KR20090077814A - 기판 반송 시스템 - Google Patents

기판 반송 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR20090077814A
KR20090077814A KR1020097008932A KR20097008932A KR20090077814A KR 20090077814 A KR20090077814 A KR 20090077814A KR 1020097008932 A KR1020097008932 A KR 1020097008932A KR 20097008932 A KR20097008932 A KR 20097008932A KR 20090077814 A KR20090077814 A KR 20090077814A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
cassette
sorting
board
high density
Prior art date
Application number
KR1020097008932A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101183042B1 (ko
Inventor
겐스케 히라타
스스무 무라야마
구니아키 도
가이 다나카
와타루 우에다
Original Assignee
가부시키가이샤 아이에이치아이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 아이에이치아이 filed Critical 가부시키가이샤 아이에이치아이
Publication of KR20090077814A publication Critical patent/KR20090077814A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101183042B1 publication Critical patent/KR101183042B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
    • B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
    • B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
    • B07C5/36—Sorting apparatus characterised by the means used for distribution
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67271—Sorting devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

본 발명은, 분류원 카세트(3)에 수납되어 있는 복수의 기판(W)을, 분류처 카세트(5)에 분류하기 위한 기판 분류 시스템(1)에 있어서, 기판(W)을 임의의 위치에 수납할 수 있는 버퍼 스테이션(7)과, 각 카세트(3, 5) 및 버퍼 스테이션(7) 각각의 사이에서, 기판(W)을 원판 크기로 반송 가능한 로더 장치(11)를 포함하는 기판 분류 시스템인 것을 특징으로 한다.

