KR100880215B1 - 오토 프로브 검사장비 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 오토 프로브 검사장치의 보관 및 탈착을 용이하게 할 수 있는 오토 프로브 검사장비에 관한 것으로, 가로 및 세로 방향으로 전압을 유기하는 다수의 니들을 구비하여 단위 패널의 불량 검사를 수행하는 오토 프로브 검사장치와, 상기 오토 프로브 검사장치를 장착하여 오토 프로브 검사를 수행하도록 하는 지지부재와, 상기 오토 프로브 검사장치를 보관하는 보관함과, 상기 단위 패널의 사이즈를 파악하고 상기 보관함으로부터 상기 오토 프로브 검사장치를 이송하여 상기 지지부재에 상기 오토 프로브 검사장치를 장착시키도록 프로그램 된 로봇 암을 포함하고, 상기 오토 프로브 검사장치는 상기 단위 패널의 크기에 따라 상기 보관함에 각각 구비되는 다수의 오토 프로브 검사장치로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
게이트 니들, 데이터 니들, 보관함, 로봇 암, 오토 프로브 검사장치
Description
도 1은 액정진공주입방법을 적용한 액정표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 공정순서도.
도 2는 오토 프로브 검사장치의 평면도.
도 3 및 도 4는 종래의 보관함으로부터 오토 프로브 검사장치의 탈착시 문제점을 설명하기 위한 예시도.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 제조공정도.
도 8은 도 7의 오토 프로브 검사장비를 설명하기 위한 예시도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
300 : 오토 프로브 검사장치 310 : 게이트 니들
320 : 데이터 니들 400 : 지지부재
500 : 보관함 600 : 모니터부
700 : 로봇 암 900 : 오토 프로브 검사장비
본 발명은 오토 프로브 검사장비에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 오토 프로브 검사를 안정되게 수행할 수 있는 오토 프로브 검사장비에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.
그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징 및 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 브라운관(Cathode Ray Tube)을 대체하면서 액정표시장치가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 텔레비전 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.
LCD는 서로 마주 보도록 결합되어 있는 두 기판과 그 사이에 주입되어 온도의 변화나 농도의 변화에 따라 상 전이를 발생하는 액정 물질로 이루어져 있다.
상기 액정은 액체의 유동성과 고체의 장거리 질서(Long Range Order) 성질을 가지는 액체와 고체의 중간 성질을 갖는 물질이다. 즉, 고체인 결정이 녹아서 액체가 되기 전에 고체결정이나 액체가 아닌 중간 상태로 되는 것을 말하며, 빛을 쪼이거나 전계 또는 자계를 부가시키면 광학적인 이방성 결정에 특유한 복굴절성을 나타내고, 어떠한 온도 범위내에서는 액체와 결정의 쌍방의 성질을 나타낸다.
이러한 LCD는 크게 어레이(Array) 공정, 컬러 필터(Color Filter) 공정, 액정 셀(Cell) 공정 및 모듈(Module) 공정을 거쳐 제조된다.
상기 어레이 공정은 증착(Deposition) 및 사진 석판술(Photolithography), 식각(Etching) 공정을 반복하여 제 1 기판(제 1 기판) 상에 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT로 약칭) 어레이를 제작하는 공정이고, 컬러 필터 공정은 화소 영역을 제외한 부분에는 빛이 차광되도록 제 2 기판에 블랙 매트릭스(Black Matrix)을 형성하고, 염료나 안료를 사용하여 적(Red), 녹(Green), 청(Blue)의 컬러 필터를 제작한 후, 공통전극용 ITO(Indium Tin Oxide)막을 형성하는 공정이다.
