KR20100069712A - 기판 반송 장치 - Google Patents

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히라따기꼬오 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명의 기판 반송 장치는, 제1 반송 방향에서 수평하게 반송하는 제1 반송 수단과, 상기 제1 반송 수단상의 상기 기판을 상기 제1 반송 방향과 직교되는 제2 반송 방향으로 수평하게 반송하는 제2 반송 수단을 포함한다. 상기 제1 반송 수단은 서로 상기 제1 반송 방향으로 이간된 복수열의 제1 반송 유닛으로 구성되고, 상기 제2 반송 수단은 서로 상기 제2 반송 방향으로 이간된 복수의 제2 반송 유닛으로 구성된다. 각각의 상기 제2 반송 유닛은 상기 제1 반송 유닛간의 공극에 배치되고, 상기 기판을 그 아래쪽에서 지지하는 지지 유닛과, 상기 지지 유닛의 아래쪽에 배치되어 상기 지지 유닛을 승강시키는 승강 유닛과, 상기 제1 반송 유닛보다도 아래쪽으로 배치되어 상기 지지 유닛 및 상기 승강 유닛을 상기 제2 반송 방향으로 이동시키는 구동 유닛을 포함한다.

Description

기판 반송 장치 {Substrate transport device}
본 발명은 기판을 반송하는 장치에 관한 것이다.
액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이로 대표되는 FPD(플랫 패널 디스플레이)의 제조 라인에서는 기판을 수용하는 카셋트와 처리 장치 사이, 또는 처리 장치간에 기판을 반송할 필요가 있다.
기판을 반송하는 장치로서 일본특개 2005-64432호 공보에는 카셋트에서 반출한 기판을 재치하는 재치대와, 재치대에서 반출한 기판을 처리 장치에 반송하는 기판 반송 장치를 포함한 장치가 개시되어 있다. 그러나 이 장치는 기판 반송 장치가 기판의 반송중에는 재치대에서 기판 반송 장치로 기판을 반출할 수 없어 기판의 반송 효율이 저하된다.
일본특개 2004-292094호 공보에는 롤러 콘베이어와 롤러 콘베이어상의 기판을 카셋트에 반입하고, 또 카셋트에서 롤러 콘베이어상에 기판을 반출하는 이송 장치를 포함한 장치가 개시되어 있다. 이 장치는 롤러 콘베이어가 기판을 반송하는 중에도 이송 장치에 의해 롤러 콘베이어상에 카셋트에서 기판을 반출할 수 있다. 그러나 이송 장치의 일부가 롤러 콘베이어 옆에 위치하기 때문에 이송 장치의 설치 공간을 확보하기 위해 장치 전체가 대형화된다.
일본특개 2004-284772호 공보의 도 11 및 도 12에는 반송 방향이 직교되는 2조의 롤러 콘베이어를 상하로 겹치도록 배치하고, 그 한쪽을 승강시키는 장치가 개시되어 있다. 이 장치도 한쪽 롤러 콘베이어가 기판을 반송하는 도중에도 해당 한쪽 롤러 콘베이어상에 카셋트에서 기판을 반출하고, 이것을 다른 쪽 롤러 콘베이어의 승강에 의해 해당 다른 쪽 롤러 콘베이어로 반송할 수 있다. 또 반송 방향이 직교되는 2조의 롤러 콘베이어를 상하로 겹치도록 배치함으로써 장치 전체의 소형화도 꾀할 수 있다. 그러나 롤러 콘베이어는 롤러의 구동 기구를 포함하고 있어 그 경량화가 용이하지 않다. 따라서 롤러 콘베이어의 승강에 시간이 걸려 기판의 반송 효율이 저하되는 경우가 있다.
본 발명의 목적은 장치 전체의 소형화를 꾀하면서 기판의 반송 효율을 향상시킬 수 있는 기판 반송 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명에 의하면, 기판을 그 아래쪽에서 지지하여 제1 반송 방향으로 수평하게 반송하는 제1 반송 수단과, 상기 제1 반송 수단상의 상기 기판을 그 아래쪽에서 지지하여 상기 제1 반송 방향과 직교되는 제2 반송 방향으로 수평하게 반송하는 제2 반송 수단을 포함하고, 상기 제1 반송 수단은 서로 상기 제1 반송 방향으로 이간된 복수열의 제1 반송 유닛으로 구성되고, 상기 제2 반송 수단은 서로 상기 제1 반송 방향으로 이간된 복수의 제2 반송 유닛으로 구성되고, 각각의 상기 제2 반송 유닛은 상기 제1 반송 유닛간의 공극에 배치되어 상기 기판을 그 아래쪽에서 지지하는 지지 유닛과, 상기 지지 유닛의 아래쪽에 배치되고 또한 상기 지지 유닛에 연결하여 설치되어 상기 제1 반송 유닛상의 상기 기판을 상기 지지 유닛이 상기 제1 반송 유닛으로부터 들어 올리는 상승 위치와, 상기 지지 유닛이 상기 제1 반송 유닛상의 상기 기판과 간섭하지 않는 강하 위치와의 사이에서 상기 지지 유닛을 승강시키는 승강 유닛과, 상기 제1 반송 유닛보다도 아래쪽에 배치되어 상기 지지 유닛 및 상기 승강 유닛을 상기 제2 반송 방향으로 이동시키는 구동 유닛을 포함한 기판 반송 장치가 제공된다.
본 발명에서는, 상기 구성에 의해 상기 제2 반송 수단이 상기 제1 반송 수단의 아래쪽에 배치됨으로써 장치 전체의 소형화를 꾀할 수 있다. 또 상기 승강 유닛에 의한 상기 지지 유닛의 승강에 의해 상기 기판을 승강시킨다. 상기 지지 유닛은 상기 기판을 아래쪽에서 지지하는 기능을 가지면 충분하고 상기 기판을 이동하기 위한 구동 기구는 불필요하기 때문에 그 경량화를 꾀할 수 있다. 따라서 상기 기판의 승강 고속화를 꾀할 수 있어 기판의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시형태에 관한 기판 반송 장치(A)의 레이아웃을 도시한 평면도이다.
도 2는 도 1의 선Ⅰ-Ⅰ에 따른 직교 반송 장치(1)의 구조 설명도이다.
도 3은 도 1의 선Ⅱ-Ⅱ에 따른 직교 반송 장치(1)의 구조 설명도이다.
도 4는 제2 반송 유닛(21)의 사시도이다.
도 5는 기판 지지 유닛(34)의 동작 설명도이다.
도 6은 수납 카셋트(70)의 사시도이다.
