JP2000165070A - 板状基体の収納ユニットおよび収納装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 板状基体を取り出すためのロボット装置を不
要にすることができ、しかも、ガラス板を非接触で取り
出すことを可能にする板状基体の運搬装置を提供する。 【解決手段】 板状基体を収納する運搬可能な本体部１
０と、本体部１０の上面１０Ａに設けられると共に板状
基体を置くための窪み１１を具備し、この窪み１１の底
面１１Ｅに置かれた板状基体を通すための通過部分（搬
出口１１Ａ）を窪み１１に具備する保持部と、保持部の
底面１１Ｅに置かれている板状基体を底面１１Ｅから浮
上させるために、供給された気体を底面１１Ｅから噴出
する複数の浮上用噴出部１４と、浮上用噴出部１４によ
って浮上している板状基体を通過部分に向けて押し出す
排出部（噴出孔１６Ａ）とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、板状基体の収納
ユニットおよび収納装置に係わり、より詳細には、板状
基体としてガラス板などの保管や運搬をする板状基体の
収納ユニットおよび収納装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ガラス板には、例えば、ＴＦＴ型液晶デ
ィスプレイ用のものなど各種のものがある。このような
四角形状のガラス板は、通常、ガラスメーカで生産され
て、ユーザに運搬される。従来、ガラス板の運搬は次の
ようにして行われている。メーカ側は、ガラス板を送る
際に、合成樹脂製等のパッドをガラス板の間に置き、ガ
ラス板を積み重ねて、ガラス板の梱包をする。ガラス板
が積み重ねられた状態の梱包が、ユーザに向けて発送さ
れる。この場合、内部のガラス板の姿勢が板の厚みや強
度から選択されて、縦形、横形の何れかの輸送姿勢や梱
包形態が決められている。

【０００３】ガラス板のユーザ側は、受け取った梱包を
開いて、パッドを除いて取り出したガラス板を棚台に置
く。棚台は、ガラス板を運ぶための専用運搬具である。
この後、ガラス板の処理および加工をするプロセス装置
が設置されている作業場所まで、棚台が移動される。棚
台が作業場所まで移動されると、棚台からプロセス装置
の搬入部までガラス板が移動される。ガラス板の移動
は、ロボット装置のロボットハンドによって行われる。

【０００４】ロボットハンドは、棚台から順にガラス板
を吸着によって取り出し、ガラス板を回転し、搬入部の
搬送面に移動する。ロボットハンドは、ガラス板を移動
すると、このガラス板を搬送面に置く。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】画面の大型化に伴っ
て、フラット・パネル・ディスプレイ（ＦＰＤ）分野で
は、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）用やプラズマディスプ
レイ・パネル（ＰＤＰ）用として、次のような大型ガラ
ス板が使用されようとしている。つまり、薄膜トランジ
スタ用として、厚さ０．３〜１．１[ｍｍ]、平面寸法６
５０×８３０[ｍｍ]以上のガラス板が試作され、プラズ
マディスプレイ・パネル用として、厚さ〜８[ｍｍ]、平
面寸法１０００×１０００[ｍｍ]以上のものが試作され
ている。

【０００６】ロボットハンドでの支持または棚台の棚板
での両端支持によって、大型ガラス板が重力で大きく撓
む。この場合、薄板状の大型ガラス板では、１００〜２
５０[ｍｍ]の凹状の反りが発生し、厚板状の大型ガラス
板でも、２０〜３０[ｍｍ]の反りが生じる。

【０００７】したがって、大型ガラス板に発生する撓み
を考慮して、棚台の棚板間隔、つまり、上下に配置され
るガラス板の間隔を大きく設定する必要が発生する。ま
た、ロボットハンドが棚台からガラス板を取り出す場
合、ガラス板が平面でないため、ロボットハンドによる
吸着が不完全になり、ガラス板の脱落が発生しやすくな
る。

【０００８】棚台を使用しないで、輸送梱包の上面を直
接開き、ロボットハンドで垂直に引き出す方法がある。
しかし、引き出し時に、ガラス板の端部と梱包材の内壁
との擦れが、ガラス板に傷の発生する原因となる。ま
た、ガラス板が薄板状である場合、ガラス板に撓みが生
じて、ガラス板の引き出しが極めて困難になる。

【０００９】また、積み重ねられたガラス板を置いた場
所に隣接して、ロボット装置を設置する必要がある。こ
のために、従来の運搬方式には、棚台を置くためのスペ
ースとは別に、ロボット装置を設置するためのスペース
と、ロボット装置がガラス板を棚台からプロセス装置へ
回転移送するためのスペースとを必要とする。

【００１０】また、ロボット装置には、ロボットハンド
によってガラス板を吸着する機能と、ロボットハンドに
よってガラス板を１８０度に水平回転する機能とが必要
である。このために、従来の運搬方式では、使用される
ロボット装置の構造および制御が複雑になる。

【００１１】さらに、ガラス板の取り出しの際に、ロボ
ット装置のロボットハンドがガラス板に吸着するので、
ガラス板を非接触で取り出すことができない。

【００１２】この発明は、板状基体を取り出すためのロ
ボット装置を不要にすることができ、しかも、ガラス板
を非接触で取り出すことを可能にする板状基体の運搬装
置を提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】この発明の板状基体の運
搬装置は、板状基体を収納する運搬可能な本体部と、前
記本体部の上面に設けられると共に板状基体を置くため
の窪みを具備し、この窪みの底面に置かれた板状基体を
通すための通過部分を前記窪みに具備する保持部と、前
記保持部の底面に置かれている板状基体を前記底面から
浮上させるために、供給された気体を前記底面から噴出
する複数の浮上用噴出部と、前記浮上用噴出部によって
浮上している板状基体を、前記通過部分に向けて押し出
す排出部とを備えることを特徴とする。

【００１４】この構成によれば、板状基体が本体部の保
持部の底面に置かれる。この後、板状基体の運搬や保管
が行われる。運搬や保管が終了すると、本体部に気体が
供給される。供給された気体が保持部の底面の各浮上用
噴出部から噴出する。これによって、板状基体が底面か
ら浮上する。さらに、浮上している板状基体は、排出部
によって通過部分に向けて押し出され、収納ユニットの
外部に排出される。

【００１５】また、この発明は、板状基体を収納すると
共に、板状基体を処理するときに、収納している板状基
体を処理装置の搬入部に送り出す板状基体の収納装置に
おいて、請求項２または３に記載の収納ユニットが積み
重ねられている運搬具と、前記運搬具を置くことが可能
であり、置かれた前記運搬具を上下して、指定された前
記収納ユニットの位置を前記搬入部に合わせる昇降装置
と、前記昇降装置による位置合わせが終了すると、前記
搬入部に位置する前記収納ユニットに気体を供給する供
給装置とを備えることを特徴とする。

【００１６】この構成によれば、多数の板状基体が運搬
具で運搬され、また、保管される。板状基体の運搬や保
管が終了すると、運搬具が昇降装置に置かれる。昇降装
置は、置かれた運搬具を上下して、指定された収納ユニ
ットを搬入部に位置合わせする。昇降装置による位置合
わせが終了すると、供給装置は、搬入部に位置する収納
ユニットに気体を供給する。これによって、板状基体が
運搬具から搬入部に向かって排出される。

