KR100928927B1 - 배향막 형성장비 및 이를 이용한 배향막 형성방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 로딩된 기판의 위치를 얼라인 하는 트랜스 얼라인, 상기 트랜스 얼라인의 좌, 우측에 각각 위치하며 상기 로딩된 기판의 세정을 위한 세정부와 상기 로딩된 기판이 임시 대기하는 버퍼 및 상기 세정이 끝난 기판에 러빙을 실시하는 적어도 하나의 러빙기를 구비한 러빙장비; 및상기 러빙장비 2라인 사이에 설치되어 양방향으로 상기 러빙이 실시된 기판이 반송되고, 유입되는 순서대로 상기 기판에 형성된 배향막을 검사하는 배향막 검사기를 포함하는 배향막 형성장비.
- 제 1 항에 있어서, 상기 배향막 검사기는 수증기를 이용한 스팀 검사기를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 형성장비.
- 제 1 항에 있어서, 상기 배향막 검사기는 상기 2라인의 러빙장비에 공용화되어 있는 것을 특징으로 하는 배향막 형성장비.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서, 상기 러빙장비는 기판이 수납된 카세트가 로딩되는 로더를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 형성장비.
- 기판 표면에 배향막을 도포하는 단계;상기 배향막이 도포된 기판을 트랜스 얼라인에 로딩하는 단계;상기 트랜스 얼라인을 통해 상기 로딩된 기판의 위치를 얼라인 하는 단계;상기 트랜스 얼라인의 일측에 위치한 세정부를 통해 상기 로딩된 기판을 세정하는 단계;상기 트랜스 얼라인의 다른 일측에 위치한 버퍼 내에 러빙공정을 진행하기 위한 기판을 임시 대기시키는 단계;상기 세정이 끝난 기판에 러빙장비에 구비된 적어도 하나의 러빙기를 통해 러빙을 실시하는 단계; 및상기 러빙장비 2라인 사이에 설치된 배향막 검사기를 이용하여 상기 러빙된 기판의 러빙불량을 검사하는 단계를 포함하며, 상기 배향막 검사기는 양방향으로 상기 러빙이 실시된 기판이 반송되어 유입되는 순서대로 상기 기판에 형성된 배향막을 검사하는 것을 특징으로 하는 배향막 형성방법.
- 제 6 항에 있어서, 상기 배향막을 도포하는 단계는 인쇄장치를 이용하여 기판 표면에 배향막을 인쇄하는 것을 특징으로 하는 배향막 형성방법.
- 제 6 항에 있어서, 상기 배향막 검사기는 수증기를 이용한 스팀 검사기를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 형성방법.
- 제 8 항에 있어서, 상기 스팀 검사기를 이용하여 기판의 러빙불량을 검사하는 단계는상기 기판 표면에 수증기를 분사하는 단계; 및상기 수증기가 분사된 기판의 표면 상태를 관측기구를 이용하여 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 형성방법.
- 제 9 항에 있어서, 상기 기판의 표면 상태를 측정하는 단계는 상기 러빙된 배향막 표면의 균일도와 스크래치(scratch) 등의 존재여부를 검사하는 것을 특징으로 하는 배향막 형성방법.
- 제 9 항에 있어서, 상기 관측기구는 기판의 색변화, 명암차 또는 물방울 맺힘 등의 배향막 표면의 균일성을 측정하는 것을 특징으로 하는 배향막 형성방법.
- 제 6 항에 있어서, 기판에 러빙을 실시하기 전에 상기 기판에 형성된 배향막의 표면에 얼룩, 줄무늬 또는 핀홀(pin hole) 등의 존재여부를 검사하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 형성방법.
- 제 6 항에 있어서, 기판을 세정한 후 공정 상황에 따라 상기 기판의 러빙불량을 검사하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 형성방법.
- 삭제
- 제 6 항에 있어서, 상기 기판에 러빙을 진행하기 전이나 러빙을 진행한 후에 상기 기판을 세정하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 형성방법.
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