Description

기판 반송 시스템{SUBSTRATE TRANSFER SYSTEM}
본 발명은, 기판 분류(assorting) 시스템에 관한 것으로서, 특히, 기판을 분류원 카세트(assorting source cassette)로부터 버퍼 스테이션에 일단 수납한 후, 분류처(분류할 곳) 카세트에 수납함으로써 기판의 분류를 행하는 기판 분류 시스템에 관한 것이다.
도 18은 종래의 기판 분류 시스템(200)의 개략적인 구성을 나타낸 평면도이며, 도 19는 기판 분류 시스템(200)의 정면도로서 도 18의 XIX에서 바라본 도면을 나타낸다.
기판 분류 시스템(200)은, 분류원 카세트(202)로 복수의 분류처 카세트(204)를 탑재 가능한 기대(基臺, 206), 기판을 원판 크기로 반송 가능한 로봇(208), 및 분류처 카세트(204)를 탑재 가능한 스토커(210)를 포함하여 구성되어 있다. 분류원 카세트(202)와 분류처 카세트(204)의 구성은 동일하고, 각 카세트는 동일한 개수의 기판을 수납 가능하게 되어 있다.
기대(206)와 스토커(210) 사이에서는, 크레인(도시하지 않음)을 사용함으로써, 분류처 카세트(204)를 적절하게 이동시킬 수 있도록 되어 있다.
종류가 서로 다른 복수의 기판이 랜덤하게 수납되어 있는 분류원 카세 트(202)가 기대(206)에 설치(탑재)되면, 분류원 카세트(202)에 수납되어 있는 각 기판의 정보(예를 들면, 기판의 종류에 관한 정보； 각 기판에 바코드 등으로 표시된 정보)를 바코드 리더 등으로 읽고, 로봇(208)으로 기판을 1장씩 분류원 카세트(202)로부터 반출하고, 이 반출된 기판을 분류처 카세트(204)에 반입하도록 되어 있다.
이러한 반입 시에, 기판의 종류별로, 분류처 카세트(204)에 기판을 반입하도록 되어 있으므로, 각 분류처 카세트(204)에는 기판이 종류별로 수납된다.
즉, 분류원 카세트(202)에 랜덤하게 수납되어 있던 각 기판은, 분류처 카세트(204)에 수납될 때는, 종류별로 정리되어 수납되므로, 각 기판의 분류가 행해지게 된다.
그런데, 기판 분류 시스템(200)에서는, 로봇(208)을 사용하여, 분류원 카세트(202)로부터 분류처 카세트(204)에 기판을 반송할 때 기판의 분류를 행하므로, 기대(206)와 스토커(210) 사이에서의 분류처 카세트(204)의 교체 동작(작업)이 많아져서, 기판의 분류를 양호한 효율로 행하기 곤란한 문제가 있다.
즉, 분류원 카세트(202)에 많은 종류[예를 들면, 10종류]의 기판이 수납되어 있고, 또한, 도 18에 나타낸 바와 같이 분류처 카세트(204)가 기대(206) 상에 3개만 탑재되어 있다고 하면, 각 분류처 카세트(204)에는 3종류의 기판만 반입될 수 있고, 분류원 카세트(202)에는 7종류의 기판이 남게 된다. 또한, 전술한 3종류의 기판 만으로는, 기대(206) 상에 실려 있는 3개의 분류처 카세트(204)가 기판으로 다 차지 않는다.
그래서, 스토커(210)에 별도로 분류처 카세트(204)를 탑재해 두고, 기대(206)와 스토커(210) 사이에서 분류처 카세트(204)를 적절하게 교체하면, 전술한 10종류의 기판을 분류처 카세트(204)에 분류하여 수납할 수 있지만, 기대(206)와 스토커(210) 사이에서의 분류처 카세트(204)를 교체할 필요가 있으므로, 기판의 분류 작업의 효율이 좋지 못하게 된다.
그리고, 전술한 분류를 행할 때, 기대(206)에 탑재된 분류원 카세트(202)의 기판이 다 없어지면, 많은 종류의 기판을 수납하고 있는 다음 분류원 카세트(202)가 기대(206)에 탑재된다.
전술한 문제는, 분류원 카세트(202)에 수납되어 있는 기판의 종류가 많을수록 현저하게 된다.
그래서, 기판 분류 시스템(200)과는 상이한 기판 분류 시스템으로서, 버퍼 스테이션을 포함한 기판 분류 시스템(도시하지 않음)을 고려할 수 있다.
전술한 기판 분류 시스템은, 기판 분류 시스템(200)과 동일하게 구성되어 있는 분류원 카세트, 분류처 카세트, 기대, 로봇 및 스토커를 포함하고 있는 것에 더하여 버퍼 스테이션을 더 포함하고 있다.
전술한 버퍼 스테이션은, 버퍼용 카세트를, 예를 들면 복수 열로 구비하고 있고, 각 버퍼용 카세트 사이에는, 로봇과 동일하게 구성된 로봇이 설치되어 있다. 버퍼용 카세트는, 분류원 카세트나 분류처 카세트와 동일하게 구성되며 동일한 장수의 기판을 수납 가능하며, 기대와 동일한 기대 상에 탑재되어 있다.
그리고, 종류가 서로 다른 복수의 기판이 랜덤하게 수납되어 있는 분류원 카 세트가 기대에 설치되면, 분류원 카세트에 수납되어 있는 각 기판의 정보를 바코드 리더 등으로 읽고, 로봇으로 기판을 1장씩 분류원 카세트로부터 반출하며, 이 반출된 기판을, 로봇을 사용하여(로봇은 필요에 따라 사용하여), 버퍼용 카세트에 반입하도록 되어 있다.
이어서, 특정한 종류가 소정의 장수만큼 모이면, 이 소정 매수의 기판을, 로봇을 사용하여(로봇은 필요에 따라 사용하여) 버퍼용 카세트로부터 반출하고, 이 반출된 기판을 분류처 카세트에 반입하도록 되어 있다.
본 발명에서는 버퍼 스테이션을 포함하고 있으므로, 전술한 기판 분류 시스템에서는, 스토커와 기대 사이에서 분류처 카세트를 교환할 필요가 없기 때문에, 기판의 분류를 양호한 효율로 행할 수 있다.
그리고, 전술한 각 분류 장치(200)와 관련된 문헌으로서, 특허 문헌(일본 특허 제3185595호 공보)을 예로 들 수 있다.
그런데, 기판 분류 시스템(200)에서는, 전술한 바와 같이, 기판의 분류를 양호한 효율로 행하기 곤란한 문제가 있으므로, 전술한 기판 분류 시스템(도시하지 않음)에서는, 다수의 기판을 일시적으로 수납하기 위해 버퍼 스테이션을 설치함으로써, 장치가 대형화되는 문제가 있다.
본 발명은, 전술한 문제점을 감안하여 이루어진 것이며, 기판을 양호한 효율로 분류할 수 있고, 대형화되는 것을 회피할 수 있는 기판 분류 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 제1 태양에 따른 발명은, 분류원 카세트에 수납되어 있는 복수의 기판을, 분류처 카세트에 분류하기 위한 기판 분류 시스템에 있어서, 상기 기판을 임의의 위치에 수납할 수 있는 버퍼 스테이션과, 상기 분류원 카세트, 상기 분류처 카세트 및 상기 버퍼 스테이션 각각의 사이에서, 기판을 원판 크기로 반송 가능한 로더 장치를 포함하는 기판 분류 시스템인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제2 태양에 따른 발명은, 제1 태양에 기재된 기판 분류 시스템에 있어서, 분류원 카세트에 수납되어 있는 기판의 ID를 입력하는 ID 입력 수단과, 상기 ID 입력 수단에 의해 입력된 ID에 기초하여 상기 분류처 카세트에 분류된 기판을 이동시키도록 상기 로더 장치를 제어하는 제어 수단을 포함하는 기판 분류 시스템인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제3 태양에 따른 발명은, 제1 태양 또는 제2 태양에 기재된 기판 분류 시스템에 있어서, 상기 분류처 카세트는 복수개 설치되어 있는 기판 분류 시스템인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제4 태양에 따른 발명은, 제1 태양 내지 제3 태양 중 어느 하나에 기재된 기판 분류 시스템에 있어서, 상기 버퍼 스테이션은, 상기 기판을 고정밀도로 수납 가능한 기판 분류 시스템인 것을 특징으로 한다.
도 1은, 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 분류 시스템의 개략적인 구성을 나타낸 평면도이다.
도 2는 기판 분류 시스템의 개략적인 구성을 나타낸 측면도이며, 도 1의 II 에서 바라본 도면이다.
도 3은 버퍼 스테이션을 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 4는 버퍼 스테이션을 구성하는 고밀도 카세트를 나타낸 사시도다.
도 5는 도 3의 V에서 바라본 도면이다.
도 6은 도 5의 VI에서 바라본 도면이다.
도 7은 기판 분류 시스템의 개략적인 구성을 나타낸 평면도이며, 도 1에 대응하는 도면이다.
도 8은 기판 분류 시스템의 개략적인 구성을 나타낸 측면도이며, 도 7의 VIII에서 바라본 도면이며, 도 2에 대응하는 도면이다.
도 9는 기판 분류 시스템의 동작에 대하여 설명하는 도면이다.
도 10은 기판 분류 시스템의 동작에 대하여 설명하는 도면이다.
도 11은 기판 분류 시스템의 동작에 대하여 설명하는 도면이다.
도 12는 기판 분류 시스템의 동작에 대하여 설명하는 도면이다.
도 13은 기판 분류 시스템의 동작에 대하여 설명하는 도면이다.
도 14는 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 분류 시스템의 개략적인 구성을 나타낸 측면도이며, 도 2에 대응하는 도면이다.