【００１７】

【発明の実施の形態】次に、発明の実施の形態について
説明する。

【００１８】［発明の実施の形態１］実施の形態１で
は、この発明による板状基体の収納ユニットについて述
べる。図１は、この発明の実施の形態１に係わる板状基
体の収納ユニットを示す斜視図である。図２は、図１の
平面図である。図３は、図１の背面図である。図４は、
図２のＩ−Ｉ断面を示す断面図である。図５は、図２の
ＩＩ−ＩＩ断面を示す断面図である。図６は、図２のＩ
ＩＩ−ＩＩＩ断面を示す断面図である。図７は、実施の
形態１によってガラス板を移動する様子を示す説明図で
ある。図８は、実施の形態１によってガラス板を移動す
る様子を示す説明図である。

【００１９】実施の形態１の板状基体の収納ユニット
は、図１に示すように、板状基体（例えば、ガラス板）
を収納する運搬可能な本体部１０と、本体部１０の上面
１０Ａに設けられると共に板状基体を置くための窪み１
１を具備し、この窪み１１の底面１１Ｅに置かれた板状
基体を通すための通過部分（搬出口１１Ａ）を窪み１１
に具備する保持部と、保持部の底面１１Ｅに置かれてい
る板状基体を底面１１Ｅから浮上させるために、供給さ
れた気体を底面１１Ｅから噴出する複数の浮上用噴出部
１４と、浮上用噴出部１４によって浮上している板状基
体を通過部分に向けて押し出す排出部（噴出孔１６Ａ）
とを備えることを特徴とする。

【００２０】実施の形態１による板状基体の収納ユニッ
ト（以下、単に収納ユニットと記す）について、以下で
は詳細に説明する。

【００２１】図１に示すように、収納ユニット１は四角
形状の本体部１０を備えている。本体部１０の上面１０
Ａには、窪み１１が設けられている。窪み１１は、輸送
されるガラス板を置くためのものである。窪み１１に置
かれるガラス板は、ＴＦＴ型液晶ディスプレイ用のもの
であり、四角形状をしている。窪み１１の１つの側壁が
取り除かれて、置かれたガラス板を取り出すための搬出
口１１Ａが通過部分として設けられている。窪み１１と
搬出口１１Ａとによって、保持部が形成される。窪み１
１の１つの側壁が取り除かれているので、窪み１１は、
３つの側壁１１Ｂ〜１１Ｄが平面状の底面１１Ｅを囲む
ような形状をしている。

【００２２】本体部１０の内部には、図２に示すよう
に、本体部分１２Ａと供給路１２Ｂとを備えた第１中空
部１２が設けられている。本体部分１２Ａは、窪み１１
の底面１１Ｅおよび側壁１１Ｂ，１１Ｄと向かい合うよ
うに形成された空洞である。供給路１２Ｂの形状がパイ
プ状であり、供給路１２Ｂの一端が本体部分１２Ａに接
続されている。供給路１２Ｂの他端がテーパー状に広げ
られて、本体部１０の側壁１０Ｂに接続されている。こ
れによって、本体部１０の側壁１０Ｂに開口が形成さ
れ、この開口が図３に示すように浮上用気体供給口１２
Ｃである。

【００２３】また、本体部１０には、本体部分１３Ａと
２つの排出路１３Ｂとを備えた第２中空部１３が設けら
れている。本体部分１３Ａは、窪み１１の側壁１１Ｃと
向かい合うように形成された空洞である。

【００２４】２つの排出路１３Ｂが側壁１１Ｂ，１１Ｄ
の長手方向と平行に配置されている。排出路１３Ｂは、
図４に示すように、本体部分１２Ａを仕切るように、本
体部分１２Ａ内に設けられている。排出路１３Ｂの一端
の延長方向にある本体部分１２Ａの側壁に対して非接触
の状態で、各排出路１３Ｂの一端が閉じられている。こ
の結果、排出路１３Ｂで仕切られた状態にある本体部分
１２Ａ内を、気体が自由に流れることが可能になる。排
出路１３Ｂの他端が本体部分１３Ａに接続されている。

【００２５】本体部１０の側壁１０Ｂには、本体部分１
３Ａに接続されている開口が設けられている。この開口
が排出用気体供給口１３Ｃ（図３参照）である。

【００２６】本体部１０には、多数の浮上用の噴出部１
４が設けられている。噴出部１４は、底面１１Ｅに置か
れたガラス板を浮上させるためのものである。噴出部１
４の形状がパイプ状であり、噴出部１４の一端が底面１
１Ｅに接続されている。これによって、底面１１Ｅには
噴出孔１４Ａが形成される。噴出部１４の他端が本体部
分１２Ａに接続されている。

【００２７】噴出部１４は、図５に示すように接続され
ている。つまり、パイプ状の噴出部１４の長手方向が底
面１１Ｅに対して直角になるように、噴出部１４は、底
面１１Ｅと本体部分１２Ａとの間に設けられている。こ
の結果、側壁１０Ｂに形成された浮上用気体供給口１２
Ｃに気体が供給されると、この気体は、本体部分１２Ａ
を流れて、各噴出部１４から噴出される。噴出部１４が
底面１１Ｅに対して直角に接続されているので、噴出部
１４からの気体は、底面１１Ｅに対して直角方向に噴出
孔１４Ａから噴出される。噴出される気体によってガラ
ス板に加えられる力は、浮上専用としてガラス板に作用
することになる。

【００２８】本体部１０には、多数の排出用の噴出部１
５〜１８（図４，５，６参照）が設けられている。噴出
部１５〜１８は、噴出部１４によって浮上したガラス板
を、収納ユニット１の搬出口１１Ａから方向Ａ（図２参
照）に排出するためのものである。

【００２９】噴出部１５，１７（図４参照）は、浮上し
たガラス板が側壁１１Ｂ，１１Ｄに衝突することを防
ぐ。噴出部１６（図５参照）は、浮上したガラス板が側
壁１１Ｃに衝突することを防ぐと共に、ガラス板を方向
Ａに排出する。

【００３０】噴出部１５，１７の形状がパイプ状であり
（図４参照）、噴出部１５，１７の一端が側壁１１Ｂ，
１１Ｄにそれぞれ接続されている。これによって、側壁
１１Ｂ，１１Ｄには、噴出孔１５Ａ，１７Ａが形成され
る。噴出部１５，１７の他端が、第１中空部１２の本体
部分１２Ａに接続されている。

【００３１】同じように、噴出部１６の形状がパイプ状
であり（図５，６参照）、噴出部１６の一端が側壁１１
Ｃに接続されている。これによって、側壁１１Ｃには、
噴出孔１６Ａが形成される。噴出部１６の他端が、第２
中空部１３の本体部分１３Ａに接続されている。

【００３２】パイプ状の噴出部１５〜１７の長手方向が
底面１１Ｅに対して平行になるように、噴出部１５，１
７は、側壁１１Ｂ，１１Ｄと本体部分１２Ａとの間に設
けられ、噴出部１６は、側壁１１Ｃと本体部分１３Ａと
の間に設けられている。

【００３３】噴出部１８は、浮上したガラス板を方向Ａ
に排出する。噴出部１８の形状がパイプ状であり（図６
参照）、噴出部１８の一端が底面１１Ｅに接続されてい
る。これによって、底面１１Ｅには、噴出孔１８Ａが形
成される。噴出部１８の他端が、第２中空部１３の排出
路１３Ｂに接続されている。パイプ状の噴出部１８の長
手方向が、底面１１Ｅに対して方向Ａに傾斜するよう
に、底面１１Ｅと排出路１３Ｂとの間に噴出部１８が接
続されている。

