KR101127852B1 - 히팅 챔버와 이를 이용한 화상 표시패널의 검사장치 - Google Patents

히팅 챔버와 이를 이용한 화상 표시패널의 검사장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 화상 표시패널을 고온 상태로 가열하는 챔버 내의 온도를 균일하게 할 수 있도록 한 히팅 챔버와 이를 이용한 화상 표시패널의 검사장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 히팅 챔버는 복수의 화상 표시패널이 적층된 카세트를 공급받아 상기 화상 표시패널을 가열하기 위한 히팅부와, 상기 카세트에서 인출된 상기 가열된 화상 표시패널을 외부로 반출시키기 위한 반출구를 가지는 패널 이송부를 구비하며, 상기 반출구는 하부를 향하도록 상기 패널 이송부의 바닥면에 형성되는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의하여 본 발명은 화상 표시패널의 반출구를 하부를 향하도록 형성함으로써 히팅 챔버의 내부로 유입되는 외부 기류를 최소화할 수 있다. 또한, 본 발명은 검사장치와 대향하도록 히팅 챔버의 반출구를 형성함으로써 화상 표시패널의 반송시 발생되는 온도 변화를 최소화할 수 있다. 따라서, 본 발명은 히팅 챔버의 온도를 균일하게 유지시킬 수 있으며, 반송 중에 발생되는 온도변화를 최소화 할 수 있다.
히팅 챔버, 반출구, 고온 불량, 외부 기류, 온도 변화

Description

히팅 챔버와 이를 이용한 화상 표시패널의 검사장치{HEATING CHAMBER AND APPARATUS FOR INSPECTION IMAGE DISPLAY PANEL USING THE SAME}
도 1은 일반적인 액정패널을 개략적으로 나타내는 단면도.
도 2는 관련기술에 따른 히팅 챔버를 이용한 액정패널의 검사장치를 나타내는 도면.
도 3은 도 2에 도시된 히팅 챔버를 나타내는 사시도.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 히팅 챔버와 이를 이용한 화상 표시패널의 검사장치를 나타내는 사시도.
도 5는 도 4에 도시된 Ⅰ-Ⅰ' 절단선을 따라 절단한 단면을 나타내는 단면도.
도 6은 도 4에 도시된 히팅 챔버를 나타내는 사시도.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호설명 >
60, 160 : 히팅 챔버 65, 165 : 반출구
70, 170 : 검사장치 80, 180 : 패널 이송장치
86, 186 : 반송 포크 90, 190 : 카세트
162 : 히팅부 164 : 패널 이송부
166 : 밀폐부 192 : 화상 표시패널
본 발명은 히팅 챔버에 관한 것으로, 특히 화상 표시패널을 고온 상태로 가열하는 챔버 내의 온도를 균일하게 할 수 있도록 한 히팅 챔버와 이를 이용한 화상 표시패널의 검사장치에 관한 것이다.
최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 대두되고 있다. 이러한 평판 표시장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display), 전계방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 표시 패널(Plasma Display Panel) 및 발광 표시장치(Light Emitting Display) 등이 있다.
통상의 액정 표시장치는 전계를 이용하여 액정의 광투과율을 조절함으로써 화상을 표시하게 된다. 이를 위하여, 액정 표시장치는 액정셀들이 매트릭스 형태로 배열된 액정패널과, 이 액정패널을 구동하기 위한 구동회로를 구비하게 된다.
액정패널에는 액정셀들 각각에 전계를 인가하기 위한 화소전극들과 공통전극이 마련되게 된다. 통상, 화소전극은 하부기판 상에 액정셀 별로 형성되는 반면 공통전극은 상부기판의 전면에 일체화되어 형성되게 된다. 화소전극들 각각은 스위치 소자로 사용되는 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; 이하 "TFT"라 함)에 접속되게 된다. 화소전극은 박막 트랜지스터를 통해 공급되는 데이터신호에 따라 공통전극과 함께 액정셀을 구동하게 된다.