도 15는 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 분류 시스템의 개략적인 구성을 나타낸 평면도이며, 도 1에 대응하는 도면이다.
도 16은 본 발명의 제5 실시예에 따른 기판 분류 시스템의 개략적인 구성을 나타낸 평면도이며, 도 1에 대응하는 도면이다.
도 17은 본 발명의 제5 실시예에 따른 기판 분류 시스템의 개략적인 구성을 나타낸 측면도이며, 도 16의 XVII에서 바라본 도면이다.
도 18은 종래의 기판 분류 시스템의 개략적인 구성을 나타낸 평면도이다.
도 19는 기판 분류 시스템의 정면도이며, 도 18의 XIX에서 바라본 도면이다.
[제1 실시예]
도 1은, 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 분류 시스템(1)의 개략적인 구성을 나타낸 평면도이며, 도 2는 기판 분류 시스템(1)의 개략적인 구성을 나타낸 측면도로서, 도 1의 II에서 바라본 도면이다.
본 건 명세서에서는, 설명 상의 편의를 도모하기 위하여, 수평 방향의 일 방향을 X축 방향, 수평 방향의 다른 일 방향으로서 상기 X 축 방향과 직각인 방향을 Y축 방향, 수직 방향을 Z축 방향으로 한다.
기판 분류 시스템(1)은, 분류원 카세트(3)에 수납되어 있는 복수의 기판(W)을 분류처 카세트(5)에 분류하기 위한 장치이다. 분류원 카세트(3)는, 기판(W)을 수평으로 하여 실질적으로 등 간격으로 서로 약간 이격시켜 적층함으로써 다단으로 수납할 수 있고, 분류처 카세트(5)도 마찬가지로, 기판(W)을 수평으로 하여 실질적으로 등 간격으로 서로 약간 이격시켜 적층함으로써 다단으로 수납할 수 있도록 되어 있다.
기판(W)으로서, 유리 기판(예를 들면, 플라즈마 디스플레이 패널이나 액정 디스플레이 패널 등에 사용되는 직사각형이며 판형의 유리 기판)을 고려할 수 있 다.
기판 분류 시스템(1)은, 예를 들면 고밀도 카세트(9)를 탑재하고 이 고밀도 카세트(9)의 임의의 위치에 기판(W)을 수납할 수 있는 버퍼 스테이션(7), 분류원 카세트(3)를 탑재 가능한 분류원 스테이션(13), 분류처 카세트(5)를 탑재 가능한 분류처 스테이션(15), 및 분류원 카세트(3)와 분류처 카세트(5)와 고밀도 카세트(9) 사이에서, 기판(W)을 원판 크기로 반송 가능한 로더 장치(11)를 포함하고 있다.
고밀도 카세트(9)는, 분류원 카세트(3)와 동일하게, 기판(W)을 수평으로 하여 실질적으로 등 간격으로 서로 약간 이격시켜 적층함으로써 다단으로 수납할 수 있도록 되어 있다. 다만, 버퍼 스테이션(7)에서는, 예를 들면 로봇 핸드만으로 기판(W)을 탑재 가능한 상기 로봇 핸드가 기판(W) 사이에 들어갈 수 없을 정도의 기판 간격으로 고밀도로 기판(W)을 수납할 수 있도록 되어 있다.
분류원 스테이션(13)에는, 분류원 카세트(5)에 수납되어 있는 기판(W)을 원판 크기로 로더 장치(11)에 전달하기 위한 분류원 카세트 보조부(17)가 설치되어 있고, 또한 분류처 스테이션(15)에는, 로더 장치(11)가 반송하고 있는 기판(W)을 분류처 카세트(5)에 수납하기 위한 분류처 카세트 보조부(19)가 설치되어 있다.
여기서, 버퍼 스테이션(7)을 예로 들어 상세하게 설명한다.
도 3은 버퍼 스테이션(7)을 개략적으로 나타낸 사시도이며, 도 4는 버퍼 스테이션(7)을 구성하는 고밀도 카세트(9)를 나타낸 사시도이며, 도 5는 도 3의 V에서 바라본 도면이며, 도 6은 도 5의 VI에서 바라본 도면이다.
버퍼 스테이션(7)은, 고밀도 카세트(9)를 1개 또는 복수개(예를 들면, 2개) 포함하여 구성되어 있다. 고밀도 카세트(9)는, 실질적으로 외관이 직육면체형으로 구성되어 있고, Y축 방향의 양 단부에 측 부재(25)를 구비하고 있다. 측 부재(25)는, Z축 방향으로 가늘고 길며, Y축 방향의 일단부 측에서 X축 방향으로 간격을 두고 복수개 설치되어 있고, 마찬가지로 Y축 방향의 타단부 측에서 X축 방향으로 간격을 두고 복수개 설치되어 있다.
Y축 방향의 일단부 측에 설치된 측 부재(25)와 Y축 방향의 타단부 측에 설치된 측 부재(25) 사이에는, 기판(W)을 고밀도 카세트(9) 내에서 탑재하고 수납하기 위한 선형 부재(예를 들면, 와이어)(27)가 설치되어 있다.
Z축 방향의 동일한 위치에서(동일한 높이로) X축 방향으로 소정 간격을 두고 Y축 방향으로 연장되는 와이어(27)가 복수개 설치됨으로써, 1장의 기판(W)을 지지(탑재)할 수 있는 1개의 와이어 군을 구성하고 있다.
상기 와이어 군이 Z축 방향으로 소정의 작은 간격을 두고 복수개 설치되어 있는 것에 의해, 고밀도 카세트(9)는, 기판(W)을 수평으로 하여 다단으로 수납할 수 있다. 이와 같이 구성된 고밀도 카세트(9)를 와이어 카세트라고 할 수도 있다.
또한, 고밀도 카세트(9)의 X축 방향의 일측면[로더 장치(11)가 설치되어 있는 측의 면]에는, 기판(W)이 출입 가능한 개구부(26)가 형성되어 있다.
버퍼 스테이션(7)에는, 로더 장치(11)로부터 수취한 기판(W)을 원판 크기로 고밀도 카세트(9)의 임의의 위치에 수납하거나, 또는 고밀도 카세트(9)에 수납되어 있는 임의의 기판(W)을 고밀도 카세트(9)로부터 인출하여 로더 장치(11)에 전달하 기 위한 버퍼 스테이션 측 보조부(23)가 설치되어 있다.
버퍼 스테이션 측 보조부(23)는, 보조 유닛(29)을 고밀도 카세트(9)의 Y축 방향의 일측에 배치하고, 보조 유닛(29)과 구성이 동일한 보조 유닛(29)을 고밀도 카세트(9)의 Y축 방향의 타측에 배치하여, 즉 한쌍의 보조 유닛(29)에 의해 구성되어 있다. 또한, 한쌍의 보조 유닛(29)은, 고밀도 카세트(9)마다 설치되어 있다. 따라서, 도 1에 나타낸 버퍼 스테이션(7)은, 2개의 고밀도 카세트(9)를 포함하고 있으므로, 2쌍의 보조 유닛(4개의 보조 유닛)(29)를 포함한다.
여기서, 1개의 보조 유닛(29)에 대하여 설명한다.
보조 유닛(29)은, 기판 반송 시스템(1)이 설치되는 바닥면에 대하여 이동 고정되어 있는 베이스 부재(31)를 포함하고 있다. 이 베이스 부재(31)의 상면(수평 방향으로 전개되고 연장되어 있는 평면형의 상면)에는, 판형으로 형성되고 수평 방향으로 연장되어 있는 Y축 캐리지(35)가 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 더 상세하게 설명하면, 레일(도시하지 않음)이 베이스 부재(31)에 일체적으로 설치되고 베어링(도시하지 않음)이 Y축 캐리지(35)에 일체적으로 설치된 리니어 가이드 베어링(도시하지 않음)을 개재하여, Y축 캐리지(35)는, 베이스 부재(31)에 지지되어 있다. 또한, Y축 캐리지(35)는, 서보 모터 등의 액츄에이터와 볼 나사 등에 의해, Y축 방향으로의 이동 위치가 결정 가능하게 되어 있다.
Y축 캐리지(35)의 선단부 측[고밀도 카세트(9) 측]에는, 복수의 노치(37)가 X축 방향으로 소정 간격을 두고 형성되어 있다. Y축 캐리지(35)의 선단부 측이며 노치(37)가 형성되어 있지 않은 부위(39) 각각에는, 기판(W)을 탑재하고 반송하기 위한 원기둥형이며 직경이 작은 롤러(41)가 회전 가능하게 설치되어 있다.
각 롤러(41)는, 이들의 회전 중심축이 Y축 방향으로 연장되도록 하여 동일한 높이로 설치되어 있고, 도시하지 않은 베어링으로 Y축 캐리지(35)에 지지되어 있고, 도시하지 않은 기어 등의 동력 전달 부재를 통하여, 모터 등의 액츄에이터(도시하지 않음)로 각각이 동기하여 회전하도록 되어 있다.
Y축 캐리지(35)의 부위(39) 각각에는, 롤러(41) 외에, 이들 롤러(41)로 반송되는 기판(W)의 중량을 지지하기 위한 버퍼 스테이션 측 에어 플로팅 수단(43)이 설치되어 있다.
버퍼 스테이션 측 에어 플로팅 수단(43)은, 예를 들면 통기성을 가진 세라믹스로 형성된 얇은 판형의 지지 부재(45)를 포함하고 있고, 압축 공기 공급 수단(도시하지 않음)에 의해 공급된 압축 공기가, 지지 부재(45)로부터 분출하여, 기판(W)과는 접촉되지 않은 상태로 기판(W)의 중량을 지지할 수 있도록 되어 있다.
지지 부재(45)는, 롤러(41)보다 더 선단측[고밀도 카세트(9) 측]에 설치되어 있다. 또한, 지지 부재(45)의 상면은 롤러(41)의 상단보다 약간 아래쪽에 위치하고 있고, 또한 지지 부재(45)의 하면의 높이와 롤러(41)의 하단의 높이는 실질적으로 일치하고 있다.
그리고, 통기성 세라믹스 대신, 통기성 소결 금속 등으로 지지 부재(45)를 구성해도 된다. 또한, 통기성을 가지지 않는 재질로 충전(充塡)되어 있는 금속 등의 부재를 사용하여, 이 금속 등의 부재에 복수의 구멍을 형성하고, 이들 구멍으로부터 압축 공기를 분출시켜서 기판(W)을 지지하도록 해도 된다.
또한, 전술한 에어 플로팅 수단(43) 대신, 초음파를 사용하여 기판(W)을 부상시키는 초음파 플로팅 수단을 채용해도 된다.