【００３４】側壁１０Ｂに形成された浮上用気体供給口
１２Ｃに気体が供給されると、気体は、本体部分１２Ａ
を流れて、先に述べたように噴出部１４から噴出すると
同時に、噴出部１５，１７から噴出する。噴出部１５，
１７が底面１１Ｅに対して平行に設けられているので、
噴出孔１５Ａ，１７Ａからの気体が底面１１Ｅに対して
平行に、かつ、底面１１Ｅの中心に向かって噴出する。

【００３５】側壁１０Ｂに形成された排出用気体供給口
１３Ｃに気体が供給されると、気体は、本体部分１３Ａ
を流れて、噴出部１６，１８から噴出する。噴出部１６
が底面１１Ｅに対して平行に設けられているので、噴出
孔１６Ａからの気体が底面１１Ｅに対して平行に、か
つ、搬出口１１Ａに向かって噴出される。また、噴出部
１８が底面１１Ｅに対して傾斜して設けられているの
で、噴出孔１８Ａからの気体が底面１１Ｅに対して傾斜
し、かつ、搬出口１１Ａに向かって噴出する。

【００３６】次に、この実施の形態の使用方法について
説明する。

【００３７】例えば、ＴＦＴ型液晶ディスプレイ用のガ
ラス板を移動して、プロセス装置に供給する場合、図７
（ａ）に示すように、作業者が収納ユニット１の底面１
１Ｅにガラス板１０１を置く。この後、ガラス板１０１
が置かれた収納ユニット１を、作業者がプロセス装置の
搬入口へ移動する。

【００３８】収納ユニット１の移動が終了すると、図７
（ｂ）に示すように、作業者は、気体を供給する供給管
のテーパー状の先端１１１を収納ユニット１の浮上用気
体供給口１２Ｃに差し込み、収納ユニット１に気体を供
給する。このとき使用する気体は、清浄なドライエア
ー、高純度窒素、他の不活性ガス等多種から選択でき
る。気体の供給によって、収納ユニット１の噴出孔１４
Ａ，１５Ａ，１７Ａから気体が噴出する。

【００３９】噴出孔１４Ａから噴出される気体によっ
て、ガラス板１０１が底面１１Ｅから浮上する。また、
噴出孔１５Ａ，１７Ａから噴出される気体によって、図
８に示すように、ガラス板１０１の中心１０１Ａが底面
１１Ｅの中心１１Ｆと一致するように、ガラス板１０１
の位置が保たれる。なお、図８では、各噴出孔１４Ａ，
１５Ａ，１７Ａから噴出される気体を矢印で示してい
る。各噴出孔１４Ａ，１５Ａ，１７Ａからの気体によっ
て、ガラス板１０１は、底面１１Ｅから浮上して、側壁
１１Ｂ，１１Ｄや底面１１Ｅに対して非接触状態にな
る。

【００４０】ガラス板１０１が浮上した後、図７（ｃ）
に示すように、作業者は、気体を供給する供給管のテー
パー状の先端１１２を収納ユニット１の排出用気体供給
口１３Ｃに直ちに差し込み、収納ユニット１に気体を供
給する。気体の供給によって、収納ユニット１の噴出孔
１６Ａ，１８Ａから気体が噴出する。気体の噴出によっ
て、浮上状態にあるガラス板１０１が搬出口１１Ａに向
かって、つまり、方向Ａに移動する。この結果、ガラス
板１０１が収納ユニット１からプロセス装置に向かって
排出される。

【００４１】こうして、実施の形態１によれば、ガラス
板の非接触状態を保ちながら、このガラス板を目的の装
置等に排出することができる。この結果、ガラス板が収
納ユニット１の側面１１Ｂ〜１１Ｄや底面１１Ｅと擦れ
ることがないので、傷等がガラス板に発生することを防
ぐことができる。

【００４２】また、窪み１１の側壁１１Ｃに設けた噴出
孔１６Ａからの気体と、底面１１Ｅに設けた噴出孔１８
Ａからの気体とによって、排出用の力をガラス板１０１
に加える。したがって、ガラス板１０１が重くなって
も、ガラス板１０１を収納ユニット１から排出すること
ができる。

【００４３】［発明の実施の形態２］実施の形態２で
は、この発明による収納ユニットについて述べる。図９
は、この発明の実施の形態２に係わる板状基体の収納ユ
ニットを示す平面図である。なお、図９では、先に説明
した図１〜６の収納ユニットと同一または同一と見なさ
れる構成要素には、それと同じ符号が付けられている。

【００４４】図９に示すように、実施の形態２の収納ユ
ニット２は、実施の形態１の収納ユニット１から２つの
排出路１３Ｂを省略したものである。そして、底面１１
Ｅには、すべて本体部分１２Ａに接続された噴出部１４
だけが設けられている。

【００４５】この結果、実施の形態２による収納ユニッ
ト２は、比較的重量の軽いガラス板を保持および搬送す
る場合に最適である。また、実施の形態２によれば、例
えば、ドリル歯によって噴出孔１４Ａを底面１１Ｅに形
成する場合、収納ユニット２の本体部１０に対して直角
方向からの加工だけでよいので、本体部１０に対する加
工を簡単にすることが可能である。

【００４６】［発明の実施の形態３］実施の形態３で
は、この発明による収納ユニットについて述べる。図１
０は、この発明の実施の形態３に係わる板状基体の収納
ユニットを示す断面図である。図１０に示すように、実
施の形態３の収納ユニット３では、実施の形態１，２で
用いられている本体部１０の代わりに、本体部３０が用
いられている。つまり、浮上用および排出用の噴出孔３
１を囲む周囲面３２に比べて、他の面が低くなってい
る。

【００４７】この収納ユニット３によれば、ガラス板１
０１を置いたときに、ガラス板１０１の下面１０１Ｂ
と、本体部３０の窪みの底面との接触面積を小さくする
ことができる。

【００４８】［発明の実施の形態４］実施の形態４で
は、この発明による収納ユニットについて述べる。図１
１は、この発明の実施の形態４に係わる板状基体の収納
ユニットを示す斜視図である。図１２は、図１１の側面
図である。図１３は、実施の形態４の使用状態を説明す
るための説明図である。

【００４９】保持部の周辺に位置すると共に本体部４０
の上面４０Ａに設けられた突出部分または窪み部分（例
えば、結合ピン４１）で形成される第１嵌合部と、本体
部の下面に設けられ、第１嵌合部と同位置にかつ第１嵌
合部に嵌合する第２嵌合部とを備えることを特徴とす
る。

【００５０】実施の形態４による板状基体の収納ユニッ
トについて、以下では詳細に説明する。

【００５１】図１１，１２に示すように、実施の形態４
の収納ユニット４では、実施の形態１〜３で用いられて
いる本体部１０，３０の代わりに、本体部４０が用いら
れている。なお、図１１，１２では、浮上用および排出
用噴出孔の図示を省略している。

【００５２】本体部４０の上面４０Ａの四隅に４つの結
合ピン４１が互いに離れて設けられている。各結合ピン
４１は、円筒形をして、上面４０Ａから突き出ている。
本体部４０の下面４０Ｃには、結合ピン４１の取り付け
位置に対応する部分に凹部４２がそれぞれ設けられてい
る。凹部４２は、結合ピン４１に嵌合する形状をしてい
る。つまり、凹部４２は、円筒形をした窪みである。

