CN101511709A - 基板输送系统 - Google Patents

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Abstract

在将未分类盒(3)中收纳的多个基板(W)分类到分类目标盒(5)的基板分类系统(1)中，具有：将基板(W)收纳在任意位置的缓冲工作台(7)；在各盒(3)、(5)、缓冲工作台(7)两两之间按片输送基板(W)的装载装置(11)。

Description

基板输送系统
技术领域
本发明涉及基板分类系统，尤其是关于从未分类盒一旦将基板收纳到缓冲工作台之后，通过收纳入分类目标盒来进行基板的分类的系统。
背景技术
图18是表示以往的基板分类系统200的大致结构的俯视图，图19是基板分类系统200的主视图，是表示沿图18中的XIX方向的视图。
基板分类系统200具有：能够载置未分类盒202和多个分类目标盒204的基台206；能够按片输送基板的机器人208；能够载置分类目标盒204的储料器210。未分类盒202和分类目标盒204具有相同的结构，各盒能够收纳相同数量的基板。
在基台206和储料器210之间，能够通过使用起重机(未图示)，使分类目标盒204适当地移动。
随机地收纳有种类不同的多个基板的未分类盒202被设置(载置)基台206上时，用条形码读取器等读取未分类盒202所收纳的各基板的信息(例如与基板的种类相关的信息、各基板上条形码等所表示的信息)，并且用机器人208一张一张地将基板从未分类盒202中搬出，将该搬出的基板搬入分类目标盒204。
在搬入时，由于按照基板的种类将基板搬入分类目标盒204，所以在各分类目标盒204中按照种类收纳基板。
即，未分类盒202中随机地被收纳的各基板被收纳到分类目标盒204时，通过按照种类整理收纳，能够进行各基板的分类。
然而，在基板分类系统200中，由于使用机器人208在将基板从未分类盒202向分类目标盒204输送时进行基板的分类，所以基台206和储料器210之间的分类目标盒204的更换动作(作业)增多，存在高效地进行基板的分类变得困难的问题。
即，未分类盒202中收纳有多种(例如，10种)的基板，另外，如图18所示，只能将三个分类目标盒204载置在基台206上，在各分类目标盒204中，只能搬入三种基板，在未分类盒202中还剩下七种基板。另外，只装入上述三种基板，不能使基台206上载置的三个分类目标盒204装满基板。
因此，预先另外将分类目标盒204载置在储料器210中，在基台206和储料器210之间适当地更换分类目标盒204，能够将上述10种基板分类地收纳在分类目标盒204中，但是必须进行基台206和储料器210之间的分类目标盒204的更换，基板的分类作业的效率降低。
此外，在进行上述分类时，如果基台206上载置的未分类盒202的基板没有了，收纳有多种基板的下一个未分类盒202就要被载置在基台206上。
上述问题在未分类盒202中收纳的基板的种类多时更显著。
因此，作为与基板分类系统200不同的基板分类系统考虑具有缓冲工作台的基板分类系统(未图示)。
上述基板分类系统是在具有与基板分类系统200结构相同的未分类盒、分类目标盒、基台、机器人、储料器的基础上，还具有缓冲工作台。
上述缓冲工作台具有例如多列的缓冲用盒，在各缓冲用盒之间，设置有与机器人结构相同的机器人。缓冲用盒与未分类盒和分类目标盒结构相同且可收纳相同张数的基板，并被载置在与基台相同的基台上。
而且，随机地收纳有种类不同的多个基板的未分类盒被设置在基台上时，用条形码读取器等读取未分类盒中收纳的各基板的信息，并且用机器人将基板一张一张地从未分类盒搬出，并使用机器人(根据需要使用机器人)将该搬出的基板搬入缓冲用盒。