또한, 액정 셀 공정은 박막 트랜지스터 형성 공정이 완료된 제 1 기판과 컬러필터 공정이 완료된 제 2 기판 사이에 일정한 셀겝이 유지되도록 합착하여 상기 제 1, 제 2 기판 사이에 액정을 주입하여 LCD 셀을 형성하는 공정이고, 상기 모듈 공정은 신호 처리를 위한 회로부를 제작하고, 박막 트랜지스터 액정표시장치의 패널과 신호처리회로부를 실장 기술을 통해 서로 연결한 후 기구물을 부착하여 모듈을 제작하는 공정이다.
여기서, 종래의 액정 셀 공정을 좀 더 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 복수 개의 제 1 기판이 적재된 카세트(Cassette;도시되지 않음)와 복수 개의 제 2 기판이 적재된 카세트(도시되지 않음)가 각각 로더(Loader;적재기)에 의해 각각의 포트(Port)에 안착된다.
여기서, 상기 제 1 기판 및 제 2 기판에는 복수개의 액정표시패널이 설계되어 있으며, 각 패널에 해당되는 상기 제 1 기판에는 일정간격을 갖고 일 방향으로 배열된 복수개의 게이트 라인(Gate Line)과 상기 각 게이트 라인에 수직한 방향으로 일정한 간격을 갖고 배열되는 복수개의 데이터 라인(Data Line)과 상기 게이트 라인 및 데이터 라인에 의해 정의된 매트릭스(Matrix) 화소 영역에 각각 형성되는 복수개의 박막 트랜지스터 및 화소 전극들이 형성되어 있다. 또한, 각 패널에 해당되는 상기 컬러필터 기판에는 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스(Black Matrix)층과 컬러 필터층 및 공통전극 등이 형성되어 있다.
다음, 상기 복수 개의 제 1 기판 및 복수 개의 제 2 기판을 각각 하나씩 선택하도록 프로그램(Program) 된 로봇 암(Robot Arm)을 이용하여 제 1 기판 및 제 2 기판을 선택한다.
이어, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 선택된 제 1 기판과 제 2 기판 상의 각 패널에 배향물질을 도포한 후 액정분자가 균일한 방향성을 갖도록 하는 배향 공정(1S)을 각각 진행한다. 상기 배향 공정(1S)은 배향막 도포 전 세정, 배향막 인쇄, 배향막 소성, 배향막 검사, 러빙 공정 순으로 진행된다.
다음, 배향 공정(1S) 후 갭(Gap) 공정이 진행된다. 상기 갭 공정은 제 1 기판 및 제 2 기판을 각각 세정(2S)한 다음, 제 1 기판에 셀 갭(Cell Gap)을 일정하게 유지하기 위한 스페이서(Spacer)를 산포(3S)하고, 제 2 기판의 각 패널 외곽부에 액정주입구를 갖는 씨일(Seal)재를 도포(4S)한 후 상기 제 1 기판과 제 2 기판에 압력을 가하여 합착(5S)한다.
그리고, 상기 합착된 제 1 기판과 제 2 기판을 각 단위 액정패널별로 절단 및 가공한다(6S).
이후, 상기와 같이 가공된 각각의 단위 액정패널에 상기 액정주입구를 통해 액정을 주입한 후, 상기 액정주입구를 봉지한다(7S).
다음, 각 단위액정패널의 절단된 면을 연마하고, 외관 및 전기적 불량 검사(8S)를 진행함으로써 액정표시소자를 제작하게 된다.
여기서, 상기 액정주입공정을 살펴보면 다음과 같다.
액정 물질을 주입할 때에는, 먼저 액정 물질을 용기에 담은 다음, 챔버(Chamber) 속에 용기를 집어넣고 상기 챔버 안의 압력을 진공상태로 유지함으로써 액정 물질 속이나 용기 안벽에 붙어 있는 수분을 제거하고 기포를 탈포한다.
이어, 챔버 안의 압력을 진공 상태로 유지한 채로 빈 액정 셀의 액정주입구를 액정 물질에 담그거나 접촉시킨 다음, 챔버 안의 압력을 진공 상태로부터 대기압 상태까지 높이면, 빈 액정 셀 안의 압력과 챔버의 압력 차이에 의하여 액정주입구를 통하여 액정 물질이 주입된다.