【００５３】このような収納ユニット４によれば、図１
３に示すように、作業者は、各本体部４０の窪みにガラ
ス板１０１を置いた後、収納ユニット４を重ねる。この
とき、作業者が上段の収納ユニット４の凹部４２に下段
の収納ユニット４の結合ピン４１を挿入して、収納ユニ
ット４を積み重ねていく。

【００５４】積み重ねられた収納ユニット４の運送に際
して、トラック運送等で振動が発生しても、結合ピン４
１と凹部４２との嵌合によって、収納ユニット４が滑り
動くことを防ぐことができる。つまり、実施の形態４に
よって、収納ユニット４をまとめて運ぶことを可能にす
る。かつ、結合ピン４１が上面４０Ａの四隅に設けられ
ているので、収納ユニット４が運送される場合、各収納
ユニット４のずれを防いで、積み重ねられた収納ユニッ
ト４を堅固にすることができる。

【００５５】なお、最上段の収納ユニット４に対して、
必要に応じて蓋４３を被せてもよい。蓋４３は、収納ユ
ニット４と同じ形状の四角形である。蓋４３の下面に
は、収納ユニット４の凹部４２と同じ凹部４３Ａが設け
られている。蓋４３によって、収納ユニット４の上側か
ら落ちてくる塵等がガラス板１０１に付着することを防
ぐことができる。

【００５６】実施の形態４の変形例として、４つの結合
ピン４１の中の少なくとも１つ、また、多くとも３つの
代わりに、図１４（ａ）に示す半円柱状の結合ピンや、
図１４（ｂ）に示す円錐状の結合ピン、図１４（ｃ）に
示す４角柱状の変形結合ピンを用いる。円柱形状の結合
ピン４１と異なる変形結合ピンには、各種の形状のもの
がある。また、本体部４０の下面４０Ｃには、図示を省
略しているが、変形結合ピンと嵌合する凹部を設ける。

【００５７】このような、変形結合ピンとこのピンに嵌
合する凹部とを用いることにより、収納ユニットの重ね
合わせが一種類だけになるので、搬出口の向きをそろえ
ることができる。

【００５８】［発明の実施の形態５］実施の形態５で
は、この発明による板状基体の収納装置について述べ
る。図１５は、この発明の実施の形態５に係わる板状基
体の収納装置の構成を示す構成図である。図１６は、実
施の形態５の供給装置の概略的な構成を示す構成図であ
る。図１７は、実施の形態５の結合部を説明するための
説明図である。

【００５９】実施の形態１〜４の収納ユニットが積み重
ねられている運搬具５１と、運搬具５１を置くことが可
能であり、置かれた運搬具５１を上下して、指定された
収納ユニット５１Ａの高さ位置を搬入部２００に合わせ
る昇降装置５２と、昇降装置５２による位置合わせが終
了すると、搬入部２００に位置する収納ユニット５１Ａ
に気体を供給する供給装置５３とを備えることを特徴と
する。

【００６０】実施の形態５による板状基体の収納装置に
ついて、以下では詳細に説明する。

【００６１】図１５に示すように、実施の形態５の板状
基体の収納装置５（以下、単に収納装置５と記す）は、
運搬具５１、昇降装置５２および供給装置５３を備えて
いる。

【００６２】昇降装置５２と供給装置５３とは、台５Ａ
上に設置されている。さらに、台５Ａがガラス板の作業
場所に設置されている。作業場所には、ガラス板の処理
および加工をするプロセス装置が接近されて設置されて
いる。プロセス装置は、ガラス板を受け入れる搬入部２
００を備えている。そして、搬入部２００は、ガラス板
を搬送面２０１に沿って方向Ｂに移動する。このとき、
ガラス板の移動が、気体の噴出でガラス板を浮上して運
ぶ浮上搬送や、コンベア等の機械的手段で運ぶ機械搬送
によって行われる。

【００６３】運搬具５１は、収納ユニット５１Ａを積み
重ねたものである。収納ユニット５１Ａは、実施の形態
１〜４の収納ユニット１〜４の中の１つである。運搬具
５１の各収納ユニット５１Ａ内には、ガラス板が置かれ
ている。これらのガラス板は、ガラスメーカ側で各収納
ユニット５１Ａに積み込まれたものである。そして、運
搬具５１がトラック等の運送手段によってユーザ側のプ
ロセス装置に運ばれて来る。また、場合によって、運搬
具５１は、メーカ側やユーザ側で保管された後、プロセ
ス装置に運ばれることもある。

【００６４】このように、運搬具５１は、ガラス板の保
管や運送に用いられる。そして、保管や運送の後で、運
搬具５１が昇降装置５２に置かれる。

【００６５】昇降装置５２は、割出し上下機構である。
割出し上下機構は、あらかじめプロセス装置の搬入部２
００の手前に設置されている。昇降装置５２は、テーブ
ル５２Ａと本体５２Ｂとを備えている。テーブル５２Ａ
上には、運搬具５１を置くことができる。本体５２Ｂ
は、図示を省略しているアクチュエータおよび位置検出
器を内部に備えている。

【００６６】アクチュエータは、空気圧でシャフト５２
Ｃを上下方向に、つまり方向Ｃおよびその逆方向に動か
す。このような空気圧による駆動装置の他に、機械的な
駆動装置がある。その一例として、ボールねじを用いた
駆動装置がある。ボールねじは、ナットと棒状のねじと
の間に多数のボールが挿入された構造であり、精密な送
りを可能にする。

【００６７】本体５２Ｂは、アクチュエータによる１回
の移動によって、シャフト５２Ｃの先端に取り付けられ
ているテーブル５２Ａを所定のピッチつまり収納ユニッ
ト５１Ａの厚みだけ移動する。このとき、位置検出器が
テーブル５２Ａの位置を検出し、本体５２Ｂは、検出さ
れたテーブル位置に基づいて、アクチュエータを駆動す
る。この駆動によって、本体５２Ｂは、あらかじめ設定
されたサイクル時間毎に、テーブル５２Ａを初期位置か
ら順に方向Ｃに降ろす。初期位置は、運搬具５１の一番
下側の収納ユニット５１Ａの搬出口と、搬入部２００の
搬送面２０１とが一致するように設定されている。もち
ろん、初期位置として任意の段の収納ユニット５１Ａを
選択することも可能である。

【００６８】テーブル５２Ａの移動が終了した後、運搬
具５１がテーブル５２Ａに置かれると、テーブル５２Ａ
は、信号線５２Ｄを経由して、終了を示す終了信号を供
給装置５３に、自動的に出力する。また、一番上側の収
納ユニット５１Ａを搬入部２００に移動する作業が終了
すると、本体５２Ｂは、次のサイクル時間でテーブル５
２Ａを初期位置に戻し、先の一連の動作を繰り返す。

【００６９】供給装置５３は、図１６に示すように、制
御部５３Ａ、供給部５３Ｂ、電磁弁５３Ｃおよび結合部
５３Ｄを備えている。

【００７０】制御部５３Ａは、信号線５２Ｄから終了信
号を受け取ると、第１駆動信号を結合部５３Ｄに送る。
第１駆動信号を出力した後、所定時間が経過すると、制
御部５３Ａは、第２駆動信号を供給部５３Ｂに送る。ま
た、第２駆動信号を出力した後、所定の遅延時間が経過
すると、制御部５３Ａは、第３駆動信号を電磁弁５３Ｃ
に送る。サイクル時間が終了するまで、制御部５３Ａ
は、第１駆動信号、第２駆動信号および第３駆動信号を
送り続ける。