接着，特定的品种被存留规定张数，使用机器人(根据需要使用机器人)将该规定张数的基板从缓冲用盒搬出，并将该搬出的基板搬入分类目标盒。
由于具有缓冲工作台，所以在上述基板分类系统中，不需要进行储料器和基台之间的分类目标盒的更换，能够高效地进行基板的分类。
此外，作为与上述各分类装置200相关的文献例如专利文献(日本专利第3185595号公报)。
然而，在上述基板分类系统200中，如上所述，存在高效地进行基板的分类变得困难的问题，在上述基板分类系统(未图示)中，由于要临时收纳多个基板，则设置缓冲工作台，由此存在装置大型化的问题。
发明内容
本发明鉴于上述问题而研发的，其目的是提供一种能够高效率地分类基板且能够避免大型化的基板分类系统。
本发明的第1方式的发明是一种基板分类系统，将未分类盒中收纳的多个基板分类到分类目标盒，具有：将上述基板收纳在任意位置的缓冲工作台；在上述未分类盒、上述分类目标盒和上述缓冲工作台两两之间按片输送基板的装载装置。
本发明的第2方式的发明是在第1方式に记载的基板分类系统中，还具有：输入未分类盒中收纳的基板的ID的ID输入机构；基于上述ID输入机构输入的ID，以使被分类的基板向上述分类目标盒移动的方式控制上述装载装置的控制机构。
本发明的第3方式的发明是在第1方式或第2方式记载的基板分类系统中，设置多个上述分类目标盒。
本发明的第4方式的发明是在第1方式～第3方式任一个记载的基板分类系统中，上述缓冲工作台以高密度收纳上述基板。
附图说明
图1是表示本发明的第1实施方式的基板分类系统的大致结构的俯视图。
图2是表示基板分类系统的大致结构的侧视图，是沿着图1中的II方向的视图。
图3是缓冲工作台的大致立体图。
图4是表示构成缓冲工作台的高密度盒的立体图。
图5是沿着图3的V方向的视图。
图6是沿着图5中的VI方向的视图。
图7是表示基板分类系统的大致结构的俯视图，是与图1对应的图。
图8是表示基板分类系统的大致结构的侧视图，是沿着图7中的VIII方向的视图，是与图2对应的图。
图9是对基板分类系统的动作进行说明的图。
图10是对基板分类系统的动作进行说明的图。
图11是对基板分类系统的动作进行说明的图。
图12是对基板分类系统的动作进行说明的图。
图13是对基板分类系统的动作进行说明的图。
图14是表示本发明的第2实施方式的基板分类系统的大致结构的侧视图，是与图2对应的图。
图15是表示本发明的第3实施方式的基板分类系统的大致结构的俯视图，是与图1对应的图。
图16是表示本发明的第5实施方式的基板分类系统的大致结构的俯视图，是与图1对应的图。
图17是表示本发明的第5实施方式的基板分类系统的大致结构的侧视图，是沿着图16中的XVII方向的视图。
图18是表示以往的基板分类系统的大致结构的俯视图。
图19是基板分类系统的主视图，是沿着图18中的XIX方向的视图。
具体实施方式
[第1实施方式]
图1是表示本发明的第1实施方式的基板分类系统1的大致结构的俯视图，图2是表示基板分类系统1的大致结构的侧视图，是沿着图1中的II方向的视图。
在本说明书中，为方便说明，将水平方向的一方向作为X轴方向，将水平方向的另一方向即与上述X轴方向垂直的方向作为Y轴方向，将铅直方向作为Z轴方向。
基板分类系统1是将收纳在未分类盒3中的多个基板W分类到分类目标盒5的装置。未分类盒3是通过将基板W置于水平并大致等间隔地相互稍分离地层叠而多层地进行收纳，分类目标盒5也是同样地通过将基板W置于水平并大致等间隔地相互稍分离地层叠而多层地进行收纳。
作为上述基板W可以考虑玻璃基板(例如，等离子显示板和液晶显示板等所使用的矩形的板状的玻璃基板)。