도 7은 수납 카셋트(70)에서 유리 기판(W)을 반출할 경우의 동작 설명도이다.
도 8은 기판 반송 장치(A)의 제어 장치(200)의 블록도이다.
도 9는 기판 반송 장치(A)의 동작 설명도이다.
도 10은 기판 반송 장치(A)의 동작 설명도이다.
도 11은 기판 반송 장치(A)의 동작 설명도이다.
도 12는 기판 반송 장치(A)의 동작 설명도이다.
도 13은 기판 반송 장치(A)의 동작 설명도이다.
도 14는 기판 반송 장치(A)의 동작 설명도이다.
도 15는 기판 반송 장치(A)의 동작 설명도이다.
도 16은 기판 반송 장치(A)의 동작 설명도이다.
<전체 구성>
도 1은 본 발명의 일실시형태에 관한 기판 반송 장치(A)의 레이아웃을 도시한 평면도, 도 2는 도 1의 선Ⅰ-Ⅰ에 따른 직교 반송 장치(1)의 구조 설명도, 도 3은 도 1의 선Ⅱ-Ⅱ에 따른 직교 반송 장치(1)의 구조 설명도이다. 각 도면에서 화살표X,Y는 서로 직교되는 수평 방향을 가리킨다. X,Y방향의 정역방향을 특별히 설명할 경우에는 화살표 방향을 +X,+Y라고 하고 반대 방향을 ―X,―Y라고 한다. 화살표 Z는 상하 방향(연직 방향)을 나타낸다. 상하를 구별하여 설명할 경우에는 윗방향을 +Z, 아래 방향을―Z라고 한다.
기판 반송 장치(A)는 직교 반송 장치(1)와 콘베이어 장치(2) 및 (3), 반송 장치(4), 복수의 콘베이어 장치(5) 및 복수의 승강 장치(80)를 포함한다. 기판 반송 장치(A)는 사각 박판형의 유리 기판(W)을 수납하는 수납 카셋트(70)에서 미도시된 처리 장치로 유리 기판(W)을 반송하고, 또 해당 처리 장치에서 수납 카셋트(70)로 유리 기판(W)을 반송한다. 처리 장치는 유리 기판(W)의 세정, 건조, 기타 처리를 한다.
<직교 반송 장치(1)>
직교 반송 장치(1)는 X방향으로 유리 기판(W)을 수평하게 반송하는 제1 반송 장치(10)와, 제1 반송 장치(10)위의 유리 기판(W)을 Y방향으로 수평하게 반송하는 제2 반송 장치(20)와, 제1 반송 장치(10) 및 제2 반송 장치(20)를 지지하는 선반(500)을 포함한다. 선반(500)은 선반 본체부(501)와, 선반 본체부(501)를 지지하는 다리부(502)로 구성된다.
<제1 반송 장치(10)>
제1 반송 장치(10)는 서로 X방향으로 이간된 복수열의 제1 반송 유닛(11)으로 구성된다. 본 실시형태의 경우, 제1 반송 유닛(11)은 4열 마련되어 있다.
제1 반송 유닛(11)은 또한 Y방향으로 배열된 복수의 롤러 콘베이어 유닛(60)으로 구성되어 있다. 도 1 내지 도 3에 도시한 것처럼 각 롤러 콘베이어 유닛(60)은 유리 기판(W)이 재치된 복수의 롤러(61)와, 롤러(61)의 구동 장치를 내장한 구동 박스(62)와, 유리 기판(W)의 도착을 검출하는 광센서 등의 센서(63)(도 3 참조)를 포함한다. 롤러(61)는 Y방향의 회전축 둘레로 회동 가능하게 설치된 종동(從動)롤러로서, 유리 기판(W)을 그 아래쪽에서 지지하여 +X 방향 및 -X 방향의 양 방향으로 반송하는 것이다. 각 롤러 콘베이어 유닛 (60)은 각각 독립적으로 구동 가능하고, 또 다리부(601)에 의해 상술한 선반(500)의 선반 본체부(501) 위에 직립 지지된다.
본 실시형태에서는 제1 반송 유닛(11)을 롤러 콘베이어 유닛(60)으로 구성하였으나, 유리 기판(W)을 그 아래쪽에서 지지하여 반송하는 다른 반송 유닛, 예를 들면 벨트 콘베이어 등이어도 좋다.
<제2 반송 장치(20)>
도 2에 도시한 것처럼 제2 반송 장치(20)는 동기적으로 제어되고 서로 X방향으로 이간된 복수의 제2 반송 유닛(21)으로 구성되어 선반 본체부(501)위에 설치된다. 본 실시형태의 경우 제2 반송 유닛(21)은 3개 마련되어 있다. 이하, 도 2 내지 도 4를 참조하여 각 제2 반송 유닛(21)의 구성을 상세히 설명하기로 한다. 도 4는 제2 반송 유닛(21)의 사시도이다. 제2 반송 유닛(21)은 지지 유닛(30)과 승강 유닛(40)과 구동 유닛(50)을 포함한다.
<지지 유닛(30)>
지지 유닛(30)은 Y방향으로 연장되고 그 Y방향의 길이는 유리 기판(W)의 Y방향의 폭보다도 약간 길다. 따라서 각 제2 반송 유닛(21)의 지지 유닛(30)에 의해 유리 기판(W)을 안정적으로 지지할 수 있다.
지지 유닛(30)은 Y방향으로 연장되는 지지 부재(31)를 포함한다. 본 실시형태의 경우, 지지 부재(31)는 속이 빈 각형 강관이다. 지지 부재(31)위에는 Y방향으로 이간되어 복수 설치되고 브라켓(33)을 사이에 두고 지지 부재(31)에 지지된 롤러(32)를 포함한다. 롤러(32)는 브라켓(33)에 회전 가능하게 장착되어 있으며 X방향의 축 둘레로 회전 가능하다. 제2 반송 유닛(21)에 의해 유리 기판(W)을 반송할 경우, 유리 기판(W)는 롤러(32)위에 재치되고 롤러(32)는 유리 기판(W)의 하면에 당접하여 유리 기판(W)을 그 아래쪽에서 지지한다. 본 실시형태에서는 지지 부재(31)에 브라켓(33)을 끼워 롤러(32)를 마련한 경우를 예로 들어 설명하였으나 이에 한정되지는 않는다. 예를 들면 지지 부재(31)에 끝단에 전동(轉動) 가능한 베어링을 가진 핀 부재를 마련해도 좋다.