상기 초음파 플로트 수단은, 기판 지지 부재를 초음파 진동자로 진동시킴으로써, 기판(W)과 상기 기판 지지 부재 사이에 형성되는 얇은 공기 막에 의해, 기판(W)의 중량을 지지하도록 되어 있다.
예를 들어 보다 상세하게 설명하면, 상기 초음파 플로팅 수단은, 초음파 발생 소자(예를 들면, 피에조 소자)를 포함하고 있다.
상기 초음파 발생 소자의 위쪽에는, 이 초음파 발생 소자가 발생시키는 진동을 증폭하기 위한 혼(horn)이 설치되어 있다. 상기 기판 지지 부재가 연결 부재를 개재하여 상기 혼의 상부에 설치되어 있다.
그리고, 상기 초음파 발생 소자가 발생시킨 진동이 상기 기판 지지 부재까지 전달되고, 이 기판 지지 부재가 기판(W)의 두께 방향으로 주로 진동함으로써, 기판(W)과 상기 기판 지지 부재 사이에, 공기를 매체로 한 방사압[공기의 조밀파(粗密波)에 의한 방사압]이 발생하고, 이 방사압에 의해, 기판(W)과 상기 기판 지지 부재 사이에 얇은 공기 막이 생성되어, 상기 기판 지지 부재로 기판(W)의 중량을 지지할 수 있도록 되어 있다.
또한, 버퍼 스테이션(7)에는, 고밀도 카세트(9)를 탑재하고 이 탑재된 고밀도 카세트(9)를 Z축 방향으로의 이동 위치가 결정 가능한 카세트 이동 위치 결정 장치(33)가 설치되어 있다. 이 카세트 이동 위치 결정 장치(33)는, 고밀도 카세트(9)를 직접 탑재하고 있는 부위와 고밀도 카세트(9)를 직접 탑재하고 있지 않은 부위를 포함하여 구성되어 있고, 상기 직접 탑재하고 있는 부위가 리니어 가이드 베어링 등을 개재하여 상기 직접 탑재하고 있는 부위에 대하여 Z축 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다. 또한, 상기 직접 탑재하고 있는 부위는, 서보 모터 등의 액츄에이터와 볼 나사 등에 의해, Z축 방향으로의 이동 위치가 결정 가능하게 되어 있다.
전술한 바와 같이 구성된 버퍼 스테이션(7)에 있어서, 도시하지 않은 제어 장치의 제어 하에서, 각 액츄에이터 등을 적절하게 구동시키면, 도 3에 나타낸 바와 같이, 롤러(41) 및 지지 부재(45)가, 고밀도 카세트(9) 밖으로 돌출하거나, 또는 고밀도 카세트(9)가 Z축 방향으로의 이동 위치가 적절하게 결정되고, 도 6에 나타낸 바와 같이, 롤러(41) 및 지지 부재(45)가 고밀도 카세트(9) 내에 들어가서, 즉 고밀도 카세트(9)에 수납되어 있는 임의의 2개의 기판(W) 사이에 들어가서, 롤러(41)로 기판(W)을 탑재하고 지지 부재(45)로 기판(W)의 휨을 방지하기 위해 기판(W)의 중량을 지지하여, 기판(W)을 X축 방향으로 이동시키고, 고밀도 카세트(9)에 수납되어 있는 기판(W)을 반출하고, 또한 고밀도 카세트(9)에 기판(W)을 반입 가능하게 되어 있다.
그리고, 롤러(41) 및 지지 부재(45)가 고밀도 카세트(9) 내에 들어갈 때는, 고밀도 카세트(9)의 측 부재(25)가 롤러(41)와 지지 부재(45) 사이의 노치(37)에 깊숙히 삽입되도록 되어 있다. 또한, 고밀도 카세트(9)의 Y축 방향의 양측에 설치되어 있는 각 보조 유닛(29)은, 서로 동기하여 동작하도록 되어 있다. 또한, 전술한 바와 같이, 롤러(41)와 지지 부재(45)의 높이(Z축 방향의 치수)가 낮게 억제되 어 있으므로, 고밀도 카세트(9)가 상하 방향으로 좁은 간격(로봇 핸드가 들어가지 않을 정도의 좁은 간격)으로 각 기판(W)을 수납하고 있어도, 롤러(41) 및 지지 부재(45)는, 임의의 2개의 기판(W)의 사이에 들어갈 수 있도록 되어 있다.
다음에, 분류원 카세트(3), 분류처 카세트(5), 로더 장치(11), 분류원 카세트 측 보조부(17) 및 분류처 카세트 측 보조부(19)에 대하여, 예를 들어 상세하게 설명한다.
그리고, 분류원 스테이션(13)에는, 분류원 카세트(3)를 탑재하고 이 탑재된 분류원 카세트(3)를 Z축 방향으로의 이동 위치를 결정 가능한 카세트 이동 위치 결정 장치[카세트 이동 위치 결정 장치(33)와 실질적으로 동일하게 구성된 카세트 이동 위치 결정 장치](14)가 설치되어 있다. 또한, 분류처 스테이션(15)에도 동일한 카세트 이동 위치 결정 장치(16)가 설치되어 있다.
다음으로, 기판 분류 시스템(1)에 대하여 더 설명한다.
도 7은 기판 분류 시스템(1)의 개략적인 구성을 나타낸 평면도이며 도 1에 대응하는 도면이다.
도 8은 기판 분류 시스템(1)의 개략적인 구성을 나타낸 측면도이며, 도 7의 VIII에서 바라본 도면이며, 도 2에 대응하는 도면이다.
그리고, 보기 쉽게 하기 위하여, 도 8에서는, 일측(도 7의 아래쪽)의 측방 부재(61) 등의 표시를 생략하고 있다.
분류원 카세트(3)는, 전술한 바와 같이, 예를 들면 고밀도 카세트(9)와 실질적으로 동일하게 구성되며 외형도 실질적으로 동일하다. 분류처 카세트(5)는, 분 류원 카세트(3)와 동일하게 구성되어 있다.
도 1 및 도 7로부터 알 수 있는 바와 같이, 기판 분류 시스템(1)에서는, 로더 장치(11)의 X축 방향의 일측에 분류원 카세트(3)와 분류처 카세트(5)가 배치되고, 로더 장치(11)의 X축 방향의 타측에 고밀도 카세트(9)가 배치되어 있다.
분류원 카세트 측 보조부(17)는, 버퍼 스테이션 측 에어 플로팅 수단(43)과 동일하게 구성된 분류원 에어 플로팅 수단(47)에 의해 구성되어 있다. 분류원 에어 플로팅 수단(47)은, 예를 들면 X축 방향으로 간격을 두고 설치된 복수의 지지 부재(49)에 의해 구성되어 있다. 각 지지 부재(49)는, 각 지지 부재(49)의 상면으로부터 에어를 분출할 수 있도록 되어 있다.
그리고, 상기 제어 장치의 제어 하에서, 분류원 카세트(3)를 카세트 이동 위치 결정 장치(14)로 Z축 방향으로의 이동 위치를 적절하게 결정하고, 지지 부재(49)로부터 에어를 분출함으로써, 분류원 카세트(3)의 가장 아래에 수납되어 있는 기판(W)의 중량을 지지할 수 있도록 되어 있다.
분류처 카세트 측 보조부(19)도, 분류원 카세트 측 보조부(17)와 동일하게 구성되어 실질적으로 동일하게 동작하도록 되어 있다.
로더 장치(11)에는, 이 로더 장치(11)와, 분류원 카세트(3) 및 분류처 카세트(5) 사이에서 기판(W)의 반송을 행하기 위한 분류처 카세트·분류원 카세트 측 기판 반송 수단(51)이 설치되어 있다. 또한, 로더 장치(11)에는, 이 로더 장치(11)와 고밀도 카세트(9) 사이에서 기판(W)의 반송을 행하기 위한 고밀도 카세트 측 기판 반송 수단(53)이 설치되어 있다.
보다 상세하게 설명하면, 로더 장치(11)는 베이스 부재(57)를 하부에 구비하고 있다. 이 베이스 부재(57)는, 리니어 가이드 베어링(59)에 의해 지지되고, 서보 모터 등의 액츄에이터와 볼 나사 등에 의해, Y축 방향으로의 이동 위치를 결정 가능하게 되어 있다.
베이스 부재(57)의 상면[수평 방향으로 전개 및 연장되어 있는 평면형의 상면)에는, 측방 부재(61)가 일체적으로 세워져 설치되어 있다. 이 측방 부재(61)는, 베이스 부재(57)의 Y축 방향의 양 단부 측에 설치되어 있다.
분류처 카세트·분류원 카세트 측 기판 반송 수단(51)은, 각 측방 부재(61) 사이에 설치된 이송 탑재 핸드 지지 부재(63)를 구비하고 있다. 이송 탑재 핸드 지지 부재(63)의 상부에는, "L"자형 핸드 부재(67)가 설치되어 있다. 핸드 부재(67)는, 리니어 가이드 베어링(도시하지 않음) 등을 개재하여, 이송 탑재 핸드 지지 부재(63)에 이동 가능하게 지지되어 있다. 또한, 핸드 부재(67)는, 서보 모터 등의 액츄에이터와 볼 나사 등에 의해, X축 방향으로의 이동 위치가 결정 가능하게 되어 있다.
핸드 부재(67)의 상부에는, 기판(W)의 하면을 흡착하고 유지할 수 있는 유지 수단으로서, 예를 들면 흡반(71)이 일체적으로 설치되어 있다. 그리고, 흡반(71)으로 유지하는 대신, 기판(W)의 단부를, 예를 들면 협지하여 유지하도록 해도 된다.
또한, 이송 탑재 핸드 지지 부재(63)의 상부에는, 로더 에어 플로팅 수단(69)이 설치되어 있다. 이 로더 에어 플로팅 수단(69)은, 이송 탑재 핸드 지지 부재(63)에 일체적으로 설치된 복수의 지지 부재(70)에 의해 구성되어 있다. 각 지지 부재(70)의 상면은, 흡반(71)의 상면보다 약간 아래쪽에 위치하고 있다. 또한, 각 지지 부재(70)는, 각 지지 부재(49)의 상면으로부터 에어를 분출할 수 있도록 되어 있다.
그리고, 이송 탑재 핸드 지지 부재(63)를 높이 방향으로 적절하게 위치 결정하고, 핸드 부재(67)가, 이송 탑재 핸드 지지 부재(63)로부터 위로 돌출하여, 분류원 카세트(3) 또는 분류처 카세트(5) 측(도 8의 우측)으로 연장되면, 흡반(71)으로, 분류원 카세트(3)의 기판(W)의 단부의 하면을 유지할 수 있도록 되어 있다.