基板分类系统1具有：将基板W载置到例如高密度盒9并将基板W收纳在该高密度盒9的任意位置的缓冲工作台7；可载置未分类盒3的分类开始工位13；可载置分类目标盒5的分类目标工位15；在未分类盒3、分类目标盒5和高密度盒9之间按片输送基板W的装载装置11。
高密度盒9与未分类盒3同样地通过将基板W置于水平并大致等间隔地相互稍分离地层叠而多层地进行收纳。但是，在缓冲工作台7，例如，只用机械手，以可载置基板W的上述机械手不能伸入基板W间的基板间隔高密度地，收纳基板W。
在分类开始工位13设置未分类盒辅助部17，按片将未分类盒5中收纳的基板W转移到装载装置11，另外，在分类目标工位15设置分类目标盒辅助部19，将装载装置11所输送的基板W收纳到分类目标盒5。
这里，关于缓冲工作台7举例进行详细说明。
图3是缓冲工作台7的大致立体图，图4是表示构成缓冲工作台7的高密度盒9的立体图，图5是沿着图3的V方向的视图，图6是沿着图5中的VI方向的视图。
缓冲工作台7具有1个或多个(例如2个)高密度盒9。高密度盒9大致构成为立方体状，在Y轴方向的两端部上具有侧部件25。侧部件25是沿着Z轴方向的细长状，在Y轴方向的一端部侧上在X轴方向上隔开间隔设置多个侧部件25，同样地在Y轴方向的另一端部侧上在X轴方向上隔开间隔设置多个侧部件25。
在Y轴方向的一端部侧上设置的侧部件25和Y轴方向的另一端部侧上设置的侧部件25之间，铺设线状的部件(例如电缆)27，用于将基板W载置并收纳在高密度盒9内。
在Z轴方向上的相同位置(相同高度)上，在X轴方向上隔开规定间隔沿Y轴方向延伸地设置多条电缆27，由此构成能够支承(载置)1张基板W的1个电缆组。
在Z轴方向上隔开规定的小间隔多个设置上述电缆组，由此高密度盒9能够将基板W置于水平并多层地进行收纳。存在将这样构成的高密度盒9称为电缆盒的情况。
另外，在高密度盒9的X轴方向的一侧面(设置有装载装置11一侧的面)，设置有使基板W可自由出入的开口部26。
在缓冲工作台7设置缓冲工作台侧辅助部23，用于按片将从装载装置11接受的基板W收纳到高密度盒9的任意位置，或者，将高密度盒9中收纳的任意基板W从高密度盒9取出并转移到装载装置11。
缓冲工作台侧辅助部23是，将辅助单元29配置在高密度盒9的Y轴方向的一侧，将与上述辅助单元29结构相同的辅助单元29配置在高密度盒9的Y轴方向的另一侧，即，由一对辅助单元29构成。而且，上述一对辅助单元29按每个高密度盒9设置。因此，图1所示的缓冲工作台7具有2个高密度盒9，从而具有2对辅助单元(4个辅助单元)29。
这里，对1个辅助单元29进行说明。
辅助单元29具有相对于设置基板输送系统1的地板面被移动固定的基部件31。在该基部件31的上表面(在水平方向延展的平面状的上表面)，以可在Y轴方向上移动的方式设置有形成为板状且在水平方向上延伸的Y轴滑架35。更详细地说明，通过导轨(未图示)与基部件31设置成一体且轴承(未图示)与Y轴滑架35设置成一体的直线导轨轴承(未图示)，Y轴滑架35被基部件31支承。另外，Y轴滑架35通过伺服电机等的致动器和滚珠丝杠等可在Y轴方向上移动定位。
在Y轴滑架35的前端部侧(高密度盒9侧)，在X轴方向上隔开规定间隔地设置多个切口37。在Y轴滑架35的前端部侧即没有设置上述切口37的各部位39上，分别以可旋转的方式设置有用于载置输送基板W的圆柱状的小径的辊41。
上述各辊41被设置成他们的旋转中心轴沿着Y轴方向延伸并且高度相同，被未图示的轴承支承在Y轴滑架35上，并且通过未图示的齿轮等动力传递部件，由电机等的致动器(未图示)使他们分别同步旋转。
在Y轴滑架35的各部位39上，除辊41以外，还设置有缓冲工作台侧空气浮动机构43，用于支承被各辊41输送的基板W的重量。