그러나, 종래의 액정표시장치의 제조방법은 다음과 같은 문제점이 있었다.
상기 액정표시장치는 액정 셀 공정 완료 시 최종 검사를 하게 된다. 최종 검사는 외관 및 전기적 불량 검사를 하기 위한 오토 프로브(Auto/Probe, A/P) 검사로서, 예를 들면 컬러필터 돌기, 사선얼룩, 러빙줄무늬, 핀 홀(Pin Hole), 게이트 라인 및 데이터 라인의 단선 또는 합선 등을 검사하는 공정이다.
도 2는 종래의 오토 프로브 검사장치를 설명하기 위한 도면으로, 간략히 설명하면 다음과 같다.
오토 프로브 검사장치(100)는 각각의 단위 패널의 게이트 라인 및 데이터 라인에 전기적 연결을 위한 게이트 니들(Gate Needle, 110)과 데이터 니들(Data Needle, 120)을 구비한다. 이는 단위 패널의 게이트 라인 및 데이터 라인과 각각 접속되어 액정표시장치를 구동시키는 구동회로를 연결시키는 모듈 공정 전, 임의적으로 게이트 니들(110) 및 데이터 니들(120)에 전압을 인가하여 단위 패널의 외관 및 전기 불량 검사를 수행하는 것으로, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인의 패드(도시되지 않음)와 정확하게 접촉되어야 한다.
오토 프로브 검사장치(100)는 단위 패널의 사이즈에 따라 각각 크기가 다른 별도의 오토 프로브 검사장치가 마련되며, 이와 같은 오토 프로브 검사장치(100)는 도 3에 도시된 바와 같은 보관함(200)에 각각 적재되어 있다.
이러한 오토 프로브 검사장치(100)는 도 4에 도시된 바와 같이, 관리자가 수작업으로 오토 프로브 검사장치(100)를 꺼내어 장착할 수 있는 오토 프로브 검사장치 지지대(도시되지 않음)에 장착함으로써 A/P 검사를 수행하였다. 이때, 상기 수작업으로 인하여 도 2에 도시된 게이트 니들(110)과 데이터 니들(120)의 휨 및 파손이 발생될 위험성이 있어, 게이트 라인 및 데이터 라인의 패드와 전기적 접속이 불량이 발생하여 오토 프로브 검사를 제대로 수행하지 못하는 문제점이 있었다.
이는 고가의 오토 프로브 검사장치를 교체하여야 하는 비용 상승 문제를 유발하였고, 또한, 상기 수작업으로 인해 작업성이 저하되었다.
따라서, 상기 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명의 목적은, 오토 프로브 검사장치의 보관 및 탈착을 용이하게 할 수 있는 오토 프로브 검사장비를 제공하는 것이다.
상기 목적 달성을 위한 본 발명의 오토 프로브 검사장비는 가로 및 세로 방향으로 전압을 유기하는 다수의 니들을 구비하여 단위 패널의 불량 검사를 수행하는 오토 프로브 검사장치와, 상기 오토 프로브 검사장치를 장착하여 오토 프로브 검사를 수행하도록 하는 지지부재와, 상기 오토 프로브 검사장치를 보관하는 보관함과, 상기 보관함으로부터 상기 오토 프로브 검사장치를 이송하여 상기 지지부재에 상기 오토 프로브 검사장치를 장착시키도록 프로그램 된 로봇 암을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 배향 공정을 설명하기 위한 공정흐름도이고, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 갭 공정의 공정흐름도이며, 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 검사 공정의 공정흐름도이고, 도 8은 도 7의 오토 프로브 검사장비를 설명하기 위한 예시도이다.
