のワーク走行高さ
が、ワーク１個分以上違えるようにした。
【００１０】
【作用】この発明によれば、ワーク移載装置により複数
あるそれぞれのワーク搬送装置からワークを積み込み又
は積み降ろす作業中に、障害となるものがなくなり、最
短の移載経路で、ワーク移載作業を行うことができる。
あるそれぞれのワーク搬送装置からワークを積み込み又
は積み降ろす作業中に、障害となるものがなくなり、最
短の移載経路で、ワーク移載作業を行うことができる。
【００１１】
【実施例】実施例１． 図１はこの発明の一実施例に係る平行複数列のワーク搬
送移載装置を示す斜視図であり、図２は同装置の側面図
である。本実施例において、ワーク搬送装置２の各走行
レール２a-２,２a-１には、レールに沿って走行する遠
方キャリア２b-２及び近方キャリア２b-１が取り付けて
あり、ワーク１は前記各キャリア２b-２,２b-１上に載
せられ、所定の場所へ搬送される。また、ワーク移載装
置３では、ワーク１をワーク置場３ａから前記各キャリ
ア２b-２，２b-１上へ、又はキャリア２b-２,２b-１上
からワーク置場３ａへと、リフト部３ｃ及びアーム部３
ｂにより、積み降ろしさせられる。そして、本実施例で
は、遠方走行レール２a-２と近方走行レール２a-１は平
行で、かつレール上を走行する遠方キャリア２b-２が、
近方キャリア２b-１よりも１ワーク分を越えて高い位置
にくる様に配置されている。
送移載装置を示す斜視図であり、図２は同装置の側面図
である。本実施例において、ワーク搬送装置２の各走行
レール２a-２,２a-１には、レールに沿って走行する遠
方キャリア２b-２及び近方キャリア２b-１が取り付けて
あり、ワーク１は前記各キャリア２b-２,２b-１上に載
せられ、所定の場所へ搬送される。また、ワーク移載装
置３では、ワーク１をワーク置場３ａから前記各キャリ
ア２b-２，２b-１上へ、又はキャリア２b-２,２b-１上
からワーク置場３ａへと、リフト部３ｃ及びアーム部３
ｂにより、積み降ろしさせられる。そして、本実施例で
は、遠方走行レール２a-２と近方走行レール２a-１は平
行で、かつレール上を走行する遠方キャリア２b-２が、
近方キャリア２b-１よりも１ワーク分を越えて高い位置
にくる様に配置されている。
【００１２】次に、上記ワーク搬送移載装置の動作につ
いて説明する。まず、ワーク移載装置３がワーク置場３
ａ上のワーク１を近方ワーク搬送装置２−１のキャリア
２b-１上に積み込む場合について説明する。ワーク１が
載っていない状態で、キャリア２b-１がワーク移載装置
３の前に停止する。次に、リフト部３ｃによりアーム部
３ｂが下降し、ワーク置場３ａ上のワーク１を把持す
る。そして、ワーク１を把持した状態で、リフト部３ｃ
により、アーム部３ｂが、キャリア２b-１上にワーク１
を積み込む時に当たらない程度の高さまで上昇する。次
に、アーム部３ｂを伸ばし、キャリア２b-１上で停止
し、続いてリフト部３ｃにより、アーム部３ｂが下降
し、ワーク１がキャリア２b-１に載った時点で停止す
る。その後、アーム部３ｂはワーク１を把持しているの
を離し、アーム部３ｂを縮める。以上の動作により、ワ
ーク１はキャリア２b-１上に積み込まれたこととなり、
キャリア２b-１はワーク１を載せた状態で、搬送先の別
のワーク移載装置３へと向う。
いて説明する。まず、ワーク移載装置３がワーク置場３
ａ上のワーク１を近方ワーク搬送装置２−１のキャリア
２b-１上に積み込む場合について説明する。ワーク１が
載っていない状態で、キャリア２b-１がワーク移載装置
３の前に停止する。次に、リフト部３ｃによりアーム部
３ｂが下降し、ワーク置場３ａ上のワーク１を把持す
る。そして、ワーク１を把持した状態で、リフト部３ｃ
により、アーム部３ｂが、キャリア２b-１上にワーク１
を積み込む時に当たらない程度の高さまで上昇する。次
に、アーム部３ｂを伸ばし、キャリア２b-１上で停止
し、続いてリフト部３ｃにより、アーム部３ｂが下降
し、ワーク１がキャリア２b-１に載った時点で停止す
る。その後、アーム部３ｂはワーク１を把持しているの
を離し、アーム部３ｂを縮める。以上の動作により、ワ
ーク１はキャリア２b-１上に積み込まれたこととなり、
キャリア２b-１はワーク１を載せた状態で、搬送先の別
のワーク移載装置３へと向う。
【００１３】次に、ワーク移載装置３がワーク置場３ａ
上のワーク１を遠方ワーク搬送装置２-２上のキャリア
２b-２上に積み込む場合について説明する。ワーク１が
載っていない状態で、キャリア２b-２がワーク移載装置
３の前に停止する。次に、リフト部３ｃによりアーム部
３ｂが下降して、ワーク置場３ａ上のワーク１をつか
む。そして、ワーク１を把持した状態で、リフト３ｃに