缓冲工作台侧空气浮动机构43具有例如由具有通气性的陶瓷形成的薄板状的支承部件45，被压缩空气供给机构(未图示)供给的压缩空气从支承部件45喷出，与上述基板W以非接触的状态支承上述基板W的重量。
上述支承部件45设置得比辊41更靠前端侧(高密度盒9侧)。另外，支承部件45的上表面位于比辊41的上端稍靠下方，另外，支承部件45的下表面的高度和辊41的下端的高度大体一致。
此外，还可以代替通气性的陶瓷由通气性的烧结金属等构成上述支承部件45。另外，还可以使用不具有通气性的材质充填的金属等的部件，将该金属等的部件设置多个孔，从这些穴喷出压缩空气来支承上述基板W。
而且，还可以代替上述各空气浮动机构43采用利用超声波使基板W浮起的超声波浮动机构。
上述超声波浮动机构通过超声波振动子使基板支承部件振动，由此由基板W和上述基板支承部件之间形成的薄空气膜来支承基板W的重量。
举例详细说明，上述超声波浮动机构具有超声波发生元件(例如压电元件)。
在上述超声波发生元件的上侧，设置有变幅杆，用于增幅该超声波发生元件所发生的振动。上述基板支承部件通过连结部件设置在上述变幅杆的上部。
而且，上述超声波发生元件所发生的振动被传递到上述基板支承部件，该基板支承部件主要在上述基板W的厚度方向上振动，由此在基板W和上述基板支承部件之间，发生将空气作为媒体的放射压(空气的粗密波产生的放射压)，通过该放射压，在上述基板W和上述基板支承部件之间生产薄空气膜，从而能够由上述基板支承部件支承上述基板W的重量。
另外，在缓冲工作台7设置有盒移动定位装置33，载置高密度盒9并能使该载置的高密度盒9在Z轴方向上移动定位。该盒移动定位装置33具有：直接载置高密度盒9的部位；不直接载置高密度盒9的部位。上述直接载置的部位被直线导轨轴承等以可在Z轴方向上移动的方式支承。另外，上述直接载置的部位通过伺服电机等的致动器和滚珠丝杠等在Z轴方向上移动定位。
在如上所述构成的缓冲工作台7中，在未图示的控制装置的控制下适当驱动各致动器等时，如图3所示，辊41、支承部件45处于高密度盒9的外侧，或者，高密度盒9在Z轴方向上被适当地移动定位，如图6所示，辊41、支承部件45进入高密度盒9内，即，进入高密度盒9中收纳的任意2个基板W间，由辊41载置基板W，并由支承部件45以能够防止基板W挠曲的方式支承基板W的重量，使基板W在X轴方向上移动，从而可以搬出高密度盒9中收纳的基板W，或将基板W搬入高密度盒9。
此外，辊41、支承部件45进入高密度盒9内时，高密度盒9的侧部件25进入辊41、支承部件45间的切口37处。另外，高密度盒9的Y轴方向的两侧设置的各辅助单元29相互同步地动作。而且，如上所述，由于辊41、支承部件45的高度(Z轴方向的尺寸)被抑制得很低，所以即使高密度盒9以上下方向上窄的间隔(机械手不能进入程度的窄间隔)收纳各基板W，辊41、支承部件45也能够进入任意2个基板W之间。
其次，关于未分类盒3、分类目标盒5、装载装置11、未分类盒侧辅助部17和分类目标盒侧辅助部19，举例进行详细说明。
此外，在分类开始工位13设置有盒移动定位装置(与上述盒移动定位装置33结构大致相同的盒移动定位装置)14，载置未分类盒3并使该载置的未分类盒3在Z轴方向上移动定位。另外，在分类目标工位15也设置有同样的盒移动定位装置16。
再对基板分类系统1进行说明。
图7是表示基板分类系统1的大致结构的俯视图，是与图1对应的图。
图8是表示基板分类系统1的大致结构的侧视图，是沿着图7中的VIII方向的视图，是与图2对应的图。
此外，为了方便观察，在图8中，省略了一侧(图7的下侧)的侧方部件61等的表示。
未分类盒3如上所述地具有例如与高密度盒9大致相同的结构和外形。分类目标盒5与未分类盒3结构相同。