본 발명의 액정표시장치는 전술한 바와 같은 진공주입법을 이용하여 제조할 수 있지만, 상기 액정진공주입방식은 액정패널을 다수의 단위 액정패널로 절단(Cutting)한 후, 상기 단위 액정패널에 형성된 액정주입구를 액정 물질에 담그거나 접촉시켜 액정을 주입하므로 액정 주입에 많은 시간이 소요되므로 생산성이 저하된다. 또한, 대면적의 액정표시장치를 제조할 경우, 패널 내에 액정이 완전히 주입되지 않아 불량의 원인이 될 수 있다.
따라서, 하기에서 설명되는 액정표시장치의 제조방법은 최근 부각되고 있는 액정적하방식을 적용한 액정 셀 공정을 설명하도록 한다.
먼저, 도면에는 도시하지 않았지만, 어레이 공정 및 컬러필터 공정이 수행된 제 1 기판 및 제 2 기판을 제공한다. 상기 제 1 기판 및 제 2 기판은 복수의 제 1 단위기판("TFT 단위기판" 이라 칭함) 영역 및 제 2 단위기판("컬러필터 단위기판" 이라 칭함) 영역을 각각 포함하며, 상기 어레이 공정 및 컬러필터 공정이 완료되면 제 1 카세트 및 제 2 카세트에 각각 적재된다.
이러한 제 1 카세트 및 제 2 카세트는 이송장치에 의해 액정 셀 공정 라인의 로더(Loader)에 장착된다. 여기서, 상기 TFT 단위기판 영역에는 상기 어레이 공정에 의해 일정간격을 갖고 일 방향으로 배열된 복수 개의 게이트 라인과 상기 각 게이트 라인에 수직한 방향으로 일정한 간격을 갖고 배열되는 복수 개의 데이터 라인과 상기 게이트 라인 및 데이터 라인에 의해 정의된 매트릭스(Matrix) 화소 영역에 각각 형성되는 복수개의 박막 트랜지스터 및 화소 전극들이 구비되어 있다.
그리고, 상기 컬러필터 단위기판 영역에는 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스(Black Matrix)층과 컬러 필터층 및 공통전극 등이 구비되어 있다.
상기와 같은 조건에서의 액정 셀 공정의 제조 공정을 설명하면 다음과 같다.
액정 셀 공정을 진행하는 라인은 배향 공정, 갭 공정, 검사 공정을 진행하는 라인으로 이루어진다. 상기 배향 공정은 배향막 도포 전 세정, 배향막 인쇄, 소성, 검사 및 러빙 공정 등으로 이루어지고, 상기 갭 공정은 러빙 후 세정, 액정 적하, 씨일재 도포, 진공 합착 및 경화 공정을 포함하여 이루어지며, 검사 공정은 스크라이브(Scribe)/브레이크(Break) 공정, 연마 공정 및 단위 액정 패널의 검사 공정 등으로 이루어진다.
먼저, 제 1 기판 및 제 2 기판을 각각 적재하는 제 1, 제 2 카세트는 액정 셀 공정으로의 진입 시, 상기 배향 공정을 진행하는 라인의 로더(Loader)에 놓여진다.
다음, 상기 로더에 장착된 제 1, 제 2 카세트의 정보를 인식하는 로봇 암에 의해 제 1 카세트에 적재되어 있는 제 1 기판과, 상기 제 1 기판과 매칭되는 제 2 기판을 선택하여 배향 공정 라인에 로딩한다.
이러한 배향 공정은 도 5에 도시된 바와 같이, 배향막 도포 전 세정(20S) 공정과, 배향막 도포(21S), 배향막 소성(22S), 검사(23S) 및 러빙(24S) 순으로 진행된다.
이를 간략히 설명하면, 제 1 기판 및 제 2 기판에 이물질 및 입자(Particle)를 제거하기 위한 세정(20S) 공정을 진행한 다음, 배향막을 도포한다.