【００７１】結合部５３Ｄは、駆動装置５３Ｄ₁と、図
１７に示すように、結合器５３Ｄ₂，５３Ｄ₃とを備えて
いる。

【００７２】駆動装置５３Ｄ₁は、制御部５３Ａから第
１駆動信号を受け取っている間だけ、結合器５３Ｄ₂，
５３Ｄ₃を収納ユニット５１Ａに向けて、すなわち、方
向Ｄに移動させる。

【００７３】結合器５３Ｄ₂および結合器５３Ｄ₃は、収
納ユニット５１Ａの浮上用気体供給口５１Ａ₁および排
出用気体供給口５１Ａ₂とそれぞれ向かい合うように配
置されている。結合器５３Ｄ₂および結合器５３Ｄ₃は、
駆動装置５３Ｄ₁によって方向Ｄに移動されると、浮上
用気体供給口５１Ａ₁および排出用気体供給口５１Ａ₂に
それぞれ挿入される。結合器５３Ｄ₂および結合器５３
Ｄ₃には、後述するように、配管５３Ｅおよび配管５３
Ｆから気体がそれぞれ流れ込む。そして、結合器５３Ｄ
₂および結合器５３Ｄ₃は、供給された気体を浮上用気体
供給口５１Ａ₁および排出用気体供給口５１Ａ₂にそれぞ
れ流す。

【００７４】供給部５３Ｂは、制御部５３Ａから第２駆
動信号を受け取ると、気体を配管５３Ｅに流す。このと
き使用される気体は、清浄なドライエアー、高純度窒
素、他の不活性ガス等多種からあらかじめ選択される。
供給部５３Ｂからの気体は、配管５３Ｅを経由して、結
合器５３Ｄ₂と電磁弁５３Ｃとに流れる。

【００７５】電磁弁５３Ｃは、制御部５３Ａからの第３
駆動信号によって動作する弁である。つまり、電磁弁５
３Ｃは、第３駆動信号を受け取ると開状態になり、供給
部５３Ｂからの気体を配管５３Ｆに流す。電磁弁５３Ｃ
からの気体は、配管５３Ｆを経由して、結合器５３Ｄ₃
に流れる。

【００７６】次に、実施の形態５の動作について説明す
る。

【００７７】運搬具５１がガラス板の運搬や保管を行
う。ガラス板の運搬や保管が終了すると、運搬具５１が
昇降装置５２のテーブル５２Ａに置かれる。これによっ
て、本体５２Ｂが終了信号を供給装置５３に送る。

【００７８】供給装置５３の制御部５３Ａは、終了信号
を受け取ると、第１駆動信号を結合部５３Ｄに送る。第
１駆動信号を受け取っている間だけ、結合部５３Ｄの駆
動装置５３Ｄ₁が結合器５３Ｄ₂，５３Ｄ₃を収納ユニッ
ト５１Ａに向けて移動させる。結合器５３Ｄ₂および結
合器５３Ｄ₃が駆動装置５３Ｄ₁によって方向Ｄに移動さ
れると、浮上用気体供給口５１Ａ₁および排出用気体供
給口５１Ａ₂にそれぞれ挿入される。

【００７９】結合器５３Ｄ₂および結合器５３Ｄ₃の挿入
がそれぞれ終了すると、つまり、第１駆動信号の出力
後、所定時間が経過すると、制御部５３Ａが第２駆動信
号を供給部５３Ｂに送る。

【００８０】供給部５３Ｂは、第２駆動信号を受け取る
と、気体を配管５３Ｅに流す。供給部５３Ｂからの気体
が配管５３Ｅを経由して結合器５３Ｄ₂と電磁弁５３Ｃ
とに流れる。結合器５３Ｄ₂は、供給された気体を浮上
用気体供給口５１Ａ₁に流す。これによって、収納ユニ
ット５１Ａ内のガラス板が浮上する。ガラス板が浮上す
ると、つまり、第２駆動信号の出力後、遅延時間が経過
すると、制御部５３Ａが第３駆動信号を電磁弁５３Ｃに
送る。

【００８１】第３駆動信号を受け取ると、電磁弁５３Ｃ
が開状態になり、供給部５３Ｂからの気体が配管５３Ｆ
を経由して結合器５３Ｄ₃に流れる。結合器５３Ｄ₃は、
供給された気体を排出用気体供給口５１Ａ₂に流す。こ
れによって、収納ユニット５１Ａ内の浮上しているガラ
ス板が、搬入部２００の搬送面２０１に向けて排出され
る。

【００８２】このようにして、実施の形態５によって、
複数の収納ユニット５１Ａを備える運搬具５１が昇降装
置５２に置かれると、運搬具５１内のガラス板を順にプ
ロセス装置に自動的に排出することができる。

【００８３】また、ガラス板を取り出すためのロボット
装置を不要にして、ガラス板を非接触で、つまり、ガラ
ス板の上面を吸着することなく、かつ、下面をこするこ
となく、ガラス板を排出することができる。さらに、ガ
ラス板を取り出すためのロボット装置が不要となる等の
設備投資の削減効果が非常に大きい。

【００８４】また、ガラスメーカ側がクリーンルーム内
で収納容器である運搬具５１に入れれば、運搬具５１を
そのまま輸送荷姿梱包としてエンドユーザまで輸送する
ことが可能になる。エンドユーザ側では、受け取った運
搬具５１を移し替えることなしに、運搬具５１をプロセ
ス装置に直結することができる。ガラスメーカ側および
エンドユーザ側では、収納ユニット５１Ａを繰り返して
使用することができるので、ガラス板の輸送の合理化が
可能になる。

【００８５】さらに、実施の形態５では、収納装置５か
らのガラス板の搬出について述べたが、逆に、ガラス板
を収納装置５に搬入して、収納装置５を保管装置として
使用することも可能である。この場合には、搬送されて
くるガラス板の補足ブレーキとして、排出用気体噴出孔
の気体噴出を使うことができる。

【００８６】［発明の実施の形態６］実施の形態６で
は、この発明による収納装置について述べる。図１８
は、この発明の実施の形態６に係わる板状基体の収納装
置の構成を示す構成図である。図１９は、実施の形態６
の収納ユニットの平面図である。図２０は、図１９の斜
視図である。図２１は、収納ユニットの部分断面図であ
る。図２２は、コネクタを示す斜視図である。なお、図
１８〜２２では、先に説明した図１〜６の収納ユニット
と同一または同一と見なされる構成要素には、それと同
じ符号が付けられている。

【００８７】図１８に示すように、実施の形態６の収納
装置６は、運搬具６１と昇降装置６２とを備えている。
収納装置６の昇降装置６２が台６Ａ上に設置され、収納
装置６が実施の形態５と同様にプロセス装置の搬入部２
００に接近して設置されている。

【００８８】運搬具６１は、収納ユニット６１Ａを積み
重ねたものである。収納ユニット６１Ａは、実施の形態
１〜４の収納ユニットの第１中空部１２および第２中空
部１３を次のように変更したものである。つまり、実施
の形態１〜４の第１中空部１２から浮上用気体供給口１
２Ｃを除き、第２中空部１３から排出用気体供給口１３
Ｃを除いた構造である。