지지 유닛(30)은 Y방향으로 이간되어 배치된 한쌍의 기판 지지 유닛(34)을 포함한다. 본 실시형태의 경우, 기판 지지 유닛(34)은 각 롤러(32)를 끼우도록 지지 부재(31)의 Y방향 양단부에 각각 배치되어 있다. 기판 지지 유닛(34)은 유리 기판(W)의 단(端) 테두리에 당접하는 당접 부재(35)와, 당접 부재(35)를 Y방향으로 왕복 이동시키는 이동 유닛(36)과 이동 유닛(36)을 덮는 커버 부재(37)를 포함한다.
이동 유닛(36)은 본 실시형태의 경우 에어 실린더로서 본체부(36a)와 가동부(36b)를 포함한다. 본체부(36a)에 대한 에어의 공급 및 전환에 의해 가동부(36b)는 Y방향으로 왕복 이동한다.
당접 부재(35)는, 본 실시형태의 경우 Z방향의 축 둘레로 회전 가능하게 가동부(36b)에 지지된 롤러로서, 그 주면에 유리 기판(W)의 단 테두리가 당접하도록 되어 있다. 커버 부재(37)는 이동 유닛(36)의 작동에 의한 발진(發塵)을 방지하는 것으로서, 당접 부재(35)의 연결축 및 가동부(36b)와의 간섭을 피하기 위해 그 상면에는 슬릿(371)이 마련되어 있다.
도 5는 기판 지지 유닛(34)의 동작 설명도이다. 도 5의 위쪽 태양은, 롤러(32)위에 유리 기판(W)이 재치되고 기판 지지 유닛(34)의 당접 부재(35)가 퇴피(退避) 위치에 있는 경우를 도시하고 있다. 이 태양으로부터 각 이동 유닛(36)의 작동에 의해 각 당접 부재(35)를 서로 근접한 방향으로 이동시켜 당접 위치에 위치시킴으로써 도 5의 아래쪽 태양에 도시한 것처럼 각 당접 부재(35)가 유리 기판(W)의 Y방향의 각 단(端) 테두리에 당접하여 유리 기판(W)이 지지된다. 또 기판 지지 유닛(34)에 의한 유리 기판(W)의 지지에 의해 유리 기판(W)의 Y방향 위치도 결정할 수 있다. 제2 반송 장치(20)에 의한 유리 기판(W)의 반송 도중에 기판 지지 유닛(34)에 의해 유리 기판(W)의 위치가 결정되고 지지된다. 나아가 복수열로 마련된 제2 반송 유닛(21)에서의 한쌍의 기판 지지 유닛(34)을 전열(全列) 동시에 구동(근접하는 방향으로 이동)시켜도 좋지만, 유리 기판(W)의 크기에 따라 구동시키는 열을 적절히 선택하도록 해도 좋다.
기판 지지 유닛(34)에 의한 유리 기판(W)의 지지시 유리 기판(W)이 Y방향으로 살짝 이동하는 경우가 있는데, 롤러(32)는 X방향의 축 둘레로 회전 가능하기 때문에 유리 기판(W)의 이동에 의해 유리 기판(W)과 롤러(32)가 마찰되는 것이 방지되어 유리 기판(W)의 손상을 방지할 수 있다.
다음으로, 도 2에 도시한 것처럼 지지 유닛(30)은 제1 반송 유닛(11) 사이의 공극에 배치되어 있다. 본 실시형태의 경우, 제1 반송 유닛(11)은 상술한 대로 4열 마련되어 있고 제1 반송 유닛(11) 간의 공극은 3군데 있다. 본 실시형태에서는 모든 공극에 지지 유닛(30)을 배치하였으며 따라서 제2 반송 유닛(21)은 3개 설치되어 있다. 그러나 모든 공극에 대응하는 수의 제2 반송 유닛(21)을 설치할 필요는 없으며, 예를 들면 본 실시형태의 경우 X방향의 양쪽 2군데의 공극에 대응하여 제2 반송 유닛(21)을 2개 설치해도 좋다.
<승강 유닛(40)>
승강 유닛(40)은 본 실시형태의 경우 에어 실린더로서, 도 4에 도시한 대로 본체부(42)와 가동부(41)를 포함한다. 본체부(42)에 대한 에어의 공급 및 전환에 의해 가동부(41)은 Z방향으로 왕복 이동한다. 승강 유닛(40)은 지지 유닛(30)의 아래쪽에 배치되고 가동부(41)가 지지 유닛(30)의 지지 부재(31)의 하면에 연결되어 있다.
도 2는 승강 유닛(40)에 의한 지지 유닛(30)의 승강 동작을 도시한다. 도 2의 위쪽 태양은 제1 반송 유닛(11)의 롤러(61)위에 재치된 유리 기판(W)과, 지지 유닛(30)이 간섭하지 않도록 지지 유닛(30)이 강하 위치에 있는 경우를 도시한다. 이 태양으로부터, 승강 유닛(40)의 작동에 의해 지지 유닛(30)을 상승시키면 제1 반송 유닛(11)의 롤러(61) 위에 재치된 유리 기판(W)이 지지 유닛(30)의 롤러(32)에 재치되고, 유리 기판(W)이 제1 반송 유닛(11)에서 들어올려진 상승 위치에 지지 유닛(30)이 위치하게 된다(도 2의 아래쪽 태양).
그 후, 전술한 기판 지지 유닛(34)에 의해 유리 기판(W)을 지지함으로써 제1 반송 유닛(11) 대신에 제2 반송 유닛(21)에 의해 유리 기판(W)을 반송할 수 있는 상태가 된다.
<구동 유닛(50)>
도 2 및 도 3에 도시한 것처럼, 구동 유닛(50)은 제1 반송 유닛(11)보다도 아래쪽에 배치되어 지지 유닛(30) 및 승강 유닛(40)을 Y방향으로 이동시킨다. 제1 반송 유닛(11)의 아래쪽 공간에 구동 유닛(50)을 배치함으로써 직교 반송 장치(1) 전체의 소형화를 꾀할 수 있다.
구동 유닛(50)은 지지판(51)과 슬라이딩 부재(52)와 레일 부재(53)를 포함한다. 지지판(51)에는 승강 유닛(40)이 탑재되고, 이로 인해 승강 유닛(40)과 지지 유닛(30)이 구동 유닛(50)에 탑재된다. 아울러 지지판(51) 위에는 승강 유닛(40)으로의 에어의 공급을 전환하는 제어 밸브를 탑재할 수도 있다. 이 구성에 의하면, 제어 밸브를 승강 유닛(40)에 근접하여 배치할 수 있기 때문에 승강 유닛(40)의 승강 동작을 보다 확실한 것으로 할 수 있다.