从图1、图7中可以理解，在基板分类系统1中，在装载装置11的X轴方向的一侧，配置有未分类盒3、分类目标盒5，在装载装置11的X轴方向的另一侧配置有高密度盒9。
未分类盒侧辅助部17由结构与上述缓冲工作台侧空气浮动机构43相同的分类元空气浮动机构47构成。分类元空气浮动机构47由例如在X轴方向上隔开间隔地设置的多个支承部件49构成。各支承部件49能够从各支承部件49的上表面喷出空气。
而且，在上述控制装置的控制下，由盒移动定位装置14使未分类盒3在Z轴方向上适当地移动定位，通过从支承部件49喷出空气，能够支承未分类盒3的最下面所收纳的基板W的重量。
分类目标盒侧辅助部19也与未分类盒侧辅助部17结构相同，并进行大致同样的动作。
在装载装置11中设置有分类目标盒及未分类盒侧基板输送机构51，用于在该装载装置11和未分类盒3及分类目标盒5之间进行基板W的输送。另外，在装载装置11中设置有高密度盒侧基板输送机构53，用于在该装载装置11和高密度盒9之间进行基板W的输送。
更详细地进行说明，装载装置11的下部具有基部件57。该基部件57被直线导轨轴承59支承，通过伺服电机等的致动器和滚珠丝杠等在Y轴方向上移动定位。
在上述基部件57的上表面(在水平方向上延展的平面状的上表面)，一体地立设侧方部件61。该侧方部件61设置在基部件57的Y轴方向的两端部侧。
分类目标盒及未分类盒侧基板输送机构51具有在上述各侧方部件61间设置的移载手柄支承部件63。在移载手柄支承部件63的上部，设置有L字形的手柄部件67。手柄部件67通过直线导轨轴承(未图示)等，以可移动的方式支承在移载手柄支承部件63上。另外，手柄部件67通过伺服电机等的致动器和滚珠丝杠等在X轴方向上移动定位。
在手柄部件67的上部一体地设置有保持机构的一例即吸盘71，能够吸附保持基板W的下表面。此外，代替用吸盘71进行保持，还可以通过例如夹住基板W的端部进行保持。
另外，在移载手柄支承部件63的上部设置有装载空气浮动机构69。该装载空气浮动机构69由与移载手柄支承部件63一体设置的多个支承部件70构成。各支承部件70的上表面位于比上述吸盘71的上表面稍靠下方。另外，各支承部件70能够从各支承部件49的上表面喷出空气。
而且，将移载手柄支承部件63适当定位在高度方向上，手柄部件67从移载手柄支承部件63外伸，如果向未分类盒3或分类目标盒5侧(图8的右侧)延伸，由吸盘71保持未分类盒3的基板W的端部的下表面。
另外，从上述支承部件49的上表面和各支承部件70的上表面吹出空气来支承基板W的重量，如果引入手柄部件67(向图8的左侧移动)，从未分类盒3将基板W引出(搬出)到移载手柄支承部件63的大致正中的位置。
此外，在向分类目标盒5搬入基板W的情况下，进行与来自上述未分类盒3的基板W的搬出相反的动作即可。
高密度盒侧基板输送机构53具有输送器基部件73。输送器基部件73是在各侧方部件61之间，通过直线导轨轴承65，被支承在各侧方部件61上。另外，输送器基部件73通过伺服电机等的致动器和滚珠丝杠等在Z轴方向上移动定位。
在输送器基部件73的上表面(在水平方向上延展的平面状的上表面)，多个辊支承部件75一体地设置。各辊支承部件75例如在Y轴方向上隔开间隔地设置。而且，在各辊支承部件75的上端部，设置有构成用于载置基板W的输送器的多个辊77。
各辊77的旋转中心轴沿Y轴方向延伸，并且各辊77通过电机等的致动器和齿轮等的动力传递部件分别同步地旋转，或者，通过离合器等切断与电机的连接而分别自由旋转。
而且，输送器基部件73、各辊支承部件75和各辊77在以下位置间移动：从移载手柄支承部件63分离并位于移载手柄支承部件63的下方的位置、和各辊77的上端比比吸盘71的上端稍高的位置。此外，在各辊77的上端位于比吸盘71的上端更靠上方等的状态下，各辊支承部件75和各辊77贯穿移载手柄支承部件63上设置的贯通孔。