도 1은 일반적인 액정패널을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 1을 참조하면, 일반적인 액정패널은 상부기판(42) 상에 순차적으로 형성된 블랙 매트릭스(44), 컬러필터(46), 오버 코트층(47), 공통전극(48) 및 상부 배향막(50a)으로 구성되는 컬러필터 어레이 기판(4)과; 하부기판(1) 상에 형성된 TFT, 화소전극(22) 및 하부 배향막(50b)으로 구성되는 TFT 어레이 기판(2)과; 컬러필터 어레이 기판(4) 및 TFT 어레이 기판(2) 사이의 공간에 주입되는 액정(52)을 구비한다.
상기 TFT 어레이 기판(2)의 TFT는 게이트 라인에 접속된 게이트전극(6), 데이터 라인에 접속된 소스전극(8) 및 드레인 접촉홀(26)을 통해 화소전극(22)에 접속된 드레인전극(10)을 구비한다. 또한, TFT는 게이트전극(6)에 공급되는 게이트전압에 의해 소스전극(8)과 드레인전극(10)간에 도통채널을 형성하기 위한 반도체층들(14, 16)을 더 구비한다. 이러한 TFT는 게이트 라인으로부터의 게이트신호에 응답하여 데이터 라인으로부터의 데이터신호를 선택적으로 화소전극(22)에 공급한다.
상기 화소전극(22)은 데이터 라인과 게이트 라인에 의해 분할된 화소영역에 위치하며 광투과율이 높은 투명 전도성 물질로 이루어진다. 화소전극(22)은 하부기판(1) 전면에 도포되는 보호막(18) 상에 형성되며, 보호막(18)을 관통하는 드레인 접촉홀(26)을 통해 드레인전극(10)과 전기적으로 접속된다. 이러한 화소전극(22)은 TFT를 경유하여 공급되는 데이터신호에 의해 상부기판(42)에 형성되는 공통전극(48)과 전위차를 발생시키게 된다. 이 전위차에 의해 하부기판(1)과 상부기판 (42) 사이에 위치하는 액정(52)은 유전율 이방성에 기인하여 회전하게 된다. 이렇게 회전되는 액정(52)에 의해 광원으로부터 화소전극(22)을 경유하여 상부기판(42) 쪽으로 투과되는 광량이 조절된다.
상기 컬러필터 어레이 기판(4)의 블랙 매트릭스(44)는 하부기판(1)의 TFT 영역과 도시하지 않은 게이트 라인들 및 데이터 라인들 영역과 중첩되게 형성되며 컬러필터(46)가 형성될 화소영역을 구획한다. 이러한 블랙 매트릭스(44)는 빛샘을 방지함과 아울러 외부광을 흡수하여 콘트라스트를 높이는 역할을 한다.
상기 컬러필터(46)는 블랙 매트릭스(44)에 의해 분리된 화소영역에 형성된다. 이러한 컬러필터(46)는 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 별로 형성되어 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 색상을 구현한다.
상기 오버 코트층(47)은 컬러필터(46)가 형성된 상부기판(42) 상에 절연특성을 가진 투명한 수지를 도포하여 일정한 전압이 인가되는 블랙 매트릭스(44)와 공통 전압이 인가되는 공통전극(48) 사이를 전기적으로 절연시키는 역할을 한다. 한편, 상기 오버 코트층(47)은 TN모드의 소자에서는 형성되지 않아도 무방하다.
상기 공통전극(48)은 액정구동시 기준이 되는 공통전압이 인가되어 하부기판(1) 상에 형성된 화소전극(22)과 전위차를 발생시키게 된다. 한편, IPS 모드에서는 상기 공통전극이 하부기판(1)에 형성된다.
그리고, 컬러필터 어레이 기판(4)과 TFT 어레이 기판(2)에는 액정 배향을 위한 상/하부 배향막(50a, 50b)이 폴리 이미드(PI) 등과 같은 배향물질을 도포한 후 러빙 공정을 수행함으로써 형성된다.
이와 같은, 액정패널은 기판 세정, 기판 패터닝, 배향막형성, 기판합착/액정주입 및 검사공정에 의해 제조된다.