슬라이딩 부재(52)는 지지판(51)의 하면에 고정시켜 설치되어 있으며 Y방향으로 소정 간격으로 복수개 설치되어 있다. 각 슬라이딩 부재(52)는 레일 부재(53)위를 슬라이딩 이동 가능하게 설치되고, 지지판(51) 및 슬라이딩 부재(52)는 레일 부재(53) 위를 슬라이딩 이동하는 슬라이더를 구성하고 있다. 레일 부재(53)은 Y방향으로 연장 설치되고, 도 3에 도시한 것처럼 제1 반송 유닛(11)의 Y방향의 한쪽 단부에서 다른 쪽 단부까지 대략 모든 영역에 걸쳐 연장 설치되어 있다. 슬라이딩 부재 (리니어 가이드 블럭)(52)의 레일 부재(53)와 대향하는 면에는 베어링(또는 굴림대)이 내장된다. 이들 베어링은 리니어 가이드 블럭의 내부를 순환하면서 레일 부재(53)의 홈 안(접촉면)을 전동한다(또는 이들 굴림대는 리니어 가이드 블럭의 내부에서 레일 부재(53)의 접촉면과 접촉하면서 전동한다). 따라서 슬라이딩 부재(52)는 마찰 저항을 거의 받지 않고 레일 부재(53) 위를 슬라이딩 이동할 수 있다.
레일 부재(53)의 Y방향의 양단부에는 각각 단부 부재(53a)가 마련되어 있고, 각 단부 부재(53a)에는 베어링(54a)이 고정되어 있다. 베어링(54a)에 의해 X방향으로 연장되는 축(54)이 축지되어 있고, 레일 부재(53)의 Y방향의 양단부에 각각 하나씩 마련되어 있다. 본 실시형태의 경우, 축(54)은 모든 제2 반송 유닛(21)에 공통되며 각각의 단부에 설치되는 축(54)은 1개에 연결되어 있다.
각 축(54) 주위에서의 레일 부재(53) 근방에는 풀리(55)가 마련되어 있고 레일 부재(53)마다 한쌍의 풀리(55)가 배치된다. Y방향으로 이간된 이 한쌍의 풀리(55)에는 벨트(56)가 감겨져 있으며 벨트(56)의 양단부는 각각 지지판(51)의 앞뒤에 고정되어 있다(도 4 참조).
2개의 축(54)의 한쪽에는 구동원(58)이 마련되어 있다. 구동원(58)은 모터(58a)와 감속기(58b)를 포함하여 축(54)을 회전 구동한다. 그런데 구동원(58)의 구동에 의한 한쪽 축(54)의 회전에 의해 해당 한쪽 축(54)에 고정된 풀리(54)가 회전하여 벨트(56)가 주행된다. 그 결과, 지지판(51) 및 슬라이딩 부재(53)가 레일 부재(53)위를 슬라이딩 이동하여 지지 유닛(30) 및 승강 유닛(40)을 Y방향으로 이동시키고 또한 임의의 위치에 정지시킬 수 있다.
지지 유닛(30) 및 승강 유닛(40)의 중량은 레일 부재(53)에 의해 부담된다. 따라서 풀리(55)를 회전시켜 벨트(56)을 주행시키는 구동원(58)은 Y방향으로의 이동력을 발생할 수 있으면 충분하여 보다 적은 출력의 것으로도 충분하다.
구동원(58)의 구동에 의한 지지 유닛(30) 및 승강 유닛(40)의 Y방향의 이동 위치에 대해서는, 예를 들면 피드백 제어에 의해 제어할 수 있다. 이 경우 모터(58a)의 회전수를 검출하는 센서나 레일 부재(53)위의 슬라이딩 부재(52)의 위치를 검출하는 센서 등의 검출 결과에 따라 모터(58a)를 제어한다.
아울러 본 실시형태에서는 구동원(58)으로서 벨트 전동 기구를 채용했으나 다른 기구를 채용해도 좋다. 예를 들면 볼 나사 기구나 리니어 모터를 사용한 기구를 채용할 수 있다.
또 본 실시형태에서는 각 제2 반송 유닛(21)에 대해서 구동원(58)을 공통으로 하고 있다. 그러나 제2 반송 유닛(21)마다 구동원(58)을 마련하여 동기적으로 제어하도록 해도 좋다. 무엇보다도 구동원(58)을 공통으로 함으로써 비용 절감, 제어의 간편화, 구성의 간소화를 꾀할 수 있다.
구동 유닛(50)은 한쌍의 커버 부재(57)를 포함한다. 도 2에 도시한 것처럼 한쌍의 커버 부재(57)는 레일 부재(53)의 +X쪽, ―X쪽에 각각 배치된 C자형을 이루어 속이 빈 공간(S1),(S2)을 형성하였다. 공간S1안에는 풀리(55), 벨트(56)가 수납되고, 공간S2에는 미도시된 배선, 배관이 배치된다. 그리고 이들 커버 부재(57)에 의해 레일 부재(53), 지지판(51), 슬라이딩 부재(52), 풀리(55), 벨트(56)가 덮혀 구동 유닛(50)의 구동에 의한 발진을 방지한다. 커버 부재(57)에는 그 내부의 공간(S1),(S2)안의 공기를 흡인하여 외부에 배기하는 흡인 배기 수단(57a)(도 3)이 복수 마련되어 있다. 이로 인해 발진을 보다 확실하게 방지할 수 있다.
<콘베이어 장치(2) 및 (3)>
도 1을 참조하여 콘베이어 장치(2) 및 (3)은 본 실시형태의 경우 모두 복수의 롤러 콘베이어 유닛(60)으로 구성되어 있다. 콘베이어 장치(2)는 제1 반송 장치(10)의 +X방향의 옆에 배치되어 반송 장치(4)에서 직교 반송 장치(1)로 유리 기판(W)을 반송한다. 콘베이어 장치(3)은 제1 반송 장치(10)의 +X쪽에 배치되어 직교 반송 장치(1)에서 반송 장치(4)로 유리 기판(W)을 반송한다.
<반송 장치(4)>
반송 장치(4)는 콘베이어 장치(3)에서 반송되어 오는 유리 기판(W)을 미도시된 처리 장치에 반송하고, 처리 장치에서 반송되어 오는 유리 기판(W)을 콘베이어 장치(2)에 반송한다. 반송 장치(4)의 구성은, 예를 들면 직교 반송 장치(1)와 같은 구성이어도 좋고 Y방향으로 이동 가능한 다관절형 로보트 등이어도 좋다.