【００８９】さらに、図１９に示すように、収納ユニッ
ト６１Ａでは、第１中空部１２の本体部分１２Ａに接続
管６１Ａ₁の一端が接続されている。なお、図１９で
は、側壁１１Ｂ〜１１Ｄの噴出孔１５Ａ〜１８Ａの図示
を省略している。接続管６１Ａ ₁は、パイプ状であり、
気体を流すためのものである。接続管６１Ａ₁の他端が
第２中空部１３の本体部分１３Ａに接続されている。こ
れによって、本体部分１２Ａからの気体が本体部分１３
Ａに流れる。

【００９０】接続管６１Ａ₁の途中には、電磁弁６１Ａ₂
が取り付けられている。電磁弁６１Ａ₂は、通常、閉状
態にあり、気体が接続管６１Ａ₁に流れることを阻止す
る。電磁弁６１Ａ₂は、第２制御信号を受け取った時点
から遅延時間後に動作する。つまり、電磁弁６１Ａ
₂は、遅延時間だけ遅れて開状態になり、気体を接続管
６１Ａ₁に流す。遅延時間の発生のために、電磁弁６１
Ａ₂は、抵抗とコンデンサとで第２制御信号を遅らせる
遅延回路を内部に備えている。

【００９１】第２制御信号は、図２０に示すように、コ
ネクタ６１Ａ₃を経由して電磁弁６１Ａ₂に加えられる。
コネクタ６１Ａ₃は、図２１に示すように、収納ユニッ
ト６１Ａの上下を貫通して設けられた円形の穴６１Ａ₄
に挿入されている。コネクタ６１Ａ₃は、図２２に示す
ように、絶縁体で作られた円柱部６０１を備えている。
円柱部６０１には、共通電極６１０と選択電極６２１〜
６３１とが設けられている。そして、各収納ユニット６
１Ａの電磁弁６１Ａ₂には、選択電極６２１〜６３１の
中の１つと共通電極６１０とが接続されている。これら
２つの電極に加えられる各信号が第２制御信号である。

【００９２】収納ユニット６１Ａの上面には、第１クイ
ックコネクタ６１Ａ₅（図２０参照）が設けられてい
る。第１クイックコネクタ６１Ａ₅は、第１中空部１２
の本体部分１２Ａに接続されている。第１クイックコネ
クタ６１Ａ₅は、通常、閉じていて、本体部分１２Ａ内
の気体を外部に逃がさない。第２クイックコネクタ（図
示を省略）が第１クイックコネクタ６１Ａ₅に挿入され
ると、第１クイックコネクタ６１Ａ₅が開いて、本体部
分１２Ａの気体を外部に流す。図２０では、図示が省略
されているが、第１クイックコネクタ６１Ａ₅と向かい
合うように、第２クイックコネクタが収納ユニット６１
Ａの下面に設けられている。

【００９３】収納ユニット６１Ａの上面には、実施の形
態４と同様に、２つの円筒形の結合ピン６１Ａ₆が設け
られている。収納ユニット６１Ａの下面には、結合ピン
６１Ａ₆と向かい合うように、かつ、結合ピン６１Ａ₆と
嵌合する凹部（図示を省略）が設けられている。

【００９４】昇降装置６２は、テーブル６２Ａと本体６
２Ｂとを備えている。テーブル６２Ａには、収納ユニッ
ト６１Ａの穴６１Ａ₄、第２クイックコネクタおよび２
つの凹部と同じ位置に、コネクタ６１Ａ₃、第１クイッ
クコネクタ６１Ａ₅および２つの結合ピン６１Ａ₆が設け
られている。これによって、運搬具６１の収納ユニット
６１Ａの中で一番下側の収納ユニット６１Ａの穴６１Ａ
₄、第２クイックコネクタおよび２つの凹部が、テーブ
ル６２Ａのコネクタ６１Ａ₃、第１クイックコネクタ６
１Ａ５および２つの結合ピン６１Ａ₆とそれぞれ嵌合す
る。特に、穴６１Ａ₄の内部では、２つのコネクタ６１
Ａ₃の共通電極６１０および選択電極６２１〜６３１が
接触によって互いに電気的に接続される。

【００９５】本体６２Ｂは、図示を省略しているが、実
施の形態５の昇降装置５２と同じ割出し上下機構を内部
に備えている。さらに、本体６２Ｂは、制御部６２Ｂ₁
と供給部６２Ｂ₂とを内部に備えている。割出し上下機
構によるテーブル６２Ａの移動が終了すると、制御部６
２Ｂ₁は、供給部６２Ｂ₂に第１制御信号を送る。第１制
御信号を出力した後、所定時間が経過すると、制御部６
２Ｂ₁は、信号線６２Ｂ₃を経由して、テーブル６２Ａの
コネクタ６１Ａ₃に第２制御信号を送る。第２制御信号
は、搬入部２００と向かい合っている収納ユニット６１
Ａを選択するための信号である。

【００９６】供給部６２Ｂ₂は、制御部６２Ｂ₁から第１
制御信号を受け取ると、配管６２Ｂ ₄を経由して、テー
ブル６２Ａの第１クイックコネクタ６１Ａ₅に気体を供
給する。使用される気体として、清浄なドライエアー、
高純度窒素、他の不活性ガス等多種からあらかじめ選択
することができる。

【００９７】次に、実施の形態６の動作について述べ
る。

【００９８】運搬具６１が昇降装置６２のテーブル６２
Ａに置かれると、制御部６２Ｂ₁が第１制御信号を供給
部６２Ｂ₂に送る。第１制御信号を受け取ると、供給部
６２Ｂ₂が配管６２Ｂ₄を経由して、テーブル６２Ａの第
１クイックコネクタ６１Ａ₅に気体を流す。これによっ
て、収納ユニット６１Ａ内のガラス板が浮上する。

【００９９】ガラス板が浮上すると、つまり、第１制御
信号の出力後から、遅延時間が経過すると、信号線６２
Ｂ₃を経由して、制御部６２Ｂ₁が第２制御信号をコネク
タ６１Ａ₃に送る。第２制御信号を受け取ると、この信
号が加えられた収納ユニット６１Ａの電磁弁６１Ａ₂が
開状態になり、第１中空部１２の本体部分１２Ａからの
気体が電磁弁６１Ａ₂を経由して第２中空部１３の本体
部分１３Ａに流れる。これによって、収納ユニット６１
Ａ内の浮上しているガラス板が、搬入部２００の搬送面
２０１に向けて排出される。

【０１００】このようにして、実施の形態６によって、
複数の収納ユニット６１Ａを備える運搬具６１が昇降装
置６２に置かれると、運搬具６１内のガラス板をプロセ
ス装置に自動的に排出することができる。また、ガラス
板を取り出すためのロボット装置を不要にして、ガラス
板を非接触で、つまり、ガラス板の上面を吸着すること
なく、かつ、下面をこすることなく、ガラス板を排出す
ることができる。この場合にも、初期位置として任意の
段の収納ユニット５１Ａを選択することが可能である。

【０１０１】[発明の実施の形態７]実施の形態７では、
この発明による収納装置に用いられる運搬具について述
べる。図２３は、この発明の実施の形態７に係わる運搬
具を説明する説明図である。

【０１０２】実施の形態７の収納装置は、運搬具を外気
から遮断する密閉装置を備える。

【０１０３】実施の形態７の収納装置に用いられる運搬
具ついて、以下では詳細に説明する。図２３に示すよう
に、実施の形態７では、実施の形態５の運搬具５１の運
送や保管の際に、運搬具５１に対して密閉具７が装着さ
れる。なお、運搬具５１には、蓋５１Ｂが被されてい
る。密閉具７は、台部分７１、遮蔽板７２，７３および
コンテナケース７４を備えている。