より、アーム部３ｂがキャリア２b-２上にワーク１を積
み込む時に当たらない程度の高さまで上昇する。次に、
アーム部３ｂを伸ばし、キャリア２b-２上で停止する。
この時、アーム部３ｂは近方ワーク搬送装置２−１を越
えて移動するが、遠方キャリア２b-２が近方キャリア２
b-１よりも１ワーク分以上高い位置に配置されているの
で、搬送中の近方キャリア２b-１上のワーク１に当るこ
とはない。続いて、リフト部３ｃにより、アーム部３ｂ
が下降し、ワーク１がキャリア２b-２に載った時点で停
止する。アーム部３ｂはワーク１を把持しているのを離
し、アーム部３ｂを縮める。以上の動作により、ワーク
１は、キャリア２b-２上に積み込まれたこととなり、キ
ャリア２b-２はワーク１を載せた状態で、搬送先の別の
ワーク移載装置３へと向う。
上のワーク１を遠方ワーク搬送装置２-２上のキャリア
２b-２上に積み込む場合について説明する。ワーク１が
載っていない状態で、キャリア２b-２がワーク移載装置
３の前に停止する。次に、リフト部３ｃによりアーム部
３ｂが下降して、ワーク置場３ａ上のワーク１をつか
む。そして、ワーク１を把持した状態で、リフト３ｃに
より、アーム部３ｂがキャリア２b-２上にワーク１を積
み込む時に当たらない程度の高さまで上昇する。次に、
アーム部３ｂを伸ばし、キャリア２b-２上で停止する。
この時、アーム部３ｂは近方ワーク搬送装置２−１を越
えて移動するが、遠方キャリア２b-２が近方キャリア２
b-１よりも１ワーク分以上高い位置に配置されているの
で、搬送中の近方キャリア２b-１上のワーク１に当るこ
とはない。続いて、リフト部３ｃにより、アーム部３ｂ
が下降し、ワーク１がキャリア２b-２に載った時点で停
止する。アーム部３ｂはワーク１を把持しているのを離
し、アーム部３ｂを縮める。以上の動作により、ワーク
１は、キャリア２b-２上に積み込まれたこととなり、キ
ャリア２b-２はワーク１を載せた状態で、搬送先の別の
ワーク移載装置３へと向う。
【００１４】また、ワーク移載装置３が、ワーク１を、
近方ワーク搬送装置２-１のキャリア２b-１上からワー
ク置場３ａに、又は遠方ワーク搬送装置２-２上のキャ
リア２b-２から、ワーク置場３ａに降ろす場合は、上述
したワーク移載装置３がワーク置場３ａ上のワーク１を
近方ワーク搬送装置２-１のキャリア２b-１上に積み込
む動作、又は遠方ワーク搬送装置２-２上のキャリア２b
-２上に積み込む動作の終始逆の動作を行えばよい。
近方ワーク搬送装置２-１のキャリア２b-１上からワー
ク置場３ａに、又は遠方ワーク搬送装置２-２上のキャ
リア２b-２から、ワーク置場３ａに降ろす場合は、上述
したワーク移載装置３がワーク置場３ａ上のワーク１を
近方ワーク搬送装置２-１のキャリア２b-１上に積み込
む動作、又は遠方ワーク搬送装置２-２上のキャリア２b
-２上に積み込む動作の終始逆の動作を行えばよい。
【００１５】実施例２． 実施例２では、複数個 のワーク搬送装置をワーク移載装
置の両側に配置し、かつ複数のワーク搬送装置のうち少
なくとも隣り合うワーク搬送装置のワーク走行高さを、
ワーク１個分以上違えるように設置すれば、多数のワー
ク搬送装置が必要な場合でも、ワークの積み降ろし作業
において、ワークが干渉し合わずにかつ最短移載経路に
て実行することができる。
置の両側に配置し、かつ複数のワーク搬送装置のうち少
なくとも隣り合うワーク搬送装置のワーク走行高さを、
ワーク１個分以上違えるように設置すれば、多数のワー
ク搬送装置が必要な場合でも、ワークの積み降ろし作業
において、ワークが干渉し合わずにかつ最短移載経路に
て実行することができる。
【００１６】なお、ワーク搬送装置の走行レールはワー
ク移載装置の前面において並行であればよく、それ以外
の経路は並行でなくとも良い。また、複数個あるワーク
搬送装置を、走行レールの両端をつなぎ、ループ状にし
ても良い。
ク移載装置の前面において並行であればよく、それ以外
の経路は並行でなくとも良い。また、複数個あるワーク
搬送装置を、走行レールの両端をつなぎ、ループ状にし
ても良い。
【００１７】
【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているので、ワーク移載装置と、複数個あるワーク搬
送装置のそれぞれの間に、ワークの積み込み、積降し作
業を行う際に問題となる最短移載経路を障害するものが
なくなり、移載時間が短縮でき、ワークの搬送効率が向
上し、また、ワーク移載装置が発するダストの半導体ウ
エハへの付着量も減少する。
れているので、ワーク移載装置と、複数個あるワーク搬
送装置のそれぞれの間に、ワークの積み込み、積降し作