상기 배향막 도포(21S)의 배향액은 디스펜서(Dispenser)에서 회전하고 있는 닥터 롤(Doctor Roll)과 아닐록스 롤(Anilox Roll) 사이에 적하 공급된다. 이 도포액은 2개의 롤 사이에서 아닐록스 롤 면에 액체 박막으로 되어 유지되고, 아닐록스 롤로부터 인쇄고무판이 부착된 인쇄롤로 전사된다. 그리고 도포 스테이지 위에 고정된 기판이 진행할 때에 이 도포액의 박막이 제 1 기판 및 제 2 기판에 전사 도포된다.
다음, 상기 제 1 기판 및 제 2 기판 상에 인쇄된 배향막 내의 용매를 증발시키기 위한 소성(Baking) 공정(22S)을 수행하고, 배향막 상태의 검사(23S) 및 러빙 공정(24S)을 거쳐 배향 공정을 완료한다.
이와 같은 배향 공정이 완료되면, 제 1 기판 및 제 2 기판은 언로더(Unloader)에 마련된 제 3, 제 4 카세트에 각각 적재되고, 상기 배향 공정 중 불량이 발생한 기판, 예컨대 배향 불량, 러빙 불량 및 기타 원인으로 인해 발생한 불량 기판은 언로더의 측부에 마련된 버퍼용 카세트에 적재된다.
다음, 상기 제 3, 제 4 카세트는 갭(GAP) 공정을 진행하는 라인의 로더(Loader)에 로딩된다.
도 6에 도시된 바와 같이, 제 3, 제 4 카세트에 적재되어 있는 제 1, 제 2 기판들 중 하나 씩을 선택하여 갭 공정을 진행하는 라인에 로딩한다.
다음, 선택된 제 1 기판 및 제 2 기판을 세정(25S)하고, 이어서 제 1 기판은 액정 디스펜싱(LC Dispensing) 장치에 로딩되고, 제 2 기판은 은(Ag) 디스펜싱(Dispensing) 장치와 씨일(Seal) 디스펜싱 장치에 순차적으로 로딩된다.
이에 의해, 제 2 기판 상에는 은(Ag) 도트 및 씨일재가 도포된다(26S)(27S). 이때, 씨일재는 광 또는 열 경화성 수지가 이용된다.
한편, 상기 컬러필터 단위기판 영역 상의 씨일재 안쪽 영역과 대응하는 TFT 단위기판 영역상에 액정을 적하(28S)하는 공정이 진행된다.
액정의 적하(28S) 공정을 간략히 살펴보면 다음과 같이 진행된다.
먼저, 액정을 진공하에서 탈포시킨 후, 액정적하장치를 조립 및 셋팅하여 액정 디스펜싱 장치에 장착한다. 그런 다음, 제 1 기판이 액정 디스펜싱 장치에 로딩되면, 액정적하장치를 이용하여 액정을 적하한다.
다음, 상기와 같은 공정이 진행된 각각의 제 1 기판과 제 2 기판은 진공 챔버에 로딩되어 상기 적하된 액정이 균일하게 각 패널에 채워지도록 제 1 기판과 제 2 기판을 합착한 다음, 상기 씨일재를 경화하여 패널을 형성한다(30S).
여기서, 상기 합착 공정을 살펴보면 다음과 같이 진행된다.
도면에는 도시하지 않았지만, 제 1 기판을 수평방향으로 이동 가능한 진공 용기 내의 테이블상에 탑재하고, 상기 제 1 기판의 하부 표면 전면을 제 1 흡착기구로 진공 흡착하여 고정시킨다. 다음, 제 2 기판의 하부 표면 전면을 제 2 흡착기구로 진공 흡착하여 고정하고, 진공 챔버를 닫아 진공시킨다. 그리고, 상기 제 2 흡착기구를 수직방향으로 하강시켜 상기 제 1 기판과 제 2 기판의 간격을 소정 간격으로 두고, 상기 제 1 기판을 탑재한 상기 테이블을 수평 방향으로 이동시켜 제 1 기판과 제 2 기판을 위치 맞춤 한다.