【０１０４】台部分７１は、運搬具５１を置くためのも
のであり、四角形状をしている。

【０１０５】遮蔽板７２は、運搬具５１の各収納ユニッ
ト５１Ａの搬出口５１Ａ１側を覆うものであり、遮蔽板
７３は、収納ユニット５１Ａの浮上用気体供給口５１Ａ
２側を覆うものである。遮蔽板７２，７３によって、運
搬具５１のすべての開口部分が覆われる。遮蔽板７２，
７３には、図示が省略されているが、遮蔽板７２，７３
の転倒を防ぐために遮蔽板７２，７３に挿入される棒状
の固定具が台部分７１に設けられている。

【０１０６】コンテナケース７４は、装着具７４Ａとカ
バー７４Ｂとを備えている。装着具７４Ａは、台部分７
１と嵌合する四角形状であり、台部分７１と密着するす
るものである。カバー７４Ｂは、装着具７４Ａに取り付
けられた袋状のものであり、運搬具５１を覆うような大
きさをしている。

【０１０７】このような構成の密閉具７は、次のように
して用いられる。運搬具５１の運搬や保管をする場合、
クリーンな雰囲気の中で作業者が運搬具５１を台部分７
１に載せる。この後、作業者がコンテナケース７４の装
着具７４Ａを台部分７１に装着する。これによって、コ
ンテナケース７４内に局所清浄空間７５が形成される。
この結果、運搬具５１内の各ガラス板が外気と遮断さ
れ、外気の流れによって運ばれてくる塵等によるガラス
板の汚染を防ぐことができる。

【０１０８】[発明の実施の形態８]実施の形態８では、
この発明による収納ユニットについて述べる。図２４
は、この発明の実施の形態８に係わる収納ユニットを説
明する説明図である。

【０１０９】図２４に示すように、収納ユニット８は、
実施の形態１〜４の収納ユニットおよび実施の形態５〜
７の運搬具に用いられている収納ユニットの本体部の代
わりに、本体部８０が用いられている。本体部８０で
は、搬出口８１Ａと向かい合う窪み８１の部分が半円形
状に加工されている。

【０１１０】これによって、半円形状の側壁８１Ｂが形
成される。側壁８１Ｂには、実施の形態１〜４と同じよ
うに、排出用噴出部が設けられている。同様にして、浮
上用噴出部だけ、または、浮上用噴出部と排出用噴出部
との両方が本体部８０の底面８１Ｃに設けられている。
なお、図２４では、各噴出部とそれに伴う噴出孔の図示
を省略している。

【０１１１】これによって、収納対象が四角形状のガラ
ス板などに限定されることがなく、円形状の板状基体全
般、例えば、大型のシリコンウエハを収納ユニット８に
収納することが可能になる。さらに、板状基体の形状に
合わせて、本体部の側壁を加工すれば、任意形状の板状
基体を収納することも可能になる。

【０１１２】以上、実施の形態１〜８について説明した
が、この発明は、これらの実施の形態に限定されること
はない。例えば、実施の形態１〜４および実施の形態８
では、ガラス板を排出するために、気体の噴出を利用し
たが、特に、これに限定されることはない。例えば、機
械的な突き出し力によって、ガラス板を排出してもよ
い。

【０１１３】また、実施の形態７では、実施の形態５の
運搬具５１に対して密閉具７を装着する場合について説
明したが、実施の形態６の運搬具６１に対しても密閉具
７の装着が可能である。この場合には、遮蔽板７３を省
くことができる。

【０１１４】実施の形態１〜７で用いられている本体部
１０，３０，４０の代わりに、図２５に示す本体部９０
を用いてもよい。なお、図２５では、噴出孔の図示を省
略している。本体部９０では、浮上したガラス板との接
触を防ぐために、窪み９１が設けられている。このよう
な本体部９０を用いることによって、厚みの大きいガラ
ス板の収納が可能になる。

【０１１５】また、実施の形態４の結合ピンの配置、お
よび、実施の形態６のコネクタ６１Ａ₃と第１クイック
コネクタ６１Ａ₅と結合ピン６１Ａ₆との配置が本体部の
上面の隅に限定されることがなく、上面の任意の所に配
置することが可能である。結合ピンの数も少なくとも１
つあればよい。

【０１１６】さらに、実施の形態１〜８では、収納ユニ
ットを積み重ねたときに、搬出口を覆い、かつ、ガラス
板の上下振動を押さえる形状のクッション材を挿入して
もよい。このようなクッション材は、気体を収納ユニッ
トに供給した際に、搬出口を覆っているので、最初に外
部に排出される。この後、ガラス板の排出が行われる。

【０１１７】

【発明の効果】以上、説明したように、この発明は、板
状基体を収納する運搬可能な本体部と、本体部の上面に
設けられると共に板状基体を置くための窪みを具備し、
この窪みの底面に置かれた板状基体を通すための通過部
分を窪みに具備する保持部と、保持部の底面に置かれて
いる板状基体を底面から浮上させるために、供給された
気体を底面から噴出する複数の浮上用噴出部と、浮上用
噴出部によって浮上している板状基体を、通過部分に向
けて押し出す排出部とを備えることを特徴とする。

【０１１８】これによって、板状基体を保持部の窪みに
置くだけで、板状基体の保管や運送が可能になる。

【０１１９】また、収納ユニット内の板状基体を、例え
ばこの板状基体を処理する処理装置に送り出すときに、
本体部の浮上用噴出部に対する気体の供給によって、板
状基体を浮上させた状態で、つまり、板状基体の下面が
非接触状態を保って、撓みも振動もなく板状基体を処理
装置に送り出すことができる。この結果、板状基体の下
面が窪みの底面と接触しながら滑ることによって発生す
る傷や破損等を、確実に防ぐことができる。

【０１２０】また、この発明では、排出部が、保持部の
側壁から板状基体の側面に向けて、供給された気体を噴
出する複数の排出用噴出部で形成されることを特徴とす
る。これによって、収納ユニットに対する気体の供給だ
けで、板状基体の浮上と排出とを行うことができる。

【０１２１】また、この発明は、保持部の周辺に位置す
ると共に本体部の上面に設けられた突出部分または窪み
部分で形成される第１嵌合部と、本体部の下面に設けら
れ、第１嵌合部と同位置にかつ第１嵌合部に嵌合する第
２嵌合部とを備えることを特徴とする。これによって、
収納ユニットを積み重ねて運ぶとき、上段の収納ユニッ
トが下段の収納ユニットから滑って動くことを防ぐこと
ができる。

【０１２２】また、この発明は、請求項２または３に記
載の収納ユニットが積み重ねられている運搬具と、運搬
具を置くことが可能であり、置かれた運搬具を上下し
て、指定された収納ユニットの位置を搬入部に合わせる
昇降装置と、昇降装置による位置合わせが終了すると、
搬入部に位置する前記収納ユニットに気体を供給する供
給装置とを備えることを特徴とする。

【０１２３】これによって、板状基体の下面の非接触状
態を保ちながら、運搬具から処理装置の搬入部に板状基
体を排出することができる。この結果、処理装置に対す
る板状基体の排出の際に、この板状基体の汚染や破損を
防ぐことができる。