此外，各辊77的上端比吸盘71的上端稍高的位置中的上述各辊的上端、和缓冲工作台侧辅助部23的各辊41的上端高度相同。
在使用高密度盒侧基板输送机构53进行从各辊77向高密度盒9的基板W搬入(输送)的情况下，适当地使各辊77和各辊41旋转即可，在进行从高密度盒9向各辊77的基板W输送的情况下，进行相反的动作即可。
另外，在基板分类系统1中，还具有：ID输入机构(未图示)，用于输入未分类盒3中收纳的基板W的ID；和上述控制装置(未图示)，基于从上述ID输入机构输入的ID使被分类到分类目标盒5的基板W移动。
而且，具体地，上述控制装置通过天线(未图示)读取并输入未分类盒3中设置的RFID(Radio Frequency IDentification)标签(未图示)所存储的基板W的信息(未分类盒3中收纳的各基板的信息、基板W的种类、基板W的良否等的信息)，将该输入的各基板W的信息存储在未图示的存储机构。
此外，基板W的信息是在对未分类盒3中收纳的各基板W进行加工前的工序等中，预先存储(收纳)在上述RFID标签中的。另外，在未分类盒3中，不同种类的基板W被例如随机地收纳。
另外，将上述未分类盒3中收纳的基板W移动到缓冲工作台7时，将基板W收纳(搬入)到高密度盒9的任意位置。此外，在未分类盒3中没有基板W的情况下，适当地更换成收纳有基板W的下一个未分类盒3。
而且，参照上述存储机构中存储的信息，在缓冲工作台7存留规定张数的例如相同种类的基板W，将这些存留的规定张数的基板W移动到分类目标盒5。此时，从缓冲工作台7的任意位置搬出基板W。因此，能够只将上述存留规定张数的同种类的基板W移动到分类目标盒5，从而能够进行基板W的分类。
向分类目标盒5移动上述相同种类的规定张数的基板W结束后，将分类目标盒5更换到下一个盒，进行下一同种类的基板W的分类。
此外，代替RFID标签或在此基础上，上述控制装置也可以根据未分类盒3上带有的条形码和各基板W带有的条形码等，获得基板W的信息。而且，还可以将控制装置与网络连接，通过上述网络获得基板W的信息。
此外，在基板分类系统1的分类目标工位15，可以设置多个分类目标盒5。而且，向被设置的各分类目标盒5中的1个分类目标盒5进行收纳被分类的基板W结束后，可以继续进行向上述各分类目标盒5中的另一个分类目标盒5的分类。被设置的各分类目标盒5中的其他分类目标盒5被称为待机盒。
而且，如图1所示，在基板分类系统1中，设置有可载置分类目标盒5的储料器79。在分类目标工位15和储料器79之间，通过使用起重机(未图示)或分类目标盒移动机器人等，能够适当地移动分类目标盒5。
其次，对基板分类系统1的动作进行说明。
图9～图14是说明基板分类系统1的动作的图。
基板分类系统1是在上述控制装置的控制下进行动作的。基板分类系统1在动作开始前，例如，收纳有各种类的基板W的未分类盒3被预先设置在分类开始工位13，没有收纳基板W的空的分类目标盒5被预先设置在分类目标工位15，在高密度盒9中没有收纳基板W，是空的。
另外，如图9所示，手柄部件67位于高密度盒9侧(图9的左侧)。未分类盒3位于吸盘71的上端比未分类盒3的最下侧收纳的基板W的下表面低的位置的高度(支承部件49的上表面也位于比未分类盒3的最下侧收纳的基板W的下表面低的位置的高度)。此外，辊77位于移载手柄支承部件63的下方。
在图9所示的状态中，将手柄部件67移动到未分类盒3侧(图9的右侧)，使未分类盒3适当地向下方移动，直到未分类盒3的最下侧收纳的基板W的下表面与吸盘71的上端大体一致(未分类盒3的最下侧收纳的基板W的下表面比支承部件49的上表面稍靠上方)。