상기 기판세정 공정에서는 TFT 어레이 기판(2) 및 컬러필터 어레이 기판(4)의 패터닝 전후에 기판들(2, 4)의 이물질을 세정제를 이용하여 제거하게 된다.
상기 기판 패터닝 공정에서는 TFT 어레이 기판(2)의 패터닝과 컬러필터 어레이 기판(4)의 패터닝 공정으로 나뉘어지며, 각 패터닝 공정은 포토레지스트(Photoresist)를 이용한 사진석판법(Photolithography)이 일반적으로 이용되고 있다.
상기 기판합착/액정주입 공정에서는 TFT 어레이 기판(2) 및 컬러필터 어레이 기판(4)에 배향막(50a, 50b)을 도포하고 러빙한 후, 실(Seal)을 이용한 TFT 어레이 기판(2) 및 컬러필터 어레이 기판(4)의 합착공정, 액정주입, 주입구 봉지공정이 순차적으로 이루어진다.
상기 검사공정에서는 상술한 공정에 의해 완성된 TFT 어레이 기판(2)의 배선결함과 패터닝 불량으로 인한 화소결합과 컬러필터 어레이 기판(4)의 패터닝 불량 등을 검사하게 된다.
한편, 상기 검사공정에서는 액정패널의 불량 항목 중 고온에서 발생할 수 있는 불량을 검출하기 위하여, 완성된 액정패널을 고온상태로 유지한 다음 고온 불량 검사를 진행하게 된다. 이러한, 고온 검사를 위해서는 액정패널의 제조공정에 사용되는 밀폐형 히팅 챔버가 아닌 개방형 히팅 챔버가 필요하게 된다.
도 2는 관련기술에 따른 개방형 히팅 챔버를 이용한 액정패널의 검사장치를 나타내는 도면이다.
도 2를 참조하면, 관련기술에 따른 개방형 히팅 챔버를 이용한 액정패널의 검사장치는, 복수의 액정패널(92)이 적층된 카세트(90)를 공급받아 액정패널(92)을 가열하기 위한 히팅 챔버(60)와, 가열된 액정패널(92)에 대하여 고온 불량을 검사하기 위한 검사장치(70)와, 히팅 챔버(60)에서 가열된 액정패널(92)을 인출하여 검사장치(70)로 반출시키기 위한 패널 이송로봇(80)과, 패널 이송로봇(80)을 구동하는 로봇 구동장치(81)를 구비한다.
상기 검사장치(70)는 패널 이송로봇(80)에 의해 이송되는 가열된 액정패널(92)은 공급받아 가열된 액정패널(92)에 대하여 고온 불량을 검사하게 된다.
상기 로봇 구동장치(81)는 히팅 챔버(60)의 카세트(90)에서 액정패널(92)을 인출하여 검사장치(70)로 반송하도록 패널 이송로봇(80)을 구동한다.
상기 패널 이송로봇(80)은 액정패널(92)을 반송하는 반송 포크(86)와, 로봇 구동장치(81)의 구동에 연동되는 제어축(82)과, 제어축(82)에 연동하여 반송 포크(86)를 이송하는 이송장치(84)를 구비한다.
이러한, 패널 이송로봇(80)은 로봇 구동장치(81)에 구동에 연동되어 히팅 챔버(60)의 내부에 공급되어 히팅 챔버(60)의 온도에 의해 가열된 액정패널(92)을 카세트(90)에서 인출하여 검사장치(70)의 검사대에 로딩시킨다.
카세트(90)에는 복수의 액정패널(92)이 적층되어 있다. 이러한 카세트(90)는 도시하지 않은 로딩장치에 의해 히팅 챔버(60)의 내부로 로딩된다.
상기 히팅 챔버(60)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 패널 이송로봇(80)의 반송 포크(86)가 출입할 수 있도록 상부에 형성된 반출구(65)를 제외하고는 밀폐된다. 이러한, 상부 반출구(65)를 가지는 히팅 챔버(60)는 도시하지 않은 가열장치에 의해 가열된다.