【０１２４】また、切断等の処理をしたガラス板をガラ
スメーカ側がクリーンルーム内で運搬具に入れれば、そ
の運搬具をそのまま輸送荷姿梱包としてエンドユーザま
で輸送することができる。エンドユーザ側では、受け取
った運搬具を移し替えることなしに、運搬具を昇降装置
に装着して、運搬具をプロセス装置に直結することがで
きる。

【０１２５】また、ガラスメーカ側およびエンドユーザ
側では、運搬具の収納ユニットを繰り返して使用するこ
とができるので、ガラス板の輸送の合理化が可能にな
り、ガラス板を取り出すためのロボット装置が不要とな
る等の設備投資の削減効果も非常に大きい。

【０１２６】また、この発明は、運搬具を外気から遮断
する密閉装置を備えている。これによって、運搬具の保
管や運搬の際に、外気の流れによって運ばれてくる塵等
が運搬具内のガラス板に付着することを防ぐことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態１に係わる板状基体の収
納ユニットを示す斜視図である。

【図２】図１の平面図である。

【図３】図１の背面図である。

【図４】図２のＩ−Ｉ断面を示す断面図である。

【図５】図２のＩＩ−ＩＩ断面を示す断面図である。

【図６】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面を示す断面図であ
る。

【図７】実施の形態１によってガラス板を移動する様子
を示す説明図である。

【図８】実施の形態１によってガラス板を移動する様子
を示す説明図である。

【図９】この発明の実施の形態２に係わる板状基体の収
納ユニットを示す平面図である。

【図１０】この発明の実施の形態３に係わる板状基体の
収納ユニットを示す断面図である。

【図１１】この発明の実施の形態４に係わる板状基体の
収納ユニットを示す斜視図である。

【図１２】図１１の側面図である。

【図１３】実施の形態４の使用状態を説明するための説
明図である。

【図１４】実施の形態４の変形例に用いられる結合ピン
を示す斜視図である。

【図１５】この発明の実施の形態５に係わる板状基体の
収納装置の構成を示す構成図である。

【図１６】実施の形態５の供給装置の概略的な構成を示
す構成図である。

【図１７】実施の形態５の結合部を説明するための説明
図である。

【図１８】この発明の実施の形態６に係わる板状基体の
収納装置の構成を示す構成図である。

【図１９】実施の形態６の収納ユニットの平面図であ
る。

【図２０】図１９の斜視図である。

【図２１】収納ユニットの部分断面図である。

【図２２】コネクタを示す斜視図である。

【図２３】この発明の実施の形態７に係わる運搬具を説
明する説明図である。

【図２４】この発明の実施の形態８に係わる収納ユニッ
トを説明する説明図である。

【図２５】本体部の他の例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１，２，３，４，８，５１Ａ，６１Ａ 収納ユニット ５，６ 収納装置 ７ 密閉具 ５Ａ，６Ａ 台 １０，３０，４０，８０，９０ 本体部 １０Ａ，４０Ａ 上面 １０Ｂ，４０Ｂ 側壁 １１，８１，９１ 窪み １１Ａ，５１Ａ₁，８１Ａ 搬出口 １１Ｂ〜１１Ｄ，８１Ｂ 側壁 １１Ｅ，８１Ａ 底面 １１Ｆ，１０１Ａ 中心 １２ 第１中空部 １２Ａ，１３Ａ 本体部分 １２Ｂ 供給路 １２Ｃ，５１Ａ₁，５１Ａ₂ 浮上用気体供給口 １３ 第２中空部 １３Ｂ 排出路 １３Ｃ，５１Ａ₂ 排出用気体供給口 １４，１５〜１８ 噴出部 １４Ａ，１５Ａ〜１８Ａ，３１ 噴出孔 ３２ 周囲面 ４０Ｃ，１０１Ｂ 下面 ４１，６１Ａ₆ 結合ピン ４２，４３Ａ 凹部 ４３ 蓋 ５１，６１ 運搬具 ５２，６２ 昇降装置 ５２Ａ，６２Ａ テーブル ５２Ｂ，６２Ｂ 本体 ５２Ｃ シャフト ５２Ｄ，６２Ｂ₃ 信号線 ５３ 供給装置 ５３Ａ，６２Ｂ₁ 制御部 ５３Ｂ，６２Ｂ₂ 供給部 ５３Ｃ，６１Ａ₂ 電磁弁 ５３Ｄ 結合部 ５３Ｄ₁ 駆動装置 ５３Ｄ₂，５３Ｄ₃ 結合器 ５３Ｅ，５３Ｆ，６２Ｂ₄ 配管 ６１Ａ₁ 接続管 ６１Ａ₃ コネクタ ６１Ａ₄ 穴 ６１Ａ₅ 第１クイックコネクタ ６０１ 円柱部 ６２１〜６３１ 選択電極 ６１０ 共通電極 ５１Ｂ 蓋 ７１ 台部分 ７２，７３ 遮蔽板 ７４ コンテナケース ７４Ａ 装着具 ７４Ｂ カバー ７５ 局所清浄空間 １０１ ガラス板 １０１Ａ 中心 １１１ 先端 ２００ 搬入部 ２０１ 搬送面 Ａ〜Ｄ 方向

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 梅田 優 東京都中央区日本橋室町４丁目２番16号 株式会社渡邊商行内 (72)発明者 辻村 正之 埼玉県大里郡川本町田中568 株式会社ワ コム電創内 (72)発明者 都田 昌之 山形県米沢市東２丁目７の139 (72)発明者 楠原 昌樹 東京都中央区日本橋室町４丁目２番16号 株式会社渡邊商行内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 板状基体を収納する運搬可能な本体部
   と、 前記本体部の上面に設けられると共に板状基体を置くた
   めの窪みを具備し、この窪みの底面に置かれた板状基体
   を通すための通過部分を前記窪みに具備する保持部と、 前記保持部の底面に置かれている板状基体を前記底面か
   ら浮上させるために、供給された気体を前記底面から噴
   出する複数の浮上用噴出部と、 前記浮上用噴出部によって浮上している板状基体を、前
   記通過部分に向けて押し出す排出部とを備えることを特
   徴とする板状基体の収納ユニット。
2. 【請求項２】 前記排出部が、前記保持部の側壁から板
   状基体の側面に向けて、供給された気体を噴出する複数
   の排出用噴出部で形成されることを特徴とする請求項１
   に記載の板状基体の収納ユニット。
3. 【請求項３】 前記保持部の周辺に位置すると共に前記
   本体部の上面に設けられた突出部分または窪み部分で形
   成される第１嵌合部と、 前記本体部の下面に設けられ、前記第１嵌合部と同位置
   にかつ前記第１嵌合部に嵌合する第２嵌合部とを備える
   ことを特徴とする請求項１または２に記載の板状基体の
   収納ユニット。
4. 【請求項４】 板状基体を収納すると共に、板状基体を
   処理するときに、収納している板状基体を処理装置の搬
   入部に送り出す板状基体の収納装置において、 請求項２または３に記載の収納ユニットが積み重ねられ
   ている運搬具と、 前記運搬具を置くことが可能であり、置かれた前記運搬
   具を上下して、指定された前記収納ユニットの位置を前
   記搬入部に合わせる昇降装置と、 前記昇降装置による位置合わせが終了すると、前記搬入
   部に位置する前記収納ユニットに気体を供給する供給装
   置とを備えることを特徴とする板状基体の収納装置。
5. 【請求項５】 前記運搬具を外気から遮断する密閉装置
   を備えることを特徴とする請求項４に記載の板状基体の
   収納装置。