<수납 카셋트(70)>
도 6은 수납 카셋트(70)의 사시도이다. 수납 카셋트(70)는 콘베이어 장치(5)의 윗쪽에 설치되어 유리 기판(W)을 수평 자세로 Z방향으로 다단으로 수납 가능한 카셋트이다. 아울러 도 6은 유리 기판(W)이 미수납된 상태를 도시하고 있다. 본 실시형태의 경우 수납 카셋트(70)는 복수의 기둥 부재(71)와 대들보 부재(72)에 의해 대략 직사각형의 프레임체를 이루고 있다. 대들보 부재(72)의 설치 간격은 콘베이어 장치(5)가 수납 카셋트(70)의 아래쪽에서 수납 카셋트(70)안으로 진입할 수 있도록 설정되고, 대들보 부재(72)는 콘베이어 장치(5)가 아래쪽에서 진입 가능한 개구부를 형성하고 있다.
기둥 부재(71)는 X방향으로 복수로 설치됨과 동시에 Y방향으로 이간되어 동일한 수로 병설되어 있다. Y방향으로 이간된 한쌍의 기둥 부재(71)사이에는 와이어(73)가 Z방향으로 나열되고 또한 소정의 피치로 연장 설치되어 있다. 각 와이어(73)의 상하간의 공간은 유리 기판(W)을 수납하는 슬롯을 형성하고 유리 기판(W)은 수평 자세로 와이어(73)위에 1장씩 재치된다. 그리고 Z방향으로 나열된 와이어(73)의 수만큼 슬롯이 형성된다.
본 실시형태에서는 슬롯을 와이어에 의해 형성하였으나, 다른 방식도 물론 채용 가능하다. 단, 와이어의 사용에 의해 수납되는 기판간의 간격을 좁힐 수 있어 수납 카셋트(70)의 수납 효율을 높일 수 있다.
<콘베이어 장치(5)>
콘베이어 장치(5)는 본 실시형태의 경우 복수의 롤러 콘베이어 유닛(60)으로 구성되어 있다. 콘베이어 장치(5)는 수납 카셋트(70)마다 마련되고 수납 카셋트(70)의 아래쪽에 위치하고 있다. 또 콘베이어 장치(5)는, 도 1에 도시한 것처럼 제1 반송 장치(10)의 ―X방향 옆에 배치되어 직교 반송 장치(1)과의 사이에서 유리 기판(W)의 반송, 여기에서는 수납 카셋트(70)로의 유리 기판(W)의 반입 및 수납 카셋트(70)로부터의 유리 기판(W)의 반출을 수행한다.
<승강 장치>
한쌍의 승강 장치(80)에 의해 수납 카셋트(70)을 Z방향으로 승강시킴으로써 수납 카셋트(70)와 콘베이어 장치(5)를 Z방향으로 상대적으로 이동시킨다. 그 대신에 콘베이어 장치(5)를 Z방향으로 승강시키는 구성으로 해도 좋다. 아울러 콘베이어 장치(5)를 승강시키는 구성으로 한 경우에는 제1 반송 장치(10)도 승강시키는 구성이 된다.
본 실시형태의 경우, 각 승강 장치(80)는 수납 카셋트(70)를 끼우도록 수납 카셋트(70)의 서로 대향하는 Y방향의 양측부에 각각 설치되어 수납 카셋트(70)를 외팔보 지지한다. 이 구성에 의하면 승강 장치(80)를 더욱 박형화할 수 있다.
승강 장치(80)는 수납 카셋트(70)의 바닥부의 대들보 부재(72)가 재치된 빔 부재(81)를 포함한다. 각 승강 장치(80)의 각 빔 부재(81)가 동기적으로 Z방향으로 이동함으로써 수납 카셋트(70)가 승강된다. 승강 장치(80)는 구동 장치(미도시)를 포함하고 있으며, 해당 구동 장치에 의해 빔 부재(81)를 승강시킴으로써 수납 카셋트(70)를 승강시킨다. 각 승강 장치(80) 간에는 그 지주의 상단에 대들보 부재(80a)가 가설되어 있다.
도 7은 유리 기판(W)을 수납 카셋트(70)에서 반출하는 경우의, 승강 장치(80)에 의한 수납 카셋트(70)의 승강 동작을 도시한 도면이다. 아울러 동 도면에서 승강 장치(80)는 도시가 생략되어 있다. 수납 카셋트(70)에서 반출하는 경우에는 유리 기판(W)이 수납된 슬롯 중 최하부의 슬롯에 수납된 유리 기판(W)부터 차례대로 수행한다.
우선, 도 7의 왼쪽 위의 도에 도시한 것처럼 콘베이어 장치(5)의 윗쪽에 수납 카셋트(70)이 위치한 상태로부터, 승강 장치(80)(도 7에서 미도시)에 의해 수납 카셋트(70)를 강하시키고, 도 7의 오른쪽 위의 도에 도시한 것처럼 콘베이어 장치(5)위에 반송 대상의 유리 기판(W)을 재치한다. 이 때 콘베이어 장치(5)는 수납 카셋트(70)안에 아래쪽에서 진입되고, 반송 대상의 유리 기판(W)은 수납 카셋트(70)의 와이어(73)에서 뜬 상태가 되어 콘베이어 장치(5)만으로 지지된 상태가 된다. 계속해서 콘베이어 장치(5)를 구동하여 도 7의 왼쪽 아래의 도에 도시한 것처럼 반송 대상의 유리 기판(W)을 수납 카셋트(70)에서 반출한다. 이하, 마찬가지로 수납 카셋트(70)의 강하와 콘베이어 장치(5)의 구동을 반복하여(도 7의 오른쪽 아래의 도), 아래쪽에서 순서대로 유리 기판(W)을 반출하게 된다.
유리 기판(W)을 수납 카셋트(70)에 반입할 경우, 상술한 반출시의 동작과 대략 반대의 동작이 된다. 유리 기판(W)의 반입은 유리 기판(W)이 수납되지 않은 슬롯 중 가장 윗쪽의 슬롯부터 순서대로 수행한다.
<제어 장치>
도 8은 기판 반송 장치(A)의 제어 장치(200)의 구성을 도시한 블럭도이다. 제어 장치(제어 수단)(200)는 기판 반송 장치(A) 전체의 제어를 담당하는 CPU(201)와, CPU(201)의 워크 영역을 제공함과 동시에 가변 데이터 등이 기억되는 RAM(202)과 제어 프로그램, 제어 데이터 등의 고정 데이터가 기억되는 ROM(203)을 포함한다. RAM(202), ROM(203)은 다른 기억 수단을 채용할 수 있다.