그런 다음, 상기 제 2 흡착기구를 수직방향으로 하강시켜 제 2 기판을 상기 씨일재를 통해 제 1 기판에 접합하고, 상기 적하된 액정이 제 1 기판 및 제 2 기판에 소정 두께로 충진되도록 가압하여 다수의 단위패널을 포함하는 패널을 형성한다. 이어, 상기 진공 챔버로부터 상기 패널을 꺼낸 다음, 상기 씨일재에 자외선 조사하여 갭 공정을 완료한다.
한편, 갭 공정이 완료된 패널은 도 7에 도시된 바와 같이, 검사 공정을 진행하는 라인에 로딩된다.
상기 검사 공정은 먼저 상기 패널을 단위 패널로 절단하는 공정이 진행된다.
절단 공정(31S)은 절단 휠(Wheel)을 통해 일정한 압력으로 유리재질의 패널과 밀착되어 일정한 깊이의 홈을 형성하고, 상기 패널에 홈이 형성된 이후에는 외부의 충격을 통해 크랙(Crack)이 아래방향으로 전파되도록 패널을 절삭함으로써 다 수의 단위 패널을 형성한다.
다음, 단위 패널의 절단 부위의 상태를 검사하는 공정이 진행된다. 상기 검사공정(32S)은 절단된 단위 패널의 절단부위에 찌꺼기(Burr)가 잔류하는지를 검사하는 공정이다.
이어, 절단된 각 단위 패널은 연마장치로 이송되어 단위 패널의 면을 연마(33S)하고, 단위 패널의 외관 및 전기적 연결에 대한 최종 검사(34S)를 수행하여 액정 셀 공정을 완료한 다음, 언로더(Unloader)에 마련된 카세트에 적재한다.
상기 최종 검사(34S)는 도 8에 도시된 오토 프로브 검사장비(900)를 이용하여 외관 및 전기 불량 검사를 수행하게 된다.
본 발명의 실시예에 따른 오토 프로브 검사장비(900)는 가로 및 세로 방향으로 전압을 유기하는 다수의 니들을 구비하여 단위 패널의 불량 검사를 수행하는 오토 프로브 검사장치(300)와, 상기 오토 프로브 검사장치를 장착하여 오토 프로브 검사를 수행하도록 하는 지지부재(400)와, 상기 오토 프로브 검사장치를 보관하는 보관함(500)과, 상기 보관함(500)으로부터 오토 프로브 검사장치(300)를 이송하여 상기 지지부재(400)에 오토 프로브 검사장치(300)를 장착시키도록 프로그램 된 로봇 암(700)을 포함하여 이루어진다.
상기 니들은 각각의 단위 패널의 게이트 라인 및 데이터 라인에 전기적 연결을 위한 게이트 니들(310)과 데이터 니들(320)을 구비한다. 이는 전술한 바와 같이 임의적으로 게이트 니들(310) 및 데이터 니들(320)에 전압을 인가하여 단위 패널의 외관 및 전기 불량 검사를 수행하는 것으로, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인의 패드(도시되지 않음)와 정확하게 접촉되도록 제어되어야 한다.
이러한 제어 방식은 상기 프로그램된 로봇 암(700)에 의해 제어되어, 단위 패널의 크기에 따라 보관함(500)에 각각 구비되는 다수의 오토 프로브 검사장치(300)를 상기 지지부재(400)에 장착함으로써 오토 프로브 검사를 수행하게 된다. 다시 말해서, 도 7의 절단 공정(31S)에 의해 형성된 단위 패널의 사이즈를 로봇 암(700)에서 파악한 다음, 상기 지지부재(400)에 단위패널을 장착하여 오토 프로브 검사를 수행하기 전, 그에 해당하는 오토 프로브 검사장치(300)를 로봇 암(700)을 이용하여 지지부재(400)에 자동적으로 장착함으로써, 오토 프로브 검사를 수행한다. 여기서 로봇 암(700)은 상, 하 이동 가능하고, 회전 가능하며, 수평 방향으로 길이가 변화될 수 있어 오토 프로브 검사장치(300)를 용이하게 지지부재(400)에 장착할 수 있도록 한다.
