JPWO2008041326A1 - 基板搬送システム - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係る基板仕分けシステム1の概略構成を示す平面図であり、図2は、基板仕分けシステム1の概略構成を示す側面図であり、図1におけるII矢視図である。
図14は、本発明の第2の実施形態に係る基板仕分けシステム101の概略構成を示す側面図であり、図2に対応する図である。
図15は、本発明の第3の実施形態に係る基板仕分けシステム110の概略構成を示す平面図であり、図2に対応する図である。
第4の実施形態に係る基板仕分けシステム(図示せず)は、第1の実施形態に係る基板仕分けシステム1とは逆に、仕分け元カセット3とローダ装置11との間、および、仕分け先カセット5とローダ装置11との間での基板Wの搬送を、アクチュエータにより回転するローラを用いたコンベヤで行なっており、高密度カセット9とローダ装置11との間での基板Wの搬送をハンド部材67a、吸盤71aを用いて行なっているものである。
図16は、本発明の第5の実施形態に係る基板仕分けシステム130の概略構成を示す平面図であり、図1に対応する図である。
第6の実施形態に係る基板仕分けシステム(図示せず)は、ローダ装置11の本体部17と高密度カセット9との間での基板Wの搬送を、ハンド部材67、吸盤71と同様に構成され移載ハンド支持部材63に設けられているハンド部材67a、吸盤71a(図15参照)を用いて行なっている点が、第5の実施形態に係る基板仕分けシステム130と異なり、その他の点は、基板仕分けシステム130とほぼ同様に構成されほぼ同様の効果を奏する。
Claims (4)
- 仕分け元カセットに収納されている複数の基板を、仕分け先カセットへ仕分けるための基板仕分けシステムにおいて、
前記基板を任意の位置に収納できるバッファステーションと;
前記仕分け元カセット、前記仕分け先カセット、前記バッファステーションそれぞれの間で、基板を枚葉で搬送可能なローダ装置と;
を有ることを特徴とする基板仕分けシステム。 - 請求項1に記載の基板仕分けシステムにおいて、
仕分け元カセットに収納されている基板のIDを入力するID入力手段と;
前記ID入力手段によって入力したIDに基づいて、前記仕分け先カセットに仕分けされた基板を移動するように前記ローダ装置を制御する制御手段と;
を有することを特徴とする基板仕分けシステム。 - 請求項1または請求項2に記載の基板仕分けシステムにおいて、
前記仕分け先カセットは複数設けられていることを特徴とする基板仕分けシステム。 - 請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の基板仕分けシステムにおいて、
前記バッファステーションは、高密度で前記基板を収納可能であることを特徴とする基板仕分けシステム。
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