業を行う際に問題となる最短移載経路を障害するものが
なくなり、移載時間が短縮でき、ワークの搬送効率が向
上し、また、ワーク移載装置が発するダストの半導体ウ
エハへの付着量も減少する。
【図１】 この発明の実施例１に係るワーク搬送移載装
置を示す斜視図である。
置を示す斜視図である。
【図２】 この発明の実施例１に係るワーク搬送移載装
置を示す側面図である。
置を示す側面図である。
【図３】 従来のワーク搬送移載装置を示す斜視図であ
る。
る。
【図４】 従来のワーク搬送移載装置を示す側面図であ
る。
る。
１ ワーク ２-１ ワーク搬送装置 ２a-１ 走行レール ２b-１ キャリア ２-２ ワーク搬送装置 ２a-２ 走行レール ２b-２ キャリア ３ ワーク移載装置 ３ａ ワーク置場 ３ｂ アーム部 ３ｃ リフト部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B65G 47/90 - 47/92 B65G 47/52 101 B65G 1/06 - 1/07 B65G 67/00 - 67/56
Claims (2)
- 【請求項１】 半導体ウエハ収納カセットを搭載し走行
レールに沿って走行するキャリア、及び前記走行レール
又は前記キャリアに取り付けられキャリアを駆動する駆
動部から成るワーク搬送装置と、 走行レール上のキャリアの各停止位置において、キャリ
アへ半導体ウエハ収納カセットの積み込み又は積み降し
を行うワーク移載装置を備え、 複数個のワーク搬送装置のうち少なくとも隣り合うワー
ク搬送装置の前記キャリア上の半導体ウエハ収納カセッ
トの走行高さが、半導体ウエハ収納カセット１個分以上
違えるように設置したことを特徴とするワーク搬送移載
装置。 - 【請求項２】 半導体ウエハ収納カセットを搭載し走行
レールに沿って走行するキャリア、及び前記走行レール
又は前記キャリアに取り付けられキャリアを駆動する駆
動部から成るワーク搬送装置と、 走行レール上のキャリアの各停止位置において、キャリ
アへ半導体ウエハ収納カセットの積み込み又は積み降し
を行うワーク移載装置を備え、 ワーク移載装置を、複数個のワーク搬送装置の走行レー
ルの間に設置し、 かつ、複数個のワーク搬送装置のうち少なくとも隣り合
うワーク搬送装置の前記キャリア上の半導体ウエハ収納
カセットの走行高さが、半導体ウエハ収納カセット１個
分以上違えるように設置したことを特徴とするワーク搬
送移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4032758A JP2951787B2 (ja) | 1992-01-22 | 1992-01-22 | ワーク搬送移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4032758A JP2951787B2 (ja) | 1992-01-22 | 1992-01-22 | ワーク搬送移載装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05201549A JPH05201549A (ja) | 1993-08-10 |
| JP2951787B2 true JP2951787B2 (ja) | 1999-09-20 |
Family
ID=12367745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4032758A Expired - Fee Related JP2951787B2 (ja) | 1992-01-22 | 1992-01-22 | ワーク搬送移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2951787B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010143451A1 (ja) * | 2009-06-09 | 2010-12-16 | 村田機械株式会社 | コンベヤ搬送システム間での移載装置と移載方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6183623U (ja) * | 1984-11-08 | 1986-06-02 |
-
1992
- 1992-01-22 JP JP4032758A patent/JP2951787B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05201549A (ja) | 1993-08-10 |
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