이러한 오토 프로브 검사는 바둑판 얼룩, 검정 얼룩, 컬러필터 돌기, 사선얼룩, 러빙줄무늬, 핀 홀(Pin Hole), 게이트 라인 및 데이터 라인의 단선 또는 합선 등을 검사하는 공정으로 상기 지지부재에 연결되어 상기 오토 프로브 검사의 항목별대로의 진행을 모니터하는 모니터부(600)를 구비하여 오토 프로브 검사를 수행한다.
이와 같이 구성되는 오토 프로브 검사장비(900)는 종래의 수작업으로 인한 작업성 저하 및 게이트 니들(310)과 데이터 니들(320)의 휨 및 파손이 발생될 위험성을 방지할 수 있어, 안정된 오토 프로브 검사를 수행할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 오토 프로브 검사장비에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 단위 패널의 사이즈를 로봇 암에서 파악한 다음, 그에 해당하는 오토 프로브 검사장치를 로봇 암을 이용하여 지지부재에 자동적으로 장착하여 오토 프로브 검사를 수행함으로써, 종래의 수작업으로 인한 작업성 저하 및 게이트 니들과 데이터 니들의 휨 및 파손이 발생될 위험성을 방지할 수 있어, 안정된 v 검사를 수행할 수 있는 효과가 있다.
둘째, 액정적하방식을 이용하여 짧은 시간 동안에 직접 기판상에 액정을 적하하기 때문에 대면적의 액정표시소자의 액정층 형성도 매우 신속하게 진행할 수 있게 될 뿐만 아니라, 필요한 양의 액정만을 직접 기판상에 적하하기 때문에 액정의 소모를 최소화할 수 있게 되므로 액정표시소자의 제조비용을 대폭 절감할 수 있다는 장점을 가진다.
Claims (5)
- 가로 및 세로 방향으로 전압을 유기하는 다수의 니들을 구비하여 단위 패널들의 불량 검사를 수행하는 서로 다른 사이즈의 오토 프로브 검사장치들과;상기 오토 프로브 검사장치들 중 적어도 하나의 오토 프로브 검사장치를 장착하여 오토 프로브 검사를 수행하는 지지부재와;상기 서로 다른 사이즈의 오토 프로브 검사장치들을 보관하는 보관함과;상기 단위 패널들의 사이즈를 파악하고 상기 파악된 단위 패널들의 사이즈에 각각 대응하는 어느 한 오토 프로브 검사장치를 상기 보관함으로부터 이송하여 상기 지지부재에 장착시키도록 프로그램되며 상,하 이동가능하고 회전 가능하며 수평방향으로 길이가 변화할 수 있는 로봇 암을 포함하며,상기 오토 프로브 검사장치들의 사이즈는 상기 단위 패널들의 사이즈에 각각 대응된 것을 특징으로 하는 오토 프로브 검사장비.
- 삭제
- 제 1항에 있어서,상기 지지부재에 연결되어 오토 프로브 검사의 진행을 모니터하는 모니터부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오토 프로브 검사장비.
- 삭제
- 제 1항에 있어서,상기 다수의 니들은 상기 단위 패널의 게이트 라인 및 데이터 라인에 전기적 연결을 위한 게이트 니들과 데이터 니들로 구분되는 것을 특징으로 하는 오토 프로브 검사장비.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1020020033265A KR100880215B1 (ko) | 2002-06-14 | 2002-06-14 | 오토 프로브 검사장비 |
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Family
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR1020020033265A KR100880215B1 (ko) | 2002-06-14 | 2002-06-14 | 오토 프로브 검사장비 |
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| KR (1) | KR100880215B1 (ko) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102150628B1 (ko) | 2020-04-24 | 2020-09-02 | 주식회사 디에스케이 | 가변형 프로브 유닛 |
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