接着，由吸盘71保持未分类盒3的最下侧收纳的基板W的下端部(装载装置11侧的下端部)，从支承部件49的上表面喷出空气，使未分类盒3的最下侧收纳的基板W稍上升(参照图10)。
其次，从支承部件70的上表面喷出空气，并且使手柄部件67向高密度盒9侧(图10的左侧)移动，将基板W从未分类盒3中搬出。搬出后的基板W位于移载手柄支承部件63的大致正上方(参照图11、图12)。
接着，使各辊77上升，使各辊77的上端的高度与基板W的下表面的高度大体一致(使各辊77的上端的高度比支承部件70的上表面的高度稍高)，由辊77支承基板W的两侧部下表面，并解除吸盘71对基板W的保持(参照图12)。
此外，在图12中，为不妨碍图示省略了手柄部件67等的表示。
在图12所示的状态中，将高密度盒9定位于适当的高度，将辊41、支承部件45插入高密度盒9的内部，并旋转驱动辊77、辊41，将基板W搬入高密度盒9内(参照图13)。
之后，稍微使高密度盒7上升，将搬入的基板W载置在高密度盒9的电缆27上。之后，返回到与图9所示的状态大致相同的状态。
反复这样的动作，在高密度盒9中存留了规定张数的同种类的基板W之后，将这些存留的规定张数的基板W移动到分类目标盒5。该移动通过与如上所述地将基板从未分类盒3移载到高密度盒9的动作大致相反的动作进行。从高密度盒9向分类目标盒5移动时，从缓冲工作台7的任意位置搬出基板W。因此，能够只将上述规定张数存留的同种类的基板W移动到分类目标盒5，从而能够进行基板W的分类。
向分类目标盒5移动上述同种类的规定张数的基板W结束之后，将分类目标盒5更换成下一个盒，进行下一的同种类的基板W的分类。
根据基板分类系统1，在缓冲工作台7存留规定张数的特定品种，只将该规定张数的基板W移动到分类目标盒5，从而不需要在分类目标盒5和储料器79之间进行分类目标盒5的更换，能够高效率地进行基板W的分类。另外，由于能够高密度地在缓冲工作台7收纳更多的基板W，所以能够回避缓冲工作台的大型化，能够使基板分类系统1小型化。
另外，通过使基板分类系统1小型化，能够使基板分类系统1的设置面积变小。如果基板分类系统1的设置面积减小，将基板分类系统1在无尘室内使用时，能够减小价格昂贵的设备即无尘室本身的大小。
另外，根据基板分类系统1，基于输入的ID，移动被分类到分类目标盒5的基板W，从而能够使基板分类系统1的进一步自动化，并且能够进一步高效率地正确地进行基板W的分类。
而且，根据基板分类系统1，向各分类目标盒5中的1个分类目标盒5收纳被分类的基板W结束后，可以继续进行向各分类目标盒5中的另一个分类目标盒5的分类，从而即使改变基板输送先的分类目标盒5，也不需要中断装载装置11的动作，而能高效率地进行基板W的分类。
[第2实施方式]
图14是表示本发明的第2实施方式的基板分类系统101的大致结构的侧视图，是与图2对应的图。
第2实施方式的基板分类系统101是除了通过利用辊的输送器进行未分类盒3和装载装置11之间的、及分类目标盒5和装载装置11之间的基板W的输送这点与第1实施方式的基板分类系统1不同之外，其他方面都与基板分类系统1大致相同，并具有大致相同的效果。
即，在基板分类系统101中，去除了移载手柄支承部件63、手柄部件67、吸盘71等，并且各辅助部17、19具有被致动器旋转驱动的辊102。此外，各辊102的上端的高度、各辊77的上端的高度和各辊41的上端的高度相互一致。而且，通过适当地驱动各辊77、102，进行未分类盒3和装载装置11之间的、及分类目标盒5和装载装置11之间的基板W的输送。
[第3实施方式]
图15是表示本发明的第3实施方式的基板分类系统110的大致结构的俯视图，是与图2对应的图。