이와 같은, 관련기술에 따른 액정패널의 검사장치를 이용한 고온 불량 검사방법은, 우선 복수의 액정패널(92)이 적층된 카세트(90)를 히팅 챔버(60)의 내부에 로딩시킨다. 그런 다음, 반송 포크(86)는 로봇 이송장치(80)의 구동에 연동하여 히팅 챔버(60)의 반출구(65)를 통해 히팅 챔버(60)의 내부로 이송된 후, 카세트(90)에서 하나의 액정패널(92)을 인출하여 다시 반출구(65)를 통해 검사장치(70)로 이송되어 탑재된 액정패널(92)을 검사장치(70)에 공급한다. 이에 따라, 검사장치(70)는 반송 포크(86)로부터 액정패널(92)을 공급받아 액정패널(92)에 대하여 고온 불량 검사를 실시한다.
그러나 이러한 관련기술에 따른 액정패널의 검사장치는 히팅 챔버(60)에서 가열된 액정패널(92)을 검사장치(70)로 반송시 히팅 챔버(60)의 상부에 형성된 반출구(65)를 통해 반송하기 때문에 외부 기류가 반출구(65)를 통해 히팅 챔버(60)의 내부로 유입되는 다운 플로우(Down Flow) 현상이 발생하게 된다.
따라서, 관련기술에 따른 액정패널의 검사장치는 외부 기류의 다운 플로우 현상으로 인하여 히팅 챔버(60) 내부의 온도가 불균일한 문제점이 있으며, 검사장치(70)와 히팅 챔버(60)간의 이격 거리로 인하여 액정패널(92)의 온도가 반송시 변화되는 문제점이 있다.
따라서 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 화상 표시패널을 고온 상태로 가열하는 챔버 내의 온도를 균일하게 할 수 있도록 한 히팅 챔버와 이를 이용한 화상 표시패널의 검사장치를 제공하는데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 히팅 챔버는 복수의 화상 표시패널이 적층된 카세트를 공급받아 상기 화상 표시패널을 가열하기 위한 히팅부와, 상기 카세트에서 인출된 상기 가열된 화상 표시패널을 외부로 반출시키기 위한 반출구를 가지는 패널 이송부를 구비하며, 상기 반출구는 하부를 향하도록 상기 패널 이송부의 바닥면에 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 패널 이송부는 상기 히팅부의 상부를 덮도록 일체화되며 상기 히팅부의 상부 측면으로부터 신장되는 신장부를 가지는 것을 특징으로 한다. 상기 반출구는 상기 신장부의 바닥면에 형성된다.
본 발명의 실시 예에 따른 화상 표시패널의 검사장치는 복수의 화상 표시패널이 적층된 카세트를 공급받아 상기 화상 표시패널을 가열하기 위한 히팅부와, 상기 히팅부로부터 가열된 상기 화상 표시패널을 외부로 반출시키기 위한 반출구를 포함하는 히팅 챔버와; 상기 히팅 챔버로부터 상기 가열된 화상 표시패널을 상기 카세트에서 인출하여 상기 반출구를 통해 반출시키는 패널 이송장치와; 상기 패널 이송장치에 의해 상기 반출구를 통해 반출되는 상기 가열된 화상 표시패널에 대하여 고온 불량을 검사하기 위한 검사장치를 구비하고; 상기 반출구는 상기 검사장치와 대향하도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 히팅 챔버는 상기 히팅부의 상부를 덮도록 일체화되어 상기 검사장치와 대향하도록 상기 히팅부의 상부 측면으로부터 신장되는 신장부의 바닥면에 상기 반출구가 형성되며, 상기 히팅부에서 인출된 상기 화상 표시패널이 상기 반출구로 이송되는 패널 이송부를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 패널 이송부는 상부에 형성되어 외부 기류의 유입을 차단하는 밀폐부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 패널 이송장치는 상기 밀폐부를 통해 상기 패널 이송부에 삽입되어 상기 카세트에서 상기 가열된 화상 표시패널을 인출하는 반송 포크와, 상기 카세트에서 상기 가열된 화상 표시패널을 인출하도록 상기 반송 포크를 구동하는 제어축과, 상기 제어축을 수평방향으로 이송시키는 이송축과, 상기 이송축을 구동시킴과 아울러 상기 제어축을 제어하는 구동부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 밀폐부는 상기 제어축의 이송 영역을 밀폐하도록 형성된 주름 커튼인 것을 특징으로 한다.