입력 인터페이스(I/F)(204)는 CPU(201)와 각종 센서(예를 들면, 센서(63) 등)와의 인터페이스로서, 입력I/F(204)를 사이에 두고 CPU(201)은 각종 센서의 검출 결과를 취득한다. 출력 인터페이스(I/F)(205)는 CPU(201)와 각종 모터(예를 들면, 모터(58a), 구동 박스(62)안의 모터 등) 및 제어 밸브(기판 지지 유닛(34) 및 승강 유닛(40)용의 것 등)와의 인터페이스로서, 출력I/F(205)를 사이에 두고 CPU(201)는 각종 모터, 제어 밸브를 제어한다.
통신 인터페이스(I/F)(206)는 기판 반송 장치(A)를 포함한 기판 처리 설비 전체를 제어하는 호스트 컴퓨터(300)와 CPU(201)의 인터페이스로서, CPU(201)은 호스트 컴퓨터(300)로부터의 지령에 따라 기판 반송 장치(A)를 제어하게 된다.
<기판 반송 장치(A)에 의한 유리 기판의 반송예>
도 9 내지 도 16을 참조하여 기판 반송 장치(A)에 의한 유리 기판(W)의 반송예에 대해서 설명하기로 한다. 본 실시형태에서는 도 9에 도시한 것처럼 +Y쪽에 유리 기판(W)을 수납한 수납 카셋트(70)를 배치하고, ―Y쪽에 속이 빈 수납 카셋트(70)를 배치하여 +Y쪽에 위치한 수납 카셋트(70)에서 미처리된 유리 기판(W)을 처리 장치에 반송하고, ―Y쪽에 위치한 수납 카셋트(70)로 처리 장치에서 처리 완료된 유리 기판(W)을 반송할 경우에 대해서 설명하기로 한다. 우선, 도 10 내지 도 12를 참조하여 +Y쪽에 위치한 수납 카셋트(70)에서 미처리된 유리 기판(W)을 처리 장치로 반송하는 경우를 설명하기로 한다.
도 10에 도시한 것처럼, +Y쪽 수납 카셋트(70)에서 콘베이어 장치(5) 및 승강 장치(80)의 작동에 의해 유리 기판(W)을 1장 +X방향으로 반송한다. 동시에 직교 반송 장치(1)에서는 제1 반송 장치(10)의 제1 반송 유닛(10)의 작동에 의해 수납 카셋트(70)에서 반송되어 오는 유리 기판(W)을 +X쪽으로 반송하여 직교 반송 장치(1)의 X방향의 대략 중앙에 유리 기판(W)을 위치시킨다. 이 때 지지 유닛(30)은 강하 위치에 위치시키고 또한 반송되어 오는 유리 기판(W)의 바로 밑에 위치시킨다. 기판 지지 유닛(34)의 당접 부재(35)는 퇴피 위치에 위치시킨다.
지지 유닛(30)이 유리 기판(W)의 바로 밑에 위치하고 있는지 여부는 기본적으로는 사전에 정한 위치에 지지 유닛(30)이 위치했을 때, 유리 기판(W)의 바로 밑에 위치했다고 간주한다. 그러나 지지 유닛(30)에 유리 기판(W)을 검지하는 센서를 설치하여 유리 기판(W)을 검출하여 지지 유닛(30)의 위치를 제어하도록 해도 좋다.
다음으로 승강 유닛(40)에 의해 지지 유닛(30)을 상승 위치로 이동시키고, 이로써 유리 기판(W)을 제1 반송 장치(10) 대신에 지지 유닛(30)으로 지지한다. 계속해서 기판 지지 유닛(34)의 작동에 의해 당접 부재(35)를 당접 위치로 이동시켜 유리 기판(W)을 지지한다.
이어서 도 11에 도시한 것처럼 구동 유닛(50)의 작동에 의해 지지 유닛(30)을 ―Y방향으로 이동시켜 콘베이어 장치(3)의 ―X쪽 위치까지 유리 기판(W)을 이동시킨다. 유리 기판(W)의 이동에 의해 직교 반송 장치(1)의, +Y쪽 수납 카셋트(70)의 옆쪽 영역이 빈다. 따라서 +Y쪽 수납 카셋트(70)에서 2장째 유리 기판(W)의 반출을 개시한다.
다음으로 기판 지지 유닛(34)의 당접 부재(35)를 퇴피 위치에 위치시키고 지지 유닛(30)을 강하 위치로 이동시킨다. 이로써 1장째 유리 기판(W)은 다시 제1 반송 장치(10)위에 재치된다. 계속해서 도 12에 도시한 것처럼 1장째 유리 기판(W)을 제1 반송 장치(10) 및 콘베이어 장치(3)에 의해 +X방향으로 반송하고 1장째 유리 기판(W)을 반송 장치(4)에 보낸다. 반송 장치(4)는 1장째 유리 기판(W)을 처리 장치에 반송하게 된다.
동시에 구동 유닛(50)의 작동에 의해 지지 유닛(30)을 +Y방향으로 이동시켜 2장째 유리 기판(W)의 바로 밑에 위치시킨다. 이 때 2장째 유리 기판(W)을 제1 반송 장치(10)가 수납 카셋트(70)에서 반출하는 도중이라도 지지 유닛(30)을 반송되어 오는 유리 기판(W)의 바로 밑이 되는 위치(도 9의 위치)에 위치시켜 대기시킬 수 있기 때문에 반송 효율을 향상시킬 수 있다. 이후 같은 순서를 반복함으로써 +Y쪽에 위치한 수납 카셋트(70)에서 미처리된 유리 기판(W)을 처리 장치에 차례대로 연속적으로 반송할 수 있다. 직교 반송 장치(1)에서의 유리 기판(W)의 X방향 및 Y방향의 반송을 병행하여 수행할 수 있기 때문에 유리 기판(W)의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
다음으로, 도 13 내지 도 16을 참조하여 ―Y쪽에 위치한 수납 카셋트(70)에 처리 장치에서 처리 완료된 유리 기판(W)을 반송하는 경우를 설명하기로 한다.
도 13에 도시한 것처럼, 처리 완료된 유리 기판(W)이 반송 장치(4)에 의해 처리 장치에서 콘베이어 장치(2)로 반송되고, 콘베이어 장치(2)는 유리 기판(W)을 직교 반송 콘베이어(1)위로 반송한다. 동시에 직교 반송 장치(1)에서는 제1 반송 장치(10)의 제1 반송 유닛(10)의 작동에 의해 콘베이어 장치(2)에서 반송되어 오는 유리 기판(W)을 ―X쪽으로 반송하여 직교 반송 장치(1)의 X방향의 대략 중앙에 유리 기판(W)을 위치시킨다(도 14). 이 때, 지지 유닛(30)은 강하 위치에 위치시키고 또한 반송되어 오는 유리 기판(W)의 바로 밑에 위치시킨다. 기판 지지 유닛(34)의 당접 부재(35)는 퇴피 위치에 위치시킨다.