第3实施方式的基板分类系统110是除了使用与手柄部件67、吸盘71结构相同的且设置在移载手柄支承部件63上的手柄部件67a、吸盘71a进行装载装置11和高密度盒9之间的基板W的输送这点与第1实施方式的基板分类系统1不同之外，其他方面与基板分类系统1大致相同，并且具有大致相同的效果。
此外，在缓冲工作台侧辅助部23中去除了辊41。
[第4实施方式]
第4实施方式的基板分类系统(未图示)是与第1实施方式的基板分类系统1相反地，通过使用由致动器驱动旋转的辊的输送器进行未分类盒3和装载装置11之间的、及分类目标盒5和装载装置11之间的基板W的输送，并且通过使用手柄部件67a、吸盘71a进行高密度盒9和装载装置11之间的基板W的输送。
[第5实施方式]
图16是表示本发明的第5实施方式的基板分类系统130的大致结构的俯视图，是与图1对应的图。
图17是表示本发明的第5实施方式的基板分类系统130的大致结构的侧视图，是沿着图16中的XVII方向的视图。
第5实施方式的基板分类系统130是除了使用基板移载手柄132进行未分类盒3和装载装置11的主体部17之间的、及分类目标盒5和装载装置11的主体部17之间的基板W的输送这点与第1实施方式的基板分类系统1不同之外，其他方面与基板分类系统1大致相同，并且具有大致相同的效果。
即，在基板分类系统130中，相对于与移载手柄支承部件63结构大致相同的移载手柄支承部件63a，设置有通过致动器在X轴方向上移动定位的楔状的基板移载手柄132。而且，将基板移载手柄132插入未分类盒3、分类目标盒5内，并载置输送基板W。此外，在移载手柄支承部件63a的高密度盒9侧的上表面，设置有用于支承基板W的重量的辊136，将基板从辊77向辊41输送时，由辊136支承基板W，能够顺畅地进行基板W的输送。
另外，作为基板分类目标盒、基板未分类盒，不用电缆盒而采用在Y轴方向的两端部支承基板W的通常的盒。
[第6实施方式]
第6实施方式的基板分类系统(未图示)是除了使用与手柄部件67、吸盘71结构相同且设置在移载手柄支承部件63上的手柄部件67a、吸盘71a(参照图15)进行装载装置11的主体部17和高密度盒9之间的基板W的输送这点与第5实施方式的基板分类系统130不同之外，其他方面与基板分类系统130大致相同，并且具有相同的效果。
此外，在辅助部23(参照图3)中，与第3实施方式的基板分类系统110相同地去除辊41。
此外，在上述各实施方式中，使未分类盒3、分类目标盒5、高密度盒9在上下方向上移动，而进行基板W的搬出搬入，但也可以预先将未分类盒3、分类目标盒5、高密度盒9固定在高度方向上，通过使移载手柄支承部件63等在上下方向上移动，来进行基板W的搬出搬入。
另外，本发明不限于上述本发明的实施方式，可以进行适当地变更，通过其他方式实施。

Claims (4)

1.一种基板分类系统，将未分类盒中收纳的多个基板分类到分类目标盒，其特征在于，具有：
将上述基板收纳在任意位置的缓冲工作台；
在上述未分类盒、上述分类目标盒和上述缓冲工作台两两之间按片输送基板的装载装置。
2.如权利要求1所述的基板分类系统，其特征在于，还具有：
输入未分类盒中收纳的基板的ID的ID输入机构；
基于上述ID输入机构输入的ID，以使被分类的基板向上述分类目标盒移动的方式控制上述装载装置的控制机构。
3.如权利要求1或2所述的基板分类系统，其特征在于，
设置多个上述分类目标盒。
4.如权利要求1～3任一项所述的基板分类系统，其特征在于，
上述缓冲工作台以高密度收纳上述基板。
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