이하에서, 첨부된 도면 및 실시 예를 통해 본 발명의 실시 예를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 히팅 챔버와 이를 이용한 화상 표시패널의 검사장치를 나타내는 도면이고, 도 5는 도 4에 도시된 I-I'절단선을 따라 절단한 단면을 나타내는 도면이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 히팅 챔버와 이를 이용한 화상 표시패널의 검사장치는, 복수의 화상 표시패널(192)이 적층된 카세트(190) 를 공급받아 화상 표시패널(192)을 가열하기 위한 히팅부(162)와, 히팅부(162)로부터 가열된 화상 표시패널(192)을 외부로 반출시키기 위한 반출구(165)를 포함하는 히팅 챔버(160)와; 히팅 챔버(160)로부터 가열된 화상 표시패널(192)을 카세트(190)에서 인출하여 반출구(165)를 통해 반출시키는 패널 이송장치(180)와; 패널 이송장치(180)에 의해 반출구(165)를 통해 반출되는 가열된 화상 표시패널(192)에 대하여 고온 불량을 검사하기 위한 검사장치(170)를 구비하고; 상기 반출구(165)는 검사장치(170)와 대향하도록 형성된다.
또한, 히팅 챔버(160)는 히팅부(162)의 상부를 덮도록 일체화되어 검사장치(170)와 대향하도록 히팅부(162)의 상부 측면으로부터 신장되는 신장부의 바닥면에 반출구(165)가 형성되며, 히팅부(162)에서 인출된 화상 표시패널(192)이 반출구(165)로 이송되는 패널 이송부(164)를 더 구비한다.
상기 화상 표시패널(192)는 액정 표시패널을 포함하는 평판 표시패널 중 어느 하나가 될 수 있다.
상기 패널 이송장치(180)는 히팅 챔버(160)의 측면에 설치되어 히팅 챔버(160)의 히팅부(162)에 공급된 카세트(190)에서 화상 표시패널(192)을 인출하여 패널 이송부(164)의 반출구(165)를 통해 검사장치(170)로 이송한다. 이를 위해, 패널 이송장치(180)는 히팅 챔버(160)의 패널 이송부(164)에 삽입되어 카세트(190)에서 화상 표시패널(192)을 인출하는 반송 포크(186)와, 카세트(190)에서 화상 표시패널(192)을 인출하도록 반송 포크(186)를 제어하는 제어축(182)과, 반송 포크(186)에 의해 인출된 화상 표시패널(192)이 검사장치(170)로 공급되도록 제어축 (182)을 이송시키는 이송축(184)과, 이송축(184)을 수평방향으로 이송시킴과 아울러 제어축(182)의 구동을 제어하는 구동부(181)를 구비한다.
상기 구동부(181)는 이송축(184)을 패널 이송부(164)의 길이방향으로 수평 이동하도록 구동하며, 반송 포크(186)가 카세트(190)에서 화상 표시패널(192)을 인출하도록 제어축(182)을 구동한다.
상기 이송축(184)은 구동부(181)의 구동에 연동되어 제어축(182)을 수평방향으로 이송시킨다. 즉, 이송축(184)은 구동부(181)에 의해 패널 이송부(164)의 길이방향으로 왕복운동하게 된다.
상기 제어축(182)은 히팅 챔버(160)의 패널 이송부(164)의 상부를 관통하여 패널 이송부(164)에 삽입되어 카세트(190)에서 화상 표시패널(192)을 인출하도록 반송 포크(186)의 위치를 제어한다.
상기 반송 포크(186)는 제어축(182)에 설치되어 제어축(182)의 구동에 연동됨으로써 히팅부(162)에 로딩된 카세트(190)에서 고온의 화상 표시패널(192)을 인출한다.