다음으로 승강 유닛(40)에 의해 지지 유닛(30)을 상승 위치로 이동시키고, 이로써 유리 기판(W)을 제1 반송 장치(10) 대신에 지지 유닛(30)으로 지지한다. 계속해서 기판 지지 유닛(34)의 작동에 의해 당접 부재(35)를 당접 위치로 이동시켜 유리 기판(W)을 지지한다.
다음으로, 도 15에 도시한 것처럼 구동 유닛(50)의 작동에 의해 지지 유닛(30)을 ―Y방향으로 이동시키고 ―Y쪽 수납 카셋트(70)의 +X쪽 위치까지 유리 기판(W)을 이동시킨다. 유리 기판(W)의 이동에 의해 직교 반송 장치(1)의, 콘베이어 장치(2) 옆의 영역이 빈다. 따라서 반송 장치(4) 및 콘베이어 장치(2)에 의한 2장째 유리 기판(W)의 반송을 개시한다.
다음으로, 기판 지지 유닛(34)의 당접 부재(35)를 퇴피 위치에 위치시켜 지지 유닛(30)을 강하 위치로 이동시킨다. 이로써 1장째 유리 기판(W)은 다시 제1 반송 장치(10)위에 재치된다. 계속해서 도 16에 도시한 것처럼 1장째 유리 기판(W)을 제1 반송 장치(10), 콘베이어 장치(5) 및 승강 장치(80)의 작동에 의해 ―Y쪽 수납 카셋트(70)에 반입한다.
동시에 구동 유닛(50)의 작동에 의해 지지 유닛(30)을 +Y방향으로 이동시켜 2장째 유리 기판(W)의 바로 밑에 위치시킨다. 이 때 2장째 유리 기판(W)을 콘베이어 장치(2)가 제1 반송 장치(10)위로 반출하는 도중이라도 지지 유닛(30)을 반송되어 오는 유리 기판(W)의 바로 밑이 되는 위치(도 13의 위치)에 위치시키고 대기시킬 수 있기 때문에 반송 효율을 향상시킬 수 있다. 이후 같은 순서를 반복함으로써 처리 장치에서 Y쪽에 위치한 수납 카셋트(70)에 처리 완료된 유리 기판(W)을 차례대로 연속적으로 반송할 수 있다. 직교 반송 장치(1)에서의 유리 기판(W)의 X방향 및 Y방향의 반송을 병행하여 수행할 수 있기 때문에 유리 기판(W)의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
이와 같이 본 실시형태에서는 직교 반송 장치(1)에서의 유리 기판(W)의 X방향 및 Y방향의 반송을 병행하여 수행할 수 있기 때문에 유리 기판(W)의 반송 효율을 향상시킬 수 있다. 특히 유리 기판(W)이 대형일수록 수납 카셋트(70)로의 반입 및 수납 카셋트(70)로부터의 반출시에 시간을 필요로 하기 때문에 본 실시형태와 같이 유리 기판(W)의 X방향 및 Y방향의 반송을 병행하여 수행함으로써 택트 타임의 단축을 꾀할 수 있다.
그리고 제2 반송 장치(20)가 제1 반송 장치(10)의 아래쪽에 배치됨으로써 장치 전체의 소형화를 꾀할 수 있다. 또 승강 유닛(40)에 의한 지지 유닛(30)의 승강에 의해 유리 기판(W)을 승강시킨다. 지지 유닛(30)은 그 자체가 유리 기판(W)을 반송하는 구동 기구를 가지고 있지 않으며 유리 기판(W)을 아래쪽에서 지지하는 기능을 가지면 충분하기 때문에 그 경량화를 꾀할 수 있다. 따라서 유리 기판(W)의 승강 고속화를 꾀할 수 있어 유리 기판(W)의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
아울러 지지 유닛(30)의 경량화를 꾀할 수 있기 때문에 이것을 Y방향에 의해 고속으로 이동시킬 수 있어 유리 기판(W)의 반송 효율을 더 향상시킬 수 있다. 또 지지 유닛(30)을 이동시키는 구성으로 함으로써 Y방향에서의 유리 기판(W)의 반송 거리는 구동 유닛(50)의 Y방향의 전체 길이에 의해 규정되고, 보다 장거리로 하거나 단거리로 할 수 있어 장치의 레이아웃 자유도를 높일 수 있다.
또 직교 반송 장치(1)의 +X쪽, ―X쪽에 각각 콘베이어 장치(2),(3) 및 (5)를 배치할 수 있고, 이들과 직교 반송 장치(1)간에 유리 기판(W)을 주고받을 수 있기 때문에 장치의 레이아웃 자유도를 높일 수 있다. 또 제2 반송 유닛(21)은 제1 반송 유닛(11)의 Y방향에서의 임의의 위치에서 정지시킬 수 있다. 나아가 제1 반송 유닛(11)을 독립적으로 구동 가능한 복수의 롤러 콘베이어 유닛(60)으로 구성하였다. 이로써 직교 반송 장치(1)의 X방향 옆쪽에 콘베이어 장치(5) 등을 배치, 접속할 때 Y방향에서의 접속 위치의 선택지가 늘어난다. 따라서 장치의 레이아웃 자유도를 더욱 높일 수 있다.
아울러 본 실시형태에서는 제1 반송 유닛(11)의 각 롤러 콘베이어 유닛(60)을 Y방향으로 대략 같은 피치로 설치하였으나, 이에 한정되지는 않는다. 롤러 콘베이어 유닛(60)은 직교 반송 장치(1)의 옆에 배치되는 콘베이어 장치(2),(3) 및 (5)의 옆에 적어도 위치하면 충분하다.