또한, 지지 부재(49)의 상면과 각 지지 부재(70)의 상면으로부터 에어를 분출하여 기판(W)의 중량을 지지하고, 핸드 부재(67)를 들어가게 하면(도 8의 좌측으로 이동하면), 분류원 카세트(3)로부터 이송 탑재 핸드 지지 부재(63)의 실질적으로 바로 위의 위치까지, 기판(W)을 인출(반출)할 수 있도록 되어 있다.
그리고, 분류처 카세트(5)에 기판(W)을 반입하는 경우에는, 전술한 분류원 카세트(3)로부터의 기판(W)의 반출과 반대의 동작을 행하면 된다.
고밀도 카세트 측 기판 반송 수단(53)은 컨베이어 베이스 부재(73)를 구비하고 있다. 컨베이어 베이스 부재(73)는, 각 측방 부재(61) 사이에서, 리니어 가이드 베어링(65)을 개재하여 각 측방 부재(61)에 지지되어 있다. 또한, 컨베이어 베이스 부재(73)는, 서보 모터 등의 액츄에이터와 볼 나사 등에 의해, Z축 방향으로의 이동 위치가 결정 가능하게 되어 있다.
컨베이어 베이스 부재(73)의 상면(수평 방향으로 전개 및 연장되어 있는 평 면형의 상면)에는, 복수의 롤러 지지 부재(75)가 일체적으로 설치되어 있다. 이들 각 롤러 지지 부재(75)는, 예를 들면 Y축 방향으로 간격을 두고 설치되어 있다. 또한, 각 롤러 지지 부재(75)의 상단부에는, 기판(W)을 탑재하기 위한 컨베이어를 구성하는 복수의 롤러(77)가 설치되어 있다.
각 롤러(77)의 회전 중심축이 Y축 방향으로 연장되어 있고, 각 롤러(77)는, 모터 등의 액츄에이터나 기어 등의 동력 전달 부재를 통하여 각각이 동기하여 회전하거나, 또는 클러치 등에 의해 모터와 분리되어 각각 자유롭게 회전할 수 있도록 되어 있다.
또한, 컨베이어 베이스 부재(73), 각 롤러 지지 부재(75) 및 각 롤러(77)는, 이송 탑재 핸드 지지 부재(63)로부터 이격되어 이송 탑재 핸드 지지 부재(63)의 아래쪽에 존재하고 있는 위치와, 흡반(71)의 상단보다 각 롤러(77)의 상단 쪽이 약간 높아지는 위치 사이에서 이동할 수 있도록 되어 있다. 그리고, 흡반(71)의 상단보다 각 롤러(77)의 상단이 위쪽으로 위치하고 있는 상태 등에서는, 각 롤러 지지 부재(75)와 각 롤러(77)는, 이송 탑재 핸드 지지 부재(63)에 형성되어 있는 관통 구멍을 통과하고 있다.
그리고, 흡반(71)의 상단보다 각 롤러(77)의 상단 쪽이 약간 높아지는 위치에서의 상기 각 롤러의 상단과 버퍼 스테이션 측 보조부(23)의 각 롤러(41)의 상단은, 동일한 높이로 되어 있다.
고밀도 카세트 측 기판 반송 수단(53)을 사용하여, 각 롤러(77)로부터 고밀도 카세트(9)에 기판(W)의 반입(반송)을 행하는 경우에는, 각 롤러(77)와 각 롤 러(41)를 적절하게 회전시키면 되며, 고밀도 카세트(9)로부터 각 롤러(77)에 기판(W)의 반송을 행하는 경우에는, 반대의 동작을 행하면 된다.
또한, 기판 분류 시스템(1)에는, 분류원 카세트(3)에 수납되어 있는 기판(W)의 ID를 입력하는 ID 입력 수단(도시하지 않음)과, 상기 ID 입력 수단에 의해 입력한 ID에 기초하여 상기 제어 장치(도시하지 않음)가, 분류처 카세트(5)에 분류된 기판(W)을 이동시키도록 되어 있다.
더 구체적으로는, 분류원 카세트(3)에 설치되어 있는 RFID(Radio Frequency IDentification) 태그(도시하지 않음)에 저장되어 있는 기판(W)의 정보[분류원 카세트(3)에 수납되어 있는 각 기판의 정보； 기판(W)의 종류, 기판(W)의 불량 여부 등에 관한 정보]를, 안테나(도시하지 않음)를 통하여 상기 제어 장치가 읽어서 입력하고, 이 입력된 각 기판(W)의 정보를 도시하지 않은 기억 수단에 기억시키도록 되어 있다.
그리고, 기판(W)의 정보는, 분류원 카세트(3)에 저장되어 있는 각 기판(W)의 가공을 행하는 전체 단계 등에 있어서, 상기 RFID 태그에 미리 기록(저장)되어 있다고 가정한다. 또한, 분류원 카세트(3)에는, 서로 다른 종류의 기판(W)이, 예를 들면 랜덤하게 수납되어 있는 것으로 가정한다.
또한, 분류원 카세트(3)에 수납되어 있는 기판(W)을 버퍼 스테이션(7)에 이동시킬 때, 고밀도 카세트(9)의 임의의 위치에 기판(W)을 수납(반입)하도록 되어 있다. 그리고, 분류원 카세트(3)에 수납되어 있는 기판(W)이 다 없어질 경우에는, 기판(W)을 수납하고 있는 다음 분류원 카세트(3)로 적절하게 교체하도록 한다.
그리고, 상기 기억 수단에 기억되어 있는 정보를 참조하면서, 버퍼 스테이션(7)에, 예를 들면 동일한 종류의 기판(W)이 소정 매수만큼 모이면, 이들 모인 소정 매수의 기판(W)을 분류처 카세트(5)로 이동시키게 되어 있다. 이 때, 버퍼 스테이션(7)의 임의의 위치로부터 기판(W)이 반출된다. 따라서, 상기 소정 매수만큼 모인 동일한 종류의 기판(W)만을 분류처 카세트(5)로 이동시켜서, 기판(W)의 분류를 행할 수 있다.
분류처 카세트(5)에 대한 상기 동일한 종류의 소정 매수의 기판(W)의 이동이 종료되면, 분류처 카세트(5)를 다음 카세트와 교체하고, 다음 동일한 종류의 기판(W)의 분류에 대비한다.
그리고, RFID 태그 대신, 또는 거기에 더하여, 분류원 카세트(3)에 부착된 바코드나 각 기판(W)에 부착된 바코드 등에 의해, 상기 제어 장치가 기판(W)의 정보를 얻도록 해도 된다. 또한, 제어 장치를 네트워크에 접속하고, 상기 네트워크를 통하여 기판(W)의 정보를 얻도록 해도 된다.
그리고, 기판 분류 시스템(1)의 분류처 스테이션(15)에는, 복수의 분류처 카세트(5)를 설치 가능하게 되어 있다. 그리고, 설치된 각 분류처 카세트(5) 중 1개의 분류처 카세트(5)에 대하여 분류된 기판(W)의 수납이 종료한 후, 각 분류처 카세트(5) 중 다른 1개의 분류처 카세트(5)에 대한 분류를 계속적으로 행할 수 있도록 구성되어 있다. 설치된 각 분류처 카세트(5) 중 다른 분류처 카세트(5)는 대기 카세트가 된다.
또한, 도 1에 나타낸 바와 같이, 기판 분류 시스템(1)에는, 분류처 카세 트(5)를 탑재 가능한 스토커(79)가 설치되어 있다. 분류처 스테이션(15)과 스토커(79) 사이에서, 크레인(도시하지 않음) 또는 분류처 카세트 이동 로봇 등을 사용함으로써, 분류처 카세트(5)를 적절하게 이동시킬 수 있도록 되어 있다.
다음으로, 기판 분류 시스템(1)의 동작에 대하여 설명한다.
도 9∼도 14는 기판 분류 시스템(1)의 동작에 대하여 설명하는 도면이다.
기판 분류 시스템(1)은, 상기 제어 장치의 제어 하에서 동작한다. 기판 분류 시스템(1)이 동작을 개시하기 전에는, 예를 들면 다양한 종류의 기판(W)이 수납되어 있는 분류원 카세트(3)가 분류원 스테이션(13)에 설치되어 있고, 기판(W)이 수납되어 있지 않은 빈(사용 가능한) 분류처 카세트(5)가, 분류처 스테이션(15)에 설치되어 있고, 고밀도 카세트(9)에는 기판(W)이 수납되어 있지 않고 비어 있는 것으로 가정한다.
또한, 도 9에 나타낸 바와 같이, 핸드 부재(67)가 고밀도 카세트(9) 측(도 9의 좌측)에 위치하고 있다. 분류원 카세트(3)는, 흡반(71)의 상단이 분류원 카세트(3)의 가장 아래쪽에 수납되어 있는 기판(W)의 하면보다 낮은 곳에 위치하는 높이[지지 부재(49)의 상면에서도, 분류원 카세트(3)의 가장 아래쪽에 수납되어 있는 기판(W)의 하면으로부터 이격된 낮은 곳에 위치하고 있는 높이]에 위치하고 있다. 그리고, 롤러(77)는, 이송 탑재 핸드 지지 부재(63)의 아래쪽에 위치하고 있다.
도 9에 나타낸 상태에 있어서, 핸드 부재(67)를 분류원 카세트(3) 측(도 9의 우측)으로 이동시키고, 분류원 카세트(3)의 가장 아래쪽에 수납되어 있는 기판(W)의 하면이 흡반(71)의 상단과 실질적으로 일치할 때까지[분류원 카세트(3)의 가장 아래쪽에 수납되어 있는 기판(W)의 하면이, 지지 부재(49)의 상면보다 아주 약간 위쪽에 위치할 때까지), 분류원 카세트(3)를 아래쪽으로 적절하게 이동시킨다.
이어서, 흡반(71)으로, 분류원 카세트(3)의 가장 아래쪽에 수납되어 있는 기판(W)의 하단부[로더 장치(11) 측의 하단부]를 유지하고, 지지 부재(49)의 상면으로부터 에어를 분출하여, 분류원 카세트(3)의 가장 아래쪽에 수납되어 있는 기판(W)을 아주 약간 상승시킨다(도 10 참조).
다음에, 지지 부재(70)의 상면으로부터 에어를 분출하면서, 핸드 부재(67)를 고밀도 카세트(9) 측(도 10의 좌측)으로 이동시키고, 기판(W)을 분류원 카세트(3)로부터 반출한다. 반출 후의 기판(W)은, 이송 탑재 핸드 지지 부재(63)의 실질적으로 바로 위에 위치한다(도 11 및 도 12 참조).
이어서, 각 롤러(77)를 상승시켜서, 각 롤러(77)의 상단의 높이를 기판(W)의 하면의 높이와 실질적으로 일치시키고[각 롤러(77)의 상단의 높이를 지지 부재(70)의 상면의 높이보다 아주 약간 위쪽으로 하고], 롤러(77)로 기판(W)의 양 사이드부의 하면을 지지하고, 흡반(71)에 의한 기판(W)의 유지를 해제한다(도 12 참조).