상기 검사장치(170)는 패널 이송부(164)의 바닥면에 형성된 반출구(165)와 마주보도록 배치된다. 이러한, 검사장치(170)는 패널 이송장치(180)의 반송 포크(186)에 의해 히팅 챔버(160)의 반출구(165)를 통해 공급되는 고온의 화상 표시패널(192)에 대하여 고온 불량을 검사하게 된다.
상기 히팅 챔버(160)의 히팅부(162)는 가열장치에 의해 일정한 온도로 가열되며, 로딩장치에 의해 외부로부터 복수의 화상 표시패널(192)이 적층된 카세트 (190)를 공급받는다.
상기 히팅 챔버(160)의 패널 이송부(164)는 히팅부(162)의 상부를 덮도록 일체화되며 히팅부(162)의 상부 측면으로부터 검사장치(170)와 대향하도록 신장된 신장부를 구비한다. 이러한, 패널 이송부(164)는 패널 이송장치(180)에 의해 히팅부(162)로부터의 화상 표시패널(192)을 검사장치(170)로 반송시키는 반송통로가 된다.
이를 위해, 패널 이송부(164)는 패널 이송장치(180)의 제어축(182)이 삽입 이송되는 영역을 밀폐시키기 위한 밀폐부(166)와, 신장부의 바닥면에 형성되어 패널 이송장치(180)에 의해 이송된 고온의 화상 표시패널(192)이 검사장치(170)로 반출되는 반출구(165)를 구비한다.
상기 밀폐부(166)는 주름 커튼 형태로 제작되어 패널 이송부(164)의 상부에 설치된다. 이러한, 밀폐부(166)는 제어축(182)의 이송에 따라 패널 이송부(164)의 상부를 밀폐시켜 외부의 외부 기류가 히팅부(162)로 유입되는 것을 차단하게 된다.
상기 반출구(165)는 히팅부(162)의 상부 측면으로부터 검사장치(170)와 대향하도록 신장된 신장부의 바닥면에 형성된다. 이러한, 반출구(165)는 제어축(182)의 이송에 의해 반송 포크(186)에 적재된 화상 표시패널(192)을 검사장치(170)로 공급하는 반출 통로가 된다.
이와 같은, 본 발명의 실시 예에 따른 화상 표시패널의 검사장치를 이용한 고온 불량 검사방법은, 우선 복수의 화상 표시패널(192)이 적층된 카세트(190)를 히팅 챔버(160)의 히팅부(162)에 로딩시켜 화상 표시패널(192)을 일정한 온도로 가 열시킨다. 그런 다음, 반송 포크(186)는 구동부(181)의 구동에 의해 연동되어 히팅 챔버(160)의 패널 이송부(164)에서 히팅부(162) 쪽으로 이송된 후, 제어축(182)의 구동에 연동되어 카세트(190)에서 하나의 화상 표시패널(192)을 인출한다. 이어서, 반송 포크(186)는 패널 이송부(164) 내에서 구동부(181)의 구동되는 이송축(184)의 이송에 연동되어 히팅부(162)에 대향되는 위치에서 반출구(165) 쪽으로 이송되어 제어축(182)의 구동에 의해 반출구(165)를 통해 적재된 고온의 화상 표시패널(192)을 검사장치(170)의 검사대로 공급한 후 원위치로 복귀한다.
따라서, 검사장치(170)는 반송 포크(186)로부터 고온의 화상 표시패널(192)을 공급받아 고온 불량 검사를 실시한다.
이러한, 본 발명의 실시 예에 따른 히팅 챔버와 이를 이용한 화상 표시패널의 검사장치는, 도 6에 도시된 바와 같이 검사장치(170)와 대향되도록 하부에 형성된 반출구(165)를 통해 히팅 챔버(160)에서 가열된 화상 표시패널(192)을 검사장치(170)로 반송하기 때문에 외부 기류가 히팅 챔버(160)의 내부로 유입되는 다운 플로우(Down Flow) 현상을 최소화할 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시 예에 따른 히팅 챔버와 이를 이용한 화상 표시패널의 검사장치는 히팅 챔버(160) 내부로 유입되는 외부 기류를 최소화함으로써 히팅 챔버(160)의 온도를 균일하게 할 수 있다.