Claims (11)

  1. 기판을 그 아래쪽에서 지지하여 제1 반송 방향으로 수평하게 반송하는 제1 반송 수단,
    상기 제1 반송 수단상의 상기 기판을, 그 아래쪽에서 지지하여 상기 제1 반송 방향과 직교되는 제2 반송 방향으로 수평하게 반송하는 제2 반송 수단을 포함하고,
    상기 제1 반송 수단은,
    서로 상기 제1 반송 방향으로 이간된 복수열의 제1 반송 유닛으로 구성되고,
    상기 제2 반송 수단은,
    서로 상기 제1 반송 방향으로 이간된 복수의 제2 반송 유닛으로 구성되고,
    각각의 상기 제2 반송 유닛은,
    상기 제1 반송 유닛간의 공극에 배치되어 상기 기판을 그 아래쪽에서 지지하는 지지 유닛,
    상기 지지 유닛의 아래쪽에 배치되며 상기 지지 유닛에 연결되어 설치되고, 상기 제1 반송 유닛상의 상기 기판을 상기 지지 유닛이 상기 제1 반송 유닛에서 들어 올리는 상승 위치와, 상기 지지 유닛이 상기 제1 반송 유닛상의 상기 기판과 간섭하지 않는 강하 위치와의 사이에서 상기 지지 유닛을 승강시키는 승강 유닛,
    상기 제1 반송 유닛보다도 아래쪽에 배치되어 상기 지지 유닛 및 상기 승강 유닛을 상기 제2 반송 방향으로 이동시키는 구동 유닛,
    을 포함한 기판 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 반송 유닛이 독립적으로 구동 가능한 복수의 롤러 콘베이어 유닛을 포함한 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 지지 유닛에 마련되고 상기 제2 반송 방향으로 이간되어 배치된 한쌍의 기판 지지 유닛을 더 포함하고,
    상기 기판 지지 유닛은,
    상기 기판의 단(端) 테두리에 당접하는 당접 부재,
    상기 당접 부재를 상기 제2 반송 방향으로 왕복 이동하는 이동 유닛을 포함한 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 지지 유닛이,
    상기 제2 반송 방향으로 연장되는 지지 부재,
    상기 제2 반송 방향으로 이간되어 복수 설치되고 상기 기판의 하면에 당접하여 상기 제2 반송 방향과 직교되는 방향과 평행한 축 둘레로 회전 가능하게 브라켓을 사이에 두고 상기 지지 부재에 지지된 롤러,
    를 포함한 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 구동 유닛이,
    상기 제2 반송 방향으로 연장되는 레일 부재,
    상기 레일 부재를 따라서 슬라이딩 이동 가능하게 설치됨과 동시에 상기 승강 유닛이 탑재되는 슬라이더,
    를 포함한 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 구동 유닛이,
    상기 제2 반송 방향으로 이간된 한쌍의 풀리,
    상기 한쌍의 풀리에 감김과 동시에 상기 슬라이더에 연결된 벨트,
    상기 제1 반송 방향으로 연장되어 상기 한쌍의 풀리를 각각 회전 구동시키는 한쌍의 축,
    상기 한쌍의 축 중 한쪽 축을 회전 구동시키는 구동원을 포함하고,
    각각의 상기 구동 유닛에서의 상기 한쌍의 축 중 한쪽 축 및 다른 쪽 축이 각각 모두 연결되어 설치되고, 상기 한쪽 축에 하나의 상기 구동원이 연결되어 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 레일 부재와 상기 슬라이더와 상기 한쌍의 풀리와 상기 벨트를 덮는 커버 부재를 더 포함한 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 제1 반송 수단의 상기 제1 반송 방향의 옆쪽에 배치되고, 상기 기판을 그 아래쪽에서 지지하여 상기 제1 반송 방향으로 수평하게 반송함으로써 상기 제1 반송 수단과의 사이에서 상기 기판을 반송하는 제3 반송 수단을 더 포함한 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제3 반송 수단의 윗쪽에 배치되고 상기 제3 반송 수단이 진입 가능한 개구부를 가짐과 동시에 상기 기판을 수평 자세로 수납하는 슬롯을 상하 방향으로 복수 포함한 수납 카셋트와, 상기 제3 반송 수단을 상대적으로 승강시키는 승강 수단을 더 포함한 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 제1 반송 수단의 상기 제1 반송 방향의 한쪽 옆에 배치되고, 상기 기판을 그 아래쪽에서 지지하여 상기 제1 반송 방향으로 수평하게 반송함으로써 상기 제1 반송 수단과의 사이에서 상기 기판을 반송하는 제3 반송 수단,
    상기 제1 반송 수단의 상기 제1 반송 방향의 다른 쪽 옆에 배치되고 상기 기판을 그 아래쪽에서 지지하여 상기 제1 반송 방향으로 수평하게 반송함으로써 상기 제1 반송 수단과의 사이에 상기 기판을 반송하는 제4 반송 수단,
    을 더 포함한 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  11. 제1항에 있어서, 상기 지지 유닛의 상기 제2 반송 방향의 길이가 상기 기판의 폭보다도 긴 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009040555B4 (de) * 2009-09-08 2013-11-21 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Archivieren und /oder Zwischenlagern von Glasscheiben in Reinräumen
CN102280397A (zh) * 2010-06-10 2011-12-14 致茂电子(苏州)有限公司 一种晶圆输送分配装置及其方法
CN102807095B (zh) * 2011-05-31 2016-01-20 上海福耀客车玻璃有限公司 一种汽车玻璃包边流水线装置
CN105731044B (zh) * 2016-03-31 2018-08-17 苏州康博特液压升降机械有限公司 一种用于型材转送的接驳装置及接驳机
CN106185340A (zh) * 2016-08-29 2016-12-07 天能电池(芜湖)有限公司 蓄电池极板负压收片装置
JP6887616B2 (ja) * 2017-05-09 2021-06-16 日本電気硝子株式会社 ガラス板の搬送装置及びガラス板の製造方法
CN109279305A (zh) * 2018-08-27 2019-01-29 河北卓达建材研究院有限公司 一种用于墙板生产线模具输送的转弯机
US11673749B2 (en) * 2019-09-06 2023-06-13 Billco Manufacturing Incorporated Glass cutting line with automatic remnant storage and retrieval including cutting table with integrated squaring stop and Y-break breaking bar facilitating sub-plate cutting
CN112758387B (zh) * 2020-12-28 2021-10-29 广东鑫光智能系统有限公司 玻璃出库分拣装置及其方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4334190B2 (ja) * 2002-08-09 2009-09-30 大日本印刷株式会社 バッファ装置およびカラーフィルター製造ライン
JP2004155569A (ja) * 2002-11-08 2004-06-03 Daifuku Co Ltd 板状体の取り扱い設備
JP2004284772A (ja) * 2003-03-24 2004-10-14 Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp 基板搬送システム
KR100618918B1 (ko) * 2005-04-12 2006-09-01 주식회사 디엠에스 적층형 기판 이송장치
CN101253113B (zh) * 2005-09-02 2012-10-17 平田机工株式会社 工件搬入搬出系统及搬运装置

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