그리고, 도 12에서는, 도면을 알기 쉽게 하기 위해 핸드 부재(67) 등의 표시를 생략하고 있다.
도 12에 나타낸 상태에 있어서, 고밀도 카세트(9)를 적절한 높이에 위치 결정하고, 롤러(41) 및 지지 부재(45)를 고밀도 카세트(9)의 내부에 삽입하고, 롤러(77) 및 롤러(41)를 회전 구동하여, 기판(W)을 고밀도 카세트(9) 내에 반입한다(도 13 참조).
그 다음에, 고밀도 카세트(7)를 약간 상승시키고, 반입된 기판(W)을 고밀도 카세트(9)의 와이어(27)에 탑재한다. 그 후, 도 9에 나타낸 상태와 실질적으로 동일한 상태로 되돌아온다.
전술한 바와 같은 동작을 반복하여, 고밀도 카세트(9)에 동일한 종류의 기판(W)이 소정 매수만큼 모이면, 모여진 소정 매수의 기판(W)을 분류처 카세트(5)에 이동시킨다. 이 이동은, 전술한 바와 같은, 분류원 카세트(3)로부터 고밀도 카세트(9)에 기판을 이송 탑재하는 동작과 실질적으로 반대의 동작으로 행해진다. 고밀도 카세트(9)로부터 분류처 카세트(5)로 이동할 때, 버퍼 스테이션(7)의 임의의 위치로부터 기판(W)이 반출된다. 따라서, 소정 매수만큼 모여진 동일한 종류의 기판(W)만을 분류처 카세트(5)에 이동시킬 수 있고, 기판(W)의 분류를 행할 수 있다.
분류처 카세트(5)에 대한 상기 동일한 종류의 소정 매수의 기판(W)의 이동이 종료되면, 분류처 카세트(5)를 다음 카세트와 교환하고, 그 다음 동일한 종류의 기판(W)의 분류에 대비한다.
본 발명의 기판 분류 시스템(1)에 의하면, 버퍼 스테이션(7)에 특정한 종류가 소정 매수만큼 모이면, 이 소정 매수의 기판(W)만을 분류처 카세트(5)로 옮기면 되므로, 분류처 카세트(5)와 스토커(79) 사이에서의 분류처 카세트(5)의 교체가 불필요하게 되어, 양호한 효율로 기판(W)의 분류를 행할 수 있다. 또한, 버퍼 스테이션(7)에 많은 기판(W)을 고밀도로 수납시킬 수 있으므로, 버퍼 스테이션이 대형화되는 것을 회피할 수 있고, 기판 분류 시스템(1)을 소형화할 수 있다.
또한, 기판 분류 시스템(1)이 소형화됨으로써, 기판 분류 시스템(1)의 설치 면적을 작게 할 수 있다. 기판 분류 시스템(1)의 설치 면적을 작게 할 수 있으므로, 기판 분류 시스템(1)을 클린룸 내에서 사용할 때, 고가 설비인 클린룸 자체의 크기를 작게 할 수 있다.
또한, 기판 분류 시스템(1)에 의하면, 입력한 ID에 기초하여, 분류처 카세트(5)에 분류된 기판(W)을 이동시키도록 구성되어 있으므로, 기판 분류 시스템(1)의 자동화를 더욱 도모할 수 있으므로, 한층 양호한 효율로 정확하게 기판(W)의 분류를 행할 수 있다.
또한, 기판 분류 시스템(1)에 의하면, 각 분류처 카세트(5) 중 1개의 분류처 카세트(5)에 대한 분류된 기판(W)의 수납이 종료한 후, 각 분류처 카세트(5) 중 다른 1개의 분류처 카세트(5)에 대한 분류를 계속적으로 행할 수 있도록 구성되어 있으므로, 기판 반송처의 분류처 카세트(5)가 변경되는 경우에도, 로더 장치(11)의 동작을 중단시킬 필요가 없고, 양호한 효율로 기판(W)의 분류를 행할 수 있다.
[제2 실시예]
도 14는 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 분류 시스템(101)의 개략적인 구성을 나타낸 측면도이며, 도 2에 대응하는 도면이다.
제2 실시예에 따른 기판 분류 시스템(101)은, 분류원 카세트(3)와 로더 장치(11) 사이, 및 분류처 카세트(5)와 로더 장치(11) 사이에서의 기판(W)의 반송을, 롤러를 사용한 컨베이어로 행하고 있는 점이, 제1 실시예에 따른 기판 분류 시스템(1)과 상이하며, 그 외의 점은, 기판 분류 시스템(1)과 실질적으로 동일하게 구성되며 실질적으로 동일한 효과를 나타낸다.
즉, 기판 분류 시스템(101)에서는, 이송 탑재 핸드 지지 부재(63), 핸드 부재(67) 및 흡반(71) 등이 포함되어 있지 않으며, 각 보조부(17, 19)가, 액츄에이터에 의해 회전 구동하는 롤러(102)를 포함하여 구성되어 있다. 그리고, 각 롤러(102)의 상단의 높이와, 각 롤러(77)의 상단의 높이와, 각 롤러(41)의 상단의 높이는, 서로 일치하고 있다. 그리고, 각 롤러(77, 102)를 적절하게 구동함으로써, 분류원 카세트(3)와 로더 장치(11) 사이, 및 분류처 카세트(5)와 로더 장치(11) 사이에서의 기판(W)의 반송을 행하도록 되어 있다.
[제3 실시예]
도 15는 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 분류 시스템(110)의 개략적인 구성을 나타낸 평면도이며, 도 2에 대응하는 도면이다.
제3 실시예에 따른 기판 분류 시스템(110)은, 로더 장치(11)와 고밀도 카세트(9) 사이에서의 기판(W)의 반송을, 핸드 부재(67) 및 흡반(71)와 각각 동일하게 구성되고 이송 탑재 핸드 지지 부재(63)에 설치되어 있는 핸드 부재(67a) 및 흡반(71a)을 사용하여 행하고 있는 점이, 제1 실시예에 따른 기판 분류 시스템(1)과는 상이하며, 그 외의 점은, 기판 분류 시스템(1)과 실질적으로 동일하게 구성되며 실질적으로 동일한 효과를 나타낸다.
그리고, 버퍼 스테이션 측 보조부(23)에서는 롤러(41)를 포함하지 않는다.
[제4 실시예]
제4 실시예에 따른 기판 분류 시스템(도시하지 않음)은, 제1 실시예에 따른기판 분류 시스템(1)과는 반대로, 분류원 카세트(3)와 로더 장치(11) 사이, 및 분 류처 카세트(5)와 로더 장치(11) 사이에서의 기판(W)의 반송을, 액츄에이터에 의해 회전하는 롤러를 사용한 컨베이어로 행하고 있고, 고밀도 카세트(9)와 로더 장치(11) 사이에서의 기판(W)의 반송을 핸드 부재(67a) 및 흡반(71a)을 사용하여 행하고 있다.
[제5 실시예]
도 16은 본 발명의 제5 실시예에 따른 기판 분류 시스템(130)의 개략적인 구성을 나타낸 평면도이며, 도 1에 대응하는 도면이다.
도 17은 본 발명의 제5 실시예에 따른 기판 분류 시스템(130)의 개략적인 구성을 나타낸 측면도이며, 도 16의 XVII에서 바라본 것을 나타낸 도면이다.
제5 실시예에 따른 기판 분류 시스템(130)은, 분류원 카세트(3)와 로더 장치(11)의 본체부(17) 사이, 및 분류처 카세트(5)와 로더 장치(11)의 본체부(17) 사이에서의 기판(W)의 반송을, 기판 이송 탑재 핸드(132)를 사용하여 행하고 있는 점이, 제1 실시예에 따른 기판 분류 시스템(1)과 상이하며, 그 외의 점은, 기판 분류 시스템(1)과 실질적으로 동일하게 구성되며, 실질적으로 동일한 효과를 나타낸다.
즉, 기판 분류 시스템(130)에서는, 이송 탑재 핸드 지지 부재(63)와 실질적으로 동일하게 구성된 이송 탑재 핸드 지지 부재(63a)에 대하여, 액츄에이터에 의해 X축 방향으로의 이동 위치를 결정 가능한 빗 모양의 기판 이송 탑재 핸드(132)가 설치되어 있다. 그리고, 기판 이송 탑재 핸드(132)를 분류원 카세트(3) 및 분류처 카세트(5) 내에 삽입하고, 기판(W)을 탑재하여 반송할 수 있도록 되어 있다. 그리고, 이송 탑재 핸드 지지 부재(63a)의 고밀도 카세트(9) 측의 상면에는, 기 판(W)의 중량을 지지하기 위한 롤러(136)가 설치되어 있고, 롤러(77)로부터 롤러(41)에 기판을 반송할 때, 롤러(136)와 기판(W)을 지지하고, 기판(W)의 반송을 스무드하게 행할 수 있게 되어 있다.
또한, 기판 분류처 카세트 및 기판 분류원 카세트로서, 와이어 카세트가 아니라, Y축 방향의 양 단부로 기판(W)을 지지하는 통상적인 카세트가 채용되어 있다.
[제6 실시예]
제6 실시예에 따른 기판 분류 시스템(도시하지 않음)은, 로더 장치(11)의 본체부(17)와 고밀도 카세트(9) 사이에서의 기판(W)의 반송을, 핸드 부재(67) 및 흡반(71)과 동일하게 구성되고 이송 탑재 핸드 지지 부재(63)에 설치되어 있는 핸드 부재(67a) 및 흡반(71a)(도 15 참조)을 사용하여 행하고 있는 점이, 제5 실시예에 따른 기판 분류 시스템(130)과 상이하며, 그 외의 점은, 기판 분류 시스템(130)과 실질적으로 마찬가지로 구성되며 실질적으로 동일한 효과를 나타낸다.
그리고, 보조부(23)(도 3 참조)에서는, 제3 실시예에 따른 기판 분류 시스템(110)과 동일하게, 롤러(41)를 포함하지 않는다.
그리고, 전술한 각 실시예에서는, 분류원 카세트(3), 분류처 카세트(5) 및 고밀도 카세트(9)를 상하 방향으로 이동시켜서, 기판(W)의 반출입을 행하고 있지만, 분류원 카세트(3), 분류처 카세트(5) 및 고밀도 카세트(9)를 높이 방향으로 고정시켜 두고, 이송 탑재 핸드 지지 부재(63) 등을 상하 방향으로 이동시킴으로써, 기판(W)의 반출입을 행해도 된다.
또한, 본 발명은 전술한 발명의 실시예로 한정되지 않고, 적절한 변경을 행함으로써, 그 외의 태양으로 실시할 수도 있다.