한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식 을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
상기와 같은 본 발명의 실시 예에 따른 히팅 챔버와 이를 이용한 화상 표시패널의 검사장치는 화상 표시패널의 반출구를 하부를 향하도록 형성함으로써 히팅 챔버의 내부로 유입되는 외부 기류를 최소화할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시 예에 따른 화상 표시패널의 검사장치는 검사장치와 대향하도록 히팅 챔버의 반출구를 형성함으로써 화상 표시패널의 반송시 발생되는 온도 변화를 최소화할 수 있다.
따라서, 본 발명은 히팅 챔버의 온도를 균일하게 유지시킬 수 있으며, 반송 중에 발생되는 온도변화를 최소화 할 수 있다.

Claims (8)

  1. 복수의 화상 표시패널이 적층된 카세트를 공급받아 상기 화상 표시패널을 가열하기 위한 히팅부와,
    상기 카세트에서 인출된 상기 가열된 화상 표시패널을 외부로 반출시키기 위한 반출구를 가지는 패널 이송부를 구비하며,
    상기 반출구는 하부를 향하도록 상기 패널 이송부의 바닥면에 형성되는 것을 특징으로 하는 히팅 챔버.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 패널 이송부는 상기 히팅부의 상부를 덮도록 일체화되며 상기 히팅부의 상부 측면으로부터 신장되는 신장부를 가지는 것을 특징으로 하는 히팅 챔버.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 반출구는 상기 신장부의 바닥면에 형성되는 것을 특징으로 하는 히팅 챔버.
  4. 복수의 화상 표시패널이 적층된 카세트를 공급받아 상기 화상 표시패널을 가열하기 위한 히팅부와, 상기 히팅부로부터 가열된 상기 화상 표시패널을 외부로 반출시키기 위한 반출구를 포함하는 히팅 챔버와;
    상기 히팅 챔버로부터 상기 가열된 화상 표시패널을 상기 카세트에서 인출하여 상기 반출구를 통해 반출시키는 패널 이송장치와;
    상기 패널 이송장치에 의해 상기 반출구를 통해 반출되는 상기 가열된 화상 표시패널에 대하여 고온 불량을 검사하기 위한 검사장치를 구비하고;
    상기 반출구는 상기 검사장치와 대향하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 화상 표시패널의 검사장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 히팅 챔버는 상기 히팅부의 상부를 덮도록 일체화되어 상기 검사장치와 대향하도록 상기 히팅부의 상부 측면으로부터 신장되는 신장부의 바닥면에 상기 반출구가 형성되며, 상기 히팅부에서 인출된 상기 화상 표시패널이 상기 반출구로 이송되는 패널 이송부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 화상 표시패널의 검사장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 패널 이송부는 상부에 형성되어 외부 기류의 유입을 차단하는 밀폐부를 구비하는 것을 특징으로 하는 화상 표시패널의 검사장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 패널 이송장치는,
    상기 밀폐부를 통해 상기 패널 이송부에 삽입되어 상기 카세트에서 상기 가 열된 화상 표시패널을 인출하는 반송 포크와,
    상기 카세트에서 상기 가열된 화상 표시패널을 인출하도록 상기 반송 포크를 구동하는 제어축과,
    상기 제어축을 수평방향으로 이송시키는 이송축과,
    상기 이송축을 구동시킴과 아울러 상기 제어축을 제어하는 구동부를 구비하는 것을 특징으로 하는 화상 표시패널의 검사장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 밀폐부는 상기 제어축의 이송 영역을 밀폐하도록 형성된 주름 커튼인 것을 특징으로 하는 화상 표시패널의 검사장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR19990024147U (ko) * 1997-12-11 1999-07-05 김영환 육안 검사용 액정 셀 반입/반출 장치
KR20050031598A (ko) * 2003-09-30 2005-04-06 삼성전자주식회사 반도체 소자용 테스트 핸들러

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