Claims (4)

  1. 분류원 카세트에 수납되어 있는 복수의 기판을, 분류처 카세트에 분류하기 위한 기판 분류 시스템에 있어서,
    상기 기판을 임의의 위치에 수납할 수 있는 버퍼 스테이션； 및
    상기 분류원 카세트, 상기 분류처 카세트 및 상기 버퍼 스테이션 각각의 사이에서, 기판을 원판 크기로 반송 가능한 로더 장치
    를 포함하는 기판 분류 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 분류원 카세트에 수납되어 있는 기판의 ID를 입력하는 ID 입력 수단； 및
    상기 ID 입력 수단에 의해 입력된 ID에 기초하여 상기 분류처 카세트에 분류된 기판을 이동시키도록 상기 로더 장치를 제어하는 제어 수단
    을 포함하는 기판 분류 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 분류처 카세트는 복수개 설치되어 있는, 기판 분류 시스템.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 버퍼 스테이션은, 고밀도로 상기 기판을 수납할 수 있는, 기판 분류 시스템.
KR20097008932A 2006-10-03 2006-10-03 기판 반송 시스템 KR101183042B1 (ko)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2006/319792 WO2008041326A1 (fr) 2006-10-03 2006-10-03 système de transfert de substrats

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090077814A true KR20090077814A (ko) 2009-07-15
KR101183042B1 KR101183042B1 (ko) 2012-09-20

Family

ID=39268193

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR20097008932A KR101183042B1 (ko) 2006-10-03 2006-10-03 기판 반송 시스템

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP4992906B2 (ko)
KR (1) KR101183042B1 (ko)
CN (1) CN101511709B (ko)
TW (1) TW200817259A (ko)
WO (1) WO2008041326A1 (ko)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010067706A (ja) * 2008-09-09 2010-03-25 Shin Etsu Polymer Co Ltd 収納容器、ウェーハ移載システム及びウェーハ移載方法
JP5105189B2 (ja) * 2008-09-12 2012-12-19 株式会社ダイフク 基板搬送設備
JP5115501B2 (ja) * 2009-03-12 2013-01-09 株式会社Ｉｈｉ 基板仕分け装置及び基板仕分け方法
JP6033593B2 (ja) * 2012-07-18 2016-11-30 東レエンジニアリング株式会社 基板搬送装置
US9545724B2 (en) * 2013-03-14 2017-01-17 Brooks Automation, Inc. Tray engine with slide attached to an end effector base
JP6607744B2 (ja) * 2015-09-04 2019-11-20 リンテック株式会社 供給装置および供給方法
CN108144863B (zh) * 2016-12-02 2022-05-10 比雅斯股份公司 家具行业的面板生产线中精益生产的优化制造方法和系统
CN109382331B (zh) * 2017-08-11 2021-08-06 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种基于tray盘的物料分拣装置以及分拣方法
DE102018218141B4 (de) * 2018-05-04 2022-03-24 Hegla Gmbh & Co. Kg Sortierverfahren und -vorrichtung zum Sortieren von plattenförmigen Gegenständen, vorzugsweise Glastafelzuschnitten, Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Glastafelzuschnitten mit einer derartigen Sortiervorrichtung
CN108792620B (zh) * 2018-06-19 2020-06-30 信义环保特种玻璃（江门）有限公司 自动堆垛系统和方法
JP7191472B2 (ja) * 2019-01-25 2022-12-19 株式会社ディスコ 加工装置の使用方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62252148A (ja) * 1986-04-24 1987-11-02 Nec Corp ウエハの並べ換え装置
JP3185595B2 (ja) * 1995-04-03 2001-07-11 株式会社ダイフク 基板仕分け装置を備えた荷保管設備
KR100309919B1 (ko) * 1998-11-26 2002-10-25 삼성전자 주식회사 작업대상물의절단및분류자동화시스템과그제어방법
JP4334190B2 (ja) * 2002-08-09 2009-09-30 大日本印刷株式会社 バッファ装置およびカラーフィルター製造ライン
CN1807204A (zh) * 2005-01-20 2006-07-26 英业达股份有限公司 自动分类包装方法及系统

Also Published As

Publication number Publication date
JP4992906B2 (ja) 2012-08-08
CN101511709A (zh) 2009-08-19
CN101511709B (zh) 2013-03-20
WO2008041326A1 (fr) 2008-04-10
TW200817259A (en) 2008-04-16
JPWO2008041326A1 (ja) 2010-02-04
TWI325402B (ko) 2010-06-01
KR101183042B1 (ko) 2012-09-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101183042B1 (ko) 기판 반송 시스템
KR101226733B1 (ko) 기판 반송 장치
JP5124474B2 (ja) 保管システム
US20200030834A1 (en) Optimization Approach for Placement Heads Tasks Assignment of Beam-type Single-gantry Surface Mounters
US5484062A (en) Article stack handler/sorter
US20040158348A1 (en) Reticle storage system
CN101689582B (zh) 薄膜太阳电池制造系统以及共用基板保管架
JP2006206218A (ja) ガラス基板等の搬送システム
US8562784B2 (en) Automatic spacers mounting system for field emission display and method of automatically mounting spacers
JP4564084B2 (ja) 搬送システム
CN114700285A (zh) 芯片分选装置、设备及方法
JPH10144741A (ja) Ｉｃチップの性能分類方法および装置
CN101102070A (zh) 直线电动机及部件搭载装置
JP2887193B2 (ja) ワーク供給装置
JP4800611B2 (ja) 板材収納方法および装置
JP2005166948A (ja) 部品供給装置及び表面実装機
EP1100303A1 (en) Programmer systems
JP4616305B2 (ja) ヘッドの配置決定方法および部品実装方法
CN216784987U (zh) 镜头换盘设备
CN216888989U (zh) 镜头中转设备
CN108352350A (zh) 搬运系统
JP4615548B2 (ja) ヘッドの決定方法および部品実装方法
KR100542400B1 (ko) 기판 전달 장치
WO2023032121A1 (ja) ストレージシステム
WO2015008344A1 (ja) 部品廃棄箱および部品実装装置ならびに部品廃棄箱における仕切部材の取付位置決定方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
J201 Request for trial against refusal decision
AMND Amendment
B601 Maintenance of original decision after re-examination before a trial
S901 Examination by remand of revocation
GRNO Decision to grant (after opposition)
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150819

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160818

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170818

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180816

Year of fee payment: 7